JP2022079283A - 真空ポンプおよび真空ポンプ用コントローラ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第2の態様による真空ポンプ用コントローラは、外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプ用コントローラであって、前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、前記インバータへ直流電力を供給する第1のDC/DCコンバータと、入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第2のDC/DCコンバータと、前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる。
Vin×Iin×CR=Vout×Iout …(1)
入力電圧Vinおよび出力電圧Voutは用途によって決まっていることが多く、DC/DCコンバータに接続されている負荷の状態によって出力電流Ioutが決まる。そして、出力側に必要な電力Vout×Ioutに対応して、式(1)から入力電流Iinが決まる。
(条件A) 負荷変動により出力電流Ioutが増加した場合
(条件B) 入力変動に起因して入力電圧Vinが下がった場合
式(1)からも明らかなように、DC/DCコンバータは一定の出力電圧Voutの出力(電力)を維持するために、入力電流Iinを増加させるように動作する。増加した入力電流Iinは、DC/DCコンバータを構成する素子および回路の電流許容量を超えないことが望ましい。
Vth=V(203)out×I(203)out/(I(203)in0×CR) …(2)
一例として、検出される電圧VLが上式(2)のVthに低下したならば、インバータ21に動作停止指示を出力する。より安全を考慮して、式(2)のVthより大きな値を閾値Vthに設定すれば、DC/DCコンバータ203の入力電流I(203)inが増大する期間をより短くすることができる。
Claims (4)
- 外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプであって、
前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、
前記インバータへ直流電力を供給する第1のDC/DCコンバータと、
入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第2のDC/DCコンバータと、
前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、
前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記制御部は、停電に伴う回生制御を行っている場合に、前記電力ラインの電圧値が前記閾値以下であると前記インバータの動作を停止させる、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記閾値は、前記第2のDC/DCコンバータの出力側に接続される前記負荷で定まる設定電圧値および設定電流値と、前記第2のDC/DCコンバータの変換効率と、前記第2のDC/DCコンバータを構成する電子部品の許容入力電流値とに基づいて設定される、真空ポンプ。 - 外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプ用コントローラであって、
前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、
前記インバータへ直流電力を供給する第1のDC/DCコンバータと、
入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第2のDC/DCコンバータと、
前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、
前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる、真空ポンプ用コントローラ。
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JPH04127895U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受を用いた誘導電動機の電源装置 |
JPH0968222A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
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- 2020-11-16 JP JP2020190387A patent/JP7480681B2/ja active Active
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