JP2022084772A - プローバ - Google Patents
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Abstract
Description
コンタクト動作の事前動作について説明する。
次に、X軸移動制御部102、Y軸移動制御部104、及びθ回転制御部108は、全体制御部100による制御の下、針位置検出カメラ及びウエハアライメントカメラにより撮像された結果に基づき、X軸駆動モータ118、Y軸駆動モータ120、回転駆動モータ124を制御して、ウエハチャック34に保持されたウエハWとプローブカード32との相対的な位置合わせを行う。
次に、図7の符号500A及び500Bに示すように、Z軸移動制御部106は、Z軸駆動モータ122を制御して、Z軸移動・回転部72を上昇させることにより、リング状シール部材48がヘッドステージ30の下面に接触する高さ位置までウエハチャック34をプローブカード32に向かって移動させる。これにより、リング状シール部材48がヘッドステージ30の下面に接触して、ウエハチャック34とプローブカード32との間に形成された内部空間Sは外部から遮断された密閉状態となる。
次に、図7の符号500Cに示すように、吸引制御部114は、真空電空レギュレータ54の動作を制御して、吸引口50を介して内部空間Sの減圧を開始する(図8の時間t0)。このとき、吸引制御部114は、内部空間Sの減圧を複数のステップに分けて段階的に減圧するステップ減圧を行う。具体的には、図8の上段に示すグラフ(内部空間の内部圧力の時間的な変化を示したグラフ)のように、内部空間Sの内部圧力が初期圧力P0から設定圧力P1となるまで、一定時間Δt毎に内部空間Sの内部圧力(負圧)を微小圧力ΔPずつ段階的に大きくする制御を行う。
距離センサ38は、内部空間Sのステップ減圧が行われているときにウエハチャック34の高さ位置をステップ毎に検出する。距離センサ38の検出結果は制御装置60の記憶装置(不図示)に出力されて記憶される。
次に、吸引制御部114は、内部空間Sの内部圧力が設定圧力P1に到達したか否かを判断する。内部空間Sの内部圧力が設定圧力P1に到達していない場合(ステップS18においてNoの場合)には、ステップS14に戻り、ステップS14以降の処理を繰り返し行う。一方、内部空間Sの内部圧力が設定圧力P1に到達した場合(ステップS18においてYesの場合)には、次のステップS20に進む。
次に、オーバードライブ量算出部115は、制御装置60の記憶装置(不図示)から距離センサ38の検出結果を取得する。そして、オーバードライブ量算出部115は、距離センサ38の検出結果に基づき、プローブ36とウエハW上の電極パッドとが接触し始めるコンタクト位置(基準位置)を検出する。具体的には、以下のようにしてコンタクト位置を検出する。
次に、オーバードライブ量算出部115は、内部空間Sの内部圧力が設定圧力P1に到達したときのウエハチャック34の高さ位置H1と、上述のコンタクト位置検出工程で検出したコンタクト位置H0との差分をオーバードライブ量Dとして算出する。
Claims (3)
- ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックに対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間に内部空間が形成された状態において、前記内部空間の減圧を複数のステップに分けて段階的に減圧するステップ減圧を行う減圧手段と、
前記ステップ減圧が行われているときに前記ウエハチャックの高さ位置をステップ毎に検出する高さ位置検出手段と、
前記高さ位置検出手段の検出結果に基づき、前記プローブと前記電極パッドとが接触したときのオーバードライブ量を算出するオーバードライブ量算出手段と、
を備えるプローバ。 - 前記オーバードライブ量算出手段は、前記ステップ減圧が行われたときに1ステップあたりの前記ウエハチャックの高さ位置に変化が生じたときの前記ウエハチャックの高さ位置を、前記プローブと前記電極パッドとが接触し始めたコンタクト位置と判断して、前記コンタクト位置を基準位置として前記オーバードライブ量を算出する、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記高さ位置検出手段は、前記ウエハチャックから離れた位置に配置された非接触式の距離センサである、
請求項1又は2に記載のプローバ。
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