JP2022109020A - 位置検出機構 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
Description
最初に、図2を参照して、本発明の好ましい実施例において提供する位置検出機構(10)は主に、エンコード素子(20)、読取素子(30)及び処理ユニット(図示しない)を含む。
2 絶対列磁気トラック
3 相対的列磁気トラック
4 スピンバルブ型トンネル磁気抵抗素子
10 位置検出機構
20 エンコード素子
21 絶対列磁気トラック
22 相対的列磁気トラック
30 読取素子
301 基準層
302 自由層
31 第1磁気抵抗ユニット
32 第2磁気抵抗ユニット
33 基板
Claims (10)
- 仮想の移動軸に沿って互いに並列に延在させた絶対列磁気トラック及び相対的列磁気トラックを有する、エンコード素子と、
前記絶対列磁気トラックの作用を受ける第1磁気抵抗ユニット、及び前記相対的列磁気トラックの作用を受ける第2磁気抵抗ユニットを有し、前記エンコード素子に隣接し且つ互いに隔たれており、且つ前記移動軸上において前記エンコード素子との間の相対位置の変化を有する、読取素子と、
前記読取素子と電気的に接続され、前記第1磁気抵抗ユニット及び前記第2磁気抵抗ユニットがそれぞれ前記絶対列磁気トラック及び前記相対的列磁気トラックの作用を受けて各々生成する信号を受信し、それを基に位置の解析を行うのに用いられる、処理ユニットと、を含み、
前記第1磁気抵抗ユニット及び前記第2磁気抵抗ユニットは、それぞれトンネル磁気抵抗(Tunneling Magneto-Resistance,TMR)であり、且つ基準層(reference layer)と自由層(free layer)の磁気モーメントは互いに垂直であり、同時に、前記基準層と前記自由層のうち、1層の磁気モーメントは膜面に平行であり、もう1層の磁気モーメントは膜面に垂直であることを特徴とする、位置検出機構。 - 前記エンコード素子は、前記読取素子に対して移動軸に沿って移動する、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記読取素子は、前記エンコード素子に対して移動軸に沿って移動する、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記エンコード素子は直棒形状を呈する、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記エンコード素子は円環形状を呈する、請求項1に記載の位置検出機構。
- 磁気モーメントが膜面に垂直であるのは基準層である、請求項1に記載の位置検出機構。
- 磁気モーメントが膜面に垂直であるのは自由層である、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記読取素子はさらにチップを含み、且つ前記第1磁気抵抗ユニット及び前記第2磁気抵抗ユニットはそれぞれ前記チップ上に成形される、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記第2磁気抵抗ユニットはブリッジ型トンネル磁気抵抗(Bridge TMR)である、請求項1に記載の位置検出機構。
- 前記第1磁気抵抗ユニットは単一の磁気トンネル接合(Single Magnetic Tunneling Junction,Single MTJ)を有する、請求項1に記載の位置検出機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021004318A JP2022109020A (ja) | 2021-01-14 | 2021-01-14 | 位置検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2021004318A JP2022109020A (ja) | 2021-01-14 | 2021-01-14 | 位置検出機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022109020A true JP2022109020A (ja) | 2022-07-27 |
Family
ID=82557068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2021004318A Pending JP2022109020A (ja) | 2021-01-14 | 2021-01-14 | 位置検出機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022109020A (ja) |
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