JP2022075191A - 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ESLの低減が可能な積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】積層体2の端面Cに配置され端面接続内部電極15Aが接続される端面外部電極3と、積層体2の側面Bに配置され側面接続内部電極15Bが接続される側面外部電極4とを備える積層セラミックコンデンサ1であって、端面接続内部電極15Aは、積層方向に隣り合う側面接続内部電極15Bと対向する端面対向部15Aaと、端面対向部15Aaから端面外部電極3まで延びる端面引き出し部15Abとを有し、側面接続内部電極15Bは、積層方向に隣り合う端面接続内部電極15Aと対向する側面対向部15Baと、側面対向部15Baから側面外部電極4まで延びる側面引き出し部15Bbとを有し、側面引き出し部15Bb間の積層方向Tにおける間隔T1が側面対向部15Ba間の積層方向Tにおける間隔T2よりも大きい部分を有する。【選択図】図2

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法関する。
多端子の積層セラミックコンデンサは、層状の誘電体と内部電極とが交互に積層された積層体の、長さ方向の両端部に端面外部電極が配置され、短手方向の両側部に側面外部電極が配置された構造を有する。
積層方向に隣り合う内部電極は形が異なり、積層方向に隣り合う内部電極同士で互いに対向する対向部と、対向部から長さ方向に延びて端面外部電極に接続される端面引き出し部と有する端面接続内部電極と、積層方向に隣り合う内部電極同士で互いに対向する対向部と、対向部から幅方向に延びて側面外部電極に接続される側面引き出し部と有する側面接続内部電極と、が交互に積層されている。
すなわち、積層セラミックコンデンサにおいて、隣り合う内部電極において、積層方向に、対向部が配置されている領域は対向部として電極部が交互に配置されている(特許文献1参照)。
特開2016-127262号公報
しかし、このような積層セラミックコンデンサにおいて、同じ方向に引き出し部が延びている2つの内部電極は、引き出し部が配置されている領域では、積層方向に、引き出し部、誘電体、引き出し部という順に積層されている。対向部が配置されている領域では、積層方向に、対向部、誘電体、他方向に引き出し部が延びている内部電極、誘電体、対向部という順に積層されている、すなわち、2つの内部電極において対向部間の距離に比べて、引き出し部間の距離が短い。
その結果、積層セラミックコンデンサにおいて、引き出し電極間の距離が短い場合、等価直列インダクタンス(ESL)の影響が無視できないことがある。
本発明は、等価直列インダクタンス(ESL)を低くすることが可能な積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、積層方向と交差する長さ方向に相対する2つの端面、及び、前記積層方向及び前記長さ方向と交差する幅方向に相対する2つの側面が設けられ、前記積層方向に、互いに交互に配置される複数の端面接続内部電極及び複数の側面接続内部電極を有する内部電極と、前記積層方向に、前記内部電極と交互に積層される複数の誘電体と、を有する積層体と、前記積層体の2つの前記端面のそれぞれに配置され、前記端面接続内部電極が接続される端面外部電極と、前記積層体の2つの前記側面のそれぞれに配置され、前記側面接続内部電極が接続される側面外部電極と、を備え、前記積層方向に相対する2つの主面が設けられた積層セラミックコンデンサであって、前記端面接続内部電極は、前記積層方向に隣り合う前記側面接続内部電極と対向する端面対向部と、前記端面対向部から前記端面外部電極まで延びる端面引き出し部とを有し、前記側面接続内部電極は、前記積層方向に隣り合う前記端面接続内部電極と対向する側面対向部と、前記側面対向部から前記側面外部電極まで延びる側面引き出し部とを有し、前記側面引き出し部間の前記積層方向における間隔が、前記側面対向部間の前記積層方向における間隔よりも、大きい部分を有する、積層セラミックコンデンサを提供する。
本発明によれば、ESLを低くすることが可能な積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することができる。
第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。 積層セラミックコンデンサ1の図1におけるII-II方向に切断した断面図であり積層方向Tの中央部より上の半分を示す。 積層セラミックコンデンサ1の図1におけるIII-III方向に切断した断面図であり、積層方向Tの中央部より上の半分を示す。 積層セラミックコンデンサ1の側面接続内部電極15Bに沿った断面図である。 積層セラミックコンデンサ1の端面接続内部電極15Aに沿った断面図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。 第2実施形態における、セラミックグリーンシート114上へのセラミックぺースト114bの配置状態を示す図である。 第2実施形態における、セラミックグリーンシート114上へのセラミックぺースト114aの配置状態を示す図である。 第2実施形態における、WT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。 第2実施形態における、LT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。 第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のWT断面図である 第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のLT断面図である。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1について説明する。
図1は、積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ1の図1におけるII-II方向に切断した断面図であり積層方向Tの中央部より上の半分を示す。図3は、積層セラミックコンデンサ1の図1におけるIII-III方向に切断した断面図であり、積層方向Tの中央部より上の半分を示す。
(積層セラミックコンデンサ1)
積層セラミックコンデンサ1は、積層体2の長さ方向Lの両端面Cに設けられた端面外部電極3と、積層体2の幅方向Wの両側面Bに設けられた側面外部電極4とを備える。積層体2は、層状の誘電体14と層状の内部電極15とを複数組含む内層部11と、外層部12とを備える。
なお、本明細書において、積層セラミックコンデンサ1の向きを表わす用語として、積層セラミックコンデンサ1において、誘電体14と内部電極15とが積層されている方向を積層方向Tとする。積層方向Tと交差し、一対の外部電極3が設けられている方向を長さ方向Lとする。長さ方向L及び積層方向Tのいずれにも交差する方向を幅方向Wとする。なお、実施形態においては、積層方向Tと、長さ方向Lと、幅方向Wとは、互いに直交している。
図2は、積層セラミックコンデンサ1の幅方向Wと積層方向Tとを通るWT断面(第1断面)である。図3は、積層セラミックコンデンサ1の長さ方向Lと積層方向Tとを通るLT断面(第2断面)である。
さらに、以下の説明において、積層体2の6つの外表面のうち、積層方向Tに相対する一対の外表面を積層体主面Aとし、幅方向Wに相対する一対の外表面を側面Bとし、長さ方向Lに相対する一対の外表面を端面Cとする。
(積層体2)
積層体2は、内層部11と、内層部11の積層方向Tの両側に配置される外層部12とを備える。積層体2は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。角部は、積層体の3面が交わる部分であり、稜線部は、積層体の2面が交わる部分である。
(内層部11)
内層部11は、積層方向Tに沿って誘電体14と内部電極15とが複数層積層されている。
(誘電体14)
誘電体14は、セラミック材料で製造されている。セラミック材料としては、たとえば、BaTiOを主成分とする誘電体セラミックが用いられる。また、セラミック材料として、これらの主成分にMn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物等の副成分のうちの少なくとも一つを添加したものを用いてもよい。
誘電体14は、後述するセラミックグリーンシート114により製造された誘電体14cと、セラミックグリーンシート114上に塗布される導電性ペーストにより製造された誘電体14a及び誘電体14bとを有する。
(内部電極15)
内部電極15は、たとえばNi、Cu、Ag、Pd、Ag-Pd合金、Au等に代表される金属材料により形成されていることが好ましい。
内部電極15は、互いに交互に配置される複数の端面接続内部電極15A及び複数の側面接続内部電極15Bを有する。端面接続内部電極15A及び側面接続内部電極15Bを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて内部電極15として説明する。
図4は、積層セラミックコンデンサ1の側面接続内部電極15Bに沿った断面図である。図5は、積層セラミックコンデンサ1の端面接続内部電極15Aに沿った断面図である。
(側面接続内部電極15B)
図4に示すように、側面接続内部電極15Bは、積層体2よりも一回り小さく、各辺が端面C及び側面Bから一定距離離間した略矩形の側面対向部15Baと、側面対向部15Baから両側の側面Bにそれぞれ延びる側面引き出し部15Bbとを有する。
両側の側面Bに延びる側面引き出し部15Bbは、それぞれ、積層体2の側面Bに露出し、積層体2の幅方向Wの両側面に設けられた側面外部電極4に接続されている。
(端面接続内部電極15A)
図5に示すように、端面接続内部電極15Aは、全体として積層体2の長さ方向Lの両端面Cの間を延び、幅方向Wの両側面Bからは一定の距離、離間した矩形形状である。
端面接続内部電極15Aにおいて、両端面Cから一定の距離離れた中央部が端面対向部15Aaで、端面対向部15Aaから両側の端面Cにそれぞれ延びる部分が端面引き出し部15Abである。
端面引き出し部15Abは、両側の端面Cにそれぞれ延びて、積層体2の端面Cに露出し、積層体2の幅方向Wの両側面に設けられた端面外部電極3に接続されている。
端面対向部15Aaと側面対向部15Baとは対向し、コンデンサ部を形成している。
(外層部12)
図2及び図3に戻り、外層部12は、内層部11の積層体主面A側に配置されている一定厚みの誘電体層である。外層部12は、内層部11の誘電体14と同じ材料で製造されている。
(外部電極3)
積層体2の両端面Cには端面外部電極3が配置されている。端面外部電極3には端面接続内部電極15Aの端面引き出し部15Abが接続されている。端面外部電極3は、端面Cだけでなく、積層体主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆っている。
積層体2の両側面Bには側面外部電極4が配置されている。側面外部電極4には側面接続内部電極15Bの側面引き出し部15Bbが接続されている。側面外部電極4は、側面Bだけでなく、積層体主面Aの側面B側の一部も覆っている。
実施形態では、図2に示すように、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1が、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2よりも大きい。
本実施形態によると、側面引き出し部15Bbの間隔が、セラミックペーストによって、側面対向部15Baの間隔よりも大きく広げられるので、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。
また、積層セラミックコンデンサ1は、図2に示すように、長さ方向Lの中央部における幅方向Wと積層方向Tとを通るWT(第1)断面において、積層体主面Aに、幅方向Wの中央部から側面Bに向けて盛り上がる、積層体側面盛り上がり部MAを有する。
積層体側面盛り上がり部MAは、積層体主面Aにおける、側面対向部15Ba及び端面対向部15Aaの幅方向Wの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、積層体主面Aにおける長さ方向Lに沿って延びている。
積層体2が、この積層体側面盛り上がり部MAを有することにより、積層セラミックコンデンサ1としてみたときに、主面Sにも、幅方向Wの中央部から側面Bに向けて盛り上がる側面盛り上がり部MSが形成される。
側面盛り上がり部MSは、主面Sにおける、側面対向部15Ba及び端面対向部15Aaの幅方向Wの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、主面Sにおける長さ方向Lに沿って延びている。
また、積層セラミックコンデンサ1は、図3に示すように、幅方向Wの中央部における長さ方向Lと積層方向Tとを通るLT(第2)断面において、積層体主面Aに、長さ方向Lの中央部から端面Cに向けて盛り上がる、積層体端面盛り上がり部NAを有する。
積層体端面盛り上がり部NAは、積層体主面Aにおける、側面対向部15Ba及び端面対向部15Aaの長さ方向Lの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、積層体主面Aにおける幅方向Wに沿って延びている。
積層体2が、この積層体端面盛り上がり部NAを有することにより、積層セラミックコンデンサ1としてみたときに、主面Sにも、長さ方向Lの中央部から端面Cに向けて盛り上がる端面盛り上がり部NSが形成される。
端面盛り上がり部NSは、主面Sにおける、側面対向部15Ba及び端面対向部15Aaの幅方向Wの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、主面Sにおける幅方向Wに沿って延びている。
たとえば、比較としての積層セラミックコンデンサにおいて、外周部の厚みが中央部より薄い場合、積層セラミックコンデンサを基板上に配置した時に、積層セラミックコンデンは左右又は前後に揺動しやすく、姿勢が安定しない。
しかし、実施形態の積層セラミックコンデンサ1によると、主面Sに、中央部から端面C及び側面Bに向けて盛り上がる端面盛り上がり部NS及び側面盛り上がり部MSが形成されているため、基板上に配置した時に、左右前後のいずれの方向においても揺動することなく、姿勢を安定させることができる。
また、外部電極4と積層体2との境界部から水分や水蒸気が侵入する可能性もある。しかし、実施形態において外部電極4は、側面Bだけでなく、積層体主面Aまで延びて、積層体盛り上がり部MAの部分も覆っている。
したがって、仮に、積層体2と外部電極4との境界部に水分が侵入しても、積層体盛り上がり部MAが形成されているので、水分が積層体盛り上がり部MAを乗り越えて側面B側へと回り込んで内部電極15へ侵入することが困難となる。ゆえに、内部電極15と誘電体14との境界部への水分の侵入が抑制される。
また、外部電極3と積層体2との境界部からも水分や水蒸気が侵入する可能性もある。しかし、実施形態において外部電極3は、端面Cだけでなく、積層体主面Aまで延びて、積層体盛り上がり部NAの部分も覆っている。
したがって、仮に、積層体2と外部電極3との境界部に水分が侵入しても、積層体盛り上がり部NAが形成されていので、水分が積層体盛り上がり部NAを乗り越えて端面C側へと回り込んで内部電極15へ侵入することが困難となる。ゆえに、内部電極15と誘電体14との境界部への水分の侵入が抑制される。
(積層セラミックコンデンサ1の製造方法)
次に、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の製造方法について説明する。
図6は積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートであり、図7から図12は積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する工程図である。
(内部電極パターン形成工程S1)
まず、図7に示すように、誘電体14cとなる第2セラミックグリーンシート114Bに、導電性ペーストにより側面接続内部電極15Bとなる側面接続内部電極パターン115Bを形成する。
側面接続内部電極パターン115Bは、複数の側面接続内部電極15Bが幅方向Wに連続しているが長さ方向Lには非連続な形状である。
また、図8に示すように、誘電体14cとなる第1セラミックグリーンシート114Aに、導電性ペーストにより端面接続内部電極15Aとなる端面接続内部電極パターン115Aを形成する。
端面接続内部電極パターン115Aは、複数の端面接続内部電極15Aが長さ方向Lに連続しているが幅方向Wには非連続な形状である。
セラミックグリーンシート114は、セラミックス粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーがキャリアフィルム上においてダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いてシート状に成形された帯状のシートである。
端面接続内部電極パターン115A及び側面接続内部電極パターン115Bは、たとえば、スクリーン印刷、グラビア印刷、凸版印刷等の印刷によって形成する。
(セラミックペースト配置工程S2)
次いで、図9に示すように、図7で示した第2セラミックグリーンシート114Bに側面接続内部電極パターン115Bが形成されたシート上に、誘電体14bとなるセラミックぺースト114bを配置する。
セラミックぺースト114bは、側面接続内部電極15Bの少なくとも側面引き出し部15Bbとなる部分の一部分に配置する。
第1実施形態では、第2セラミックグリーンシート114Bにおける、側面接続内部電極パターン115Bが配置されていない部分の全体を埋めるとともに、さらに、側面引き出し部15Bbとなる部分の全体と、側面対向部15Baとなる部分の外周部にオーバーラップするように配置する。逆に、先に誘電体14bとなるセラミックペースト114bを配置しても良く、内部電極パターン115Bが誘電体14bとオーバーラップするように配置しても良い。
また、図10に示すように、図8で示した第1セラミックグリーンシート114Aに端面接続内部電極パターン115Aが形成されたシート上に、誘電体14aとなるセラミックぺースト114aを配置する。
セラミックぺースト114aは、第1セラミックグリーンシート114Aにおける、第2セラミックグリーンシート114Bと積層されたときに、第2セラミックグリーンシート114Bにおけるセラミックぺースト114bが塗布された側面引き出し部15Bbと重なる部分の一部に、少なくとも配置する
第1実施形態では、セラミックぺースト114aは、第1セラミックグリーンシート114Aにおける、端面接続内部電極パターン115Aが配置されていない部分の全体を埋めるとともに、さらに端面接続内部電極パターン115Aの外周部とにオーバーラップするように配置する。
逆に、先に誘電体14aとなるセラミックペースト114aを配置しても良く、端面接続内部電極パターン115Aが誘電体14aとオーバーラップするように配置しても良い。
なお、誘電体14bおよび誘電体14aはどちらか一方だけ配置しても良い。
なお、セラミックぺースト114a及びセラミックぺースト114bは、たとえば、スクリーン印刷、グラビア印刷、凸版印刷等の印刷によって付与する。セラミックぺーストは、セラミックグリーンシート114の材料としての誘電体との成分比が異なっていてもよく、同じ成分比であってもよく、異なる成分を含むものであってもよい。
(積層工程S3)
図11はWT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。図12はLT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。
図示するように、図9で示した第2セラミックグリーンシート114Bに、側面接続内部電極パターン115B及び誘電体14bとなるセラミックぺースト114bが配置されたシートと、図10に示した、第1セラミックグリーンシート114Aに、端面接続内部電極パターン115A及び誘電体14aとなるセラミックぺースト114aが配置されたシートと、を交互に積層する。
さらに、このように積層されたものの積層方向Tの両側に、外層部12となる外層部用セラミックグリーンシート112を積み重ねる。
(マザーブロック形成工程S4)
続いて、外層部用セラミックグリーンシート112と、積み重ねられた複数のシートとを熱圧着してマザーブロックを形成する。
(マザーブロック分割工程S5)
次いで、マザーブロックを長さ方向Lと幅方向Wとに切断して分割し、矩形の積層体2を複数製造する。
この状態で図2に示すように、積層体2において、長さ方向Lの中央部における、幅方向Wと積層方向Tとを通るWT(第1)断面において、積層体主面Aは、幅方向Wの中央部から側面Bに向けて盛り上がる側面盛り上がり部MAが形成されている。
側面盛り上がり部MAは、積層体主面Aにおける、側面対向部15Baの幅方向Wの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、積層体主面Aにおける長さ方向Lに沿って延びている。
また、図3に示すように、積層体2において、幅方向Wの中央部における、長さ方向Lと積層方向Tとを通るLT(第2)断面において、積層体主面Aは、長さ方向Lの中央部から端面Cに向けて盛り上がる端面盛り上がり部NAが形成されている。
端面盛り上がり部NAは、積層体主面Aにおける、端面対向部15Aaの長さ方向Lの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、積層体主面Aにおける幅方向Wに沿って延びている。
(外部電極形成工程S6)
次に、積層体2の両端面Cに端面外部電極3を形成し、積層体2の両側面Bに側面外部電極4を形成する。
端面外部電極3には端面接続内部電極15Aの端面引き出し部15Abが接続されている。端面外部電極3は、端面Cだけでなく、積層体主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆うように形成する。
側面外部電極4には側面接続内部電極15Bの側面引き出し部15Bbが接続されている。側面外部電極4は、側面Bだけでなく、積層体主面Aの側面B側の一部も覆うように形成する。
(焼成工程S7)
そして、設定された焼成温度で、窒素雰囲気中で所定時間加熱する。これにより、外部電極3が積層体2に焼き付け、図1に示す積層セラミックコンデンサ1を製造する。
このようにして、積層方向Tに設けられた相対する2つの主面Sにおいて、主面Sの中央部を挟んだ一方と他方とに、中央部から、主面Sの外周側に向かうにつれて、積層方向Tの厚みが厚くなるように盛り上がった、盛り上がり部Mがそれぞれ形成された積層セラミックコンデンサ1を製造する。
この状態で図2に示すように、積層セラミックコンデンサ1において、長さ方向Lの中央部における、幅方向Wと積層方向Tとを通るWT(第1)断面において、主面Sは、幅方向Wの中央部から側面Bに向けて盛り上がる側面盛り上がり部MSが形成されている。
側面盛り上がり部MSは、主面Sにおける、側面対向部15Baの幅方向Wの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、主面Sにおける長さ方向Lに沿って延びている。
また、図3に示すように、積層セラミックコンデンサ1において、幅方向Wの中央部における、長さ方向Lと積層方向Tとを通るLT(第2)断面において、主面Sは、長さ方向Lの中央部から端面Cに向けて盛り上がる端面盛り上がり部NSが形成されている。
端面盛り上がり部NSは、主面Sにおける、端面対向部15Aaの長さ方向Lの両端部が積層方向Tの内部に位置する部分に形成され、主面Sにおける幅方向Wに沿って延びている。
このように、盛り上がり部Mは、セラミックペーストを内部電極15の周縁部を覆って内部電極15とオーバーラップさせることにより、主面Sにおける、積層方向Tの内部に内部電極15の幅方向Wの両端部が存在する位置と、積層方向Tの内部に対向部15aの長さ方向Lの両端部が存在する位置とに形成されている。したがって、製造が容易で、効率的に盛り上がり部Mを製造することができる。
そして、このように製造された積層セラミックコンデンサ1は、図2に示すように、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1の間には、誘電体14b、誘電体14c、誘電体14a及び誘電体14cといった、4層の誘電体が配置されている。
実施形態において、隣り合う側面引き出し部15Bbの間に配置される、導電性ペーストにより製造された誘電体14a及び誘電体14bの厚みは例えば0.33μmであり、0.15μm以上0.8μm以下ある。セラミックグリーンシート114により形成される誘電体14cの厚みは例えば、0.52μmであり、0.3μm以上2.0μm以下である。ゆえに、互いに隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1は0.9μm以上5.6μm以下となる。
また、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2の間には、誘電体14c、端面対向部15Aa及び誘電体14cといった、2層の誘電体14と1層の内部電極15(端面対向部15Aa)とが配置されている。
実施形態において端面対向部15Aaの厚みは例えば0.48μmであり、0.3μm以上0.8μm以下である。ゆえに、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2は0.9μm以上4.8μm以下となる。
したがって、隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1は、4積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2よりも大きい。
ゆえに、上述したように、側面引き出し部15Bbの間隔が、セラミックペーストによって、側面対向部15Baの間隔よりも大きく広げられるので、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。
(第2実施形態)
次に本発明の第2実施形態について説明する。
第2実施形態が第1実施形態と異なる点は、電極パターン115が形成されたセラミックグリーンシート114に配置されるセラミックぺースト114a及びセラミックグリーンシート114cの範囲である。
図13は、第1実施形態の図9に対応した、第2実施形態における、第2セラミックグリーンシート114Bに側面接続内部電極パターン115Bが形成されたシートに、誘電体14bとなるセラミックぺースト114bが配置された状態を示す図である。
図14は、第1実施形態の図10に対応した、第2実施形態における、第1セラミックグリーンシート114Aに、端面接続内部電極パターン115Aが形成されたシートに、誘電体14aとなるセラミックぺースト114aが配置された状態を示す図である。
なお、第2実施形態において、第1実施形態と共通する部分を示す符号は、同一の符号を用いる。
図13に示すように、第2実施形態では、第1実施形態と同様に、図7で示したセラミックグリーンシート114に側面接続内部電極パターン115Bが形成されたシート上に、誘電体14bとなるセラミックぺースト114bを配置する。
この際、セラミックぺースト114bは、側面引き出し部15Bbとなる部分を覆って長さ方向Lに延びるように配置される。
しかし、セラミックぺースト114bは、側面引き出し部15Bbの全面は覆わず、側面引き出し部15Bbにおける、側面対向部15Ba側には、側面対向部15Baとの間に隙間がある。
また、セラミックぺースト114bは、側面対向部15Ba側の長さ方向Lの横の部分には配置されておらず、側面接続内部電極パターン115Bの外周部とオーバーラップしていない。
また、図14に示すように、第2実施形態では、第1実施形態と同様に、図8で示したセラミックグリーンシート114に端面接続内部電極パターン115Aが形成されたシート上に、誘電体14aとなるセラミックぺースト114aを配置する。
この際、セラミックぺースト114aは、端面接続内部電極パターン115A上を覆って長さ方向Lに延びるように配置される。しかし、セラミックぺースト114bは、端面接続内部電極パターン115Aの外周部とオーバーラップしていない。
図15は第2実施形態における、WT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。図16は第2実施形態における、LT方向での積層体2の積層状態を説明する図である。
図示するように、図14で示した、第1セラミックグリーンシート114Aに、端面接続内部電極パターン115A及び誘電体14aとなるセラミックぺースト114aが配置されたシートと、図13で示した、第2セラミックグリーンシート114Bに、側面接続内部電極パターン115B及び誘電体14bとなるセラミックぺースト114bが配置されたシートと、を交互に積層する。
さらに、このように積層されたものの積層方向Tの両側に、外層部12となる外層部用セラミックグリーンシート112を積み重ねてマザーブックを形成する。
そして、第1実施形態と同様に、形成されたマザーブロックを分割して積層体2を形成し、積層体2の両端面Cに端面外部電極3を形成し、積層体2の両側面Bに側面外部電極4を形成し、焼成工程を経て積層セラミックコンデンサ1を製造する。
図17は、このようにして製造した積層セラミックコンデンサ1のWT断面図で、図18はLT断面図である。
第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1において、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1の間には、誘電体14b、誘電体14c、誘電体14a及び誘電体14cといった、4層の誘電体が配置されている。
第2実施形態において、隣り合う側面引き出し部15Bbの間に配置される、導電性ペーストにより製造された誘電体14a及び誘電体14bの厚みは例えば0.33μmであり、0.15μm以上0.8μm以下である。セラミックグリーンシート114により形成される誘電体14cの厚みは例えば0.52μmであり、0.3μm以上2.0μm以下である。ゆえに、互いに隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1は0.9μm以上5.6μm以下となる。
積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2の間には、誘電体14b、端面対向部15Aa及び誘電体14cといった、2層の誘電体14と1層の内部電極15(端面対向部15Aa)とが配置されている。
第2実施形態において、端面対向部15Aaの厚みは例えば0.48μmであり、0.3μm以上0.8μm以下である。ゆえに、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2は0.9μm以上4.8μm以下となる。
したがって、隣り合う側面引き出し部15Bbの間隔T1は、積層方向Tにおける、互いに隣り合う側面対向部15Baの間隔T2より大きい。
ゆえに、第2実施形態においても、側面引き出し部15Bbの間隔が側面対向部15Baの間隔よりも大きいので、等価直列インダクタンス(ESL)を小さくすることができる。
S 主面
A 積層体主面
B 側面
C 端面
M,MA,MS,NA,NS 盛り上がり部
S1 内部電極パターン形成工程
S2 セラミックペースト配置工程
S3 積層工程
T1 間隔
T2 間隔
T 積層方向
W 幅方向
L 長さ方向
1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 端面外部電極
4 側面外部電極
12 外層部
14a 誘電体
14b 誘電体
14c 誘電体
15 内部電極
15A 端面接続内部電極
15Aa 端面対向部
15Ab 端面引き出し部
15B 側面接続内部電極
15Ba 側面対向部
15Bb 側面引き出し部
112 外層部用セラミックグリーンシート
114 セラミックグリーンシート
114A 第2セラミックグリーンシート
114B 第1セラミックグリーンシート
114a セラミックペースト
114b セラミックペースト
115A 端面接続内部電極パターン
115B 側面接続内部電極パターン

Claims (6)

  1. 積層方向と交差する長さ方向に相対する2つの端面、及び、前記積層方向及び前記長さ方向と交差する幅方向に相対する2つの側面が設けられ、
    前記積層方向に、互いに交互に配置される複数の端面接続内部電極及び複数の側面接続内部電極を有する内部電極と、
    前記積層方向に、前記内部電極と交互に積層される複数の誘電体と、を有する積層体と、
    前記積層体の2つの前記端面のそれぞれに配置され、前記端面接続内部電極が接続される端面外部電極と、
    前記積層体の2つの前記側面のそれぞれに配置され、前記側面接続内部電極が接続される側面外部電極と、
    を備え、前記積層方向に相対する2つの主面が設けられた積層セラミックコンデンサであって、
    前記端面接続内部電極は、
    前記積層方向に隣り合う前記側面接続内部電極と対向する端面対向部と、
    前記端面対向部から前記端面外部電極まで延びる端面引き出し部とを有し、
    前記側面接続内部電極は、
    前記積層方向に隣り合う前記端面接続内部電極と対向する側面対向部と、
    前記側面対向部から前記側面外部電極まで延びる側面引き出し部とを有し、
    前記側面引き出し部間の前記積層方向における間隔が、
    前記側面対向部間の前記積層方向における間隔よりも、大きい部分を有する、
    積層セラミックコンデンサ。
  2. 前記長さ方向の中央部における、前記幅方向と前記積層方向とを通る第1断面において、前記主面は、前記幅方向の中央部から側面に向けて盛り上がる盛り上がり部を有する、
    請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 前記盛り上がり部は、前記主面における、前記側面対向部及び前記端面対向部の前記幅方向の両端部が前記積層方向の内部に位置する部分に形成され、前記主面における前記長さ方向に沿って延びている、
    請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記盛り上がり部は、前記主面における、前記側面対向部及び前記端面対向部の前記長さ方向の両端部が前記積層方向の内部に位置する部分に形成され、前記主面における前記幅方向に沿って延びている、
    請求項2または3に記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. 積層方向と交差する長さ方向に相対する2つの端面、及び、前記積層方向及び前記長さ方向と交差する幅方向に相対する2つの側面が設けられ、
    前記積層方向に、互いに交互に配置される複数の端面接続内部電極及び複数の側面接続内部電極を有する内部電極と、
    前記積層方向に、前記内部電極と交互に積層される複数の誘電体と、を有する積層体と、
    前記積層体の2つの前記端面のそれぞれに配置され、前記端面接続内部電極が接続される端面外部電極と、
    前記積層体の2つの前記側面のそれぞれに配置され、前記側面接続内部電極が接続される側面外部電極と、を備え、
    前記端面接続内部電極は、
    前記積層方向に隣り合う前記側面接続内部電極と対向する端面対向部と、
    前記端面対向部から前記端面外部電極まで延びる端面引き出し部とを有し、
    前記側面接続内部電極は、
    前記積層方向に隣り合う前記端面接続内部電極と対向する側面対向部と、
    前記側面対向部から前記側面外部電極まで延びる側面引き出し部とを有する積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
    導電性ペーストにより、
    前記端面接続内部電極となる端面接続内部電極パターンを第1セラミックグリーンシートに形成し、
    前記側面接続内部電極となる側面接続内部電極パターンを第2セラミックグリーンシートに形成する内部電極パターン形成工程と、
    前記第2セラミックグリーンシートにおける、前記側面接続内部電極の前記側面引き出し部となる部分の少なくとも一部分にセラミックペーストを配置し、且つ
    前記第1セラミックグリーンシートにおける、前記第2セラミックグリーンシートと積層されたときに前記第2セラミックグリーンシートの前記一部分と重なる部分の少なくとも一部分に前記セラミックペーストを配置するセラミックペースト配置工程と、
    前記セラミックペーストが配置された前記第1セラミックグリーンシートと、
    前記セラミックペーストが配置された前記第2セラミックグリーンシートと、を交互に積層する積層工程と、
    を含む積層セラミックコンデンサの製造方法。
  6. 前記セラミックペースト配置工程において、
    前記セラミックペーストを、
    前記第2セラミックグリーンシートにおける、前記側面接続内部電極パターンが配置されていない部分の全体を埋めるとともに、前記側面引き出し部となる部分の全体と、前記側面対向部となる部分の外周部にオーバーラップするように配置し、
    前記第1セラミックグリーンシートにおける、前記端面接続内部電極パターンが配置されていない部分の全体を埋めるとともに、前記端面接続内部電極パターンの外周部にオーバーラップするように配置する、
    請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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