JP2022084452A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工装置の内部のパーティクル及びミストの四散を抑制し、加工装置の内部における熱の蓄積を抑制する、技術を提供する。【解決手段】加工装置は、チャックと、内部筐体と、工具駆動ユニット、外部筐体と、排気部と、を備える。前記チャックは、基板を保持する。前記内部筐体は、前記チャックと、前記チャックで保持された前記基板と、前記基板を加工する加工工具と、を収容する。前記工具駆動ユニットは、前記加工工具を駆動する。前記外部筐体は、前記内部筐体と前記工具駆動ユニットを収容する。前記排気部は、前記外部筐体の内部であって前記内部筐体の外部に排気口を含み、前記排気口から前記外部筐体の外部に気体を排出する。【選択図】図1
Description
本開示は、加工装置に関する。
特許文献1に記載の加工装置は、第1搬送ユニットと、位置調整機構と、第2搬送ユニットと、ターンテーブルと、チャックテーブルと、工具駆動ユニットと、洗浄機構とを備える。第1搬送ユニットは、カセットから位置調整機構に基板を搬送する。位置調整機構は、基板の位置を調整する。第2搬送ユニットは、位置調整機構からターンテーブル上のチャックテーブルに基板を搬送する。チャックテーブルが基板を吸引保持すると、ターンテーブルが回転し、基板が工具駆動ユニットの下方に配置される。工具駆動ユニットは、研削ホイールで基板を研削する。第2搬送ユニットは、研削後の基板を吸引保持して旋回し、洗浄機構に搬送する。洗浄機構は、研削後の基板を洗浄する。第1搬送ユニットは、洗浄後の基板を洗浄機構からカセットに搬送する。
本開示の一態様は、加工装置の内部のパーティクル及びミストの四散を抑制し、加工装置の内部における熱の蓄積を抑制する、技術を提供する。
本開示の一態様に係る加工装置は、チャックと、内部筐体と、工具駆動ユニット、外部筐体と、排気部と、を備える。前記チャックは、基板を保持する。前記内部筐体は、前記チャックと、前記チャックで保持された前記基板と、前記基板を加工する加工工具と、を収容する。前記工具駆動ユニットは、前記加工工具を駆動する。前記外部筐体は、前記内部筐体と前記工具駆動ユニットを収容する。前記排気部は、前記外部筐体の内部であって前記内部筐体の外部に排気口を含み、前記排気口から前記外部筐体の外部に気体を排出する。
本開示の一態様によれば、排気部によって気体と共にミスト及びパーティクルを排出することで、ミスト及びパーティクルの四散を抑制できる。また、排気部によって気体と共に熱を排出することで、熱の蓄積を抑制できる。
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図面において同一の又は対応する構成には同一の符号を付し、説明を省略することがある。本明細書において、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向は互いに垂直な方向である。X軸方向およびY軸方向は水平方向、Z軸方向は鉛直方向である。
図1~図3を参照して、本実施形態に係る研削装置1について説明する。研削は、研磨を含む。なお、本開示の加工装置は、研削装置1には限定されず、例えば切削装置などであってもよい。加工装置は、加工工具を用いて基板を加工するものであればよい。加工工具として、研削工具、又は切削工具などが用いられる。
研削装置1は、基板Wを研削する。基板Wは、シリコンウェハ若しくは化合物半導体ウェハ等の半導体基板、又はガラス基板を含む。基板Wは、半導体基板又はガラス基板の表面に形成されるデバイス層を更に含んでもよい。デバイス層は、電子回路を含む。また、基板Wは、複数の基板を接合した重合基板であってもよい。研削装置1は、例えば、回転テーブル10と、回転機構11と、4つのチャック20と、3つの工具駆動ユニット30と、を備える。
回転テーブル10は、4つのチャック20を回転中心線R1の周りに保持し、回転中心線R1を中心に回転する。回転機構11が、回転テーブル10を回転させる。上方から見て、回転テーブル10の回転方向は、時計回り方向と、反時計回り方向とに切り替えられる。
4つのチャック20は、回転テーブル10の回転中心線R1の周りに等間隔で配置される。各チャック20は、回転テーブル10と共に回転し、着脱位置A0と、1次研削位置A1と、2次研削位置A2と、3次研削位置A3と、着脱位置A0とにこの順番で移動する。
着脱位置A0は、チャック20に対する基板Wの着脱が行われる位置であり、基板Wの装着が行われる位置と、基板Wの脱離が行われる位置とを兼ねる。1次研削位置A1は、基板Wの1次研削が行われる位置である。2次研削位置A2は、基板Wの2次研削が行われる位置である。3次研削位置A3は、基板Wの3次研削が行われる位置である。
4つのチャック20は、それぞれの回転中心線R2を中心に回転自在に、回転テーブル10に取り付けられる。チャック20毎に、不図示のモータなどが設けられる。モータの回転駆動力は、タイミングベルト等を介してチャック20に伝達される。タイミングベルトの代わりに、ギヤが用いられてもよい。
1つの工具駆動ユニット30は、1次研削用の研削工具Dを駆動する。工具駆動ユニット30は、研削工具Dを回転させたり、昇降させたりする。別の工具駆動ユニット30は、2次研削用の研削工具Dを駆動する。残りの工具駆動ユニット30は、3次研削用の研削工具Dを駆動する。
次に、図4を参照して工具駆動ユニット30について説明する。工具駆動ユニット30は、研削工具Dが装着される可動部31を含む。研削工具Dは、基板Wに押し当てられ、基板Wを研削する。研削工具Dは、例えば円盤状の研削ホイールD1と、研削ホイールD1の下面にリング状に配列される複数の砥石D2と、を含む。
可動部31は、研削工具Dが装着されるフランジ32と、フランジ32が下端に設けられるスピンドル軸33と、スピンドル軸33を回転させるスピンドルモータ34と、を有する。フランジ32は水平に配置され、その下面に研削工具Dが装着される。スピンドル軸33は鉛直に配置される。スピンドルモータ34は、スピンドル軸33を回転し、フランジ32に装着された研削工具Dを回転させる。研削工具Dの回転中心線R3は、スピンドル軸33の回転中心線である。
工具駆動ユニット30は、更に、可動部31を昇降させる昇降部35を有する。昇降部35は、例えば、鉛直なZ軸ガイド36と、Z軸ガイド36に沿って移動するZ軸スライダ37と、Z軸スライダ37を移動させるZ軸モータ38と、を有する。Z軸スライダ37には可動部31が固定され、Z軸スライダ37と共に可動部31及び研削工具Dが昇降する。昇降部35は、研削工具Dの位置を検出する位置検出器39を更に有する。位置検出器39は、例えばZ軸モータ38の回転を検出し、研削工具Dの位置を検出する。
昇降部35は、研削工具Dを待機位置から下降させる。研削工具Dは、下降しながら回転し、回転する基板Wの上面と接触し、基板Wの上面全体を研削する。基板Wの厚みが設定値に達すると、昇降部35は研削工具Dの下降を停止する。その後、昇降部35は、研削工具Dを待機位置まで上昇させる。
研削装置1は、内部筐体40を備える。内部筐体40は、チャック20と、チャック20で保持された基板Wと、基板Wを研削する研削工具Dと、収容する。内部筐体40は、研削屑及び研削液が外部に飛散するのを抑制する。研削屑は、基板Wの研削によって生じる粉又は破片である。内部筐体40は、回転テーブル10をも収容してもよい。
図3に示すように、研削装置1は、内部筐体40の内部を、回転テーブル10の回転中心線R1の周りに複数の部屋に仕切る固定仕切壁45を備える。固定仕切壁45は、内部筐体40の上面パネルの下面に固定される。固定仕切壁45は、上方から見て、固定仕切壁45は、回転テーブル10の径方向(回転中心線R1に直交する方向)に延びている。
固定仕切壁45は、例えば、十字状に設けられ、内部筐体40の内部を、回転テーブル10の回転中心線R1の周りに4つの部屋B0~B3に仕切る。3つの部屋B1~B3は、基板Wの研削が行われる研削室である。B1は1次研削室であり、B2は2次研削室であり、B3は3次研削室である。残り1つの部屋B0は、チャック20に対する基板Wの着脱が行われる着脱室である。
上方から見て、内部筐体40の内部は、反時計回り方向に、着脱室B0と、1次研削室B1と、2次研削室B2と、3次研削室B3とにこの順番で仕切られている。なお、4つの部屋B0~B3の順番は逆でもよく、上方から見て、内部筐体40の内部は、時計回り方向に、着脱室B0と、1次研削室B1と、2次研削室B2と、3次研削室B3とにこの順番で仕切られていてもよい。
図5に示すように、研削装置1は、回転テーブル10と共に回転する複数の回転仕切壁15を備える。複数の回転仕切壁15は、それぞれ、回転テーブル10の周方向に隣り合う複数のチャック20の間に位置し、回転テーブル10と共に回転し、固定仕切壁45の真下で停止し、固定仕切壁45の下端部と接触する。固定仕切壁45と回転仕切壁15は、互いに隣り合う部屋間での、研削屑及び研削液の移動を抑制する。なお、回転仕切壁15の上端部と、固定仕切壁45の下端部とは、接触しなくてもよい。
図1などに示すように、研削装置1は、1次研削室B1と2次研削室B2と3次研削室B3とのそれぞれに、基板Wに対して研削液を供給する研削液ノズル50を備える。研削液ノズル50は、研削液を供給する。研削液は、例えば、DIW(Deionized Water)等の純水である。研削液は、基板Wと研削工具Dの間に入り込み、研削抵抗を減らし、熱の発生を抑制する。
研削装置1は、着脱室B0に、基板洗浄部51と、チャック洗浄部52と、を備える。基板洗浄部51は、チャック20から脱離する前に、研削後の基板Wを洗浄液で洗浄する。また、チャック洗浄部52は、基板Wの脱離後、次の基板Wの装着前に、チャック20の上面を洗浄液で洗浄する。洗浄液は、例えば、DIW等の純水である。
基板洗浄部51は、チャック20と共に回転する基板Wの上面に洗浄液を供給する。洗浄液は、遠心力によって基板Wの上面全体に濡れ広がり、基板Wの上面に付いたパーティクルを洗い流す。基板洗浄部51は、例えば洗浄液を吐出するノズルを含む。ノズルは、回転する基板Wの上方にて、基板Wの径方向に移動してもよい。
チャック洗浄部52は、回転するチャック20の上面に洗浄液を供給する。洗浄液は、遠心力によってチャック20の上面全体に濡れ広がり、チャック20の上面に付いたパーティクルを洗い流す。チャック洗浄部52は、例えば洗浄液を吐出するノズルを含む。ノズルは、回転するチャック20の上方にて、チャック20の径方向に移動してもよい。
チャック洗浄部52は、回転するチャック20の上面を摩擦して洗浄する摩擦体を含んでもよい。摩擦体は、例えばブラシ、スポンジ、又は砥石等である。ブラシ、スポンジ、及び砥石から選ばれる2つ以上が用いられてもよい。摩擦体は、回転するチャック20の上を、チャック20の径方向に移動してもよい。
内部筐体40は、例えば、第1上面パネル41Aと、第2上面パネル41Bと、4枚の側面パネル42A、42B、42C、42Dと、を含む。第1上面パネル41Aは、1次研削室B1、2次研削室B2及び3次研削室B3の上方を覆う。第2上面パネル41Bは、着脱室B0の上方を覆う。4枚の側面パネル42A、42B、42C、42Dは、着脱室B0、1次研削室B1、2次研削室B2及び3次研削室B3の側方を覆う。内部筐体40は、その下部に、不図示の回収パンを含む。回収パンは、研削屑及び研削液を回収する。
第1上面パネル41Aは、水平に設けられる。第1上面パネル41Aには、可動部31の挿入口41aが形成される。第1上面パネル41Aは、上方から見て、矩形の一角をL字状に切り欠いた形状を有する。その切り欠いた位置に、第2上面パネル41Bが設けられる。
第2上面パネル41Bは、着脱室B0の上方を覆う。第2上面パネル41Bが無い場合、つまり、着脱室B0が上方に開放されている場合に比べて、着脱室B0から上方へのミスト及びパーティクルの流出を防止できる。
第2上面パネル41Bは、第1上面パネル41Aと同じ高さに配置され、連続的に設けられる。但し、第2上面パネル41Bは、第1上面パネル41Aとは分離されており、取り外し可能である。第2上面パネル41Bを取り外せば、着脱室B0を開放でき、メンテナンスの作業性を向上できる。
1次研削室B1、2次研削室B2及び3次研削室B3では、基板Wの研削が行われる。そこで、第1上面パネル41Aは、金属で形成される。金属は、研削屑の衝突によって傷付き難く、耐久性に優れている。金属は、不透明である。
一方、着脱室B0では、基板Wの研削が行われない。そこで、第2上面パネル41Bは、例えば樹脂で形成される。樹脂は、金属よりも耐久性に劣る反面、透視性に優れている。第2上面パネル41Bが透明であれば、第2上面パネル41Bの上から、チャック20の上面等を視認できる。
着脱室B0では、1次研削室B1等とは異なり、チャック20又は基板Wの洗浄が行われる。その結果、洗浄液の液滴が、飛散し、第2上面パネル41Bの下面に付着する。付着した液滴は、研削屑等のパーティクルを含んでいる。
図2に示すように、第2上面パネル41Bの下面は、斜め下向きに傾斜していてもよい。第2上面パネル41Bの下面は、例えば着脱室B0と3次研削室B3の境界である固定仕切壁45から離れるほど、下方に傾斜する。その傾斜によって、液滴が第2上面パネル41Bの下面に付着したまま斜め下向きに流れる。液滴がチャック20の吸着面に落下するのを抑制でき、吸着面が汚れるのを抑制できる。清浄な吸着面の上に基板Wを載置でき、パーティクルの噛み込みを抑制できる。それゆえ、基板Wを平坦に研削でき、基板Wの厚み偏差(TTV:Total Thickness Variation)の悪化を抑制できる。
図1に示すように、研削装置1は、第2上面パネル41Bの上に排気部60を有してもよい。排気部60はダクトを含む。排気部60のダクトは、研削装置1の外部まで延びており、不図示の吸引源に接続されている。吸引源は、例えば真空ポンプ又はエジェクタである。吸引源は、工場設備の一部であってもよい。排気部60は、吸引源の吸引力によって、着脱室B0から気体を排出する。排気部60のダクトの途中には、排気量を調節するダンパーが設けられてもよい。
排気部60は、内部筐体40の搬送口43から着脱室B0に流れ込む気体を、第2上面パネル41Bの上方に排出する。排気部60は、気体と共にミスト及びパーティクルを排出し、ミスト及びパーティクルの四散を抑制する。また、排気部60は、内部筐体40の搬送口43に一方通行の気体の流れを形成し、パーティクルの流出を抑制する。更に、排気部60は、着脱室B0に上昇気流を形成し、第2上面パネル41Bの下面に付着した液滴又はパーティクルの落下を抑制する。
図3に示すように、研削装置1は、下面洗浄機構53と、洗浄カバー70と、を備えてもよい。下面洗浄機構53は、着脱位置A0の隣の洗浄位置A5で、チャック20から脱離された研削後の基板Wの下面を洗浄する。下面洗浄機構53は、搬送装置2の吸着パッド2aをも洗浄してもよい。
下面洗浄機構53は、例えば基板W又は吸着パッド2aに対して洗浄液を吐出するノズルと、基板W又は吸着パッド2aから洗浄液を除去する乾燥部とを有する。乾燥部は、例えば洗浄液を吸い取る。洗浄カバー70は、内部筐体40に隣接し、下面洗浄機構53を内部に収容する。洗浄カバー70は、内部に洗浄室B5を形成する。
洗浄カバー70は、上面パネル71と、4枚の側面パネル72A、72B、72C、72Dを含む。上面パネル71は、下面洗浄機構53の上方を覆う。上面パネル71は、例えば水平に配置される。一方、側面パネル72A、72B、72C、72Dは、下面洗浄機構53の側方を覆う。側面パネル72A、72B、72C、72Dは、例えば鉛直に配置される。下面洗浄機構53の下方には、不図示の洗浄パンが設けられる。洗浄パンは、洗浄液などを回収する。洗浄カバー70は、洗浄液が外部に飛散するのを抑制する。
洗浄カバー70は、着脱位置A0と洗浄位置A5とを仕切る。具体的には、洗浄カバー70の側面パネル72Bが、着脱位置A0と洗浄位置A5とを仕切る。着脱位置A0から洗浄位置A5へのミスト及びパーティクルの移動を抑制できる。なお、内部筐体40の側面パネル42Aも、着脱位置A0と洗浄位置A5とを仕切る。
研削装置1は、研削装置1の最も外側の面を形成する外部筐体80を備える。外部筐体80は、内部筐体40と、工具駆動ユニット30とを内部に収容する。外部筐体80は、洗浄カバー70をも内部に収容する。外部筐体80は、上面パネル81と、4枚の側面パネル82A、82B、82C、82Dと、を有する。上面パネル81は、水平に配置される。一方、側面パネル82A、82B、82C、82Dは、鉛直に配置される。外部筐体80は、不図示のフレームを含んでもよい。フレームは、柱及び梁などを含む。
図3に示すように、外部筐体80は、その側面に、基板Wの搬送口83を含む。その搬送口83は、側面パネル82Aに形成される。洗浄カバー70は、外部筐体80の搬送口83と、内部筐体40の搬送口43とを結ぶ直線上に、基板Wと気体が通る開口73A、73Bを含む。これら83、73A、73B、43が直線上に並ぶことで、基板Wの搬送、及び気体の移動が容易になる。
研削装置1は、外部筐体80の搬送口83を開閉するシャッタ84を更に有する。シャッタ84は、基本的に搬送口83を閉塞しており、基板Wの通過時に搬送口83を開放する。搬送口83を常時開放する場合に比べて、搬送口83を介してミスト及びパーティクルが流出するのを抑制できる。
シャッタ84が外部筐体80の搬送口83を開放する間、気体は外部筐体80の搬送口83と、洗浄カバー70の開口73B、73Aと、内部筐体40の搬送口43とを通り、着脱室B0に流れ込む。この気体の流れは、一方通行なので、パーティクルの流出を抑制できる。但し、この気体の流れは、シャッタ84が外部筐体80の搬送口83を閉塞すると、遮断される。
そこで、図1に示すように、外部筐体80の搬送口83と、洗浄カバー70の開口73Aとの間には、隙間Gが形成される。隙間Gは、洗浄カバー70の外部から洗浄カバー70の開口73Aに向かう気体の通路を形成する。シャッタ84が外部筐体80の搬送口83を閉塞しても、所望の気体の流れが形成される。気体は、洗浄カバー70の開口73A、73Bと、内部筐体40の搬送口43とを通り、着脱室B0に流れ込む。
図3に示すように、研削装置1は、内部筐体40の側面パネル42A又は42Bに隣接し、気体を排出する排気ボックス61A、61B、61Cを備える。排気ボックス61A、61B、61Cは、排気ダクト62A、62B、62Cに接続されている。排気ダクト62A、62B、62Cは、研削装置1の外部まで延びており、吸引源に接続されている。吸引源は、例えば真空ポンプ又はエジェクタである。吸引源は、工場設備の一部であってもよい。排気ダクト62A、62B、62Cの途中には、排気量を調節するダンパーが設けられてもよい。
排気ボックス61Aは、吸引源の吸引力によって、1次研削室B1から気体を排出する。また、排気ボックス61Bは、吸引源の吸引力によって、2次研削室B2から気体を排出する。更に、排気ボックス61Cは、吸引源の吸引力によって、3次研削室B3から気体を排出する。1次研削室B1と、2次研削室B2と、3次研削室B3と、着脱室B0との間で、ミスト及びパーティクルが移動するのを抑制できる。
図1に示すように、研削装置1は、排気部63を備える。排気部63は、外部筐体80の内部であって内部筐体40の外部に排気口64を含み、排気口64から外部筐体80の外部に気体を排出する。排気部63は、例えばダクト65を含む。ダクト65の一端に排気口64が設けられる。ダクト65の他端は吸引源に接続されている。吸引源は、例えば真空ポンプ又はエジェクタである。吸引源は、工場設備の一部であってもよい。ダクト65の途中には、排気量を調節するダンパーが設けられてもよい。
吸引源は、複数のダクト(例えば排気部63のダクト65、排気部60のダクト、排気ダクト62A、62B、62C)で共通のものでもよい。これらのダクトは、途中で合流し、共通の吸引源に接続される。複数のダクトの排気量のバランスは、ダンパーによって調節する。
排気部63は、吸引源の吸引力によって、外部筐体80の内部の排気口64から外部筐体80の外部に気体を排出する。排気部63は、内部筐体40から漏出したパーティクル及びミスト、並びに工具駆動ユニット30などの作動時に生じる熱を、気体と共に排出する。よって、外部筐体80の内部を清浄に保ち、ひいては研削装置1が設置されるクリーンルームを清浄に保つことができる。また、外部筐体80の内部における熱の蓄積を抑制でき、温度上昇を抑制できる。
排気部63の排気口64は、外部筐体80の側面パネル82Bに向いており、且つ斜め下向きである。その側面パネル82Bには、後述する吸気口68が設けられる。吸気口68は、外部筐体80の外部の気体を吸入する。排気口64が吸気口68に向いているので、吸気口68によって気体を効率的に吸入でき、また、排気口64によって気体を効率良く排出できる。また、排気口64は、下方にも向いているので、下方からも気体を効率良く排出できる。
排気部63は、排気口64に整流板66を含んでもよい。整流板66は、例えば、パンチングメタルである。パンチングメタルは、金属板に複数の丸穴を配列したものである。整流板66の穴は、丸穴には限定されず、三角穴、四角穴、又は六角穴などの多角穴であってもよい。整流板66によって、所望の方向から気体を効率良く排出できる。
図1に示すように、研削装置1は、給気部67を備える。給気部67は、外部筐体80の外部から内部に気体を供給する。給気部67と排気部63は、工具駆動ユニット30を挟んで対向する。気体は、給気部67から排気部63に向かう途中で、工具駆動ユニット30の熱を吸収する。従って、工具駆動ユニット30の熱を効率的に排出できる。
給気部67は、外部筐体80の側面パネル82Bに設けられた吸気口68を含む。排気部63が外部筐体80の内部から外部に気体を排出し、外部筐体80の内部が負圧になると、自動的に、外気が吸気口68を介して外部筐体80の内部から外部に吸い込まれる。ポンプなどが不要であるので、給気部67の機構を単純化できる。
給気部67は、外部筐体80の外に、吸気口68を覆うフード69を含む。フード69は、下方にのみ開放されており、上方及び側方には閉塞されている。吸気口68は、フード69の下方から外気を吸い込む。それゆえ、重力を利用して、パーティクルの吸い込みを抑制できる。
図3に示すように、外部筐体80は、互いに対向する2枚の側面パネル82A、82Bを含む。側面パネル82Bに吸気口68が形成され、側面パネル82Aに基板Wの搬送口83が形成される。側面パネル82Aの近傍に排気部63が設けられる。上方から見たときに、排気部63は、側面パネル82Aと内部筐体40との間に設けられる。例えば、排気部63は、洗浄カバー70の真上に設けられる。
研削装置1は、制御部90を備える。制御部90は、例えばコンピュータであり、CPU(Central Processing Unit)91と、メモリ等の記憶媒体92とを備える。記憶媒体92には、研削装置1において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部90は、記憶媒体92に記憶されたプログラムをCPU91に実行させることにより、研削装置1の動作を制御する。
以上、本開示に係る研削装置について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、および組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。
1 研削装置(加工装置)
20 チャック
30 工具駆動ユニット
40 内部筐体
63 排気部
64 排気口
80 外部筐体
D 研削工具(加工工具)
W 基板
20 チャック
30 工具駆動ユニット
40 内部筐体
63 排気部
64 排気口
80 外部筐体
D 研削工具(加工工具)
W 基板
Claims (15)
- 基板を保持するチャックと、
前記チャックと、前記チャックで保持された前記基板と、前記基板を加工する加工工具と、を収容する内部筐体と、
前記加工工具を駆動する工具駆動ユニットと、
前記内部筐体と前記工具駆動ユニットを収容する外部筐体と、
前記外部筐体の内部であって前記内部筐体の外部に排気口を含み、前記排気口から前記外部筐体の外部に気体を排出する排気部と、
を備える、加工装置。 - 前記外部筐体の外部から内部に気体を供給する給気部を備え、
前記給気部と前記排気部は、前記工具駆動ユニットを挟んで対向する、請求項1に記載の加工装置。 - 前記給気部は、前記外部筐体の側面に設けられた吸気口を含む、請求項2に記載の加工装置。
- 前記給気部は、前記外部筐体の外に、前記吸気口を覆うフードを含む、請求項3に記載の加工装置。
- 前記排気部の前記排気口は、前記外部筐体の前記側面に向いており、且つ斜め下向きである、請求項3又は4に記載の加工装置。
- 前記排気部は、前記排気口に整流板を含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の加工装置。
- 複数の前記チャックを回転中心線の周りに保持し、前記回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転し、前記チャックに対する前記基板の着脱が行われる着脱位置と、前記チャックに吸着した前記基板の加工が行われる加工位置との間で前記チャックを移動させる回転機構と、
を備える、請求項1~6のいずれか1項に記載の加工装置。 - 前記内部筐体は、前記加工位置の上方を覆う第1上面パネルと、前記着脱位置の上方を覆う第2上面パネルと、を含む、請求項7に記載の加工装置。
- 前記内部筐体の前記第2上面パネルの上に第2排気部を有し、
前記内部筐体の内部の気体を、前記内部筐体の上方に排出する、請求項8に記載の加工装置。 - 前記着脱位置の隣の洗浄位置で、前記チャックから脱離された加工後の前記基板の下面を洗浄する下面洗浄機構と、
前記内部筐体に隣接し、前記下面洗浄機構を内部に収容する洗浄カバーと、を有し、
前記洗浄カバーは、前記着脱位置と前記洗浄位置とを仕切る、請求項9に記載の加工装置。 - 前記外部筐体は、その側面に、前記基板の搬送口を含み、
前記洗浄カバーは、前記外部筐体の前記搬送口と、前記内部筐体の前記搬送口とを結ぶ直線上に、前記基板と前記気体が通る開口を含む、請求項10に記載の加工装置。 - 前記外部筐体の前記搬送口を開閉するシャッタを更に有する、請求項11に記載の加工装置。
- 前記外部筐体の前記搬送口と、前記洗浄カバーの前記開口との間には、隙間が形成され、
前記隙間は、前記洗浄カバーの外部から前記洗浄カバーの前記開口に向かう前記気体の通路を形成する、請求項12に記載の加工装置。 - 前記第2上面パネルは、透明である、請求項8~13のいずれか1項に記載の加工装置。
- 前記第2上面パネルの下面は、斜め下向きに傾斜している、請求項8~14のいずれか1項に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020196354A JP2022084452A (ja) | 2020-11-26 | 2020-11-26 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2020196354A JP2022084452A (ja) | 2020-11-26 | 2020-11-26 | 加工装置 |
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JP2022084452A true JP2022084452A (ja) | 2022-06-07 |
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Family Applications (1)
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JP2020196354A Pending JP2022084452A (ja) | 2020-11-26 | 2020-11-26 | 加工装置 |
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JP (1) | JP2022084452A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024057951A1 (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2020
- 2020-11-26 JP JP2020196354A patent/JP2022084452A/ja active Pending
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