JP2022145329A - 管理装置、データ処理方法、プログラム、半導体装置の製造方法および処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
(基板処理システムの全体構成例)
本開示の実施形態に係る基板処理システム2を説明する。図1は、本開示の実施形態に係る基板処理システム2の構成例を示す図である。
次に、基板処理装置10の詳細な構成を説明する。図2は、本開示の実施形態に係る基板処理装置10の斜視図である。
基板処理装置10を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成する処理(以下、成膜処理ともいう)に係る基板処理の例について説明する。
図3は、端末装置6のハードウェアの構成例を示す図である。端末装置8は、図3に示す端末装置6のハードウェア構成と同様な構成とされているので、重複する説明は省略する。なお、管理装置7も同様な構成にしてもよいのは言うまでもない。
図4は、半導体製造工場における1つの管理システムのネットワークの構成例を説明する図である。図5は、複数の半導体製造工場における複数の管理システムのネットワーク構成例を説明する図である。
図6は、管理システム7の回路ブロックの概念的構成例を説明する図である。図6に示すように、管理システム7は、タスクキュー部QUと、キャッシュメモリCMと、制御部CNTと、を含むように構成されている。ここで、タスクキュー部QUは第1記憶部とされ、キャッシュメモリCMは第2記憶部とされる。
図7は、基板処理装置に対する要求データの優先度のテーブルを説明する図である。図7の優先度のテーブルに示すように、基板処理装置に対する要求データとして、この例では、4つの要求データが示されている。4つの要求データには、要求データの種別(タスク)ごとに優先度が設定されている。4つの要求データは、優先度のレベルが最高レベルの”5”であるタスクTK5と、優先度のレベルが”4”であるタスクTK4と、優先度のレベルが”2”であるタスクTK2と、優先度のレベルが最低レベルの”0”であるタスクTK0とである。
図8は、端末装置からの要求データの受付フローを説明する図である。図8には、代表例として、端末装置6、8から基板処理装置10-1に対する要求データを管理システム7で受け付けるときの受付フローが示されている。ここで、タスクキュー部QUのタスクキューQU1は基板処理装置10-1に対応して設けられたタスクキューであり、キャッシュメモリCMのメモリ部CMEM1は基板処理装置10-1に対応して設けられたメモリ部である。図8では、基板処理装置10-1が装置Aとして記載され、メモリ部CMEM1が装置A応答キャッシュとして記載され、タスクキューQU1が装置A要求キューとして記載されている。以下、各ステップについて説明する。
端末装置6,8が操作され、端末装置6,8の表示・入力装置24のGUIに基板処理装置10-1に対する要求データが入力されて送信されると、管理システム7は、端末装置6,8の要求データを受け付ける。そして、ステップS2へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、ステップS1で受け付けた要求データに対する応答データがメモリ部CMEM1に格納されているか否かを確認するために、キャッシュメモリCMへの問い合わせ(検索)を行う。そして、ステップS3へ移行する。
要求データに対する応答データがメモリ部CMEM1内にキャッシュ情報として存在しているか否か確認する。キャッシュ情報として存在する場合(YES)、ステップS4へ移行する。キャッシュ情報として存在しない場合(No)、ステップS5へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、メモリ部CMEM1に格納されるキャッシュ情報から、要求データに対する応答データを作成する。そして、ステップS9へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、要求データと同一の要求データがタスクキュー部QUのタスクキューQU1に格納されているか否かを確認するために、タスクキュー部QUへの問い合わせ(検索)を行う。そして、ステップS6へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、要求データと同一の要求データがタスクキューQU1に存在しているか否か確認する。同一の要求データが存在する場合(YES)、タスクキューQU1に後から追加された要求データ(受信された要求データに対応する)を、先に格納されていた要求データにまとめる制御が行われる。その後、ステップS7へ移行する。同一の要求データが存在しない場合(No)、ステップS8へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、端末装置6,8に対して要求データを基板処理装置10-1へ要求する旨の応答を作成する。そして、ステップS9へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、タスクキューQU1に、要求項目として、要求データを追加する。そして、ステップS7へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、端末装置6,8の表示・入力装置24のGUIに対して、作成した応答データ(S4)または応答(S7)を送信し、応答を行う。
図9は、管理システムから基板処理装置への要求データの要求処理フローを説明する図である。図9には、代表例として、管理システム7から基板処理装置10-1への要求データの要求処理フローが示されている。図9では、装置Aは、たとえば、基板処理装置10-1とし、タスクキュー部QUのタスクキューは基板処理装置10-1に対応して設けられたタスクキューQU1とし、キャッシュメモリCMのメモリ部は基板処理装置10-1に対応して設けられたメモリ部CMEM1として説明する。図9では、基板処理装置10-1が装置Aとして記載され、メモリ部CMEM1が装置A応答キャッシュとして記載され、タスクキューQU1が装置A要求キューとして記載されている。以下、各ステップについて説明する。
まず、要求データの処理がタスクキューQU1に追加される。その後、ステップS11へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、タスクキューQU1から先頭の要求データを取得するように制御し、ステップS12へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、タスクキューQU1から先頭の要求データの取得が成功したか否かを確認する。先頭の要求データの取得が成功した場合(YES)、ステップS13へ移行する。先頭の要求データの取得が成功しなかった場合(失敗した場合:No)、要求処理フローが終了する。
管理システム7の制御部CNTは、基板処理装置10-1に対して先頭から取得した要求データの内容の要求を実施する。その後、ステップS14へ移行する。
管理システム7の制御部CNTは、要求データに対する応答データを基板処理装置10-1から受信し、受信した応答データをメモリ部CMEM1に保存する。そして、ステップS11へ移行し、タスクキューQU1に格納された要求データがなくなるまで、ステップS12-S14を繰り返し実行する。
図10は、基板処理装置から送信されたイベントを管理システム7で受信したときの受信フローを説明する図である。図10には、代表例として、基板処理装置10-1から送信されたイベントを管理システム7で受信した場合の受信フローが示されている。図10では、基板処理装置10-1が装置Aとして記載され、メモリ部CMEM1が装置A応答キャッシュとして記載され記載されている。以下、各ステップについて説明する。
管理システム7は、基板処理装置10-1から送信されたイベントを受信する。
管理システム7の制御部CNTは、受信したイベントが、メモリ部CMEM1に格納された複数のキャッシュ情報の内、いずれかのキャッシュ情報が古くなって使用できなくなるイベントか否かの判定を実施する。受信したイベントが、キャッシュ情報が古くなって使用できなくなるイベントである場合(YES)、ステップS22へ移行する。受信したイベントが、キャッシュ情報が古くなって使用できなくなるイベントでない場合(No)、受信フローが終了する。
管理システム7の制御部CNTは、メモリ部CMEM1に格納された受信したイベントに関連するキャッシュ情報を破棄する。そして、受信フローが終了する。
次に、タスクキュー部QUの動作例について、図面を用いて説明する。以下の説明では、代表例として、タスクキュー部QU内のタスクキューQU1の動作について説明する。他のタスクキューQU2-QUnの各々の動作の説明は、タスクキューQU1の動作と同様なので、省略する。
図11は、タスクキューの動作の概要を説明する図である。タスクキューQU1は、基板処理装置10-1に対する複数の要求データ(TK0,TK5,TK4)を格納することができるように構成されている。図11には、タスクキューQU1の先頭HDから要求データTK2を取り出されて(pop)、基板処理装置10-1へ送付される状態、及び、端末装置6-1~6-m、8-1、8-2などから生成された新たな要求データTK2がタスクキューQU1へ格納(push)される状態を示している。
図12は、タスクキューにおける同一要求データのまとめ処理を説明する図である。図8のステップS6で説明したように、同一の要求データがタスクキューQU1に格納された場合の処理である。図12に示すように、タスクキューQU1aには、タスクTK5、TK4、TK5がヘッドHD側から後方ED側に向かって順に格納された状態である。ここで、2つのタスクTK5は同一の要求データであり、同じ要求TK5を基板処理装置10-1に2回要求することは、無駄が発生することになる。そこで、タスクキューQU1bに示すように、時間的に後からタスクキューQU1へ格納された後方ED側のタスクTK5を、先頭HD側のタスクTK5へまとめてしまう処理が実行される。これにより、基板処理装置10-1に対する負荷を低減することができる。
図13は、基板処理装置からのイベントによる要求データの削除を説明する図である。基板処理装置10-1から、装置10-1内の所定ファイルの内容の変更されたことを示すイベント(編集・削除等)が通知された際、タスクキューQU1内に格納されている対応する所定ファイルへの要求データ(タスク)をすべてキャンセルする必要がある。図13には、時刻T1、時刻T2(時刻T1以降:T1<T2)、および時刻T3(時刻T2以降:T2<T3)の各々におけるタスクキューQU1の状態が示されている。
図14は、タスクキュー内の要求データの優先度を考慮した並び替えを説明する図である。
図14で説明したように、タスクキュー内に要求データを追加するときに、優先度を考慮して並び替えを行うと、優先度が最低レベル”0”の要求データ(例えば、TK0)の実行が遅くなってしまい、各クライアント(6、8)に対して適切にレスポンスできない場合も想定される。そこで、タスクキュー内に要求データを追加した場合、並び替えにより処理順序が下がった要求データは、その優先度のレベルを”1”上げる処理を実行する。これにより、各クライアント(6、8)に対して適切にレスポンスすることが可能となる。図15は、優先度の変更処理を説明する図である。図15に示される数値(0,1、2)は、要求データの優先度のレベルを示している。
以下に、付記として本開示の態様を記す。
端末装置からの要求データを記憶する第1記憶部と、処理装置からの情報を記憶する第2記憶部と、受信した前記要求データに基づき前記第1記憶部および前記第2記憶部のうちいずれか一方を検索し、前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得させることが可能なように構成されている制御部と、を備えた管理装置。
前記制御部は、前記要求データを受付けると、前記第2記憶部を検索し、
前記要求データに沿ったキャッシュ情報があれば、前記端末装置に応答することが可能に構成されている(付記1)の管理装置。
前記制御部は、前記要求データを受付けると、前記第2記憶部を検索し、前記要求データに沿ったキャッシュ情報が無ければ、前記処理装置に前記要求データを要求する旨を前記端末装置に応答することが可能に構成されている(付記2)の管理装置。
前記制御部は、前記要求データに沿ったキャッシュ情報が無ければ、前記第1記憶部を検索し、前記第1記憶部内に同一の要求データの有無を確認する(付記3)の管理装置。
前記制御部は、前記第1記憶部内に同一の要求データが無ければ、前記第1記憶部内に要求項目を追加し、前記第1記憶部内の先頭の要求データを取得するよう構成されている(付記4)の管理装置。
前記制御部は、前記処理装置に前記第1記憶部内に格納されている複数の要求データから先頭の要求データを取り出して送信し、この要求データに対応した結果を取得し、前記第2記憶部に保存するように構成されている(付記5)の管理装置。
前記制御部は、前記第1記憶部内に同一の要求データがあれば、前記同一の要求データに纏めてしまうように構成されている(付記4)の管理装置。
前記制御部は、前記処理装置からイベント情報を取得すると、前記第2記憶部に保存している前記キャッシュ情報が古くなるイベントか否かを確認し、該イベントに該当する場合は、前記キャッシュ情報を破棄するように構成されている(付記2)の管理装置。
前記制御部は、前記処理装置からイベント情報を取得すると、前記第1記憶部に保存している前記要求データが古くなるイベント情報か否かを確認し、該イベント情報に該当する場合は、前記要求データを削除するように構成されている(付記1)の管理装置。
更に、前記要求データの種別(タスク)ごとに優先度が設定されるテーブルを有し、
前記 制御部は、前記第1記憶部内の前記要求データを前記優先度に応じて前記処理装置へ要求する順番を変更するように構成されている(付記1)の管理装置。
前記制御部は、前記第1記憶部内の前記要求データのうち、前記処理装置へ要求する順番を後回しにされた前記要求データの優先度を(一つ)上げるように構成されている(付記10)の管理装置。
前記要求データは、装置のファイル一覧の表示のためのファイル一覧取得要求、ユーザ指示による装置からのファイル取得要求、ログファイルの取得要求、装置へのファイルの送信要求の少なくとも1つ以上から選択される(付記10)の管理装置。
前記ログファイルには、装置で作成されたスクリーンショット、装置の通信を保存した通信ログ、装置の稼働状況やイベントを保存したイベントログ、発生したエラー情報を保存したエラーログの少なくとも1つ以上から選択される(付記12)の管理装置。
前記制御部は、前記端末装置との接続時のユーザとパスワード認証を保有するように構成されている(付記1)の管理装置。
前記制御部は、接続されている前記処理装置毎に複数の要求データを格納するタスクキューが設けられた第1記憶部を有するように構成されている(付記1)の管理装置。
端末装置からの要求データを記憶する第1記憶部と、
処理装置からの情報を記憶する第2記憶部と、
受信した前記要求データに基づき前記第1記憶部および前記第2記憶部のうちいずれか一方を検索し、前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に応じた前記処理装置の情報を取得することが可能なように構成されている管理装置と、
を備えた処理システム。
端末装置からの要求データを受信する工程と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する工程と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得する工程と、
を有するデータ処理方法。
端末装置からの要求データを受信する手順と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する手順と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得する手順と、
を管理装置に実行させるプログラム。
所定のレシピを実行して、基板を処理する基板処理工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記基板処理工程では、
端末装置からの要求データを受信する工程と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する工程と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得する工程と、
を更に有する半導体装置の製造方法。
処理装置と接続可能に構成される第1クライアントと、
前記第1クライアントと離間した位置に配置される第2クライアントと、
前記第1クライアントおよびまたは前記第2クライアントからの要求データを受信し、受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索し、前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に応じた前記処理装置の情報を取得することが可能なように構成されている管理装置と、
を備えた処理システム。
6:第1端末装置(第1クライアント)
7:管理システム(管理装置)
8:第2端末装置(第2クライアント)
10:基板処理装置
QU:タスクキュー部(第1記憶部)
CM:キャッシュメモリ(第2記憶部)
CNT:制御部
Claims (5)
- 端末装置からの要求データを記憶する第1記憶部と、
処理装置からの情報を記憶する第2記憶部と、
受信した前記要求データに基づき前記第1記憶部および前記第2記憶部のうちいずれか一方を検索し、前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得させることが可能なように構成されている制御部と、
を備えた管理装置。 - 端末装置からの要求データを受信する工程と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する工程と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得させる工程と、
を有するデータ処理方法。 - 端末装置からの要求データを受信する手順と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する手順と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得させる手順と、
を管理装置に実行させるプログラム。 - 所定のレシピを実行して、基板を処理する基板処理工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記基板処理工程では、
端末装置からの要求データを受信する工程と、
受信した前記要求データに基づき第1記憶部および第2記憶部のうちいずれか一方を検索する工程と、
前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に対応する処理装置の情報を取得させる工程と、
を更に有する半導体装置の製造方法。 - 端末装置からの要求データを記憶する第1記憶部と、
処理装置からの情報を記憶する第2記憶部と、
受信した前記要求データに基づき前記第1記憶部および前記第2記憶部のうちいずれか一方を検索し、前記第1記憶部及び前記第2記憶部のうち少なくともいずれかを用いて、前記要求データの内容に応じた前記処理装置の情報を取得させることが可能なように構成されている管理装置と、
を備えた処理システム。
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