JP2022107330A - 印刷装置およびマスク牽引方法 - Google Patents

Abstract

【課題】印刷位置と格納位置との間のマスクの搬送を効率化し、マスクチェンジャにおけるマスクの格納枚数の増加を実現できる。【解決手段】印刷装置は、所定の印刷パターンが設けられたマスクを介して基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、マスクを格納する格納部と、格納されたマスクが備える枠の側面を吸着して、格納部からマスクを引き出す牽引部と、を有する。【選択図】図３

Description

本開示は、印刷装置およびマスク牽引方法に関する。

特許文献１には、基板の品種変更に応じて、スクリーンマスクを簡単に自動交換できるスクリーン印刷装置が開示されている。スクリーン印刷装置は、印刷部と、この印刷部の側方に設けられた収納部（マスクチェンジャ）を備える。スクリーン印刷装置は、印刷部が、本体フレームと、この本体フレームに摺動自在に配設されるスクリーンマスクと、このスクリーンマスク上を摺動するスキージとを有する。マスクチェンジャは、スクリーンマスクのストッカーを有し、移動体と、この移動体を印刷部とマスクチェンジャとの間を移動させる移動手段と、この移動体に設けられ、かつ印刷部にてスクリーンマスクをクリーニングするクリーニングユニットと、このスクリーンマスクのマスク枠に着脱自在に係合するようにこの移動体に設けられる連結部材と、この連結部材の駆動手段とから成る、クリーニング部を備える。

特開平５－２９９８１２号公報

スクリーン印刷装置は、作業者によるスクリーンマスクの供給作業の効率化、生産性を向上させるために、搭載可能なスクリーンマスクの枚数を増やすことが望まれている。しかし、このようにマスクチェンジャを備えるスクリーン印刷装置は、マスクチェンジャに内蔵するスクリーンマスクの枚数を増やす場合、装置が大型化しやすいという課題があった。

本開示は、上述した従来の状況に鑑みて案出され、印刷位置と格納位置との間のマスクの搬送を効率化し、マスクチェンジャにおけるマスクの格納枚数の増加を実現する印刷装置およびマスク牽引方法を提供することを目的とする。

本開示は、所定の印刷パターンが設けられたマスクを介して基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、前記マスクを格納する格納部と、格納された前記マスクが備える枠の側面を吸着して、前記格納部から前記マスクを引き出す牽引部と、を有する、印刷装置を提供する。

また、本開示は、所定の印刷パターンが設けられたマスクを介して基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行うマスク牽引方法であって、前記マスクを格納する格納部に格納された前記マスクが備える枠の側面を吸着し、前記格納部から前記マスクを引き出して前記半田ペーストの印刷位置へ牽引する、マスク牽引方法を提供する。

本開示によれば、印刷位置と格納位置との間のマスクの搬送を効率化し、マスクチェンジャにおけるマスクの格納枚数の増加を実現できる。

実施の形態１に係る印刷装置の全体斜視図 実施の形態１に係る印刷装置の部分透視斜視図 実施の形態１に係る印刷装置の透視側面図 実施の形態１における印刷部の部分断面側面図 実施の形態１における印刷部の部分平面図 実施の形態１に係る印刷装置が備える印刷部の部分平面図 マスクの一例を示す平面図 マスク保持部によるマスクの保持状態を示す下面図 マスクガイドによりガイドされるマスクの様子を示す正面図 スキージベース 実施の形態１に係る印刷装置が備える印刷部の平面図 実施の形態１に係る印刷装置が収納体より引き出したマスクの上面に気体を吹き付けている状況の斜視図 実施の形態１に係る印刷装置の牽引機構を概略的に表した模式図 実施の形態１に係る印刷装置の制御系統を示すブロック図 実施の形態１に係る印刷装置のマスクの引き出し動作手順例を説明する図 実施の形態１に係る印刷装置のマスクの引き出し動作手順例を説明する図 実施の形態１に係る印刷装置のマスクの収納動作手順例を説明する図 実施の形態１に係る印刷装置のマスクの収納動作手順例を説明する図 実施の形態１の変形例に係る印刷装置のＬ枠マスクの引き出し動作手順を説明する図 実施の形態１の変形例に係る印刷装置のＬ枠マスクの引き出し動作手順を説明する図

以下、適宜図面を参照しながら、本開示に係る印刷装置およびマスク牽引方法の構成および作用を具体的に開示した実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。

まず、図１を参照して、実施の形態１における印刷装置１１について説明する。図１は、実施の形態１に係る印刷装置１１の全体斜視図である。

本実施の形態１に係る印刷装置１１は、印刷対象物としての基板ＫＢ（図２参照）の上面に、半田ペースト等のペーストＰｓｔ（図２参照）を印刷する印刷部１３と、この印刷部１３に供給されるマスク２７（図２参照）を格納するマスクチェンジャ１５とが一体的に構成された装置である。印刷装置１１は、印刷部１３と、マスクチェンジャ１５と、を含んで構成される。

印刷部１３は、印刷部カバー１７によって覆われた基台１９（図２参照）の上に基板搬送保持部２１を有し、搬送された基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する。

マスクチェンジャ１５は、印刷部１３の後部に隣接して設けられる。マスクチェンジャ１５の筐体２３はマガジン２５を収納可能な内部空間ＳＰ（図２参照）を有しており、筐体２３の後面側の下部には、内部空間ＳＰに対してマスク２７を収納したマガジン２５を出し入れ可能な開口部２９が設けられる。マスクチェンジャ１５は、印刷部１３にマスク２７を供給するためのマスク通過開口７１（図２参照）を有し、このマスク通過開口７１を通じて印刷部１３の内部と空間的に繋がる。マスクチェンジャ１５の筐体２３は、警報音または警報画面を出力可能なタッチパネル３１、あるいは他の照明装置（例えば、ＬＥＤ等）を後面側の上部に有する。

次に、図２～図４を参照して、印刷部１３およびマスクチェンジャ１５の概要について説明する。図２は、発明の実施の形態１に係る印刷装置１１の部分透視斜視図である。図３は、実施の形態１に係る印刷装置１１の透視側面図である。図４は、実施の形態１における印刷部の部分断面側面図である。

基板搬送保持部２１は、上方にマスクガイド３３が設けられている。マスクガイド３３は、上方にマスク保持部３５が配置されている。マスク保持部３５は、上方に印刷ヘッド３７、スクレイパユニット３９、マスク上面クリーナ４１および気体吹付け部４３がそれぞれ設けられている。また、マスク保持部３５の上方には、左右の２つのマスク保持部昇降シリンダ４５のそれぞれと、前後左右の４つのシリンダ４７のそれぞれと、が設けられている。マスク保持部３５の下方には、カメラ移動機構４９およびカメラ５１と、マスク下面クリーナ５３が設けられている。

気体吹付け部４３は、ペーストＰｓｔで汚れる前（すなわち使用前、あるいはマスク２７に最初のペーストＰｓｔが供給される前）のマスク２７の上面をクリーニングする使用前マスククリーナとして機能する。気体吹付け部４３は、マスク２７の移動経路の上方をマスク２７の移動方向（Ｘ軸方向）に対して交差する横方向に延びた管状部５５と、管状部５５の一端側に繋がるバルブ部５７と、を備えている。管状部５５は、２つの後述する前後方向ガイド部の後端側に、２つの前後方向ガイド部のそれぞれを跨ぐようにして設けられている。

マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナガイド（不図示）によって、マスクガイド３３の下方の領域を、Ｙ軸方向に移動自在に設けられている。マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナ５３に設けられた移動ベース連結部（不図示）によってカメラ移動機構４９の移動ベース５９との間で連結され、移動ベース５９と一体となってＹ軸方向に移動する。

マスク下面クリーナ５３は、移動ベース５９によってＹ軸方向に移動されないときは、マスク２７が搬送されて、ペーストＰｓｔが印刷される印刷位置の前方に位置するクリーナ待機位置で待機する（図２参照）。マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナガイドに設けられた下面クリーナ昇降部（不図示）によって、マスクガイド３３に対して（つまり、印刷位置に搬送されたマスク２７に対して）昇降自在となっている。

カメラ移動機構４９は、マスクチェンジャ１５が備える後述のマガジン２５と印刷部１３内のマスク２７の印刷位置との間でマスク２７を移動（搬送）可能な機能を有する。詳細には、カメラ移動機構４９は、マガジン２５からマスク２７を引き出して印刷部１３内に移動させて、印刷位置の途中まで移動させたり、印刷部１３内の印刷位置からマスク２７をマガジン２５に戻すまでの経路の途中まで移動させたりする機能を有する。カメラ移動機構４９は、Ｘ軸方向に延びて設けられた移動ベース５９と、移動ベース５９に設けられたＹＺアクチュエータ６１によってＹ方向およびＺ方向に移動自在な牽引部の一例としての吸着部６３を備えている。

マスクチェンジャ１５は、印刷部１３の後部に隣接して設けられており、筐体２３、マガジン２５、昇降機６５、下側センサ６７、上側センサ６９、マスク通過開口７１および昇降体７３を備える。昇降機６５は、水平面内に拡がった形状を有する昇降体７３の一端側に設けられたナット部７５と、ナット部７５に螺合して上下方向に延びたボール螺子７７と、ボール螺子７７を回転駆動する昇降体昇降モータ７９と、を備えている。

昇降機６５は、昇降体昇降モータ７９が作動によりボール螺子７７が回転し、ボール螺子７７に設けられたナット部７５を介して昇降体７３が昇降する。昇降機６５は、マガジン２５を支持する昇降体７３を作業空間ＳＰ１と供給空間ＳＰ２との間で昇降させることにより、筐体２３の開口部２９から搬入されたマガジン２５を、筐体２３の開口部２９とその開口部２９から離れた位置である作業空間ＳＰ１との間で移動させる収納体移動機構として機能する。

基板搬送保持部２１は、搬入コンベア８１、中間コンベア８３、搬出コンベア８５、基板保持部８７および多段テーブル８９のそれぞれを備える。搬入コンベア８１、中間コンベア８３および搬出コンベア８５は、この順でＸ軸方向（左右方向とする）に並んでおり、搬入コンベア８１、中間コンベア８３、搬出コンベア８５の順に基板ＫＢを受け渡して搬送する。

基板保持部８７は、中間コンベア８３とともにユニットを構成しており、中間コンベア８３が搬入コンベア８１から受け取った基板ＫＢを中間コンベア８３から持ち上げた状態に支持するとともに、その基板ＫＢの両側をクランプして保持する。多段テーブル８９は、基台１９上に設けられており、中間コンベア８３と基板保持部８７とにより構成されるユニットの全体を、基台１９に対してＸＹ平面上と上下方向（Ｚ軸方向）とに移動させる。

図５は、実施の形態１における印刷部１３の部分平面図である。基板搬送保持部２１（図４参照）は、上方にマスクガイド３３が設けられている。マスクガイド３３は、Ｙ軸方向（前後方向とする）に延びてＸ軸方向に対向するように平行に配置された一対の前後方向ガイド部９１と、一対の前後方向ガイド部９１の前方端部にＸ軸方向に延びて設けられた左右方向ガイド部９３と、を有している。一対の前後方向ガイド部９１のそれぞれは、断面がＬ字状となるように形成され、水平部９５と水平部９５の外側に形成された垂直部９７とを有する。一方、左右方向ガイド部９３は、一対の前後方向ガイド部９１のそれぞれの水平部９５と連接されて構成される。

図６は、実施の形態１に係る印刷装置１１が備える印刷部１３の部分平面図である。マスクガイド３３は、上方にマスク保持部３５が配置されている。マスク保持部３５は、平面視において矩形形状を有しており、その左右のＹ軸辺のそれぞれがマスクガイド３３の一対の前後方向ガイド部９１のそれぞれの上方に位置し、前側のＸ軸辺のそれぞれが左右方向ガイド部９３の上方に位置する。マスクガイド３３は、マスク保持部３５によってマスク２７の四辺のそれぞれが押さえられる。

図７は、マスク２７の一例を示す平面図である。マスク２７は、略矩形状の金属板により構成される。マスク２７は、中央部に基板ＫＢの表面に形成された電極パターン（不図示）の配置に対応する配置でパターン開口９９が形成されている。マスク２７は、外周が枠１０１によって支持される。印刷装置１１内におけるマスク２７の枠１０１は、Ｙ方向の前側が前枠体１０３、Ｙ方向の後側が後枠体１０５、Ｘ方向の右側が右枠体１０７、Ｘ方向の左側が左枠体１０９により構成される。

マスクガイド３３が有する一対の前後方向ガイド部９１のそれぞれの後端側は、水平面（ＸＹ平面）上においてマスクチェンジャ１５の近傍位置（つまり、マスク２７の引き出し、および収納が行われるマスク通過開口７１付近）まで延びており、印刷部１３内におけるマスク２７の印刷位置とマスクチェンジャ１５のマガジン２５との間で搬送されるマスク２７の搬送経路となる。一対の前後方向ガイド部９１は、上面に段差によるガイド１１１（図５参照）がＹ軸方向に延びて形成され、印刷位置とマスクチェンジャ１５内のマガジン２５との間で移動する略矩形状のマスク２７の左右の側面を案内する。

図８は、マスク保持部３５によるマスク２７の保持状態を示す下面図である。マスク２７は、三辺がマスクガイド３３とマスク保持部３５とによって挟まれた状態となる。これにより、マスク２７は、平面状態に保持される。気体吹付け部４３は、下面側にＸ軸方向に並んで設けられた複数の気体噴出孔１１３のそれぞれが設けられている。

図９は、マスクガイド３３によりガイドされるマスク２７の様子を示す正面図である。２つのマスク保持部昇降シリンダ４５のそれぞれと、４つのシリンダ４７のそれぞれとは、マスクガイド３３の左右の前後方向ガイド部９１のそれぞれが有する垂直部９７に固定して設けられる。左右の２つのマスク保持部昇降シリンダ４５のそれぞれは、マスク保持部３５のＹ軸方向に延びる左右の２つの直線部分のそれぞれの中間部の上方に設けられている。４つのシリンダ４７のそれぞれは、マスク保持部３５の四隅もしくはその近傍の上方に設けられている。マスク２７は、前後方向ガイド部９１の水平部９５と、前後左右の４つのシリンダ４７の押さえロッド１１５により押圧されるマスク保持部３５と、によって枠１０１が押さえられる。

図１０は、実施の形態１における印刷部１３の部分側面図である。マスク保持部昇降シリンダ４５の出力軸である昇降ロッド１１７の下端は、マスク保持部３５に固定されている。昇降ロッド１１７は、マスク保持部３５のＹ軸方向の中間位置に結合されている。マスク保持部３５は、左右の２つのマスク保持部昇降シリンダ４５のそれぞれの昇降ロッド１１７を同期して駆動させることで、水平姿勢を維持したままマスクガイド３３の上方で昇降させることができる。４つのシリンダ４７のそれぞれは、その出力軸である押さえロッド１１５を駆動させることで、マスク保持部３５の四隅を下方に押圧することができる。

マスク保持部３５は、左右の２つのマスク保持部昇降シリンダ４５のそれぞれによってマスクガイド３３に押し付けられている。略矩形状に形成されたマスク２７の四辺のうちの三辺は、マスクガイド３３とマスク保持部３５とによって挟まれた状態となる。これにより、マスク２７は略水平に保持される。

印刷ヘッド３７は、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージベース１１９と、スキージベース１１９の下方に設けられた２つのスキージ１２１と、スキージベース１１９の上面側に設けられたスキージ昇降駆動部１２３と、を備えている。２つのスキージ１２１のそれぞれは、Ｙ軸方向に対向して配置されている（図１１参照）。スキージ昇降駆動部１２３は、２つのスキージ１２１のそれぞれをスキージベース１１９の下方に個別に昇降させる。

図１１は、実施の形態１における印刷部１３の平面図である。スキージベース１１９は、Ｙ軸方向に延びた形状を有している。スキージベース１１９は、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向するように平行に配置された２つのスキージベースガイド１２５のそれぞれによって左右の両端部が支持されている。２つのスキージベースガイド１２５のうち一方のスキージベースガイド１２５の外側（Ｘ軸方向の外側）には、Ｙ軸方向に延びたスキージベース移動ボール螺子１２７が設けられている。スキージベース移動ボール螺子１２７は、スキージベース１１９に設けられたスキージベースナット１２９に螺合している。スキージベース移動ボール螺子１２７は、スキージベース駆動モータ１３１と連結され、スキージベース駆動モータ１３１の駆動によってスキージベース移動ボール螺子１２７が回転すると、スキージベースナット１２９を介してスキージベース１１９がＹ軸方向に移動する。

スクレイパユニット３９は、マスク２７のペーストＰｓｔを回収するペースト回収部として機能する。スクレイパユニット３９は、図１０および図１１に示すように、Ｘ軸方向に延びたスクレイパベース１３３と、スクレイパベース１３３に設けられたスクレイパ昇降シリンダ１３５と、スクレイパ昇降シリンダ１３５によって昇降されるスクレイパ保持部１３７と、スクレイパ保持部１３７に保持されたスクレイパ１３９と、を備えている。スクレイパベース１３３は、スキージベース１１９と同様に、２つのスキージベースガイド１２５のそれぞれによって左右の両端部が支持される。スクレイパベース１３３は、スキージベース１１９に設けられたスクレイパユニット連結部１４１（図１０参照）によってスキージベース１１９に連結され、そのスキージベース１１９に連結された状態で、スキージベース１１９と一体となってＹ軸方向に移動する。スクレイパユニット３９は、スクレイパ昇降シリンダ１３５を駆動させてスクレイパ保持部１３７（図１０参照）が昇降することで、スクレイパ１３９が昇降する。

マスク上面クリーナ４１は、スクレイパユニット３９によってペーストＰｓｔが回収された後のマスク２７の上面をクリーニングする機能を有するものであり、図１０および図１１に示すように、スキージベース１１９に取り付けられている。これにより、マスク上面クリーナ４１は、スキージベース１１９と一体となってＹ軸方向に移動し、印刷ヘッド３７とともに印刷位置に搬送されたマスク２７に対して移動する。マスク上面クリーナ４１は、スキージベース１１９に設けられ、上面クリーナ昇降部１４３を介してスキージベース１１９に取り付けられており、上面クリーナ昇降部１４３を作動させることで、スキージベース１１９に対してマスク上面クリーナ４１を昇降させることができる。

図６に示す移動ベース５９は、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向するように平行に配置された２つの移動ベースガイド１４５のそれぞれによって左右の両端部が支持される。２つの移動ベースガイド１４５のそれぞれのうち一方の移動ベースガイド１４５は、外側（Ｘ軸方向の外側）にＹ軸方向に延びた移動ベース移動ボール螺子１４７が設けられている。移動ベース移動ボール螺子１４７は、移動ベース５９に設けられた移動ベースナット１４９に螺合する。移動ベース移動ボール螺子１４７は、移動ベース駆動モータ１５１が連結されており、移動ベース駆動モータ１５１が駆動して移動ベース移動ボール螺子１４７が回転すると、この回転する移動ベースナット１４９を介して移動ベース５９がＹ軸方向に移動する。

図１２は、管状部５５によるマスク２７上面への気体の吹き付けの様子を示した斜視図である。気体吹付け部４３は、マスク２７の移動経路の上方をマスク２７の移動方向（Ｘ軸方向）に対して交差する横方向に延びた管状部５５と、管状部５５の一端側に繋がるバルブ部５７と、を備えている。管状部５５は、２つの前後方向ガイド部９１のそれぞれの後端側に、２つの前後方向ガイド部９１のそれぞれを跨ぐようにして設けられている。

管状部５５は、バルブ部５７を介して高圧気体ＧＳを供給して複数の気体噴出孔１１３（図１１参照）のそれぞれから下方に位置するマスク２７の上面に向かって高圧気体ＧＳを噴射する。なお、マスク上面クリーナ４１は、マスク２７の上面に気体を吹き付けるもの（つまり、ブローするもの）に限定されず、例えばマスク２７の上面を吸引するもの、ブラッシングするもの、またはマスク２７の上面を拭き取るもの等であってもよい。

カメラ移動機構４９は、移動ベース５９にカメラ５１のカメラ筐体１５３が取り付けられている。カメラ筐体１５３は、略六面体形状で形成される。カメラ筐体１５３は、下面に下方撮像カメラ１５５、上面に上方撮像カメラ１５７のそれぞれの鏡筒が光軸をＺ軸に沿う方向で取り付けられている。

カメラ移動機構４９は、移動ベース５９のＹ軸方向への移動によって吸着部６３をＹ軸方向に移動させることができる。吸着部６３は、さらにＹＺアクチュエータ６１によって、移動ベース５９に対してＹ軸に沿う方向とＺ軸に沿う方向とに移動することができる。このＹＺアクチュエータ６１の移動機構は、ラックとピニオンとにより構成される直線駆動機構、リニアモータ機構等であってよい。

吸着部６３は、カメラ移動機構４９により、マスク通過開口７１の直前まで移動される。吸着部６３は、マスク通過開口７１の直前まで移動された状態で、ＹＺアクチュエータ６１により供給対象となるマスク２７の格納高さ（Ｚ軸方向）まで昇降された後、ＹＺアクチュエータ６１により後方に移動されて、マスクチェンジャ１５の内部に進入し、マガジン２５内に格納されたマスク２７の枠１０１（具体的には、前枠体１０３）の位置まで移動される。また、吸着部６３は、このマスク対向位置からさらにＹ軸方向に移動される。これにより、吸着部６３は、枠１０１に対する吸着位置の微調整が可能となる。吸着位置に微調整された吸着部６３は、マスクチェンジャ１５のマガジン２５に格納されたマスク２７が備える枠１０１（具体的には、前枠体１０３）の側面を吸着して、マガジン２５の内部からマスク通過開口７１を通じて、印刷部１３内へマスク２７を引き出すことができる。

マスク２７の引き出し動作および収納動作は、カメラ移動機構４９と、印刷ヘッド３７と、により実行される。カメラ移動機構４９は、マガジン２５内から印刷部１３内の印刷位置の途中までマスク２７を引き出す。印刷ヘッド３７は、印刷部１３内の途中まで引き出された状態のマスク２７を、印刷処理が行われる印刷位置まで搬送する。

吸着部６３は、例えば印刷装置１１に設けられる空気圧回路（不図示）に配管接続される。空気圧回路は、空圧発生源が接続される。空圧発生源は、真空ポンプと、エア供給源とを含む。吸着部６３は、真空バルブを介して空圧発生源とブローバルブに接続される。真空バルブは、後述する制御部１５９により入力ポートと出力ポートとを切り替えることにより、吸着部６３の真空圧とブロー圧とを切り替え可能にする。

マスクチェンジャ１５およびカメラ移動機構４９は、マガジン２５に収納されたマスク２７をマガジン２５から引き出して印刷位置まで搬送することで、マスク２７を印刷部１３に供給可能な部材供給装置１６１を構成する。

次に、図１３を参照して、マスク２７のマガジン２５と印刷位置との間の搬送（つまり、引き出し動作または収納動作）を実行するための各機構についてさらに説明する。図１３は、実施の形態１におけるマスク２７の引き出し動作または収納動作を実行する各機構の概略図である。

印刷ヘッド３７は、制御部１５９における印刷動作制御部１６９（図１４参照）により制御されて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に駆動される。印刷ヘッド３７は、吸着部６３によってマスクチェンジャ１５内のマガジン２５から引き出されたマスク２７の枠１０１の側面に当接する押さえロッド１１５を有する。押さえロッド１１５は、シリンダ１１０に連結されて、シリンダ１１０と一体となってＹ軸に沿う方向に駆動される。押さえロッド１１５は、Ｚ軸方向に昇降されてマスク２７の枠１０１の側面に当接し、Ｙ軸に沿う方向に駆動されて、マスク２７を前後方向に搬送する。

シリンダ１１０は、基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する印刷ヘッド３７に設けられ、印刷ヘッド３７と一体となって駆動される。印刷ヘッド３７は、Ｘ軸に沿う方向に延在するスキージベース１１９を有する。印刷動作制御部１６９は、スキージベース駆動モータ１３１を駆動させ、スキージベース１１９と一体的に構成されたシリンダ１１０の押さえロッド１１５がＹ軸に沿う方向に移動される。つまり、印刷動作制御部１６９は、押さえロッド１１５を枠１０１に当接させた状態でＹ軸に沿う方向に移動させることで、マスクガイド３３に沿ってマスク２７を印刷位置まで搬送することができる。

印刷ヘッド３７は、スキージ昇降駆動部１２３に設けられた２つのＺ軸モータ１６３のそれぞれにより、スキージベース１１９の下方に２つのスキージ１２１のそれぞれを個別に昇降させる。これにより、スキージ１２１は、マスク２７より上方の退避位置への移動が可能となる。つまり、スキージ１２１は、退避位置に移動する際に、マスク２７の枠１０１に対する干渉が回避可能となる。

吸着部６３は、基板ＫＢの上面およびマスク２７の下面を撮像するカメラ５１を備えたカメラ移動機構４９に設けられる。カメラ移動機構４９は、Ｘ軸に沿う方向に延在する移動ベース５９を有する。カメラ移動機構４９は、移動ベース５９に対して、移動ベース５９の延在方向（Ｘ軸に沿う方向）に移動自在に設けられる。この移動ベース５９には、移動ベースナット１４９が固定される。移動ベースナット１４９は、Ｙ軸に沿う方向に延在する移動ベース移動ボール螺子１４７と螺合される。移動ベース移動ボール螺子１４７は、移動ベース駆動モータ１５１により駆動される。移動ベース駆動モータ１５１が駆動され、移動ベース移動ボール螺子１４７を介して移動ベースナット１４９が移動することにより、移動ベース５９に設けられた吸着部６３は、カメラ５１とともにＹ軸に沿う方向に移動される。これにより、吸着部６３に枠１０１が吸着されたマスク２７は、マスクガイド３３によりＹ軸に沿う方向に搬送される。

また、制御部１５９における印刷動作制御部１６９（図１４参照）は、マスク２７の枠１０１の側面に押さえロッド１１５が当接した状態で、スキージベース駆動モータ１３１を駆動することにより、マスク２７を印刷位置に搬送したり（つまり、引き出し動作）、印刷位置にあるマスク２７をマスクチェンジャ１５側に向かって搬送したりする（つまり、収納動作）ことができる。

また、制御部１５９におけるマスク搬送設置制御部１６７（図１４参照）は、枠１０１の側面に吸着部６３が当接した状態で、移動ベース駆動モータ１５１およびＹＺアクチュエータ６１のそれぞれを駆動することにより、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５からマスク２７を引き出したり、押さえロッド１１５により印刷位置よりも後方に搬送されたマスク２７を、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５に収納したりする。

次に、実施の形態１に係る印刷装置１１の制御系統について説明する。図１４は、実施の形態１に係る印刷装置１１の制御系統を示すブロック図である。

印刷装置１１における制御部１５９は、所謂プロセッサであり、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）を用いて構成されて、メモリ（不図示）と協働して、各種の処理および制御を行う。具体的には、制御部１５９は、メモリに保持されたプログラムおよびデータを参照し、そのプログラムを実行することにより、各部の機能を実現する。なお、ここでいう各部は、基板搬送保持制御部１６５、マスク搬送設置制御部１６７、印刷動作制御部１６９、撮像制御部１７１、吸着制御部１７３および昇降機制御部１７５等である。

基板搬送保持制御部１６５は、基板搬送保持部２１による基板ＫＢの搬送制御（具体的には、搬入制御、搬出制御）、および保持制御を実行する。また、基板搬送保持制御部１６５は、カメラ５１により撮像された基板ＫＢの撮像画像に基づいて、マスク２７に対する基板ＫＢの位置合わせ制御を実行する。

マスク搬送設置制御部１６７は、カメラ移動機構４９によるマスク２７の引き出し制御および収納制御を行う。具体的に、マスク搬送設置制御部１６７は、移動ベース駆動モータ１５１による移動ベース５９のＹ軸方向への移動制御と、ＹＺアクチュエータ６１による吸着部６３のＹ軸方向およびＺ軸方向への移動制御と、吸着部６３による枠１０１の側面への吸着制御と、をそれぞれ実行する。

印刷動作制御部１６９は、印刷ヘッド３７による印刷制御を行う。具体的に、印刷動作制御部１６９は、スキージベース駆動モータ１３１によるスキージベース１１９（不図示）のＹ軸方向への移動制御と、スキージ昇降駆動部１２３によるスキージ１２１の昇降制御と、をそれぞれ実行する。

撮像制御部１７１は、所定の基板搬送位置で基板搬送保持部２１によって保持された基板ＫＢの下面と、印刷位置に搬送されたマスク２７の上面とを、カメラ５１の制御を実行して撮像させる。具体的に、撮像制御部１７１は、移動ベース駆動モータ１５１による移動ベース５９のＹ軸方向への移動制御と、移動ベース５９に沿ったカメラ５１のＸ軸方向への移動制御と、カメラ５１が備える下方撮像カメラ１５５による基板ＫＢの上面の撮像制御と、カメラ５１が備える上方撮像カメラ１５７によるマスク２７の下面の撮像制御と、をそれぞれ実行する。

吸着制御部１７３は、制御部１５９から送信されたマスク吸着を開始する旨の制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられた真空バルブにポート切替信号を送信し、真空ポンプにより吸着部６３内部を負圧にして、吸着部６３に枠１０１（具体的には、枠１０１の前枠体１０３）の側面を吸着させる。また、吸着制御部１７３は、制御部１５９から送信されたマスク吸着を終了する旨の制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられる真空バルブにポート切替信号を送り、真空バルブのポートをブローバルブに切り替えさせて、吸着部６３の吸着状態を解除させる。

昇降機制御部１７５は、昇降機６５における昇降体昇降モータ７９の駆動制御を実行し、マスクチェンジャ１５内のマガジン２５の位置（高さ）を昇降させる。また、昇降機制御部１７５は、安全制御部１７９を含んで構成される。

安全制御部１７９は、マスクチェンジャ１５の内部空間ＳＰに設けられた下側センサ６７と上側センサ６９との各制御、および昇降機６５への電力供給制御と、を実行する。具体的に、安全制御部１７９は、第１の運用モードと第２の運用モードとを切り替えることで、上述した制御を実行する。

ここでいう第１の運用モードは、原則として、下側センサ６７を常時オン（物体検出を有効）にし、上側センサ６９を常時オフ（物体検出を無効）にする制御であり、作業者によりマガジン２５の交換、マガジン２５へのマスク２７の供給作業が行われている間であって、昇降機６５が停止している間に実行される。安全制御部１７９は、第１の運用モード時において下側センサ６７により物体が検出された場合には、昇降機６５への動力用電力の供給を停止させるとともに、タッチパネル３１を通じて警報音を発生させることによって、作業者に注意を喚起する。

但し、第１の運用モードにおいて安全制御部１７９は、開口部２９からマガジン２５、またはマガジン２５内に格納されたマスク２７を出し入れするマガジン供給作業が作業者により行われる間、上側センサ６９をオンにし、下側センサ６７をオフにしてもよい。上側センサ６９および下側センサ６７の切り替え制御は、作業者によるタッチパネル３１への入力操作に基づいて実行されてもよいし、マガジン２５の交換作業を無人搬送装置が実行する場合には、無人搬送装置から送信されたマガジン２５の交換要求に基づいて実行されてもよい。

以上により、安全制御部１７９は、第１の運用モードにおいて、開口部２９からマガジン２５が搬入もしくは搬出されるときには下側センサ６７による物体検出を無効にする制御を実行する。また、安全制御部１７９は、上側センサ６９により物体が検出された場合には、昇降機６５への動力用電力の供給を停止させて、上側センサ６９による物体検出を無効にする。また、安全制御部１７９は、下側センサ６７により物体が検出された場合には、昇降機６５への動力用電力の供給を停止させる制御を実行する。

また、第２の運用モードにおいて安全制御部１７９は、下側センサ６７を常時オフにし、上側センサ６９をオンにする制御であり、マガジン２５と印刷部１３との間でマスク２７の引き出し処理または収納処理が実行されている間に実行される。

以上により、安全制御部１７９は、第２の運用モードにおいて、下側センサ６７を常時オフにし、上側センサ６９をオンにする制御であり、マガジン２５と印刷部１３との間でマスク２７の引き出し処理または収納処理が実行されている間、下側センサ６７による物体検出を無効にする。

制御部１５９は、ユーザインタフェース機能を有するタッチパネル３１が電気的に接続されている。タッチパネル３１は、作業者により操作され、作業者操作により入力された内容を電気信号に変換して制御部１５９に出力する。また、タッチパネル３１は、制御部１５９により生成された画像を出力（表示）する。

（マスクの引き出し動作）
次に、図１５Ａおよび図１５Ｂを参照して、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順について説明する。図１５Ａは、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順例を説明する図である。図１５Ｂは、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順例を説明する図である。

マスクチェンジャ１５からマスク２７を引き出す場合、印刷装置１１におけるマスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向にカメラ移動機構４９を移動する。カメラ移動機構４９は、吸着部６３がマスク通過開口７１の直前の位置で停止する。ＹＺアクチュエータ６１は、マスク搬送設置制御部１６７により制御されて、マスク通過開口７１からマスク２７を引き出し可能な位置（高さ）まで吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸に沿う方向に上昇させ、マガジン２５内に格納されたマスク２７の枠１０１に当接する位置まで吸着部６３の位置をＹ軸に沿う方向に移動させる。吸着制御部１７３は、図１５Ａ（ａ）に示すように、吸着部６３が引き出したいマスク２７における枠１０１の側面に当接すると、真空バルブを駆動させて、吸着部６３による枠１０１の側面の吸着を実行させる。

マスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向にカメラ移動機構４９を移動させて、吸着部６３により吸着された状態のマスク２７を牽引する。マスク搬送設置制御部１６７は、図１５Ａ（ｂ）に示すように、吸着部６３が吸着したマスク２７を、移動ベース５９の移動限界まで牽引する。マスク搬送設置制御部１６７は、移動限界までの牽引制御を実行した後、マスク２７および印刷ヘッド３７と、カメラ移動機構４９との間の干渉（衝突）を回避させるために、カメラ移動機構４９を退避させる。具体的に、マスク搬送設置制御部１６７は、図１５Ｂ（ｃ）に示すように、ＹＺアクチュエータ６１を駆動させ、吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸方向に下降させて印刷位置へのマスク２７の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させる。なお、退避方法は、これに限定されなくてよい。マスク搬送設置制御部１６７は、例えば、カメラ移動機構４９そのものをＺ軸方向に下降させることで、印刷位置へのマスク２７の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させてもよい。

マスク搬送設置制御部１６７によるカメラ移動機構４９の退避が行われた後、印刷動作制御部１６９は、図１５Ｂ（ｃ）に示すように、スキージベース１１９を移動させて、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向へ印刷ヘッド３７を移動させる。印刷動作制御部１６９は、シリンダ１１０の押さえロッド１１５の位置がマスク２７の枠１０１（具体的には、後枠体１０５）の後方に位置するまで移動させた後、シリンダ１１０によって押さえロッド１１５を下降させて、後枠体１０５の後側面に押さえロッド１１５を当接させる（つまり、後枠体１０５の後側面に押さえロッド１１５を引っ掛ける）。なお、印刷動作制御部１６９は、押さえロッド１１５の位置が後枠体１０５の後方に位置するまで移動させ、印刷ヘッド３７を下降させた後に、印刷ヘッド３７をＹ軸に沿った方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向に移動させて、後枠体１０５の後側面に押さえロッド１１５を当接させてよい。

印刷動作制御部１６９は、図１５Ｂ（ｄ）に示すように、押さえロッド１１５が後枠体１０５の後側面に当接した状態で、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向へ印刷ヘッド３７を移動させて、印刷位置までマスク２７を搬送させる。印刷動作制御部１６９は、印刷位置までマスク２７を移動させた後、印刷ヘッド３７を上昇させて、後枠体１０５から押さえロッド１１５を離間させることで、マスク２７の引き出し動作を終了する。

印刷動作制御部１６９は、マスク２７の引き出し動作実行後、印刷ヘッド３７を駆動させて、スキージ１２１で供給されたペーストＰｓｔを掻き寄せる。印刷動作制御部１６９は、マスク２７の上でスキージ１２１を摺動させて、マスク２７のパターン開口９９にペーストＰｓｔを充填させる。これにより、ペーストＰｓｔは、パターン開口９９を通過し、基板ＫＢの電極に印刷される。

（マスクの収納動作）
次に、図１６Ａおよび図１６Ｂを参照して、発明の実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク収納動作手順について説明する。図１６Ａは、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の収納動作手順例を説明する図である。図１６Ｂは、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の収納動作手順例を説明する図である。

マスクチェンジャ１５にマスク２７を収納する場合、印刷装置１１における印刷動作制御部１６９は、図１６Ａ（ａ）に示すように、スキージベース１１９を移動させて、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向へ印刷ヘッド３７を移動させる。印刷動作制御部１６９は、シリンダ１１０によって押さえロッド１１５を下降させて、シリンダ１１０の押さえロッド１１５を後枠体１０５の前側面に当接させる。なお、印刷動作制御部１６９は、押さえロッド１１５の位置が後枠体１０５の前方に位置するまで移動させ、押さえロッド１１５を下降させた後に、印刷ヘッド３７をＹ軸に沿った方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に移動させて、後枠体１０５の前側面に押さえロッド１１５を当接させてよい。なお、この時、カメラ移動機構４９は、退避位置で待機している。

印刷動作制御部１６９は、図１６Ａ（ｂ）に示すように、後枠体１０５の前側面に押さえロッド１１５を当接させた状態で、スキージベース１１９がＹ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に印刷ヘッド３７を移動させる。印刷動作制御部１６９は、押さえロッド１１５が当接したマスク２７を、スキージベース１１９の移動限界まで移動させる。

印刷動作制御部１６９は、スキージベース１１９の移動限界までマスク２７を搬送した後、図１６Ｂ（ｃ）に示すように、シリンダ１１０によって押さえロッド１１５を上昇させ、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向へ印刷ヘッド３７を移動（退避）させる。

マスク搬送設置制御部１６７は、印刷動作制御部１６９による印刷ヘッド３７の退避が行われた後、カメラ移動機構４９を退避位置から移動させる。マスク搬送設置制御部１６７は、吸着部６３が前枠体１０３の側面（前面）に当接する位置までカメラ移動機構４９を移動させる。

マスク搬送設置制御部１６７は、図１６Ｂ（ｄ）に示すように、カメラ移動機構４９をＹ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に移動させて、吸着部６３に当接されたマスク２７を、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５内の所定の格納位置まで移動させる。なお、この時、吸着部６３は、枠１０１を吸着せずにマスク２７を収納してもよいし、吸着した状態でマスク２７を収納してもよい。

（Ｌ枠マスクの場合の引き出し動作）
次に、図１７Ａおよび図１７Ｂを参照して、実施の形態１に係る印刷装置１１のＬ枠マスク１８１の引き出し動作手順について説明する。図１７Ａは、実施の形態１に係る印刷装置１１のＬ枠マスク１８１の引き出し動作手順例を説明する図である。図１７Ｂは、実施の形態１に係る印刷装置１１のＬ枠マスク１８１の引き出し動作手順例を説明する図である。

ここで、Ｌ枠マスク１８１について説明する。マスクの一例としてのＬ枠マスク１８１は、印刷装置１１により実行されるマスクの引き出し動作において、引き出し切れない大きさを有するマスクである。具体的に、印刷装置１１は、スキージベース１１９の移動限界まで印刷ヘッド３７を移動させても、シリンダ１１０の押さえロッド１１５の位置が後枠体１０５の後方まで到達せず、Ｌ枠マスク１８１を引き出せないことがある。印刷装置１１における制御部１５９は、各マスクの大きさに関する情報を含む生産データに基づいて、引き出し対象となるマスクがＬ枠マスク１８１であると判定した場合、以下で説明するＬ枠マスク１８１を引き出すための引き出し動作を実行する。なお、Ｌ枠マスク１８１は、マスク２７に対してＹ軸に沿う方向あるいはＸ軸に沿う方向の長さが異なるが、他の構成についてはマスク２７と同様であるため、同一の符号を用いてＬ枠マスク１８１を引き出すための引き出し動作について説明する。

マスクチェンジャ１５からＬ枠マスク１８１を引き出す場合、印刷装置１１におけるマスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向にカメラ移動機構４９を移動する。カメラ移動機構４９は、吸着部６３がマスク通過開口７１の直前の位置で停止する。ＹＺアクチュエータ６１は、マスク搬送設置制御部１６７により制御されて、マスク通過開口７１からＬ枠マスク１８１を引き出し可能な位置（高さ）まで吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸に沿う方向に上昇させ、マガジン２５内に格納されたＬ枠マスク１８１の枠１０１に当接する位置まで吸着部６３の位置をＹ軸に沿う方向に移動させる。吸着制御部１７３は、図１７Ａ（ａ）に示すように、吸着部６３が引き出したいＬ枠マスク１８１における枠１０１の側面に当接すると、真空バルブを駆動させて、吸着部６３による枠１０１の側面の吸着を実行させる。

マスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向にカメラ移動機構４９を移動させて、吸着部６３により吸着された状態のＬ枠マスク１８１を牽引する。マスク搬送設置制御部１６７は、図１７Ａ（ｂ）に示すように、吸着部６３が吸着したＬ枠マスク１８１を、移動ベース５９の移動限界まで牽引する。マスク搬送設置制御部１６７は、移動限界までの牽引制御を実行した後、Ｌ枠マスク１８１および印刷ヘッド３７と、カメラ移動機構４９との間の干渉（衝突）を回避させるために、カメラ移動機構４９を退避させる。具体的に、マスク搬送設置制御部１６７は、図１７Ｂ（ｃ）に示すように、ＹＺアクチュエータ６１を駆動させ、吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸方向に下降させて印刷位置へのＬ枠マスク１８１の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させる。なお、退避方法は、これに限定されなくてよい。マスク搬送設置制御部１６７は、例えば、カメラ移動機構４９そのものをＺ軸方向に下降させることで、印刷位置へのＬ枠マスク１８１の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させてもよい。

マスク搬送設置制御部１６７によるカメラ移動機構４９の退避が行われた後、印刷動作制御部１６９は、図１７Ｂ（ｃ）に示すように、スキージベース１１９を移動させて、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向へ印刷ヘッド３７を移動させる。印刷動作制御部１６９は、シリンダ１１０の押さえロッド１１５の位置がＬ枠マスク１８１の枠１０１（具体的には、前枠体１０３）の後方に位置するまで移動させた後、シリンダ１１０によって押さえロッド１１５を下降させて、前枠体１０３の後側面に押さえロッド１１５を当接させる（つまり、前枠体１０３の後側面に押さえロッド１１５を引っ掛ける）。なお、印刷動作制御部１６９は、押さえロッド１１５の位置を前枠体１０３の後方に位置するまで移動させ、押さえロッド１１５を下降させた後に、印刷ヘッド３７をＹ軸に沿った方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向に移動させて、前枠体１０３の後側面に押さえロッド１１５を当接させてよい。

印刷動作制御部１６９は、図１７Ｂ（ｄ）に示すように、押さえロッド１１５が前枠体１０３の後側面に当接した状態で、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向へ印刷ヘッド３７を移動させて、印刷位置までＬ枠マスク１８１を移動させる。印刷動作制御部１６９は、印刷位置までＬ枠マスク１８１を移動させた後、押さえロッド１１５を上昇させて、前枠体１０３から押さえロッド１１５を離間させることで、Ｌ枠マスク１８１の引き出し動作を終了する。

なお、Ｌ枠マスク１８１の収納動作は、図１６Ａおよび図１６Ｂを参照して説明したマスク２７同様の動作手順で行われるため、説明を省略する。

以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１は、所定の印刷パターン（つまり、パターン開口９９）が設けられたマスク２７を介して基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する印刷装置１１であって、マスク２７を格納するマガジン２５（格納部の一例）と、格納されたマスク２７が備える枠１０１の側面を吸着して、マガジン２５からマスク２７を引き出す吸着部６３（牽引部の一例）を有する。

従来、マスク２７の引き出しまたは収納は、マガジン２５内において多段状かつ上下方向に隣り合って格納された２枚のマスク２７とマスク２７との間に、Ｌ字状のプレートを差し入れ、マスク２７の下面側からマスク２７に設けられた係合穴等にこのプレートに起立する垂直な係合突起等を挿入して引っ掛けて係止した状態で行われていた。つまり、従来のマスク２７の引き出しまたは収納方法では、マガジン２５は、マスク２７の厚みと、プレートの厚みと、係合突起の起立高さと、係合突起を係合するための係合クリアランスとを合計した間隔以上の隙間でマスク同士を格納する必要があった。そのため、従来のマスク２７の引き出しまたは収納方法の場合、マガジン２５は、マスクの１枚あたりに要するＺ軸方向の格納高さが大きくなり、格納可能なマスク２７の枚数に限りがあった。また、マスク２７の格納枚数を増やす場合、マガジン２５およびマスクチェンジャ１５は大型化させる必要があった。

したがって、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスクチェンジャ１５に格納されたマスク２７の引き出しまたは収納において、吸着部６３によりマガジン２５内のマスク２７の側面を吸着して引き出すまたは収納するため、Ｚ軸方向における各マスク２７の格納間隔を狭めることができ、マガジン２５内に格納可能なマスク２７の枚数を増加させることができる。これにより、印刷装置１１は、１つのマガジン２５によってより多くの基板ＫＢの印刷を実行できるため、印刷効率を向上できる。

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１は、吸着部６３によってマガジン２５から引き出されたマスク２７の枠１０１に当接する押さえロッド１１５（当接部の一例）と、押さえロッド１１５を移動させて、マスク２７を印刷位置まで移動させる印刷動作制御部１６９（駆動部の一例）と、を備える。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、カメラ移動機構４９によりマスク２７がマスクチェンジャ１５から印刷部１３内へ引き出された後、マスク２７の枠１０１に押さえロッド１１５を当接させて、マスク２７を引き出し位置からマスク２７の印刷位置まで移動（搬送）できる。したがって、印刷装置１１は、マスク２７を牽引（つまり、マスク２７の引き出しおよび収納）するための新たな機構を設けることなく、マスク２７および基板ＫＢのそれぞれの撮像するためのカメラ５１を備える既存のカメラ移動機構４９を用いてマスク２７の引き出し動作および収納動作を実行できる。

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における吸着部６３は、基板ＫＢおよびマスク２７を撮像するカメラ５１を備えたカメラ移動機構４９である。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７を牽引（つまり、マスク２７の引き出しおよび収納）するための新たな機構を設けることなく、マスク２７および基板ＫＢのそれぞれの撮像するためのカメラ５１を備える既存のカメラ移動機構４９を用いてマスク２７の引き出し動作および収納動作を実行できる。

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における押さえロッド１１５は、基板ＫＢへペーストＰｓｔを印刷する印刷ヘッド３７に設けられる。また、印刷動作制御部１６９は、印刷ヘッド３７と共に押さえロッド１１５を移動させる。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、従来の印刷装置が備える機構であるカメラ移動機構４９と印刷ヘッド３７とを用いて、マスク２７の引き出し動作および収納動作を実行できる。

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における印刷動作制御部１６９は、マスク２７の枠１０１へ押さえロッド１１５を当接させて、マガジン２５の方へマスク２７を移動させる。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、印刷部１３内にあるマスク２７の枠１０１が、印刷ヘッド３７によりマスクチェンジャ１５に接近する方向に移動され、カメラ移動機構４９によりこの移動された位置からマガジン２５内に収納できる。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、従来の印刷装置が備える機構であるカメラ移動機構４９と印刷ヘッド３７とを用いて、マスク２７の引き出し動作および収納動作を実行できる。

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における吸着部６３は、枠１０１の側面に当接して、マガジン２５の方へ移動されたマスク２７をマガジン２５へ収納する。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、カメラ５１を移動するための既存のカメラ移動機構４９を駆動（移動）させることにより、マガジン２５内にマスク２７を格納できる。

以上、図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各種の実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

本開示は、印刷位置と格納位置との間のマスクの搬送を効率化し、マスクチェンジャにおけるマスクの格納枚数の増加を実現できる印刷装置およびマスク牽引方法として有用である。

１１ 印刷装置
１５ マスクチェンジャ
２７ マスク
３７ 印刷ヘッド
４９ カメラ移動機構
５１ カメラ
６３ 吸着部
１０１ 枠
１３１ スキージベース駆動モータ
１１５ 押さえロッド
ＫＢ 基板
Ｐｓｔ ペースト

Claims (7)

1. 所定の印刷パターンが設けられたマスクを介して基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、
   前記マスクを格納する格納部と、
   格納された前記マスクが備える枠の側面を吸着して、前記格納部から前記マスクを引き出す牽引部と、を有する、
   印刷装置。
2. 前記牽引部によって前記格納部から引き出された前記マスクの枠に当接する当接部と、
   前記当接部を移動させて、前記マスクを印刷位置まで移動させる駆動部と、を備える、
   請求項１に記載の印刷装置。
3. 前記牽引部は、前記基板および前記マスクを撮像するカメラを備えたカメラ移動機構である、
   請求項１または２に記載の印刷装置。
4. 前記当接部は、前記基板へ前記半田ペーストを印刷する印刷ヘッドに設けられており、
   前記駆動部は、前記印刷ヘッドと共に前記当接部を移動させる、
   請求項２に記載の印刷装置。
5. 前記駆動部は、前記マスクの前記枠へ前記当接部を当接させて、前記格納部の方へ前記マスクを移動させる、
   請求項２または４に記載の印刷装置。
6. 前記牽引部は、前記枠の側面に当接して、前記格納部の方へ移動された前記マスクを前記格納部へ収納する、
   請求項５に記載の印刷装置。
7. 所定の印刷パターンが設けられたマスクを介して基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行うマスク牽引方法であって、
   前記マスクを格納する格納部に格納された前記マスクが備える枠の側面を吸着し、
   前記格納部から前記マスクを引き出して前記半田ペーストの印刷位置へ牽引する、
   マスク牽引方法。

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