JP2022132507A - Dc power supply device and air conditioner including the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、交流電源の交流電圧を直流電圧に変換して出力する直流電源装置と、これを搭載した空気調和機に関する。 The present invention relates to a DC power supply device that converts an AC voltage of an AC power source into a DC voltage and outputs the DC voltage, and an air conditioner equipped with the DC power supply device.
交流電源を4つのダイオードからなるブリッジ整流回路のリアクトルが接続される側でダイオードの代わり、もしくは並列にMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor:絶縁ゲート電界効果トランジスタ)を用いて所定の制御を行い、整流回路の効率向上を行う同期整流と言われる方式がある。
また、MOSFETに並列に接続されるダイオードはMOSFETの寄生ダイオードによる方法がある(特許文献1)。
The AC power supply is controlled by using MOSFETs (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors) instead of diodes or in parallel on the side where the reactor of a bridge rectifier circuit consisting of four diodes is connected. There is a method called synchronous rectification that improves the efficiency of the rectifier circuit by performing
There is also a method of using a parasitic diode of a MOSFET as a diode connected in parallel with the MOSFET (Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1で開示された同期整流の整流回路は、ダイオードにMOSFETを並列に接続しているため回路効率を向上することできるものの、並列に部品を構成しているため、回路部品点数が増加して小型化できないという課題がある。
また、交流電源の半周期の間に一度のMOSFETのオン/オフ動作を行う方式で制御されており、昇圧できる出力電圧範囲は限定的で直流出力電源の高い出力電圧を得る整流回路を実現できないという課題がある。
また、交流電源電流に含まれる高調波電流成分も高いので入力電源の力率は低いという課題がある。
また、MOSFETに並列に接続されるダイオードをMOSFETの寄生ダイオードを用いる方法も示されているが、一般に寄生ダイオードのスイッチング速度は遅いため、それぞれのMOSFETをオン/オフするスイッチング動作を行うときに、直流出力電源をMOSFETが短絡して流れる過電流が発生するという課題がある。
このため、交流電源の半周期の間に複数回スイッチング動作を行う場合や、可聴周波数を超える、例えば15kHz以上でスイッチング動作を繰り返す場合には、スイッチング損失が増大して整流回路の回路効率が低下するという課題がある。
さらに、交流電源の半周期の間に複数回のスイッチング動作を行う場合には、2つのうち、いずれかのMOSFETに電流が通流することになり、別にダイオードを並列に接続した方式に比べてMOSFETの発熱量が大きいという課題がある。
また、寄生ダイオードに電流が流れているときにゲート信号を印加してチャネル電流を流したときには、ダイオードとしての機能を消失する点については考慮されておらず、MOSFETに並列に接続したダイオードを接続した場合に比べて、逆回復時間が増大して直流電源を短絡する短絡電流が増大すると共に、短絡時間が増大し素子の破損に至る可能性があるという課題がある。
However, the rectifier circuit for synchronous rectification disclosed in
In addition, the MOSFET is controlled by turning on/off the MOSFET once during the half cycle of the AC power supply, and the range of output voltage that can be boosted is limited, and a rectifier circuit that obtains a high output voltage of the DC output power supply cannot be realized. There is a problem.
In addition, there is a problem that the power factor of the input power supply is low because the harmonic current component contained in the AC power supply current is also high.
A method using a parasitic diode of the MOSFET as a diode connected in parallel to the MOSFET is also shown. There is a problem that an overcurrent is generated when the MOSFET short-circuits the DC output power supply.
Therefore, when the switching operation is performed multiple times during the half cycle of the AC power supply, or when the switching operation is repeated at a frequency exceeding the audible frequency, for example, 15 kHz or higher, the switching loss increases and the circuit efficiency of the rectifier circuit decreases. There is a problem of
Furthermore, when switching operations are performed multiple times during the half cycle of the AC power supply, a current flows through one of the two MOSFETs, which is different from the method in which diodes are connected in parallel. There is a problem that the MOSFET generates a large amount of heat.
Also, when a current is applied to the parasitic diode and channel current is caused to flow by applying a gate signal, the loss of the function as a diode is not taken into consideration. As compared with the case where the reverse recovery time is increased, the short-circuit current that short-circuits the DC power supply increases, and the short-circuit time increases, which may lead to damage to the element.
本発明は、前記した課題に鑑みて創案されたものであり、交流電源の高調波電流成分を抑制して力率を改善し、高い直流出力電源の直流電圧を得る直流電源を、少ない部品点数で高い回路効率の直流電源装置を提供すること目的とする。また、前記直流電源装置を搭載した効率のよい空気調和機を提供することを目的とする。 The present invention has been devised in view of the above-described problems, and provides a DC power supply that suppresses the harmonic current components of the AC power supply to improve the power factor and obtains a high DC voltage of the DC output power supply with a small number of parts. It is an object of the present invention to provide a DC power supply device with high circuit efficiency. Another object of the present invention is to provide an efficient air conditioner equipped with the DC power supply.
前記の課題を解決して、本発明の目的を達成するために、以下のように構成した。
すなわち、本発明の直流電源装置は、直流出力電源の正極端子と負極端子との間に直列接続された第1、第2のMOSFETおよび前記正極端子と負極端子の間に直列接続された第3、第4のMOSFETを有するブリッジ整流回路と、交流電源の一端と前記第1、第2のMOSFETの直列接続点との間に接続されたリアクトルと、前記直流出力電源の正極端子と負極端子の間に接続された平滑コンデンサと、前記交流電源の半周期内に、前記リアクトルに流れる電流を前記第1、第2のMOSFETのどちらか一方に通電する動作を複数回繰り返すように前記第1、第2のMOSFETをオン/オフさせる制御回路と、を備え、前記交流電源の他端が前記第3、第4のMOSFETの直列接続点に接続され、各前記第1、第2のMOSFETは、半導体のドリフト領域においてp型半導体層とn型半導体層とを交互に配置したスーパージャンクション構造を有し、かつ、前記p型半導体層に重金属を拡散させるか、または、重粒子の粒子線を照射されており、前記制御回路は、前記第1のMOSFET及び第2のMOSFETのうち、前記リアクトルと前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETとを通して前記交流電源を短絡する側のMOSFETをオフし、さらに所定時間経過後に、前記平滑コンデンサに通流する側のMOSFETをオンし、前記リアクトルが前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETを通して交流電源を短絡する側のMOSFETをオンする所定時間前に前記平滑コンデンサに通流する側のMOSFETをオフする動作を、前記交流電源の半周期内に複数回繰返す、ことを特徴とする。
In order to solve the above problems and achieve the object of the present invention, the following configuration is provided.
That is, the DC power supply device of the present invention includes first and second MOSFETs connected in series between a positive terminal and a negative terminal of a DC output power supply, and a third MOSFET connected in series between the positive terminal and the negative terminal of the DC output power supply. , a bridge rectifier circuit having a fourth MOSFET, a reactor connected between one end of an AC power supply and a series connection point of the first and second MOSFETs, and a positive terminal and a negative terminal of the DC output power supply. A smoothing capacitor connected between the first a control circuit for turning on/off a second MOSFET, the other end of the AC power supply being connected to a series connection point of the third and fourth MOSFETs, each of the first and second MOSFETs being: Having a superjunction structure in which p-type semiconductor layers and n-type semiconductor layers are alternately arranged in a semiconductor drift region, and diffusing a heavy metal in the p-type semiconductor layer or irradiating a particle beam of heavy particles. The control circuit turns off the MOSFET on the side that short-circuits the AC power supply through the reactor and the third MOSFET or the fourth MOSFET, out of the first MOSFET and the second MOSFET, Further, after a predetermined time has passed, the MOSFET on the side conducting to the smoothing capacitor is turned on, and before the predetermined time before the reactor turns on the MOSFET on the side that short-circuits the AC power supply through the third MOSFET or the fourth MOSFET, the The operation of turning off the MOSFET on the side of the smoothing capacitor is repeated a plurality of times within a half cycle of the AC power supply.
また、本発明の空気調和機は、前記直流電源装置を備えることを特徴とする。 Moreover, the air conditioner of this invention is equipped with the said DC power supply device, It is characterized by the above-mentioned.
また、その他の手段は、発明を実施するための形態のなかで説明する。 Other means are also described in the detailed description.
本発明によれば、交流電源の高調波電流成分を抑制して力率を改善し、高い直流出力電源の直流電圧を得る直流電源を、少ない部品点数で高い回路効率の直流電源装置を提供できる。また、前記直流電源装置を搭載した効率のよい空気調和機を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a DC power supply that suppresses the harmonic current component of the AC power supply to improve the power factor and obtains a high DC voltage of the DC output power supply, and a DC power supply device with a small number of parts and high circuit efficiency. . Also, an efficient air conditioner equipped with the DC power supply can be provided.
以下、本発明を実施するための形態(以下においては「実施形態」と表記する)を、適宜、図面を参照して説明する。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form (it is described as "embodiment" below) for implementing this invention is demonstrated with reference to drawings suitably.
≪第1実施形態≫
本発明の第1実施形態の直流電源装置を、図を参照して説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る直流電源装置の構成例を示す図であり、(a)は直流電源装置の構成と、交流電源と負荷との接続関係を示し、(b)はMOSFET(Q1,Q2)と寄生ダイオードの関連を示している。
<<First Embodiment>>
A DC power supply device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a DC power supply device according to a first embodiment of the present invention, (a) showing the configuration of the DC power supply device and the connection relationship between the AC power supply and the load, and (b) shows the relationship between MOSFETs (Q1, Q2) and parasitic diodes.
<直流電源装置の構成と動作:その1>
図1の(a)において、直流電源装置100は、n型のMOSFET(Q1:第1のMOSFET)、n型のMOSFET(Q2:第2のMOSFET)、ダイオードD1(第1のダイオード)、ダイオードD2(第2のダイオード)、リアクトル12、平滑コンデンサ13、交流電源電圧検出回路11、直流出力電圧検出回路15、電流検出回路14、制御回路16によって構成されている。
直流電源装置100の機能、動作の概要は次のとおりである。
直流電源装置100は、前記のMOSFET(Q1,Q2)とダイオードD1,D2とによるブリッジ整流回路によって、交流電圧(電力)を直流電圧(電力)に整流し、平滑コンデンサ13によって、平滑化、安定化された直流電圧(電力)を出力する。
また、リアクトル12と、交流電源電圧検出回路11と直流出力電圧検出回路15と電流検出回路14とによる電圧、電流の信号を基に制御回路16によってMOSFET(Q1,Q2)が所定の制御をされることによって、直流電源装置100は、昇圧動作をするとともに、所定の力率を確保する動作をする。
<Configuration and Operation of DC Power Supply:
In FIG. 1A, the DC
The functions and operations of the DC
The
Further, the MOSFETs (Q1, Q2) are controlled by the
次に、直流電源装置100の各部の構成と動作について詳しく説明する。
MOSFET(Q1)のソース電極とMOSFET(Q2)のドレイン電極が接続され、MOSFET(Q1)のドレイン電極は、直流出力電源の正極端子Epに接続され、MOSFET(Q2)のソース電極は、直流出力電源の負極端子Enに接続されている。
ダイオードD1のアノードとダイオードD2のカソードが接続され、ダイオードD1のカソードは正極端子Epに接続され、ダイオードD2のアノードは負極端子Enに接続されている。
平滑コンデンサ13の正極(もしくは一端)は正極端子Epに接続され、負極(もしくは他端)は負極端子Enに接続されている。
MOSFET(Q1)のドレイン電極とMOSFET(Q2)のソース電極は、リアクトル12を介して交流電源110の一端に接続されている。
ダイオードD1のアノードとダイオードD2のカソードは、交流電源110の他端に接続されている。
Next, the configuration and operation of each part of the DC
The source electrode of the MOSFET (Q1) and the drain electrode of the MOSFET (Q2) are connected, the drain electrode of the MOSFET (Q1) is connected to the positive terminal Ep of the DC output power supply, and the source electrode of the MOSFET (Q2) is connected to the DC output. It is connected to the negative terminal En of the power supply.
The anode of the diode D1 and the cathode of the diode D2 are connected, the cathode of the diode D1 is connected to the positive terminal Ep, and the anode of the diode D2 is connected to the negative terminal En.
The positive terminal (or one end) of the
A drain electrode of MOSFET (Q1) and a source electrode of MOSFET (Q2) are connected to one end of
The anode of diode D1 and the cathode of diode D2 are connected to the other end of
以上のように、所定の制御をされるMOSFET(Q1,Q2)とダイオードD1,D2とによって、ブリッジ整流回路が構成されるので、交流電源110の交流電圧(電力)が前記のブリッジ整流回路で整流されて直流電圧(電力)が平滑コンデンサ13に蓄積される。
また、正極端子Epと負極端子Enとが直流電源装置100の直流出力電源の端子となっている。
また、平滑コンデンサ13の両端子、すなわち正極端子Epと負極端子Enは、負荷120に接続されて、負荷120に直流電圧(電力)を供給する。
As described above, the MOSFETs (Q1, Q2) and the diodes D1, D2, which are controlled in a predetermined manner, form a bridge rectifier circuit. The rectified DC voltage (power) is accumulated in the
The positive terminal Ep and the negative terminal En are terminals of the DC output power source of the DC
Both terminals of the
<寄生ダイオード:その1>
なお、MOSFET(Q1,Q2)には、図1の(b)に示すように、ソース・ドレイン間に寄生ダイオードDpが、MOSFETの構造上、必然的に構成される。
この寄生ダイオードDpのpn接合面に形成される空乏層に蓄積される電荷によって、前記した、あるいは後記する逆回復電流が生じることになる。
この寄生ダイオードDpは、図1の(a)においては、記載を省略している。
また、寄生ダイオードDpの具体的な構成は、後記する。
<Parasitic Diode:
Note that the MOSFETs (Q1, Q2) inevitably include a parasitic diode Dp between the source and the drain, as shown in FIG. 1(b), due to the structure of the MOSFETs.
The charge accumulated in the depletion layer formed on the pn junction surface of the parasitic diode Dp causes the reverse recovery current described above or later.
The parasitic diode Dp is omitted from FIG. 1(a).
A specific configuration of the parasitic diode Dp will be described later.
<直流電源装置の構成と動作:その2>
再び、図1の(a)について説明する。
制御回路16は、交流電源110の交流電圧を交流電源電圧検出回路11と、平滑コンデンサ13の両端の直流出力電圧を検出する直流出力電圧検出回路15と、平滑コンデンサ13に充電する電流を検出する電流検出回路14と、からの入力信号を演算処理することによって、MOSFET(Q1、Q2)の駆動信号を出力する機能を備えている。
<Configuration and Operation of DC Power Supply: Part 2>
FIG. 1(a) will be described again.
The
ブリッジ整流回路(Q1,Q2,D1,D2)は、MOSFET(Q1、Q2)が共にオフ状態であるとすると、交流電源110のリアクトル12に接続される側の端子電圧が他の端子電圧より高い場合には、交流電源110から流出する電流は、リアクトル12とMOSFET(Q1)内部の半導体素子のソースとドレイン間のpn接合(寄生ダイオードDp)を通して流れる。そして平滑コンデンサ13の正極に電荷を供給する。
また、平滑コンデンサ13の負極から流出する電流は、ダイオードD2を通して交流電源110に戻る。すなわち、全波整流回路を構成している。
この際、前記のpn接合を通して流れている側のMOSFET(Q1)のゲートにオン信号を与えれば、pn接合層にMOSFETとしてのチャネル(n)が形成されてソースからドレインの方向、即ち、MOSFET(Q1)の逆方向電流を流すことができる。
なお、「逆方向電流」と表記したのはn型のMOSFETは、通常、ドレインからソースに電流を流すものであり、ソースからドレインに流すことは、逆方向に相当するからである。
In the bridge rectifier circuit (Q1, Q2, D1, D2), if both MOSFETs (Q1, Q2) are in the OFF state, the terminal voltage on the side connected to the
Also, the current flowing out from the negative electrode of the smoothing
At this time, if an ON signal is given to the gate of the MOSFET (Q1) flowing through the pn junction, a channel (n) as a MOSFET is formed in the pn junction layer and the direction from the source to the drain, that is, the MOSFET A reverse current of (Q1) can flow.
The term "reverse current" is used because an n-type MOSFET normally flows a current from the drain to the source, and flowing from the source to the drain corresponds to the reverse direction.
また、交流電源110の電圧瞬時値が平滑コンデンサ13の直流電圧より低い場合には、以下のような昇圧動作を行う。
交流電源110のリアクトル12に接続される側の電圧が高い場合、MOSFET(Q2)をオン(ON)状態にして、交流電源110をリアクトル12とMOSFET(Q2)とダイオードD2とを通して短絡し、リアクトル12にエネルギーを蓄積する。
そして、所定時間の経過後にMOSFET(Q2)をオフ(OFF)し、MOSFET(Q1)を通して(Q1の寄生ダイオードが導通)、平滑コンデンサ13に還流電流を供給(リアクトル12のエネルギーを放出)して電荷を充電する昇圧動作を行う。
この逆方向電流が流れているMOSFET(Q1)にオン信号を与えれば、MOSFET(Q1)のpn接合層にMOSFETとしてのチャネル(n)が形成されてソースからドレインの方向、すなわち、MOSFET(Q1)の逆方向に効率よく還流電流を流すことができる。
Also, when the instantaneous voltage value of the
When the voltage on the side of the
Then, after a predetermined time has passed, the MOSFET (Q2) is turned off (OFF), and the return current is supplied to the smoothing capacitor 13 (the energy of the
If an ON signal is given to the MOSFET (Q1) in which this reverse current is flowing, a channel (n) as a MOSFET is formed in the pn junction layer of the MOSFET (Q1) and the direction from the source to the drain, that is, the MOSFET (Q1 ), the return current can efficiently flow in the opposite direction.
一般にpn接合層に発生する電圧降下(順方向電圧降下)よりもゲートに電圧を印加して電流を流したときのオン抵抗による電圧降下は低いので、MOSFET(Q1)に発生する損失を低減できる。
ただし、交流電源110の半周期内で複数回、MOSFET(Q1)とMOSFET(Q2)を相補的にオン/オフ(ON/OFF)動作を繰返す場合には、例えば特許文献1のような従来技術では、MOSFET(Q1)にオン信号を印加して逆方向電流が流れている状態で、次のスイッチング動作(Q1をオフ、Q2をオン)をおこなう場合、平滑コンデンサ13に蓄えられた電荷がMOSFET(Q1)とMOSFET(Q2)を通して短絡されて過大な電流(逆回復電流)が逆回復時間の間、流れてQ1またはQ2が破壊するか、あるいは効率が低下するという問題が起こる。
そのため、本実施形態では、以下に説明するような構成、構造をとる。
In general, the voltage drop due to the on-resistance when a voltage is applied to the gate and current flows is lower than the voltage drop (forward voltage drop) that occurs in the pn junction layer, so the loss that occurs in the MOSFET (Q1) can be reduced. .
However, when the MOSFET (Q1) and MOSFET (Q2) are complementarily turned on and off (ON/OFF) multiple times within the half cycle of the
Therefore, the present embodiment adopts the configuration and structure described below.
本(第1)実施形態では、後記するように、MOSFET(Q1、Q2)のMOSFETの半導体のドリフト領域において、ドレイン・ソースの電流経路の方向に対して垂直方向にp型半導体層とn型半導体層を交互に配置した構造(スーパージャンクション構造)を有し、かつ、MOSFETに印加される電圧が逆方向電圧から順方向電圧に切替わると同時に、MOSFETのゲート信号をオン信号からオフ信号に切替えたときに生じる逆回復時間に比べてMOSFETのゲート信号をオフしているときに生じる逆回復時間が短い特性を有するMOSFETを備える。
さらに、リアクトル12で電源短絡する側のMOSFETがオンする所定時間前に逆方向電流が流れている側のMOSFETをオフするようにした。この構成により、交流電源の半周期に複数回、MOSFET(Q1)をオフ、MOSFET(Q2)をオンしたとき、あるいはMOSFET(Q2)をオフ、MOSFET(Q1)をオンしたときに発生する過大な電流を抑制することが可能である。
In the present (first) embodiment, as will be described later, in the semiconductor drift region of the MOSFETs (Q1, Q2), the p-type semiconductor layer and the n-type It has a structure in which semiconductor layers are alternately arranged (superjunction structure), and at the same time that the voltage applied to the MOSFET is switched from the reverse voltage to the forward voltage, the gate signal of the MOSFET is changed from the ON signal to the OFF signal. The MOSFET has a characteristic that the reverse recovery time that occurs when the gate signal of the MOSFET is turned off is shorter than the reverse recovery time that occurs when the MOSFET is switched.
Furthermore, the MOSFET on the side in which the reverse current is flowing is turned off a predetermined time before the MOSFET on the side of the
<MOSFETの構造:その1>
本発明の第1実施形態に係るMOSFETの構造を、図2に示すMOSFET素子の断面図を参照して説明する。
図2は、図1において用いたMOSFET(Q1,Q2)の断面の構造例を示す図であり、(a)はMOSFETの断面構造を示し、(b)はMOSFETのソースとゲート付近の構造を拡大して示している。
図2で示したMOSFETは、縦型の構造のMOSFETである。以下においても縦型の構造のMOSFETを単にMOSFETと表記する。
図2の(a)および(b)において、MOSFET200は、MOSFETの一方の面(紙面の上部)にソース電極211とゲート電極212を備え、他方の面(紙面の下部)にドレイン電極213を備えている。
<Structure of MOSFET:
The structure of the MOSFET according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the cross-sectional view of the MOSFET device shown in FIG.
FIG. 2 is a diagram showing an example of the cross-sectional structure of the MOSFETs (Q1, Q2) used in FIG. It is shown enlarged.
The MOSFET shown in FIG. 2 is a vertical MOSFET. A MOSFET having a vertical structure is simply referred to as a MOSFET below.
2A and 2B, the
ソース電極211は、金属電極21Sを介してp+型半導体層27とn+型半導体層26に接続されている。
ゲート電極212は、金属電極であるゲート電極21Gに接続されている。ゲート電極21Gの直下(紙面の下方向)には絶縁膜(絶縁層)28を介して、n+型半導体層26とp型半導体層25とn型半導体層22とでn型のMOSFETが部分的に構成されている。
すなわち、ゲート電極21Gが閾値を超えて高電位(Hレベル)になると、p型半導体層25に、電子が誘起されて、p型を形成する不純物原子の影響を凌駕し、p型半導体層25がn型に反転する。つまりチャネル(n)が形成される。そのため、n+型半導体層26とn型の反転層(25)とn型半導体層22とがすべてn型で並ぶことになるので、導通(オン、ON)することになる。
また、n+型半導体層26は前記したように、金属電極21Sを介してソース電極211に接続しており、またn型半導体層22は、n+型半導体層24を介してドレイン電極213に接続されている。
なお、p+型半導体層27は、p型半導体層25よりも、p型とする3価の不純物元素の濃度が高い。また、n+型半導体層26は、n型半導体層22よりも、n型とする5価の不純物元素の濃度が高い。
The
The
That is, when the
As described above, the n + -
It should be noted that the p + -
また、ゲート電極21Gが高電位(Hレベル)になることによって、n型の反転するのは、ゲート電極21G直下近傍のp型半導体層25のみならず、p型半導体層23も、高電位が強まる(より高い電位になる)ことによって、深い層(紙面の下方向)まで、反転層が広がる。
すなわち、ゲート電極21Gが高電位になるにつれ、p型半導体層25、および、p型半導体層23がn型に反転する領域が広がり、このn型に反転した領域とn型半導体層22との接触面積が広がるにつれ、MOSFETのオン抵抗は小さくなって良好に導通する。
In addition, when the
That is, as the potential of the
<寄生ダイオード:その2>
なお、ソース電極211は、金属電極21Sを介してp+型半導体層27に接続され、p+型半導体層27はp型半導体層25に接し、p型半導体層25はp型半導体層23に接している。
また、ドレイン電極213は、n+型半導体層24に接続され、n+型半導体層24はn型半導体層22に接している。
そして、p型半導体層23とp型半導体層25は、n型半導体層22に接している。
以上の構成から、ソース電極211-金属電極21S-p+型半導体層27-p型半導体層25-p型半導体層23-n型半導体層22-n+型半導体層24-ドレイン電極213の構造によって、ソース電極211とドレイン電極213との間に存在する寄生ダイオードDpとなる。
また、前記のp型半導体層23-n型半導体層22におけるpとnとの接触面が、ソース電極211とドレイン電極213との間に存在する寄生ダイオードDpの根源となる。
なお、p型半導体層25とp型半導体層23とは、製造工程に差異があるが、p拡散の不純物濃度は略等しい。
<Parasitic Diode: Part 2>
The
Also, the
The p-
From the above configuration, the structure of source electrode 211 -
Further, the contact surface between p and n in the p-type semiconductor layer 23 -n-
Although the p-
<MOSFETの構造:その2>
図2に示すn型のMOSFET200は、n型半導体層22(ドリフト領域)と表記した領域の材質の導体基板(ウェハー)を基に製造工程が構成される。
このMOSFETの半導体のドリフト領域において、紙面の左右方向(ドレイン・ソース方向に対して垂直方向)にp型半導体層23とn型半導体層22を交互に配置した構造(スーパージャンクション構造)を有している。
前記の構造を有するMOSFET200のドレイン電極213とソース電極211間に順方向電圧を加えるとn型半導体層22に広がる空乏層に、紙面の上下方向に均一な電界強度が得られるため高耐圧となる。
なお、p型半導体層23とn+型半導体層24との間隔は、耐圧が低下しない程度の距離を確保する。
また、ドリフト領域のn型半導体層22のキャリア濃度を低くできるのでオン抵抗の小さいMOSFETが実現できる。
また、前記のように、p型半導体層23とn型半導体層22を交互に配置した構造をとっており、MOSFET200としてのドレイン・ソース間の対抗面積が広くなっているので、オン抵抗の小さいMOSFETが実現できる。
<Structure of MOSFET: Part 2>
The manufacturing process of the n-
The semiconductor drift region of this MOSFET has a structure (superjunction structure) in which p-type semiconductor layers 23 and n-type semiconductor layers 22 are alternately arranged in the left-right direction of the paper surface (perpendicular to the drain-source direction). ing.
When a forward voltage is applied between the
The distance between the p-
In addition, since the carrier concentration of the n-
In addition, as described above, the p-
なお、スーパージャンクション構造をとると、ソースとドレイン間に構成したpn接合の面積は、p型半導体層23を設けていない縦型のMOSFETに比較して、増大するので、pn接合部の逆回復時間は増大する。
ただし、p型半導体層23に重金属を拡散させるか、あるいは、重粒子などの粒子線を照射して、pn接合部の逆回復時間を短縮する。これは、p型半導体層23内に重金属や重粒子があると、p型半導体層23に新たなエネルギー準位が設けられて、電子や正孔の移動が速やかに行われるためである。
When the superjunction structure is adopted, the area of the pn junction formed between the source and the drain is increased compared to a vertical MOSFET without the p-
However, the p-
本実施形態の前記構造により、高耐圧で低オン抵抗、しかも逆回復時間の短いMOSFETを構成できる。本実施形態では上記構造を有するMOSFETを備えたので、従来、MOSFETに並列に接続していたダイオードは必要がなくなり、整流回路の部品点数を低減して経済的な直流電源回路を構成することができる効果がある。 According to the structure of the present embodiment, a MOSFET having a high breakdown voltage, a low on-resistance, and a short reverse recovery time can be constructed. In this embodiment, since the MOSFET having the above structure is provided, the diode connected in parallel with the MOSFET is no longer necessary, and the number of parts of the rectifier circuit can be reduced to construct an economical DC power supply circuit. There is an effect that can be done.
<MOSFETの逆回復時間>
次に、MOSFETの逆回復時間について説明する。
以下においては、n型のMOSFETの場合について説明するが、p型のMOSFETの場合にはソースとドレインに流れる電流が逆になるだけで同様に考えることができる。
<Reverse recovery time of MOSFET>
Next, the reverse recovery time of MOSFET will be described.
In the following, the case of an n-type MOSFET will be explained, but in the case of a p-type MOSFET, the currents flowing through the source and the drain are reversed and the same can be considered.
n型のMOSFETにおいて、ソース電位を基準にドレイン電位が高い場合を順方向電圧と呼称し、逆にソース電位がドレイン電位より高い場合を逆方向電圧と呼称する。
また、ゲート電圧が閾値以下である場合をオフ状態、ゲート電圧が閾値以上のオン状態と呼称することにする。
また、n型のMOSFETは、前記したようにソースからドレイン方向にpn接合(寄生ダイオードDp)を備えており、逆方向電圧が印加されたときにMOSFETがオフ状態にあれば、ソースからドレインに電流が流れるが、この電流を逆方向電流と呼称する。
逆方向電流が流れている状態で、MOSFETに順方向電圧が印加されたとき、pn接合の電荷が排出されることによりドレインからソース方向に流れる電流を逆回復電流と呼称する。また、電流が流れる時間を逆回復時間という。
In an n-type MOSFET, when the drain potential is higher than the source potential, it is called a forward voltage, and conversely, when the source potential is higher than the drain potential, it is called a reverse voltage.
In addition, a state in which the gate voltage is equal to or less than the threshold is referred to as an OFF state, and a state in which the gate voltage is equal to or greater than the threshold is referred to as an ON state.
Further, the n-type MOSFET has a pn junction (parasitic diode Dp) in the direction from the source to the drain as described above. A current flows, and this current is called a reverse current.
When a forward voltage is applied to the MOSFET while a reverse current is flowing, the current flowing from the drain to the source due to the discharge of the pn junction charge is called a reverse recovery current. The time during which current flows is called reverse recovery time.
MOSFET(Q1,Q2)によって、同期整流動作を行うときには、MOSFET(Q1,Q2)のソースからドレイン方向に逆方向電流が流れているときに、高電位のゲート電圧を印加してMOSFETをオン状態とする。
また、MOSFETに順方向電圧が印加するときには同時にゲート電圧を閾値以下としてオフ状態にする。
また、MOSFET(Q1,Q2)に、逆方向電流が流れている状態で順方向電圧を印加したとき、逆方向電流から順方向電流に電流の流れる方向が変わるが、ゲート電圧を閾値以下にしているので、電流は遮断される。
しかし、電流遮断までには時間遅れが生じるので、ドレインからソース方向に電流が流れるが、この電流を逆回復電流、電流が流れる時間を逆回復時間ということにする。
When synchronous rectification is performed by the MOSFETs (Q1, Q2), a high-potential gate voltage is applied to turn on the MOSFETs (Q1, Q2) when a reverse current is flowing from the source to the drain of the MOSFETs (Q1, Q2). and
Further, when a forward voltage is applied to the MOSFET, the gate voltage is simultaneously set to be equal to or lower than the threshold value to turn off the MOSFET.
Also, when a forward voltage is applied to the MOSFETs (Q1, Q2) while a reverse current is flowing, the direction of current flow changes from the reverse current to the forward current. current is interrupted.
However, since there is a time delay before the current is cut off, a current flows from the drain to the source. This current is called the reverse recovery current, and the time during which the current flows is called the reverse recovery time.
<MOSFETの逆回復時間の試験方法>
本(第1)実施形態の直流電源装置の構成では、MOSFETの逆回復時間が回路効率に大きく影響を及ぼす。
高効率の直流電源装置を実現するためには、ゲート電圧を印加しないMOSFETがオフ状態のときの逆回復時間と、これに対して逆方向電圧から順方向電圧に切替わると同時にMOSFETのゲート信号をオン信号からオフ信号に切替えたときに生じる逆回復時間とを比較することが有効である。
<Test method for reverse recovery time of MOSFET>
In the configuration of the DC power supply device of this (first) embodiment, the reverse recovery time of the MOSFET greatly affects the circuit efficiency.
In order to realize a highly efficient DC power supply, the reverse recovery time when the MOSFET to which the gate voltage is not applied is in the OFF state, and the gate signal of the MOSFET at the same time when the reverse voltage is switched to the forward voltage. It is useful to compare the reverse recovery time that occurs when switching from an on signal to an off signal.
《Q1,Q2のゲート信号同時切替時の逆回復時間の測定方法》
図3は、本発明の第1実施形態に係るMOSFETのゲート電圧印加時の逆回復時間を測定する測定回路を示す図であり、(a)はゲート信号同時切替時の逆回復時間を測定する回路例を示し、(b)は逆回復時間測定時のGate信号1とGate信号2と逆方向電流の波形を示している。
図3の(a)において、測定回路は、直流電源31の両極に逆回復時間を測定する供試品であるn型のMOSFET(Q1)と、MOSFET(Q1)に逆電圧を印加するためのMOSFET(Q2)を直列に接続し、MOSFET(Q1)に電流を通流するリアクトル12により構成されている。
<<Method of measuring reverse recovery time when gate signals of Q1 and Q2 are switched at the same time>>
FIG. 3 is a diagram showing a measurement circuit for measuring the reverse recovery time when the gate voltage is applied to the MOSFET according to the first embodiment of the present invention, and (a) measures the reverse recovery time when the gate signals are simultaneously switched. An example of a circuit is shown, and (b) shows waveforms of
In (a) of FIG. 3, the measurement circuit includes an n-type MOSFET (Q1), which is a test sample for measuring the reverse recovery time, on both poles of the
図3の(b)において、逆回復時間測定時のMOSFET(Q1)に印加するGate信号1とMOSFET(Q2)に印加するGate信号2の信号発生タイミングと、供試品であるMOSFET(Q1)のソースからドレインに流れる逆方向電流Isdの波形を示している。
In (b) of FIG. 3, the signal generation timing of
逆回復時間の測定にあたり、まずGate信号2の電圧を立ち上げてMOSFET(Q2)をオン状態にしてリアクトル12を通して直流電源31を短絡する(図3の(b)には図示していない)。
所定の逆方向電流までリアクトル12の電流が上昇したらMOSFET(Q2)をオフして供試品としてのMOSFET(Q1)に還流電流を流す(図3の(b)の初めの状態)。
その後、図3の(b)に示すように、Gate信号1の電圧を立ち下げる信号をMOSFET(Q1)に、Gate信号2の電圧を立ち上げる信号をMOSFET(Q2)に、それぞれ加えて、MOSFET(Q1)をオフし、MOSFET(Q2)をオンする。
MOSFET(Q2)がオンすることによって、MOSFET(Q2)のドレイン電極とMOSFET(Q1)のソース電極は低電位となり、MOSFET(Q1)のソース・ドレイン間の電圧は逆方向電圧から順方向電圧に切替わる。
このときにMOSFET(Q1)に流れる逆方向電流Isdは、図3の(b)に示す波形となり、逆方向電流Isdが負の方向、即ちドレインからソースに流れる順方向電流が流れている期間が逆回復時間td1である。
In measuring the reverse recovery time, the voltage of the Gate signal 2 is first raised to turn on the MOSFET (Q2) to short-circuit the
When the current in the
After that, as shown in FIG. 3B, a signal for lowering the voltage of
By turning on the MOSFET (Q2), the drain electrode of the MOSFET (Q2) and the source electrode of the MOSFET (Q1) become low potential, and the voltage between the source and the drain of the MOSFET (Q1) changes from the reverse voltage to the forward voltage. switch.
The reverse current Isd flowing through the MOSFET (Q1) at this time has a waveform shown in FIG. This is the reverse recovery time td1.
《Q1のゲート信号オフ状態保持時の逆回復時間の測定方法》
図4は、本発明の第1実施形態に係るMOSFETのゲート信号オフ状態保持時の逆回復時間を測定する測定回路を示す図であり、(a)は供試品のMOSFET(Q1)のゲート信号オフ状態保持時の逆回復時間を測定する回路を示し、(b)は逆回復時間測定時のGate信号1とGate信号2と逆方向電流の波形を示している。
図4の(a)において、測定回路は、前記の図3(a)に示す回路に比べて、供試品のMOSFET(Q1)のゲート-ソース間を低抵抗で短絡していること、および図3(b)の逆回復時間の測定に際して、供試品にゲート信号をオフ状態に保持することを除いて、図3の(a)と同様である。なお、ゲート-ソース間に低抵抗を備えたのは、測定の際のノイズの影響を低減するためである。
《How to measure the reverse recovery time when the gate signal of Q1 is kept off》
FIG. 4 is a diagram showing a measurement circuit for measuring the reverse recovery time when the gate signal off state of the MOSFET according to the first embodiment of the present invention is held. A circuit for measuring reverse recovery time when a signal is held in an off state is shown, and (b) shows waveforms of
In (a) of FIG. 4, the measurement circuit short-circuits the gate and source of the MOSFET (Q1) of the sample with a lower resistance than the circuit shown in FIG. 3 (a), and The measurement of the reverse recovery time in FIG. 3(b) is the same as in FIG. The reason for providing a low resistance between the gate and source is to reduce the influence of noise during measurement.
図4の(a)、(b)において、所定の逆方向電流までリアクトル12の電流が上昇したらMOSFET(Q2)をオフして供試品のMOSFET(Q1)のpn接合に還流電流を流す。
その後、図4(b)に示すように、Gate信号2の電圧を立ち下げるが、Gate信号1の電圧を立ち上げない。
このときMOSFET(Q2)はオンするが、MOSFET(Q1)はオフ状態のままである。
このときに供試品のMOSFET(Q1)に流れる逆方向電流Isdは図に示す波形となり、逆方向電流Isdが負の方向、即ちドレインからソースに流れる順方向電流が流れている期間が逆回復時間td2である。
In (a) and (b) of FIG. 4, when the current in the
After that, as shown in FIG. 4B, the voltage of Gate signal 2 is lowered, but the voltage of
At this time, the MOSFET (Q2) is turned on, but the MOSFET (Q1) remains off.
At this time, the reverse current Isd flowing through the MOSFET (Q1) under test has the waveform shown in the figure. It is time td2.
以上、図3における逆回復時間td1と、図4における逆回復時間td2とを比較すれば、td1>td2であることが分かる。
この逆回復時間td1と逆回復時間td2との差は、図3の(b)においては、Gate信号2がLレベルからHレベルに変わる直前まで、Gate信号1がHレベルであったこと、すなわちMOSFET(Q1)が直前までオンしていたことである。
これに対して、図4の(b)においては、Gate信号2がLレベル(低電位)からHレベル(高電位)に変わる前後において、Gate信号1がLレベルを保っていたことである。
As described above, by comparing the reverse recovery time td1 in FIG. 3 and the reverse recovery time td2 in FIG. 4, it can be seen that td1>td2.
The difference between the reverse recovery time td1 and the reverse recovery time td2 is that the
On the other hand, in (b) of FIG. 4, the
<本実施形態を構成するMOSFETの逆回復時間>
本(第1)実施形態の直流電源装置100は、MOSFETに逆方向電流が流れるときにゲートに電圧を印加しない場合のpn接合層に発生する電圧降下よりもゲートに電圧を印加して電流を流したときのオン抵抗による電圧降下が低いことを利用するものである。
そのため、交流電源110の半周期の期間に複数回、2つのMOSFET(Q1,Q2)のうち一方が逆方向電流を通電しているときに、他方のMOSFET(Q1,Q2)がオンするときには逆回復電流の発生は回避できない。
そこで、本実施形態では、MOSFETのオン信号をオフ信号の切替えと同時にMOSFETに印加される電圧が逆方向電圧から順方向電圧に切替えたときに生じる逆回復時間に比べてMOSFETをオフしているときの逆回復時間が短い特性を有するMOSFETを備える。
<Reverse Recovery Time of MOSFET Constituting this Embodiment>
The DC
Therefore, when one of the two MOSFETs (Q1, Q2) conducts a reverse current a plurality of times during the half cycle of the
Therefore, in the present embodiment, the MOSFET is turned off compared to the reverse recovery time that occurs when the voltage applied to the MOSFET is switched from the reverse voltage to the forward voltage at the same time when the on signal of the MOSFET is switched to the off signal. A MOSFET having a short reverse recovery time characteristic is provided.
この特性を有するMOSFETを用いることによって、通電していない側のMOSFETがオンする所定時間前に、逆方向電流が流れている側のMOSFETのゲート信号をオフすれば、スイッチング動作を行うときには、逆方向電流が通電している側のMOSFETの半導体の前記に述べた逆回復時間の短いpn接合部を流れるようになり、短絡電流が流れる時間を短くすることができる。
この構成と方法により、直流電源装置100の回路損失を低減できる。また、交流電源110の半周期内に連続的に流れるリアクトル12の電流を、前記の2つのMOSFETのどちらか一方に通電するようにオン/オフする動作を複数回繰返すことができる。
By using a MOSFET having this characteristic, if the gate signal of the MOSFET on the side where the reverse current is flowing is turned off a predetermined time before the MOSFET on the non-conducting side turns on, the switching operation can be performed in the reverse direction. The directional current flows through the pn junction having a short reverse recovery time of the semiconductor of the MOSFET on the conducting side, thus shortening the time during which the short-circuit current flows.
With this configuration and method, the circuit loss of the DC
<直流電源装置の動作>
第1実施形態の直流電源装置100(図1)の動作を、図5を参照して説明する。
図5は、図1に示す直流電源装置の電圧、電流波形と制御信号を示す図である。
図5において、紙面の上段から順に、交流電源110(図1)の「交流電源波形」、リアクトル12(図1)の「リアクトル電流波形」、および制御回路16(図1)の各種の信号と制御信号である「電源同期信号」、「昇圧信号」、「遅延信号」、「前倒信号」、「Gate信号1」、「Gate信号2」を表記している。また、横軸は時間(時間の推移)である。
図5における交流電源波形511は、1周期分が記載されている。交流電源波形511が正の期間の半周期において、MOSFET(Q1,Q2)を駆動するGate信号1、Gate信号2をオン/オフする動作を3回(複数回)行っている。
このMOSFET(Q1,Q2)のオン/オフ動作により、リアクトル12(図1)のリアクトル電流波形513A(513B)は、鋸波状になっている。
<Operation of the DC power supply>
The operation of the DC power supply device 100 (FIG. 1) of the first embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is a diagram showing voltage, current waveforms, and control signals of the DC power supply device shown in FIG.
5, in order from the top of the page, "AC power waveform" of AC power supply 110 (FIG. 1), "Reactor current waveform" of reactor 12 (FIG. 1), and various signals of control circuit 16 (FIG. 1) Control signals "power synchronization signal", "boost signal", "delay signal", "advance signal", "
One cycle of the
Due to the ON/OFF operation of the MOSFETs (Q1, Q2), the reactor current waveform 513A (513B) of the reactor 12 (FIG. 1) has a sawtooth waveform.
《交流電源波形が正の期間》
交流電源波形が正の期間の半周期の各信号の生成について説明する。
図5において、電源同期信号Aは、交流電源の電圧を検出する交流電源電圧検出回路11の出力から得られた交流電源の位相情報から生成される。
昇圧信号B1,B2,B3(B4,B5,B6)は、直流出力電圧を検出する直流出力電圧検出回路15と平滑コンデンサ13に充電電流を検出する電流検出回路14の情報から生成される。
昇圧信号B1,B2,B3によって、交流電源110を、リアクトル12を通して短絡する側のMOSFET(Q2)を駆動するGate信号2(C1,C2,C3)をHレベルとして生成する。
<Period in which AC power waveform is positive>
The generation of each half-cycle signal in the positive period of the AC power supply waveform will be described.
In FIG. 5, the power supply synchronization signal A is generated from the phase information of the AC power supply obtained from the output of the AC power supply
The boost signals B1, B2, B3 (B4, B5, B6) are generated from the information of the DC output
Gate signals 2 (C1, C2, C3) for driving the MOSFET (Q2) on the side that short-circuits the
また、遅延信号G1,G2,G3は、昇圧信号B1,B2,B3がそれぞれオフしてから所定の遅延時間を経過するように生成される。
また、前倒信号E2,E3は、昇圧信号B2,B3がそれぞれオンする所定の時間前に生成される。
平滑コンデンサ13(図1)に電流を供給する側のMOSFET(Q1)を駆動するGate信号1(F1,F2,F3)は、Gate信号2(C1,C2,C3)がLレベル(Low電位、低電位)の区間において、遅延信号(G1,G2,G3)と前倒信号E2,E3がHレベルでない区間(すなわちLレベルの区間)において、Hレベルとなるように生成される。
The delay signals G1, G2 and G3 are generated such that a predetermined delay time elapses after the boost signals B1, B2 and B3 are turned off.
Advance signals E2 and E3 are generated a predetermined time before the boost signals B2 and B3 are turned on, respectively.
Gate signal 1 (F1, F2, F3) that drives the MOSFET (Q1) that supplies current to the smoothing capacitor 13 (FIG. 1) is L level (Low potential, In the interval of low potential), the delayed signals (G1, G2, G3) and the forward signals E2, E3 are generated so as to be in the H level in the interval where they are not in the H level (that is, in the interval of the L level).
なお、Gate信号1(F1,F2,F3)を、Gate信号2(C1,C2,C3)がLレベルになってから遅延信号G1,G2,G3の所定の遅延時間の分だけ遅らせた後で、Hレベルとするのは、Gate信号2(C1,C2,C3)がHレベルであったことの影響(逆回復時間がtd1)を避けるためである。
また、Gate信号2(C2,C3)を、Gate信号1(F1,F2)がLレベルになってから前倒信号E2,E3の所定の時間の分だけ遅らせた後で、Hレベルとするのは、Gate信号1(F1,F2)がHレベルであったことの影響(逆回復時間がtd1)を避けるためである。
このように、Gate信号1(F1,F2,F3)とGate信号2(C1,C2,C3)との間で互いにHレベルとなる間に所定の時間を設けることにより、逆回復時間をtd2として、逆回復時間を短くすることができる(td2<td1)。
なお、遅延信号(G1,G2,G3)と前倒信号(E2,E3)の時間幅は略等しい。
After the Gate signal 1 (F1, F2, F3) is delayed by the predetermined delay time of the delay signals G1, G2, G3 after the Gate signal 2 (C1, C2, C3) becomes L level, , H level is to avoid the influence (reverse recovery time td1) of Gate signal 2 (C1, C2, C3) being at H level.
Also, the Gate signal 2 (C2, C3) is set to H level after the Gate signal 1 (F1, F2) is delayed by the predetermined time of the forward signals E2, E3 after the Gate signal 1 (F1, F2) becomes L level. is to avoid the influence (reverse recovery time is td1) of Gate signal 1 (F1, F2) being at H level.
In this manner, a predetermined time is provided between the Gate signal 1 (F1, F2, F3) and the Gate signal 2 (C1, C2, C3) while each of them becomes H level, so that the reverse recovery time is set to td2. , the reverse recovery time can be shortened (td2<td1).
The delay signals (G1, G2, G3) and the forward signals (E2, E3) have substantially the same time width.
また、交流電源波形が正の期間においては、MOSFET(Q2)がリアクトル12とダイオードD2とを通して交流電源110を短絡する側のMOSFETに相当する。また、MOSFET(Q1)が平滑コンデンサ13に通流する側のMOSFETに相当する。
Also, in the period when the AC power supply waveform is positive, the MOSFET (Q2) corresponds to the MOSFET on the side that short-circuits the
《交流電源波形が負の期間》
交流電源波形が負の期間の半周期の各信号の生成について、図5を参照して説明する。なお、正の期間の半周期と重複する説明は適宜、省略する。
図5に示す交流電源波形が負の期間の半周期において、電源同期信号AはLレベルである。この区間においては、昇圧信号B4,B5,B6によって、MOSFET(Q1)を駆動するGate信号1(F4,F5,F6)をHレベルとして生成する。
<Period in which AC power waveform is negative>
The generation of each half-cycle signal in the negative period of the AC power waveform will be described with reference to FIG. Note that the description overlapping with the half cycle of the positive period will be omitted as appropriate.
In the half cycle of the period in which the AC power waveform shown in FIG. 5 is negative, the power synchronization signal A is at L level. In this section, the gate signals 1 (F4, F5, F6) for driving the MOSFET (Q1) are generated at H level by the boost signals B4, B5, B6.
また、遅延信号G4,G5,G6は、昇圧信号B4,B5,B6がそれぞれオフしてから所定の遅延時間を経過するように生成される。
また、前倒信号E5,E6は、昇圧信号B5,B6がそれぞれオンする所定の時間前に生成される。
MOSFET(Q2)を駆動するGate信号2(C4,C5,C6)は、Gate信号1(F4,F5,F6)がLレベルの区間において、遅延信号(G4,G5,G6)と前倒信号E5,E6がHレベルでない区間(すなわちLレベルの区間)において、Hレベルとなるように生成される。
Delayed signals G4, G5 and G6 are generated such that a predetermined delay time elapses after boosting signals B4, B5 and B6 are turned off.
Advance signals E5 and E6 are generated a predetermined time before the boost signals B5 and B6 are turned on, respectively.
The Gate signal 2 (C4, C5, C6) driving the MOSFET (Q2) is the delay signal (G4, G5, G6) and the forward signal E5 in the section where the Gate signal 1 (F4, F5, F6) is L level. , E6 are generated so as to be at H level in a section in which they are not at H level (that is, in a section at L level).
なお、Gate信号2(C4,C5,C6)を、Gate信号1(F4,F5,F6)がLレベルになってから遅延信号G4,G5,G6の所定の遅延時間の分だけ遅らせた後で、Hレベルとするのは、Gate信号1((F4,F5,F6)がHレベルであったことの影響(逆回復時間がtd1)を避けるためである。
また、Gate信号1(F5,F6)を、Gate信号2(C4,C5)がLレベルになってから前倒信号E5,E6の所定の時間の分だけ遅らせた後で、Hレベルとするのは、Gate信号2(C4,C5)がHレベルであったことの影響(逆回復時間がtd1)を避けるためである。
このように、Gate信号1(F4,F5,F6)とGate信号2(C4,C5,C6)との間で互いにHレベルとなる間に所定の時間を設けることにより、逆回復時間をtd2として、逆回復時間を短くすることができる(td2<td1)。
なお、遅延信号(G4,G5,G6)と前倒信号(E5,E6)の時間幅は略等しい。
After the Gate signal 2 (C4, C5, C6) is delayed by the predetermined delay time of the delay signals G4, G5, G6 after the Gate signal 1 (F4, F5, F6) becomes L level, , H level is to avoid the influence (reverse recovery time is td1) of Gate signal 1 ((F4, F5, F6) being H level.
Also, the Gate signal 1 (F5, F6) is set to H level after the Gate signal 2 (C4, C5) is delayed by the predetermined time of the forward signals E5, E6 after the Gate signal 2 (C4, C5) becomes L level. is to avoid the influence of Gate signal 2 (C4, C5) being at H level (reverse recovery time is td1).
In this manner, a predetermined time is provided between the Gate signal 1 (F4, F5, F6) and the Gate signal 2 (C4, C5, C6) to become H level, so that the reverse recovery time is set to td2. , the reverse recovery time can be shortened (td2<td1).
The delay signals (G4, G5, G6) and the forward signals (E5, E6) have approximately the same time width.
また、交流電源波形が負の期間においては、MOSFET(Q1)がリアクトル12とダイオードしD1とを通して交流電源110を短絡する側のMOSFETに相当する。また、MOSFET(Q2)が平滑コンデンサ13に通流する側のMOSFETに相当する。
Also, in the period when the AC power waveform is negative, the MOSFET (Q1) is a diode with the
《ダイオードD1,D2の逆回復時間》
ダイオードD1,D2においても逆回復時間は存在するが、第1、第2のMOSFETの逆回復時間td1(図3)、td2(図4)よりも長くとも直流電源装置100(図1)の動作に支障はなく、効率も低減しない。そのため、ダイオードD1,D2は、比較的に安価なダイオードを用いることができる。
<<Reverse recovery time of diodes D1 and D2>>
Although the diodes D1 and D2 also have reverse recovery times, the operation of the DC power supply device 100 (FIG. 1) is not possible even if the reverse recovery times td1 (FIG. 3) and td2 (FIG. 4) of the first and second MOSFETs are longer. and does not reduce efficiency. Therefore, relatively inexpensive diodes can be used as the diodes D1 and D2.
《昇圧動作と力率改善動作の波形、タイミング作成方法》
また、前倒信号によるGate信号をオフするタイミングの作成方法は、昇圧信号をオンするタイミングをディジタル演算によって行う方式の場合において、ディジタル演算によって前倒信号に相当する時間を減算すれば昇圧信号より早い時刻で変化するGate信号を作成できる。
また、昇圧信号をオンするタイミングを変調波と被変調波を比較して行うアナログ方式の場合において、いずれかの変調信号に所定のオフセット量を加算または減算すればよい。
<<Waveforms and Timing Creation Method for Boost Operation and Power Factor Correction Operation>>
As for the method of creating the timing for turning off the Gate signal based on the front-loading signal, in the case of a method in which the timing for turning-on the boosting signal is digitally calculated, if the time corresponding to the front-loading signal is subtracted by digital calculation, A Gate signal that changes at an early time can be created.
Also, in the case of an analog method in which the timing of turning on the boosting signal is determined by comparing the modulating wave and the modulated wave, a predetermined amount of offset may be added or subtracted to or from one of the modulating signals.
また、図5では動作を判りやすく説明するため、交流電源の半周期の期間内に3回オン/オフのスイッチング動作を行った場合の波形を示している。
この3回オン/オフのスイッチング動作(3ショット)を行った場合の波形がリアクトル電流波形513A、513Bであるが、この場合、リアクトル12における電圧と電流における力率は85%程度である。
なお、スイッチング回数は、3回に限定されたものではない。
3回より多い複数回繰返した場合や、スイッチング周波数を、可聴周波数を超える例えば15kHz以上の周波数でスイッチングを行った場合にも本構成で実現できる。
スイッチングの回数(ショット数)を増やすことにより、リアクトル12に流れる交流電源の電流は正弦波により近づけることができるので、高調波電流を抑制することができて、力率を改善できる効果がある。なお、スイッチングの回数(ショット数)が4回の場合においては、力率は95%程度に達する。
また、スイッチングを15kHz以上の周波数で行えば、力率は100%に近づき、リアクトル電流波形513A,513Bは限りなく正弦波形に近づくとともに、直流電源装置100(図1)が、このスイッチング動作によって発生するノイズは、可聴周波数を超える15kHz以上となるので、人間には感知できない領域のノイズとなる。
In addition, FIG. 5 shows waveforms when the on/off switching operation is performed three times within a half-cycle period of the AC power supply in order to explain the operation in an easy-to-understand manner.
Reactor
Note that the number of times of switching is not limited to three.
This configuration can be realized even when the switching is repeated more than three times, or when switching is performed at a frequency exceeding the audible frequency, for example, 15 kHz or higher.
By increasing the number of switching times (the number of shots), the current of the AC power supply flowing through the
Further, when switching is performed at a frequency of 15 kHz or higher, the power factor approaches 100%, the
さらに、逆方向電流が通電している側のMOSFET(Q1,Q2)のゲート信号を印加した場合でも、また印加しない場合でも、逆方向電流は連続してMOSFET(Q1,Q2)に流れるので、交流電源をリアクトル12で短絡する側のMOSFET(Q1,Q2)を駆動する昇圧信号のパルス幅は保持される。
そのため、リアクトル12に流れる電流の波形は、前記の動作によっては歪まないので、逆方向電流側のスイッチング動作の影響をうけることは無く、これによる交流電源の電流歪みは発生しない。
前記に述べた制御を制御回路16に備えれば、2つのMOSFET(Q1,Q2)のうち、リアクトル12と、ダイオードD1またはダイオードD2とを通して交流電源110を短絡する側のMOSFET(Q1,Q2)がオフしてから所定時間経過後に直流出力電源の平滑コンデンサ13に流れる側のMOSFET(Q1,Q2)をオンし、リアクトル12がダイオードD1またはダイオードD2を通して交流電源を短絡する側のMOSFET(Q1,Q2)をオンする所定時間前に平滑コンデンサ13に流れる側のMOSFET(Q1,Q2)を、オフする動作を交流電源110の半周期の期間内に複数回繰返すことができる。
Furthermore, the reverse current continuously flows through the MOSFETs (Q1, Q2) regardless of whether or not the gate signal of the MOSFETs (Q1, Q2) to which the reverse current is conducting is applied. The pulse width of the boost signal that drives the MOSFETs (Q1, Q2) on the side that short-circuits the AC power supply with the
Therefore, since the waveform of the current flowing through the
If the
<スイッチング動作時の電流の通流経路>
次に。第1実施形態で用いるMOSFETがオン/オフ動作を行うスイッチング動作時の電流経路について説明する。
<Current path during switching operation>
next. A current path during switching operation in which the MOSFET used in the first embodiment performs ON/OFF operation will be described.
図6は、本発明の第一実施形態に係る動作モード毎の電流通電経路を示す図であり、(a)は交流電源110の電圧がリアクトル12に接続する側の方が高い場合の電流経路を示し、(b)はMOSFET(Q1,Q2)が共にオフのときの電流経路を示し、(c)はMOSFET(Q1)をオンからオフにしたときの電流経路を示し、(d)はMOSFET(Q1)をオフにした状態でMOSFET(Q2)をオンしたときの電流経路を示している。 6A and 6B are diagrams showing current conduction paths for each operation mode according to the first embodiment of the present invention, and FIG. , (b) shows the current path when both MOSFETs (Q1 and Q2) are off, (c) shows the current path when the MOSFET (Q1) is turned off from on, and (d) is the MOSFET It shows the current path when the MOSFET (Q2) is turned on while (Q1) is turned off.
図6の(a)において、交流電源110の電圧がリアクトル12に接続する側の方が、電位が高いとき、MOSFET(Q2)がオンして、ダイオードD2を流れる経路で電源短絡電流が流れる。
なお、換言すれば、MOSFET(Q2)がリアクトル12とダイオードD2とを通して交流電源110を短絡する。このときMOSFET(Q1)が平滑コンデンサ13に電流を通流する側のMOSFETとなる。
In FIG. 6A, when the side where the voltage of the
In other words, MOSFET (Q2) short-circuits
また、図6の(b)において、MOSFET(Q2)がオフしたときには、MOSFET(Q1)はオフ状態にあるので、リアクトル12に流れる電流は、MOSFET(Q1)の半導体素子内部のpn接合を通して平滑コンデンサ13に充電電流を供給する。
Further, in FIG. 6(b), when the MOSFET (Q2) is turned off, the MOSFET (Q1) is in the off state, so the current flowing through the
また、図6の(c)において、(b)から遅延時間に相当する所定時間経過後、MOSFET(Q1)にGate信号を与えて内部の半導体のチャネルを通してMOSFET(Q1)に逆電流を通流させて素子の損失を低減する。そして、MOSFET(Q2)がオンする前に前倒信号に相当する所定時間前にMOSFET(Q1)のGate信号をオフしてMOSFET(Q1)内部の半導体のチャネルを閉じてpn接合部に逆電流を通流させる。 In (c) of FIG. 6, after a predetermined time corresponding to the delay time has elapsed from (b), a Gate signal is applied to the MOSFET (Q1) to pass a reverse current through the internal semiconductor channel to the MOSFET (Q1). to reduce the loss of the element. Then, before the MOSFET (Q2) is turned on, the Gate signal of the MOSFET (Q1) is turned off at a predetermined time corresponding to the forward signal to close the channel of the semiconductor inside the MOSFET (Q1) and the reverse current flows through the pn junction. to flow.
また、図6の(d)において、交流電源110を、リアクトル12を介して再度短絡する場合に、MOSFET(Q1)をオフにした状態でMOSFET(Q2)をオンする動作を行う。
Further, in FIG. 6(d), when the
以降において、図6の(a)、(b)、(c)、(d)に示す動作を交流電源の半周期に渡り複数回繰り返し行う。
なお、別の半周期、すなわち交流電源110の電圧がリアクトル12に接続する側の方が、電位が低いときには、MOSFET(Q1)がリアクトル12とダイオードD1とを通して交流電源110を短絡することになる。このときMOSFET(Q2)が平滑コンデンサ13に電流を通流する側のMOSFETとなる。
Thereafter, the operations shown in (a), (b), (c), and (d) of FIG. 6 are repeated multiple times over the half cycle of the AC power supply.
In another half cycle, that is, when the potential of the side where the voltage of the
本(第1)実施形態では、MOSFETのオン信号をオフ信号の切替えと同時にMOSFETに印加される電圧が逆方向電圧から順方向電圧に切替えたときに生じる逆回復時間に比べて、MOSFETをオフしているときの逆回復時間が短い特性を有するMOSFETを備えている。そのため、図6の(d)に示す電源のリアクトル12を通して短絡する際に流れる直流電源の短絡電流が流れる時間を短くできる効果があり、これに伴って、短絡電流のピーク電流値を抑制する効果もある。
また、交流電源の半周期の間、ダイオードD1またはD2は通電状態にありスイッチングによる急激な電圧の変化は発生しない。したがって、逆回復時間はMOSFETより遅い一般的な整流ダイオードでよい。
また、本実施形態では、ダイオードの逆回復時間が、MOSFETをオフしたときの逆回復時間より長いことを特徴とするダイオードを備えている。このため、より安価な直流電源装置100(図1)を提供できる効果がある。
In the present (first) embodiment, the MOSFET is turned off faster than the reverse recovery time that occurs when the voltage applied to the MOSFET is switched from the reverse voltage to the forward voltage at the same time when the on signal of the MOSFET is switched to the off signal. The MOSFET has a characteristic of short reverse recovery time when the power supply is on. Therefore, there is an effect that the short-circuit current of the DC power supply that flows when short-circuiting through the
In addition, the diode D1 or D2 is in an energized state during the half cycle of the AC power supply, and a sudden change in voltage due to switching does not occur. Therefore, a general rectifying diode whose reverse recovery time is slower than that of MOSFET may be used.
Moreover, in this embodiment, the diode is provided, which is characterized in that the reverse recovery time of the diode is longer than the reverse recovery time when the MOSFET is turned off. Therefore, there is an effect that a more inexpensive DC power supply device 100 (FIG. 1) can be provided.
≪第2実施形態≫
本発明の第2実施形態の直流電源装置を、図を参照して説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係る直流電源装置100Bの構成例を示す図であり、(a)は直流電源装置の構成と、交流電源と負荷との接続関係を示し、(b)はMOSFET(Q1,Q2,Q3,Q4)の制御信号と関連する各信号を示している。
<<Second embodiment>>
A DC power supply device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 7 is a diagram showing a configuration example of a DC
図7の(a)において、図1の(a)と異なるのは、MOSFET(Q3:第3のMOSFET)MOSFET(Q4:第4のMOSFET)を図1の(a)のダイオードD1、ダイオードD2の代わりにそれぞれ置き換えたことである。
また、MOSFET(Q3,Q4)は、制御回路16によって制御される。
図7の(a)の他の構成は、図1の(a)の構成と同じであるので重複する説明は省略する。
また、図7の(b)において、図5と異なるのは、Gate信号3とGate信号4が示されていることである。また、図5のリアクトル電流波形513A、513B、512は、図7の(b)においては記載を省略している。
図7の(b)の他の記載は、図5の記載と同じであるので重複する説明は省略する。
7(a) differs from FIG. 1(a) in that the MOSFET (Q3: third MOSFET) and MOSFET (Q4: fourth MOSFET) are replaced by diodes D1 and D2 in FIG. 1(a). is replaced by each instead of .
Also, the MOSFETs (Q3, Q4) are controlled by the
The rest of the configuration in FIG. 7(a) is the same as the configuration in FIG. 1(a), so redundant description will be omitted.
7B differs from FIG. 5 in that Gate signal 3 and Gate signal 4 are shown. Also, reactor
The rest of the description in FIG. 7B is the same as the description in FIG. 5, so redundant description will be omitted.
図7の(a)においては、MOSFET(Q1,Q2,Q3,Q4)によって、同期整流回路が構成されている。MOSFET(Q3)のゲートの制御信号は、図7の(b)におけるGate信号3に示すように、交流電源波形511が正の期間の半周期においてはLレベルであり、交流電源波形511が負の期間の半周期においてはHレベルである。
また、MOSFET(Q4)のゲートの制御信号は、図7の(b)におけるGate信号4に示すように、交流電源波形511が正の期間の半周期においてはHレベルであり、交流電源波形511が負の期間の半周期においてはLレベルである。
また、MOSFET(Q1)とMOSFET(Q2)は、図7の(b)に示すように、それぞれGate信号1、Gate信号2によって、図5と同様に制御される。
In FIG. 7(a), MOSFETs (Q1, Q2, Q3, Q4) constitute a synchronous rectification circuit. The control signal for the gate of the MOSFET (Q3), as shown by Gate signal 3 in (b) of FIG. is at H level in half the period of .
Further, the control signal for the gate of the MOSFET (Q4) is at the H level in the half cycle of the period in which the
MOSFET (Q1) and MOSFET (Q2) are controlled by
以上の構成によって、前記したように、MOSFET(Q1,Q2,Q3,Q4)によって、MOSFETによる同期整流回路が構成されている。
図7の(a)における、Gate信号3、Gate信号4によって、それぞれ制御されるMOSFET(Q3)とMOSFET(Q4)は、図1の(a)のダイオードD1とダイオードD2にそれぞれ相当する。MOSFET(Q3,Q4)は、ダイオードD1,D2が有している順方向電圧降下に相当するものがなく、また抵抗値も低くすることができるので、整流回路として回路効率が高いという効果がある。
また、MOSFET(Q3,Q4)は、MOSFET(Q1,Q2)のような昇圧のためのスイッチング動作をしないので、寄生ダイオードによる逆回復時間が長いことによる影響は少ない。そのため、MOSFET(Q3,Q4)は、MOSFET(Q1,Q2)よりも低コストのMOSFETを使用することができる。
With the above configuration, as described above, the MOSFETs (Q1, Q2, Q3, Q4) constitute a synchronous rectification circuit using MOSFETs.
MOSFET (Q3) and MOSFET (Q4) respectively controlled by Gate signal 3 and Gate signal 4 in (a) of FIG. 7 correspond to diode D1 and diode D2 in (a) of FIG. 1, respectively. The MOSFETs (Q3, Q4) do not have the forward voltage drop that the diodes D1, D2 have, and the resistance value can be reduced, so that the efficiency of the rectifier circuit is high. .
In addition, since the MOSFETs (Q3, Q4) do not perform a switching operation for boosting voltage unlike the MOSFETs (Q1, Q2), they are less affected by the long reverse recovery time due to the parasitic diodes. Therefore, MOSFETs (Q3, Q4) can use lower cost MOSFETs than MOSFETs (Q1, Q2).
≪第3実施形態≫
本発明の第3実施形態の空気調和機について説明する。第3実施形態は、第1実施形態の直流電源装置を搭載した空気調和機である。
<<Third Embodiment>>
An air conditioner according to a third embodiment of the present invention will be described. 3rd Embodiment is an air conditioner which mounts the DC power supply device of 1st Embodiment.
<直流電源装置を搭載した空気調和機>
図8は、本発明の第3実施形態に係る空気調和機300の構成例を示す図である。
図8において、空気調和機300は、第1実施形態の直流電源装置100(図1)に、インバータ回路81、圧縮機82、熱交換器83,85と減圧器84とを備えたものである。
インバータ回路81は、直流電源装置100(図1)の平滑コンデンサ13の出力部に接続され、直流電圧(電力)から3相交流電圧(電力)を生成している。
電動機(不図示)を備えた圧縮機82は、インバータ回路81の出力した3相交流電圧(電力)で動作する。
また、圧縮機82と熱交換器83と減圧器84と熱交換器85とによって、冷凍サイクルを構成する。
<Air conditioner with DC power supply>
FIG. 8 is a diagram showing a configuration example of an
In FIG. 8, an
The
A
空気調和機300は、部屋を冷房または暖房する機能を有し、設定温度と部屋の温度に差がある場合には直流電源装置100(図1)から供給する電力は大きい。
したがって、電源ブレーカ容量の限界まで電力を必要とするモードがあり、その際、交流側の力率が高い方が最大電力を取り出すことができる。
また、直流電源装置100は、直流出力電圧が高い方が電流を少なくすることができるので、圧縮機をより高速で回転することが可能であり、空気調和機300の最大冷凍能力を引き出せる。
本(第3)実施形態では、高力率で高出力電圧を高効率で直流電源装置100を実現できるので、この直流電源装置100を搭載した空気調和機300は、最大冷凍能力を引き出せる効果があり、消費電力の少ない空気調和機を実現できる効果がある。
Therefore, there is a mode that requires power up to the limit of the power supply breaker capacity, and in such a case, the highest power factor on the AC side can extract the maximum power.
In addition, the
In the present (third) embodiment, the
11 交流電源電圧検出回路
12 リアクトル
13 平滑コンデンサ
14 電流検出回路
15 直流出力電圧検出回路
16 制御回路
100,100B 直流電源装置
110 交流電源
120 負荷
22 n型半導体層
23,25 p型半導体層
24,26 n+型半導体層
27 p+型半導体層
28 絶縁膜(絶縁層)
200,Q1,Q2,Q3,Q4 MOSFET
21S,21G 金属電極
211 ソース電極
212 ゲート電極
213 ドレイン電極
31 直流電源
300 空気調和機
81 インバータ回路
82 圧縮機
83,85 熱交換器
84 減圧器
D1,D2,Dp ダイオード
200, Q1, Q2, Q3, Q4 MOSFETs
21S,
Claims (5)
交流電源の一端と前記第1、第2のMOSFETの直列接続点との間に接続されたリアクトルと、
前記直流出力電源の正極端子と負極端子の間に接続された平滑コンデンサと、
前記交流電源の半周期内に、前記リアクトルに流れる電流を前記第1、第2のMOSFETのどちらか一方に通電する動作を複数回繰り返すように前記第1、第2のMOSFETをオン/オフさせる制御回路と、
を備え、
前記交流電源の他端が前記第3、第4のMOSFETの直列接続点に接続され、
各前記第1、第2のMOSFETは、半導体のドリフト領域においてp型半導体層とn型半導体層とを交互に配置したスーパージャンクション構造を有し、かつ、前記p型半導体層に重金属を拡散させるか、または、重粒子の粒子線を照射されており、
前記制御回路は、前記第1のMOSFET及び第2のMOSFETのうち、前記リアクトルと前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETとを通して前記交流電源を短絡する側のMOSFETをオフし、さらに所定時間経過後に、前記平滑コンデンサに通流する側のMOSFETをオンし、前記リアクトルが前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETを通して交流電源を短絡する側のMOSFETをオンする所定時間前に前記平滑コンデンサに通流する側のMOSFETをオフする動作を、前記交流電源の半周期内に複数回繰返す、
ことを特徴とする直流電源装置。 A bridge rectifier circuit having first and second MOSFETs connected in series between a positive terminal and a negative terminal of a DC output power supply and third and fourth MOSFETs connected in series between the positive terminal and the negative terminal. When,
a reactor connected between one end of an AC power supply and a series connection point of the first and second MOSFETs;
a smoothing capacitor connected between a positive terminal and a negative terminal of the DC output power supply;
The first and second MOSFETs are turned on/off so as to repeat the operation of passing the current flowing through the reactor to either one of the first and second MOSFETs a plurality of times within a half cycle of the AC power supply. a control circuit;
with
the other end of the AC power supply is connected to a series connection point of the third and fourth MOSFETs;
Each of the first and second MOSFETs has a superjunction structure in which a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer are alternately arranged in a semiconductor drift region, and heavy metal is diffused into the p-type semiconductor layer. Or, being irradiated with a particle beam of heavy particles,
The control circuit turns off the MOSFET on the side of short-circuiting the AC power supply through the reactor and the third MOSFET or the fourth MOSFET among the first MOSFET and the second MOSFET, and furthermore, a predetermined time elapses After that, the MOSFET on the side conducting to the smoothing capacitor is turned on, and the smoothing capacitor is turned on for a predetermined time before the reactor turns on the MOSFET on the side that short-circuits the AC power supply through the third MOSFET or the fourth MOSFET. Repeating the operation of turning off the MOSFET on the flowing side a plurality of times within a half cycle of the AC power supply;
A DC power supply device characterized by:
前記リアクトルと前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETを通して前記交流電源を短絡する側のMOSFETの駆動信号のパルス幅は、前記リアクトルに流れる電流と電圧との力率が85%以上となるように変調される、
ことを特徴とする直流電源装置。 In claim 1,
The pulse width of the drive signal for the MOSFET on the side that short-circuits the AC power supply through the reactor and the third MOSFET or the fourth MOSFET is such that the power factor of the current and voltage flowing through the reactor is 85% or more. modulated,
A DC power supply device characterized by:
前記リアクトルと前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETを通して前記交流電源を短絡する側のMOSFETの駆動信号は、3ショット以上である、
ことを特徴とする直流電源装置。 In claim 1,
The drive signal of the MOSFET on the side that short-circuits the AC power supply through the reactor and the third MOSFET or the fourth MOSFET is 3 shots or more.
A DC power supply device characterized by:
前記第3のMOSFET又は第4のMOSFETの逆回復時間が、前記第1、第2のMOSFETのゲート信号をオン信号からオフ信号に切替えたときの逆回復時間よりも長い、
ことを特徴とする直流電源装置。 In claim 1,
The reverse recovery time of the third MOSFET or the fourth MOSFET is longer than the reverse recovery time when the gate signals of the first and second MOSFETs are switched from an on signal to an off signal,
A DC power supply device characterized by:
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