JP2022083199A - Industrial robot - Google Patents

Industrial robot Download PDF

Info

Publication number
JP2022083199A
JP2022083199A JP2020194498A JP2020194498A JP2022083199A JP 2022083199 A JP2022083199 A JP 2022083199A JP 2020194498 A JP2020194498 A JP 2020194498A JP 2020194498 A JP2020194498 A JP 2020194498A JP 2022083199 A JP2022083199 A JP 2022083199A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
wiring holding
holding member
wiring
end side
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020194498A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
隆之 矢澤
Takayuki Yazawa
陽介 高瀬
Yosuke Takase
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Priority to JP2020194498A priority Critical patent/JP2022083199A/en
Priority to KR1020210155692A priority patent/KR102536584B1/en
Priority to CN202111397431.2A priority patent/CN114538102B/en
Publication of JP2022083199A publication Critical patent/JP2022083199A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0206—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising articulated grippers
    • B25J15/022—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising articulated grippers actuated by articulated links
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00—Controls for manipulators
    • B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

To provide an industrial robot capable of preventing a plurality of wires from contacting each other at a connection part between an arm and a support arm, with a simple configuration, even if the plurality of wires is pulled around from a tip side of the support arm toward a tip side of the arm.SOLUTION: In the industrial robot, a wire holding structure 23, which holds a plurality of wires 22, at a connection part between an arm 6 and a support arm, comprises: a wire holding member 24 mounted on a tip side of the support arm; a wire holding member 25 mounted on a base end side of the arm 6; and a guide member 28 mounted on the tip side of the support arm and arranged between the wire holding member 24 and the wire holding member 25 in a pulling-around direction of the wires 22. The plurality of wires 22 overlapped with each other with an interval in a vertical direction is held on the wire holding members 24 and 25, and the guide member 28a is formed with a plurality of guide grooves arranged with the plurality of wires 22 vertically overlapped with each other with an interval.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、たとえば、搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to, for example, an industrial robot that conveys an object to be conveyed.

従来、真空中でガラス基板を搬送する水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される２個のハンドと、２個のハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアームと、２個のアームの基端側が回動可能に連結される共通アームと、共通アームが回動可能に連結される本体部とを備えている。アームと共通アームとの連結部分である関節部には、減速機が配置されている。減速機は、中空波動歯車装置である。 Conventionally, a horizontal articulated industrial robot that conveys a glass substrate in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes two hands on which a glass substrate is mounted, two arms in which each of the two hands is rotatably connected to the tip side, and two arms. A common arm to which the base end side of the robot is rotatably connected and a main body portion to which the common arm is rotatably connected are provided. A speed reducer is arranged at the joint portion which is the connecting portion between the arm and the common arm. The reducer is a hollow wave gearing device.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、減速機は、略円筒状に形成される出力軸を備えている。減速機の出力軸の上端部には、アームの基端側の下端部が固定されている。ハンド、アームおよび共通アームは、真空チャンバーの中に配置されている。中空状に形成されるアームの内部は真空となっており、中空状に形成される共通アームの内部は大気圧となっている。減速機の出力軸の内周側には、真空になっているアームの内部領域と、大気圧になっている共通アームの内部領域とを隔てるための円板状の蓋が固定されている。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the speed reducer includes an output shaft formed in a substantially cylindrical shape. The lower end on the base end side of the arm is fixed to the upper end of the output shaft of the reducer. The hand, arm and common arm are located in a vacuum chamber. The inside of the hollow arm is evacuated, and the inside of the hollow common arm is atmospheric pressure. On the inner peripheral side of the output shaft of the reducer, a disk-shaped lid for separating the internal region of the arm that is in vacuum and the internal region of the common arm that is in atmospheric pressure is fixed.

特開２０１８－１５８３９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-15389

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、たとえば、ハンドに取り付けられるセンサ等に接続される２本の配線が、共通アームの先端側からアームの先端側に向かって引き回されることがある。この産業用ロボットの使用時には、共通アームに対してアームが何度も回動するため、共通アームに対してアームが回動したときに、アームと共通アームとの連結部分となる関節部において２本の配線同士が不規則に接触すると、配線が損傷するおそれがある。したがって、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームと共通アームとの連結部分となる関節部において、２本の配線同士の接触が防止されていることが好ましい。 In the industrial robot described in Patent Document 1, for example, two wires connected to a sensor or the like attached to a hand may be routed from the tip end side of the common arm toward the tip end side of the arm. When this industrial robot is used, the arm rotates with respect to the common arm many times. Therefore, when the arm rotates with respect to the common arm, the joint portion that becomes the connecting portion between the arm and the common arm 2 Irregular contact between the wiring of books can damage the wiring. Therefore, in the industrial robot described in Patent Document 1, it is preferable that the two wirings are prevented from coming into contact with each other at the joint portion that is the connecting portion between the arm and the common arm.

そこで、本発明の課題は、アームとアームの基端側が先端側に回動可能に連結される支持アームとを備える産業用ロボットにおいて、支持アームの先端側からアームの先端側に向かって複数本の配線が引き回されていても、アームと支持アームとの連結部分となる関節部での複数本の配線同士の接触を簡易な構成で防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is that in an industrial robot including an arm and a support arm in which the base end side of the arm is rotatably connected to the tip end side, a plurality of robots are provided from the tip end side of the support arm toward the tip end side of the arm. We decided to provide an industrial robot that can prevent contact between multiple wires at the joint that connects the arm and the support arm with a simple configuration even if the wires are routed. be.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、アームと、アームの基端側が先端側に回動可能に連結される支持アームと、少なくとも支持アームの先端側からアームの先端側に向かって引き回される複数本の配線と、アームと支持アームとの連結部分である関節部において複数本の配線を保持する配線保持構造とを備え、配線保持構造は、支持アームに対するアームの回動の軸方向である回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の配線を保持する第１配線保持部材および第２配線保持部材と、支持アームに対するアームの回動動作に伴って曲がる複数本の配線の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材とを備え、第１配線保持部材は、支持アームの先端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置され、第２配線保持部材は、アームの基端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置され、ガイド部材は、支持アームの先端側に取り付けられ回動軸方向におけるアームの一方側に配置されるとともに配線の引き回し方向において第１配線保持部材と第２配線保持部材との間に配置され、ガイド部材の外周面には、回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の配線のそれぞれが配置される複数のガイド溝が形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention has an arm, a support arm in which the base end side of the arm is rotatably connected to the tip side, and at least from the tip end side of the support arm to the tip end side of the arm. It is provided with a plurality of wires routed toward the wire and a wiring holding structure for holding the plurality of wires at a joint portion connecting the arm and the support arm, and the wiring holding structure is a rotation of the arm with respect to the support arm. The first wiring holding member and the second wiring holding member that hold a plurality of overlapping wires at intervals in the rotation axis direction, which is the axial direction of motion, and the second wiring holding member bend as the arm rotates with respect to the support arm. A guide member for defining the magnitude of the radius of curvature of a plurality of wires is provided, and the first wire holding member is attached to the tip end side of the support arm and arranged on one side of the arm in the rotation axis direction. The second wiring holding member is attached to the base end side of the arm and is arranged on one side of the arm in the rotation axis direction, and the guide member is attached to the tip end side of the support arm and is attached to one side of the arm in the rotation axis direction. A plurality of wires are arranged between the first wiring holding member and the second wiring holding member in the wiring routing direction, and are overlapped on the outer peripheral surface of the guide member at intervals in the rotation axis direction. It is characterized in that a plurality of guide grooves are formed in which each of the wirings of the above is arranged.

本発明において、たとえば、配線保持構造は、支持アームに対するアームの回動方向の一方側へアームが回動したときの複数本の配線の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材と、支持アームに対するアームの回動方向の他方側へアームが回動したときの複数本の配線の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材とを備えている。 In the present invention, for example, the wiring holding structure includes a guide member for defining the size of the radius of curvature of a plurality of wirings when the arm rotates to one side in the rotation direction of the arm with respect to the support arm, and a support. It is provided with a guide member for defining the size of the radius of curvature of a plurality of wires when the arm is rotated to the other side in the rotation direction of the arm with respect to the arm.

本発明の産業用ロボットでは、アームと支持アームとの連結部分である関節部において複数本の配線を保持する配線保持構造は、支持アームの先端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置される第１配線保持部材と、アームの基端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置される第２配線保持部材と、支持アームの先端側に取り付けられ回動軸方向におけるアームの一方側に配置されるとともに配線の引き回し方向において第１配線保持部材と第２配線保持部材との間に配置されるガイド部材とを備えている。 In the industrial robot of the present invention, the wiring holding structure for holding a plurality of wires at the joint portion which is the connecting portion between the arm and the support arm is attached to the tip end side of the support arm and one of the arms in the rotation axis direction. A first wiring holding member arranged on the side, a second wiring holding member attached to the base end side of the arm and arranged on one side of the arm in the rotation axis direction, and a rotation attached to the tip end side of the support arm. It includes a guide member that is arranged on one side of the arm in the direction of the moving axis and is arranged between the first wiring holding member and the second wiring holding member in the wiring routing direction.

また、本発明では、第１配線保持部材および第２配線保持部材に、回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の配線が保持され、ガイド部材の外周面に、回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の配線のそれぞれが配置される複数のガイド溝が形成されている。そのため、本発明では、支持アームの先端側からアームの先端側に向かって複数本の配線が引き回されていても、関節部での複数本の配線同士の接触を防止することが可能になる。 Further, in the present invention, the first wiring holding member and the second wiring holding member hold a plurality of overlapping wirings at intervals in the rotation axis direction, and the outer peripheral surface of the guide member holds the rotation axis direction. In the above, a plurality of guide grooves are formed in which each of a plurality of overlapping wirings are arranged at intervals. Therefore, in the present invention, even if a plurality of wires are routed from the tip end side of the support arm toward the tip end side of the arm, it is possible to prevent the plurality of wires from coming into contact with each other at the joint portion. ..

また、第１配線保持部材および第２配線保持部材に保持される複数本の配線が回動軸方向に直交する方向で並んでいる場合には、共通のガイド部材によって複数本の配線の曲率半径の大きさを規定することはできず、配線の本数に応じた複数のガイド部材が必要になるが、本発明では、第１配線保持部材および第２配線保持部材に保持される複数本の配線が回動軸方向において間隔をあけた状態で重なっているため、共通のガイド部材によって複数本の配線の曲率半径の大きさを規定することが可能になる。したがって、本発明では、支持アームの先端側からアームの先端側に向かって複数本の配線が引き回されていても、関節部での複数本の配線同士の接触を簡易な構成で防止することが可能になる。 Further, when a plurality of wirings held by the first wiring holding member and the second wiring holding member are lined up in a direction orthogonal to the rotation axis direction, the radius of curvature of the plurality of wirings is provided by a common guide member. It is not possible to specify the size of the wiring, and a plurality of guide members are required according to the number of wirings. However, in the present invention, a plurality of wirings held by the first wiring holding member and the second wiring holding member are required. Since they are overlapped with each other at intervals in the rotation axis direction, it is possible to specify the size of the radius of curvature of a plurality of wires by a common guide member. Therefore, in the present invention, even if a plurality of wires are routed from the tip end side of the support arm toward the tip end side of the arm, contact between the plurality of wires at the joint portion is prevented by a simple configuration. Will be possible.

本発明において、ガイド部材は、回動軸方向から見たときに、支持アームに対するアームの回動中心の近傍に配置されていることが好ましい。このように構成すると、支持アームに対するアームの回動動作に伴って曲がる配線の、曲がった部分に負荷がかかりにくくなる。したがって、支持アームに対するアームの回動動作に伴って何度も曲がる配線の、アームの回動動作に起因する劣化を抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the guide member is arranged in the vicinity of the rotation center of the arm with respect to the support arm when viewed from the rotation axis direction. With this configuration, the load is less likely to be applied to the bent portion of the wiring that bends as the arm rotates with respect to the support arm. Therefore, it is possible to suppress deterioration of the wiring that bends many times with the rotation operation of the arm with respect to the support arm due to the rotation operation of the arm.

本発明において、配線の引き回し方向における第２配線保持部材とガイド部材との距離は、配線の引き回し方向における第１配線保持部材とガイド部材との距離よりも長くなっていることが好ましい。このように構成すると、支持アームに対するアームの回動動作に伴って曲がる配線の、曲がった部分に負荷がかかりにくくなる。したがって、支持アームに対するアームの回動動作に伴って何度も曲がる配線の、アームの回動動作に起因する劣化を抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the distance between the second wiring holding member and the guide member in the wiring routing direction is longer than the distance between the first wiring holding member and the guide member in the wiring routing direction. With this configuration, the load is less likely to be applied to the bent portion of the wiring that bends as the arm rotates with respect to the support arm. Therefore, it is possible to suppress deterioration of the wiring that bends many times with the rotation operation of the arm with respect to the support arm due to the rotation operation of the arm.

本発明において、配線保持構造は、回動軸方向に直交する方向に並ぶ複数本の配線を保持する第３配線保持部材および第４配線保持部材を備え、第３配線保持部材は、支持アームの先端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置され、第４配線保持部材は、アームの基端側に取り付けられるとともに回動軸方向におけるアームの一方側に配置され、配線の引き回し方向において第３配線保持部材と第４配線保持部材との間に第１配線保持部材、第２配線保持部材およびガイド部材が配置されていることが好ましい。 In the present invention, the wiring holding structure includes a third wiring holding member and a fourth wiring holding member for holding a plurality of wires arranged in a direction orthogonal to the rotation axis direction, and the third wiring holding member is a support arm. The fourth wiring holding member is attached to the tip end side and arranged on one side of the arm in the rotation axis direction, and the fourth wiring holding member is attached to the base end side of the arm and arranged on one side of the arm in the rotation axis direction. It is preferable that the first wiring holding member, the second wiring holding member, and the guide member are arranged between the third wiring holding member and the fourth wiring holding member in the routing direction.

このように構成すると、配線の引き回し方向における第３配線保持部材および第４配線保持部材の外側では、複数本の配線を、回動軸方向に直交する方向に並べた状態で引き回すことが可能になる。したがって、配線の引き回し方向における第３配線保持部材および第４配線保持部材の外側において複数本の配線が回動軸方向に重なった状態で引き回される場合と比較して、複数本の配線をコンパクトに引き回すことが可能になる。 With this configuration, it is possible to route a plurality of wires in a state of being arranged in a direction orthogonal to the rotation axis direction on the outside of the third wiring holding member and the fourth wiring holding member in the wiring routing direction. Become. Therefore, as compared with the case where a plurality of wirings are routed in a state where the plurality of wirings are overlapped in the rotation axis direction outside the third wiring holding member and the fourth wiring holding member in the wiring routing direction, the plurality of wirings are laid out. It becomes possible to route it compactly.

以上のように、本発明では、アームとアームの基端側が先端側に回動可能に連結される支持アームとを備える産業用ロボットにおいて、支持アームの先端側からアームの先端側に向かって複数本の配線が引き回されていても、アームと支持アームとの連結部分となる関節部での複数本の配線同士の接触を簡易な構成で防止することが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot including an arm and a support arm in which the base end side of the arm is rotatably connected to the tip end side, a plurality of pieces are provided from the tip end side of the support arm toward the tip end side of the arm. Even if the wiring of the book is routed, it is possible to prevent contact between the plurality of wirings at the joint portion that is the connecting portion between the arm and the support arm with a simple configuration.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す関節部の平面図である。It is a top view of the joint part shown in FIG. 図３に示す配線保持構造の構成を説明するための側面図である。It is a side view for demonstrating the structure of the wiring holding structure shown in FIG. 図４のＥ部の拡大図である。It is an enlarged view of the E part of FIG. 図３のＦ部の拡大図である。It is an enlarged view of the F part of FIG. （Ａ）は図３のＧ－Ｇ方向から第１配線保持部材および配線を示す図であり、（Ｂ）は図３のＨ－Ｈ方向から第３配線保持部材および配線を示す図である。(A) is a figure which shows the 1st wiring holding member and wiring from the GG direction of FIG. 3, and (B) is a figure which shows the 3rd wiring holding member and wiring from the HH direction of FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。 (Overall configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、真空中で使用されるロボットである。具体的には、ロボット１は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を真空中で搬送する水平多関節型のロボットである。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド４、５と、２個のハンド４、５のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアーム６、７と、２個のアーム６、７の基端側が回動可能に連結される支持アームとしての共通アーム８と、共通アーム８が回動可能に連結される本体部９とを備えている。 The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as "robot 1") is a robot used in a vacuum. Specifically, the robot 1 is a horizontal articulated robot that transports a glass substrate 2 for a liquid crystal display (hereinafter, referred to as “substrate 2”), which is an object to be transported, in a vacuum. The robot 1 includes two hands 4, 5 on which the substrate 2 is mounted, two arms 6, 7, and two arms 6, 7, each of which is rotatably connected to the tip side of the two hands 4, 5. A common arm 8 as a support arm to which the base end sides of the arms 6 and 7 are rotatably connected and a main body portion 9 to which the common arm 8 is rotatably connected are provided.

ハンド４は、アーム６の先端側に回動可能に連結され、ハンド５は、アーム７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４は、ハンド５よりも下側に配置されている。アーム６は、ハンド４よりも下側に配置されている。アーム７は、ハンド５よりも上側に配置されている。共通アーム８は、アーム６よりも下側に配置されている。本体部９は、共通アーム８よりも下側に配置されている。 The hand 4 is rotatably connected to the tip end side of the arm 6, and the hand 5 is rotatably connected to the tip end side of the arm 7. The hand 4 is arranged below the hand 5. The arm 6 is arranged below the hand 4. The arm 7 is arranged above the hand 5. The common arm 8 is arranged below the arm 6. The main body 9 is arranged below the common arm 8.

本体部９は、共通アーム８の基端部８ａが固定される回動軸と、上下方向を回動の軸方向として回動軸を回動させる回動機構と、回動軸および回動機構と一緒に共通アーム８を昇降させる昇降機構と、回動機構や昇降機構が収容される有底円筒状のケース体１１とを備えている。ケース体１１の上端の開口は、蓋体１２によって覆われている。蓋体１２には、ケース体１１の径方向の外側に広がる鍔部１２ａが形成されている。 The main body 9 includes a rotation shaft to which the base end portion 8a of the common arm 8 is fixed, a rotation mechanism that rotates the rotation shaft with the vertical direction as the axis direction of rotation, and a rotation shaft and a rotation mechanism. It is provided with an elevating mechanism for raising and lowering the common arm 8 together with the case body 11 having a bottomed cylindrical shape in which the rotating mechanism and the elevating mechanism are housed. The opening at the upper end of the case body 11 is covered with the lid body 12. The lid body 12 is formed with a flange portion 12a that extends outward in the radial direction of the case body 11.

上述のように、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。ロボット１は、真空チャンバー１３に取り付けられて使用される。図２に示すように、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空チャンバー１３の中に配置されている。すなわち、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空中に配置されており、ハンド４、５、アーム６、７および共通アーム８は、真空中に配置されている。一方、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも下側の部分は、大気中に配置されている。 As described above, the robot 1 conveys the substrate 2 in a vacuum. The robot 1 is attached to the vacuum chamber 13 and used. As shown in FIG. 2, a portion of the robot 1 above the lower surface of the flange portion 12a is arranged in the vacuum chamber 13. That is, the portion of the robot 1 above the lower surface of the flange portion 12a is arranged in a vacuum, and the hands 4, 5, the arms 6, 7 and the common arm 8 are arranged in a vacuum. On the other hand, the portion of the robot 1 below the lower surface of the flange portion 12a is arranged in the atmosphere.

アーム６、７は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。アーム６の長さとアーム７の長さとは等しくなっている。共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されている。また、共通アーム８は、本体部９の回動軸に固定される上述の基端部８ａと、アーム６、７の基端側が回動可能に連結される２個の先端部８ｂと、２個の先端部８ｂのそれぞれと基端部８ａとを繋ぐ２個の連結部８ｃとから構成されている。連結部８ｃは、細長い円筒状に形成されている。 The arms 6 and 7 have an elongated oval shape when viewed from the vertical direction, and are formed in a block shape having a thin vertical thickness. The length of the arm 6 and the length of the arm 7 are equal to each other. The common arm 8 is formed in a substantially V shape. Further, the common arm 8 includes the above-mentioned base end portion 8a fixed to the rotation shaft of the main body portion 9, and two tip end portions 8b to which the base end sides of the arms 6 and 7 are rotatably connected. It is composed of two connecting portions 8c connecting each of the tip portions 8b and the base end portion 8a. The connecting portion 8c is formed in an elongated cylindrical shape.

アーム６と共通アーム８との連結部分は、関節部１６となっている。アーム７と共通アーム８との連結部分は、関節部１７となっている。共通アーム８に対してアーム６、７は、上下方向を回動の軸方向として回動する。すなわち、本形態では、上下方向（鉛直方向）は、共通アーム８に対するアーム６、７の回動の軸方向である回動軸方向となっている。アーム６、７は、中空状に形成されている。中空状に形成されるアーム６、７の内部は真空となっている。共通アーム８は、中空状に形成されている。中空状に形成される共通アーム８の内部は大気圧となっている。また、本体部９の内部（すなわち、ケース体１１の内部）も大気圧となっている。 The connecting portion between the arm 6 and the common arm 8 is a joint portion 16. The connecting portion between the arm 7 and the common arm 8 is a joint portion 17. The arms 6 and 7 rotate with respect to the common arm 8 with the vertical direction as the axial direction of rotation. That is, in this embodiment, the vertical direction (vertical direction) is the rotation axis direction, which is the axis direction of rotation of the arms 6 and 7 with respect to the common arm 8. The arms 6 and 7 are formed in a hollow shape. The inside of the arms 6 and 7 formed in a hollow shape is a vacuum. The common arm 8 is formed in a hollow shape. The inside of the common arm 8 formed in a hollow shape has an atmospheric pressure. Further, the inside of the main body 9 (that is, the inside of the case 11) is also at atmospheric pressure.

ロボット１は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させる駆動機構と、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させる駆動機構とを備えている。駆動機構は、上述の特許文献１に記載された産業用ロボットの駆動機構と同様に構成されており、駆動機構の構成は公知の構成であるため、駆動機構の説明は省略する。 The robot 1 has a drive mechanism that rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and rotates the arm 6 with respect to the common arm 8, and a drive mechanism that rotates the hand 5 with respect to the arm 7 and with respect to the common arm 8. It is equipped with a drive mechanism for rotating the arm 7. Since the drive mechanism is configured in the same manner as the drive mechanism of the industrial robot described in Patent Document 1 above, and the configuration of the drive mechanism is a known configuration, the description of the drive mechanism will be omitted.

なお、アーム６の基端側の内部には、駆動機構の一部を構成するプーリが配置されており、このプーリは、固定部材１８を介して共通アーム８の一方の先端部８ｂに固定されている。固定部材１８は、アーム６および共通アーム８の外部に配置されている。固定部材１８は、一方の先端部８ｂに固定される側面部１８ａと、側面部１８ａの上端に繋がる平板状の上面部１８ｂとから構成されている。上面部１８ｂは、上面部１８ｂの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、上面部１８ｂは、アーム６の基端部の上側に配置されている。 A pulley that constitutes a part of the drive mechanism is arranged inside the base end side of the arm 6, and this pulley is fixed to one tip portion 8b of the common arm 8 via a fixing member 18. ing. The fixing member 18 is arranged outside the arm 6 and the common arm 8. The fixing member 18 is composed of a side surface portion 18a fixed to one of the tip portions 8b and a flat plate-shaped upper surface portion 18b connected to the upper end of the side surface portion 18a. The upper surface portion 18b is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the upper surface portion 18b coincide with each other. Further, the upper surface portion 18b is arranged on the upper side of the base end portion of the arm 6.

また、アーム７の基端側の内部にも、駆動機構の一部を構成するプーリが配置されており、このプーリは、固定部材１９を介して共通アーム８の他方の先端部８ｂに固定されている。固定部材１９は、アーム７および共通アーム８の外部に配置されている。固定部材１９は、他方の先端部８ｂに固定される側面部１９ａと、側面部１９ａの上端に繋がる平板状の上面部１９ｂとから構成されている。上面部１９ｂは、上面部１９ｂの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、上面部１９ｂは、アーム７の基端部の上側に配置されている。 Further, a pulley forming a part of the drive mechanism is also arranged inside the base end side of the arm 7, and this pulley is fixed to the other tip portion 8b of the common arm 8 via the fixing member 19. ing. The fixing member 19 is arranged outside the arm 7 and the common arm 8. The fixing member 19 is composed of a side surface portion 19a fixed to the other tip portion 8b and a flat plate-shaped upper surface portion 19b connected to the upper end of the side surface portion 19a. The upper surface portion 19b is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the upper surface portion 19b coincide with each other. Further, the upper surface portion 19b is arranged on the upper side of the base end portion of the arm 7.

（配線および配線保持構造の構成）
図３は、図１に示す関節部１６の平面図である。図４は、図３に示す配線保持構造２３の構成を説明するための側面図である。図５は、図４のＥ部の拡大図である。図６は、図３のＦ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図３のＧ－Ｇ方向から配線保持部材２４および配線２２を示す図であり、図７（Ｂ）は、図３のＨ－Ｈ方向から配線保持部材２６および配線２２を示す図である。 (Structure of wiring and wiring holding structure)
FIG. 3 is a plan view of the joint portion 16 shown in FIG. FIG. 4 is a side view for explaining the configuration of the wiring holding structure 23 shown in FIG. FIG. 5 is an enlarged view of part E in FIG. FIG. 6 is an enlarged view of the F portion of FIG. 7 (A) is a diagram showing the wiring holding member 24 and the wiring 22 from the GG direction of FIG. 3, and FIG. 7 (B) is a diagram showing the wiring holding member 26 and the wiring 22 from the HH direction of FIG. It is a figure which shows.

ロボット１は、少なくとも共通アーム８の一方の先端側からアーム６の先端側に向かって引き回される複数本の配線２２と、関節部１６において複数本の配線２２を保持する配線保持構造２３とを備えている。本形態のロボット１は、２本の配線２２を備えており、配線保持構造２３は、２本の配線２２を保持している。なお、図１、図２では、配線２２および配線保持構造２３の図示を省略している。 The robot 1 has a plurality of wirings 22 routed from at least one tip side of the common arm 8 toward the tip end side of the arm 6, and a wiring holding structure 23 for holding the plurality of wirings 22 at the joint portion 16. It is equipped with. The robot 1 of this embodiment includes two wirings 22, and the wiring holding structure 23 holds two wirings 22. In FIGS. 1 and 2, the wiring 22 and the wiring holding structure 23 are not shown.

配線２２の一端は、たとえば、ハンド４に取り付けられるセンサ等に接続されている。配線２２の他端は、たとえば、本体部９に設けられる制御基板に接続されている。すなわち、配線２２は、たとえば、本体部９からアーム６の先端部まで引き回されている。共通アーム８の一方の先端側からアーム６の先端側において、配線２２は、アーム６および共通アーム８の外部を引き回されている。すなわち、共通アーム８の一方の先端側からアーム６の先端側において、配線２２は真空中を引き回されている。本形態の配線２２は、４本の芯線を有する４芯ケーブルである。 One end of the wiring 22 is connected to, for example, a sensor attached to the hand 4. The other end of the wiring 22 is connected to, for example, a control board provided in the main body 9. That is, the wiring 22 is routed from the main body 9 to the tip of the arm 6, for example. From one tip side of the common arm 8 to the tip end side of the arm 6, the wiring 22 is routed around the outside of the arm 6 and the common arm 8. That is, the wiring 22 is routed in a vacuum from one tip side of the common arm 8 to the tip end side of the arm 6. The wiring 22 of this embodiment is a 4-core cable having four core wires.

配線保持構造２３は、上下方向（すなわち、共通アーム８に対するアーム６、７の回動の軸方向である回動軸方向）において間隔をあけた状態で重なる２本の配線２２を保持する２個の配線保持部材２４、２５と、水平方向（すなわち、回動軸方向に直交する方向）に並ぶ２本の配線２２を保持する２個の配線保持部材２６、２７とを備えている。本形態の配線保持部材２４は第１配線保持部材であり、配線保持部材２５は第２配線保持部材であり、配線保持部材２６は第３配線保持部材であり、配線保持部材２７は第４配線保持部材である。 The wiring holding structure 23 holds two wirings 22 that overlap each other at intervals in the vertical direction (that is, the rotation axis direction which is the rotation axis direction of the arms 6 and 7 with respect to the common arm 8). The wiring holding members 24 and 25 are provided, and two wiring holding members 26 and 27 for holding two wirings 22 arranged in the horizontal direction (that is, a direction orthogonal to the rotation axis direction). The wiring holding member 24 of this embodiment is a first wiring holding member, the wiring holding member 25 is a second wiring holding member, the wiring holding member 26 is a third wiring holding member, and the wiring holding member 27 is a fourth wiring. It is a holding member.

また、配線保持構造２３は、共通アーム８に対するアーム６の回動動作に伴って水平方向に曲がる２本の配線２２の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材２８を備えている。具体的には、配線保持構造２３は、共通アーム８に対するアーム６の回動方向の一方側へアーム６が回動したときの２本の配線２２の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材２８と、共通アーム８に対するアーム６の回動方向の他方側へアーム６が回動したときの２本の配線２２の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材２８との２個のガイド部材２８を備えている。 Further, the wiring holding structure 23 includes a guide member 28 for defining the size of the radius of curvature of the two wirings 22 that bend in the horizontal direction as the arm 6 rotates with respect to the common arm 8. Specifically, the wiring holding structure 23 is a guide for defining the magnitude of the radius of curvature of the two wirings 22 when the arm 6 rotates to one side in the rotation direction of the arm 6 with respect to the common arm 8. Two members 28 and a guide member 28 for defining the size of the radius of curvature of the two wirings 22 when the arm 6 rotates to the other side in the rotation direction of the arm 6 with respect to the common arm 8. A guide member 28 is provided.

配線保持部材２４は、共通アーム８の先端側に取り付けられている。また、配線保持部材２４は、アーム６の上側に配置されている。具体的には、配線保持部材２４は、固定部材１８の上面部１８ｂの上面に固定されており、固定部材１８を介して共通アーム８の一方の先端部８ｂに取り付けられている。配線保持部材２４は、共通アーム８に対するアーム６の回動中心ＣＬよりも共通アーム８の先端寄りに配置されている。 The wiring holding member 24 is attached to the tip end side of the common arm 8. Further, the wiring holding member 24 is arranged on the upper side of the arm 6. Specifically, the wiring holding member 24 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 18b of the fixing member 18, and is attached to one tip portion 8b of the common arm 8 via the fixing member 18. The wiring holding member 24 is arranged closer to the tip of the common arm 8 than the rotation center CL of the arm 6 with respect to the common arm 8.

配線保持部材２５は、アーム６の基端側に取り付けられている。また、配線保持部材２５は、アーム６の上側に配置されている。具体的には、配線保持部材２５は、アーム６の上面に固定される固定板２９を介してアーム６の上面に取り付けられている。固定板２９は、平板状の部材を所定形状に折り曲げることで形成されており、ネジによってアーム６の上面に固定されている。配線保持部材２５は、固定板２９の上面に固定されている。配線保持部材２５は、回動中心ＣＬよりもアーム６の先端寄りに配置されている。 The wiring holding member 25 is attached to the base end side of the arm 6. Further, the wiring holding member 25 is arranged on the upper side of the arm 6. Specifically, the wiring holding member 25 is attached to the upper surface of the arm 6 via a fixing plate 29 fixed to the upper surface of the arm 6. The fixing plate 29 is formed by bending a flat plate-shaped member into a predetermined shape, and is fixed to the upper surface of the arm 6 by a screw. The wiring holding member 25 is fixed to the upper surface of the fixing plate 29. The wiring holding member 25 is arranged closer to the tip of the arm 6 than the rotation center CL.

配線保持部材２４、２５は、配線２２が配置される直線状の２本のガイド溝３０ａが形成されるブロック状の溝形成部材３０と、溝形成部材３０が固定されるＬ形状の固定用ブラケット３１とから構成されている（図７（Ａ）参照）。ガイド溝３０ａは、水平方向に伸びる四角溝状に形成されている。２本のガイド溝３０ａは、上下方向において間隔をあけた状態で形成されている。配線保持部材２４の固定用ブラケット３１は、ネジによって上面部１８ｂの上面に固定され、配線保持部材２５の固定用ブラケット３１は、ネジによって固定板２９の上面に固定されている。 The wiring holding members 24 and 25 are a block-shaped groove forming member 30 in which two linear guide grooves 30a in which the wiring 22 is arranged are formed, and an L-shaped fixing bracket in which the groove forming member 30 is fixed. It is composed of 31 (see FIG. 7 (A)). The guide groove 30a is formed in the shape of a square groove extending in the horizontal direction. The two guide grooves 30a are formed so as to be spaced apart in the vertical direction. The fixing bracket 31 of the wiring holding member 24 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 18b by a screw, and the fixing bracket 31 of the wiring holding member 25 is fixed to the upper surface of the fixing plate 29 by a screw.

細長い円筒状に形成される連結部８ｃの長手方向と上下方向とに直交する方向を連結部８ｃの短手方向とすると、配線保持部材２４の溝形成部材３０のガイド溝３０ａは、連結部８ｃの短手方向における連結部８ｃの中心位置に配置されている。このガイド溝３０ａは、連結部８ｃの長手方向と平行になっている。連結部８ｃの長手方向におけるこのガイド溝３０ａの両端、および、連結部８ｃの短手方向におけるこのガイド溝３０ａの一端は開口している。連結部８ｃの短手方向におけるこのガイド溝３０ａの開口は、固定用ブラケット３１によって塞がれている。 Assuming that the direction orthogonal to the longitudinal direction and the vertical direction of the connecting portion 8c formed in an elongated cylindrical shape is the lateral direction of the connecting portion 8c, the guide groove 30a of the groove forming member 30 of the wiring holding member 24 is the connecting portion 8c. It is arranged at the center position of the connecting portion 8c in the lateral direction of the above. The guide groove 30a is parallel to the longitudinal direction of the connecting portion 8c. Both ends of the guide groove 30a in the longitudinal direction of the connecting portion 8c and one end of the guide groove 30a in the lateral direction of the connecting portion 8c are open. The opening of the guide groove 30a in the lateral direction of the connecting portion 8c is closed by the fixing bracket 31.

また、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるアーム６の長手方向と上下方向とに直交する方向をアーム６の短手方向とすると、配線保持部材２５の溝形成部材３０のガイド溝３０ａは、アーム６の短手方向におけるアーム６の中心位置に配置されている。このガイド溝３０ａは、アーム６の長手方向と平行になっている。アーム６の長手方向におけるこのガイド溝３０ａの両端、および、アーム６の短手方向におけるこのガイド溝３０ａの一端は開口している。アーム６の短手方向におけるこのガイド溝３０ａの開口は、固定用ブラケット３１によって塞がれている。 Further, if the direction orthogonal to the longitudinal direction and the vertical direction of the arm 6 having an elongated oval shape when viewed from the vertical direction is the lateral direction of the arm 6, the groove forming member 30 of the wiring holding member 25 The guide groove 30a is arranged at the center position of the arm 6 in the lateral direction of the arm 6. The guide groove 30a is parallel to the longitudinal direction of the arm 6. Both ends of the guide groove 30a in the longitudinal direction of the arm 6 and one end of the guide groove 30a in the lateral direction of the arm 6 are open. The opening of the guide groove 30a in the lateral direction of the arm 6 is closed by the fixing bracket 31.

上下方向から見たときに、連結部８ｃの短手方向の中心線とアーム６の短手方向の中心線との交点が回動中心ＣＬとなっている。連結部８ｃの長手方向とアーム６の長手方向とが一致するように連結部８ｃとアーム６とが重なっているときには、連結部８ｃ、アーム６の短手方向において、配線保持部材２４の溝形成部材３０のガイド溝３０ａと配線保持部材２５の溝形成部材３０のガイド溝３０ａとが同じ位置に配置されている。また、配線保持部材２４と配線保持部材２５とは同じ高さに配置されている。すなわち、配線保持部材２４に保持される２本の配線２２と、配線保持部材２５に保持される２本の配線２２とは同じ高さに配置されている。 When viewed from the vertical direction, the intersection of the center line in the lateral direction of the connecting portion 8c and the center line in the lateral direction of the arm 6 is the rotation center CL. When the connecting portion 8c and the arm 6 overlap each other so that the longitudinal direction of the connecting portion 8c and the longitudinal direction of the arm 6 coincide with each other, a groove is formed in the wiring holding member 24 in the lateral direction of the connecting portion 8c and the arm 6. The guide groove 30a of the member 30 and the guide groove 30a of the groove forming member 30 of the wiring holding member 25 are arranged at the same position. Further, the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25 are arranged at the same height. That is, the two wirings 22 held by the wiring holding member 24 and the two wirings 22 held by the wiring holding member 25 are arranged at the same height.

ガイド部材２８は、共通アーム８の先端側に取り付けられている。また、ガイド部材２８は、アーム６の上側に配置されている。具体的には、ガイド部材２８は、上面部１８ｂの上面にネジによって固定されており、固定部材１８を介して共通アーム８の一方の先端部８ｂに取り付けられている。ガイド部材２８は、略円柱状に形成されている。２個のガイド部材２８は、連結部８ｃの長手方向において同じ位置に配置されている。また、２個のガイド部材２８は、連結部８ｃの短手方向において隣接配置されるとともに、上下方向から見たときに、連結部８ｃの短手方向の中心に対して対称に配置されている。 The guide member 28 is attached to the tip end side of the common arm 8. Further, the guide member 28 is arranged on the upper side of the arm 6. Specifically, the guide member 28 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 18b by a screw, and is attached to one tip portion 8b of the common arm 8 via the fixing member 18. The guide member 28 is formed in a substantially columnar shape. The two guide members 28 are arranged at the same position in the longitudinal direction of the connecting portion 8c. Further, the two guide members 28 are arranged adjacent to each other in the lateral direction of the connecting portion 8c, and are arranged symmetrically with respect to the center of the connecting portion 8c in the lateral direction when viewed from the vertical direction. ..

ガイド部材２８は、配線２２の引き回し方向において配線保持部材２４と配線保持部材２５との間に配置されている。すなわち、ガイド部材２８は、連結部８ｃの長手方向とアーム６の長手方向とが一致するように連結部８ｃとアーム６とが重なっているときに、連結部８ｃ、アーム６の長手方向において配線保持部材２４と配線保持部材２５との間に配置されている。配線２２の引き回し方向における配線保持部材２５とガイド部材２８との距離は、配線２２の引き回し方向における配線保持部材２４とガイド部材２８との距離よりも長くなっている。 The guide member 28 is arranged between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25 in the routing direction of the wiring 22. That is, the guide member 28 is wired in the longitudinal direction of the connecting portion 8c and the arm 6 when the connecting portion 8c and the arm 6 overlap each other so that the longitudinal direction of the connecting portion 8c and the longitudinal direction of the arm 6 coincide with each other. It is arranged between the holding member 24 and the wiring holding member 25. The distance between the wiring holding member 25 and the guide member 28 in the routing direction of the wiring 22 is longer than the distance between the wiring holding member 24 and the guide member 28 in the routing direction of the wiring 22.

ガイド部材２８の外周面には、上下方向において間隔をあけた状態で重なる２本の配線２２のそれぞれが配置される２本のガイド溝２８ａが形成されている。ガイド溝２８ａは、たとえば、Ｖ溝状に形成されている。共通アーム８に対するアーム６の回動動作に伴って水平方向に曲がる２本の配線２２の曲率半径は、ガイド溝２８ａの曲率半径に応じて規定される。２本のガイド溝２８ａの上下方向のピッチは、溝形成部材３０の２本のガイド溝３０ａの上下方向のピッチと等しくなっている。 On the outer peripheral surface of the guide member 28, two guide grooves 28a are formed in which two wirings 22 that overlap each other at intervals in the vertical direction are arranged. The guide groove 28a is formed in a V-groove shape, for example. The radius of curvature of the two wirings 22 that bend in the horizontal direction with the rotational movement of the arm 6 with respect to the common arm 8 is defined according to the radius of curvature of the guide groove 28a. The vertical pitch of the two guide grooves 28a is equal to the vertical pitch of the two guide grooves 30a of the groove forming member 30.

連結部８ｃの短手方向において隣接配置される２個のガイド部材２８のうちの一方のガイド部材２８のガイド溝２８ａの底部と他方のガイド部材２８のガイド溝２８ａの底部との、連結部８ｃの短手方向における距離は、配線２２の外形よりも若干大きくなっている。２本の配線２２は、２個のガイド部材２８の間を通過している。配線２２の引き回し方向において、少なくとも配線保持部材２４と配線保持部材２５との間では、２本の配線２２は、上下方向において間隔をあけた状態で、かつ、上下方向に重なった状態で引き回されている。 The connecting portion 8c between the bottom of the guide groove 28a of one of the two guide members 28 arranged adjacent to each other in the lateral direction of the connecting portion 8c and the bottom of the guide groove 28a of the other guide member 28. The distance in the lateral direction is slightly larger than the outer shape of the wiring 22. The two wires 22 pass between the two guide members 28. In the routing direction of the wiring 22, at least between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25, the two wirings 22 are routed in a state of being spaced apart in the vertical direction and in a state of being overlapped in the vertical direction. Has been done.

ガイド部材２８は、上下方向から見たときに、回動中心ＣＬの近傍に配置されている。図６に示すように、上下方向から見たときに、ガイド部材２８の中心は、回動中心ＣＬよりも共通アーム８の先端寄りに配置されている。また、説明の便宜上、共通アーム８の先端側（図３のＸ１方向側）を左側とし、共通アーム８の基端側（図３のＸ２方向側）を右側とすると、図６に示すように、ガイド溝２８ａの右端は、回動中心ＣＬよりも右側に配置されている。 The guide member 28 is arranged in the vicinity of the rotation center CL when viewed from the vertical direction. As shown in FIG. 6, when viewed from the vertical direction, the center of the guide member 28 is arranged closer to the tip of the common arm 8 than the rotation center CL. Further, for convenience of explanation, assuming that the tip end side of the common arm 8 (X1 direction side in FIG. 3) is on the left side and the proximal end side of the common arm 8 (X2 direction side in FIG. 3) is on the right side, as shown in FIG. The right end of the guide groove 28a is arranged on the right side of the rotation center CL.

配線保持部材２６は、共通アーム８の先端側に取り付けられている。また、配線保持部材２６は、アーム６の上側に配置されている。具体的には、配線保持部材２６は、ネジによって上面部１８ｂの上面に固定されており、固定部材１８を介して共通アーム８の一方の先端部８ｂに取り付けられている。配線保持部材２７は、アーム６の基端側に取り付けられている。また、配線保持部材２７は、アーム６の上側に配置されている。具体的には、配線保持部材２７は、ネジによって固定板２９の上面に固定されており、固定板２９を介してアーム６の上面に取り付けられている。 The wiring holding member 26 is attached to the tip end side of the common arm 8. Further, the wiring holding member 26 is arranged on the upper side of the arm 6. Specifically, the wiring holding member 26 is fixed to the upper surface of the upper surface portion 18b by a screw, and is attached to one tip portion 8b of the common arm 8 via the fixing member 18. The wiring holding member 27 is attached to the base end side of the arm 6. Further, the wiring holding member 27 is arranged on the upper side of the arm 6. Specifically, the wiring holding member 27 is fixed to the upper surface of the fixing plate 29 by a screw, and is attached to the upper surface of the arm 6 via the fixing plate 29.

配線保持部材２６は、配線保持部材２４よりも共通アーム８の先端寄りに配置されている。配線保持部材２７は、配線保持部材２５よりもアーム６の先端寄りに配置されている。すなわち、配線２２の引き回し方向において、配線保持部材２４、２５およびガイド部材２８は、配線保持部材２６と配線保持部材２７との間に配置されている。また、配線保持部材２７は、配線保持部材２５よりも下側に配置されている。 The wiring holding member 26 is arranged closer to the tip of the common arm 8 than the wiring holding member 24. The wiring holding member 27 is arranged closer to the tip of the arm 6 than the wiring holding member 25. That is, in the wiring direction of the wiring 22, the wiring holding members 24 and 25 and the guide member 28 are arranged between the wiring holding member 26 and the wiring holding member 27. Further, the wiring holding member 27 is arranged below the wiring holding member 25.

配線２２の引き回し方向における配線保持部材２６、２７の外側では、２本の配線２２は、水平方向に並んだ状態で引き回されている。すなわち、配線保持部材２４と配線保持部材２５との間において上下方向で重なっていた２本の配線２２の並びは、配線保持部材２４と配線保持部材２６との間、および、配線保持部材２５と配線保持部材２７との間において、上下方向から水平方向に変わる。 On the outside of the wiring holding members 26 and 27 in the wiring direction of the wiring 22, the two wirings 22 are routed in a state of being arranged side by side in the horizontal direction. That is, the arrangement of the two wirings 22 that overlapped in the vertical direction between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25 is the arrangement between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 26, and the wiring holding member 25. It changes from the vertical direction to the horizontal direction between the wiring holding member 27 and the wiring holding member 27.

配線保持部材２６と配線保持部材２７とは、同形状に形成されている。配線保持部材２６は、連結部８ｃの長手方向の両側および下側が開口する略四角溝状に形成されている（図７（Ｂ）参照）。配線保持部材２６に保持される２本の配線２２は、連結部８ｃの短手方向で並んでいる。配線保持部材２６に保持される２本の配線２２の下面は、上面部１８ｂの上面に接触している。また、配線保持部材２７は、アーム６の長手方向の両側および下面が開口する略四角溝状に形成されている。配線保持部材２７に保持される２本の配線２２は、アーム６の短手方向で並んでいる。配線保持部材２７に保持される２本の配線２２の下面は、固定板２９の上面に接触している。 The wiring holding member 26 and the wiring holding member 27 are formed in the same shape. The wiring holding member 26 is formed in a substantially square groove shape in which both sides and the lower side of the connecting portion 8c in the longitudinal direction are opened (see FIG. 7B). The two wirings 22 held by the wiring holding member 26 are arranged side by side in the lateral direction of the connecting portion 8c. The lower surfaces of the two wirings 22 held by the wiring holding member 26 are in contact with the upper surface of the upper surface portion 18b. Further, the wiring holding member 27 is formed in a substantially square groove shape in which both sides and the lower surface of the arm 6 in the longitudinal direction are opened. The two wirings 22 held by the wiring holding member 27 are arranged side by side in the lateral direction of the arm 6. The lower surfaces of the two wirings 22 held by the wiring holding member 27 are in contact with the upper surface of the fixing plate 29.

配線保持部材２６は、連結部８ｃの短手方向における連結部８ｃの中心位置に配置され、配線保持部材２７は、アーム６の短手方向におけるアーム６の中心位置に配置されている。連結部８ｃの長手方向とアーム６の長手方向とが一致するように連結部８ｃとアーム６とが重なっているときには、連結部８ｃ、アーム６の短手方向において、配線保持部材２６と配線保持部材２７とが同じ位置に配置されている。また、このときには、アーム６の短手方向において、配線保持部材２４の溝形成部材３０のガイド溝３０ａと配線保持部材２５の溝形成部材３０のガイド溝３０ａと配線保持部材２６と配線保持部材２７とが同じ位置に配置されている。 The wiring holding member 26 is arranged at the center position of the connecting portion 8c in the lateral direction of the connecting portion 8c, and the wiring holding member 27 is arranged at the center position of the arm 6 in the lateral direction of the arm 6. When the connecting portion 8c and the arm 6 overlap each other so that the longitudinal direction of the connecting portion 8c and the longitudinal direction of the arm 6 coincide with each other, the wiring holding member 26 and the wiring are held in the lateral direction of the connecting portion 8c and the arm 6. The member 27 is arranged at the same position. At this time, in the lateral direction of the arm 6, the guide groove 30a of the groove forming member 30 of the wiring holding member 24, the guide groove 30a of the groove forming member 30 of the wiring holding member 25, the wiring holding member 26, and the wiring holding member 27. And are placed in the same position.

また、ロボット１は、共通アーム８の他方の先端側からアーム７の先端側に向かって引き回される２本の配線２２と、関節部１７において２本の配線２２を保持する配線保持構造２３とを備えている。関節部１７に設置される配線保持構造２３は、配線保持部材２４、２６およびガイド部材２８が固定部材１９の上面部１９ｂの上面に固定されている点、および、配線保持部材２５、２７が固定板２９を介してアーム７の上面に取り付けられている点を除いて、関節部１６に設置される配線保持構造２３と同様に構成されているため、関節部１７に設置される配線保持構造２３の説明は省略する。 Further, the robot 1 has a wiring holding structure 23 that holds two wirings 22 routed from the other tip side of the common arm 8 toward the tip end side of the arm 7 and two wirings 22 at the joint portion 17. And have. In the wiring holding structure 23 installed in the joint portion 17, the wiring holding members 24 and 26 and the guide member 28 are fixed to the upper surface of the upper surface portion 19b of the fixing member 19, and the wiring holding members 25 and 27 are fixed. Since it is configured in the same manner as the wiring holding structure 23 installed in the joint portion 16 except that it is attached to the upper surface of the arm 7 via the plate 29, the wiring holding structure 23 installed in the joint portion 17 The explanation of is omitted.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、関節部１６、１７において、共通アーム８の先端側に取り付けられるとともにアーム６、７の上側に配置される配線保持部材２４は、上下方向において間隔をあけた状態で重なる２本の配線２２を保持し、かつ、アーム６、７の基端側に取り付けられるとともにアーム６、７の上側に配置される配線保持部材２５は、上下方向において間隔をあけた状態で重なる２本の配線２２を保持している。また、本形態では、共通アーム８の先端側に取り付けられるとともにアーム６、７の上側に配置されるガイド部材２８は、配線２２の引き回し方向において配線保持部材２４と配線保持部材２５との間に配置されている。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, in the joint portions 16 and 17, the wiring holding members 24 attached to the tip end side of the common arm 8 and arranged on the upper side of the arms 6 and 7 are spaced apart in the vertical direction. The wiring holding members 25 that hold the two overlapping wirings 22 in the state and are attached to the base end side of the arms 6 and 7 and arranged on the upper side of the arms 6 and 7 are in a state of being spaced apart in the vertical direction. Holds two wires 22 that overlap with each other. Further, in the present embodiment, the guide member 28 attached to the tip end side of the common arm 8 and arranged on the upper side of the arms 6 and 7 is located between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25 in the routing direction of the wiring 22. Have been placed.

また、本形態では、ガイド部材２８の外周面に、上下方向において間隔をあけた状態で重なる２本の配線２２のそれぞれが配置される２本のガイド溝２８ａが形成されており、２本の配線２２は、少なくとも配線保持部材２４と配線保持部材２５との間で上下方向において間隔をあけた状態で引き回されている。そのため、本形態では、共通アーム８の先端側からアーム６、７の先端側に向かって２本の配線２２が引き回されていても、関節部１６、１７での２本の配線２２同士の接触を防止することが可能になる。 Further, in the present embodiment, two guide grooves 28a are formed on the outer peripheral surface of the guide member 28 in which two wirings 22 that overlap each other at intervals in the vertical direction are arranged. The wiring 22 is routed at least between the wiring holding member 24 and the wiring holding member 25 with a space in the vertical direction. Therefore, in this embodiment, even if the two wirings 22 are routed from the tip end side of the common arm 8 toward the tip end side of the arms 6 and 7, the two wirings 22 at the joint portions 16 and 17 are connected to each other. It becomes possible to prevent contact.

また、配線保持部材２４、２５に保持される２本の配線２２が水平方向で並んでいる場合には、４個のガイド部材２８がないと、２本の配線２２の曲率半径の大きさを規定することはできないが、本形態では、配線保持部材２４、２５に保持される２本の配線２２が上下方向において間隔をあけた状態で重なっているため、２個のガイド部材２８によって２本の配線２２の曲率半径の大きさを規定することが可能になる。したがって、本形態では、共通アーム８の先端側からアーム６、７の先端側に向かって２本の配線２２が引き回されていても、関節部１６、１７での２本の配線２２同士の接触を簡易な構成で防止することが可能になる。 Further, when the two wirings 22 held by the wiring holding members 24 and 25 are arranged in the horizontal direction and the four guide members 28 are not provided, the magnitude of the radius of curvature of the two wirings 22 is increased. Although it cannot be specified, in this embodiment, the two wirings 22 held by the wiring holding members 24 and 25 overlap each other with a space in the vertical direction, so that the two wirings 22 are overlapped by the two guide members 28. It becomes possible to specify the magnitude of the radius of curvature of the wiring 22 of. Therefore, in this embodiment, even if the two wirings 22 are routed from the tip end side of the common arm 8 toward the tip end side of the arms 6 and 7, the two wirings 22 at the joint portions 16 and 17 are connected to each other. It is possible to prevent contact with a simple configuration.

なお、本形態において、４芯ケーブルである２本の配線２２に代えて、８本の芯線を有する８芯ケーブルを１本使用すれば、配線保持部材２４、２５は不要になる。また、８芯ケーブルを１本使用する場合には、ガイド部材２８の外周面に１本のガイド溝２８ａを形成すれば良い。しかしながら、４芯ケーブルである配線２２と比較して８芯ケーブルは曲がりにくいため、８芯ケーブルを使用する場合には、共通アーム８に対するアーム６、７の回動動作に伴って曲がる８芯ケーブルを曲げるための大きなスペースが必要になる。これに対して本形態では、配線２２を曲げるためのスペースを小さくすることが可能になる。 In this embodiment, if one 8-core cable having 8 core wires is used instead of the 2 wirings 22 which are 4-core cables, the wiring holding members 24 and 25 become unnecessary. Further, when one 8-core cable is used, one guide groove 28a may be formed on the outer peripheral surface of the guide member 28. However, since the 8-core cable is harder to bend than the wiring 22 which is a 4-core cable, when using an 8-core cable, the 8-core cable bends as the arms 6 and 7 rotate with respect to the common arm 8. Requires a large space to bend. On the other hand, in this embodiment, it is possible to reduce the space for bending the wiring 22.

本形態では、ガイド部材２８は、上下方向から見たときに、共通アーム８に対するアーム６、７の回動中心ＣＬの近傍に配置されている。また、本形態では、配線２２の引き回し方向における配線保持部材２５とガイド部材２８との距離は、配線の引き回し方向における配線保持部材２４とガイド部材２８との距離よりも長くなっている。そのため、本形態では、共通アーム８に対するアーム６、７の回動動作に伴って曲がる配線２２の、曲がった部分に負荷がかかりにくくなる。したがって、本形態では、共通アーム８に対するアーム６、７の回動動作に伴って何度も曲がる配線２２の、アーム６、７の回動動作に起因する劣化を抑制することが可能になる。 In this embodiment, the guide member 28 is arranged in the vicinity of the rotation center CL of the arms 6 and 7 with respect to the common arm 8 when viewed from the vertical direction. Further, in the present embodiment, the distance between the wiring holding member 25 and the guide member 28 in the wiring routing direction is longer than the distance between the wiring holding member 24 and the guide member 28 in the wiring routing direction. Therefore, in the present embodiment, the load is less likely to be applied to the bent portion of the wiring 22 that bends due to the rotational operation of the arms 6 and 7 with respect to the common arm 8. Therefore, in the present embodiment, it is possible to suppress deterioration of the wiring 22 that bends many times due to the rotation operation of the arms 6 and 7 with respect to the common arm 8 due to the rotation operation of the arms 6 and 7.

本形態では、配線保持部材２４、２５およびガイド部材２８は、配線２２の引き回し方向において配線保持部材２６と配線保持部材２７との間に配置されており、配線２２の引き回し方向における配線保持部材２６、２７の外側では、２本の配線２２は、水平方向に並んだ状態で引き回されている。そのため、本形態では、配線２２の引き回し方向における配線保持部材２６、２７の外側で、２本の配線２２が上下方向に重なった状態で引き回される場合と比較して、２本の配線２２をコンパクトに引き回すことが可能になる。 In the present embodiment, the wiring holding members 24, 25 and the guide member 28 are arranged between the wiring holding member 26 and the wiring holding member 27 in the routing direction of the wiring 22, and the wiring holding member 26 in the routing direction of the wiring 22. On the outside of 27, the two wirings 22 are routed side by side in the horizontal direction. Therefore, in the present embodiment, the two wirings 22 are routed outside the wiring holding members 26 and 27 in the routing direction of the wirings 22 as compared with the case where the two wirings 22 are routed in a state of being overlapped in the vertical direction. Can be routed compactly.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-mentioned embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態において、共通アーム８の先端側からアーム６、７の先端側に向かって引き回される配線２２の数は３本以上であっても良い。この場合には、配線２２の本数に応じた複数のガイド溝２８ａが上下方向において所定のピッチでガイド部材２８に形成されている。また、配線２２の本数に応じた複数のガイド溝３０ａが上下方向において所定のピッチで溝形成部材３０に形成されている。 In the above-described embodiment, the number of wirings 22 routed from the tip end side of the common arm 8 toward the tip end side of the arms 6 and 7 may be three or more. In this case, a plurality of guide grooves 28a corresponding to the number of wirings 22 are formed in the guide member 28 at a predetermined pitch in the vertical direction. Further, a plurality of guide grooves 30a corresponding to the number of wirings 22 are formed in the groove forming member 30 at a predetermined pitch in the vertical direction.

上述した形態において、ロボット１は、共通アーム８に代えて、アーム６の基端側が先端側に回動可能に連結されるアームと、アーム７の基端側が先端側に回動可能に連結されるアームとを個別に備えていても良い。この場合には、アーム６が連結されるアームおよびアーム７が連結されるアームは支持アームとなっている。また、ロボット１が備えるハンドの数は、１個であっても良い。この場合には、ロボット１は、たとえば、ハンド４と、アーム６と、アーム６の基端側が先端側に回動可能に連結されるアームとを備えている。この場合には、アーム６が連結されるアームは支持アームとなっている。 In the above-described embodiment, the robot 1 is rotatably connected to an arm in which the proximal end side of the arm 6 is rotatably connected to the distal end side and the proximal end side of the arm 7 is rotatably connected to the distal end side instead of the common arm 8. It may be provided separately with an arm. In this case, the arm to which the arm 6 is connected and the arm to which the arm 7 is connected are support arms. Further, the number of hands included in the robot 1 may be one. In this case, the robot 1 includes, for example, a hand 4, an arm 6, and an arm in which the proximal end side of the arm 6 is rotatably connected to the distal end side. In this case, the arm to which the arm 6 is connected is a support arm.

上述した形態において、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、半導体ウエハ等のガラス基板以外のものであっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、ロボット１の外部圧力が大気圧となっている環境下で使用されても良い。さらに、本発明が適用される産業用ロボットは、垂直多関節型のロボットであっても良い。この場合のロボットは、アームと、アームの基端側が先端側に回動可能に連結される支持アームとを備えており、たとえば、アームは、支持アームに対して水平方向を回動の軸方向として回動する。すなわち、この場合には、たとえば、水平方向が支持アームに対するアームの回動の軸方向である回動軸方向となっている。 In the above-described embodiment, the object to be conveyed by the robot 1 may be something other than a glass substrate such as a semiconductor wafer. Further, in the above-described embodiment, the robot 1 may be used in an environment where the external pressure of the robot 1 is atmospheric pressure. Further, the industrial robot to which the present invention is applied may be a vertical articulated robot. The robot in this case includes an arm and a support arm in which the base end side of the arm is rotatably connected to the tip end side. For example, the arm is axially rotated in a horizontal direction with respect to the support arm. Rotate as. That is, in this case, for example, the horizontal direction is the rotation axis direction which is the axis direction of the rotation of the arm with respect to the support arm.

１ ロボット（産業用ロボット）
６、７ アーム
８ 共通アーム（支持アーム）
１６、１７ 関節部
２２ 配線
２３ 配線保持構造
２４ 配線保持部材（第１配線保持部材）
２５ 配線保持部材（第２配線保持部材）
２６ 配線保持部材（第３配線保持部材）
２７ 配線保持部材（第４配線保持部材）
２８ ガイド部材
２８ａ ガイド溝
ＣＬ 回動中心 1 Robot (industrial robot)
6, 7 arm 8 common arm (support arm)
16, 17 Joints 22 Wiring 23 Wiring holding structure 24 Wiring holding member (first wiring holding member)
25 Wiring holding member (second wiring holding member)
26 Wiring holding member (third wiring holding member)
27 Wiring holding member (4th wiring holding member)
28 Guide member 28a Guide groove CL Rotation center

Claims (5)

アームと、前記アームの基端側が先端側に回動可能に連結される支持アームと、少なくとも前記支持アームの先端側から前記アームの先端側に向かって引き回される複数本の配線と、前記アームと前記支持アームとの連結部分である関節部において複数本の前記配線を保持する配線保持構造とを備え、
前記配線保持構造は、前記支持アームに対する前記アームの回動の軸方向である回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の前記配線を保持する第１配線保持部材および第２配線保持部材と、前記支持アームに対する前記アームの回動動作に伴って曲がる複数本の前記配線の曲率半径の大きさを規定するためのガイド部材とを備え、
前記第１配線保持部材は、前記支持アームの先端側に取り付けられるとともに前記回動軸方向における前記アームの一方側に配置され、
前記第２配線保持部材は、前記アームの基端側に取り付けられるとともに前記回動軸方向における前記アームの一方側に配置され、
前記ガイド部材は、前記支持アームの先端側に取り付けられ前記回動軸方向における前記アームの一方側に配置されるとともに前記配線の引き回し方向において前記第１配線保持部材と前記第２配線保持部材との間に配置され、
前記ガイド部材の外周面には、前記回動軸方向において間隔をあけた状態で重なる複数本の前記配線のそれぞれが配置される複数のガイド溝が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 An arm, a support arm in which the base end side of the arm is rotatably connected to the tip end side, a plurality of wires routed from at least the tip end side of the support arm toward the tip end side of the arm, and the above. A wiring holding structure for holding a plurality of the wirings at a joint portion which is a connecting portion between the arm and the support arm is provided.
The wiring holding structure includes a first wiring holding member and a second wiring holding member that hold a plurality of the wirings that overlap each other at intervals in the rotation axis direction, which is the axial direction of rotation of the arm with respect to the support arm. A member and a guide member for defining the size of the radius of curvature of a plurality of wires that bend with the rotational movement of the arm with respect to the support arm are provided.
The first wiring holding member is attached to the tip end side of the support arm and is arranged on one side of the arm in the direction of the rotation axis.
The second wiring holding member is attached to the base end side of the arm and is arranged on one side of the arm in the direction of the rotation axis.
The guide member is attached to the tip end side of the support arm and is arranged on one side of the arm in the rotation axis direction, and the first wiring holding member and the second wiring holding member in the wiring routing direction. Placed between
An industrial robot characterized in that a plurality of guide grooves are formed on the outer peripheral surface of the guide member, in which a plurality of overlapping wirings are arranged at intervals in the rotation axis direction. .. 前記配線保持構造は、前記支持アームに対する前記アームの回動方向の一方側へ前記アームが回動したときの複数本の前記配線の曲率半径の大きさを規定するための前記ガイド部材と、前記支持アームに対する前記アームの回動方向の他方側へ前記アームが回動したときの複数本の前記配線の曲率半径の大きさを規定するための前記ガイド部材とを備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The wiring holding structure includes the guide member for defining the size of the radius of curvature of a plurality of the wiring when the arm is rotated in one side of the rotation direction of the arm with respect to the support arm, and the guide member. The claim is characterized by comprising the guide member for defining the magnitude of the radius of curvature of a plurality of the wiring when the arm is rotated to the other side in the rotation direction of the arm with respect to the support arm. 1 The industrial robot described. 前記ガイド部材は、前記回動軸方向から見たときに、前記支持アームに対する前記アームの回動中心の近傍に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to claim 1 or 2, wherein the guide member is arranged in the vicinity of the rotation center of the arm with respect to the support arm when viewed from the rotation axis direction. 前記配線の引き回し方向における前記第２配線保持部材と前記ガイド部材との距離は、前記配線の引き回し方向における前記第１配線保持部材と前記ガイド部材との距離よりも長くなっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 The distance between the second wiring holding member and the guide member in the wiring routing direction is longer than the distance between the first wiring holding member and the guide member in the wiring routing direction. The industrial robot according to any one of claims 1 to 3. 前記配線保持構造は、前記回動軸方向に直交する方向に並ぶ複数本の前記配線を保持する第３配線保持部材および第４配線保持部材を備え、
前記第３配線保持部材は、前記支持アームの先端側に取り付けられるとともに前記回動軸方向における前記アームの一方側に配置され、
前記第４配線保持部材は、前記アームの基端側に取り付けられるとともに前記回動軸方向における前記アームの一方側に配置され、
前記配線の引き回し方向において前記第３配線保持部材と前記第４配線保持部材との間に前記第１配線保持部材、前記第２配線保持部材および前記ガイド部材が配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。 The wiring holding structure includes a third wiring holding member and a fourth wiring holding member for holding a plurality of the wirings arranged in a direction orthogonal to the rotation axis direction.
The third wiring holding member is attached to the tip end side of the support arm and is arranged on one side of the arm in the direction of the rotation axis.
The fourth wiring holding member is attached to the base end side of the arm and is arranged on one side of the arm in the direction of the rotation axis.
The first wiring holding member, the second wiring holding member, and the guide member are arranged between the third wiring holding member and the fourth wiring holding member in the wiring routing direction. The industrial robot according to any one of claims 1 to 4.
JP2020194498A 2020-11-24 2020-11-24 Industrial robot Pending JP2022083199A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020194498A JP2022083199A (en) 2020-11-24 2020-11-24 Industrial robot
KR1020210155692A KR102536584B1 (en) 2020-11-24 2021-11-12 Industrial robot
CN202111397431.2A CN114538102B (en) 2020-11-24 2021-11-23 Industrial robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020194498A JP2022083199A (en) 2020-11-24 2020-11-24 Industrial robot

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2022083199A true JP2022083199A (en) 2022-06-03

Family

ID=81668537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020194498A Pending JP2022083199A (en) 2020-11-24 2020-11-24 Industrial robot

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2022083199A (en)
KR (1) KR102536584B1 (en)
CN (1) CN114538102B (en)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005249858A (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Oki Electric Ind Co Ltd Cable support
JP5037191B2 (en) * 2007-03-27 2012-09-26 東京エレクトロン株式会社 Substrate transfer device and cable wiring structure
JP5563271B2 (en) * 2009-10-19 2014-07-30 川崎重工業株式会社 Substrate transfer robot
CN104626133B (en) * 2010-07-14 2016-08-24 日本电产三协株式会社 Industrial robot, the control method of industrial robot and the indicating means of industrial robot
JP5578973B2 (en) * 2010-07-16 2014-08-27 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
FR2982579B1 (en) * 2011-11-10 2015-12-25 Thales Sa ARTICULATED CHAUMARD TOWING DEVICE
JP6606319B2 (en) * 2014-07-10 2019-11-13 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6508701B2 (en) * 2014-10-31 2019-05-08 ライフロボティクス株式会社 Articulated robot arm mechanism, inkjet printer, 3-axis moving mechanism, hydraulic mechanism and cable wiring mechanism.
JP6539233B2 (en) * 2016-07-12 2019-07-03 ヤマハファインテック株式会社 Turning mechanism and positioning device
JP6709124B2 (en) 2016-07-28 2020-06-10 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6792470B2 (en) * 2017-02-01 2020-11-25 株式会社神戸製鋼所 Articulated welding robot

Also Published As

Publication number Publication date
CN114538102A (en) 2022-05-27
KR20220071905A (en) 2022-05-31
KR102536584B1 (en) 2023-05-26
CN114538102B (en) 2024-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5387622B2 (en) Transfer robot
US7086822B2 (en) Scalar type robot for carrying flat plate-like object, and flat plate-like object processing system
CN102233577B (en) Horizontal articulated robot and substrate transfer system provided with the same
JP6722677B2 (en) Substrate transfer device
JP6277850B2 (en) Ceiling robot
US20160167229A1 (en) Robot Having Arm With Unequal Link Lengths
JP5339874B2 (en) Robot apparatus and control method thereof
JP2011199121A (en) Conveying apparatus
JP2015212002A (en) Ceiling suspension robot
EP2756933A2 (en) Robot
JPWO2009069389A1 (en) Vertical articulated robot
JP6511939B2 (en) robot
JP2008135630A (en) Substrate conveying device
JP7079604B2 (en) Robot with an arm with unequal link length
TW200908187A (en) Substrate conveying device and cable wiring construction
US20130195600A1 (en) Robot
JPWO2016189565A1 (en) Horizontal articulated robot
JP4603388B2 (en) Robot arm
WO2018003631A1 (en) Robot arm mechanism and rotation joint mechanism
US20130209201A1 (en) Carrier device
JP2022083199A (en) Industrial robot
JPWO2008007517A1 (en) Articulated robot and wiring method
JP2014159076A (en) Substrate transport robot
JP2012000740A (en) Scara robot
JP2016207937A (en) Industrial robot and manufacturing system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20231012

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20240515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240523