JP2022120407A - electromagnetic wave heating device - Google Patents

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創士 渡部
Soshi Watabe
誠士 神原
Seishi Kanbara
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Abstract

To reduce the size of a shield part in an electromagnetic wave heating device which heats a heating target with the use of electromagnetic waves.SOLUTION: An electromagnetic wave heating device 10 comprises: a radiation antenna 22 which radiates electromagnetic waves for heating a heating target 20; and a shield part 60 which shields, from the outside, an internal space 40 where the radiation antenna 22 is disposed. The shield part has a feed-in part 71 and a feed-out part 72 for a conveyed object 11 including the heating target 20. In the internal space 40, the conveyed object 11 is conveyed from the feed-in part 71 to the feed-out part 72 in such a manner that the heating target 20 passes through a facing region which faces the radiation antenna 22. In the shield part 60, a continuous gap 70 is formed as a gap for bringing the internal space 40 into communication with the outside. The continuous gap is formed such that lateral gaps 73 and 74, extending on the lateral sides of the facing region in a conveyance direction of the conveyed object 11, are connected to the feed-in part 71 and the feed-out part 72, respectively.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、被加熱物の加熱に用いられる電磁波加熱装置等に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electromagnetic wave heating device and the like used for heating an object to be heated.

従来から、食品の加熱など様々な用途に、誘電加熱方式の電磁波加熱装置が利用されている。この方式の電磁波加熱装置では、被加熱物に含まれる誘電体に対し電磁波が照射される。そうすると、電磁波による電界の作用により、誘電体における分子レベルのダイポールが振動し、その振動に伴う誘電損失により発熱が生じて、被加熱物が加熱される。また、他の方式の電磁波加熱装置として、被加熱物に導体成分やイオン物質が含まれる場合には電流により生じる導電（ジュール）損失により、磁性成分が含まれる場合には磁性損失により、被加熱物を加熱する装置がある。 2. Description of the Related Art Conventionally, dielectric heating type electromagnetic wave heating apparatuses have been used for various purposes such as heating food. In this type of electromagnetic wave heating apparatus, electromagnetic waves are applied to the dielectric contained in the object to be heated. Then, due to the action of the electric field of the electromagnetic wave, the dipole at the molecular level in the dielectric vibrates, and the dielectric loss associated with the vibration generates heat, thereby heating the object to be heated. In addition, as another type of electromagnetic wave heating device, if the object to be heated contains a conductive component or an ionic substance, it can be heated by the conduction (Joule) loss caused by the current, and if the object to be heated contains a magnetic component, by the magnetic loss. There is a device that heats things.

この種の電磁波加熱装置では、電磁波の漏洩対策が必要となる。特許文献１には、誘電加熱装置を囲むケーシングと、ケーシングの記録材進入口及び排出口に共振室とが設けられた定着装置が記載されている。この定着装置では、誘電加熱装置から発せられる電磁波の一部が、記録材以外に照射され、定着器装置内で反射・散乱を繰り返し排出口及び進入口まで到達するが、記録材進入口及び排出口に共振室を設けることにより電波の漏洩を防止できる。 This type of electromagnetic wave heating device requires countermeasures against leakage of electromagnetic waves. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-200002 describes a fixing device provided with a casing surrounding a dielectric heating device and resonance chambers at a recording material entrance and a recording material exit of the casing. In this fixing device, a part of the electromagnetic wave emitted from the dielectric heating device is irradiated to other than the recording material, and is repeatedly reflected and scattered in the fixing device, reaching the discharge port and entrance. Leakage of radio waves can be prevented by providing a resonance chamber at the exit.

特開昭５７－１１８２８１号公報JP-A-57-118281

ところで、電磁波加熱装置では、放射アンテナが配置された内部空間を外部から遮蔽する遮蔽部に対し、導入部及び導出部を設けることで、被加熱物（例えば、接着剤）を含む搬送物が、遮蔽部の内部空間を連続的に通過することが可能となる。そして、連続処理により、多くの被加熱物に対する加熱を短時間で行うことが可能となる。しかし、従来は、導入部から導出部に向かう搬送物の全体が、遮蔽部の内部空間を通過できるようにしている。そのため、搬送物に対して被加熱物が小さい場合でも、遮蔽部の大きさを確保する必要がある。 By the way, in the electromagnetic wave heating device, by providing an introduction part and an extraction part for the shielding part that shields the internal space in which the radiation antenna is arranged from the outside, the transported object including the object to be heated (for example, adhesive) It is possible to continuously pass through the inner space of the shielding part. Further, continuous processing enables heating of many objects to be heated in a short time. However, conventionally, the entire conveyed object from the introduction section to the outlet section is allowed to pass through the inner space of the shielding section. Therefore, even when the object to be heated is smaller than the object to be conveyed, it is necessary to secure the size of the shielding portion.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、電磁波を利用して被加熱物を加熱する電磁波加熱装置について、遮蔽部のコンパクト化を図ることを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to reduce the size of a shielding portion of an electromagnetic wave heating apparatus that heats an object using electromagnetic waves.

上述の課題を解決するべく、第１の発明は、電磁波を利用して被加熱物を加熱する電磁波加熱装置であって、被加熱物を加熱するための電磁波を放射する放射アンテナと、放射アンテナが配置された内部空間を外部から遮蔽し、被加熱物を含む搬送物の導入部及び導出部が形成されて、内部空間では、被加熱物が放射アンテナの対面領域を通過するように、搬送物が導入部から導出部に向かって搬送される遮蔽部とを備え、遮蔽部には、内部空間を外部に連通させる隙間として、対面領域の側方において搬送物の搬送方向に延びる側方隙間が導入部及び導出部の各々に対して繋がった連続隙間が形成されている。 In order to solve the above-described problems, a first invention is an electromagnetic wave heating apparatus for heating an object to be heated using electromagnetic waves, comprising: a radiation antenna for radiating electromagnetic waves for heating the object to be heated; is arranged, and an introduction part and an extraction part for the conveyed object including the object to be heated are formed. a side gap extending in the conveying direction of the article on the side of the facing area as a gap that communicates the internal space with the outside in the shielding section. is connected to each of the lead-in portion and lead-out portion.

第２の発明は、第１の発明において、連続隙間は、搬送方向の上流側の導入部、搬送方向の下流側の導出部、及び、搬送方向に直交する方向の片側の側方隙間を有する少なくとも三方の隙間により構成されている。 In a second aspect based on the first aspect, the continuous gap has an introduction portion on the upstream side in the conveying direction, an outlet portion on the downstream side in the conveying direction, and a side gap on one side in a direction orthogonal to the conveying direction. It is composed of gaps on at least three sides.

第３の発明は、第２の発明において、遮蔽部は、内部空間を片側から区画する第１区画部と、第１区画部との間に連続隙間を形成して第１区画部とは反対側から内部空間を区画する第２区画部とを有し、第１区画部は、搬送方向に直交する方向のもう片側で、第２区画部に支持されている。 In a third aspect based on the second aspect, the shielding portion forms a continuous gap between a first partitioning portion that partitions the internal space from one side and the first partitioning portion and is opposite to the first partitioning portion. and a second partition that partitions the internal space from the side, and the first partition is supported by the second partition on the other side in the direction perpendicular to the conveying direction.

第４の発明は、第１又は第２の発明において、内部空間を搬送される被加熱物に空気を供給する送風機をさらに備え、遮蔽部は、内部空間を片側から区画する第１区画部と、第１区画部との間に連続隙間を形成して第１区画部とは反対側から内部空間を区画する第２区画部とを有し、送風機は、第１区画部に取り付けられている。 A fourth invention is the first invention or the second invention, further comprising an air blower that supplies air to the object to be heated that is conveyed in the internal space, and the shielding portion is a first partition portion that partitions the internal space from one side. and a second partition forming a continuous gap with the first partition to partition the inner space from the side opposite to the first partition, and the blower is attached to the first partition. .

第５の発明は、第４の発明において、第１区画部には、送風機から被加熱物に向かう空気が流れる送風通路が形成され、送風通路には、放射アンテナから放射される電磁波から送風機を遮蔽し、且つ、送風機から被加熱物に向かう空気を通過させるシールド部材が設けられている。 In a fifth aspect based on the fourth aspect, the first partition is formed with a blowing passage through which air flows from the blower toward the object to be heated, and the blowing passage is provided with an electromagnetic wave radiated from the radiating antenna to drive the blower. A shield member is provided that shields and passes air directed from the blower to the object to be heated.

第６の発明は、第４又は第５の発明において、送風機の送風方向が、搬送方向の下流側を向いている。 In a sixth aspect based on the fourth or fifth aspect, the air blowing direction of the blower faces the downstream side in the conveying direction.

第７の発明は、第１乃至第６の何れか１つの発明において、放射アンテナに電磁波を供給する発振器と、発振器の廃熱を利用して、送風機により被加熱物に供給される空気を加熱する廃熱利用部とを備えている。 In a seventh aspect, in any one of the first to sixth aspects, the air supplied to the object to be heated is heated by the blower using an oscillator that supplies electromagnetic waves to the radiation antenna and the waste heat of the oscillator. and a waste heat utilization unit.

第８の発明は、第１乃至第７の何れか１つの発明において、放射アンテナは、電磁波の共振が生じる共振構造体である。 In an eighth invention according to any one of the first to seventh inventions, the radiating antenna is a resonant structure that causes resonance of electromagnetic waves.

第９の発明は、電磁波を利用して被加熱物を加熱する電磁波加熱装置であって、被加熱物を加熱するための電磁波を放射する放射アンテナと、放射アンテナが配置された内部空間を外部から遮蔽し、被加熱物を含む搬送物の導入部及び導出部が形成されて、内部空間では、被加熱物が放射アンテナの対面領域を通過するように、搬送物が導入部から導出部に向かって搬送される遮蔽部と、遮蔽部に取り付けられて、内部空間を搬送される被加熱物に空気を供給する送風機とを備えている。 A ninth aspect of the invention is an electromagnetic wave heating apparatus for heating an object to be heated using electromagnetic waves, comprising: a radiation antenna for radiating electromagnetic waves for heating the object to be heated; In the internal space, the object to be heated passes through the facing area of the radiant antenna from the introduction part to the exit part. It is provided with a shielding part that is conveyed toward, and an air blower that is attached to the shielding part and supplies air to the object to be heated that is conveyed in the internal space.

第１０の発明は、第９の発明において、遮蔽部には、送風機から被加熱物に向かう空気が流れる送風通路が形成され、送風通路には、放射アンテナから放射される電磁波から送風機を遮蔽し、且つ、送風機から被加熱物に向かう空気を通過させるシールド部材が設けられている。 In a tenth aspect based on the ninth aspect, the shielding portion is formed with a blowing passage through which air flows from the blower toward the object to be heated, and the blowing passage shields the blower from electromagnetic waves radiated from the radiation antenna. Also, a shield member is provided for passing air directed from the blower to the object to be heated.

本発明では、搬送物の導入部及び導出部の各々に対し、放射アンテナの対面領域の側方において搬送物の搬送方向に延びる側方隙間が繋がった連続隙間が、遮蔽部に形成されている。そのため、搬送物が外部にはみ出した状態で、導入部から導出部に向かって搬送物を搬送することができる。その際、内部空間において、放射アンテナの対面領域で、被加熱物に対する加熱処理を施すことができる。従って、搬送物の全体が内部空間を通過できるように遮蔽部を大きくする必要がなく、遮蔽部及び電磁波加熱装置のコンパクト化を図ることができる。 In the present invention, the shielding portion is formed with a continuous gap formed by connecting side gaps extending in the conveying direction of the conveyed object on the side of the facing area of the radiation antenna with respect to each of the lead-in portion and the lead-out portion of the conveyed object. . Therefore, the article can be conveyed from the introduction section toward the outlet section while the article protrudes outside. At that time, in the internal space, the object to be heated can be subjected to heat treatment in the area facing the radiation antenna. Therefore, it is not necessary to increase the size of the shield so that the entire transported object can pass through the internal space, and the size of the shield and the electromagnetic wave heating device can be reduced.

図１は、実施形態に係る電磁波加熱装置においてカバーを取り外した状態を斜め上から見た斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an electromagnetic wave heating device according to an embodiment, with a cover removed, as viewed obliquely from above. 図２は、実施形態に係る電磁波加熱装置を斜め上から見た斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the electromagnetic wave heating device according to the embodiment as viewed obliquely from above. 図３は、図２のＡ－Ａの断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2. FIG. 図４は、図２のＢ－Ｂの断面図であり、基材が搬送されている状態を示す。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2, showing a state in which the substrate is being conveyed. 図５（ａ）は、実施形態に係る電磁波加熱装置の断面図であり、図５（ｂ）は、実施形態の変形例１に係る電磁波加熱装置の断面図である。FIG. 5(a) is a cross-sectional view of the electromagnetic wave heating device according to the embodiment, and FIG. 5(b) is a cross-sectional view of the electromagnetic wave heating device according to Modification 1 of the embodiment. 図６（ａ）は、実施形態の変形例２に係る電磁波加熱装置の断面図であり、図６（ｂ）は、実施形態の変形例３に係る電磁波加熱装置の断面図であり、図６（ｃ）は、実施形態の変形例４に係る電磁波加熱装置の断面図である。6A is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 2 of the embodiment, and FIG. 6B is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 3 of the embodiment, and FIG. (c) is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 4 of the embodiment. 図７（ａ）は、実施形態の変形例５に係る電磁波加熱装置の断面図であり、図７（ｂ）は、実施形態の変形例６に係る電磁波加熱装置の断面図であり、図７（ｃ）は、実施形態の変形例７に係る電磁波加熱装置の断面図である。7A is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 5 of the embodiment, and FIG. 7B is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 6 of the embodiment, and FIG. (c) is a cross-sectional view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 7 of the embodiment. 図８は、実施形態の変形例８に係る電磁波加熱装置を斜め下から見た斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of an electromagnetic wave heating device according to Modification 8 of the embodiment, viewed obliquely from below. 図９は、実施形態の変形例９に係る電磁波加熱装置を側方から見た概略構成図である。FIG. 9 is a schematic configuration diagram of an electromagnetic wave heating device according to Modification 9 of the embodiment, viewed from the side. 図１０（ａ）は、図６（ｂ）のＣ－Ｃの断面図であり、図１０（ｂ）は、チョーク構造５５の平面形状について図１０（ａ）とは別のバリエーションの断面図であり、図１０（ｃ）は、さらに別のバリエーションの断面図である。10(a) is a cross-sectional view taken along CC in FIG. 6(b), and FIG. 10(b) is a cross-sectional view of another variation of the planar shape of the choke structure 55 from that of FIG. 10(a). There is, and FIG. 10(c) is a cross-sectional view of still another variation. 図１１（ａ）は、その変形例に係る電磁波加熱装置を側方から見た概略構成図であり、図１１（ｂ）は、その電磁波加熱装置の基板の平面図である。FIG. 11(a) is a schematic side view of an electromagnetic wave heating device according to the modification, and FIG. 11(b) is a plan view of the substrate of the electromagnetic wave heating device.

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、以下の実施形態及び変形例は、本発明の一例であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. It should be noted that the following embodiments and modifications are examples of the present invention, and are not intended to limit the scope of the present invention, its applications, or its uses.

本実施形態は、高周波等の電磁波を利用して被加熱物２０を加熱する電磁波加熱装置１０である。電磁波加熱装置１０は、誘電加熱方式の加熱装置である。電磁波加熱装置１０で利用される電磁波は、５０ＭＨｚ以上の高周波である。 This embodiment is an electromagnetic wave heating device 10 that heats an object 20 to be heated using electromagnetic waves such as high frequencies. The electromagnetic wave heating device 10 is a dielectric heating type heating device. The electromagnetic waves used in the electromagnetic wave heating device 10 are high frequencies of 50 MHz or higher.

電磁波加熱装置１０で加熱される被加熱物２０は、高周波を吸収する物質（液体、固体など）を含む。被加熱物２０は、厚みが薄い薄物であり、シート状又は膜状を呈する。被加熱物２０は、例えば接着剤である。被加熱物２０は、シート状で長尺の基材（搬送物）１１の表面に塗布又は配置される。被加熱物２０は、基材１１と共に所定の方向（図１に示す矢印の方向）に搬送されて、高周波による強電界領域を通過する。その際、被加熱物２０は、高周波を吸収することで加熱される。なお、被加熱物２０は、シート状又は膜状ではなくてもよく、ある程度の厚みがあってもよい。また、被加熱物２０が後述する封筒などのシート体に設けられる場合、シート体及び基材１１とともに搬送されてもよい。 An object 20 to be heated by the electromagnetic wave heating device 10 includes a substance (liquid, solid, etc.) that absorbs high frequencies. The object to be heated 20 is a thin object with a small thickness and has a sheet shape or a film shape. The object to be heated 20 is, for example, an adhesive. The object to be heated 20 is applied or placed on the surface of a sheet-like long base material (transported object) 11 . The object 20 to be heated is conveyed in a predetermined direction (the direction of the arrow shown in FIG. 1) together with the base material 11, and passes through a high-frequency strong electric field region. At that time, the object to be heated 20 is heated by absorbing the high frequency. Note that the object to be heated 20 may not be sheet-like or film-like, and may have a certain amount of thickness. Moreover, when the object to be heated 20 is provided on a sheet body such as an envelope, which will be described later, the object to be heated 20 may be conveyed together with the sheet body and the substrate 11 .

電磁波加熱装置１０は、基材１１の表面に被加熱物２０を塗布又は配置する上流側装置（例えば、接着剤の塗布装置。図示省略）と、少なくとも上流側装置の入口から電磁波加熱装置１０の出口までの処理区間において基材１１を搬送する搬送機構１２とともに、搬送式の処理システムを構成している。搬送機構１２は、複数対のローラ１３を用いて基材１１及び被加熱物２０を搬送する（図４参照）。以下では、基材１１の搬送方向を「第１方向」と言い、第１方向に直交する方向を「第２方向」と言う（図１等参照）。また、電磁波加熱装置１０において、カバー５０側を「表側」と言い、基板２３側を「裏側」と言う（図１等参照）。 The electromagnetic wave heating device 10 includes an upstream device (for example, an adhesive coating device, not shown) that applies or arranges the object 20 to be heated on the surface of the base material 11, and at least the electromagnetic wave heating device 10 from the inlet of the upstream device. Together with a transport mechanism 12 that transports the substrate 11 in the processing section up to the exit, a transport-type processing system is configured. The transport mechanism 12 transports the substrate 11 and the object to be heated 20 using a plurality of pairs of rollers 13 (see FIG. 4). Hereinafter, the direction in which the substrate 11 is conveyed will be referred to as the "first direction", and the direction perpendicular to the first direction will be referred to as the "second direction" (see FIG. 1, etc.). In addition, in the electromagnetic wave heating device 10, the cover 50 side is called "front side", and the substrate 23 side is called "back side" (see FIG. 1, etc.).

［電磁波加熱装置の構成］
電磁波加熱装置１０は、図１及び図２に示すように、高周波を発振する発振器２１と、被加熱物２０を加熱するための高周波を放射する放射アンテナ２２と、片面に放射アンテナ２２が設けられた基板２３と、基板２３の放射アンテナ２２側を覆うカバー５０とを備えている。発振器２１には、例えば半導体発振器が用いられる。基板２３及びカバー５０は、金属製である。基板２３は接地されている。基板２３及びカバー５０は、放射アンテナ２２が配置された内部空間４０（図３参照）を外部から遮蔽する遮蔽部６０に相当する。カバー５０は、遮蔽部６０の内部空間４０を片側（上側）から区画する第１区画部に相当する。基板２３は、第１区画部とは反対側（下側）から内部空間４０を区画する第２区画部に相当する。基板２３とカバー５０の間には、平面視における遮蔽部６０の外周部において周方向に連続する連続隙間７０が形成されている。 [Configuration of electromagnetic wave heating device]
As shown in FIGS. 1 and 2, the electromagnetic wave heating device 10 is provided with an oscillator 21 that oscillates high frequencies, a radiation antenna 22 that radiates high frequencies for heating an object 20 to be heated, and a radiation antenna 22 on one side. and a cover 50 covering the radiation antenna 22 side of the substrate 23 . A semiconductor oscillator, for example, is used for the oscillator 21 . The substrate 23 and the cover 50 are made of metal. The substrate 23 is grounded. The substrate 23 and the cover 50 correspond to the shielding part 60 that shields the internal space 40 (see FIG. 3) in which the radiation antenna 22 is arranged from the outside. The cover 50 corresponds to a first partition section that partitions the inner space 40 of the shielding section 60 from one side (upper side). The substrate 23 corresponds to a second partition that partitions the internal space 40 from the opposite side (lower side) of the first partition. Between the substrate 23 and the cover 50, a continuous gap 70 is formed that continues in the circumferential direction at the outer peripheral portion of the shielding portion 60 in plan view.

放射アンテナ２２は、インターディジタル型の回路により構成されている。放射アンテナ２２は、第１櫛歯電極３１と、第１櫛歯電極３１に隙間を空けて噛み合う第２櫛歯電極３２とを備えている。第１櫛歯電極３１は、複数の歯部３１ａにより櫛状に形成されている。第２櫛歯電極３２は、複数の歯部３２ａにより櫛状に形成されている。 The radiation antenna 22 is composed of an interdigital circuit. The radiation antenna 22 includes a first comb-teeth electrode 31 and a second comb-teeth electrode 32 that meshes with the first comb-teeth electrode 31 with a gap therebetween. The first comb-teeth electrode 31 is formed in a comb shape with a plurality of teeth 31a. The second comb-teeth electrode 32 is formed in a comb shape with a plurality of teeth 32a.

第１櫛歯電極３１は、真っすぐ延びる基部線路３１ｂと、基部線路３１ｂに付け根が接続された複数の歯部３１ａとを備えている。複数の歯部３１ａは、互いに平行に設けられている。各歯部３１ａは、基部線路３１ｂから斜めに延びている。複数の歯部３１ａは、第１方向に等間隔で配列されている。 The first comb-teeth electrode 31 includes a base line 31b extending straight and a plurality of teeth 31a having roots connected to the base line 31b. The plurality of tooth portions 31a are provided parallel to each other. Each tooth 31a extends obliquely from the base line 31b. The plurality of tooth portions 31a are arranged at regular intervals in the first direction.

第２櫛歯電極３２は、真っすぐ延びる基部線路３２ｂと、基部線路３２ｂに付け根が接続された複数の歯部３２ａとを備えている。基部線路３２ｂは、第１櫛歯電極３１の基部線路３１ｂに平行である。複数の歯部３２ａは、互いに平行に設けられている。第２櫛歯電極３２の歯部３２ａは、第１櫛歯電極３１の歯部３１ａに平行である。各歯部３２ａは、基部線路３２ｂから斜めに延びている。複数の歯部３２ａは、第１方向に等間隔で配列されている。 The second comb-teeth electrode 32 includes a base line 32b extending straight and a plurality of teeth 32a having roots connected to the base line 32b. The base line 32 b is parallel to the base line 31 b of the first comb tooth-shaped electrode 31 . The plurality of tooth portions 32a are provided parallel to each other. The teeth 32 a of the second comb-teeth electrode 32 are parallel to the teeth 31 a of the first comb-teeth electrode 31 . Each tooth 32a extends obliquely from the base track 32b. The plurality of tooth portions 32a are arranged at regular intervals in the first direction.

放射アンテナ２２では、同一平面内において、複数の歯部３１ａ，３２ａが、所定の方向（第１方向）に隙間を空けて配列されている。複数の歯部３１ａ，３２ａが配列された領域（以下、「配列領域」と言う。）は、平面視で帯状の領域である。なお、第１の方向に配列される歯部（導体線路）３１ａ，３２ａの合計本数は、３本以上であればよく、本実施形態のように１０本以上としてもよい。 In the radiation antenna 22, a plurality of tooth portions 31a and 32a are arranged with a gap in a predetermined direction (first direction) in the same plane. A region in which the plurality of tooth portions 31a and 32a are arranged (hereinafter referred to as an "arranged region") is a strip-shaped region in plan view. The total number of tooth portions (conductor lines) 31a and 32a arranged in the first direction may be 3 or more, and may be 10 or more as in the present embodiment.

放射アンテナ２２は、第１櫛歯電極３１及び第２櫛歯電極３２に加え、第１方向における配列領域の一端側で第１櫛歯電極３１と第２櫛歯電極３２を接続する第１接続線路４１と、配列領域の他端側で第１櫛歯電極３１と第２櫛歯電極３２を接続する第２接続線路４２とを備えている。放射アンテナ２２は閉回路である。第１接続線路４１には、発振器２１からの高周波が入力される入力部３０が接続されている。入力部３０は、例えば同軸コネクタであり、同軸線路を介して発振器２１に接続されている。入力部３０は、基板２３の裏側に設けられている。入力部３０に高周波が入力される入力期間に、放射アンテナ２２の対面領域（配列領域の上方の領域）では、被加熱物２０を加熱するための強電界領域が形成される。強電界領域は、対面領域のうち放射アンテナ２２の表側近傍に形成され、平行で厚みが薄い領域となる。 The radiation antenna 22 has a first connection that connects the first comb-shaped electrode 31 and the second comb-shaped electrode 32 on one end side of the arrangement region in the first direction in addition to the first comb-shaped electrode 31 and the second comb-shaped electrode 32 . It has a line 41 and a second connection line 42 that connects the first comb-teeth electrode 31 and the second comb-teeth electrode 32 on the other end side of the arrangement region. The radiating antenna 22 is a closed circuit. An input section 30 to which a high frequency signal from the oscillator 21 is input is connected to the first connection line 41 . The input section 30 is, for example, a coaxial connector, and is connected to the oscillator 21 via a coaxial line. The input section 30 is provided on the back side of the board 23 . A strong electric field region for heating the object 20 to be heated is formed in the area facing the radiation antenna 22 (the area above the arrangement area) during the input period in which the high frequency is input to the input unit 30 . The strong electric field region is formed in the vicinity of the front side of the radiating antenna 22 in the facing region, and is a parallel and thin region.

放射アンテナ２２は、上述の入力期間に、高周波の共振が生じるように構成されている。放射アンテナ２２では、各歯部３１ａ，３２ａで高周波による共振が同時に生じる。歯部３１ａの長さＬ１と歯部３２ａの長さＬ２とは、伝送される高周波の波長（電気長）をλとした場合に、式１及び式２を用いて設計される（ｎ１、ｎ２は自然数）。隣り合う歯部３１ａと歯部３２ａの合計長さは、２ｍ×λ／４で表される（ｍは自然数）。本実施形態では、歯部３１ａ，３２ａの長さＬ１，Ｌ２は、ともにλ／４である。なお、第１櫛歯電極３１の各歯部３１ａと第２櫛歯電極３２の各歯部３２ａは、全て同じ長さにしているが、長さを互いに異ならせてもよい。
式１：Ｌ１＝λ×（２ｎ１－１）／４
式２：Ｌ２＝λ×（２ｎ２－１）／４ The radiation antenna 22 is configured to generate high-frequency resonance during the input period described above. In the radiation antenna 22, high-frequency resonance occurs simultaneously in the teeth 31a and 32a. The length L1 of the tooth portion 31a and the length L2 of the tooth portion 32a are designed using Equations 1 and 2, where λ is the wavelength (electrical length) of the transmitted high frequency (n 1 , n2 is a natural number). The total length of adjacent teeth 31a and teeth 32a is represented by 2m×λ/4 (m is a natural number). In this embodiment, the lengths L1 and L2 of the tooth portions 31a and 32a are both λ/4. The tooth portions 31a of the first comb-teeth electrode 31 and the tooth portions 32a of the second comb-teeth electrode 32 have the same length, but may have different lengths.
Formula 1: L1=λ×(2n 1 −1)/4
Equation 2: L2=λ×(2n 2 −1)/4

放射アンテナ２２は、上述の入力期間に、第１方向に隣り合う歯部３１ａ，３２ａの間で比較的強固な電界結合が生じるように構成されている。具体的に、放射アンテナ２２では、複数の歯部３１ａ，３２ａが第１方向に等間隔で配列され、第１方向に隣り合う歯部３１ａ，３２ａの距離（隙間の寸法）は、歯部３１ａ，３２ａの線路幅の５倍以下となっている。この距離は、歯部３１ａ，３２ａの線路幅の３倍以下としてもよいし、１倍以下としてもよい。なお、第１櫛歯電極３１の各歯部３１ａと第２櫛歯電極３２の各歯部３２ａは、全て同じ線路幅にしているが、線路幅を互いに異ならせてもよい。 The radiation antenna 22 is configured such that relatively strong electric field coupling is generated between the tooth portions 31a and 32a adjacent in the first direction during the above-described input period. Specifically, in the radiation antenna 22, a plurality of teeth 31a and 32a are arranged at equal intervals in the first direction, and the distance (gap dimension) between the teeth 31a and 32a adjacent to each other in the first direction is equal to the tooth 31a. , 32a is five times or less. This distance may be three times or less the line width of the tooth portions 31a and 32a, or may be one time or less. Although the tooth portions 31a of the first comb-teeth electrode 31 and the tooth portions 32a of the second comb-teeth electrode 32 have the same line width, they may have different line widths.

基板２３は、例えば金属製の板材を用いて構成されている。基板２３の平面形状は、略矩形である。基板２３の長手方向は、第１方向に一致している。基板２３の表側には、平面形状が略矩形の凹部２４が形成されている。凹部２４の長手方向も第１方向に一致している。凹部２４には、放射アンテナ２２が収容されている。凹部２４では、例えば底面に設けられた誘電体（図示省略）によって、放射アンテナ２２が浮いた状態で支持されている。放射アンテナ２２は、基板２３の金属部分から電気的に絶縁されている。基板２３の表面のうち凹部２４以外の領域は、放射アンテナ２２を囲う平坦領域２７となっている。平坦領域２７の高さ位置は、例えば、放射アンテナ２２の上面と同程度又は少し上側あるいは下側となっている。 The substrate 23 is configured using, for example, a metal plate. The planar shape of the substrate 23 is substantially rectangular. The longitudinal direction of the substrate 23 matches the first direction. A concave portion 24 having a substantially rectangular planar shape is formed on the front side of the substrate 23 . The longitudinal direction of the concave portion 24 also coincides with the first direction. A radiation antenna 22 is housed in the recess 24 . In the concave portion 24, the radiating antenna 22 is supported in a floating state by, for example, a dielectric (not shown) provided on the bottom surface. Radiation antenna 22 is electrically insulated from the metal portion of substrate 23 . The area of the surface of the substrate 23 other than the concave portion 24 is a flat area 27 surrounding the radiation antenna 22 . The height position of the flat area 27 is, for example, substantially the same as, slightly above, or below the upper surface of the radiating antenna 22 .

なお、本実施形態では、基板２３が、枠状の表側金属板２３ａと、表側金属板２３ａの裏面に重ねられた矩形状の裏側金属板２３ｂとにより構成されているが、基板２３は、片面に凹部２４が形成された１枚の金属板により構成してもよい。また、平坦領域２７の表面及び／又は放射アンテナ２２の上面には、強電界による放電の発生を抑制するために、高周波を吸収するコーティング（例えば、誘電体のコーティング）を施してもよい。 In this embodiment, the substrate 23 is composed of a frame-shaped front metal plate 23a and a rectangular back metal plate 23b superimposed on the back surface of the front metal plate 23a. It may be composed of a single metal plate in which the concave portion 24 is formed. Also, the surface of the flat region 27 and/or the upper surface of the radiation antenna 22 may be coated with a coating that absorbs high frequencies (for example, a dielectric coating) in order to suppress the occurrence of discharge due to a strong electric field.

カバー５０は、金属製の筐体である。カバー５０は、図２及び図３に示すように、表側から放射アンテナ２２を覆う本体部５１と、本体部５１の全周囲を囲うように本体部５１に一体化された外周部５２と、本体部５１の上面に接続されたダクト部５３とを備えている。ダクト部５３の外端部には、内部空間４０を搬送される被加熱物２０に空気を供給する送風機３５が取り付けられている。 The cover 50 is a metal housing. As shown in FIGS. 2 and 3, the cover 50 includes a main body portion 51 that covers the radiation antenna 22 from the front side, an outer peripheral portion 52 that is integrated with the main body portion 51 so as to surround the entire circumference of the main body portion 51, and a main body portion. and a duct portion 53 connected to the upper surface of the portion 51 . An air blower 35 for supplying air to the object to be heated 20 conveyed in the internal space 40 is attached to the outer end of the duct portion 53 .

本体部５１は、平面視において略矩形状を呈し、例えば凹部２４と同程度の平面寸法を有する。本体部５１は、凹部２４の真上に位置している。本体部５１は、下側が開放された箱状に形成されている。図４に示すように、本体部５１の内部空間とダクト部５３の内部空間とは、互いに繋がっており、送風機３５から被加熱物２０に向かう空気が流れる送風通路４５となっている。 The body portion 51 has a substantially rectangular shape in a plan view, and has, for example, approximately the same planar dimension as the recess 24 . The body portion 51 is positioned directly above the recess 24 . The body portion 51 is formed in a box shape with an open bottom. As shown in FIG. 4 , the internal space of the body portion 51 and the internal space of the duct portion 53 are connected to each other to form an air passage 45 through which air flows from the blower 35 toward the object 20 to be heated.

外周部５２は、本体部５１よりも外側の部分であり、平面視において略矩形の枠状を呈する。外周部５２は、周方向に亘って、連続隙間７０を介して基板２３の平坦領域２７に対面している。外周部５２には、連続隙間７０を通じた高周波の漏洩を防止するシールド構造５５が全周囲に亘って設けられている。シールド構造５５は、例えばチョーク構造５５により構成されている。チョーク構造の構造や形状は、特に限定されないが、短絡型λ／４共振チョークを採用することができる。チョーク構造５５は、断面視において渦巻状（又はリング形状）の空洞より構成され、放射アンテナ２２寄りの位置に開口している。なお、チョーク構造５５の寸法は、例えば、断面視の周長が「λ／２×ａ（ａは自然数）」で、深さが「λ／４×ｂ（ｂは自然数）」となる。λは、チョーク構造５５における高周波の電気長である。 The outer peripheral portion 52 is a portion outside the main body portion 51 and has a substantially rectangular frame shape in plan view. The outer peripheral portion 52 faces the flat region 27 of the substrate 23 via a continuous gap 70 in the circumferential direction. A shield structure 55 for preventing high-frequency leakage through the continuous gap 70 is provided all around the outer peripheral portion 52 . The shield structure 55 is composed of a choke structure 55, for example. The structure and shape of the choke structure are not particularly limited, but a short-circuit type λ/4 resonant choke can be adopted. The choke structure 55 is composed of a spiral (or ring-shaped) cavity in a cross-sectional view, and opens at a position near the radiation antenna 22 . As for the dimensions of the choke structure 55, for example, the circumference in cross section is "λ/2×a (a is a natural number)" and the depth is "λ/4×b (b is a natural number)". λ is the high frequency electrical length in the choke structure 55 .

ダクト部５３は、基材１１の搬送方向（第１方向）において上流側（導入部７１側）に配置されている。ダクト部５３は、第１方向において下流側に向かって斜め下方に傾斜している。送風機３５の送風方向は、第１方向の下流側を向いている。また、本体部５１の内面には、複数の風向調節板６８が設けられている。各風向調節板６８は、例えばルーバーであり、風向を第１方向の下流側に向かせる。これらの構成により、送風機３５から送風された空気は、第１方向の下流側に向かって流れ、連続隙間７０のうち導出部７２から主に外部に排出され、一部は側方隙間７３，７４から排出される。なお、風向調節板６８は省略してもよい。 The duct portion 53 is arranged on the upstream side (introduction portion 71 side) in the conveying direction (first direction) of the base material 11 . The duct portion 53 is inclined downward toward the downstream side in the first direction. The blowing direction of the blower 35 faces the downstream side in the first direction. A plurality of wind direction adjusting plates 68 are provided on the inner surface of the body portion 51 . Each wind direction adjusting plate 68 is, for example, a louver, and directs the wind toward the downstream side in the first direction. With these configurations, the air blown from the blower 35 flows toward the downstream side in the first direction, is mainly discharged to the outside from the lead-out portion 72 of the continuous gap 70, and is partially discharged from the side gaps 73 and 74. discharged from Note that the wind direction adjusting plate 68 may be omitted.

送風通路４５には、放射アンテナ２２から放射される高周波から送風機３５を遮蔽し、且つ、送風機３５から被加熱物２０に向かう空気を通過させる貫通孔４６ａが形成された金属製のシールド部材４６が設けられている。シールド部材４６は、板状に形成されている。シールド部材４６は、送風通路４５を上流側と下流側に区画するように（上下に区画するように）、本体部５１に取り付けられている。シールド部材４６には、複数の貫通孔４６ａが形成されている。各貫通孔４６ａは、放射アンテナ２２から放射される高周波が通過できない大きさに形成されている。 In the ventilation passage 45, there is a metal shield member 46 formed with a through hole 46a that shields the blower 35 from the high frequency radiated from the radiating antenna 22 and allows the passage of air from the blower 35 toward the object 20 to be heated. is provided. The shield member 46 is formed in a plate shape. The shield member 46 is attached to the main body 51 so as to partition the air passage 45 into upstream and downstream sides (divide it vertically). A plurality of through holes 46 a are formed in the shield member 46 . Each through-hole 46a is formed in a size that prevents the high frequency radiated from the radiating antenna 22 from passing through.

［遮蔽部の構成］
図３及び図４等を参照しながら、遮蔽部６０の構成について説明を行う。 [Configuration of Shielding Part]
The configuration of the shielding portion 60 will be described with reference to FIGS. 3 and 4 and the like.

遮蔽部６０は、内部空間４０に放射アンテナ２２を収容する筐体であり、基板２３及びカバー５０により構成されている。遮蔽部６０は、導入部７１及び導出部７２などを設けることで基材１１の通過を許容しつつ、内部空間４０が遮蔽空間となるように構成されている。内部空間４０では、被加熱物２０が放射アンテナ２２の対面領域を通過するように、基材１１が導入部７１から導出部７２に向かって搬送される。 The shielding part 60 is a housing that accommodates the radiation antenna 22 in the internal space 40 and is composed of the substrate 23 and the cover 50 . The shielding portion 60 is configured to allow passage of the base material 11 by providing an introduction portion 71 and a lead-out portion 72 and the like so that the internal space 40 serves as a shielding space. In the internal space 40 , the substrate 11 is conveyed from the lead-in portion 71 toward the lead-out portion 72 so that the object 20 to be heated passes through the facing area of the radiation antenna 22 .

遮蔽部６０には、内部空間４０を外部に連通させる隙間として、遮蔽部６０の側部の全周囲に亘って連続する連続隙間７０が形成されている。例えば、遮蔽部６０では、カバー５０が、基板２３に対して浮いた状態になるように、支持部材（図示省略）により支持されている。 The shielding portion 60 is provided with a continuous gap 70 extending along the entire circumference of the side portion of the shielding portion 60 as a gap that communicates the internal space 40 with the outside. For example, in the shielding part 60 , the cover 50 is supported by a supporting member (not shown) so as to be floating with respect to the substrate 23 .

連続隙間７０は、断面視において、基板２３の平坦領域２７の上面とカバー５０の外周部５２の下面とにより形成されている。断面視における連続隙間７０の隙間寸法（平坦領域２７と外周部５２との距離）は、例えば遮蔽部６０の全周囲に亘って一定である。連続隙間７０の隙間寸法の下限値は、基材（搬送物）１１が通過可能な寸法であればよい。連続隙間７０の隙間寸法の上限値は、外部への高周波漏洩を実質的に阻止できればよく、例えば３０ｍｍ以下であり、好ましくは１０ｍｍ以下、さらに好ましくは５ｍｍ以下である。 The continuous gap 70 is formed by the upper surface of the flat region 27 of the substrate 23 and the lower surface of the outer peripheral portion 52 of the cover 50 in a cross-sectional view. A gap dimension of the continuous gap 70 in a cross-sectional view (a distance between the flat region 27 and the outer peripheral portion 52) is constant over the entire circumference of the shielding portion 60, for example. The lower limit value of the gap dimension of the continuous gap 70 may be any dimension that allows the substrate (conveyed object) 11 to pass through. The upper limit of the gap dimension of the continuous gap 70 is only required to substantially prevent high-frequency leakage to the outside, and is, for example, 30 mm or less, preferably 10 mm or less, and more preferably 5 mm or less.

連続隙間７０は、被加熱物２０を含む基材１１が導入される導入部７１と、基材１１が導出される導出部７２と、対面領域の両側方において基材１１の搬送方向に延びる一対の側方隙間７３，７４とにより構成されている。連続隙間７０は、平面視において放射アンテナ２２の対面領域から見て、第１方向の上流側、第１方向の下流側、及び、第２方向の両側方の四方に形成されている。なお、本明細書において対面領域の「側方」とは、搬送方向に直交する方向を意味する。 The continuous gap 70 includes an introduction portion 71 into which the substrate 11 including the object 20 to be heated is introduced, an extraction portion 72 into which the substrate 11 is extracted, and a pair of continuous gaps 70 extending in the conveying direction of the substrate 11 on both sides of the facing area. , and side gaps 73 and 74. The continuous gap 70 is formed on four sides, ie, the upstream side in the first direction, the downstream side in the first direction, and both sides in the second direction when viewed from the facing area of the radiating antenna 22 in plan view. In addition, in this specification, the "side" of the facing area means a direction perpendicular to the transport direction.

具体的に、導入部７１及び導出部７２の各々は、基板２３の平坦領域２７の短辺部分と、その短辺部分に対面する外周部５２との間に形成された隙間により構成されている。各側方隙間７３，７４は、基板２３の平坦領域２７の長辺部分と、その長辺部分に対面する外周部５２との間に形成された隙間により構成されている。各側方隙間７３，７４は、導入部７１と導出部７２にそれぞれ繋がっている。 Specifically, each of the lead-in portion 71 and the lead-out portion 72 is constituted by a gap formed between the short side portion of the flat region 27 of the substrate 23 and the outer peripheral portion 52 facing the short side portion. . Each of the side gaps 73 and 74 is formed by a gap formed between the long side portion of the flat region 27 of the substrate 23 and the outer peripheral portion 52 facing the long side portion. The lateral gaps 73 and 74 are connected to the introduction portion 71 and the lead-out portion 72, respectively.

［処理システムの動作］
電磁波加熱装置１０を含めた処理システムの動作について説明を行う。処理システムの電源をＯＮにすると、電磁波加熱装置１０及び搬送機構１２の各電源がＯＮになる。これにより、搬送機構１２により基材１１が搬送されると共に、発振器２１から高周波が発振される。基材１１は、被加熱物２０側を表側（図１において上側）に向けて、放射アンテナ２２の表側近傍を搬送される。なお、基材１１は、被加熱物２０側を裏側に向けて搬送してもよい。 [Processing system operation]
The operation of the processing system including the electromagnetic wave heating device 10 will be described. When the power of the processing system is turned on, the power of each of the electromagnetic wave heating device 10 and the transport mechanism 12 is turned on. As a result, the substrate 11 is transported by the transport mechanism 12 and the oscillator 21 oscillates a high frequency. The substrate 11 is conveyed in the vicinity of the front side of the radiation antenna 22 with the object 20 to be heated facing the front side (upper side in FIG. 1). In addition, the base material 11 may be conveyed with the object to be heated 20 facing the back side.

電磁波加熱装置１０では、発振器２１から出力された高周波が、第１櫛歯電極３１の各歯部３１ａ及び第２櫛歯電極３２の各歯部３２ａに供給される。櫛歯電極３１，３２の各歯部３１ａ，３２ａでは、高周波による共振が生じ、各歯部３１ａ，３２ａの先端が、高周波による定在波の腹部となる。放射アンテナ２２では、第１櫛歯電極３１の複数の歯部３１ａにおける定在波の腹部が第１方向に一列に並び、第２櫛歯電極３２の複数の歯部３２ａにおける定在波の腹部が第１方向に一列に並ぶ。 In the electromagnetic wave heating device 10 , the high frequency waves output from the oscillator 21 are supplied to the teeth 31 a of the first comb-teeth electrode 31 and the teeth 32 a of the second comb-teeth electrode 32 . The teeth 31a and 32a of the comb electrodes 31 and 32 generate resonance due to the high frequency, and the tips of the teeth 31a and 32a become the antinodes of the standing waves due to the high frequency. In the radiating antenna 22, the abdomens of the standing wave at the plurality of teeth 31a of the first comb-teeth electrode 31 are arranged in a row in the first direction, and the abdomens of the standing wave at the plurality of teeth 32a of the second comb-teeth electrode 32 are aligned. are aligned in the first direction.

また、第１方向に隣り合う歯部３１ａ，３２ａの間では、比較的強い電界結合が生じる。これにより、放射アンテナ２２の対面領域では、基材１１及び被加熱物２０の搬送路を含むように強電界領域が形成される。強電界領域を通過する被加熱物２０は、誘電成分や導電成分などが高周波により加熱される。これにより、被加熱物２０は昇温を経て、所望の物理／化学変化（重合、アニール、乾燥、硬化等）が生じる。 Also, a relatively strong electric field coupling occurs between the tooth portions 31a and 32a adjacent to each other in the first direction. As a result, a strong electric field region is formed in the area facing the radiation antenna 22 so as to include the transport path of the substrate 11 and the object to be heated 20 . The object to be heated 20 passing through the strong electric field region is heated by the high frequency due to dielectric components, conductive components, and the like. As a result, the object to be heated 20 undergoes a temperature rise and undergoes desired physical/chemical changes (polymerization, annealing, drying, hardening, etc.).

［実施形態の効果等］
本実施形態では、導入部７１及び導出部７２の各々に対して側方隙間７３，７４が繋がった連続隙間７０が、遮蔽部６０に形成されている。そのため、図１に示す幅が狭い基材１１だけでなく、図５（ａ）に示すように、側方隙間７３，７４から外部にはみ出す大きさの基材１１であっても、導入部７１から導出部７２に向かって基材１１を搬送することができる。その際、内部空間４０において、放射アンテナ２２の対面領域（強電界領域）で、被加熱物２０に対する加熱処理を施すことができる。従って、基材１１の全体が内部空間４０を通過できるように遮蔽部６０を大きくする必要がなく、遮蔽部６０及び電磁波加熱装置１０のコンパクト化を図ることができる。本実施形態は、大判の搬送物１１の一部だけに被加熱物２０を設ける場合などに有用である。 [Effects of the embodiment, etc.]
In this embodiment, a continuous gap 70 in which side gaps 73 and 74 are connected to each of the lead-in part 71 and the lead-out part 72 is formed in the shielding part 60 . Therefore, not only the base material 11 having a narrow width shown in FIG. , the base material 11 can be conveyed toward the lead-out portion 72 . At this time, in the internal space 40 , the object 20 to be heated can be subjected to heat treatment in the facing area (strong electric field area) of the radiation antenna 22 . Therefore, it is not necessary to enlarge the shielding part 60 so that the entire base material 11 can pass through the internal space 40, and the shielding part 60 and the electromagnetic wave heating device 10 can be made compact. This embodiment is useful when the object to be heated 20 is provided only on part of the large-sized conveyed object 11 .

なお、図５（ａ）では、カバー５０のうちシールド部材４６よりも上側部分の記載を省略している。この点は、図５（ｂ）、図６（ａ）～（ｃ）、図７（ａ）～（ｃ）、及び、図８でも同様である。また、白抜きの矢印は、送風機３５から被加熱物２０へ供給される空気の風向きを表す。 In addition, in FIG. 5A, the illustration of the portion of the cover 50 above the shield member 46 is omitted. This point also applies to FIGS. 5(b), 6(a)-(c), 7(a)-(c), and FIG. In addition, the white arrow indicates the wind direction of the air supplied from the blower 35 to the object 20 to be heated.

例えば、多数の封筒の各々における口部分に塗布された接着剤を加熱する場合、基材１１の幅方向に封筒の縦方向を合わせ、且つ、多数の封筒における接着剤の塗布領域が一列に並ぶように、多数の封筒を基材１１により搬送する。この場合に、封筒の縦寸法の分だけ遮蔽部６０の内部空間４０の広さを確保する必要はない。遮蔽部６０は、接着剤の塗布領域に合わせた大きさにすることができる。 For example, when heating the adhesive applied to the mouth portion of each of a large number of envelopes, the longitudinal direction of the envelopes is aligned with the width direction of the base material 11, and the adhesive application areas of the large number of envelopes are aligned. , a large number of envelopes are conveyed by the substrate 11. As shown in FIG. In this case, it is not necessary to secure the width of the internal space 40 of the shielding part 60 for the vertical dimension of the envelope. The shielding portion 60 can be sized to match the adhesive application area.

本実施形態では、放射アンテナ２２の各歯部３１ａ，３２ａで高周波の共振が生じ、強電界領域の電界強度が比較的高くなる。ここで、電界が強いほど、高周波は被加熱物２０に吸収されやすくなり、被加熱物２０を効率的に加熱することができる。従って、共振が生じない場合に比べて、発振器２１への投入電力を抑制することができる。特に、本実施形態では、発振器２１に半導体発振器を用いることでも、マグネトロンを用いる場合に比べて、低電力で発振器２１の運転を行うことができる。その結果、高周波の放射強度を低く抑えることができる。さらに、本実施形態では、連続隙間７０に臨むようにチョーク構造５５を設けている。ここで、マグネトロンを用いる電子レンジでは、チョーク構造を設けても扉の周囲に隙間を設けることはできない。それに対し、本実施形態では、高周波の共振構造体（放射アンテナ２２）と半導体発振器を用いることにより、高周波の放射強度を低く抑えることができ、連続隙間７０に向かう高周波は弱くなる。従って、基材（薄物）１１を通す連続隙間７０を設けても、高周波の漏洩を十分に抑制することができる。さらに、本実施形態において、被加熱物２０の寸法に合わせて放射アンテナ２２を小型化するほど、ならびに、高周波が被加熱物２０に整合（吸収）されるほど、余剰の高周波は低減されるため、高周波漏洩の抑制要求に対して、基材１１（薄物）を通す連続隙間７０に求められる寸法精度が緩和される。 In this embodiment, high-frequency resonance occurs in the tooth portions 31a and 32a of the radiation antenna 22, and the electric field strength in the strong electric field region becomes relatively high. Here, the stronger the electric field, the more easily the high frequency is absorbed by the object 20 to be heated, and the object 20 to be heated can be efficiently heated. Therefore, the power supplied to the oscillator 21 can be suppressed as compared with the case where resonance does not occur. In particular, in this embodiment, the use of a semiconductor oscillator for the oscillator 21 also enables the operation of the oscillator 21 with lower power than when a magnetron is used. As a result, the radiation intensity of high frequencies can be kept low. Furthermore, in this embodiment, the choke structure 55 is provided so as to face the continuous gap 70 . Here, in a microwave oven using a magnetron, even if a choke structure is provided, a gap cannot be provided around the door. On the other hand, in this embodiment, by using a high-frequency resonant structure (radiating antenna 22) and a semiconductor oscillator, the radiation intensity of high-frequency waves can be suppressed low, and the high-frequency wave toward the continuous gap 70 becomes weak. Therefore, even if the continuous gap 70 through which the base material (thin object) 11 is passed is provided, high frequency leakage can be sufficiently suppressed. Furthermore, in the present embodiment, the more the radiating antenna 22 is miniaturized in accordance with the size of the object 20 to be heated and the more the high frequency is matched (absorbed) by the object 20 to be heated, the more the excessive high frequency is reduced. , the dimensional accuracy required for the continuous gap 70 through which the base material 11 (thin material) passes is relaxed in response to the request for suppressing high frequency leakage.

本実施形態では、送風機３５を設けているため、加熱により被加熱物２０を乾燥させる場合に、被加熱物２０から蒸発した有機溶剤や水分を遮蔽部６０の外部に排出することができる。特に、蒸発ガスの排出箇所は連続隙間７０であるため、流速が比較的速くなり、被加熱物２０から速やかに蒸発ガスを遠ざけることができる。また、内部空間４０は蒸発ガス成分がないあるいは少ない乾き空気で常に換気されるため、被加熱物２０における蒸発ガス成分の乾き空気への物質移動（蒸発）速度は維持される。本実施形態によれば、電磁波加熱装置１０を乾燥装置として用いる場合、被加熱物２０を効率的に乾燥させることができる。 In this embodiment, since the blower 35 is provided, the organic solvent and moisture evaporated from the heated object 20 can be discharged to the outside of the shielding part 60 when the heated object 20 is dried by heating. In particular, since the evaporative gas is discharged from the continuous gap 70 , the flow velocity is relatively high, and the evaporative gas can be quickly kept away from the object 20 to be heated. In addition, since the internal space 40 is constantly ventilated with dry air having no or little evaporative gas component, the mass transfer (evaporation) speed of the evaporative gas component in the heated object 20 to the dry air is maintained. According to this embodiment, when the electromagnetic wave heating device 10 is used as a drying device, the object to be heated 20 can be dried efficiently.

本実施形態では、送風機３５の送風方向が第１方向の下流側を向いているため、内部空間４０の空気が、導出部７２又は側方隙間７３，７４から外部に排出される。内部空間４０の空気は、導入部７１からはほとんど排出されない。そのため、例えば、上述の上流側装置に蒸気ガスが当たることを嫌う場合に、遮蔽部６０からの排気が上流側装置に到達することが抑制される。もちろん周囲環境に合わせて、シールド部材４６の貫通孔４６aあるいは風向調節板６８の形状によって、所望する排気方向を制御してもよい。 In this embodiment, the blowing direction of the blower 35 is directed downstream in the first direction, so the air in the internal space 40 is discharged to the outside through the lead-out portion 72 or the side gaps 73 and 74 . The air in the internal space 40 is hardly discharged from the introduction portion 71 . Therefore, for example, when the above-described upstream device should not be exposed to steam gas, the exhaust from the shielding part 60 is suppressed from reaching the upstream device. Of course, the desired exhaust direction may be controlled by the through-hole 46a of the shield member 46 or the shape of the wind direction adjusting plate 68 according to the surrounding environment.

本実施形態では、風を通し且つ高周波をシールドするシールド部材４６が、カバー５０内の送風通路４５に設けられている。これにより、高周波が送風機３５にほとんど到達しないため、高周波による送風機３５の故障を回避することができる。さらに、送風通路４５の空気の入口を通じての高周波漏洩を抑制することができる。 In the present embodiment, a shield member 46 that passes air and shields high frequencies is provided in the air passage 45 inside the cover 50 . As a result, the high frequency hardly reaches the blower 35, so that the failure of the blower 35 due to the high frequency can be avoided. Furthermore, high frequency leakage through the air inlet of the blowing passage 45 can be suppressed.

［実施形態の変形例１］
本変形例では、連続隙間７０が、第１方向の上流側の導入部７１、搬送方向の下流側の導出部７２、及び、第２方向の片側の側方隙間７３からなる三方の隙間により構成されている。連続隙間７０は、対面領域から見て三方だけに形成されている。また、図５（ｂ）に示すように、対面領域から見て第２方向のもう片側には、基板２３によりカバー５０を支持するための支持部材８０が設けられている。 [Modification 1 of Embodiment]
In this modified example, the continuous gap 70 is composed of a three-way gap consisting of an introduction portion 71 on the upstream side in the first direction, an outlet portion 72 on the downstream side in the conveying direction, and a side gap 73 on one side in the second direction. It is The continuous gap 70 is formed only on three sides when viewed from the facing area. Further, as shown in FIG. 5B, a support member 80 for supporting the cover 50 with the substrate 23 is provided on the other side in the second direction when viewed from the facing area.

［実施形態の変形例２］
本変形例では、チョーク構造５５の空洞について、図６（ａ）に示すように、上述の実施形態とは渦巻きの向きが逆になっている。チョーク構造５５の空洞は、断面視において、基板２３の外周寄りの位置に開口している。 [Modification 2 of Embodiment]
In this modified example, as shown in FIG. 6(a), the spiral direction of the cavity of the choke structure 55 is opposite to that of the above-described embodiment. The cavity of the choke structure 55 opens at a position near the outer periphery of the substrate 23 in a cross-sectional view.

［実施形態の変形例３］
本変形例では、チョーク構造５５が、図６（ｂ）に示すように、断面視において直線状のチョーク溝である。なお、図６（ｂ）では、チョーク構造５５が、断面視において、放射アンテナ２２寄りの位置に開口しているが、基板２３の外周寄りの位置に開口していてもよい。 [Modification 3 of Embodiment]
In this modified example, the choke structure 55 is a linear choke groove in a cross-sectional view, as shown in FIG. 6(b). In FIG. 6B, the choke structure 55 is open at a position near the radiation antenna 22 in a cross-sectional view, but it may be open at a position near the outer periphery of the substrate 23 .

［実施形態の変形例４］
本変形例では、図６（ｃ）に示すように、外周部５２の高さが、上述の実施形態の半分程度である。また、断面視におけるチョーク構造５５における空洞の形状は、渦巻き状ではなく、平坦領域２７に臨む開口から外側に真っすぐ延びている。 [Modification 4 of Embodiment]
In this modified example, as shown in FIG. 6C, the height of the outer peripheral portion 52 is about half that of the above-described embodiment. Further, the shape of the cavity in the choke structure 55 in cross-section is not spiral, but straightly extends outward from the opening facing the flat region 27 .

［実施形態の変形例５］
本変形例では、図７（ａ）に示すように、カバー５０ではなく基板２３側に、チョーク構造５６が設けられている。チョーク構造５６の形状は、直線状としているが、渦巻き状などの他の形状にすることもできる。基板２３の厚みは、上述の実施形態に比べて大きい。また、カバー５０は、板状に形成されている。 [Modification 5 of Embodiment]
In this modification, as shown in FIG. 7A, a choke structure 56 is provided not on the cover 50 but on the substrate 23 side. The shape of the choke structure 56 is linear, but other shapes such as spirals are possible. The thickness of the substrate 23 is greater than in the above-described embodiments. Moreover, the cover 50 is formed in a plate shape.

［実施形態の変形例６］
本変形例では、図７（ｂ）に示すように、カバー５０と基板２３にそれぞれ、チョーク構造５５，５６が設けられている。図７（ｂ）では、平面視において、カバー５０のチョーク構造５５の開口が、基板２３のチョーク構造５６の開口と同じ位置に形成されているが、基板２３のチョーク構造５６の開口とはずれた位置に形成されていてもよい。 [Modification 6 of Embodiment]
In this modification, choke structures 55 and 56 are provided on the cover 50 and the substrate 23, respectively, as shown in FIG. 7(b). In FIG. 7(b), the opening of the choke structure 55 of the cover 50 is formed at the same position as the opening of the choke structure 56 of the substrate 23 in a plan view, but is deviated from the opening of the choke structure 56 of the substrate 23. position.

［実施形態の変形例７］
本変形例では、図７（ｃ）に示すように、放射アンテナ２２が、カバー５０側に設けられて支持されている。放射アンテナ２２は、カバー５０とは電気的に絶縁されて、支持部材（図示省略）により吊り下げられている。放射アンテナ２２は、送風通路４５の出口に配置されている。基板２３には、放射アンテナ２２を収容する凹部２４が形成されていない。本変形例では、被加熱物２０に対して上側から高周波が照射される。また、通電により発熱する放射アンテナ２２の間を空気が通過して、空気が受熱するため、乾燥工程においては、乾燥効率を向上させることができる。 [Modification 7 of Embodiment]
In this modification, as shown in FIG. 7C, the radiation antenna 22 is provided and supported on the cover 50 side. The radiation antenna 22 is electrically insulated from the cover 50 and suspended by a support member (not shown). The radiation antenna 22 is arranged at the outlet of the air passage 45 . The substrate 23 does not have a recess 24 for accommodating the radiation antenna 22 . In this modification, the object to be heated 20 is irradiated with high frequency waves from above. In addition, since the air passes between the radiation antennas 22 that generate heat when energized and receives the heat, the drying efficiency can be improved in the drying process.

［実施形態の変形例８］
本変形例では、図８に示すように、カバー５０のチョーク構造５５に複数のスリット５９が設けられている。隣り合う複数のスリット５９の距離は、例えば電気長λの２０分の１程度とすることができる。なお、基板２３のチョーク構造５６に、カバー５０と同様の複数のスリットを設けてもよい（図示省略）。スリット５９を設けることで、内部空間で複数モードが生じる際などに、高周波漏洩を効果的に抑制することができる。なお、図８ではシールド部材４６の貫通孔４６ａの記載を省略している。 [Modification 8 of Embodiment]
In this modified example, as shown in FIG. 8, a plurality of slits 59 are provided in the choke structure 55 of the cover 50 . The distance between adjacent slits 59 can be, for example, about 1/20 of the electrical length λ. A plurality of slits similar to those of the cover 50 may be provided in the choke structure 56 of the substrate 23 (not shown). By providing the slit 59, it is possible to effectively suppress high frequency leakage when multiple modes occur in the internal space. Note that the illustration of the through hole 46a of the shield member 46 is omitted in FIG.

［実施形態の変形例９］
本変形例では、図９に示すように、電磁波加熱装置１０が、発振器２１の廃熱を利用して、送風機３５により被加熱物２０に供給される空気を加熱する廃熱利用部９０とを備えている。廃熱利用部９０は、運転中の発振器２１で発生する熱を放熱する放熱部９１と、放熱部９１を収納して外部から空気を導入する導入口を有するケース９２と、ケース９２内の空気をダクト部５３に供給するための接続流路９３とを備えている。放熱部９１は、例えば複数の放熱フィンである。接続流路９３には送風機（図示省略）が設けられている。なお、接続流路９３は、負圧を利用してケース９２からダクト部５３側に空気を送ることができるように、送風機３５の吸入口に接続してもよい。 [Modification 9 of Embodiment]
In this modification, as shown in FIG. 9, the electromagnetic wave heating device 10 includes a waste heat utilization unit 90 that utilizes the waste heat of the oscillator 21 to heat the air supplied to the object 20 to be heated by the blower 35. I have. The waste heat utilization unit 90 includes a heat radiating unit 91 that radiates heat generated by the oscillator 21 during operation, a case 92 that houses the heat radiating unit 91 and has an inlet for introducing air from the outside, and the air in the case 92. to the duct portion 53. The heat dissipation part 91 is, for example, a plurality of heat dissipation fins. A blower (not shown) is provided in the connection flow path 93 . The connection flow path 93 may be connected to the suction port of the blower 35 so that the negative pressure can be used to send air from the case 92 to the duct portion 53 side.

本変形例によれば、廃熱を利用して熱風乾燥を行うことができる。そのため、少ないエネルギーで被加熱物２０を乾燥させることができる。 According to this modification, hot air drying can be performed using waste heat. Therefore, the object to be heated 20 can be dried with less energy.

［実施形態の変形例１０］
本変形例では、変形例３のチョーク構造５５のバリエーションについて説明を行う。チョーク構造５５は、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、平面視におけるカバー５０の周方向に亘って連続して設けることができる。図１０（ａ）では、全周に亘ってチョーク構造５５の幅を一定にしている。なお、図示はしないが、チョーク構造５５の深さ（高さ寸法）は、全周に亘って一定である。 [Modification 10 of Embodiment]
In this modified example, variations of the choke structure 55 of modified example 3 will be described. As shown in FIGS. 10(a) and 10(b), the choke structure 55 can be provided continuously over the circumferential direction of the cover 50 in plan view. In FIG. 10(a), the width of the choke structure 55 is constant over the entire circumference. Although not shown, the depth (height dimension) of the choke structure 55 is constant over the entire circumference.

図１０（ｂ）では、周方向においてチョーク構造５５の幅を部分的に異ならせており、平面視におけるチョーク構造５５は、幅狭部５５ａと、幅狭部５５ａに比べて幅が広い幅広部５５ｂとにより構成されている。図１０（ｂ）では、幅広部５５ｂが、平面視におけるチョーク構造５５の長辺部分にそれぞれ設けられ、内部空間４０を挟んで対向している。このように、チョーク構造５５の幅を部分的に異ならせることで、共振周波数や共振ポイントを調節することができる。これにより、例えば平面視におけるチョーク構造５５の角部で共振が生じないようにチョーク構造５５を設計することが可能となる。なお、共振周波数や共振ポイントの調節は、チョーク構造５５の深さ（高さ寸法）を部分的に異ならせることにより行ってもよい。 In FIG. 10B, the width of the choke structure 55 is partially varied in the circumferential direction, and the choke structure 55 in plan view has a narrow portion 55a and a wide portion wider than the narrow portion 55a. 55b. In FIG. 10(b), the wide portions 55b are provided on the long side portions of the choke structure 55 in plan view, and are opposed to each other with the internal space 40 interposed therebetween. By partially varying the width of the choke structure 55 in this manner, the resonance frequency and resonance point can be adjusted. This makes it possible to design the choke structure 55 so that resonance does not occur at the corners of the choke structure 55 in plan view, for example. The resonance frequency and resonance point may be adjusted by partially changing the depth (height dimension) of the choke structure 55 .

また、平面視におけるチョーク構造５５は、図１０（ｃ）に示すように、途中で途切れた複数のチョーク部５５ｃ，５５ｄにより構成されていてもよい。図１０（ｃ）では、チョーク構造５５が、平面視でＩ字状の第１チョーク部５５ｃと、平面視でＵ字状の第２チョーク部５５ｄとにより構成されている。第２チョーク部５５ｄの一端は第１チョーク部５５ｃの一端近傍に位置し、第２チョーク部５５ｄの他端は第１チョーク部５５ｃの他端近傍に位置している。各チョーク部５５ｃ，５５ｄの長さは、λ／２に設計される。λは、チョーク部５５ｃ，５５ｄにおける高周波の電気長である。なお、本変形例は、チョーク構造５５は、断面視において真っすぐな溝であるが、他の断面形状で、平面視において部分的に幅を異ならせたり、平面視において途中で途切れるようにしてもよい。 Further, the choke structure 55 in plan view may be composed of a plurality of choke portions 55c and 55d that are interrupted in the middle, as shown in FIG. 10(c). In FIG. 10(c), the choke structure 55 is composed of a first choke portion 55c that is I-shaped in plan view and a second choke portion 55d that is U-shaped in plan view. One end of the second choke portion 55d is positioned near one end of the first choke portion 55c, and the other end of the second choke portion 55d is positioned near the other end of the first choke portion 55c. The length of each choke portion 55c, 55d is designed to be λ/2. λ is the electrical length of the high frequency in the choke portions 55c and 55d. In this modification, the choke structure 55 is a straight groove in cross-sectional view, but it may be another cross-sectional shape, the width may be partially different in plan view, or the groove may be interrupted in the plan view. good.

［その他の変形例］
上述の実施形態及び各変形例（以下、「実施形態等」と言う。）では、上側区画部がカバー５０で下側区画部が基板２３であるが、上側区画部が基板２３で下側区画部がカバー５０であってもよい。つまり、実施形態に係る電磁波加熱装置１０は、上下を反転させてもよい。 [Other Modifications]
In the above-described embodiment and each modification (hereinafter referred to as "embodiment and the like"), the upper partition is the cover 50 and the lower partition is the substrate 23, but the upper partition is the substrate 23 and the lower partition. The part may be the cover 50 . That is, the electromagnetic wave heating device 10 according to the embodiment may be turned upside down.

上述の実施形態では、各櫛歯電極３１，３２において複数の歯部３１ａ，３２ａが基部線路３１ｂ，３２ｂに対して斜めに設けられているが、複数の歯部３１ａ，３２ａが基部線路３１ｂ，３２ｂに対して垂直に設けられていてもよい。 In the above-described embodiment, the teeth 31a and 32a of the comb electrodes 31 and 32 are provided obliquely with respect to the base lines 31b and 32b. 32b may be provided perpendicularly.

上述の実施形態等では、放射アンテナ２２において第１櫛歯電極３１と第２櫛歯電極３２に入力部３０が電気的に接続されているが、第１櫛歯電極３１と第２櫛歯電極３２のうち第１櫛歯電極３１だけに入力部３０が電気的に接続されていてもよい。この場合、第１櫛歯電極３１は高圧側の電極となり、第２櫛歯電極３２は接地される。本変形例でも、各歯部３１ａ，３２ａで高周波の共振が生じて、放射アンテナ２２の対面領域に、厚みが薄い強電界領域が形成される。 In the above-described embodiments and the like, the input section 30 is electrically connected to the first comb-teeth electrode 31 and the second comb-teeth electrode 32 in the radiation antenna 22, but the first comb-teeth electrode 31 and the second comb-teeth electrode The input section 30 may be electrically connected only to the first comb-teeth electrode 31 of the 32 . In this case, the first comb-teeth electrode 31 becomes a high-voltage side electrode, and the second comb-teeth electrode 32 is grounded. Also in this modification, high-frequency resonance occurs in the tooth portions 31a and 32a, and a thin strong electric field region is formed in the area facing the radiation antenna 22. FIG.

上述の実施形態等において、電磁波加熱装置１０は、基材１１上における液体あるいは固体の被加熱物２０の加熱を目的とせずに、単に基材１１そのものの加熱を目的とした装置であってもよい。また、電磁波加熱装置１０は、被加熱物２０の搬送を行うことなく、被加熱物２０の加熱を行うものであってもよい。 In the above-described embodiments and the like, the electromagnetic wave heating device 10 may be a device intended only for heating the substrate 11 itself without heating the liquid or solid object 20 to be heated on the substrate 11. good. Further, the electromagnetic wave heating device 10 may heat the object 20 to be heated without conveying the object 20 to be heated.

また、電磁波加熱装置１０は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、電磁波加熱装置１０は、被加熱物２０を加熱するための高周波（電磁波）を放射する放射アンテナ２２と、上述の基板２３及びケース５０を有する遮蔽部６０と、遮蔽部６０に取り付けられた送風機３５とを備えるようにしてもよい。遮蔽部６０は、放射アンテナ２２が配置された内部空間を外部から遮蔽する。遮蔽部６０では、上述の側方隙間７３，７４の一方が、被加熱物２０を含む基材（搬送物）１１の導入部となり、他方が導出部となる。遮蔽部６０の内部空間では、被加熱物２０が放射アンテナ２２の対面領域を通過するように、搬送機構１２により基材１１が導入部７３から導出部７４に向かって搬送される。また、カバー５０は、基板２３における各短辺部分に設けられた支持部材８０により基板２３に支持されている。送風機３５は、内部空間を搬送される被加熱物２０に空気を供給する。遮蔽部６０には、送風機３５から被加熱物２０に向かう空気が流れる送風通路が形成されている。送風通路には、放射アンテナ２２から放射される高周波から送風機３５を遮蔽し、且つ、送風機３５から被加熱物２０に向かう空気を通過させるシールド部材４６が設けられている。なお、搬送物１１の搬送方向に、図１１に示す電磁波加熱装置１０を複数台並べて、１つの基材１１を通すようにしてもよい。 11(a) and 11(b), the electromagnetic wave heating device 10 includes a radiation antenna 22 that radiates a high frequency (electromagnetic wave) for heating an object 20 to be heated. , the shielding portion 60 having the substrate 23 and the case 50 described above, and the blower 35 attached to the shielding portion 60 . The shielding part 60 shields the internal space in which the radiation antenna 22 is arranged from the outside. In the shielding section 60, one of the side gaps 73 and 74 serves as an introduction section for the substrate (conveyed object) 11 including the object to be heated 20, and the other serves as an extraction section. In the inner space of the shielding section 60 , the substrate 11 is conveyed from the introducing section 73 toward the extracting section 74 by the conveying mechanism 12 so that the object to be heated 20 passes through the facing area of the radiation antenna 22 . Further, the cover 50 is supported on the substrate 23 by support members 80 provided on each short side portion of the substrate 23 . The blower 35 supplies air to the object to be heated 20 conveyed in the internal space. The shielding portion 60 is formed with a blowing passage through which air flows from the blower 35 toward the object to be heated 20 . The air passage is provided with a shield member 46 that shields the blower 35 from high frequencies radiated from the radiating antenna 22 and allows air from the blower 35 toward the object to be heated 20 to pass through. A plurality of electromagnetic wave heating apparatuses 10 shown in FIG. 11 may be arranged in the conveying direction of the conveyed article 11, and one substrate 11 may be passed therethrough.

本発明は、被加熱物の加熱に用いられる電磁波加熱装置等に適用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is applicable to an electromagnetic wave heating device or the like used for heating an object to be heated.

１０ 電磁波加熱装置
１１ 基材（搬送物）
２０ 被加熱物
２２ 放射アンテナ
２３ 基板（第２区画部）
４０ 内部空間
５０ カバー（第１区画部）
６０ 遮蔽部
７０ 連続隙間
７１ 導入部
７２ 導出部
７３，７４ 側方隙間 10 electromagnetic wave heating device 11 base material (transported object)
20 object to be heated 22 radiation antenna 23 substrate (second partition)
40 internal space 50 cover (first partition)
60 Shielding Part 70 Continuous Gap 71 Introductory Part 72 Leading Out Part 73, 74 Side Gap

Claims (10)

電磁波を利用して被加熱物を加熱する電磁波加熱装置であって、
前記被加熱物を加熱するための電磁波を放射する放射アンテナと、
前記放射アンテナが配置された内部空間を外部から遮蔽し、前記被加熱物を含む搬送物の導入部及び導出部が形成されて、前記内部空間では、前記被加熱物が前記放射アンテナの対面領域を通過するように、前記搬送物が前記導入部から前記導出部に向かって搬送される遮蔽部とを備え、
前記遮蔽部には、前記内部空間を外部に連通させる隙間として、前記対面領域の側方において前記搬送物の搬送方向に延びる側方隙間が前記導入部及び前記導出部の各々に対して繋がった連続隙間が形成されている、電磁波加熱装置。 An electromagnetic wave heating device that heats an object to be heated using electromagnetic waves,
a radiation antenna that radiates electromagnetic waves for heating the object to be heated;
The internal space in which the radiation antenna is arranged is shielded from the outside, and an introduction portion and an extraction portion for a conveyed object including the object to be heated are formed, and in the internal space, the object to be heated is a region facing the radiation antenna. and a shielding section in which the conveyed article is conveyed from the introduction section toward the outlet section so as to pass through,
In the shielding portion, a side gap extending in the conveying direction of the conveyed object on the side of the facing area is connected to each of the introduction portion and the discharge portion as a gap for communicating the internal space to the outside. An electromagnetic wave heating device in which continuous gaps are formed. 前記連続隙間は、前記搬送方向の上流側の導入部、前記搬送方向の下流側の導出部、及び、前記搬送方向に直交する方向の片側の側方隙間を有する少なくとも三方の隙間により構成されている、請求項１に記載の電磁波加熱装置。 The continuous gap is composed of at least three gaps having an introduction portion on the upstream side in the conveying direction, an outlet portion on the downstream side in the conveying direction, and a lateral gap on one side in a direction orthogonal to the conveying direction. The electromagnetic wave heating device according to claim 1, wherein 前記遮蔽部は、前記内部空間を片側から区画する第１区画部と、前記第１区画部との間に前記連続隙間を形成して前記第１区画部とは反対側から前記内部空間を区画する第２区画部とを有し、
前記第１区画部は、前記搬送方向に直交する方向のもう片側で、前記第２区画部に支持されている、請求項２に記載の電磁波加熱装置。 The shielding part forms the continuous gap between a first partitioning part that partitions the internal space from one side and the first partitioning part to partition the internal space from the side opposite to the first partitioning part. and a second compartment to
3. The electromagnetic wave heating device according to claim 2, wherein said first partition is supported by said second partition on the other side of the direction orthogonal to said conveying direction. 前記内部空間を搬送される前記被加熱物に空気を供給する送風機をさらに備え、
前記遮蔽部は、前記内部空間を片側から区画する第１区画部と、前記第１区画部との間に前記連続隙間を形成して前記第１区画部とは反対側から前記内部空間を区画する第２区画部とを有し、
前記送風機は、前記第１区画部に取り付けられている、請求項１又は２に記載の電磁波加熱装置。 further comprising a blower that supplies air to the object to be heated conveyed in the internal space;
The shielding part forms the continuous gap between a first partitioning part that partitions the internal space from one side and the first partitioning part to partition the internal space from the side opposite to the first partitioning part. and a second compartment to
3. The electromagnetic wave heating device according to claim 1, wherein said blower is attached to said first partition. 前記第１区画部には、前記送風機から前記被加熱物に向かう空気が流れる送風通路が形成され、
前記送風通路には、前記放射アンテナから放射される電磁波から前記送風機を遮蔽し、且つ、前記送風機から前記被加熱物に向かう空気を通過させるシールド部材が設けられている、請求項４に記載の電磁波加熱装置。 A blowing passage through which air flows from the blower toward the object to be heated is formed in the first partition,
5. The air-blowing passage according to claim 4, wherein a shield member is provided in the air-blowing passage to shield the air blower from electromagnetic waves radiated from the radiating antenna and pass air from the air blower toward the object to be heated. Electromagnetic wave heating device. 前記送風機の送風方向が、前記搬送方向の下流側を向いている、請求項４又は５に記載の電磁波加熱装置。 The electromagnetic wave heating device according to claim 4 or 5, wherein the blowing direction of said blower faces the downstream side in said conveying direction. 前記放射アンテナに電磁波を供給する発振器と、
前記発振器の廃熱を利用して、前記送風機により前記被加熱物に供給される空気を加熱する廃熱利用部とを備えている、請求項１乃至６の何れか１つに記載の電磁波加熱装置。 an oscillator that supplies electromagnetic waves to the radiation antenna;
The electromagnetic wave heating according to any one of claims 1 to 6, further comprising: a waste heat utilization unit that heats the air supplied to the object to be heated by the blower by utilizing the waste heat of the oscillator. Device. 前記放射アンテナは、電磁波の共振が生じる共振構造体である、請求項１乃至７の何れか１つに記載の電磁波加熱装置。 8. The electromagnetic wave heating device according to claim 1, wherein said radiation antenna is a resonant structure that causes resonance of electromagnetic waves. 電磁波を利用して被加熱物を加熱する電磁波加熱装置であって、
前記被加熱物を加熱するための電磁波を放射する放射アンテナと、
前記放射アンテナが配置された内部空間を外部から遮蔽し、前記被加熱物を含む搬送物の導入部及び導出部が形成されて、前記内部空間では、前記被加熱物が前記放射アンテナの対面領域を通過するように、前記搬送物が前記導入部から前記導出部に向かって搬送される遮蔽部と、
前記遮蔽部に取り付けられて、前記内部空間を搬送される前記被加熱物に空気を供給する送風機とを備えている、電磁波加熱装置。 An electromagnetic wave heating device that heats an object to be heated using electromagnetic waves,
a radiation antenna that radiates electromagnetic waves for heating the object to be heated;
The internal space in which the radiation antenna is arranged is shielded from the outside, and an introduction portion and an extraction portion for a conveyed object including the object to be heated are formed, and in the internal space, the object to be heated is a region facing the radiation antenna. a shielding section through which the conveyed object is conveyed from the introduction section toward the outlet section so as to pass through;
An electromagnetic wave heating device, comprising: an air blower attached to the shielding portion and supplying air to the object to be heated being conveyed in the internal space. 前記遮蔽部には、前記送風機から前記被加熱物に向かう空気が流れる送風通路が形成され、
前記送風通路には、前記放射アンテナから放射される電磁波から前記送風機を遮蔽し、且つ、前記送風機から前記被加熱物に向かう空気を通過させるシールド部材が設けられている、請求項９に記載の電磁波加熱装置。 The shielding portion is formed with a blowing passage through which air flows from the blower toward the object to be heated,
10. The air passage according to claim 9, wherein a shield member is provided in said blower passage to shield said blower from electromagnetic waves radiated from said radiation antenna and pass air from said blower toward said object to be heated. Electromagnetic wave heating device.
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