JP2022140949A - X-ray inspection device and X-ray inspection method - Google Patents

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啓雅 笠原
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Abstract

To provide a technique that can reduce the amount of radiation exposure of an object to be inspected and an in-device member in an X-ray inspection device.SOLUTION: An X-ray inspection device comprises: an X-ray source (10); an X-ray source control unit that controls X-ray irradiation performed by the X-ray source; an X-ray camera (20); and a holding unit (40) that holds an object to be inspected. The X-ray inspection device photographs an X-ray image with any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding unit making a revolving motion as a revolving unit (10, 20, 40) and inspects the object to be inspected. The revolving unit sequentially makes the revolving motion at a plurality of places and makes a moving motion from one revolving circle to the next revolving circle. The revolving unit further includes a locus calculation unit (111b) that, so as to move from a revolution end point of one revolving motion to a revolution start point of the next revolving motion in a predetermined time, determines the next revolution start point and a specific movement locus connecting the revolution end point and the revolution start point to each other. The X-ray source control unit (105) stops irradiation with an X-ray from the X-ray source or reduces the amount of irradiation at least at a part in the predetermined time.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、検査対象のＸ線画像を複数取得して３次元データを作成するＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that acquires a plurality of X-ray images of an inspection object and creates three-dimensional data.

従前より、基板表面等の検査対象のＸ線画像を複数の方向から撮影し、撮影された複数のＸ線画像から３次元データを作成し、検査箇所の内部構造の検査を行う技術がある。この例としては、トモシンセシスやＣＴなどの技術を挙げることができる。この技術においては、検査対象の検査箇所に対して、Ｘ線源からＸ線を照射し、透過したＸ線をＸ線カメラで撮影する。そして、Ｘ線源、検査対象、Ｘ線カメラの位置関係を相対的に変化させつつ複数枚のＸ線画像を撮影する。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is a technique of taking X-ray images of an object to be inspected, such as a substrate surface, from multiple directions, creating three-dimensional data from the taken multiple X-ray images, and inspecting the internal structure of the inspection location. Examples of this include techniques such as tomosynthesis and CT. In this technique, X-rays are emitted from an X-ray source to an inspection location to be inspected, and the transmitted X-rays are photographed by an X-ray camera. Then, a plurality of X-ray images are captured while relatively changing the positional relationship among the X-ray source, inspection object, and X-ray camera.

その際、Ｘ線源、検査対象、Ｘ線カメラの少なくともいずれかを旋回運動させることにより互いの相対位置を変化させ、一回の旋回運動が終わり当該検査箇所の撮影が終わると、次の検査箇所を撮影するための撮影位置へ移動運動を行い、さらに旋回運動させる。よって、検査対象の検査時間を短縮するためには、上記した旋回運動と移動運動とを効率的に行う必要がある。ここで、旋回運動とは、等速で円旋回する運動を示し、円旋回の前の加速助走運動や、円旋回の後の減速制動運動を含まない。一方、移動運動は、旋回円から次の旋回円に移動する運動を示す。例えば、移動運動に係る運動距離は旋回円間の移動距離となる。 At this time, at least one of the X-ray source, the object to be inspected, and the X-ray camera is rotated to change their relative positions. It is moved to a photographing position for photographing the part, and is further rotated. Therefore, in order to shorten the inspection time for the inspection object, it is necessary to efficiently perform the above-described turning motion and moving motion. Here, the turning motion refers to a circular turning motion at a constant speed, and does not include an acceleration run-up motion before circular turning or a decelerating braking motion after circular turning. On the other hand, the moving motion indicates the motion of moving from one turning circle to the next turning circle. For example, the movement distance related to the moving movement is the movement distance between turning circles.

また、従来は、検査対象の検査時間を短縮するために、Ｘ線画像の撮影中は連続で画像を取り込む連続撮像方式を採用していた。そのためにはＸ線源は、実際に画像を取得している以外の動作においても連続照射していた。そのため、検査対象やＸ線カメラに対しても不要な被曝をさせる場合があった。一方、近年の電子部品などは被曝量が許容範囲を超えると故障することがわかっており、基板上に実装されるＳｏＰやＢＧＡなど高性能化したチップにおいても、メーカのデータシートで被曝量が制約される場合が増加している。 Further, conventionally, in order to shorten the inspection time of an object to be inspected, a continuous imaging method has been adopted in which images are captured continuously during X-ray imaging. For this purpose, the X-ray source is continuously irradiated even during operations other than actually acquiring an image. Therefore, there have been cases where the object to be inspected and the X-ray camera are also exposed to unnecessary radiation. On the other hand, it is known that recent electronic components will fail if the radiation dose exceeds the allowable range. Constraints are increasing.

特開２０１１－２０９０５４号公報JP 2011-209054 A 特開２０１３－２４７２２８号公報JP 2013-247228 A

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、Ｘ線検査装置における検査対象や装置内部材の被曝量を低減できる技術を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of reducing the exposure dose of an object to be inspected and internal members of an X-ray inspection apparatus.

上記の課題を解決するための本発明は、検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置である。 The present invention for solving the above problems is an X-ray source that generates X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit that controls irradiation of X-rays from the X-ray source;
an X-ray camera for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source to the inspection object;
and a holding unit that holds the inspection target,
Any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding section rotates as a rotating section, thereby capturing the X-ray image while changing the imaging direction, and capturing the X-ray image of the object to be inspected. An X-ray inspection apparatus for acquiring and inspecting a three-dimensional image,
The turning section sequentially turns at a plurality of locations and performs a moving movement to move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning start point of the next turning movement and the one turning movement are arranged so that the turning section can move from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement in a predetermined time. a trajectory calculation unit that determines a specific movement trajectory that connects the turning end point of the above and the turning start point of the next turning motion,
The X-ray examination, wherein the X-ray source control unit stops the X-ray irradiation from the X-ray source or reduces the irradiation amount during at least part of the predetermined time. It is a device.

すなわち、本発明におけるＸ線検査装置においては、Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ検査箇所のＸ線画像を撮影して、該検査箇所の３次元画像を取得して検査する。そして、旋回部は、複数の検査箇所について３次元画像を取得するために、異なる場所において順次旋回運動を行う。また、旋回部は、各旋回運動中と、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行う。 That is, in the X-ray inspection apparatus according to the present invention, any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding section rotates as a rotating section, thereby changing the imaging direction and X-ray scanning of the inspection location. A line image is captured to obtain a three-dimensional image of the inspection location for inspection. Then, the swivel unit performs a sequential swivel motion at different locations in order to acquire three-dimensional images of a plurality of inspection locations. Also, during each turning motion, the turning portion performs a moving movement for moving from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement.

そして、その際、旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを所定時間で移動可能なように、軌道算出部が、次の旋回運動の旋回開始点及び、一の旋回運動の旋回終了点と次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する。これにより、旋回部の移動運動は時間基準で管理されることになる。 At that time, the trajectory calculation unit determines the turning start point of the next turning motion so that the turning unit can move from the turning end point of one turning motion to the turning starting point of the next turning motion in a predetermined time. Then, a specific movement trajectory connecting the turning end point of one turning motion and the turning starting point of the next turning motion is determined. As a result, the movement of the swivel unit is managed on a time basis.

さらに、本発明においては、Ｘ線源制御部は、上述の所定時間の中の少なくとも一部の時間において、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減する。すなわち、旋回部が移動運動を行う時間中の少なくとも一部の時間において、Ｘ線源からのＸ線の照射が停止され、または照射量が低減される。これにより、旋回部の移動運動中の不要なＸ線照射を抑制することができ、検査対象や装置内の部材の被曝量を低減することができる。 Furthermore, in the present invention, the X-ray source control unit stops the irradiation of X-rays from the X-ray source or reduces the irradiation amount during at least part of the predetermined time. In other words, X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced during at least part of the time during which the revolving unit moves. As a result, it is possible to suppress unnecessary X-ray irradiation during the moving movement of the rotating part, and to reduce the exposure dose of the object to be inspected and the members in the apparatus.

また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減してもよい。ここで、Ｘ線源のＸ線照射量を制御する場合に、Ｘ線源の管電流を制御する場合と管電圧を制御する場合が考えられる。このいずれを制御してもＸ線源のＸ線照射量を良好に制御できるため、本発明においては、管電流または管電圧の少なくとも一方を制御することとした。これによれば、より簡単な制御で、Ｘ線源のＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能である。なお、管電流を制御する場合は、管電圧を制御する場合と比較して、Ｘ線の照射を停止し、または照射量を低減した後に、Ｘ線源が使用可能な状態まで回復（昇圧）させるのに必要な時間が短いことが分かっている。 Further, in the present invention, the X-ray source control unit stops or reduces at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source to stop X-ray irradiation from the X-ray source, Alternatively, the irradiation dose may be reduced. Here, when controlling the X-ray dose of the X-ray source, it is conceivable to control the tube current of the X-ray source or to control the tube voltage. Since the X-ray dose of the X-ray source can be well controlled by controlling any of these, in the present invention, at least one of the tube current and the tube voltage is controlled. According to this, it is possible to stop the irradiation of X-rays from the X-ray source or reduce the irradiation dose with simpler control. In the case of controlling the tube current, compared with the case of controlling the tube voltage, after stopping the X-ray irradiation or reducing the irradiation amount, the X-ray source is restored to a usable state (boosting). It has been found that the time required to

従って、本発明においては、Ｘ線源制御部は、Ｘ線源における管電流を停止あるいは低減することで、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することとしてもよい。これによれば、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減した後に、より短時間でＸ線源を使用可能な状態にまで回復させることができる。その結果、移動運動に係る所定時間中において、より長い時間、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能となる。よって、より効果的に、検査対象や装置内の部材の被曝量を低減することができる。 Therefore, in the present invention, the X-ray source control unit stops or reduces the tube current in the X-ray source, thereby stopping X-ray irradiation from the X-ray source or reducing the dose. good. According to this, after the X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation dose is reduced, the X-ray source can be restored to a usable state in a shorter time. As a result, it is possible to stop X-ray irradiation from the X-ray source or reduce the irradiation amount for a longer period of time during the predetermined period of locomotion. Therefore, it is possible to more effectively reduce the exposure dose of the object to be inspected and the members in the apparatus.

また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に
回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減するようにしてもよい。 Further, in the present invention, the X-ray source control unit is configured such that the predetermined time is longer than the boosting time during which at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source is recovered from a stopped or reduced state to a usable state. If it is long, X-ray irradiation from the X-ray source may be stopped or the irradiation amount may be reduced.

これによれば、Ｘ線源が移動運動中（すなわち、所定時間中）に、Ｘ線の照射を停止し、または照射量を低減した状態からＸ線源が使用可能な状態に回復できないという状況を、より確実に防止できる。その結果、旋回部が旋回運動を開始時する際に、Ｘ線源が使用可能な状態でないことによる、検査時間の増加や検査精度の低下を防止することができる。 According to this, when the X-ray source is moving (that is, during a predetermined period of time), the X-ray source cannot be restored to a usable state from a state in which the X-ray irradiation is stopped or the irradiation dose is reduced. can be prevented more reliably. As a result, it is possible to prevent an increase in inspection time and a decrease in inspection accuracy due to the X-ray source being unusable when the revolving part starts the revolving motion.

また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減するようにしてもよい。これによれば、Ｘ線源制御部が、Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽し、あるいは遮蔽を解除するだけで、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止しまたは照射量を低減する状態と、Ｘ線源が使用可能な状態とを、即時に切換えることができる。これによれば、Ｘ線源が移動運動中（すなわち、所定時間中）に、より長い時間、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能となる。 Further, in the present invention, the X-ray source control unit shields the X-ray irradiation port of the X-ray source to stop X-ray irradiation from the X-ray source or reduce the irradiation dose. You may do so. According to this, the X-ray source control unit stops X-ray irradiation from the X-ray source or reduces the irradiation amount only by shielding or unshielding the X-ray irradiation port of the X-ray source. It is possible to switch immediately between the state and the state in which the X-ray source is ready for use. This makes it possible to stop X-ray irradiation from the X-ray source or reduce the irradiation dose for a longer period of time while the X-ray source is moving (that is, during a predetermined period of time).

また、本発明においては、前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることとしてもよい。 Further, in the present invention, the turning starting point of the next turning motion is the turning portion, which is the turning portion, among a plurality of candidate points set to be arranged on the turning circle of the next turning motion. any one of the source, the X-ray camera, and the holding part moves from the turning circle of the first turning movement to the turning circle of the next turning movement in the shortest movement time along the specific movement trajectory. It may be calculated as a movable point.

これによれば、旋回部が一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点に移動する際に、次の旋回運動の旋回円上に配置された複数の候補点の中から、最短の移動時間で移動可能な旋回開始点を選択することができる。その結果、より確実に、旋回部が一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点に早期に移動することが可能となる。その結果、より確実に、Ｘ線検査装置における検査対象の検査時間を短縮することが可能となる。ここで、旋回部（Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうち、旋回運動するもの）は、移動運動時には次の旋回運動の旋回開始点に同着するように制御される。そして、上記における最短の移動時間とは、例えば旋回部であるＸ線源とＸ線カメラとが、次の旋回運動の旋回開始点に同着するような移動時間の時間候補を各候補点について算出し、算出された時間候補の中で、最も早い移動時間である。 According to this, when the turning portion moves from the turning end point of one turning motion to the turning starting point of the next turning motion, the point is selected from a plurality of candidate points arranged on the turning circle of the next turning motion. , a turn start point that can be moved in the shortest movement time can be selected. As a result, it is possible to more reliably move the turning portion from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement at an early stage. As a result, it is possible to more reliably shorten the inspection time for the inspection target in the X-ray inspection apparatus. Here, the revolving part (the X-ray source, the X-ray camera, and the holding part that performs revolving motion) is controlled so as to arrive at the revolving starting point of the next revolving motion during the moving motion. The shortest movement time in the above means, for example, the X-ray source and the X-ray camera, which are turning parts, determine a time candidate for the movement time for each candidate point so that the X-ray source and the X-ray camera arrive at the turning starting point of the next turning movement. It is the earliest moving time among the calculated time candidates.

また、本発明においては、前記特定移動軌跡は、前記旋回終了点および／または前記旋回開始点において前記旋回部の線速度または、線速度及び加速度または、線速度、加速度及び躍度が連続となる軌跡であることとしてもよい。 In the present invention, the specific movement trajectory has a continuous linear velocity, linear velocity and acceleration, or linear velocity, acceleration and jerk at the turning end point and/or the turning starting point. It may be a trajectory.

すなわち、本発明の特定移動軌跡においては、旋回終了点および／または旋回開始点において旋回部の線速度が連続となることが要求される。そして、線速度及び加速度が連続であることが望ましい。また、線速度、加速度及び躍度が連続であることが理想である。これによれば、旋回運動から移動運動へ、または移動運動から旋回運動へ移行する際に旋回部に作用する加速や衝撃を緩和することができる。その結果、検査時間をより短縮することが可能となる。ここにおいても上述のとおり、旋回運動とは、等速で円旋回する運動を示し、円旋回の前の加速助走運動や、円旋回の後の減速制動運動を含まない。一方、移動運動は、旋回円から次の旋回円に移動する運動を示す。 That is, in the specific movement trajectory of the present invention, it is required that the linear velocity of the turning portion is continuous at the turning end point and/or turning starting point. It is desirable that the linear velocity and acceleration are continuous. Also, it is ideal that the linear velocity, acceleration and jerk are continuous. According to this, it is possible to reduce the acceleration and impact acting on the turning portion when the turning motion shifts to the moving motion, or when the moving motion shifts to the turning motion. As a result, it is possible to shorten the inspection time. In this case, as described above, the turning motion indicates a circular turning motion at a uniform speed, and does not include an acceleration run-up motion before circular turning or a decelerating braking motion after circular turning. On the other hand, the moving motion indicates the motion of moving from one turning circle to the next turning circle.

また、本発明においては、前記特定移動軌跡は、多項式として、または三角関数に対して媒介変数を用いて算出されるようにしてもよい。これによれば、特定移動軌跡を一般的な数学的解法により取得することが可能である。なお、前記特定移動軌跡は、その他の数
式によって定義されてもよく、特に制限されない。 Further, in the present invention, the specific movement trajectory may be calculated as a polynomial or using a parameter for a trigonometric function. According to this, it is possible to obtain the specific movement trajectory by a general mathematical solution. Note that the specific movement trajectory may be defined by other mathematical formulas, and is not particularly limited.

また、本発明においては、前記旋回部は、前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラであり、前記保持部はＸ線検査装置内の所定位置に保持されるようにしてもよい。この場合には、検査対象を固定し、検査対象の上下においてＸ線カメラとＸ線源に旋回運動と移動運動を行わせることで検査を行うことができ、Ｘ線検査装置内における非検査物の移動機構、搬入機構等を単純化することが可能である。 Further, in the present invention, the rotating section may be the X-ray source and the X-ray camera, and the holding section may be held at a predetermined position within the X-ray inspection apparatus. In this case, the object to be inspected can be fixed, and the X-ray camera and the X-ray source can be rotated and moved above and below the object to be inspected. It is possible to simplify the moving mechanism, carrying-in mechanism, and the like.

また、本発明は、検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法であってもよい。 In addition, the present invention provides an X-ray source that generates X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit that controls irradiation of X-rays from the X-ray source;
an X-ray camera for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source to the inspection object;
and a holding unit that holds the inspection target,
Any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding section rotates as a rotating section, thereby capturing the X-ray image while changing the imaging direction, and capturing the X-ray image of the object to be inspected. An X-ray inspection method using an X-ray inspection apparatus for acquiring and inspecting a three-dimensional image,
The turning section sequentially turns at a plurality of locations and performs a moving movement to move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning start point of the next turning movement and the one turning movement are arranged so that the turning section can move from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement in a predetermined time. determining a specific movement trajectory that connects the turning end point of and the turning start point of the next turning motion;
The X-ray inspection method may be characterized in that X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced during at least part of the predetermined time.

また、本発明は、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。 Further, the present invention is characterized in that the X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced by stopping or reducing at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source. The above X-ray inspection method may be used.

また、本発明は、前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１０に記載のＸ線検査方法であってもよい。 Further, according to the present invention, the X-ray source control unit is configured such that the predetermined time is longer than the boost time for recovering from a state in which at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source is stopped or reduced to a usable state. 11. The X-ray inspection method according to claim 10, wherein the irradiation of X-rays from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced when the X-ray irradiation occurs.

また、本発明は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。 Further, according to the present invention, X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced by shielding the X-ray irradiation port of the X-ray source. A line inspection method may be used.

また、本発明は、前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。 Further, according to the present invention, the turning starting point of the next turning motion is the turning portion, among a plurality of candidate points set to be arranged on the turning circle of the next turning motion. and either the X-ray camera or the holding unit moves from the turning circle of the first turning movement to the turning circle of the next turning movement along the specific movement trajectory in the shortest movement time. The above X-ray inspection method may be characterized in that it is calculated as possible points.

以上のように本発明は、上記手段の少なくとも一部を含むＸ線検査装置として捉えることができる。また、本発明は、上記手段が行う処理の少なくとも一部を含むＸ線検査方法として捉えることもできる。また、これらの方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムや、当該プログラムを非一時的に記憶したコンピュータ読取可能な記憶媒体として捉えることもできる。上記構成および処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。 As described above, the present invention can be regarded as an X-ray inspection apparatus including at least part of the above means. Moreover, the present invention can also be regarded as an X-ray inspection method including at least part of the processing performed by the above means. It can also be regarded as a computer program for causing a computer to execute each step of these methods, and a computer-readable storage medium that non-temporarily stores the program. Each of the above configurations and processes can be combined to form the present invention as long as there is no technical contradiction.

本発明によれば、Ｘ線検査装置における検査対象や装置内部材の被曝量を低減することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to reduce the exposure dose of an object to be inspected and internal members of an X-ray inspection apparatus.

本発明の実施例におけるＸ線検査装置の概要を示す図である。1 is a diagram showing an overview of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の実施例におけるＸ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the turning motion of an X-ray source or an X-ray camera, and a moving motion in the Example of this invention. 本発明１の実施例におけるＸ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の軌跡の例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of trajectories of turning motion and moving motion of the X-ray source or X-ray camera in the embodiment of the present invention 1; 本発明の実施例における低被曝制御と、Ｘ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the low-dose control, the turning movement of an X-ray source or an X-ray camera, and a moving movement in the Example of this invention. 本発明の実施例２における次の旋回運動の旋回開始点を決定するする方法について説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a method of determining a turning start point of the next turning motion in the second embodiment of the present invention; 本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートである。8 is a flow chart showing control of an X-ray source and an X-ray camera in Example 2 of the present invention; 本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。It is a continuation of the flowchart which shows control of the X-ray source and X-ray camera in Example 2 of this invention. 本発明の実施例に２おけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。It is a continuation of the flowchart which shows control of an X-ray source and an X-ray camera in Example 2 of this invention. 本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。It is a continuation of the flowchart which shows control of the X-ray source and X-ray camera in Example 2 of this invention. 本発明の実施例２における低被曝制御の効果を示すグラフである。It is a graph which shows the effect of the low exposure control in Example 2 of this invention. 本発明の実施例３における次の旋回運動の旋回開始点を決定する方法について説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a method of determining a turning start point of the next turning motion in Example 3 of the present invention; 本発明におけるＸ線検査装置の別例を示す図である。It is a figure which shows another example of the X-ray inspection apparatus in this invention.

〔適用例〕
以下に本発明の適用例について一部の図面を用いて説明する。本発明は図１に示すようなＸ線検査装置１に適用される。Ｘ線検査装置１では、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過量によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はそれぞれ旋回円１２１，１２２上を旋回運動し、軌跡上の複数の位置において検査対象ＳのＸ線画像の撮影を行う。その後、別の検査箇所を検査するために、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、次の旋回円まで移動運動を行い、さらに旋回円上を旋回運動しつつＸ線画像の撮影を行う。 [Example of application]
Application examples of the present invention will be described below with reference to some of the drawings. The present invention is applied to an X-ray inspection apparatus 1 as shown in FIG. In the X-ray inspection apparatus 1, an X-ray source 10 irradiates an object S to be inspected with X-rays, and an X-ray camera 20 captures an X-ray image based on the amount of transmission. The X-ray source 10 and the X-ray camera 20 rotate on the circles 121 and 122, respectively, and take X-ray images of the inspection object S at a plurality of positions on the trajectory. After that, both the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 move to the next turning circle in order to inspect another inspection point, and take an X-ray image while making a turning movement on the turning circle. .

ここで、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０が旋回運動から移動運動に移行する場合には、図２（ａ）に示すように、一旦停止する停止区間が設けられていた。これに伴い、旋回運動の前後において旋回円上の加速運動及び減速運動が追加されていた。本適用例では、図２（ｂ）に示すように、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０が旋回運動から移動運動に移行する場合の停止区間を無くした。これにより、余分な停止状態や余分な旋回運動が省略され、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０がより迅速に旋回円から次の旋回円に移動することが可能となる。 Here, when the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 shift from turning motion to moving motion, as shown in FIG. Accompanying this, an acceleration motion and a deceleration motion on a turning circle are added before and after the turning motion. In this application example, as shown in FIG. 2(b), the stop section is eliminated when the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 shift from turning motion to moving motion. This eliminates extra stops and extra pivoting motions, allowing the X-ray source 10 and X-ray camera 20 to move more quickly from one pivot circle to the next.

また、本適用例では、図３に示すように、ｎ回目の旋回円１２２ｎ（１２２ａ）からｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）に移動する際の移動運動の軌跡として、ｎ回目の旋回円１２２ｎとｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び、最短の時間で移動可能な軌跡を用いることとした。これにより、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０に過度な加速度や衝撃を与えることなく、より迅速に移動する
ことが可能となる。なお、上記の、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び、最短の時間で移動可能な軌跡は、後述のように、Ｘ線源１０及び／またはＸ線カメラの線速度、軸速度、加速度及び移動範囲が、許容値を超えない（オーバーリミットにならない）範囲内のものである必要がある。 Further, in this application example, as shown in FIG. 3, the trajectory of the movement when moving from the n-th turning circle 122n (122a) to the (n+1)-th turning circle 122n+1 (122b) is the n-th turning circle 122n. and the (n+1)-th turning circle 122n+1 are smoothly connected at the turning end point and the turning starting point, and a trajectory that can be moved in the shortest time is used. As a result, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 can be moved more quickly without excessive acceleration or impact. Note that the trajectory that smoothly connects the turning end point and the turning start point and that can be moved in the shortest time is the linear velocity, axial velocity, and acceleration of the X-ray source 10 and/or the X-ray camera, as described later. And the movement range must be within a range that does not exceed the allowable value (does not become over limit).

さらに、本適用例では、図４（ｂ）に示したように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動に係る移動時間中の少なくとも一部について、低被曝制御を行うこととした。この低被曝制御は、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにするか、Ｘ線照射量を低減する制御である。この制御によれば、Ｘ線源１０からの不要なＸ線照射を低減することができ、検査対象Ｓは当然、Ｘ線カメラ２０をはじめとする、Ｘ線検査装置1内の部材における被曝量も低減
することが可能である。 Furthermore, in this application example, as shown in FIG. 4B, when the n-th turning motion is shifted to the (n+1)-th turning motion, the moving motion, which is the motion other than the motion for actually acquiring the image, is performed. We decided to perform low exposure control for at least part of the movement time related to exercise. This low exposure control is control to turn off the X-ray irradiation from the X-ray source 10 or to reduce the X-ray irradiation amount. According to this control, unnecessary X-ray irradiation from the X-ray source 10 can be reduced. can also be reduced.

なお、本適用例における低被曝制御は、図３に示したような、ｎ回目の旋回円１２２ｎ（１２２ａ）における旋回終了点と、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）における旋回開始点が予め固定されている場合の他、移動時間が最短になるように都度、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）における旋回開始点を決める場合にも適用可能である。 In the low-dose control in this application example, as shown in FIG. 3, the turning end point of the n-th turning circle 122n (122a) and the turning starting point of the n+1-th turning circle 122n+1 (122b) are fixed in advance. In addition to the case where the movement time is the shortest, the turning start point of the n+1-th turning circle 122n+1 (122b) is determined each time.

その場合には、図４に示すような方法で、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点を決定してもよい。より具体的には、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１上に配置された例えばｍ個（ｍは所定の整数）の候補点を設定する。その際、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１においてＸ線カメラ２０が時計回りに旋回する場合と、反時計回りに旋回する場合とを想定する。 In that case, the turning start point on the (n+1)-th turning circle 122n+1 may be determined by the method shown in FIG. More specifically, for example, m (m is a predetermined integer) candidate points arranged on the n+1-th turn circle 122n+1 are set. At that time, it is assumed that the X-ray camera 20 turns clockwise and counterclockwise on the n+1-th turning circle 122n+1.

そして、この時計回りの場合と反時計回り場合の合計２ｍ個（ｍの2倍）の候補点につ
いて、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を求め、移動時間を算出する。そして、移動時間が最短となる候補点をｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。これにより、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の間の移動時間をより確実に最短とし、検査時間の短縮を図ることが可能である。 Then, for a total of 2m (twice as many as m) candidate points for the clockwise and counterclockwise directions, the turning end point on the n-th turning circle 122n and the turning starting point on the n+1-th turning circle 122n+1 are determined. A curve that connects smoothly and allows movement in the shortest time is obtained, and the movement time is calculated. Then, the candidate point with the shortest movement time is set as the turning start point on the n+1-th turning circle 122n+1. As a result, the movement time between the turning end point of the n-th turning circle 122n and the turning start point of the n+1-th turning circle 122n+1 can be more reliably minimized, and the inspection time can be shortened.

以下に各図面（上記の適用例で一旦説明した図も含む）を順次参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている具体的構成は、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail below based on examples with reference to each drawing (including the drawings once described in the application example above). However, the specific configurations described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to them, unless otherwise specified.

〔実施例１〕
本発明の実施例１に係るＸ線検査装置は、例えば、プリント基板にはんだ付けされた電子部品のはんだ付け状態やボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のバンプ等の良否判定をする装置である。より具体的には、Ｘ線源と検査対象とを相対的に移動させて複数回のＸ線撮影を行い、検査対象場所の内部の状態を取得し、適切な位置での断面画像を生成して、当該断面画像に基づいて良否を検査する。 [Example 1]
The X-ray inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention is, for example, an apparatus for judging the soldering state of electronic components soldered to a printed circuit board and the quality of bumps of a ball grid array (BGA). More specifically, X-ray imaging is performed multiple times while the X-ray source and the object to be inspected are moved relative to each other, the internal state of the place to be inspected is acquired, and a cross-sectional image is generated at an appropriate position. Then, the quality is inspected based on the cross-sectional image.

＜装置構成＞
図１には、本発明の実施例１に係るＸ線検査装置１における、Ｘ線源１０、検査対象Ｓを保持する保持部４０、Ｘ線カメラ２０の配置図を示す。Ｘ線検査装置１においては、搬送ローラ（不図示）によって搬送され保持部４０に保持される検査対象Ｓにおける各検査箇所について、複数の撮影位置においてＸ線画像を撮影して３次元データを取得する。具
体的には、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過光によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、ステージ（不図示）によって移動可能である。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はこれらのステージによってそれぞれ旋回円１２１，１２２上を移動し、旋回円上の複数の位置において撮影が行われる。 <Device configuration>
FIG. 1 shows a layout diagram of an X-ray source 10, a holding section 40 for holding an inspection object S, and an X-ray camera 20 in an X-ray inspection apparatus 1 according to Embodiment 1 of the present invention. In the X-ray inspection apparatus 1, three-dimensional data is obtained by capturing X-ray images at a plurality of imaging positions for each inspection location on an inspection object S conveyed by a conveying roller (not shown) and held by a holding unit 40. do. Specifically, the X-ray source 10 irradiates the object S to be inspected with X-rays, and the X-ray camera 20 captures an X-ray image of transmitted light. Both the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 are movable by a stage (not shown). The X-ray source 10 and the X-ray camera 20 are moved on turning circles 121 and 122 by these stages, respectively, and imaging is performed at a plurality of positions on the turning circles.

Ｘ線検査装置１における各部の制御は制御部１００からの制御信号に基づいて行われる。Ｘ線検査装置１は、制御部１００として、カメラ用ＸＹステージ制御部１０１、カメラ制御部１０２、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７を備える。加えて、高さ計測部１０３、検査対象位置制御部１０４、Ｘ線源制御部１０５、撮像高さ制御部１０６を備える。さらに、Ｘ線検査装置１は、演算部１１１、主記憶部１１２、補助記憶部１１３、入力部１１４、出力部１１５を備える。 Control of each section in the X-ray inspection apparatus 1 is performed based on a control signal from the control section 100 . The X-ray inspection apparatus 1 includes a camera XY stage controller 101 , a camera controller 102 , and an X-ray source XY stage controller 107 as a controller 100 . In addition, a height measurement unit 103, an inspection target position control unit 104, an X-ray source control unit 105, and an imaging height control unit 106 are provided. Furthermore, the X-ray inspection apparatus 1 includes a calculation unit 111 , a main storage unit 112 , an auxiliary storage unit 113 , an input unit 114 and an output unit 115 .

カメラ用ＸＹステージ制御部１０１は、カメラ用ＸＹステージ（不図示）を駆動しＸ線カメラ２０の水平方向の移動を行うための制御信号を送信する。カメラ制御部１０２は、Ｘ線カメラ２０によるＸ線画像の撮影を行うための制御信号を送信する。高さ計測部１０３は、変位計３０からの信号を受信して検査対象Ｓの被検箇所の高さを計測する。検査対象位置制御部１０４は、搬送ローラ及び検査対象Ｓの保持部４０に制御信号を送信し検査対象Ｓの水平方向位置及び鉛直方向位置を撮影に最適な位置に制御する。 The camera XY stage control unit 101 transmits control signals for driving the camera XY stage (not shown) and moving the X-ray camera 20 in the horizontal direction. The camera control unit 102 transmits a control signal for capturing an X-ray image with the X-ray camera 20 . The height measurement unit 103 receives a signal from the displacement meter 30 and measures the height of the test site of the inspection target S. The inspection object position control unit 104 transmits control signals to the conveying rollers and the holding unit 40 of the inspection object S, and controls the horizontal and vertical positions of the inspection object S to the optimum positions for photographing.

Ｘ線源制御部１０５は、Ｘ線源１０によるＸ線の照射の開始、終了の他、Ｘ線強度を調整するための信号を送信する。撮像高さ制御部１０６は、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の高さ制御用の信号を送信する。Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７は、Ｘ線源用ＸＹステージ（不図示）を駆動しＸ線源１０の水平方向の移動を行うための信号を送信する。カメラ用ＸＹステージ制御部１０１、カメラ制御部１０２、検査対象位置制御部１０４、Ｘ線源制御部１０５、撮像高さ制御部１０６、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７から出力される信号は演算部１１１の演算結果及び、主記憶部１１２、補助記憶部１１３に記憶された情報に基づいて決定される。 The X-ray source control unit 105 transmits a signal for starting and ending X-ray irradiation by the X-ray source 10 and for adjusting the X-ray intensity. The imaging height control unit 106 transmits signals for height control of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 . The X-ray source XY stage control unit 107 transmits signals for driving the X-ray source XY stage (not shown) and moving the X-ray source 10 in the horizontal direction. Signals output from camera XY stage controller 101, camera controller 102, inspection object position controller 104, X-ray source controller 105, imaging height controller 106, and X-ray source XY stage controller 107 are calculated. It is determined based on the calculation result of the unit 111 and the information stored in the main storage unit 112 and the auxiliary storage unit 113 .

特に演算部１１１の撮像命令部１１１ａは、カメラ制御部１０２を含む各部に対し、Ｘ線画像取得に必要な情報を送信する。また、軌跡算出部１１１ｂは、後述する手法により、Ｘ線源１０やＸ線カメラ２０が沿うべき軌跡を算出するとともに、旋回運動の旋回開始点を選択する。また、ユーザとの間の設定情報、検査結果等の情報の授受は、入力部１１４及び出力部１１５を介して行われる。 In particular, the imaging instruction unit 111a of the calculation unit 111 transmits information necessary for acquiring an X-ray image to each unit including the camera control unit 102. FIG. Further, the trajectory calculation unit 111b calculates trajectories along which the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 should follow, and selects a turning start point of the turning motion, by a method described later. Information such as setting information and inspection results is exchanged with the user via the input unit 114 and the output unit 115 .

Ｘ線カメラ２０は、Ｘ線源１０から照射され、検査対象Ｓを透過したＸ線を検出する２次元Ｘ線検出器である。Ｘ線カメラ２０としては、Ｉ．Ｉ．（Image Intensifier）管や
、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。ここでは１つのみのＸ線カメラ２０が採用されているが、複数個のＸ線カメラを用いても構わない。 The X-ray camera 20 is a two-dimensional X-ray detector that detects X-rays emitted from the X-ray source 10 and transmitted through the object S to be inspected. As the X-ray camera 20, an I.D. I. (Image Intensifier) tube or FPD (Flat Panel Detector) can be used. Although only one X-ray camera 20 is employed here, a plurality of X-ray cameras may be used.

変位計３０は、検査対象Ｓまでの距離を、検査対象Ｓの複数の位置について計測する。したがって、変位計３０によって検査対象Ｓの反りや傾きを計測することが可能である。検査対象Ｓの製造過程においては、反りや傾きが生じることがあり、その量は個体によって異なる。そこで、それぞれの検査対象Ｓの反りや傾きを計測して、保持部４０の高さ位置を調整して適切なＸ線撮影が行えるようにする。保持部４０は高さ位置を調整後、固定される。この保持部４０が固定される位置は、本実施例における所定位置に相当する。 The displacement meter 30 measures the distance to the inspection target S at a plurality of positions on the inspection target S. As shown in FIG. Therefore, it is possible to measure the warpage and inclination of the inspection object S by the displacement meter 30 . During the manufacturing process of the inspection target S, warping and tilting may occur, and the amount varies depending on the individual. Therefore, the warpage and inclination of each inspection object S are measured, and the height position of the holding unit 40 is adjusted so that appropriate X-ray imaging can be performed. The holding part 40 is fixed after adjusting the height position. The position where the holding portion 40 is fixed corresponds to the predetermined position in this embodiment.

以上の構成により、Ｘ線検査装置１は、様々な方向から基板を撮像できるように、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０の位置を制御することができる。本実施例では、このように様々な方向からの撮像結果を基に、ＣＴ（Computed Tomography）と呼ばれる３次元データ生
成手法を用いて、検査対象Ｓの被検箇所の３次元データを生成する。 With the above configuration, the X-ray inspection apparatus 1 can control the positions of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 so that the board can be imaged from various directions. In the present embodiment, based on the results of imaging from various directions as described above, three-dimensional data of the inspection site of the inspection target S is generated using a three-dimensional data generation method called CT (Computed Tomography).

なお、演算部１１１としては、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と呼ばれる一般的な汎用演算装置を用いることができる。主記憶部１１２としてはＲＡＭなどのメモリを用いることができる。補助記憶部１１３は、ＲＯＭやＨＤＤなどを用いることができる。入力部１１４は、キーボード、ボタン、スイッチ、マウスなど、ユーザが演算部１１１に対して指示を入力可能な任意の装置である。出力部１１５は、ディスプレイ、スピーカなど、映像や音声等によって演算部１１１からの出力をユーザに提示可能な任意の装置である。 Note that a general general-purpose arithmetic unit called a CPU (Central Processing Unit) can be used as the arithmetic unit 111 . A memory such as a RAM can be used as the main storage unit 112 . Auxiliary storage unit 113 can use a ROM, an HDD, or the like. The input unit 114 is any device such as a keyboard, button, switch, mouse, etc., through which a user can input instructions to the calculation unit 111 . The output unit 115 is an arbitrary device, such as a display and a speaker, capable of presenting the output from the calculation unit 111 to the user through video, audio, or the like.

すなわち、一般的なコンピュータシステムを用いて、これらの機能を実現することができる。補助記憶部１１３に格納されたプログラムを演算部１１１が読み込んで実行することにより、以下に示す、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０の移動制御が行われる。なお、本実施例における演算部１１１は、並列演算が可能であり、複数のＣＰＵを含んでいてもよいし、一つのＣＰＵ中に複数の並列演算機能を含んでいてもよい。 That is, these functions can be realized using a general computer system. The computer 111 reads and executes the program stored in the auxiliary memory 113 to control the movement of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 as described below. Note that the calculation unit 111 in this embodiment is capable of parallel calculation, and may include a plurality of CPUs, or may include a plurality of parallel calculation functions in one CPU.

ここで、図１に示すように、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０は、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７及びカメラ用ＸＹステージ制御部１０１からの制御信号に基づいて、それぞれ旋回円１２１，１２２上を移動し、軌跡上の複数の位置においてＸ線画像の撮影が行われる。そして、検査対象Ｓ上の各検査箇所に対して旋回円１２１、１２２上を旋回運動することで、当該検査箇所の３次元画像の作成が可能となる。そして、検査対象Ｓの検査を行う場合には、検査箇所の位置が複数あるために、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０は一回の３６０度に亘る旋回運動（ｎ回目の旋回運動ともいう）を行って当該検査箇所のＸ線画像を取得した後に、次の被検箇所を撮影可能な位置まで移動運動を行う。そして、その位置から次の３６０度に亘る旋回運動（ｎ＋１回目の旋回運動ともいう）を開始する。 Here, as shown in FIG. 1, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 are controlled by a turning circle 121 based on control signals from the X-ray source XY stage controller 107 and the camera XY stage controller 101, respectively. , 122, and X-ray images are taken at a plurality of positions on the trajectory. By making a turning motion on the turning circles 121 and 122 with respect to each inspection point on the inspection object S, it is possible to create a three-dimensional image of the inspection point. When inspecting the inspection target S, since there are a plurality of inspection positions, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 rotate once over 360 degrees (also referred to as n-th rotation). ) to obtain an X-ray image of the inspection location, the robot moves to a position where the next inspection location can be imaged. Then, from that position, the next 360-degree turning movement (also referred to as n+1-th turning movement) is started.

図２には、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０が、ｎ回目の旋回運動を行い、移動運動を行い、ｎ＋１回目の旋回運動を行う場合のＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の軌跡を示す。その際、従来の技術によれば、図２（ａ）に示すように、ｎ回目の旋回運動を行う前に加速運動が行われ、ｎ回目の旋回運動は等速で行われ、ｎ回目の旋回運動（３６０度）が完了した後に、減速運動が行われ一旦停止する。そして、その後に、予め決められた軌跡に沿って移動運動が行われる。これは、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０の旋回運動中は、高速で高画質なＸ線画像の撮影を行うため、高速で等速円運動を行う必要があるからである。 FIG. 2 shows the trajectory of the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 when the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 performs n-th turning motion, moving motion, and n+1-th turning motion. show. At that time, according to the conventional technique, as shown in FIG. After the turning motion (360 degrees) is completed, the deceleration motion is performed and stopped. After that, locomotion is performed along a predetermined trajectory. This is because the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 must perform a uniform circular motion at high speed during the turning motion in order to obtain high-quality X-ray images at high speed.

そして、同様に、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０が、移動運動が終了して停止後に、再度加速運動が行われ、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０は旋回運動の開始点に到達する前に所定の速度まで加速され、その後ｎ＋１回目の旋回運動（３６０度）が開始される。換言すると、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０は、n回目の旋回運動における撮像が終了
したのちに減速制動距離を設け一旦停止し、n＋１回目の旋回に備え、加減速を伴う移動
運動を行い移動後に停止する。そののちに、n＋１回の撮影ができるように旋回軌道に沿
って加速を行う。 Then, similarly, after the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 has finished moving and stopped, the acceleration movement is performed again, and the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 reaches the starting point of the turning movement. First, it is accelerated to a predetermined speed, and then the n+1th turning motion (360 degrees) is started. In other words, the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 temporarily stops by providing a deceleration braking distance after completing imaging in the n-th turning motion, and performs a moving motion accompanied by acceleration and deceleration in preparation for the n+1-th turning motion. Stop after moving. After that, it accelerates along the turning trajectory so that n+1 shots can be taken.

それに対し、本実施例においては、図２（ｂ）に示すように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動への移動運動中において停止区間を無くし、Ｘ線画像の撮影のための旋回運動の他に、停止前後の加減速のための旋回運動を行わない。 On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 2(b), there is no stopping section during the moving movement from the n-th turning movement to the n+1-th turning movement, and turning for X-ray imaging is eliminated. In addition to motion, no turning motion is performed for acceleration/deceleration before and after stopping.

そして、本実施例では、移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに繋ぐ軌跡のうち、最短の時間で移動可能な軌跡とする。ここで、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円を滑らかに繋ぐ軌跡とは、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ
線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度が連続となる軌跡であってもよい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度及び加速度が連続となる軌跡であることが望ましい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度、加速度及び躍度が連続であることが理想である。また、加速度が連続の場合には、加速度が０であることが理想である。 In this embodiment, the trajectory of the movement motion is the shortest of the trajectories that smoothly connect the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion at the turning end point and turning start point. Let the trajectory be movable in time. Here, the trajectory that smoothly connects the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion is X at the turning end point and/or turning start point.
The trajectory may be such that the linear velocity of the radiation source 10 or the X-ray camera 20 is continuous. Alternatively, it is desirable that the trajectory is such that the linear velocity and acceleration of the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 are continuous at the turning end point and/or turning starting point. Alternatively, it is ideal that the linear velocity, acceleration and jerk of the X-ray source 10 or the X-ray camera 20 are continuous at the turn end point and/or turn start point. Also, when the acceleration is continuous, it is ideal that the acceleration is 0.

図３には、その場合の移動運動の軌跡の例を示す。図中の矢印と丸１～丸３の番号は、各々ｎ回目の旋回運動、移動運動、ｎ＋１回目の旋回運動に相当する。図３（ａ）は、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡の例を示す。図３（ａ）に示すように、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａは、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ａと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｂとを、両者の最上の点（以下、この点を０度位置または３６０度位置ともいう）において繋ぐ曲線のうち最短の時間で移動可能な曲線となっている。 FIG. 3 shows an example of the locus of locomotion in that case. The arrows and the numbers circled 1 to 3 in the drawing correspond to the n-th turning motion, the moving motion, and the n+1-th turning motion, respectively. FIG. 3A shows an example of the locus of movement of the X-ray camera 20 . As shown in FIG. 3A, the trajectory 123a of the moving motion of the X-ray camera 20 includes a turning circle 122a of the n-th turning movement and a turning circle 122b of the (n+1)-th turning movement. (Hereafter, this point is also referred to as the 0-degree position or the 360-degree position), which is the curve that can be moved in the shortest time.

図３（ｂ）には、同様に、Ｘ線源１０の移動運動の軌跡の例を示す。図３（ｂ）に示すように、Ｘ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２１ａと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２１ｂとを、両者の最下の点（以下、この点を１８０度位置ともいう）において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線となっている。ここで、図３（ａ）と図３（ｂ）とで、移動運動の軌跡と各旋回運動の旋回円とが繋がる場所が１８０度異なっているのは、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０は、検査対象Ｓの検査箇所を挟んで点対称となる位置に配置される必要があるからである。この場合、Ｘ線カメラ２０が０度位置または３６０度位置に配置された場合には、Ｘ線源１０は１８０度位置に配置される必要がある。 FIG. 3B similarly shows an example of the trajectory of the movement of the X-ray source 10 . As shown in FIG. 3B, the trajectory 123b of the moving motion of the X-ray source 10 consists of the n-th orbiting circle 121a and the n+1-th orbiting circle 121b at the bottom of both. The point (hereinafter also referred to as the 180-degree position) is a curve that smoothly connects and can be moved in the shortest time. 3(a) and 3(b), the location where the trajectory of the moving motion and the turning circle of each turning motion are connected differs by 180 degrees because the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 This is because they need to be arranged at points symmetrical with respect to the inspection point of the inspection target S. FIG. In this case, if the X-ray camera 20 is placed at the 0-degree position or the 360-degree position, the X-ray source 10 must be placed at the 180-degree position.

なお、図３に示すような、ｎ回目の旋回運動の旋回円と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、所定の点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線は、公知の数学的な手法によって多項式として導出可能であるので、ここでは曲線の導出方法については特に説明しない。また、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を滑らかに結ぶ曲線のうち、最短の時間で移動可能な曲線を導出する方法については、公知の方法で求まった多項式の曲線の各項の係数等の数学的パラメータを振り、繰り返し演算により移動時間が最短のものを選択しても良い。 It should be noted that a curve that smoothly connects the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion at a predetermined point and can be moved in the shortest time as shown in FIG. The method of deriving the curve is not particularly described here, because it can be derived as a polynomial by a similar method. Further, among the curves that smoothly connect the turning end point of the n-th turning motion and the turning starting point of the (n+1)-th turning motion, a method of deriving a curve that allows movement in the shortest time can be obtained by a known method. A mathematical parameter such as a coefficient of each term of the polynomial curve may be changed, and the one with the shortest movement time may be selected by repeated calculation.

なお、図３においては、Ｘ線カメラ２０が図３（ａ）に示す軌跡１２３ａに沿って移動運動した場合の移動時間と、Ｘ線源１０が図３（ｂ）に示す軌跡１２３ｂに沿って移動運動した場合の移動時間が一致するようにしても構わない。すなわち、両者のうち移動時間が長い方の移動運動における速度を高めて両者が同時に移動完了するようにする。そうすることで、両者が同時に移動運動を完了し、次の旋回運動に移行することが可能となる。 3, the movement time when the X-ray camera 20 moves along the trajectory 123a shown in FIG. It is also possible to match the movement time when moving. In other words, the speed of the moving motion of the longer moving time is increased so that both move at the same time. By doing so, it becomes possible for both to complete the movement movement at the same time and shift to the next turning movement.

以上のように、本実施例においては、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０が、ｎ回目の旋回運動から移動運動に移行し、移動運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の停止区間を無くし、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０が停止しない。これにより、Ｘ線画像の撮影のための旋回運動において、停止区間の前後に加減速のための旋回運動を付加する必要がなくなり、旋回運動の終了後、直ちに次の旋回運動への移動運動に移行することができ、移動運動の終了後、直ちに次の旋回運動に移行することができる。その結果、Ｘ線検査装置１における検査時間を短縮することが可能となる。 As described above, in this embodiment, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 shift from the n-th turning motion to the moving motion, and the stop interval when shifting from the moving motion to the (n+1)-th turning motion is The X-ray source 10 and the X-ray camera 20 do not stop. As a result, it is not necessary to add a turning movement for acceleration and deceleration before and after the stop section in the turning movement for taking an X-ray image, and immediately after the turning movement is completed, the moving movement for the next turning movement can be started. It is possible to transition to the next turning movement immediately after the end of the movement movement. As a result, the inspection time in the X-ray inspection apparatus 1 can be shortened.

また、本実施例においては、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において結び最短の時間で移動可能な曲線とした。これにより、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０を、旋回運動から移動運動に、または移動運動から旋回運動
に、より円滑に（過度な加速度や衝撃がＸ線源１０やＸ線カメラ２０に作用することなく）移行することができる。その結果、旋回運動における速度が高い場合でも、より確実に、移動運動の途中で加減速運動を行うことが可能となる。 Further, in this embodiment, the trajectory of the moving motion when shifting from the n-th turning motion to the (n+1)-th turning motion is defined as the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion. A curve that connects the turn end point and the turn start point so that it can be moved in the shortest time. As a result, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 can be smoothly shifted from the turning motion to the moving motion, or from the moving motion to the turning motion (excessive acceleration and impact acting on the X-ray source 10 and the X-ray camera 20). ) can be migrated. As a result, even when the speed of the turning motion is high, it becomes possible to perform the acceleration/deceleration motion more reliably during the movement motion.

また、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０を、旋回運動から移動運動に、または移動運動から旋回運動に、より迅速に移行することが可能となる。ここで、図３におけるＸ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａ及びＸ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、本実施例において特定移動軌跡に相当する。この点は以下の実施例についても同じである。また、本実施例においては、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａ及びＸ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、旋回円どうしを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線としたが、必ずしも正確に最短である必要はない。旋回円どうしを滑らかに結ぶ曲線のうち充分に検査時間を短縮できるものであれば良い。なお、ここにおいて、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間は所定時間に相当する。 Also, the X-ray source 10 and the X-ray camera 20 can be shifted more quickly from pivotal movement to translational movement or from translational movement to pivotal movement. Here, the trajectory 123a of the movement of the X-ray camera 20 and the trajectory 123b of the movement of the X-ray source 10 in FIG. 3 correspond to the specific movement trajectory in this embodiment. This point also applies to the following examples. In this embodiment, the trajectory 123a of the moving motion of the X-ray camera 20 and the trajectory 123b of the moving motion of the X-ray source 10 are curves that smoothly connect turning circles and can be moved in the shortest time. It does not necessarily have to be exactly the shortest. Any curve that smoothly connects turning circles can be used as long as it can sufficiently shorten the inspection time. Here, the movement time of the X-ray camera 20 when shifting from the nth turning motion to the n+1th turning motion corresponds to a predetermined time.

次に、図４を用いて、本実施例における、検査対象Ｓや、Ｘ検査装置１における各部材のＸ線の被曝量を低減する制御について説明する。従来は、検査対象Ｓの検査時間を短縮するために、図４（ａ）に示すように、Ｘ線画像の撮影中は連続で画像を取り込む連続撮像方式を採用していた。すなわち、旋回部の旋回運動中の他、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動中もＸ線源１０からＸ線を連続照射していた。そのため、検査対象ＳやＸ線カメラ２０に対しても不要な被曝をさせてしまう場合があった。一方、近年の電子部品などは被曝量が許容範囲を超えると故障することがわかっており、検査対象Ｓである基板上に実装されるＳｏＰやＢＧＡなど高性能化したチップにおいても被曝量が制約される場合が増加している。 Next, with reference to FIG. 4, control for reducing the X-ray exposure dose of each member in the inspection object S and the X inspection apparatus 1 in this embodiment will be described. Conventionally, in order to shorten the inspection time of the inspection target S, as shown in FIG. 4(a), a continuous imaging method of capturing images continuously during X-ray imaging has been adopted. That is, X-rays are continuously emitted from the X-ray source 10 not only during the revolving movement of the revolving part, but also during the movement movement, which is an action other than the action of actually acquiring an image. As a result, the object to be inspected S and the X-ray camera 20 may also be exposed to unnecessary radiation. On the other hand, it is known that recent electronic components will fail if the radiation dose exceeds the allowable range. cases are increasing.

それに対し、本実施例においては、図４（ｂ）に示すように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動に係る移動時間中の少なくとも一部について、低被曝制御を行うこととした。この低被曝制御は、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにするか、Ｘ線照射量を低減する制御である。以下では、低被曝制御が、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにする制御として説明を続ける。この制御によれば、Ｘ線源１０からの不要なＸ線照射を低減することができ、検査対象Ｓは当然、Ｘ線カメラ２０をはじめとする、Ｘ線検査装置1内の部材におけ
る被曝量も低減することが可能である。 On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 4(b), it is an operation other than the operation of actually acquiring an image when shifting from the n-th turning motion to the n+1-th turning motion. We decided to perform low-dose control for at least part of the movement time related to locomotion. This low exposure control is control to turn off the X-ray irradiation from the X-ray source 10 or to reduce the X-ray irradiation amount. In the following description, the low exposure control will continue to be described as control for turning off X-ray irradiation from the X-ray source 10 . According to this control, unnecessary X-ray irradiation from the X-ray source 10 can be reduced. can also be reduced.

その際、Ｘ線源１０におけるＸ照射量の制御は、前述のようにＸ線源制御部１０５によって行われる。また、本実施例において、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにする制御ととしては、Ｘ線源１０に印加する管電流または管電圧の少なくとも一方の制御が行われる。ここで、Ｘ線源１０のＸ線照射を制御する場合に、Ｘ線源１０の管電流をしてもよいし管電圧を制御してもよい。 At that time, the X-irradiation amount of the X-ray source 10 is controlled by the X-ray source controller 105 as described above. Further, in this embodiment, at least one of the tube current and the tube voltage applied to the X-ray source 10 is controlled to turn off the X-ray irradiation from the X-ray source 10 . Here, when controlling the X-ray irradiation of the X-ray source 10, the tube current of the X-ray source 10 may be controlled, or the tube voltage may be controlled.

管電流を制御する場合は、管電圧を制御する場合と比較して、Ｘ線照射をＯＦＦした後に、Ｘ線源１０が使用可能な状態になるまで回復（昇圧）させるのに必要な時間（昇圧時間）が短いことが分かっている。従って、本発明においては、Ｘ線源制御部１０５は、Ｘ線源１０における管電流を制御することで、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦするようにしてもよい。この場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦした後に、より短時間でＸ線源１０を使用可能な状態にまで回復させることができる。その結果、移動運動に係る所定時間中において、より長い時間、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦ停止することができ、より効果的に、検査対象ＳやＸ線カメラ２０等、Ｘ線検査装置１内の部材の被曝量を低減することができる。 In the case of controlling the tube current, compared with the case of controlling the tube voltage, the time ( It is known that the pressure rise time) is short. Therefore, in the present invention, the X-ray source control unit 105 may turn off X-ray irradiation from the X-ray source 10 by controlling the tube current in the X-ray source 10 . In this case, after X-ray irradiation from the X-ray source 10 is turned off, the X-ray source 10 can be restored to a usable state in a shorter time. As a result, the X-ray irradiation from the X-ray source 10 can be turned off and stopped for a longer period of time during the predetermined time period associated with the locomotion. It is possible to reduce the exposure dose of the members in the inspection apparatus 1 .

実際に低被曝制御が行われる時間は、移動時間からＸ線源１０の昇圧時間を差し引いた
時間としてもよい。これによれば、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。また、本実施例においては、旋回部であるＸ線源１０及びＸ線カメラ２０が、移動運動を行う際に、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上か否かを判断し、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上である場合にのみ、低被曝制御を行うこととしてもよい。これによれば、より確実に、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。 The time during which the low-dose control is actually performed may be the time obtained by subtracting the boosting time of the X-ray source 10 from the movement time. According to this, it is possible to prevent inefficiencies such as waiting time for restoring the X-ray source 10 to a usable state between the moving movement and the next turning movement. Further, in this embodiment, when the X-ray source 10 and the X-ray camera 20, which are the rotating parts, move, it is determined whether or not the movement time is equal to or longer than the boosting time of the X-ray source 10, and the movement time is equal to or longer than the boosting time of the X-ray source 10, the low exposure control may be performed. According to this, it is possible to more reliably prevent inefficiencies such as the occurrence of a waiting time for restoring the X-ray source 10 to a usable state between the moving movement and the next turning movement. can.

なお、上記では低被曝制御においてＸ線源１０の管電流または管電圧の少なくとも一方を制御して、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦする例について説明したが、必ずしもＸ線源１０からのＸ線照射を零にする必要はない。Ｘ線源１０からのＸ線照射量を低減することとしても構わない。これによれば、低被曝制御におけるＸ線源１０における管電流や管電圧の低減量を抑えることができるので、昇圧時間を短縮することが可能な場合がある。 In the above description, an example in which at least one of the tube current and the tube voltage of the X-ray source 10 is controlled in the low exposure control to turn off the X-ray irradiation from the X-ray source 10 has been described. x-ray exposure need not be zero. Alternatively, the X-ray dose from the X-ray source 10 may be reduced. According to this, it is possible to suppress the reduction amount of the tube current and the tube voltage in the X-ray source 10 in the low exposure control, so it may be possible to shorten the boosting time.

なお、上記の実施例においては、検査対象Ｓの位置を固定し、その上下においてＸ線カメラ２０とＸ線源１０とを旋回運動させる形式のＸ線検査装置１に対して、本発明を適用した例について説明した。しかしながら、本発明の適用対象は構成を有するＸ線検査装置に限られない。Ｘ線源１０を固定し、検査対象Ｓ及び、Ｘ線カメラ２０を旋回させる形式のＸ線検査装置１１に対して、本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the present invention is applied to the X-ray inspection apparatus 1 in which the position of the inspection target S is fixed, and the X-ray camera 20 and the X-ray source 10 are rotated above and below it. An example was explained. However, the object of application of the present invention is not limited to an X-ray inspection apparatus having a configuration. The present invention may be applied to an X-ray inspection apparatus 11 in which the X-ray source 10 is fixed and the inspection object S and the X-ray camera 20 are rotated.

さらに、上記の実施例では、本発明が、Ｘ線源１０と、Ｘ線カメラ２０と、保持部４０とを備え、Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置１に適用される例について説明した。 Further, in the above embodiments, the present invention comprises an X-ray source 10, an X-ray camera 20 and a holding part 40, any of the X-ray source, the X-ray camera and the holding part An example of application to the X-ray inspection apparatus 1 that acquires and inspects a three-dimensional image of an inspection object by performing a turning motion as a turning part has been described.

しかしながら、本発明の技術思想はこれ以外の検査装置に適用することが可能である。例えば、線源からはＸ線以外の電磁波（光を含む）を照射してもよい。そして、その場合、カメラはＸ線カメラである必要はない。さらに、上記の実施例では、ｎ回目の旋回運動の旋回円と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、所定の点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を、多項式として導出したが、当該曲線は、他の方法で導出しても構わない。例えば、クロソイドセグメント等、三角関数に対して媒介変数を用いた算出方法を用いて導出しても構わない。 However, the technical idea of the present invention can be applied to inspection apparatuses other than this. For example, electromagnetic waves (including light) other than X-rays may be emitted from the radiation source. And in that case the camera need not be an X-ray camera. Furthermore, in the above embodiment, a curve that smoothly connects the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion at a predetermined point and can be moved in the shortest time is derived as a polynomial. However, the curve may be derived in other ways. For example, it may be derived using a calculation method using a parameter for a trigonometric function, such as a clothoid segment.

〔実施例２〕
実施例１では、上記のように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線とした。そして、実施例２においては、このことに加えて、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を、０度位置や１８０度位置に固定するのではなく、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動時間が最短になるように定める。 [Example 2]
In the first embodiment, as described above, the trajectory of the moving motion when shifting from the n-th turning motion to the n+1-th turning motion is the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the n+1-th turning motion. is a curve that smoothly connects the turn end point and the turn start point and allows movement in the shortest time. Further, in the second embodiment, in addition to this, the turning start point of the n+1th turning motion is not fixed at the 0 degree position or the 180 degree position, but from the nth turning motion to the n+1th turning motion. Determined to minimize the travel time when transitioning to

図５に示すように、本実施例では、例えば、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の候補点として、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１上に配置されたｍ個の点を設定する。その際、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１においてＸ線カメラ２０が時計回りに旋回する場合と、反時計回りに旋回する場合とを想定する。そして、この時計回りの場合と反時計回りの場合の合計２ｍ個の候補点について、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を求め、移動時間を算出する。そして、その中でも移動時間が最短となる候補点を、ｎ＋１回目の
旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。 As shown in FIG. 5, in this embodiment, for example, m points arranged on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion are used as candidate points for turning start points on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion. set. At that time, it is assumed that the X-ray camera 20 turns clockwise and counterclockwise on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion. Then, for a total of 2m candidate points for the clockwise and counterclockwise rotations, the turning end point on the turning circle 122n of the n-th turning motion and the turning starting point on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion are determined. is smoothly connected to find a curve that allows movement in the shortest time, and the movement time is calculated. Among them, the candidate point with the shortest movement time is set as the turning start point on the turning circle 122n+1 of the (n+1)th turning motion.

これによれば、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の複数の候補点について、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと旋回開始点と滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を算出するとともに移動時間を算出する。そして、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間が最短となるような旋回開始点を決定する。従って、より確実に、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎから、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１への移動時間を最短とすることが可能である。図４の説明、あるいは以下の説明においては、Ｘ線カメラ２０の運動の軌跡を例として説明する場合があるが、Ｘ線源１０の運動の軌跡についても同様のことが言える点は当然である。なお、ここにおいて、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間は所定時間に相当する。 According to this, for a plurality of candidate points of the turning start point on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion, a curve that smoothly connects the turning circle 122n of the n-th turning motion and the turning starting point and can be moved in the shortest time is obtained. is calculated and the travel time is calculated. Then, a turning start point is determined such that the movement time of the X-ray camera 20 when shifting from the n-th turning motion to the n+1-th turning motion becomes the shortest. Therefore, it is possible to more reliably minimize the movement time from the turning circle 122n of the n-th turning motion to the turning circle 122n+1 of the (n+1)-th turning motion. In the explanation of FIG. 4 and the following explanation, the trajectory of the movement of the X-ray camera 20 may be used as an example, but it goes without saying that the same can be said of the trajectory of the X-ray source 10. . Here, the movement time of the X-ray camera 20 when shifting from the nth turning motion to the n+1th turning motion corresponds to a predetermined time.

次に、本実施例における演算部１１１、制御部１００、Ｘ線源制御部１０５による制御のフローについて説明する。図６～図９には、本実施例におけるＸ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動制御及び低被曝制御のフローチャートを示す。本フローチャートは、主記憶部１１２に記憶されたプログラムであり、演算部１１１、制御部１００及びＸ線源制御部１０５により実行される。図６～図７の前半に示すステップＳ０１～ステップＳ０７においては、ｎ＋１回目の旋回運動における旋回開始点と移動時間が決定され、図８に示すステップＳ１１～ステップＳ１４においてＸ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動制御が行われる。また、図７の後半及び図９に示すステップＳ０８～ステップＳ１０、ステップＳ１６～ステップＳ１９においては低被曝制御が行われる。 Next, the flow of control by the calculation unit 111, the control unit 100, and the X-ray source control unit 105 in this embodiment will be described. 6 to 9 show flowcharts of movement control and low exposure control of the X-ray source 10 and X-ray camera 20 in this embodiment. This flowchart is a program stored in the main storage unit 112 and executed by the calculation unit 111 , the control unit 100 and the X-ray source control unit 105 . In steps S01 through S07 shown in the first half of FIGS. Movement control of the camera 20 is performed. Further, in the latter half of FIG. 7 and steps S08 to S10 and steps S16 to S19 shown in FIG. 9, low exposure control is performed.

本フローが実行されると、先ずステップＳ０１において、旋回円間の移動軌跡を滑らかに接続する軌跡を演算するための情報を取得する。より具体的には、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１に対して、時計回りに旋回する場合と反時計回りに旋回する場合を合わせて２ｍ個設定された、旋回開始点の候補点について、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結ぶ軌跡を算出する。これは多項式をはじめ、公知の手法で実行されるので、ここでは詳細な説明は省略する。ステップＳ０１の処理が終了するとステップＳ０２に進む。 When this flow is executed, first, in step S01, information for calculating a trajectory that smoothly connects the movement trajectory between turning circles is acquired. More specifically, with respect to the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion, 2m candidate points for turning start points are set for clockwise turning and counterclockwise turning. A trajectory that smoothly connects a turn end point and a turn start point is calculated. Since this is performed by well-known methods including polynomials, detailed description is omitted here. When the process of step S01 is completed, the process proceeds to step S02.

ステップＳ０２においては、ステップＳ０１において取得した情報を基に、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な軌跡を算出するための多項式の係数を演算して取得する。ステップＳ０２の処理が終了するとステップＳ０３に進む。 In step S02, based on the information obtained in step S01, a trajectory that smoothly connects the turning circle 122n of the n-th turning motion and the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion is calculated so that the vehicle can move in the shortest time. Calculate and obtain the coefficients of the polynomial for When the process of step S02 is completed, the process proceeds to step S03.

ステップＳ０３～ステップＳ０６の処理は、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１に対して、時計回りに旋回する場合と反時計回りに旋回する場合を合わせて２ｍ個設定された、旋回開始点の候補点について、並列に移動時間を演算するステップである。ここでは、代表してＳ０３－１～Ｓ０６－１のステップを例にとって説明するが、２ｍ個の候補点について同じ処理（ステップＳ０３－１～Ｓ０６－１、・・・・、ステップＳ０３－２ｍ～Ｓ０６－２ｍ）が並列に行われる。ステップＳ０３－１においては、移動時間の算出が開始される。 In the processing of steps S03 to S06, 2m turning start point candidates are set for the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion, for clockwise turning and counterclockwise turning. This is the step of computing the travel times in parallel for the points. Here, steps S03-1 to S06-1 will be described as a representative example, but the same processing is performed for 2m candidate points (steps S03-1 to S06-1, . S06-2m) are performed in parallel. In step S03-1, calculation of travel time is started.

より具体的には、ステップＳ０２で取得された係数を用いて、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における１番目の候補点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を算出し、移動時間を算出する。なお、本実施例においては、Ｘ線カメラ２０は各旋回運動において３６０度旋回するので、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点は、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回開始点と同一である。ステップＳ０３－１の処理が終了すると、ステップ０４－１
に進む。 More specifically, using the coefficients obtained in step S02, the turning end point of the turning circle 122n of the n-th turning motion and the first candidate point on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion are smoothed. A curve that can be moved in the shortest time to connect is calculated, and the moving time is calculated. In this embodiment, the X-ray camera 20 turns 360 degrees in each turning motion, so the turning end point of the turning circle 122n of the n-th turning motion is the turning start point of the turning circle 122n of the n-th turning motion. is the same as a point. When the processing of step S03-1 ends, step 04-1
proceed to

ステップＳ０４－１においては、ステップＳ０３－１において算出された移動時間で移動した場合に、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えるか否かが判断される。また、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えるか否かと、Ｘ線カメラ２０の旋回運動と移動運動における運動範囲が許容移動範囲を超えるか否かが判定される。 In step S04-1, it is determined whether or not either the linear velocity or the axial velocity of X-ray camera 20 exceeds the allowable velocity when moving in the movement time calculated in step S03-1. Also, it is determined whether the acceleration acting on the X-ray camera 20 exceeds the allowable acceleration and whether the movement range of the X-ray camera 20 in the turning motion and moving motion exceeds the allowable movement range.

ここで、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えるか、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えるか、または、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えると判定された場合には、ステップＳ０５－１の処理に進む。これは、モータやボールねじの許容回転数を超えるか、Ｘ線カメラ２０が加速度に耐えられず劣化するか、Ｘ線カメラ２０がＸ線検査装置１内の部材に衝突する虞があると判断されるからである。 Here, either the linear velocity or the axial velocity of the X-ray camera 20 exceeds the allowable velocity, the acceleration acting on the X-ray camera 20 exceeds the allowable acceleration, or the movement range of the X-ray camera 20 exceeds the allowable movement. If it is determined that the range is exceeded, the process proceeds to step S05-1. It is determined that there is a possibility that the allowable number of rotations of the motor or ball screw will be exceeded, that the X-ray camera 20 will deteriorate due to being unable to withstand the acceleration, or that the X-ray camera 20 will collide with a member in the X-ray inspection apparatus 1. Because it is done.

一方、ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つ、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定された場合には、ステップＳ０６－１に進む。 On the other hand, in step S04-1, either the linear velocity or the axial velocity of X-ray camera 20 does not exceed the allowable velocity, the acceleration acting on X-ray camera 20 does not exceed the allowable acceleration, and X-ray camera 20 does not exceed the allowable movement range, the process proceeds to step S06-1.

ステップＳ０５－１においては、算出された移動時間の値が収束するまで移動時間の演算を再演算する。より具体的には、Ｘ線カメラ２０の速度、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が低くなり、または、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が狭くなるように曲線の数学パラメータを変更の後、再度ステップＳ０３－１処理に戻る。そして、ステップＳ０３－１～ステップＳ０５－１のルーチンを、ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つＸ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定されるまで繰り返し実行する。 In step S05-1, the travel time is recalculated until the calculated travel time value converges. More specifically, after changing the mathematical parameters of the curve such that the speed of the X-ray camera 20, the acceleration acting on the X-ray camera 20 becomes lower, or the range of motion of the X-ray camera 20 becomes narrower, the step is performed again. Return to S03-1 processing. Then, in step S04-1, the routine of steps S03-1 to S05-1 is changed so that either the linear velocity or the axial velocity of the X-ray camera 20 does not exceed the allowable velocity and the acceleration acting on the X-ray camera 20 is does not exceed the allowable acceleration and the movement range of the X-ray camera 20 does not exceed the allowable movement range.

ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つ、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定された場合には、ステップＳ０６－１に進む。ここで、許容速度とは、モータやボールねじの許容回転数を超えない閾値として予め定められた速度値である。許容加速度とは、Ｘ線カメラ２０に作用してもＸ線カメラが劣化しない閾値として予め定められた加速度値である。許容移動範囲とは、Ｘ線カメラ２０が装置内の他部材に衝突等しない運動範囲の閾値として予め定められた運動範囲である。 In step S04-1, either the linear velocity or the axial velocity of the X-ray camera 20 does not exceed the allowable velocity, the acceleration acting on the X-ray camera 20 does not exceed the allowable acceleration, and the movement of the X-ray camera 20 If it is determined that the range does not exceed the allowable movement range, the process proceeds to step S06-1. Here, the allowable speed is a speed value predetermined as a threshold value that does not exceed the allowable rotational speed of the motor or ball screw. The allowable acceleration is an acceleration value predetermined as a threshold value at which the X-ray camera 20 is not degraded even if it acts on the X-ray camera 20 . The allowable movement range is a range of motion that is predetermined as a threshold value for the range of motion in which the X-ray camera 20 does not collide with other members in the apparatus.

ステップＳ０６－１においては、移動時間の算出が完了する。より詳細には、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における１番目の候補点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線と、その移動時間が算出される。ステップＳ０６－１の処理（及び、他の候補点についての同等のステップＳ０６－２～ステップＳ０６－２ｍ）が終了すると、図７に記載したステップＳ０７に進む。 In step S06-1, the calculation of travel time is completed. More specifically, a curve that smoothly connects the turning end point of the turning circle 122n of the n-th turning motion and the first candidate point on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion and that can be moved in the shortest time; Travel time is calculated. When the process of step S06-1 (and equivalent steps S06-2 to S06-2m for other candidate points) is completed, the process proceeds to step S07 shown in FIG.

次に、ステップＳ０７においては、最短移動かつ許容値を超えない時間候補が選定される。より具体的には、ステップＳ０６－１～Ｓ０６－２ｍにおいて算出された移動時間のうち、最短の移動時間を選定し、当該移動時間に対応する候補点を選定する。Ｓ０７の処理が終了すると、図８に記載されたように、選定された情報が制御部１００に渡される。 Next, in step S07, a candidate for the shortest movement and not exceeding the allowable value is selected. More specifically, the shortest travel time is selected from the travel times calculated in steps S06-1 to S06-2m, and candidate points corresponding to the travel time are selected. When the process of S07 is finished, the selected information is transferred to the control unit 100 as shown in FIG.

図８のステップＳ１１においては、制御部１００が、ステップＳ０７で算出された移動時間を受取る。また、ステップＳ１２においては、Ｘ線カメラ２０を移動する位置座標（旋回開始点）、旋回速度、旋回中心、旋回半径など、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に必要な情報を受取る。ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理が終了するとステップＳ１３に進む。 At step S11 in FIG. 8, control unit 100 receives the travel time calculated at step S07. In step S12, information necessary for the movement of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20, such as position coordinates (turning start point) for moving the X-ray camera 20, turning speed, turning center, and turning radius, is received. . When the processing of steps S11 and S12 is completed, the process proceeds to step S13.

ステップＳ１３においては、次の移動先である旋回開始点への移動の軌跡を算出する。ここでは、Ｓ１１で受取った移動時間に対応する移動の軌跡を再度算出する。ステップＳ１３の処理が終了するとステップＳ１４に進む。ステップＳ１４においては、Ｘ線カメラ２０及びＸ線源１０が、次の旋回開始点への軌跡に沿って移動するための出力を、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の運動を制御するＸＹステージの駆動モータ（不図示）に出力する。なお、ステップＳ１１～ステップＳ１４までの処理は制御部１００において実行される。 In step S13, the trajectory of movement to the turning start point, which is the next destination, is calculated. Here, the trajectory of movement corresponding to the movement time received in S11 is calculated again. When the process of step S13 is completed, the process proceeds to step S14. In step S14, the X-ray camera 20 and the X-ray source 10 output an output for moving along the trajectory to the next turning start point, and the XY stage that controls the movement of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20. drive motor (not shown). The processing from step S11 to step S14 is executed by the control unit 100. FIG.

図７の説明に戻る。ステップＳ０７において、最短移動で且つ、許容値を超えない時間候補が選定された後には、図８のステップＳ１１に進むのと並行してステップＳ０８に進む。ステップＳ０８においては、算出された移動時間が、Ｘ線源１０の昇圧時間以上か否かが判定される。ここで、肯定判定された場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦすることが可能と判断されるのでステップＳ０９の処理に進む。一方、ステップＳ０８において否定判定された場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦしてしまうと、ｎ＋１回目の旋回運動において、最初からＸ線画像の撮影を行うことが不可能で待ち時間が発生してしまうと判断されるので、ステップＳ１０に進む。 Returning to the description of FIG. In step S07, after the shortest movement time candidate that does not exceed the allowable value is selected, the process proceeds to step S11 in FIG. 8 and in parallel to step S08. In step S<b>08 , it is determined whether or not the calculated moving time is equal to or longer than the boosting time of the X-ray source 10 . Here, if the determination is affirmative, it is determined that the X-ray irradiation from the X-ray source 10 can be turned off, so the process proceeds to step S09. On the other hand, if a negative determination is made in step S08, if the X-ray irradiation from the X-ray source 10 is turned off, X-ray imaging cannot be performed from the beginning in the n+1 rotation movement. Since it is determined that a waiting time will occur, the process proceeds to step S10.

ステップＳ０９の処理においては、Ｘ線源１０からのＸ線照射がＯＦＦされる、ステップＳ０９の処理が終了すると、図９に示す、ステップＳ１６に進む。一方、ステップＳ１０の処理においては、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態が継続される。ステップＳ１０の処理が終了すると、図９に示す、ステップＳ１７に進む。 In the process of step S09, X-ray irradiation from the X-ray source 10 is turned off. When the process of step S09 ends, the process proceeds to step S16 shown in FIG. On the other hand, in the process of step S10, the ON state of X-ray irradiation from the X-ray source 10 is continued. When the process of step S10 is completed, the process proceeds to step S17 shown in FIG.

図９におけるステップＳ１６からステップＳ１９の処理は、Ｘ線源制御部１０５において実行される。ステップＳ１６においては、演算部１１１から受け取った、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＦＦ命令が実行される。そして、ステップＳ１８に進み、実際にＸ線源１０からのＸ線照射がＯＦＦされる。ステップＳ１７の処理においては、演算部１１１から受け取った、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態維持の命令が実行される。そして、ステップＳ１９に進み、実際にＸ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態が維持される。ステップＳ１８またはステップＳ１９の処理が終了すると、本フローが一旦、終了する。 The processing from step S16 to step S19 in FIG. 9 is executed in the X-ray source control unit 105. In step S16, the X-ray irradiation OFF command from the X-ray source 10 received from the calculation unit 111 is executed. Then, in step S18, the X-ray irradiation from the X-ray source 10 is actually turned off. In the process of step S17, an instruction to maintain the ON state of X-ray irradiation from the X-ray source 10 received from the calculation unit 111 is executed. Then, the process proceeds to step S19, and the ON state of X-ray irradiation from the X-ray source 10 is actually maintained. When the process of step S18 or step S19 ends, this flow is temporarily terminated.

以上のように、本実施例においては、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線とした。そして、本実施例では、このことに加えて、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を、０度位置や１８０度位置に固定するのではなく、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動時間が最短になるように定めた。 As described above, in the present embodiment, the trajectory of the movement motion when shifting from the n-th turning motion to the (n+1)-th turning motion is divided into the turning circle of the n-th turning motion and the turning circle of the (n+1)-th turning motion. A curve that smoothly connects the turning end point and the turning start point and allows movement in the shortest time. In addition to this, in this embodiment, the turning start point of the n+1-th turning motion is not fixed at the 0-degree position or the 180-degree position, but from the n-th turning motion to the n+1-th turning motion. It was determined to minimize the travel time when migrating.

このことにより、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に係る移動時間を、より確実に短くすることができ、検査時間の短縮を図ることが可能である。また、このことにより、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に係る移動時間をリアルタイムに算出することができ、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上か否かの判断を正確に行うことができる。そして、本実施例では、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上である場合に、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦすることとした。これにより、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量を低減することが可能となる。 As a result, it is possible to more reliably shorten the movement time associated with the movement of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20, thereby shortening the inspection time. Further, this makes it possible to calculate in real time the travel time associated with the movement of the X-ray source 10 and the X-ray camera 20, and accurately determine whether or not the travel time is equal to or longer than the boosting time of the X-ray source 10. It can be carried out. In this embodiment, X-ray irradiation from the X-ray source 10 is turned off when the movement time is equal to or longer than the pressure-boosting time of the X-ray source 10 . As a result, it is possible to reduce the exposure dose of the object to be inspected S and the internal members of the X-ray inspection apparatus 1 .

図１０には、本実施例における被曝量低減の効果について示す。上述のステップＳ０８～ステップＳ１０、ステップＳ１６～ステップＳ１９の処理を実行しない場合であっても、ステップＳ０１～ステップＳ０７、ステップＳ１１～ステップＳ１４の処理による、旋回部の移動時間の短縮効果に基づいて、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量の低減効果が得られる。これは、図１０に図示すように９％程度の低減に留まる。これに対し、本実施例における低被曝制御を行った場合には、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量の低減効果は１３％程度であった。また、将来、Ｘ線源１０の高速昇圧が可能となり、昇圧時間が略零になった場合には、２１％程度の被曝量の低減効果が見込める。 FIG. 10 shows the effect of reducing the exposure dose in this embodiment. Even if the processes of steps S08 to S10 and steps S16 to S19 described above are not executed, based on the effect of shortening the movement time of the turning section by the processes of steps S01 to S07 and steps S11 to S14, , the effect of reducing the exposure dose of the object to be inspected S and the internal members of the X-ray inspection apparatus 1 can be obtained. This results in a reduction of about 9% as shown in FIG. On the other hand, when the low exposure control in this embodiment was performed, the effect of reducing the exposure dose of the inspection object S and the internal members of the X-ray inspection apparatus 1 was about 13%. In the future, if the X-ray source 10 can be boosted at high speed and the boosting time becomes substantially zero, an effect of reducing the exposure dose by about 21% can be expected.

なお、上記の実施例では、Ｘ線源１０からのＸ線照射を停止またはＸ線照射量を低減するために、Ｘ線源１０の管電流または管電圧の少なくとも一方をＯＦＦまたは低減する例について説明したが、例えば、Ｘ線源１０のＸ線照射口をシャッター等によって機構的に遮蔽することとしてもよい。これによれば、Ｘ線源１０の昇圧時間を考慮する必要がなくなる。その結果、上述したように将来、Ｘ線源１０の高速昇圧が可能となり、昇圧時間が略零になった場合と同様、２１％程度の被曝量の低減効果を見込むことが可能である。 In the above embodiment, at least one of the tube current and the tube voltage of the X-ray source 10 is turned off or reduced in order to stop the X-ray irradiation from the X-ray source 10 or to reduce the X-ray dose. As described above, for example, the X-ray irradiation port of the X-ray source 10 may be mechanically shielded by a shutter or the like. This eliminates the need to consider the boosting time of the X-ray source 10 . As a result, as described above, the X-ray source 10 can be boosted at high speed in the future, and it is possible to anticipate the effect of reducing the exposure dose by about 21%, similar to the case where the boosting time becomes substantially zero.

なお、本ルーチンにおいては、ステップＳ０４－１（～ステップＳ０４－２ｍ）において、速度（線速度及び軸速度のいずれか）、加速度、移動位置の全てが許容値を超えないと判定されるまで、ステップＳ０３－１（～ステップＳ０３－２ｍ）において、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結び最短で移動可能な軌跡と移動時間とが算出された。しかしながら、速度（線速度及び軸速度のいずれか）、加速度、移動位置のうちのいずれかが許容値を超えないと判定されるまで、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結び最短で移動可能な軌跡と移動時間とが算出されるようなフローとしても構わない。 In this routine, in step S04-1 (to step S04-2m), until it is determined that none of the velocity (either linear velocity or axial velocity), acceleration, and movement position exceeds the allowable value, In step S03-1 (to step S03-2m), the trajectory that smoothly connects the turn end point and the turn start point and allows the shortest movement and the movement time are calculated. However, until it is determined that any of the velocity (either linear velocity or axial velocity), acceleration, or movement position does not exceed the allowable value, the rotation end point and the rotation start point are smoothly connected and the shortest movement is performed. The flow may be such that possible trajectories and travel times are calculated.

上記の実施例においては、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の候補点を、時計回りの場合と反時計回りの場合を合せて２ｍ個設定した。しかしながら、候補点の数はこれに限られない。候補点の数は、並列演算の負荷と、移動時間を最短とする旋回開始点の精度とを、比較考量して決定すればよい。 In the above-described embodiment, 2m candidate points for the turning start point on the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion are set for both clockwise and counterclockwise directions. However, the number of candidate points is not limited to this. The number of candidate points may be determined by weighing the parallel calculation load and the accuracy of the turning start point that minimizes the movement time.

〔実施例３〕
次に、本発明の実施例３について示す。本実施例においては、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点とを上記の実施例２とは異なる方法で決定する。図１１に示すように、本実施例では、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点を算出する際には、旋回円１２２ｎにおいて、一つ前のｎ－１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ－１と旋回円１２２ｎの中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。また、旋回円１２２ｎと一つ後の旋回円１２２ｎ＋１の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。そして、それらの２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧の中央の点Ｐｎを、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とする。 [Example 3]
Next, Example 3 of the present invention will be shown. In this embodiment, the turning end point of the n-th turning motion and the turning starting point of the (n+1)-th turning motion are determined by a method different from that of the second embodiment. As shown in FIG. 11, in this embodiment, for example, when calculating the turning end point of the turning circle 122n of the n-th turning motion, in the turning circle 122n, the previous (n−1)-th turning motion The intersection of the turning circle 122n and a straight line connecting the turning circle 122n-1 and the center of the turning circle 122n is obtained. Also, an intersection point between the turning circle 122n and a straight line connecting the centers of the turning circle 122n and the next turning circle 122n+1 is obtained. Then, the point Pn at the center of the shorter one of the arcs sandwiched by those two intersections is set as the turning end point of the turning circle 122n of the n-th turning motion.

また、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１の旋回開始点を算出する際には、旋回円１２２ｎ＋１において、一つ前のｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと旋回円１２２ｎ＋１の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎ＋１との交点を求める。また、旋回円１２２ｎ＋１と一つ後の旋回円１２２ｎ＋２の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎ＋１との交点を求める。そして、それらの２つの交点で挟まれる円弧のうち短い方の円弧の中央の点Ｐｎ＋１を、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１の旋回開始点とする。そして、ＰｎとＰｎ＋１とを滑らかに結ぶ曲線１２３ｎで結ぶ。 When calculating the turning start point of the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion, a straight line connecting the center of the turning circle 122n of the previous n-th turning motion and the center of the turning circle 122n+1 is used in the turning circle 122n+1. and the turning circle 122n+1. Also, an intersection point between the turning circle 122n+1 and a straight line connecting the center of the turning circle 122n+1 and the next turning circle 122n+2 is obtained. Then, the center point Pn+1 of the shorter one of the arcs sandwiched by these two intersections is set as the turning start point of the turning circle 122n+1 of the n+1-th turning motion. A curve 123n that smoothly connects Pn and Pn+1 connects.

なお、例えば旋回円が横一列に並ぶような場合のように、図１１に示す比較例に係る手
法によっては、２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧が特定できない場合がある。よって、比較例においては、このような場合には、旋回運動における旋回終了点と旋回開始点とを、所定の角度位置に設定しなければならない。この場合、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円における旋回終了点を反時計回りに９０度ずらし、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を時計回りに９０度ずらす処理を行う。 It should be noted that, for example, when turning circles are lined up in a row, depending on the method according to the comparative example shown in FIG. 11, it may not be possible to identify the shorter one of the arcs sandwiched by two intersections. Therefore, in the comparative example, in such a case, the turning end point and the turning starting point in the turning motion must be set at predetermined angular positions. In this case, for example, the turning end point on the turning circle of the n-th turning motion is shifted counterclockwise by 90 degrees, and the turning start point of the (n+1)-th turning motion is shifted clockwise by 90 degrees.

このことで、旋回運動における旋回終了点と旋回開始点が算出できないという事態を回避する。このような方法で、次の旋回運動における旋回開始点を求める場合であって、特定移動軌跡を、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点とｎ＋１回目の旋回開始点の間の移動時間を最短にするように決定した場合は、実施例１の場合と同様、旋回部の移動運動を時間基準で管理することが可能である。このような場合に対しても、本実施例における低被曝制御を適用することが可能である。また、本変形例に限らず、旋回部の移動運動を時間基準で管理する場合には、本実施例の低被曝化制御を適用することが可能である。 This avoids a situation in which the turning end point and turning start point in the turning motion cannot be calculated. When the turning start point of the next turning motion is obtained by such a method, the specific movement trajectory is defined as, for example, the movement time between the turning end point of the n-th turning motion and the turning start point of the (n+1)th turning motion. If it is determined to be the shortest, it is possible to manage the movement of the turning section on the basis of time, as in the case of the first embodiment. Even in such a case, the low exposure control in this embodiment can be applied. Moreover, not only this modified example but also the low exposure control of this embodiment can be applied when the moving motion of the turning section is managed on the basis of time.

図１２には、本実施例におけるＸ線検査装置１１における、Ｘ線カメラ２０、被検査対象Ｓ、Ｘ線源１０の配置の例を示す。図１２（ａ）に示すのは、Ｘ線カメラ２０が検査対象Ｓの上側、Ｘ線源１０が検査対象Ｓの下側に配置される例、図１２（ｂ）に示すのは、Ｘ線源１０が検査対象Ｓの上側、Ｘ線カメラ２０が検査対象Ｓの下側に配置される例である。いずれの場合においても、Ｘ線源１０が固定され、Ｘ線カメラ２０及び検査対象Ｓが旋回運動を行う。 FIG. 12 shows an example of arrangement of the X-ray camera 20, the object S to be inspected, and the X-ray source 10 in the X-ray inspection apparatus 11 of this embodiment. FIG. 12A shows an example in which the X-ray camera 20 is arranged above the inspection object S and the X-ray source 10 is arranged below the inspection object S, and FIG. In this example, the source 10 is arranged above the inspection object S and the X-ray camera 20 is arranged below the inspection object S. FIG. In either case, the X-ray source 10 is fixed, and the X-ray camera 20 and the inspection object S perform pivoting movements.

なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本開示の構成要件を図面の符号付きで付記しておく。
＜付記１＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいずれかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部を（１１１ｂ）さらに備え、
前記Ｘ線源制御部（１０５）は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置（１）。
＜付記９＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいず
れかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。 In addition, in order to enable comparison between the constituent elements of the present invention and the configurations of the embodiments, the constituent elements of the present disclosure are added with reference numerals in the drawings.
<Appendix 1>
an X-ray source (10) for generating X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit for controlling irradiation of X-rays from the X-ray source (10);
an X-ray camera (20) for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source (10) to the object to be inspected;
A holding unit (40) holding the inspection target,
Any one of the X-ray source (10), the X-ray camera (20), and the holding section (40) rotates as a rotating section (10, 20, 40) to change the imaging direction. An X-ray inspection apparatus that acquires and inspects a three-dimensional image of the inspection target by capturing the X-ray image while changing,
The turning parts (10, 20, 40) sequentially turn at a plurality of locations and move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning start point and (111b) further comprising a trajectory calculation unit that determines a specific movement trajectory connecting the turning end point of the one turning motion and the turning starting point of the next turning motion,
The X-ray source control unit (105) stops X-ray irradiation from the X-ray source (10) or reduces the irradiation dose during at least part of the predetermined time. and an X-ray inspection apparatus (1).
<Appendix 9>
an X-ray source (10) for generating X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit for controlling irradiation of X-rays from the X-ray source (10);
an X-ray camera (20) for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source (10) to the object to be inspected;
A holding unit (40) holding the inspection target,
Any one of the X-ray source (10), the X-ray camera (20), and the holding section (40) rotates as a rotating section (10, 20, 40) to change the imaging direction. An X-ray inspection method using an X-ray inspection apparatus for acquiring and inspecting a three-dimensional image of the inspection object by photographing the X-ray image while changing,
The turning parts (10, 20, 40) sequentially turn at a plurality of locations and move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning part (10, 20, 40) can move from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement in a predetermined time. and determining a specific movement trajectory connecting the turning end point of the one turning motion and the turning starting point of the next turning motion,
An X-ray inspection method, characterized in that the irradiation of X-rays from the X-ray source (10) is stopped or the irradiation amount is reduced during at least part of the predetermined time.

１、１１・・・Ｘ線検査装置
１０・・・Ｘ線源
２０・・・Ｘ線カメラ
４０・・・保持部
１００・・・制御部
１１１・・・演算部
１１１ｂ・・・軌跡算出部
１２１・・・Ｘ線源旋回運動旋回円
１２２・・・Ｘ線カメラ旋回運動旋回円
１２３・・・移動運動軌跡
Ｓ・・・検査対象（基板）
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11... X-ray inspection apparatus 10... X-ray source 20... X-ray camera 40... Holding part 100... Control part 111... Calculation part 111b... Trajectory calculation part 121 ... X-ray source turning movement turning circle 122 ... X-ray camera turning movement turning circle 123 ... Moving movement trajectory S ... Inspection object (substrate)

Claims (13)

検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置。 an X-ray source that generates X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit that controls irradiation of X-rays from the X-ray source;
an X-ray camera for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source to the inspection object;
and a holding unit that holds the inspection target,
Any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding section rotates as a rotating section, thereby capturing the X-ray image while changing the imaging direction, and capturing the X-ray image of the object to be inspected. An X-ray inspection apparatus for acquiring and inspecting a three-dimensional image,
The turning section sequentially turns at a plurality of locations and performs a moving movement to move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning start point of the next turning movement and the turning point of the one turning movement are such that the turning section moves from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement in a predetermined time. further comprising a trajectory calculation unit that determines a specific movement trajectory that connects the turning end point and the turning start point of the next turning motion,
The X-ray examination, wherein the X-ray source control unit stops the X-ray irradiation from the X-ray source or reduces the irradiation amount during at least part of the predetermined time. Device. 前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源における管電流及び管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。 The X-ray source control unit stops or reduces at least one of a tube current and a tube voltage in the X-ray source, thereby stopping X-ray irradiation from the X-ray source or reducing an irradiation dose. The X-ray inspection apparatus according to claim 1, characterized by: 前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流及び管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項２に記載のＸ線検査装置。 The X-ray source controller controls the X-ray source control unit, if the predetermined time is longer than a boost time for recovering from a state in which at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source is stopped or reduced to a usable state, 3. An X-ray examination apparatus as claimed in claim 2, characterized in that the radiation of X-rays from the source is stopped or the radiation dose is reduced. 前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。 The X-ray source control unit shields an X-ray irradiation port of the X-ray source to stop irradiation of X-rays from the X-ray source or reduce an irradiation dose. Item 1. The X-ray inspection apparatus according to item 1. 前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。 The turning starting point of the next turning motion is the X-ray source, which is the turning part, and the X-ray camera, among a plurality of candidate points set to be arranged on the turning circle of the next turning motion. and any one of the holding portions is calculated as a point that can move from the turning circle of the first turning motion to the turning circle of the next turning motion in the shortest movement time along the specific movement trajectory. The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized in that: 前記特定移動軌跡は、前記旋回終了点および／または前記旋回開始点において前記旋回部の線速度または、線速度及び加速度または、線速度、加速度及び躍度が連続となる軌跡であることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。 The specific movement trajectory is a trajectory in which the linear velocity, the linear velocity and acceleration, or the linear velocity, acceleration and jerk of the revolving portion are continuous at the turning end point and/or the turning start point. 6. An X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5. 前記特定移動軌跡は、多項式として、または三角関数に対して媒介変数を用いて算出されることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。 6. An X-ray examination apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that said specific movement trajectory is calculated as a polynomial or using parametric variables for a trigonometric function. 前記旋回部は、前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラであり、前記保持部はＸ線検査装置内の所定位置に保持されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。 8. The apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized in that said rotating section comprises said X-ray source and said X-ray camera, and said holding section is held at a predetermined position within an X-ray inspection apparatus. X-ray inspection apparatus as described. 検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。 an X-ray source that generates X-rays to irradiate an object to be inspected;
an X-ray source control unit that controls irradiation of X-rays from the X-ray source;
an X-ray camera for capturing an X-ray image of X-rays emitted from the X-ray source to the inspection object;
and a holding unit that holds the inspection target,
Any one of the X-ray source, the X-ray camera, and the holding section rotates as a rotating section, thereby capturing the X-ray image while changing the imaging direction, and capturing the X-ray image of the object to be inspected. An X-ray inspection method using an X-ray inspection apparatus for acquiring and inspecting a three-dimensional image,
The turning section sequentially turns at a plurality of locations and performs a moving movement to move from a turning end point of one turning movement to a turning starting point of the next turning movement,
The turning start point of the next turning movement and the one turning movement are arranged so that the turning section can move from the turning end point of one turning movement to the turning starting point of the next turning movement in a predetermined time. determining a specific movement trajectory that connects the turning end point of and the turning start point of the next turning motion;
An X-ray inspection method, characterized in that X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced during at least part of the predetermined time. 前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項９に記載のＸ線検査方法。 10. The X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation dose is reduced by stopping or reducing at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source. X-ray inspection method according to. 前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１０に記載のＸ線検査方法。 The X-ray source controller controls the X-ray source control unit, if the predetermined time is longer than a boost time for recovering from a state in which at least one of tube current and tube voltage in the X-ray source is stopped or reduced to a usable state, 11. X-ray examination method according to claim 10, characterized in that the X-ray irradiation from the source is stopped or the dose is reduced. 前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項９に記載のＸ線検査方法。 10. The X-ray examination according to claim 9, wherein X-ray irradiation from the X-ray source is stopped or the irradiation amount is reduced by shielding the X-ray irradiation port of the X-ray source. Method. 前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、請求項９から１２のいずれか一項に記載のＸ線検査方法。
The turning starting point of the next turning motion is the X-ray source, which is the turning part, and the X-ray camera, among a plurality of candidate points set to be arranged on the turning circle of the next turning motion. and any one of the holding portions is calculated as a point that can move from the turning circle of the first turning motion to the turning circle of the next turning motion in the shortest movement time along the specific movement trajectory. The X-ray inspection method according to any one of claims 9 to 12, characterized in that:
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