JP2022145250A - 半導体装置の製造方法、ノズルのクリーニング方法、基板処理装置、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
(c)前記(b)の工程の後に、前記反応管内に次の基板を搬入する工程と、
を有する技術が提供される。
以下、本開示の一態様について、適宜、図面を用いて説明する。なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面上の各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
図1に示すように、処理炉202は加熱機構(温度調整部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)とし
ても機能する。
(a)複数のノズル249a,249b,249cを有する反応管203内で基板(ウエハ200)を処理して搬出した後の前記複数のノズル249a,249b,249cのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する手順と、
(b)前記(a)の手順が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する手順と、
(c)前記(b)の手順の後に、前記反応管203内に次の基板(ウエハ200)を搬入する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム
を、コンピュータにインストールすることにより構成することができる。外部記憶装置123は、たとえば、HDD等の磁気ディスク、CD等の光ディスク、MO等の光磁気ディスク、USBメモリ等の半導体メモリ等を含む。記憶装置121cや外部記憶装置123は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成されている。以下、これらを総称して、単に、記録媒体ともいう。本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶装置121c単体のみを含む場合、外部記憶装置123単体のみを含む場合、又は、それらの両方を含む場合がある。なお、コンピュータへのプログラムの提供は、外部記憶装置123を用いず、インターネットや専用回線等の通信手段を用いて行ってもよい。
上述の基板処理装置を用いた、本開示の半導体装置の製造方法は、
複数のノズル249a,249b,249cを有する反応管203内で基板(ウエハ200)を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズル249a,249b,249cのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
(c)前記(b)の工程の後に、前記反応管203内に次の基板(ウエハ200)を搬入する工程と、
を有する。
上記製造方法において、前記工程(a)に先立つ反応管203内での基板(ウエハ200)の処理は、たとえば、
反応管203内のウエハ200に対して、ガス供給管232a及びノズル249aを介して、原料ガスを供給するステップ1と、
反応管203内への原料ガスの供給を停止した上で、ガス供給管232n及びノズル249aを介して、パージガスを供給しつつ、反応管203内を真空排気して処理室内に残留する原料ガスを排除するステップ2と、
反応管203内のウエハ200に対して、ガス供給管232b及びノズル249bを介して第1の反応ガスを供給しつつ、ガス供給管232c及びノズル249cを介して第2の反応ガスを供給するステップ3と、
反応管203内への第1の反応ガスおよび第2の反応ガスの供給を停止した上で、ガス供給管232o,232p及びノズル249b,249cを介して、パージガスとしてのN2ガスを供給しつつ、反応管203内を真空排気して処理室内に残留する第1の反応ガス及び第2の反応ガスを排除するステップ4と、
を非同時に行うサイクルを所定回数(n回、nは1以上の整数)行うことにより、ウエハ200上に、膜として、所定元素を含む膜を形成する成膜処理とすることができる。ステップ2及びステップ4における排気処理は、排気口231aから排気管231を通じて行われる。
(原料ガス→P/V→第1の反応ガス+第2の反応ガス→P/V)×n
上記製造方法において、前記工程(a)のクリーニング処理は、たとえば、クリーニングガスを、ノズル249a,249b,249cのうちの少なくとも一つから反応管203内に供給することで実施することができる。クリーニングガスとしては、たとえば、フッ素(F)含有ガスが用いられる。フッ素含有ガスとしては、たとえば、フッ素(F2)ガス又は三フッ化窒素(NF3)ガスを用いることができる。以下では、クリーニングガスとして、F2ガスを用いる例をについて記述する。
(処理A):(クリーニングガス→P/V→添加ガス→P/V)×n
(処理B):(添加ガス→P/V→クリーニングガス→P/V)×n
(処理A)又は(処理B)を複数のノズルの一つ以上に対して行うように構成してもよい。複数のノズルそれぞれに対して、(処理A)又は(処理B)を行うように構成してもよい。一つ以上のノズルに対して、(処理A)又は(処理B)を行うことにより、ノズル内で、クリーニングガスと添加ガスを所定量、混合させることができ、ノズル内のクリーニングを行うことができる。ここで、所定量とは、たとえば、ノズル内に吸着する等して残留したクリーニングガスと、後から供給される添加ガスとが反応する量を意味する。
また、全てのノズルに対して、同時に(処理A)又は(処理B)を行うように構成してもよい。全てのノズルに対して同時に行うことにより、全てのノズルやその周辺のクリーニング速度を揃えることができる。
また、一つのノズルに対して(処理A)を行い、他のノズルに対して(処理B)を行うように構成してもよい。具体的には、ノズル249bでは(処理A)を行わせるとともに、ノズル249cでは、(処理B)を行わせるように構成する。このように構成することにより、反応管203内に、クリーニングガスと添加ガスが同時に供給することができる。クリーニングガスと添加ガスとを同時に供給することにより、反応管203内のクリーニング処理の効率を向上させることができる。また、クリーニングガスと、添加ガスの供給位置が、順番に変わることにより、複数のノズル内や、反応管203内のクリーニングの偏りを抑制することができ、ノズル内と、反応管203内を均一にクリーニングすることが可能となる。
上記製造方法において、前記工程(b)のフッ素失活処理は、たとえば、水素と酸素とを含むガスを、前記工程(a)でクリーニングガスを反応管203内に供給したノズルに供給することで実施することができる。ここで、「水素と酸素とを含むガス」とは、水素(H2)ガスと酸素(O2)ガスとを、それぞれ別のガス供給管から供給して少なくともノズルで混合されて得られる混合ガスであることが望ましいが、水蒸気(H2O)や過酸化水素(H2O2)のように、一分子中に水素(H)原子と酸素(O)原子とを含むガスであってもよい。たとえば、H2ガスとO2ガスとの混合ガスによって、反応管内に残留するフッ素(F2)あるいはフッ素イオン(F-)を除去するメカニズムを表す反応式は、下記のとおりであると考えられる。
前記工程(a)及び(b)によって反応管203内及びノズル249a,249b,249c内でのクリーニング処理及びフッ素失活処理が完了したら、前記工程(c)として、前記反応管203内に次の基板(ウエハ200)が搬入される。搬入された次の基板(ウエハ200)については、前記(2-1)で述べた基板(ウエハ200)の処理が行われる。
実施例及び比較例においては、まずウエハ上に膜を形成する成膜処理を数回実施した後、前記した工程(a)のクリーニング処理と添加ガスを供給する処理とを交互に数回繰り返した。そして、前記した工程(b)のフッ素失活処理を行ってから、再度成膜処理を繰り返し実施した。各成膜処理で得られたウエハにつき、膜厚を測定した。
前記(2-1)で言及した下記の成膜処理を実施した。なお、成膜処理に先立つセッティングや初期クリーニング等の処置は割愛する。
原料ガス供給流量:0.01~2slm、好ましくは0.1~1slm
パージガス供給流量:0~10slm
第1の反応ガス供給流量:0.1~10slm
第2の反応ガス供給流量:0.1~10slm
各ガス供給時間:1~120秒、好ましくは1~60秒
処理温度:250~800℃、好ましくは400~700℃
処理圧力:1~2666Pa、好ましくは67~1333Pa
成膜処理を完了したウエハを搬出したのち、前記(2-2)で言及したクリーニング処理を、第1ノズル、第2ノズル及び第3ノズルの全てを用いて実施した。ここでは、それぞれのノズルに対して、以下の処理を行った。それぞれ処理は並行して行われる。
第1ノズル(ノズル249a):処理C
第2ノズル(ノズル249b):処理A
第3ノズル(ノズル249c):処理B
クリーニングガス供給流量:1~20slm、好ましくは5~15slm
添加ガス供給流量:0.1~2slm、好ましくは0.5~1.5slm
各ガス供給時間:10~120秒、好ましくは20~40秒
処理温度:250~400℃、好ましくは、250~350℃
処理圧力:1~1000Torr、好ましくは10~500Torr
上記クリーニング処理の後、前記(2-3)で言及したフッ素失活処理を、第1ノズル、第2ノズル及び第3ノズルの全てを用いて実施した。
第1の反応ガス供給流量:1~10slm
第2の反応ガス供給流量:1~10slm
各ガス供給時間:30~300分、好ましくは100~150分
処理温度:600~800℃
処理圧力:5~133Pa、好ましくは5~30Pa
比較例及び実施例における成膜安定性の結果を、図4及び図5にそれぞれ示す。なお、図4及び図5においては、グラフの縦軸はウエハ200の膜厚(基準膜厚に対する増減を単位オングストロームで表す。)を表し、横軸は成膜処理の回数を表す。また、両図の破線は基準膜厚を示す。さらに、両図において、クリーニング処理及びフッ素失活処理を行った時点を矢印で示す。
以上、本開示の態様を具体的に説明した。しかしながら、本開示の態様は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
(Si含有原料ガス→酸化ガス(第2の反応ガス)→窒化ガス)×n ⇒ SiON
(Si含有原料ガス→窒化ガス→酸化ガス(第2の反応ガス))×n ⇒ SiON
(Si含有原料ガス→窒化ガス)×n ⇒ SiN
ここで、炭素含有ガスは、たとえばプロピレンガス(C3H6ガス)であり、窒化ガスは、たとえばアンモニアガス(NH3ガス)である。
以下、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
(c)前記(b)の工程の後に、前記反応管内に次の基板を搬入する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記(a)の工程において、前記複数のノズルの内、前記少なくとも一つのノズル以外のノズルには前記クリーニングガスを供給しないように形成されている。
付記1又は2に記載の方法であって、好ましくは、
前記(a)の工程では、前記複数のノズルの内、前記少なくとも一つのノズル以外のノズルへのガスの供給量を実質的にゼロとする。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記複数のノズルの全てに対して、前記工程(a)を行う。
付記1又は付記4に記載の方法であって、好ましくは、
前記複数のノズル全てに対して、同時期に前記工程(a)を行う。
付記1~5のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(d)前記複数のノズルの内、前記工程(a)が行われたノズルに対して、窒素と酸素とを含むガスを供給する工程を更に有する。
付記6に記載の方法であって、好ましくは、
(e)前記工程(a)と前記工程(d)とを交互に行う。
付記1~7のいずれか1項に記載の方法であって、好ましくは、
(f)前記工程(b)において、前記水素と酸素を含むガスが、前記ノズル内で活性化するよう、ヒータにより前記複数のノズルを加熱する。
付記8に記載の方法であって、好ましくは、
前記工程(f)では、前記複数のノズルの主領域が実質的に均一な温度になるように加熱される。
付記8又は付記9に記載の方法であって、好ましくは、
前記工程(f)では、前記反応管内の前記基板が位置する領域に対応する位置に配置された前記ヒータにより加熱される。
付記10に記載の方法であって、好ましくは、
前記基板は、製品基板である。
付記8に記載の方法であって、好ましくは、
前記複数のノズルの少なくとも孔が設けられた領域は、前記ヒータと対向する位置となるように前記複数のノズルと前記ヒータとのいずれか一方又は両方が配置される。
付記8~12に記載の方法であって、好ましくは、
前記ヒータは、前記複数のノズル内の前記ガスの流れ方向に沿って複数のゾーンに分割して構成され、
(g)前記工程(a)と前記工程(b)とでは、前記複数のゾーンの温度制御を異ならせるように、温度を変更する。
付記13に記載の方法であって、好ましくは、
前記工程(b)では、前記複数のゾーンの内、少なくとも基板の処理領域に対応するゾーンの温度を実質的に同じ温度に制御する。
付記13に記載の方法であって、好ましくは、
前記工程(b)では、前記複数のゾーンの内、下端側のゾーンの温度を他のゾーンの温度よりも高い温度に制御する。
付記1~15のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
(h)前記反応管の外側で、第2ヒータにより、前記水素と酸素を含むガスを加熱する工程を更に有する。
本開示の更に他の態様によれば、
複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
を有するノズルのクリーニング方法が提供される。
本開示の更に他の態様によれば、
内部で基板が処理される反応管と、
前記反応管内に対し基板を搬入及び搬出する搬送機構と、
前記反応管に各種のガスを供給する複数のノズルと、
前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、
前記少なくとも一つのノズルに対して水素と酸素とを含むガスを供給する水素酸素含有ガス供給系と、
付記1の各処理(各工程)を行わせるように、前記搬送機構、前記クリーニングガス供給系及び前記水素酸素含有ガス供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本開示の更に他の態様によれば、
付記1の各手順(各工程)をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム、又は、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
203 反応管
232a ガス供給管(第1配管)
232b ガス供給管(第2配管)
232c ガス供給管(第3配管)
249a ノズル(第1ノズル)
249b ノズル(第2ノズル)
249c ノズル(第3ノズル)
Claims (5)
- 複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
(c)前記(b)の工程の後に、前記反応管内に次の基板を搬入する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記(a)の工程において、前記複数のノズルの内、前記少なくとも一つのノズル以外のノズルには前記クリーニングガスを供給しない、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後で、
(a)前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する工程と、
(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する工程と、
を有するノズルのクリーニング方法。 - 内部で基板が処理される反応管と、
前記反応管内に対し基板を搬入及び搬出する搬送機構と、
前記反応管に各種のガスを供給する複数のノズルと、
前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、
前記少なくとも一つのノズルに対して水素と酸素とを含むガスを供給する水素酸素含有ガス供給系と、
(a)前記反応管内で基板を処理して搬出した後で、前記少なくとも一つのノズルに前記クリーニングガスを供給する処理と、(b)前記(a)の工程が行われた前記少なくとも一つのノズルに前記水素と酸素とを含むガスを供給する処理と、(c)前記(b)の工程の後に、前記反応管内に次の基板を搬入する処理と、を行わせるように、前記搬送機構、前記クリーニングガス供給系及び前記水素酸素含有ガス供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - (a)複数のノズルを有する反応管内で基板を処理して搬出した後の前記複数のノズルのうちの少なくとも一つのノズルにクリーニングガスを供給する手順と、
(b)前記(a)の手順が行われた前記少なくとも一つのノズルに水素と酸素とを含むガスを供給する手順と、
(c)前記(b)の手順の後に、前記反応管内に次の基板を搬入する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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