JP2022117896A - Vertical heating furnace - Google Patents

Abstract

To provide a vertical heating furnace in which the breakage of a seal device is suppressed even when a support rod is swiftly pulled down.SOLUTION: A vertical heating furnace 10 comprises: a vertical furnace body 14 in which an inner space of a furnace chamber 16 is divided vertically into plural heating regions H1 to H5; a support rod 28 for moving vertically a transfer objective article K inside the furnace chamber 16; and a seal device 34 slide-contacting an outer circumference of the support rod 28 to air-tightly seal the inside of the furnace chamber 16. The support rod 28 is composed in a double structure of an outer circumferential side metal tube 66 and an inner circumferential side metal tube 68 inserted into the outer circumferential side metal tube 66. A support base 60 is supported by the outer circumferential side metal tube 66 via a heat insulation material 64. The outer circumferential side metal tube 66 is provided, therein, with a refrigerant distribution channel 70 comprising an inner circumferential side distribution channel 72 of the inner circumferential side metal tube 68 and an outer circumferential side distribution channel 74 between an inner circumferential face of the outer circumferential side metal tube 66 and an outer circumferential face of the inner circumferential side metal tube 68, in which the inner circumferential side distribution channel 72 and the outer circumferential side distribution channel 74 communicate with each other in an upper end of the inner circumferential side metal tube 68.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、被加熱物を昇降させることにより、被加熱物に対して加熱処理を行なう縦型加熱炉に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vertical heating furnace that heats an object to be heated by raising and lowering the object to be heated.

一般に、被加熱物に対する加熱方法の開発試験などや、試験的な製造では、被加熱物に対して所望の焼成温度カーブを用いて加熱処理を行なうことが求められている。しかし、ローラハース炉などの横型炉では、被加熱物の搬送速度に限界があるため、被加熱物に対して急昇温加熱や急冷却を行なうには限界がある。このため、温度の変化速度を大きくした焼成温度カーブ（ヒートプロファイル）で加熱処理を行なうことが困難であった。 In general, in the development test of a heating method for an object to be heated or in a trial production, it is required to heat-treat the object to be heated using a desired firing temperature curve. However, in a horizontal furnace such as a roller hearth furnace, since there is a limit to the speed at which the object to be heated is conveyed, there is a limit to the rapid heating and rapid cooling of the object to be heated. For this reason, it was difficult to perform heat treatment with a sintering temperature curve (heat profile) in which the rate of change in temperature was increased.

これに対して、炉室内の熱は上方へ行く特性を利用して、気密状態たとえば真空状態の縦型の炉室内の上部において坩堝内の原料を溶解させ、炉室内の上部よりも温度が低い炉室内の下部へ坩堝を移動させつつ、坩堝内の原料を結晶化させる縦型加熱炉が知られている。たとえば、特許文献１および特許文献２に記載されている昇降式の縦型加熱炉がそれである。 On the other hand, by utilizing the property that the heat in the furnace chamber moves upward, the raw material in the crucible is melted in the upper part of the vertical furnace chamber in an airtight state, for example, in a vacuum state, and the temperature is lower than that in the upper part of the furnace chamber. A vertical heating furnace is known in which raw materials in a crucible are crystallized while moving the crucible to the lower part of the furnace chamber. For example, the lifting type vertical heating furnace described in Patent Document 1 and Patent Document 2 is one of them.

上記特許文献１および２に記載された縦型加熱炉では、坩堝内の被加熱物の熱処理を行なうために坩堝を支持する支持棒が備えられ、引き下げ速度が坩堝内の結晶成長速度となるようにゆっくりと支持棒が引き下げられるとともに、坩堝を支持する支持棒内には、坩堝の温度を制御するための冷媒が循環させられるとともに、支持棒を介して坩堝内の冷却が行なわれるようになっており、坩堝内の結晶成長が制御されるようになっている。 The vertical heating furnaces described in Patent Documents 1 and 2 are provided with support rods for supporting the crucible in order to heat-treat the object to be heated in the crucible, and the pull-down speed is adjusted to the crystal growth speed in the crucible. As the support rods are slowly pulled down, a coolant for controlling the temperature of the crucible is circulated in the support rods that support the crucible, and the interior of the crucible is cooled through the support rods. The crystal growth in the crucible is controlled.

特開２０００－２７２９９１号公報JP-A-2000-272991 特開２００６－３２１６９０号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-321690

ところで、所望の焼成温度カーブを用いて加熱処理を行なうために上記のような縦型加熱炉を、結晶成長ではなく、たとえば被加熱物に対して急激な温度変化（降下）を与えるために支持棒を速やかに引き下げる熱処理に用いる場合がある。このような場合には、炉室を気密に維持するために支持棒に摺動可能なシール装置が設けられているためシール装置に高熱が加えられるので、シール装置が破損して炉室の気密性が損なわれる場合があった。 By the way, in order to perform heat treatment using a desired firing temperature curve, the above-mentioned vertical heating furnace is supported not for crystal growth but for giving a rapid temperature change (drop) to the object to be heated, for example. It may be used for heat treatment to quickly pull down the bar. In such a case, since the supporting rod is provided with a slidable sealing device for maintaining the airtightness of the furnace chamber, the sealing device is subjected to high heat, and the sealing device is damaged and the airtightness of the furnace chamber is lost. Sexuality was lost.

本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、支持棒が速やかに引き下げられてもシール装置の破損が抑制される縦型加熱炉を提供することにある。 The present invention has been made against the background of the above circumstances, and its object is to provide a vertical heating furnace in which damage to the sealing device is suppressed even if the support rod is quickly pulled down. .

本発明者は、上記の課題を解決するために種々の検討を重ねた結果、縦型の炉体内に入れられる坩堝とその坩堝を支持する支持棒との間に断熱材を介在させ、支持棒を内周側金属管と外周側金属管との二重構造から構成し、支持棒の外周側金属管の上部外周面の裏面に冷媒流通路を設けると、支持棒が速やかに引き下げられても、シール装置の破損が抑制されることを見いだした。本発明はその知見に基づいて為されたものである。 As a result of various investigations to solve the above problems, the present inventor interposed a heat insulating material between a crucible placed in a vertical furnace body and a support rod that supports the crucible, and the support rod is composed of a double structure of an inner peripheral metal tube and an outer peripheral metal tube, and a coolant flow path is provided on the back surface of the upper outer peripheral surface of the outer peripheral metal tube of the support rod, even if the support rod is quickly pulled down. , and found that damage to the seal device was suppressed. The present invention has been made based on this finding.

すなわち、本発明の要旨とするところは、（ａ）炉室内が上下方向の複数の加熱領域に分割される縦型の炉体と、支持台が上端部に固定され、前記支持台により支持された被搬送物を前記炉室内において上下方向に移動させる支持棒と、前記支持棒の外周面に摺接して前記炉室内を気密に封止するシール装置とを有し、前記被搬送物を前記複数の加熱領域のいずれかに位置させることが可能な縦型加熱炉であって、（ｂ）前記支持棒は、外周側金属管と前記外周側金属管内に挿入された内周側金属管との２重構造により構成され、（ｃ）前記支持台は、断熱材を介して前記外周側金属管により支持され、（ｄ）前記外周側金属管内には、前記内周側金属管の内周側流通路と、前記外周側金属管の内周面と前記内周側金属管の外周面との間の外周側流通路とを有し、前記内周側流通路と前記外周側流通路とが前記内周側金属管の上端において連通する冷媒流通路が、設けられていることにある。 That is, the gist of the present invention is (a) a vertical furnace body in which the furnace chamber is divided into a plurality of heating regions in the vertical direction, and a support base fixed to the upper end and supported by the support base. a support rod for moving the object to be conveyed vertically within the furnace chamber; A vertical heating furnace capable of being positioned in any one of a plurality of heating regions, wherein: (b) the support rods are composed of an outer peripheral metal tube and an inner peripheral metal tube inserted into the outer peripheral metal tube; (c) the support base is supported by the outer metal pipe via a heat insulating material; and (d) the inner circumference of the inner metal pipe a side flow passage, and an outer flow passage between an inner peripheral surface of the outer peripheral metal pipe and an outer peripheral surface of the inner peripheral metal pipe, wherein the inner peripheral flow channel and the outer peripheral flow channel is provided at the upper end of the inner peripheral metal pipe.

本発明の縦型加熱炉によれば、前記外周側金属管内には、内周側流通路と外周側流通路とを有し、前記内周側流通路と前記外周側流通路とが前記内周側金属管の上端において連通する冷媒流通路が、設けられている。これにより、断熱材により支持台から外周側金属管への熱伝導が抑制されるとともに、外周側流通路と内周側流通路との間で冷媒が流通させられることから、外周側金属管の内周面には流通する冷媒が接触しているので、支持棒が速やかに引き下げられても、シール装置の破損が抑制される。 According to the vertical heating furnace of the present invention, the outer peripheral metal pipe has an inner peripheral flow passage and an outer peripheral flow passage, and the inner peripheral flow passage and the outer peripheral flow passage are connected to the inner periphery. A coolant flow passage communicating with the upper end of the circumferential metal tube is provided. As a result, heat conduction from the support base to the outer peripheral metal pipe is suppressed by the heat insulating material, and the refrigerant is circulated between the outer peripheral flow passage and the inner peripheral flow passage, so that the outer peripheral metal pipe is Since the circulating coolant is in contact with the inner peripheral surface, damage to the seal device is suppressed even if the support rod is quickly pulled down.

ここで、好適には、（ａ）前記冷媒は、前記内周側流通路の下部へ流入させられるとともに、前記外周側流通路の下部から流出させられ、（ｂ）前記外周側金属管と前記内周側金属管との間には、前記内周側流通路から前記外周側流通路の上部へ流入させられた前記冷媒の流通路を、周方向に形成する瀬切り板が、設けられている。これにより、内周側金属管内では、瀬切り板により、内周側流通路へ流入させられ冷媒を内周側金属管の少なくとも上部の内周面近傍を通るように流通路が長く形成されるため、相対的に密度の高い低温の冷媒が速やかに下降することが抑制され、支持棒の外周面の冷却効率が高められる。 Here, preferably, (a) the refrigerant is caused to flow into the lower portion of the inner peripheral side flow passage and is allowed to flow out from the lower portion of the outer peripheral side flow passage, and (b) the outer peripheral side metal pipe and the Between the inner peripheral side metal pipe, a cutoff plate is provided for forming a flow path for the refrigerant flowing from the inner peripheral side flow path to the upper part of the outer peripheral side flow path in the circumferential direction. there is As a result, in the inner peripheral metal pipe, the flow channel is formed long by the cutoff plate so that the refrigerant flows into the inner peripheral flow channel and passes through at least the vicinity of the upper inner peripheral surface of the inner peripheral metal pipe. Therefore, the rapid descent of the relatively high-density, low-temperature coolant is suppressed, and the cooling efficiency of the outer peripheral surface of the support rod is enhanced.

また、好適には、前記外周側流通路における前記冷媒の流通断面積は、前記内周側流通路における前記冷媒の流通断面積よりも小さくされている。これにより、外周側流通路へは内周側流通路よりも早い流速で冷媒が流通させられることから、支持棒を構成する外周側金属管の上端部の内側は、内周側流通路よりも早い流速の冷媒で冷却されるので、支持棒が速やかに引き下げられても、シール装置の破損が抑制される。 Further, preferably, the cross-sectional area of circulation of the refrigerant in the outer circulation passage is smaller than the cross-sectional area of circulation of the refrigerant in the inner circumference circulation passage. As a result, the coolant flows through the outer circulation passage at a faster flow rate than that of the inner circulation passage, so that the inside of the upper end of the outer circumference metal pipe that constitutes the support rod is faster than the inner circumference circulation passage. Since it is cooled by the refrigerant with a high flow velocity, damage to the seal device is suppressed even if the support rod is pulled down quickly.

また、好適には、（ａ）前記炉体の下端面には、前記炉室が下向きに開く開口が形成されており、（ｂ）前記炉体に形成された開口を開閉する開閉部材と、前記開閉部材を上下方向に駆動する開閉アクチュエータとを有する炉開閉装置が、備えられ、（ｃ）前記支持棒は、前記開閉部材を上下方向に移動可能に貫通し、前記支持棒と前記開閉部材との間が前記シール装置により封止されている。このように、シール装置により支持棒と開閉部材との間が封止されているので、炉室内の気密性が維持され、真空加熱処理或いは所定のガス雰囲気加熱処理が可能となる。また、炉開閉装置により炉室が開閉されるので、被搬送物の入れ出しが容易とされている。 Preferably, (a) an opening is formed in the lower end surface of the furnace body so that the furnace chamber opens downward; (b) an opening and closing member for opening and closing the opening formed in the furnace body; a furnace opening/closing device having an opening/closing actuator for driving the opening/closing member in a vertical direction; is sealed by the sealing device. In this way, since the space between the support rod and the opening/closing member is sealed by the sealing device, the airtightness in the furnace chamber is maintained, and vacuum heat treatment or heat treatment in a predetermined gas atmosphere becomes possible. Further, since the furnace opening/closing device opens and closes the furnace chamber, it is easy to put in and take out the objects to be conveyed.

本発明の一実施例の縦型加熱炉を示す縦断面図である。1 is a longitudinal sectional view showing a vertical heating furnace according to one embodiment of the present invention; FIG. 図１の縦型加熱炉のＩＩ－ＩＩ視断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the vertical heating furnace of FIG. 1 taken along the line II-II. 図１の縦型加熱炉の附帯設備、および支持棒の上昇時の作動を説明する図である。It is a figure explaining the operation|movement at the time of the incidental equipment of the vertical heating furnace of FIG. 1, and a support rod ascent. 図１の縦型加熱炉に備えられた支持棒の構成を拡大して説明する断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an enlarged configuration of a support rod provided in the vertical heating furnace of FIG. 1; 図４に示す外周側流通路を展開して示す摸式図である。FIG. 5 is a schematic drawing showing the outer peripheral flow path shown in FIG. 4 in an expanded state;

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は発明に関連する要部を説明するものであり、寸法及び形状等は必ずしも正確に描かれていない。 An embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. In the following examples, the drawings are intended to explain the essential parts related to the invention, and the dimensions, shapes, etc. are not necessarily drawn accurately.

図１は、本発明の一実施例の縦型加熱炉１０を示す縦断面図である。図２は、縦型加熱炉１０のＩＩ－ＩＩ視断面図である。図１に示すように、縦型加熱炉１０は、機枠（フレーム）１２によって支持された縦型の円柱状の炉体１４を備えている。炉体１４は、たとえばロックウール、耐火レンガ等の無機質の断熱材から構成されている。炉体１４には、炉体１４の下端面に開口する円柱状空間を形成する縦型の炉室１６が、炉体１４と同心に形成されている。 FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a vertical heating furnace 10 of one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the vertical heating furnace 10 taken along line II-II. As shown in FIG. 1, the vertical heating furnace 10 includes a vertical columnar furnace body 14 supported by a machine frame (frame) 12 . The furnace body 14 is made of an inorganic heat insulating material such as rock wool or refractory bricks. The furnace body 14 has a vertical furnace chamber 16 formed concentrically with the furnace body 14 to form a columnar space opening at the lower end surface of the furnace body 14 .

炉室１６の内周面には、内向きに突き出す複数個（本実施例では５個）の環状突部１８が形成されている。また、炉室１６の内周壁のうち、環状突部１８が形成されていない部分には、１０００℃、７５０℃、５５０℃、４００℃、２００℃などに独立して温度制御可能な複数個の円形のヒータ３０がそれぞれ配設されている。これにより、炉室１６内が上下方向の複数の第１加熱領域Ｈ１～第５加熱領域Ｈ５に分割される。そして、複数個の環状突部１８のいずれかの内周側に、後述する支持棒２８に支持された円形の仕切り板５８が位置させられてその環状突部１８の内周側の開口が閉じられたとき、複数の第１加熱領域Ｈ１～第５加熱領域Ｈ５のいずれかが仕切り板５８の上側位置で機能させられるようになっている。図３は、縦型加熱炉１０の附帯設備及び支持棒の上昇時の作動を説明する図であり、第１加熱領域Ｈ１が仕切り板５８の上側位置で機能させられている状態を示す図である。 The inner peripheral surface of the furnace chamber 16 is formed with a plurality of (five in this embodiment) annular protrusions 18 protruding inward. In addition, in the portion of the inner peripheral wall of the furnace chamber 16 where the annular protrusion 18 is not formed, a plurality of temperature-controllable independently temperature-controlled to 1000° C., 750° C., 550° C., 400° C., 200° C., etc. Circular heaters 30 are arranged respectively. As a result, the interior of the furnace chamber 16 is divided into a plurality of first heating regions H1 to fifth heating regions H5 in the vertical direction. A circular partition plate 58 supported by a support rod 28, which will be described later, is positioned on the inner peripheral side of one of the plurality of annular projections 18 to close the opening on the inner peripheral side of the annular projection 18. Any one of the first heating region H1 to the fifth heating region H5 is allowed to function at the upper position of the partition plate 58 when it is closed. FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the auxiliary equipment of the vertical heating furnace 10 and the operation when the support rods are raised, and shows the state in which the first heating region H1 is functioning above the partition plate 58. FIG. be.

円柱状空間である炉室１６は、炉体１４の下端面１４ａに開口している。炉体１４に形成された５個の環状突部１８のうちの最下段の環状突部１８の内周縁１８ａが、炉体１４の下端面１４ａに形成された開口に対応している。 The furnace chamber 16, which is a cylindrical space, opens to the lower end surface 14a of the furnace body 14. As shown in FIG. The inner peripheral edge 18a of the lowermost ring-shaped projection 18 among the five ring-shaped projections 18 formed on the furnace body 14 corresponds to the opening formed in the lower end surface 14a of the furnace body 14 .

図２に示すように、機枠１２には、炉体１４の下端面１４ａに形成された開口すなわち最下段の環状突部１８の内周縁１８ａを開閉する開閉部材２０と、開閉部材２０を上下方向に駆動する開閉アクチュエータ２２と、を有する炉開閉装置２４が備えられている。 As shown in FIG. 2, the machine frame 12 includes an opening and closing member 20 for opening and closing an opening formed in the lower end surface 14a of the furnace body 14, that is, an inner peripheral edge 18a of the lowermost annular protrusion 18, and A furnace switchgear 24 is provided having a directionally driven open/close actuator 22 .

開閉部材２０は、円盤状の部材であって、円環状の着座部２０ａを外周縁部に備えるとともに、支持棒２８を貫通させる円筒部２０ｂを中心部に備え、外周側へ突き出す突部２０ｃを介して、開閉アクチュエータ２２により支持されている。これにより、開閉アクチュエータ２２は、開閉部材２０の円環状の着座部２０ａが炉体１４の下端面１４ａに当接する閉位置と、開閉部材２０の円環状の着座部２０ａと炉体１４の下端面１４ａとの間が最も開いた開位置との間で、開閉部材２０を炉体１４の中心軸線ＣＬ方向に上下駆動するようになっている。 The opening/closing member 20 is a disk-shaped member having an annular seating portion 20a at the outer peripheral edge, a cylindrical portion 20b at the center through which the support rod 28 passes, and a projecting portion 20c protruding to the outer peripheral side. It is supported by the opening/closing actuator 22 via the opening. As a result, the opening/closing actuator 22 moves between the closed position where the annular seating portion 20a of the opening/closing member 20 contacts the lower end surface 14a of the furnace body 14, and the annular seating portion 20a of the opening/closing member 20 and the lower end surface of the furnace body 14. The open/close member 20 is driven up and down in the direction of the center axis CL of the furnace body 14 between the opening position where the distance between the opening and closing member 14a is the widest.

図４は、縦型加熱炉１０に備えられた支持棒の構成を拡大して説明する断面図である。開閉部材２０の円筒部２０ｂには、円筒部２０ｂと円筒部２０ｂの内側を貫通する支持棒２８との間を、支持棒２８の上下方向の移動を許容しつつ気密に封止するためのシール装置３４が設けられている。シール装置３４は、支持棒２８を通過させる環状のシール保持部材３６と、シール保持部材３６の内周面に嵌め着けられた摺接部材３８とから構成されている。摺接部材３８は、耐熱ゴム、ロックウール等により構成された環状の部材たとえばＯリングである。シール装置３４は、支持棒２８を炉体１４と同心となるように位置決めしつつ、支持棒２８を上下方向へ案内する機能を有している。 FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view illustrating the configuration of support rods provided in the vertical heating furnace 10. As shown in FIG. The cylindrical portion 20b of the opening/closing member 20 is provided with a seal for hermetically sealing the space between the cylindrical portion 20b and a supporting rod 28 penetrating through the inner side of the cylindrical portion 20b while allowing the vertical movement of the supporting rod 28. A device 34 is provided. The seal device 34 is composed of an annular seal holding member 36 through which the support rod 28 passes, and a sliding contact member 38 fitted to the inner peripheral surface of the seal holding member 36 . The sliding contact member 38 is an annular member such as an O-ring made of heat-resistant rubber, rock wool, or the like. The sealing device 34 has the function of guiding the support rod 28 in the vertical direction while positioning the support rod 28 concentrically with the furnace body 14 .

図１に示すように、支持棒２８は、機枠１２に設けられた上下駆動装置４０によって上下方向に駆動され且つ位置決められるようになっている。上下駆動装置４０は、電動機４２と、電動機４２によって回転駆動されるねじ軸４４と、ねじ軸４４に螺合されたナット部材４６と、上下方向ガイドロッド４８と、上下方向ガイドロッド４８により上下方向に案内され且つナット部材４６に連結された上下部材５０と、上下部材５０から突設され、支持棒２８の下部に連結された連結部材５２と、を備えている。 As shown in FIG. 1, the support rod 28 is vertically driven and positioned by a vertical driving device 40 provided on the machine frame 12 . The vertical driving device 40 includes an electric motor 42, a screw shaft 44 rotationally driven by the electric motor 42, a nut member 46 screwed onto the screw shaft 44, a vertical guide rod 48, and a vertical direction guide rod 48. and a connecting member 52 protruding from the vertical member 50 and connected to the lower portion of the support rod 28 .

図４に示すように、支持棒２８の上端部２８ａには、耐火物等のセラミック材からなるホルダー５６と、環状突部１８の内周側の空間を閉じる円形の仕切り板５８と、被加熱物Ｗを収容する甲鉢等の窯道具として知られる有底円筒状の被搬送物Ｋが載置されてそれを支持するセラミック材からなる円板の載置板５４とを含む支持台６０が、支持棒２８と同心に固定されている。 As shown in FIG. 4, the upper end portion 28a of the support rod 28 is provided with a holder 56 made of a ceramic material such as a refractory material, a circular partition plate 58 that closes the space on the inner peripheral side of the annular projection 18, and a heating device. A support table 60 including a disc mounting plate 54 made of a ceramic material for supporting a bottomed cylindrical object K known as a kiln tool such as a mortar for containing the object W is placed thereon. , are fixed concentrically with the support rod 28 .

ホルダー５６は、支持棒２８の上端部２８ａをブランケットやヤーンロープ等の断熱材６４を介して嵌め入れる円筒状嵌合部５６ａと、円筒状嵌合部５６ａの上端に固定された円形板部５６ｂとを一体に有している。円形の仕切り板５８は、環状突部１８の内径よりも少し小径、且つホルダー５６よりも大径であって、ホルダー５６の円形板部５６ｂに同心に嵌着されている。載置板５４は、仕切り板５８の外径よりは小径、且つ被搬送物Ｋの外径よりは大径であるセラミック材から成る円板である。 The holder 56 includes a cylindrical fitting portion 56a in which the upper end portion 28a of the support rod 28 is fitted through a heat insulating material 64 such as a blanket or yarn rope, and a circular plate portion 56b fixed to the upper end of the cylindrical fitting portion 56a. integrally has The circular partition plate 58 has a slightly smaller diameter than the inner diameter of the annular protrusion 18 and a larger diameter than the holder 56 , and is concentrically fitted to the circular plate portion 56 b of the holder 56 . The mounting plate 54 is a circular plate made of a ceramic material having a diameter smaller than the outer diameter of the partition plate 58 and larger than the outer diameter of the object K to be transferred.

図４に示すように、支持棒２８は、外周側金属管６６と、外周側金属管６６内に挿入された外周側金属管６６よりも小径の内周側金属管６８との２重構造により構成されている。外周側金属管６６の上端面は、断熱材６４に対して所定距離の空間Ｓを隔てた金属板によって液密に閉じられており、内周側金属管６８の上端は解放されている。外周側金属管６６と内周側金属管６８との間に形成された外周側流通路７４と、内周側金属管６８の内周側に形成された内周側流通路７２とは、支持棒２８の上端部２８ａすなわち内周側金属管６８の上端縁を回って相互に連通させられており、冷媒流通路７０として機能している。 As shown in FIG. 4, the support rod 28 has a double structure of an outer metal tube 66 and an inner metal tube 68 inserted into the outer metal tube 66 and having a smaller diameter than the outer metal tube 66. It is configured. The upper end surface of the outer peripheral metal tube 66 is liquid-tightly closed by a metal plate separated from the heat insulating material 64 by a space S of a predetermined distance, and the upper end of the inner peripheral metal tube 68 is open. An outer circulation passage 74 formed between the outer circumference metal pipe 66 and the inner circumference metal pipe 68, and an inner circumference passage 72 formed on the inner circumference side of the inner circumference metal pipe 68 are provided for support. The upper end 28 a of the rod 28 , that is, the upper end edge of the inner peripheral metal tube 68 is communicated with each other and functions as a coolant flow passage 70 .

外周側金属管６６および内周側金属管６８の下端は、下蓋部材７９により閉じられており、下蓋部材７９には、内周側金属管６８の内周側に形成された内周側流通路７２に連通する冷媒入力ポート７６と、外周側金属管６６と内周側金属管６８との間に形成された外周側流通路７４に連通する冷媒出力ポート７８と、が形成されている。 The lower ends of the outer peripheral metal tube 66 and the inner peripheral metal tube 68 are closed by a lower lid member 79 . A refrigerant input port 76 that communicates with the flow passage 72 and a refrigerant output port 78 that communicates with an outer circumferential flow passage 74 formed between the outer circumferential metal pipe 66 and the inner circumferential metal pipe 68 are formed. .

外周側金属管６６と内周側金属管６８との間に形成された外周側流通路７４の冷媒流通断面積は、内周側金属管６８の内周側に形成された内周側流通路７２の冷媒流通断面積よりも小さく設定されている。これにより、冷媒（本実施例では冷却水）Ｆが下蓋部材７９の冷媒入力ポート７６に供給されると、外周側流通路７４内の冷媒Ｆは、内周側流通路７２を流通する冷媒Ｆの速度よりも早い流速で流通させられ、下蓋部材７９の冷媒出力ポート７８から排出されるようになっている。図５は、図４に示す外周側流通路７４の一部（上部）を展開して示す摸式図である。この図５では、外周側金属管６６と瀬切り板６８ａとが、内周側金属管６８を外して示されている。 The refrigerant flow cross-sectional area of the outer circumference side flow passage 74 formed between the outer circumference side metal pipe 66 and the inner circumference side metal pipe 68 is equal to that of the inner circumference side flow passage formed on the inner circumference side of the inner circumference side metal pipe 68. It is set to be smaller than the coolant flow cross-sectional area of 72 . As a result, when the refrigerant (cooling water in this embodiment) F is supplied to the refrigerant input port 76 of the lower lid member 79, the refrigerant F in the outer circumference-side flow passage 74 flows through the inner circumference-side flow passage 72. The refrigerant is circulated at a flow velocity faster than the velocity F and discharged from the refrigerant output port 78 of the lower cover member 79 . FIG. 5 is a schematic diagram showing a part (upper portion) of the outer circulation passage 74 shown in FIG. In FIG. 5, the outer metal pipe 66 and the crossing plate 68a are shown with the inner metal pipe 68 removed.

外周側金属管６６と内周側金属管６８との間には、それら外周側金属管６６と内周側金属管６８との間に形成された外周側流通路７４を流れる冷媒Ｆが、図４の上部では破線の矢印で示され、図５では実線の矢印で示される流線のように、少なくとも外周側金属管６６の内周面の上端部近傍を通る流線を中心軸線ＣＬまわりの周方向とそれと反対方向の他の周方向とに交互に形成して流通路を長く形成するための複数個の瀬切り板６８ａが水平な姿勢で設けられている。 Between the outer peripheral metal pipe 66 and the inner peripheral metal pipe 68, the coolant F flowing through the outer peripheral flow passage 74 formed between the outer peripheral metal pipe 66 and the inner peripheral metal pipe 68 is shown in FIG. 4, and in FIG. 5, a streamline passing at least near the upper end of the inner peripheral surface of the outer peripheral metal tube 66 is drawn around the central axis CL. A plurality of crossing plates 68a are provided in a horizontal posture for forming a long flow passage by alternately forming them in the circumferential direction and in the other circumferential direction opposite thereto.

複数個の瀬切り板６８ａは、外周側流通路７４内において冷媒Ｆの中心線ＣＬ方向の流れを部分的に阻止するためにたとえば円環状の一部に切欠き６８ｂが設けられることで半円環状或いは部分円環状とされた板材である。瀬切り板６８ａは、図５に示すように中心軸線ＣＬ方向に沿って切欠き６８ｂが交互となるように配置されており、冷媒Ｆが積極的に外周側金属管６６の少なくとも上部の内周面近傍を通るようにされている。上記複数個の瀬切り板６８ａは、所定の瀬切り板６８ａの切欠き６８ｂとそれに隣接する瀬切り板６８ａの切欠き６８ｂとの間が最も離間するように配置されることで、冷媒Ｆの流線が外周側金属管６６の少なくとも上部の内周面近傍を通るようにされている。これにより、相対的に低温で密度が高い内周側金属管６８からの冷媒Ｆが外周側流通路７４の上部に到達した状態において、瀬切り板６８ａの存在による密度差により冷媒Ｆの速やかな下降が阻止され、外周側金属管６６の少なくとも上部の冷却効率が高められている。 The plurality of cutoff plates 68a are semicircular by providing notches 68b in a part of an annular shape, for example, in order to partially block the flow of the coolant F in the direction of the center line CL in the outer circumference side flow passage 74. It is an annular or partially annular plate material. As shown in FIG. 5, the cut-off plates 68a are arranged so that the notches 68b are alternately arranged along the direction of the central axis CL, and the coolant F positively flows into at least the upper inner circumference of the outer peripheral metal pipe 66. It is made to pass near the surface. The plurality of mooring plates 68a are arranged so that the notch 68b of a predetermined mooring plate 68a and the notch 68b of the adjacent mooring plate 68a are spaced apart the most, so that the coolant F The flow line passes at least near the inner peripheral surface of the upper portion of the outer peripheral metal tube 66 . As a result, when the coolant F from the inner peripheral metal pipe 68, which has a relatively low temperature and a high density, reaches the upper portion of the outer peripheral flow passage 74, the coolant F is quickly released due to the difference in density due to the existence of the crossing plate 68a. The descent is prevented, and the cooling efficiency of at least the upper portion of the outer peripheral metal pipe 66 is enhanced.

そして、本実施例では、炉体１４には、図３に示すように、空気、窒素ガス、酸素、水蒸気、水素ガス、アルゴンガスを炉室１６に流量計９４を通して選択的にそれぞれ供給するための、ガス供給配管８０が設けられている。また、炉体１４には、調節弁８２および排気ガス処理装置８４を介して炉体１４内のガスを排出する排気ファン８６が接続されている。さらに、炉体１４には、並列接続されたオンオフ弁８８および調節弁９０を介して真空排気するための真空ポンプ９２が設けられている。これにより、空気、窒素ガス、酸素、水蒸気、水素ガス、アルゴンガスの選択により、また、調節弁９０および真空ポンプ９２の作動により所望の加熱雰囲気が設定されるようになっている。また、各ヒータ３０の温度設定と、支持棒２８の上下駆動操作により、所望の焼成温度カーブを用いて加熱処理を行なうことができる。 In this embodiment, as shown in FIG. 3, air, nitrogen gas, oxygen, water vapor, hydrogen gas, and argon gas are selectively supplied to the furnace chamber 16 through a flow meter 94 in the furnace body 14. , a gas supply pipe 80 is provided. Further, an exhaust fan 86 is connected to the furnace body 14 for exhausting gas in the furnace body 14 via a control valve 82 and an exhaust gas processing device 84 . Further, the furnace body 14 is provided with a vacuum pump 92 for evacuating through an on/off valve 88 and a control valve 90 connected in parallel. Thus, a desired heating atmosphere can be set by selecting air, nitrogen gas, oxygen, water vapor, hydrogen gas, or argon gas, and by operating the control valve 90 and the vacuum pump 92 . Further, by setting the temperature of each heater 30 and by vertically driving the support rod 28, the heat treatment can be performed using a desired baking temperature curve.

上述のように、本実施例の縦型加熱炉１０によれば、上下方向の炉室１６内が複数の加熱領域Ｈ１～Ｈ５に分割される縦型の炉体１４と、支持台６０が上端部２８ａに固定され、支持台６０により支持された被搬送物Ｋを炉室１６内において上下方向に移動させる支持棒２８と、支持棒２８の外周面に摺接して炉室１６内を気密に封止するシール装置３４とを有し、被搬送物Ｋを複数の加熱領域Ｈ１～Ｈ５のいずれかに位置させることが可能な縦型加熱炉１０であって、支持棒２８は、外周側金属管６６と外周側金属管６６内に挿入された内周側金属管６８との２重構造により構成され、支持台６０は、断熱材６４を介して外周側金属管６６により支持され、外周側金属管６６内には、内周側金属管６８の内周側流通路７２と、外周側金属管６６の内周面と内周側金属管６８の外周面との間の外周側流通路７４とを有し、内周側流通路７２と外周側流通路７４とが内周側金属管６８の上端において連通する冷媒流通路７０が、設けられている。これにより、断熱材６４により支持台６０から外周側金属管６６への熱伝導が抑制されるとともに、外周側流通路７４と内周側流通路７２との間で冷媒Ｆが流通させられることから、外周側金属管６６の内周面には流通する冷媒Ｆが常時接触しているので、支持棒２８が速やかに引き下げられても、シール装置３４の破損が抑制され、耐久性が高められる。 As described above, according to the vertical heating furnace 10 of the present embodiment, the vertical furnace body 14 in which the interior of the furnace chamber 16 in the vertical direction is divided into a plurality of heating regions H1 to H5, and the support table 60 are arranged at the upper end. A support rod 28 is fixed to the portion 28a and moves the object K supported by the support table 60 vertically in the furnace chamber 16, and the outer peripheral surface of the support rod 28 is slidably contacted to keep the furnace chamber 16 airtight. A vertical heating furnace 10 having a sealing device 34 for sealing and capable of positioning an object K to be transferred in any one of a plurality of heating regions H1 to H5, wherein the support rod 28 is made of an outer peripheral metal It is composed of a double structure of a pipe 66 and an inner metal pipe 68 inserted in the outer metal pipe 66. The support base 60 is supported by the outer metal pipe 66 via a heat insulating material 64, Inside the metal pipe 66, there are an inner circulation passage 72 of the inner circumference metal pipe 68 and an outer circumference circulation passage 74 between the inner circumference surface of the outer circumference metal pipe 66 and the outer circumference surface of the inner circumference metal pipe 68. , and the inner circumference side circulation passage 72 and the outer circumference side circulation passage 74 communicate with each other at the upper end of the inner circumference side metal pipe 68 . As a result, heat conduction from the support base 60 to the outer peripheral metal pipe 66 is suppressed by the heat insulating material 64, and the coolant F is circulated between the outer peripheral flow passage 74 and the inner peripheral flow passage 72. Since the circulating coolant F is always in contact with the inner peripheral surface of the outer peripheral metal tube 66, even if the support rod 28 is quickly pulled down, damage to the seal device 34 is suppressed and durability is enhanced.

また、本実施例の縦型加熱炉１０によれば、冷媒Ｆは、内周側金属管６８内の内周側流通路７２の下部へ流入させられるとともに、外周側金属管６６の内周面と内周側金属管６８の外周面との間の外周側流通路７４の下部から流出させられ、外周側金属管６６と内周側金属管６８との間の外周側流通路７４には、内周側流通路７２から外周側流通路７４の上部へ流入させられ冷媒Ｆの流通路を、周方向に形成して長くする瀬切り板６８ａが、設けられている。これにより、外周側金属管６８内では、瀬切り板６８ａにより、内周側流通路７２の下部へ流入させられ冷媒Ｆを内周側流通路７２の上部へ向う過程で、内周側金属管６８の少なくとも上部の内周面近傍を長く通るように流通路が形成されているため、相対的に密度の高い低温の冷媒Ｆが速やかに下降することが抑制され、支持棒２８の外周面の冷却効率が高められる。 Further, according to the vertical heating furnace 10 of the present embodiment, the coolant F is caused to flow into the lower portion of the inner peripheral flow passage 72 in the inner peripheral metal pipe 68 and the inner peripheral surface of the outer peripheral metal pipe 66. and the outer peripheral surface of the inner peripheral metal pipe 68, and flows out from the lower part of the outer peripheral channel 74 between the outer peripheral metal pipe 66 and the inner peripheral metal pipe 68. A cutoff plate 68a is provided to lengthen the flow path for the coolant F that flows from the inner peripheral flow path 72 to the upper portion of the outer peripheral flow path 74 by forming it in the circumferential direction. As a result, in the outer peripheral metal pipe 68, the cutoff plate 68a causes the coolant F to flow into the lower portion of the inner peripheral flow passage 72, and in the process of moving the coolant F toward the upper portion of the inner peripheral flow passage 72, the inner peripheral metal pipe Since the flow path is formed so as to pass through at least the vicinity of the inner peripheral surface of the upper portion of the support rod 28 for a long time, the relatively high-density low-temperature coolant F is suppressed from rapidly descending, and the outer peripheral surface of the support rod 28 is suppressed. Cooling efficiency is enhanced.

また、本実施例の縦型加熱炉１０によれば、外周側流通路７４における冷媒Ｆの流通断面積は、内周側流通路７２における冷媒Ｆの流通断面積よりも小さくされている。これにより、外周側流通路７４へは内周側流通路７２よりも早い流速で冷媒Ｆが流通させられることから、支持棒２８を構成する外周側金属管６６の上端部の内側は、内周側流通路７２よりも早い流速の冷媒Ｆで冷却されるので、支持棒２８が速やかに引き下げられても、シール装置３４の破損が抑制される。 Further, according to the vertical heating furnace 10 of the present embodiment, the cross-sectional area of circulation of the coolant F in the outer circulation passage 74 is smaller than the cross-sectional area of circulation of the coolant F in the inner circulation passage 72 . As a result, the coolant F is allowed to flow through the outer circumference side flow passage 74 at a faster flow rate than the inner circumference side flow passage 72. Since it is cooled by the coolant F having a flow velocity higher than that of the side flow passage 72, damage to the seal device 34 is suppressed even if the support rod 28 is quickly pulled down.

また、本実施例の縦型加熱炉１０によれば、炉体１４の下端面１４ａには、炉室１６が下向きに開く開口（最下段の環状突部１８の内周縁）１８ａが形成されており、炉体１４に形成された開口１８ａを開閉する開閉部材２０と、開閉部材２０を上下方向に駆動する開閉アクチュエータ２２とを有する炉開閉装置２４が、備えられ、支持棒２８は、開閉部材２０を上下方向に移動可能に貫通し、支持棒２８と開閉部材２０との間がシール装置３４により封止されている。このように、シール装置３４により支持棒２８と開閉部材２０との間が封止されているので、炉室１６内の気密性が維持され、真空加熱処理或いは所定のガス雰囲気加熱処理が可能となる。また、炉開閉装置２４により炉室１６が開閉されるので、被搬送物Ｋの炉室１６への入れ出しが容易とされている。 Further, according to the vertical heating furnace 10 of the present embodiment, an opening (inner peripheral edge of the lowermost annular projection 18) 18a is formed in the lower end surface 14a of the furnace body 14 so that the furnace chamber 16 opens downward. A furnace opening/closing device 24 having an opening/closing member 20 for opening/closing an opening 18a formed in the furnace body 14 and an opening/closing actuator 22 for vertically driving the opening/closing member 20 is provided. A seal device 34 penetrates through the support rod 20 so as to be movable in the vertical direction, and seals the space between the support rod 28 and the opening/closing member 20 . As described above, since the space between the support rod 28 and the opening/closing member 20 is sealed by the sealing device 34, the airtightness in the furnace chamber 16 is maintained, and vacuum heat treatment or heat treatment in a predetermined gas atmosphere is possible. Become. Further, since the furnace opening/closing device 24 opens and closes the furnace chamber 16, it is easy to take the object K into and out of the furnace chamber 16. FIG.

以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。 Although the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the present invention is also applicable in other aspects.

たとえば、前述の実施例において、縦型の炉体１４および炉室１６は円筒状であったが、角柱状であってもよい。この場合、被搬送物Ｋは、有底角筒状のものが好適に用いられる。 For example, although the vertical furnace body 14 and the furnace chamber 16 were cylindrical in the above embodiment, they may be prismatic. In this case, the object K to be conveyed is preferably in the shape of a square tube with a bottom.

また、前述の実施例において、炉室１６内の上下方向には、５つの第１加熱領域Ｈ１～第５加熱領域Ｈ５が形成されていたが、少なくとも２つの加熱領域が形成されていればよい。 Further, in the above-described embodiment, five first heating regions H1 to fifth heating regions H5 were formed in the vertical direction in the furnace chamber 16, but at least two heating regions may be formed. .

また、前述の実施例において、瀬切り板６８ａは、支持棒２８の上部に６枚設けられていたが、これに限られない。例えば、上部から下部にかけて６枚未満または７枚以上の瀬切り板６８ａが設けられていてもよい。要するに、瀬切り板６８ａは、外周側金属管６６と内周側金属管６８との間に設けられ、内周側流通路７２から外周側流通路７４の上部へ流入させられた冷媒Ｆの流通路を、周方向に形成するものであればよい。 Further, in the above-described embodiment, the six cut-off boards 68a were provided on the upper part of the support rod 28, but the number is not limited to this. For example, less than six or seven or more crossing boards 68a may be provided from the top to the bottom. In short, the crossing plate 68a is provided between the outer peripheral metal pipe 66 and the inner peripheral metal pipe 68, and allows the coolant F that flows from the inner peripheral flow passage 72 to the upper portion of the outer peripheral flow passage 74 to flow. Anything that forms a path in the circumferential direction may be used.

また、前述の縦型加熱炉１０は、種々の焼成温度カーブを用いて加熱処理試験を行なう昇降式加熱試験機としても好適に用いられる。また、小量生産の製品の加熱処理を行なう加熱炉としても好適に用いられる。 Further, the vertical heating furnace 10 described above can also be suitably used as an elevating heating tester for performing heat treatment tests using various firing temperature curves. It is also suitable for use as a heating furnace for heat-treating products for small-scale production.

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。 It should be noted that what has been described above is merely an embodiment of the present invention, and the present invention can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

１０：縦型加熱炉
１４：炉体
１６：炉室
１８ａ：内周縁（開口）
２０：開閉部材
２２：開閉アクチュエータ
２４：炉開閉装置
２８：支持棒
２８ａ：上端部
３４：シール装置
６０：支持台
６４：断熱材
６６：外周側金属管
６８：内周側金属管
６８ａ：瀬切り板
７０：冷媒流通路
７２：内周側流通路
７４：外周側流通路
Ｆ：冷媒
Ｈ１～Ｈ５：第１加熱領域～第５加熱領域（複数の加熱領域）
Ｋ：被搬送物 10: vertical heating furnace 14: furnace body 16: furnace chamber 18a: inner peripheral edge (opening)
20: Opening and closing member 22: Opening and closing actuator 24: Furnace opening and closing device 28: Support rod 28a: Upper end 34: Sealing device 60: Support base 64: Heat insulating material 66: Outer peripheral metal pipe 68: Inner peripheral metal pipe 68a: Crossing Plate 70: Coolant channel 72: Inner channel 74: Outer channel F: Refrigerant H1 to H5: First to fifth heating regions (multiple heating regions)
K: Conveyed object

すなわち、本発明の要旨とするところは、（ａ）炉室内が上下方向の複数の加熱領域に分割される縦型の炉体と、支持台が上端部に固定され、前記支持台により支持された被搬送物を前記炉室内において上下方向に移動させる支持棒と、前記支持棒の外周面に摺接して前記炉室内を気密に封止するシール装置とを有し、前記被搬送物を前記複数の加熱領域のいずれかに位置させることが可能な縦型加熱炉であって、（ｂ）前記支持棒は、外周側金属管と前記外周側金属管内に挿入された内周側金属管との２重構造により構成され、（ｃ）前記支持台は、断熱材を介して前記外周側金属管により支持され、（ｄ）前記外周側金属管内には、前記内周側金属管の内周側流通路と、前記外周側金属管の内周面と前記内周側金属管の外周面との間の外周側流通路とを有し、前記内周側流通路と前記外周側流通路とが前記内周側金属管の上端において連通する冷媒流通路が、設けられており、（ｅ）前記炉体の下端面には、前記炉室が下向きに開く開口が形成されており、（ｆ）前記炉体に形成された開口を開閉する開閉部材と、前記開閉部材を上下方向に駆動する開閉アクチュエータとを有する炉開閉装置が、備えられ、（ｇ）前記支持棒は、前記開閉部材を上下方向に移動可能に貫通し、前記支持棒と前記開閉部材との間が前記シール装置により封止されていることにある。 That is, the gist of the present invention is (a) a vertical furnace body in which the furnace chamber is divided into a plurality of heating regions in the vertical direction, and a support base fixed to the upper end and supported by the support base. a support rod for moving the object to be conveyed vertically within the furnace chamber; A vertical heating furnace capable of being positioned in any one of a plurality of heating regions, wherein: (b) the support rods are composed of an outer peripheral metal tube and an inner peripheral metal tube inserted into the outer peripheral metal tube; (c) the support base is supported by the outer metal pipe via a heat insulating material; and (d) the inner circumference of the inner metal pipe a side flow passage, and an outer flow passage between an inner peripheral surface of the outer peripheral metal pipe and an outer peripheral surface of the inner peripheral metal pipe, wherein the inner peripheral flow channel and the outer peripheral flow channel is provided at the upper end of the inner peripheral metal tube , (e) an opening is formed in the lower end surface of the furnace body so that the furnace chamber opens downward, (f ) a furnace opening/closing device having an opening/closing member for opening/closing an opening formed in the furnace body and an opening/closing actuator for vertically driving the opening/closing member; The gap between the support rod and the opening/closing member is sealed by the sealing device, which penetrates vertically so as to be movable .

本発明の縦型加熱炉によれば、前記外周側金属管内には、内周側流通路と外周側流通路とを有し、前記内周側流通路と前記外周側流通路とが前記内周側金属管の上端において連通する冷媒流通路が、設けられている。これにより、断熱材により支持台から外周側金属管への熱伝導が抑制されるとともに、外周側流通路と内周側流通路との間で冷媒が流通させられることから、外周側金属管の内周面には流通する冷媒が接触しているので、支持棒が速やかに引き下げられても、シール装置の破損が抑制される。また、シール装置により支持棒と開閉部材との間が封止されているので、炉室内の気密性が維持され、真空加熱処理或いは所定のガス雰囲気加熱処理が可能となるとともに、炉開閉装置により炉室が開閉されるので、被搬送物の入れ出しが容易とされる。 According to the vertical heating furnace of the present invention, the outer peripheral metal pipe has an inner peripheral flow passage and an outer peripheral flow passage, and the inner peripheral flow passage and the outer peripheral flow passage are connected to the inner periphery. A coolant flow passage communicating with the upper end of the circumferential metal tube is provided. As a result, heat conduction from the support base to the outer peripheral metal pipe is suppressed by the heat insulating material, and the refrigerant is circulated between the outer peripheral flow passage and the inner peripheral flow passage, so that the outer peripheral metal pipe is Since the circulating coolant is in contact with the inner peripheral surface, damage to the seal device is suppressed even if the support rod is quickly pulled down. In addition, since the gap between the support rod and the opening/closing member is sealed by the sealing device, the airtightness in the furnace chamber is maintained, and heat treatment in a vacuum or a predetermined gas atmosphere becomes possible. Since the furnace chamber can be opened and closed, loading and unloading of the object to be carried is facilitated.

ここで、好適には、（ａ）前記冷媒は、前記外周側流通路の下部から流出させられ、（ｂ）前記外周側金属管と前記内周側金属管との間には、前記支持棒の中心線方向において交互に位置する切欠きがそれぞれ設けられた円環状或いは部分円環状の複数個の板材であって、前記外周側流通路内において冷媒の前記支持棒の中心線方向の流通を部分的に阻止して前記冷媒の流通路を周方向に形成する複数個の瀬切り板が、設けられている。これにより、内周側金属管内では、瀬切り板により、内周側流通路へ流入させられ冷媒を内周側金属管の少なくとも上部の内周面近傍を通るように流通路が長く形成されるため、相対的に密度の高い低温の冷媒が速やかに下降することが抑制され、支持棒の外周面の冷却効率が高められる。 Here, preferably, (a) the refrigerant is caused to flow out from the lower portion of the outer circumference side flow passage, and (b) the support rod is provided between the outer circumference side metal pipe and the inner circumference side metal pipe. A plurality of annular or partially annular plate members respectively provided with notches alternately positioned in the center line direction of the support rod, which allow the refrigerant to flow in the center line direction of the support rod in the outer circumference side flow passage A plurality of cutoff plates are provided which partially block and form a flow path for the coolant in the circumferential direction. As a result, in the inner peripheral metal pipe, the flow channel is formed long by the cutoff plate so that the refrigerant flows into the inner peripheral flow channel and passes through at least the vicinity of the upper inner peripheral surface of the inner peripheral metal pipe. Therefore, the rapid descent of the relatively high-density, low-temperature coolant is suppressed, and the cooling efficiency of the outer peripheral surface of the support rod is enhanced.

Claims (4)

炉室内が上下方向の複数の加熱領域に分割される縦型の炉体と、支持台が上端部に固定され、前記支持台により支持された被搬送物を前記炉室内において上下方向に移動させる支持棒と、前記支持棒の外周面に摺接して前記炉室内を気密に封止するシール装置とを有し、前記被搬送物を前記複数の加熱領域のいずれかに位置させることが可能な縦型加熱炉であって、
前記支持棒は、外周側金属管と前記外周側金属管内に挿入された内周側金属管との２重構造により構成され、
前記支持台は、断熱材を介して前記外周側金属管により支持され、
前記外周側金属管内には、前記内周側金属管の内周側流通路と、前記外周側金属管の内周面と前記内周側金属管の外周面との間の外周側流通路とを有し、前記内周側流通路と前記外周側流通路とが前記内周側金属管の上端において連通する冷媒流通路が、設けられている
ことを特徴とする縦型加熱炉。 A vertical furnace body in which a furnace chamber is divided into a plurality of heating regions in the vertical direction, and a support table are fixed to the upper end portion, and an object to be transported supported by the support table is moved in the vertical direction in the furnace chamber. It has a supporting rod and a sealing device that is in sliding contact with the outer peripheral surface of the supporting rod and hermetically seals the inside of the furnace chamber, and the object to be transferred can be positioned in one of the plurality of heating areas. A vertical heating furnace,
The support rod has a double structure of an outer metal tube and an inner metal tube inserted into the outer metal tube,
The support base is supported by the outer peripheral metal pipe via a heat insulating material,
Inside the outer peripheral metal pipe, there are an inner peripheral flow passage of the inner peripheral metal pipe and an outer peripheral flow passage between the inner peripheral surface of the outer peripheral metal pipe and the outer peripheral surface of the inner peripheral metal pipe. , and a coolant flow path is provided in which the inner peripheral side flow path and the outer peripheral side flow path communicate with each other at the upper end of the inner peripheral side metal pipe. 前記冷媒は、前記内周側流通路の下部へ流入させられるとともに、前記外周側流通路の下部から流出させられ、
前記外周側金属管と前記内周側金属管との間には、前記内周側流通路から前記外周側流通路の上部へ流入させられた前記冷媒の流通路を、周方向に形成する瀬切り板が、設けられている
ことを特徴とする請求項１の縦型加熱炉。 The refrigerant is caused to flow into the lower portion of the inner circumference side flow passage and is caused to flow out from the lower portion of the outer circumference side flow passage,
Between the outer peripheral metal pipe and the inner peripheral metal pipe, a flow passage for the refrigerant flowing from the inner peripheral flow passage to the upper portion of the outer peripheral flow passage is formed in the circumferential direction. 2. The vertical heating furnace of claim 1, further comprising a cutting plate. 前記外周側流通路における前記冷媒の流通断面積は、前記内周側流通路における前記冷媒の流通断面積よりも小さくされている
ことを特徴とする請求項１又は２の縦型加熱炉。 3. The vertical heating furnace according to claim 1, wherein a cross-sectional area of circulation of the refrigerant in the outer circulation passage is smaller than a cross-sectional area of circulation of the refrigerant in the inner circulation passage. 前記炉体の下端面には、前記炉室が下向きに開く開口が形成されており、
前記炉体に形成された開口を開閉する開閉部材と、前記開閉部材を上下方向に駆動する開閉アクチュエータとを有する炉開閉装置が、備えられ、
前記支持棒は、前記開閉部材を上下方向に移動可能に貫通し、前記支持棒と前記開閉部材との間が前記シール装置により封止されている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１の縦型加熱炉。 An opening is formed in the lower end surface of the furnace body so that the furnace chamber opens downward,
a furnace opening/closing device having an opening/closing member for opening/closing an opening formed in the furnace body and an opening/closing actuator for vertically driving the opening/closing member;
4. The sealing device according to any one of claims 1 to 3, wherein the support rod penetrates the opening/closing member so as to be vertically movable, and the seal device seals between the support rod and the opening/closing member. Or 1 vertical heating furnace.

Images