JP2022133182A - 部品内蔵基板及び部品内蔵基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品を搭載する金属パッド層と絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる部品内蔵基板等を提供する。【解決手段】部品内蔵基板は、第1の絶縁層と、第1の絶縁層上に形成された配線層及び金属パッド層と、配線層及び金属パッド上に形成された第2の絶縁層と、第2の絶縁層に形成され、金属パッド層を露出するキャビティと、を有する。更に、部品内蔵基板は、金属パッド層上に搭載された電子部品と、キャビティ内に充填され、電子部品を埋設する充填層と、を有する。更に、金属パッド層の金属が、配線層の金属より熱伝導率の低い金属を含む。【選択図】図1
Description
本発明は、部品内蔵基板及び部品内蔵基板の製造方法に関する。
近年、高密度な部品実装を実現するために、例えば、コンデンサ等の電子部品を基板の内部に内蔵する部品内蔵基板が注目されている。部品内蔵基板は、例えば、絶縁樹脂層と導体層とからなる層を積層した基板にキャビティを設け、電子部品が配置されたキャビティ内に充填樹脂を充填することで製造される。
電子部品は、例えば、接着材等によって、基板内部の導体層に接着される。具体的には、キャビティの底面に露出する導体層内の銅パッド層に、半硬化状態の接着材によって電子部品が仮接着され、接着材が半硬化状態のままキャビティ内に充填樹脂が充填される。そして、充填樹脂が熱硬化される際に、同時に半硬化状態の接着材が熱硬化されることにより、基板に内蔵された電子部品が銅パッド層に接着される。そして、電子部品上方の充填樹脂にはビアが形成され、ビアを介して電子部品の電極と基板表面の配線層とが接続されることで、部品内蔵基板が製造されることになる。
しかしながら、レーザ加工を用いて絶縁樹脂層の一部にキャビティを形成する工程では、レーザ加工の加工熱によってキャビティ底面にある銅パッド層の温度が上昇し、銅パッド層下面にある絶縁樹脂層の界面の温度も上昇する。その結果、加工熱による温度上昇によってキャビティの底面の銅パッド層下面にある絶縁樹脂層の界面が変質し、銅パッド層である金属パッド層と絶縁樹脂層との間の密着力が低下してしまう。
開示の技術は、かかる点に鑑みてなされたものであって、電子部品を搭載する金属パッド層と絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる部品内蔵基板及び部品内蔵基板の製造方法を提供することを目的とする。
本願が開示する部品内蔵基板は、1つの態様において、第1の絶縁層と、第1の絶縁層上に形成された配線層及び金属パッド層と、配線層及び金属パッド上に形成された第2の絶縁層と、第2の絶縁層に形成され、金属パッド層を露出するキャビティと、を有する。更に、部品内蔵基板は、金属パッド層上に搭載された電子部品と、キャビティ内に充填され、電子部品を埋設する充填層と、を有する。更に、金属パッド層の金属が、配線層の金属より熱伝導率の低い金属を含む。
本願が開示する部品内蔵基板の1つの態様によれば、電子部品を搭載する金属パッド層と絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
以下、本願が開示する部品内蔵基板及び部品内蔵基板の製造方法の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。尚、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1の部品内蔵基板(コアレスビルドアップ配線基板)1の一例を示す説明図である。図1においては、部品内蔵基板1の断面を模式的に示している。図1に示す部品内蔵基板1は、積層構造となっており、大きく分けてビルドアップ層2と、ソルダーレジスト層3とを有するコアレスビルドアップ配線基板である。そして、ビルドアップ層2には、コンデンサや半導体チップ等の電子部品8が埋設されている。ビルドアップ層2は、さらに第1層2A、第2層2B、第3層2C及び充填層2Dに分かれる。第1層2A、第2層2B及び第3層2Cには、隣接する層間がビアによって接続される導体層4(4A、4B,4C,4D)が含まれる。以下においては、図1に示すように、第1層2Aが最下層であり、ソルダーレジスト層3が最上層であるものとして説明するが、部品内蔵基板1は、例えば、上下反転して用いられても良く、任意の姿勢で用いられて良い。
第1層2Aは、絶縁樹脂層と配線層4Aとから形成されている、例えば、第1の絶縁層である。第1層2Aを形成する絶縁樹脂層は、熱硬化により硬化し、第1層2A内部の配線層4Aを所定の位置に保持する。
第2層2Bは、第1層2Aの上方に隣接して積層され、絶縁樹脂層と配線層4Bとから形成されている、例えば、第2の絶縁層である。第2層2Bを形成する絶縁樹脂層は、熱硬化により硬化し、第2層2B内部の配線層4Bを所定の位置に保持する。第2層2B内部の配線層4Bは、第1層2A内部の配線層4Aとビアによって接続されている。
第3層2Cは、第2層2Bの上方に隣接して積層され、絶縁樹脂層と配線層4Cとから形成されている。第3層2Cを形成する絶縁樹脂層は、熱硬化により硬化し、第3層2C内部の配線層4Cを所定の位置に保持する。第3層2C内部の配線層4Cは、第2層2B内部の配線層4Bとビアによって接続されている。第2層2B及び第3層2Cには、電子部品8が埋設されている。尚、第2層2B及び第3層2Cには、第1層2Aの所定箇所の表面を露出し、電子部品8を収容するためのキャビティ9が形成されている。
充填層2Dは、後述する充填工程において、キャビティ9内に充填される充填樹脂で形成される層である。充填層2Dの表面には配線層4Dが形成され、これらの配線層4Dがソルダーレジスト層3によって被覆される。充填層2Dには、充填工程の後、ビアが形成されて、第3層2C内部の配線層4C又は電子部品8の電極8Aと充填層2D表面の配線層4Dとが接続される。充填層2Dを形成する充填樹脂は、第1層2Aから第3層2Cを形成する絶縁樹脂層と同様の樹脂であっても良い。尚、充填層2Dは、絶縁層の一種である。
導体層4は、例えば、銅等の金属から形成され、各層の絶縁樹脂層によって所定の位置に保持される。隣接する層の導体層4は、各層に形成されるビアを介して接続され、通電可能となっている。また、第2層2B内部の導体層4は、配線層4Bの他に、キャビティ9内に形成された金属パッド層6を有する。キャビティ9内の金属パッド層6には、電子部品8が接着材7によって接着されている。尚、接着材7は、例えば、DAF(Die Attachment Film)等の接着材である。
金属パッド層6は、キャビティ9内に露出する第1層2Aの所定箇所の面上に形成された第1の金属層6Aと、キャビティ9内の第1の金属層6A上に形成された第2の金属層6Bとを有する。更に、キャビティ9内の第2の金属層6B上には、電子部品8が接着材7を介して接続される。第1の金属層6Aは、配線層等の導体層4の金属より熱伝導率の低い金属を含む。第1の金属層6Aの金属は、配線層の主体となる、例えば、電解銅メッキ層の銅に比較して熱伝導率が低く、かつ、弾性率の高い材質、例えば、電解ニッケルメッキ層のニッケルの金属層である。尚、第1の金属層6Aの金属としては、ニッケルの他に、例えば、鉄等の金属を用いても良い。また、第2の金属層6Bは、レーザ加工における高い反射率を有する、例えば、銅の金属層である。
金属パッド層6は、第2層2B及び第3層2Cのキャビティ9内で露出する第1層2Aの面上にある無電解銅メッキのシード層5A上に形成される。金属パッド層6内の第1の金属層6Aは、キャビティ9内に露出する第1層2A上のシード層5A上に形成される。尚、第1の金属層6A及び第2の金属層6Bの厚みは、第2層2Bの配線層4Bや第3層2Cの配線層4Cの厚みに関係なく任意に設定可能である。
ソルダーレジスト層3は、ビルドアップ層2内の充填層2Dの表面に配置された配線層4Dを被覆し、配線層4Dを保護する層である。尚、ソルダーレジスト層3は、絶縁層の一種である。例えば、半導体チップ50等の外部部品が搭載される部分には、ソルダーレジスト層3に開口部が設けられ、ビルドアップ層2表面の配線層4Dに接続するバンプ11が形成される。
電子部品8は、例えば、コンデンサや半導体チップ等の電子部品であり、第2層2B及び第3層2C内のキャビティ9内に埋設される。すなわち、電子部品8の周囲に充填樹脂が充填されることにより、電子部品8が充填層2Dでビルドアップ層2に埋め込まれている。電子部品8の下面は、接着材7によって金属パッド層6内の第2の金属層6Bに接着される接着面である。
次に部品内蔵基板1の製造工程について説明する。図2は、部品内蔵基板1の製造工程の手順の一例を示すフローチャートである。図2において部品内蔵基板1の製造工程としては、支持体12に第1層2Aの配線層4Aを形成する第1の配線層形成工程を実行する(ステップS1)。尚、支持体12上には、格子状に、複数の部品内蔵基板形成領域12Aが設けられている。各部品内蔵基板形成領域12A上には部品内蔵基板1が形成される。つまり、1枚の支持体12上に複数の部品内蔵基板1が形成されることになる。製造工程としては、第1の配線層形成工程を実行した後、支持体12に第1層2Aを形成する第1の絶縁層形成工程を実行する(ステップS2)。
更に、製造工程としては、第1の絶縁層形成工程を実行した後、第1層2A上に開口を形成する第1の開口形成工程を実行する(ステップS3)。製造工程としては、第1の開口形成工程を実行した後、第1層2A上にシード層5Aを形成するシード層形成工程を実行する(ステップS4)。
更に、製造工程としては、シード層形成工程を実行した後、シード層5A上に第2層2Bの配線層4Bを形成するためのメッキレジストパターンを形成する第1のパターン形成工程を実行する(ステップS5)。製造工程としては、第1のパターン形成工程を実行した後、第2層2Bの配線層4Bを成す電解メッキ層を形成する第1の電解メッキ層形成工程を実行する(ステップS6)。製造工程としては、第1の電解メッキ層形成工程を実行した後、シード層5A上に形成したメッキレジストパターンを除去する第1のパターン除去工程を実行する(ステップS7)。
更に、製造工程としては、第1のパターン除去工程を実行した後、シード層5A上の所定箇所に金属パッド層6を形成するためのメッキレジストパターンを形成する第2のパターン形成工程を実行する(ステップS8)。製造工程としては、第2のパターン形成工程を実行した後、シード層5A上に第1の金属層6Aを形成し、第1の金属層6A上に第2の金属層6Bを形成する第2の電解メッキ層形成工程を実行する(ステップS9)。尚、第2の電解メッキ層形成工程では、シード層5A上に金属パッド層6を形成することになる。
更に、製造工程としては、第2の電解メッキ層形成工程を実行した後、第2のパターン形成工程で形成したメッキレジストパターンを除去する第2のパターン除去工程を実行する(ステップS10)。更に、製造工程としては、第2のパターン除去工程を実行した後、第1層2A上の不要なシード層5Aを除去するシード層除去工程を実行する(ステップS11)。製造工程としては、シード層除去工程を実行した後、第2層2B、第2層2B内の配線層4B、第3層2C、第3層2C内の配線層4Cを形成する絶縁層・配線層形成工程を実行する(ステップS12)。
更に、製造工程としては、絶縁層・配線層形成工程を実行した後、第2層2B内の金属パッド層6の第2の金属層6Bの表面が露出するように第2層2B及び第3層2Cにキャビティ9を形成するためのキャビティ形成工程を実行する(ステップS13)。製造工程としては、キャビティ形成工程を実行した後、第2層2B及び第3層2Cに形成されたキャビティ9内の金属パッド層6上に接着材7を介して電子部品8を配置する部品配置工程を実行する(ステップS14)。
更に、製造工程としては、部品配置工程を実行した後、キャビティ9内に充填樹脂を充填して充填層2Dでキャビティ9内に電子部品8を埋設する充填工程を実行する(ステップS15)。製造工程としては、充填工程を実行した後、開口を充填層2Dに形成する第2の開口形成工程を実行する(ステップS16)。尚、開口は、例えば、キャビティ9内の電子部品8の電極8Aや第3層2Cの配線層4Cと接続するためのビアを形成するための開口である。
更に、製造工程としては、第2の開口形成工程を実行した後、充填層2Dに配線層4Dを形成する第2の配線層形成工程を実行する(ステップS17)。製造工程としては、第2の配線層形成工程を実行した後、充填層2D上にソルダーレジスト層3を形成するソルダーレジスト層形成工程を実行する(ステップS18)。
製造工程としては、ソルダーレジスト層形成工程を実行した後、ソルダーレジスト層3上に接続端子10を形成する接続端子形成工程を実行する(ステップS19)。更に、製造工程としては、接続端子形成工程を実行した後、接続端子10を形成した部品内蔵基板1内の第1層2A下にある支持体12を除去する支持体除去工程を実行する(ステップS20)。更に、製造工程としては、支持体除去工程を実行した後、支持体12を除去した部品内蔵基板1を切断する基板切断工程を実行し(ステップS21)、部品内蔵基板1が完成することになる。尚、基板切断工程では、支持体12を除去した後、各部品内蔵基板形成領域12Aの内側の切断線に沿って、部品内蔵基板形成領域12A間のビルドアップ層2やソルダーレジスト層3を切断することで、複数の部品内蔵基板1を得ることになる。
図3は、部品内蔵基板1の第1の配線層形成工程の一例を示す説明図である。尚、図3に示す例では、説明の便宜上、1個の部品内蔵基板形成領域12Aを図示して説明するものとする。ステップS1の第1の配線層形成工程では、図3に示すように、例えば、金属板又は金属箔等の支持体12上に配線層4Aを形成する。具体的には、支持体12上に感光性樹脂層を形成し、露光・現像する。これにより、支持体12上に支持体12の一部を露出する開口部を有するメッキレジストパターンを形成する。更に、メッキレジストパターン形成後の支持体12上に電解銅メッキ処理を実行することで、メッキレジストパターンから露出する支持体12上に銅メッキ層を形成する。そして、支持体12からメッキレジスタパターンを除去することで、支持体12上に、例えば、外部接続端子となる配線層4Aを形成することになる。
図4は、部品内蔵基板1の第1の絶縁層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS2の第1の絶縁層形成工程では、図4に示すように、配線層4Aが形成された支持体12上に第1層2Aを形成する。具体的には、例えば、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂フィルムを支持体12上に積層することで、支持体12上に絶縁樹脂層である第1層2Aを形成することになる。
図5は、部品内蔵基板1の第1の開口形成工程の一例を示す説明図である。ステップS3の第1の開口形成工程では、図5に示すように、第1層2Aに開口21Aを形成する。具体的には、第1層2A上の所定の位置にレーザ加工で開口21Aを形成することになる。第1層2A上に形成された開口21Aは下層の配線層4Aの一部を露出することになる。更に、開口21Aは、第1層2Aの表面側の径が配線層4Aの露出する表面側の径よりも大きい、逆円錐台の形状に形成されることになる。
図6は、部品内蔵基板1のシード層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS4のシード層形成工程では、図6に示すように、第1の開口形成工程実行後の第1層2A上にシード層5Aを形成する。具体的には、第1層2A上に、例えば、銅の無電解メッキ処理を実行することで、無電解銅メッキのシード層5Aを形成することになる。更に、開口21Aの内壁や開口21Aに露出する配線層4Aの表面にも、無電解銅メッキのシード層5Aを形成することになる。
図7は、部品内蔵基板1の第1のパターン形成工程の一例を示す説明図である。ステップS5の第1のパターン形成工程では、図7に示すように、シード層5A上に配線層4Bを形成するためのメッキレジストパターン101を形成する。具体的には、例えば、感光性樹脂層をシード層5A上に形成し、露光・現像することで、シード層5A上にメッキレジストパターン101を形成することになる。メッキレジストパターン101は、配線層4B形成部分のシード層5Aを露出する開口101Aを有する。
図8は、部品内蔵基板1の第1の電解メッキ層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS6の第1の電解メッキ層形成工程では、図8に示すように、メッキレジストパターン101から露出するシード層5A上に電解銅メッキ層の配線層4Bを形成することになる。具体的には、シード層5Aを給電層として電解銅メッキ処理を実行することで、メッキレジストパターン101から露出するシード層5A上に電解銅メッキ層の配線層4Bを形成することになる。電解銅メッキ層は、開口21A内を充填して形成される。開口21A内に充填された電解銅メッキ層は、配線層4Bのビア4B1となる。第1層2A上に形成された電解銅メッキ層は、配線層4Bの配線パターン4B2となる。
図9は、部品内蔵基板1の第1のパターン除去工程の一例を示す説明図である。ステップS7の第1のパターン除去工程では、第1の電解メッキ層形成工程を実行した後、例えば、図9に示すように、アミン剥離処理を用いて、シード層5A上からメッキレジストパターン101を除去する。そして、配線層4B以外のシード層5Aを露出した状態を形成する。
図10は、部品内蔵基板1の第2のパターン形成工程の一例を示す説明図である。ステップS8の第2のパターン形成工程では、第1のパターン除去工程を実行した後、図10に示すように、シード層5A上に金属パッド層6を形成するためのメッキレジストパターン102を形成する。具体的には、例えば、感光性樹脂層をシード層5A上に形成し、露光・現像することで、シード層5A上に金属パッド層6を形成するためのメッキレジストパターン102を形成することになる。メッキレジストパターン102は、金属パッド層6形成部分のシード層5Aを露出する開口102Aを有する。
図11は、部品内蔵基板1の第2の電解メッキ層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS9の第2の電解メッキ層形成工程では、図11に示すように、メッキレジストパターン102から露出するシード層5A上に金属パッド層6を形成することになる。具体的には、メッキレジストパターン102から露出するシード層5Aを給電層としてニッケルの電解メッキ処理を実行し、メッキレジストパターン102から露出するシード層5A上にニッケルの第1の金属層6Aを形成する。更に、メッキレジストパターン102から露出するシード層5Aを給電層として銅の電解メッキ処理を実行し、第1の金属層6A上に銅の第2の金属層6Bを形成する。その結果、シード層5A上に金属パッド層6を形成することになる。
図12は、部品内蔵基板1の第2のパターン除去工程の一例を示す説明図である。ステップS10の第2のパターン除去工程では、第2の電解メッキ層形成工程を実行した後、図12に示すように、アミン剥離処理を用いて、シード層5A上からメッキレジストパターン102を除去する。そして、配線層4B及び金属パッド層6下のシード層5A以外の不要なシード層5Aを露出した状態を形成する。
図13は、部品内蔵基板1のシード層除去工程の一例を示す説明図である。ステップS11のシード層除去工程では、第2のパターン除去工程を実行した後、図13に示すように、不要なシード層5Aを除去する。具体的には、第2のパターン除去工程を実行した後、エッチング処理を実行することで、シード層5Aから配線層4B及び金属パッド層6以外の不要なシード層5Aを除去することで、金属パッド層6及び配線層4Bを形成することになる。金属パッド層6の下、及び配線層4Bの下に残ったシード層5Aは、金属パッド層6の一部、及び配線層4Bの一部となる。
図14は、部品内蔵基板1の絶縁層・配線層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS12の絶縁層・配線層形成工程では、図14に示すように、第1層2A上に所要の絶縁層及び配線層を形成する。具体的には、シード層除去工程を実行した後、第1層2A上にエポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂フィルムの積層で絶縁層の第2層2Bを形成する。更に、第2層2Bの所定の位置にレーザ加工でビアを設けるための開口を形成することになる。尚、第2層2B上に形成された開口は下層の配線層4Bの一部を露出することになる。更に、開口は、第2層2Bの表面側の径が配線層4Bの露出する表面側の径よりも大きい、逆円錐台の形状に形成されることになる。
更に、セミアディティブ法により、第2層2B上の所定位置に配線層4Cを形成することになる。尚、配線層4Cは、配線層4Bと同様の製造方法で形成する。具体的には、第2層2B上に、例えば、銅の無電解メッキ処理を実行することで、無電解銅メッキのシード層を形成することになる。この際、開口の内壁や開口に露出する配線層4Bの表面にも、無電解銅メッキのシード層を形成することになる。更に、例えば、感光性樹脂層をシード層上に形成し、露光・現像することで、シード層上にメッキレジストパターンを形成することになる。メッキレジストパターンは、配線層4C形成部分のシード層を露出する開口を有する。更に、シード層を給電層として電解銅メッキ処理を実行することで、メッキレジストパターンから露出するシード層上に電解銅メッキ層の配線層4Cを形成することになる。この際、電解銅メッキ層は、開口内を充填して形成される。開口内に充填された電解銅メッキ層は、配線層4Cのビア4C1となる。第2層2B上に形成された電解銅メッキ層は、配線層4Cの配線パターン4C2となる。そして、例えば、アミン剥離処理を用いて、シード層上からメッキレジストパターンを除去する。そして、配線層4C以外のシード層を露出した状態を形成する。更に、エッチング処理を実行することで、シード層から配線層4C以外の不要なシード層を除去することで、配線層4Cを形成することになる。配線層4Cの下に残ったシード層は、配線層4Cの一部となる。尚、説明の便宜上、配線層4Cの下に残るシード層の図示は省略するものとする。そして、第2層2B上にエポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂フィルムの積層で絶縁層の第3層2Cを形成することになる。
図15は、部品内蔵基板1のキャビティ形成工程の一例を示す説明図である。ステップS13のキャビティ形成工程では、絶縁層・配線層形成工程を実行した後、図15に示すように、第2層2B及び第3層2Cにキャビティ9を形成する。具体的には、第3層2Cから第2層2B内の金属パッド層6に向けて第3層2C及び第2層2Bにレーザ加工を実行し、第2層2B及び第3層2C内にキャビティ9を形成することになる。キャビティ9は、第2層2B及び第3層2Cを貫通して形成される。キャビティ9の底面には、金属パッド層6が露出する。この際、レーザ加工時の加工熱によってキャビティ9内の金属パッド層6上の第2の金属層6Bが高温になるが、第2の金属層6B下面の第1の金属層6Aが、第1層2Aの絶縁樹脂層への加工熱の伝播を抑制する。そして、加工熱による、第2の金属層6B下のシード層5A下面にある第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制できる。その結果、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
図16は、部品内蔵基板1の部品配置工程の一例を示す説明図である。ステップS14の部品配置工程では、図16に示すように、第2層2B及び第3層2Cに形成されたキャビティ9内に電子部品8を配置する。具体的には、底面に接着材7を設けた電子部品8を用意する。次いで、キャビティ9内の金属パッド層6の第2の金属層6B上に接着材7を介して電子部品8を配置する。その後、電子部品8を軽く加圧した状態で真空吸引しながら加熱する。そして、接着材7を、硬化収縮を伴わない半硬化状態にしてキャビティ9内の第2の金属層6B上に電子部品8を仮固定する。
図17は、部品内蔵基板1の充填工程の一例を示す説明図である。ステップS15の充填工程では、図17に示すように、電子部品8を配置したキャビティ9内に樹脂を充填することで充填層2Dを形成する。具体的には、部品配置工程を実行した後、第3層2C上にエポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂フィルムを積層して第3層2C上及びキャビティ9内の空間に充填層2Dを形成する。この際、キャビティ9内の空間に充填された充填樹脂と、第2の金属層6Bと電子部品8との間の接着材7とを熱硬化する。これにより、第2の金属層6Bと電子部品8との間を接着材7で固定すると共に、キャビティ9内の電子部品8を充填層2Dで埋設する。充填樹脂及び接着材7の熱硬化処理では、接着材7の熱硬化収縮により電子部品8が凸形状に反る応力が発生する。そして、その応力が金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との界面に作用する。この場合でも、第1の金属層6Aの高い弾性率の材質によって、金属パッド層6の変形を防止できる。この為、金属パッド層6と第1層2Aとの間の応力発生を防止でき、金属パッド層6と第1層2Aとの間の層間剥離(デラミ)の発生を抑制できる。更に、層間剥離の発生を抑制することで電子部品の反り軽減も期待できる。
図18は、部品内蔵基板1の第2の開口形成工程の一例を示す説明図である。ステップS16の第2の開口形成工程では、充填工程を実行した後、図18に示すように、充填層2D内に開口21Dを形成することになる。具体的には、充填層2D上の所定位置にレーザ加工で開口21Dを形成することになる。充填層2Dに形成された開口21Dは、電子部品8の電極8Aの一部を露出する。第2の開口形成工程では、充填層2D及び第3層2Cの絶縁樹脂層を一体に貫通する開口21Dも形成する。この開口21Dは、充填層2D及び第3層2Cの絶縁樹脂層の所定位置に形成される。この開口21Dは、配線層4Cの一部を露出する。更に、開口21Dは、充填層2Dの表面側の径が配線層4Cの露出する表面側の径よりも大きい、逆円錐台の形状に形成されることになる。
図19は、部品内蔵基板1の第2の配線層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS17の第2の配線層形成工程では、第2の開口形成工程を実行した後、図19に示すように、充填層2D上に配線層4Dを形成する。尚、配線層4Dは、例えば、配線層4Bや配線層4Cと同様の製造方法で形成するものとする。具体的には、例えば、セミアディティブ法を用いて、充填層2D上に配線層4Dの配線パターンを形成すると共に、充填層2Dに形成した開口21D内に配線層4Dのビアを形成することになる。配線層4Dは、下層の絶縁層、例えば、第3層2C内の配線層4Cと接続するための配線層やキャビティ9内に埋設された電子部品8の電極8Aと接続するための配線層である。
図20は、部品内蔵基板1のソルダーレジスト層形成工程の一例を示す説明図である。ステップS18のソルダーレジスト層形成工程では、図20に示すように、充填層2D上にソルダーレジスト層3を形成する。具体的には、充填層2D上にエポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂フィルムを積層してソルダーレジスト層3を形成する。更に、レーザ加工を用いて、配線層4Dを露出するようにソルダーレジスト層3内に開口31を形成することになる。更に、開口31は、ソルダーレジスト層3の表面側の径が配線層4Dの露出する表面側の径よりも大きい、逆円錐台の形状に形成されることになる。
図21は、部品内蔵基板1の接続端子形成工程の一例を示す説明図である。ステップS19の接続端子形成工程では、ソルダーレジスト層形成工程を実行した後、図21に示すように、ソルダーレジスト層3内の開口31に接続端子10を形成する。尚、接続端子10は、例えば、配線層4Bや配線層4Cと同様の製造方法で形成するものとする。具体的には、例えば、セミアディティブ法により、ソルダーレジスト層3内の開口31に接続端子10を形成すると共に、接続端子10上面に錫メッキ層又は半田メッキ層を形成する。次いで、リフロー処理により錫メッキ層又は半田メッキ層を溶融する。これにより、接続端子10上面にバンプ11を形成することになる。
図22は、部品内蔵基板1の支持体除去工程の一例を示す説明図である。ステップS20の支持体除去工程では、図22に示すように、エッチング処理によって第1層2A下面から支持体12を除去する。
図23は、部品内蔵基板1の基板切断工程の一例を示す説明図、図24は、完成品の部品内蔵基板1の一例を示す説明図である。ステップS21の基板切断工程では、図23に示すように切断処理で個々の部品内蔵基板形成領域12Aの内側の切断線Xで切断し、部品内蔵基板形成領域12A間のビルドアップ層2やソルダーレジスト層3を切断することで、図24に示す完成品の部品内蔵基板1を複数得ることになる。
図25は、半導体装置100の一例を示す説明図である。図25に示す半導体装置100は、図24に示す部品内蔵基板1上に半導体チップ50を搭載することで構成する。半導体チップ50下面の電極50Aは、半田51等で接続端子10に接合されることになる。
更に、半導体チップ50の電極50Aと部品内蔵基板1上の接続端子10との接合部は、アンダーフィル樹脂52によって封止され、部品内蔵基板1に半導体チップ50が実装された半導体装置100となる。
図26は、部品内蔵基板1内の金属パッド層6の一例を示す説明図である。図26に示す金属パッド層6は、キャビティ9内のシード層5A上に形成されたニッケルの第1の金属層6Aと、第1の金属層6A上に形成された銅の第2の金属層6Bとを有する。銅メッキは、熱伝導率が高く、絶縁樹脂と高い密着力を有し、レーザ加工における高いレーザ反射率を有する金属である。これに対し、ニッケルは、銅に比較して熱伝導率が低く、弾性率が高い金属である。金属パッド層6は、キャビティ形成工程時に、レーザ加工の加工熱で第2の金属層6Bの温度が上昇する。しかし、第2の金属層6Bと第1層2Aの絶縁樹脂層との間の第1の金属層6Aによって絶縁樹脂層への加工熱の伝播を抑制できる。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質が抑制できる。
尚、実施例1の部品内蔵基板1内の金属パッド層6は、ニッケルの第1の金属層6Aと、銅の第2の金属層6Bとを有する2重構造の金属パッド層を例示したが、これに限定されるものではない。図27は、他の金属パッド層6の一例を示す説明図である。図27に示す金属パッド層6は、粗化ニッケルメッキの第1の金属層60Aと、銅メッキの第2の金属層60Bとを有する。第1の金属層60Aの粗化ニッケルメッキの粗度に応じて第2の金属層60Bの銅メッキの粗度が高くなる。尚、ニッケルメッキの粗度(表面粗さ)は、例えば、Ra=100~300nmである。粗度を高くすることで、第2の金属層60Bの表面積が増加するため、キャビティ形成工程におけるレーザ加工の熱放射率を増加する。そして、第2の金属層60Bと第1層2Aの絶縁樹脂層との間の第1の金属層60Aによって絶縁樹脂層への加工熱の伝播を抑制できる。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質が抑制できる。そして、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
図28Aは、他の金属パッド層6の一例を示す説明図である。図28Aに示す金属パッド層6は、2重構造ではなく、キャビティ9内のシード層5A上にニッケルの単一の金属層60Cで構成しても良い。ニッケルの金属層60Cは、前述した通り、銅に比較して熱伝導率が低い材質のため、金属層60Cによって第1層2Aの絶縁樹脂層への加工熱の伝播を抑制できる。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質が抑制できる。そして、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
図28Bは、他の金属パッド層6の一例を示す説明図である。図28Bに示す金属パッド層6は、キャビティ9内のシード層5A上に形成された銅の第1の金属層60Dと、第1の金属層60D上に形成されたニッケルの第2の金属層60Eとを有する。第2の金属層60Eがニッケルであるため、第2の金属層60Eによって第1層2Aの絶縁樹脂層への加工熱の伝播を抑制できる。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質が抑制できる。そして、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
また、本実施例の金属パッド層6は、銅に比較して熱伝導率が低い材質の金属層を少なくとも含む単一又は2重構造の金属層で構成する場合を例示した。しかしながら、例えば、金属層が3重以上の構造でもよく、銅に比較して熱伝導率の低い材質の層が少なくとも1以上あればよく、適宜変更可能である。
本実施例の部品内蔵基板1は、第1層2Aと、第1層2A上に形成された配線層4A及び金属パッド層6と、配線層4A及び金属パッド6上に形成された第2層2Bと、第2層2Bに形成され、金属パッド層6を露出するキャビティ9とを有する。更に、部品内蔵基板1は、金属パッド層6上に搭載された電子部品8と、キャビティ9内に充填され、電子部品8を埋設する充填層2Dとを有する。更に、金属パッド層6の金属が、配線層4Aの金属より熱伝導率の低い金属を含む。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制することで、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。つまり、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との剥離を防止できる。
部品内蔵基板1は、第2層2Bの所定箇所に形成されたキャビティ9内にある第1層2A上に形成され、かつ、銅に比較して熱伝導率が低い材質の金属層を含む金属パッド層6を有する。部品内蔵基板1は、キャビティ9内の金属パッド層6上に接着材7を介して接続された電子部品8と、キャビティ9内に電子部品8を埋設する充填層2Dとを有する。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制することで、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。つまり、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との剥離を防止できる。
金属パッド層6は、銅に比較して熱伝導率が低い材質の第1の金属層6Aと、第1の金属層6A上に形成され、かつ、接着材7を介して電子部品8と接続された銅の第2の金属層6Bとを有する。第2の金属層6Bと第1層2Aとの間に配置された第1の金属層6Aによってキャビティ形成工程時の加工熱の伝播を抑制できる。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質が抑制できる。そして、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
金属パッド層6は、キャビティ9内の第1層2A上に積層された無電解銅メッキ層のシード層5A上に形成される。その結果、加工熱によるシード層5A下にある第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制して、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
第1の金属層6Aは、配線層の主体となる電解銅メッキ層の銅に比較して弾性率が高い材質である。その結果、充填樹脂及び接着材7を完全に硬化させる熱硬化処理では、接着材7の熱硬化収縮で発生する応力が金属パッド層6や第1層2Aの絶縁樹脂層の界面に作用した場合でも、第1の金属層6Aによって応力発生による層間剥離の発生を抑制できる。
部品内蔵基板1の製造方法としては、第1層2A上の所定箇所に、銅に比較して熱伝導率の低い材質の金属層を含む金属パッド層6を形成し、第1層2A上に第2層2Bを積層する。更に、製造方法としては、レーザ加工を用いて、金属パッド層6の表面が露出するように所定箇所上にある第2層2B及び第3層2Cにキャビティ9を形成し、キャビティ9内の金属パッド層6上に接着材7を介して電子部品8を配置する。更に、製造方法としては、キャビティ9内に充填樹脂を充填し、接着材7と充填樹脂とを熱硬化することで電子部品8をキャビティ9内に埋設する。その結果、金属パッド層6によってキャビティ形成工程時の加工熱の伝播を抑制できる。更に、加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制することで、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
金属パッド層6を形成する工程としては、第1層2A上に銅に比較して熱伝導率の低い材質の第1の金属層6Aを形成した後、第1の金属層6A上に銅の第2の金属層6Bを形成して、第1層2A上に金属パッド層6を形成する。その結果、第2の金属層6Bと第1層2Aとの間に配置された第1の金属層6Aによってキャビティ形成工程時の加工熱の伝播を抑制できる。更に、加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制することで、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
金属パッド層6を形成する工程としては、図8に示す第1の電解メッキ層形成工程で第1層2A上に配線層4Bを形成した後に、図11に示す第2の電解メッキ層形成工程で第1層2A上に第1の金属層6Aを形成する。その結果、同一層上の導体層4である配線層4Bと第1の金属層6Aとを異なるタイミングで形成できる。
更に、キャビティ9内の空間部分の充填樹脂と、電子部品8下面の接着材7とを完全に熱硬化させる際の熱硬化処理では、接着材7の熱硬化収縮による、電子部品8に凸形状の応力が発生する。そして、その応力が金属パッド層6や第1層2Aの界面に作用した場合でも、第1の金属層6Aの材質が高い弾性率を有するニッケルであるため、応力発生による層間剥離の発生を抑制できる。更に、層間剥離の発生を抑制することで、電子部品の変形を抑制できる。
本実施例では、金属パッド層6と第1層2Aとの間の密着力の低下を抑えることができるため、敢えてレーザの出力パワーを抑えて加工熱を減少させる必要がなくなる。その結果、十分な加工熱を用いることで、金属パッド層6の第2の金属層6B上にスミアが残ることもなく、清浄なキャビティ9を形成することが可能になる。
金属パッド層6内の第1の金属層6Aと第1層2Aの絶縁樹脂層との間の層間剥離の発生を抑制することで、電子部品8の搭載箇所の平坦性が確保される。その結果、半導体チップ50を部品内蔵基板1にアセンブリする際の半導体チップ50の電極50Aと部品内蔵基板1に形成されている接続端子10との間隔がばらつくような事態を回避できる。そして、半導体チップ50の電極51と接続端子10との間の接続信頼性を確保できる。
また、層間剥離の発生を抑制することで、電子部品8上面にある電極8Aの高さ(部品内、部品間)のバラツキを少なくなるため、電子部品8上層の充填層2Dの厚みのバラツキも少なくなる。その結果、電極8A上に形成されるビアの深さが均一となるため、ビアと電子部品8の電極8Aとの間の接続信頼性を確保できる。
尚、実施例1の部品内蔵基板1としてコアレスビルドアップ配線基板を例示したが、部品内蔵基板1をコア付きのビルドアップ配線板に適用しても良く、その実施の形態につき、実施例2として以下に説明する。図29は、実施例2のコア付きのビルドアップ配線基板の一例を示す説明図である。尚、実施例1の部品内蔵基板1と同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明ついては省略する。
図29に示すコア付きのビルドアップ配線基板200は、コア基板210上面に配置した多層配線構造(ビルドアップ層)2、コア基板210下面に配置した多層配線構造220とを有する。コア付きのビルドアップ配線基板200の多層配線構造2は、実施例1の部品内蔵基板1に相当する構造を有する。
コア基板210は、コア層211と、貫通電極212とを有し、板状の絶縁体であるコア層211の両面に、金属のメッキにより配線層213が形成されたものである。
多層配線構造220は、絶縁層221と導電性の配線層222とを備える層が積層されたものである。絶縁層221は、例えば、エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂等の絶縁性の樹脂を用いて形成される。また、配線層222は、例えば、セミアディティブ法により銅等の金属を用いて形成される。図1においては、コア基板210の下方の多層配線構造220内に4層の絶縁層221が積層されているが、積層される絶縁層221の数は4層に限定されるものではない。
多層配線構造220のソルダーレジスト層223は、多層配線構造220の表面の配線層224を被覆し、配線層224を保護する層である。ソルダーレジスト層223は、例えば、アクリル樹脂及びポリイミド樹脂等の絶縁性の感光性樹脂からなる層であり、絶縁層の1つである。尚、ソルダーレジスト層223は、例えば、エポキシ樹脂等の絶縁性の非感光性樹脂を用いて形成されても良い。
コア付きのビルドアップ配線基板200のソルダーレジスト層223側は、外部の部品や機器等に接続される面である。外部の部品や機器と電気的に接続する外部接続端子が形成される位置においては、ソルダーレジスト層223に開口部が穿設され、開口部から多層配線構造220の配線層224が露出する。開口部には、例えば、半田ボール等の外部接続端子が形成される。ソルダーレジスト層223が感光性樹脂を用いて形成される場合には、露光・現像により開口部を形成することが可能である。また、ソルダーレジスト層223が非感光性樹脂を用いて形成される場合には、レーザ加工により開口部を形成することが可能である。
実施例2のコア付きのビルドアップ配線基板200は、コア基板210上面に実施例1の部品内蔵基板1に相当する多層配線構造2をビルドアップ法により形成する。その結果、キャビティ形成工程時の加工熱による第1層2Aの絶縁樹脂層の界面の変質を抑制することで、金属パッド層6と第1層2Aの絶縁樹脂層との間の密着力の低下を抑制できる。
本実施例では、キャビティ9の底面に位置する金属パッド層6が他の導体層と接続されていない浮島構造としたが、これに限定されるものではない。例えば、金属パッド層6とグランドとなる他の導体層とがビアによって接続されていても良く、適宜変更可能である。
本実施例では、キャビティ9内に電子部品8が搭載されて充填樹脂が充填された後に、接着材7が充填樹脂とともに熱硬化されるものとしたが、接着材7はより早い段階で熱硬化されても良い。すなわち、電子部品8が仮接着された後、充填樹脂が充填される前に、電子部品8を押圧しながら接着材7が熱硬化されても良い。
1 部品内蔵基板
2A 第1層(第1の絶縁層)
2B 第2層(第2の絶縁層)
2D 充填層
5A シード層(無電解銅メッキ層)
6 金属パッド層
6A、60A 第1の金属層
6B、60B 第2の金属層
7 接着材
8 電子部品
9 キャビティ
2A 第1層(第1の絶縁層)
2B 第2層(第2の絶縁層)
2D 充填層
5A シード層(無電解銅メッキ層)
6 金属パッド層
6A、60A 第1の金属層
6B、60B 第2の金属層
7 接着材
8 電子部品
9 キャビティ
Claims (10)
- 第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に形成された配線層及び金属パッド層と、
前記配線層及び金属パッド上に形成された第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層に形成され、前記金属パッド層を露出するキャビティと、
前記金属パッド層上に搭載された電子部品と、
前記キャビティ内に充填され、前記電子部品を埋設する充填層と、を有し、
前記金属パッド層の金属が、前記配線層の金属より熱伝導率の低い金属を含む
ことを特徴とする部品内蔵基板。 - 前記金属パッド層は、
前記第1の絶縁層上に形成され、かつ、前記配線層の金属より熱伝導率が低い金属の第1の金属層と、
前記第1の金属層上に形成された第2の金属層と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の部品内蔵基板。 - 前記金属パッド層は、
前記第1の絶縁層上に形成された第1の金属層と、
前記第1の金属層上に形成され、かつ、前記配線層の金属より熱伝導率が低い金属の第2の金属層と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の部品内蔵基板。 - 前記金属パッド層は、
前記第1の絶縁層上に形成され、前記配線層の金属より熱伝導率が低い金属の金属層であることを特徴とする請求項1に記載の部品内蔵基板。 - 前記配線層の金属が銅であり、
前記配線層の金属より熱伝導率が低い金属は、
ニッケルであることを特徴とする請求項1~4の何れか一つに記載の部品内蔵基板。 - 前記配線層の金属に比較して熱伝導率が低い金属は、
粗化ニッケルメッキの金属であることを特徴とする請求項1~4の何れか一つに記載の部品内蔵基板。 - 前記配線層の金属より熱伝導率が低い金属は、
前記配線層の金属より弾性率が高い金属でもあることを特徴とする請求項1~6の何れか一つに記載の部品内蔵基板。 - 第1の絶縁層を形成し、
前記第1の絶縁層上に配線層及び金属パッド層を形成し、
前記配線層及び金属パッド層上に第2の絶縁層を形成し、
前記第2の絶縁層に前記金属パッド層を露出するキャビティを形成し、
前記金属パッド層上に電子部品を搭載し、
前記キャビティ内を充填し、前記電子部品を埋設する充填層を形成する、
工程を有し、
前記金属パッド層の金属が、前記配線層の金属より熱伝導率の低い金属を含む
ことを特徴とする部品内蔵基板の製造方法。 - 前記第1の絶縁層上に前記配線層及び前記金属パッド層を形成する工程は、
前記第1の絶縁層上に前記配線層の金属より熱伝導率の低い金属の第1の金属層を形成した後、前記第1の金属層上に第2の金属層を形成して、前記金属パッド層と成すことを特徴とする請求項8に記載の部品内蔵基板の製造方法。 - 前記第1の絶縁層上に前記配線層及び前記金属パッド層を形成する工程は、
前記第1の絶縁層上に前記配線層を形成した後に、前記第1の絶縁層上に前記第1の金属層を形成することを特徴とする請求項9に記載の部品内蔵基板の製造方法。
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US17/674,231 US20220278045A1 (en) | 2021-03-01 | 2022-02-17 | Built-in component board, method of manufacturing the built-in component board |
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