JP2022064955A

JP2022064955A - Laminated coil component and bias-tee circuit

Info

Publication number: JP2022064955A
Application number: JP2022011839A
Authority: JP
Inventors: 敦夫比留川; Atsuo Hirukawa
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2019-05-24
Filing date: 2022-01-28
Publication date: 2022-04-26
Anticipated expiration: 2039-05-24
Also published as: JP7260015B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated coil component with excellent high frequency characteristics.

SOLUTION: A laminated coil component 1 includes a laminate 10 obtained by laminating a plurality of insulating layers 31, 35a, 35b in a length direction x, and having a coil 30 built therein, and a first external electrode 21 and a second external electrode 22 electrically connected to the coil. The coil is connected to a plurality of coil conductors 32 laminated with the insulation layers in the length direction. The laminate has first and second end surfaces 11, 12 that face each other in the length direction x. The first external electrode and the second external electrode each cover at least a portion of the first edge surface 11 and the second edge surface 12. The lamination direction of the laminate and an axis direction of the coil are parallel to a first main surface 13. A distance Dc between the coil conductors adjacent to each other is 4 μm or more and 8 μm or less. The coil conductor includes a line portion and land portions arranged at end portions of the line portion. An inner diameter of the coil conductor is 50 μm or more and 100 μm or less. A width of the line portion is 30 μm or more and 50 μm or less. The land portions are connected to each other via a via conductor.

SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、積層型コイル部品に関する。 The present invention relates to a laminated coil component.

近年の電気機器の通信速度の高速化、及び、小型化に応じて、積層型インダクタには高周波帯（例えば、５０ＧＨｚ以上のＧＨｚ帯）での高周波特性が充分であることが求められている。
積層型コイル部品として、例えば、特許文献１には、絶縁性部材の積層方向とコイルの軸方向が実装面に対して平行である積層型インダクタが開示されている。 With the recent increase in communication speed and miniaturization of electrical equipment, the laminated inductor is required to have sufficient high frequency characteristics in the high frequency band (for example, the GHz band of 50 GHz or more).
As a laminated coil component, for example, Patent Document 1 discloses a laminated inductor in which the laminated direction of the insulating member and the axial direction of the coil are parallel to the mounting surface.

特開平９－１２９４４７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-129447

特許文献１の積層型インダクタにおいては、外部電極は積層体の両端部へのスパッタリング、真空蒸着等の手段によって形成されている。しかし、特許文献１に記載の積層型インダクタでは、５０ＧＨｚ以上のＧＨｚ帯での高周波特性が充分ではないおそれがある。 In the laminated inductor of Patent Document 1, the external electrode is formed by means such as sputtering to both ends of the laminated body and vacuum deposition. However, the multilayer inductor described in Patent Document 1 may not have sufficient high frequency characteristics in the GHz band of 50 GHz or higher.

本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a laminated coil component having excellent high frequency characteristics.

本発明の積層型コイル部品は、複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、上記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備え、上記コイルは、上記絶縁層とともに上記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、上記積層体は、上記長さ方向において相対する第１の端面及び第２の端面と、上記長さ方向と直交する高さ方向において相対する第１の主面及び第２の主面と、上記長さ方向及び上記高さ方向に直交する幅方向において相対する第１の側面及び第２の側面と、を有し、上記第１の外部電極は、上記第１の端面の少なくとも一部を覆い、上記第２の外部電極は、上記第２の端面の少なくとも一部を覆い、上記積層体の積層方向と上記コイルのコイル軸方向とは、上記第１の主面と平行であり、上記積層方向に隣り合う上記コイル導体間の距離は、４μｍ以上、８μｍ以下であり、上記コイル導体は、ライン部と、上記ライン部の端部に配置されるランド部と、を有し、上記積層方向に隣り合う上記コイル導体の上記ランド部は、ビア導体を介して互いに接続されており、上記ライン部の幅は、３０μｍ以上、５０μｍ以下であり、上記コイル導体の内径が、５０μｍ以上、１００μｍ以下であることを特徴とする。 The laminated coil component of the present invention comprises a laminated body in which a plurality of insulating layers are laminated in the length direction and has a coil inside, a first external electrode electrically connected to the coil, and a first. The coil is provided with two external electrodes, and the coil is electrically connected to a plurality of coil conductors laminated in the length direction together with the insulating layer, and the laminated bodies face each other in the length direction. Width orthogonal to the length direction and the height direction of the first main surface and the second main surface facing the first end face and the second end face in the height direction orthogonal to the length direction. It has a first side surface and a second side surface facing each other in a direction, the first external electrode covers at least a part of the first end surface, and the second external electrode covers at least a part of the first end surface. The stacking direction of the laminated body and the coil axial direction of the coil are parallel to the first main surface, and the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction is set to cover at least a part of the end face of the pile. The coil conductor is 4 μm or more and 8 μm or less, the coil conductor has a line portion and a land portion arranged at an end portion of the line portion, and the land portion of the coil conductor adjacent to each other in the stacking direction is a land portion. They are connected to each other via via conductors, and the width of the line portion is 30 μm or more and 50 μm or less, and the inner diameter of the coil conductor is 50 μm or more and 100 μm or less.

本発明によれば、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a laminated coil component having excellent high frequency characteristics.

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of a laminated coil component of the present invention. 図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。2A is a side view of the laminated coil component shown in FIG. 1, FIG. 2B is a front view of the laminated coil component shown in FIG. 1, and FIG. 2C is a diagram. It is a bottom view of the laminated coil component shown in 1. 図３は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing an example of the laminated coil component of the present invention. 図４は、図３に示す積層型コイル部品を構成する絶縁層の様子を模式的に示す分解斜視模式図である。FIG. 4 is an exploded perspective schematic view schematically showing the state of the insulating layer constituting the laminated coil component shown in FIG. 図５は、図３に示す積層型コイル部品を構成する絶縁層の様子を模式的に示す分解平面模式図である。FIG. 5 is a schematic exploded plan view schematically showing the state of the insulating layer constituting the laminated coil component shown in FIG. 図６は、コイル導体の繰り返し形状を模式的に示す平面図である。FIG. 6 is a plan view schematically showing the repeating shape of the coil conductor. 図７は、本発明の積層型コイル部品の他の一例を模式的に示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view schematically showing another example of the laminated coil component of the present invention. 図８（ａ）は、図７に示す積層型コイル部品の側面図であり、図８（ｂ）は、図７に示す積層型コイル部品の正面図であり、図８（ｃ）は、図７に示す積層型コイル部品の底面図である。8 (a) is a side view of the laminated coil component shown in FIG. 7, FIG. 8 (b) is a front view of the laminated coil component shown in FIG. 7, and FIG. 8 (c) is a diagram. It is a bottom view of the laminated coil component shown in 7. 図９は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。FIG. 9 is a diagram schematically showing a method for measuring the transmission coefficient S21. 図１０は、試料１～５の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing the transmission coefficient S21 of the samples 1 to 5. 図１１は、試料６～１０の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing the transmission coefficient S21 of the samples 6 to 10. 図１２は、試料１１～１５の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。FIG. 12 is a graph showing the transmission coefficient S21 of the samples 11 to 15. 図１３は、試料３及び１６の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。FIG. 13 is a graph showing the permeability coefficients S21 of the samples 3 and 16.

以下、本発明の積層型コイル部品について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。 Hereinafter, the laminated coil component of the present invention will be described.
However, the present invention is not limited to the following embodiments, and can be appropriately modified and applied without changing the gist of the present invention. It should be noted that a combination of two or more of the individual desirable configurations described below is also the present invention.

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。
図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of a laminated coil component of the present invention.
2A is a side view of the laminated coil component shown in FIG. 1, FIG. 2B is a front view of the laminated coil component shown in FIG. 1, and FIG. 2C is a diagram. It is a bottom view of the laminated coil component shown in 1.

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す積層型コイル部品１は、積層体１０と第１の外部電極２１と第２の外部電極２２とを備えている。積層体１０は、６面を有する略直方体形状である。積層体１０の構成については後述するが、複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵している。第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２は、それぞれ、コイルに電気的に接続されている。 The laminated coil component 1 shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c) includes a laminated body 10, a first external electrode 21, and a second external electrode 22. There is. The laminated body 10 has a substantially rectangular parallelepiped shape having six faces. Although the configuration of the laminated body 10 will be described later, a plurality of insulating layers are laminated in the length direction, and a coil is built in the laminated body 10. The first external electrode 21 and the second external electrode 22 are each electrically connected to the coil.

本発明の積層型コイル部品及び積層体では、長さ方向、高さ方向、幅方向を、図１におけるｘ方向、ｙ方向、ｚ方向とする。ここで、長さ方向（ｘ方向）と高さ方向（ｙ方向）と幅方向（ｚ方向）は互いに直交する。 In the laminated coil component and the laminated body of the present invention, the length direction, the height direction, and the width direction are the x direction, the y direction, and the z direction in FIG. Here, the length direction (x direction), the height direction (y direction), and the width direction (z direction) are orthogonal to each other.

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、積層体１０は、長さ方向（ｘ方向）に相対する第１の端面１１及び第２の端面１２と、長さ方向に直交する高さ方向（ｙ方向）に相対する第１の主面１３及び第２の主面１４と、長さ方向及び高さ方向に直交する幅方向（ｚ方向）に相対する第１の側面１５及び第２の側面１６とを有する。 As shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c), the laminated body 10 has a first end face 11 and a second end face facing in the length direction (x direction). 12, the first main surface 13 and the second main surface 14 facing the height direction (y direction) orthogonal to the length direction, and the width direction (z direction) orthogonal to the length direction and the height direction. It has a first side surface 15 and a second side surface 16 which face each other.

図１には示されていないが、積層体１０は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。角部は、積層体の３面が交わる部分であり、稜線部は、積層体の２面が交わる部分である。 Although not shown in FIG. 1, it is preferable that the laminated body 10 has rounded corners and ridges. The corner portion is a portion where the three surfaces of the laminated body intersect, and the ridge portion is a portion where the two surfaces of the laminated body intersect.

第１の外部電極２１は、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、積層体１０の第１の端面１１の全部を覆い、かつ、第１の端面１１から延伸して第１の主面１３の一部、第２の主面１４の一部、第１の側面１５の一部、及び、第２の側面１６の一部を覆っている。
また第２の外部電極２２は、積層体１０の第２の端面１２の全部を覆い、かつ、第２の端面１２から延伸して第１の主面１３の一部、第２の主面１４の一部、第１の側面１５の一部、及び、第２の側面１６の一部を覆っている。 As shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c), the first external electrode 21 covers the entire first end surface 11 of the laminated body 10 and is the first. It extends from the end surface 11 of 1 to cover a part of the first main surface 13, a part of the second main surface 14, a part of the first side surface 15, and a part of the second side surface 16. There is.
Further, the second external electrode 22 covers the entire second end surface 12 of the laminated body 10 and extends from the second end surface 12 to form a part of the first main surface 13 and the second main surface 14. It covers a part of the first side surface 15, a part of the first side surface 15, and a part of the second side surface 16.

以上のように第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２が配置されているため、積層型コイル部品１を基板上に実装する場合には、積層体１０の第１の主面１３、第２の主面１４、第１の側面１５、及び第２の側面１６のいずれかが実装面となる。 Since the first external electrode 21 and the second external electrode 22 are arranged as described above, when the laminated coil component 1 is mounted on the substrate, the first main surface 13 of the laminated body 10 Any one of the second main surface 14, the first side surface 15, and the second side surface 16 serves as a mounting surface.

本発明の積層型コイル部品のサイズは特に限定されないが、０６０３サイズであることが好ましい。 The size of the laminated coil component of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0603 size.

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の長さ（図２（ａ）中、両矢印Ｌ_１で示される長さ）は、０．６３ｍｍ以下であることが好ましく、０．５７ｍｍ以上であることが好ましく、０．６０ｍｍ（６００μｍ）以下、０．５６ｍｍ（５６０μｍ）以上であることがより好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の幅（図２（ｃ）中、両矢印Ｗ_１で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｔ_１で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。 When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the length of the laminated body (the length indicated by the double _- headed arrow L1 in FIG. 2A) is preferably 0.63 mm or less, and is 0. It is preferably .57 mm or more, more preferably 0.60 mm (600 μm) or less, and more preferably 0.56 mm (560 μm) or more.
When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the width of the laminated body (the length indicated by the double _- headed arrow W1 in FIG. 2C) is preferably 0.33 mm or less, and 0. It is preferably 27 mm or more.
When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the height of the laminated body (the length indicated by the double _- headed arrow T1 in FIG. 2B) is preferably 0.33 mm or less, and is 0. It is preferably .27 mm or more.

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の長さ（図２（ａ）中、両矢印Ｌ_２で示される長さ）は、０．６３ｍｍ以下であることが好ましく、０．５７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の幅（図２（ｃ）中、両矢印Ｗ_２で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｔ_２で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。 When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the length of the laminated coil component (the length indicated by the _double -headed arrow L2 in FIG. 2A) is preferably 0.63 mm or less. , 0.57 mm or more is preferable.
When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the width of the laminated coil component (the length indicated by the _double -headed arrow W2 in FIG. 2C) is preferably 0.33 mm or less. It is preferably 0.27 mm or more.
When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the height of the laminated coil component (the length indicated by the _double -headed arrow T2 in FIG. 2B) is preferably 0.33 mm or less. , 0.27 mm or more is preferable.

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ（図２（ｃ）中、両矢印Ｅ_１で示される長さ）は、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。
なお、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ、及び、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さが一定でない場合、最も長い部分の長さが上記範囲にあることが好ましい。 When the laminated coil component of the present invention has a size of 0603, the length of the first external electrode of the portion covering the first main surface of the laminated body (the length indicated by the double _- headed arrow E1 in FIG. 2C). S) is preferably 0.12 mm or more and 0.22 mm or less. Similarly, the length of the second external electrode of the portion covering the first main surface of the laminated body is preferably 0.12 mm or more and 0.22 mm or less.
When the length of the first external electrode of the portion covering the first main surface of the laminated body and the length of the second external electrode of the portion covering the first main surface of the laminated body are not constant. It is preferable that the length of the longest portion is in the above range.

本発明の積層型コイル部品を構成する積層体が内蔵するコイルについて説明する。
コイルは、絶縁層とともに長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されることにより形成される。 The coil incorporated in the laminated body constituting the laminated coil component of the present invention will be described.
The coil is formed by electrically connecting a plurality of coil conductors laminated in the length direction together with an insulating layer.

図３は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す断面図であり、図４は、図３に示す積層型コイル部品を構成する絶縁層の様子を模式的に示す分解斜視模式図であり、図５は、図３に示す積層型コイル部品を構成する絶縁層の様子を模式的に示す分解平面模式図である。
図３は、絶縁層、コイル導体及び連結導体、並びに、積層体の積層方向を模式的に示すものであり、実際の形状及び接続等を厳密には表していない。例えば、コイル導体はビア導体を介して接続されている。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing an example of the laminated coil component of the present invention, and FIG. 4 is an exploded perspective schematic showing the state of the insulating layer constituting the laminated coil component shown in FIG. FIG. 5 is a schematic exploded plan view schematically showing the state of the insulating layer constituting the laminated coil component shown in FIG. 3. FIG.
FIG. 3 schematically shows the stacking direction of the insulating layer, the coil conductor, the connecting conductor, and the laminated body, and does not strictly represent the actual shape, connection, and the like. For example, coil conductors are connected via via conductors.

図３に示すように、積層型コイル部品１は、絶縁層とともに積層された複数のコイル導体３２が電気的に接続されることにより形成されるコイルを内蔵する積層体１０と、コイルに電気的に接続される第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２を備える。
積層体１０には、コイル導体が配置された領域と、連結導体４１又は連結導体４２が配置された領域とが存在する。積層体１０の積層方向、及び、コイルの軸方向（図３中、コイル軸Ａを示す）は、第１の主面１３に対して平行である。 As shown in FIG. 3, the laminated coil component 1 includes a laminated body 10 having a coil formed by electrically connecting a plurality of coil conductors 32 laminated together with an insulating layer, and an electric coil. A first external electrode 21 and a second external electrode 22 connected to the above are provided.
The laminated body 10 has a region in which the coil conductor is arranged and a region in which the connecting conductor 41 or the connecting conductor 42 is arranged. The stacking direction of the laminated body 10 and the axial direction of the coil (indicated by the coil axis A in FIG. 3) are parallel to the first main surface 13.

積層方向におけるコイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３は、積層体１０の長さ寸法Ｌ_１の８５％以上、９５％以下となっていることが好ましく、９０％以上、９５％以下となっていることがより好ましい。積層方向におけるコイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３が、積層体１０の長さ寸法の８５％以上、９５％以下であると、積層体に占める連結導体の長さが短くなることに起因して、浮遊容量が小さくなり、高周波特性が向上する。 The dimension L ₃ of the arrangement region of the coil conductor 32 in the stacking direction is preferably 85% or more and 95% or less, and 90% or more and 95% or less of the length dimension L ₁ of the laminated body 10. It is more preferable to be there. When the dimension L ₃ of the arrangement region of the coil conductor 32 in the stacking direction is 85% or more and 95% or less of the length dimension of the laminated body 10, the length of the connecting conductor in the laminated body becomes short. Therefore, the stray capacitance is reduced and the high frequency characteristics are improved.

積層体１０の積層方向に隣り合うコイル導体３２間の距離Ｄ_Ｃは、４μｍ以上、８μｍ以下である。積層体１０の積層方向に隣り合うコイル導体３２間の距離Ｄ_Ｃが４μｍ以上、８μｍ以下であると、高周波特性が向上する。
積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_Ｃが４μｍ未満であると、浮遊容量が増加し、高周波特性が低下してしまう。一方、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_Ｃが８μｍを超えると、コイルのインダクタンスが低下してしまう。 The distance DC between the coil conductors 32 adjacent to each other in the _stacking direction of the laminated body 10 is 4 μm or more and 8 μm or less. When the distance DC between the coil conductors 32 adjacent to each other in the _stacking direction of the laminated body 10 is 4 μm or more and 8 μm or less, the high frequency characteristics are improved.
If the distance DC between the coil conductors adjacent to each other in the _stacking direction is less than 4 μm, the stray capacitance increases and the high frequency characteristics deteriorate. On the other hand, if the distance DC between adjacent coil conductors in the stacking direction exceeds 8 μm, the _inductance of the coils will decrease.

図４及び図５に示すように、積層体１０は、図３中の絶縁層３１として、絶縁層３１ａと、絶縁層３１ｂと、絶縁層３１ｃと、絶縁層３１ｄと、を有している。積層体１０は、図３中の絶縁層３５ａとして、絶縁層３５ａ_１と、絶縁層３５ａ_２と、絶縁層３５ａ_３と、絶縁層３５ａ_４と、を有している。積層体１０は、図３中の絶縁層３５ｂとして、絶縁層３５ｂ_１と、絶縁層３５ｂ_２と、絶縁層３５ｂ_３と、絶縁層３５ｂ_４と、を有している。 As shown in FIGS. 4 and 5, the laminate 10 has an insulating layer 31a, an insulating layer 31b, an insulating layer 31c, and an insulating layer 31d as the insulating layer 31 in FIG. The laminate 10 has an insulating layer 35a ₁ , an insulating layer 35a ₂ , an insulating layer 35a ₃ , and an insulating layer 35a ₄ as the insulating layer 35a in FIG. The laminate 10 has an insulating layer 35b ₁ , an insulating layer 35b ₂ , an insulating layer 35b ₃ , and an insulating layer 35b ₄ as the insulating layer 35b in FIG.

コイル３０は、図３中のコイル導体３２として、コイル導体３２ａと、コイル導体３２ｂと、コイル導体３２ｃと、コイル導体３２ｄと、を有している。 The coil 30 has, as the coil conductor 32 in FIG. 3, a coil conductor 32a, a coil conductor 32b, a coil conductor 32c, and a coil conductor 32d.

コイル導体３２ａ、コイル導体３２ｂ、コイル導体３２ｃ、及び、コイル導体３２ｄは、各々、絶縁層３１ａ、絶縁層３１ｂ、絶縁層３１ｃ、及び、絶縁層３１ｄの主面上に配置されている。 The coil conductor 32a, the coil conductor 32b, the coil conductor 32c, and the coil conductor 32d are arranged on the main surfaces of the insulating layer 31a, the insulating layer 31b, the insulating layer 31c, and the insulating layer 31d, respectively.

コイル導体３２ａ、コイル導体３２ｂ、コイル導体３２ｃ、及び、コイル導体３２ｄの長さは、各々、コイル３０の３／４ターンの長さである。つまり、コイル３０の３ターンを構成するためのコイル導体の積層数は４である。積層体１０においては、コイル導体３２ａ、コイル導体３２ｂ、コイル導体３２ｃ、及び、コイル導体３２ｄが１つの単位（３ターン分）として繰り返し積層されている。 The lengths of the coil conductor 32a, the coil conductor 32b, the coil conductor 32c, and the coil conductor 32d are each 3/4 turn length of the coil 30. That is, the number of laminated coil conductors for forming three turns of the coil 30 is four. In the laminated body 10, the coil conductor 32a, the coil conductor 32b, the coil conductor 32c, and the coil conductor 32d are repeatedly laminated as one unit (for 3 turns).

コイル導体３２ａは、ライン部３６ａと、ライン部３６ａの端部に配置されるランド部３７ａと、を有している。コイル導体３２ｂは、ライン部３６ｂと、ライン部３６ｂの端部に配置されるランド部３７ｂと、を有している。コイル導体３２ｃは、ライン部３６ｃと、ライン部３６ｃの端部に配置されるランド部３７ｃと、を有している。コイル導体３２ｄは、ライン部３６ｄと、ライン部３６ｄの端部に配置されるランド部３７ｄと、を有している。 The coil conductor 32a has a line portion 36a and a land portion 37a arranged at the end of the line portion 36a. The coil conductor 32b has a line portion 36b and a land portion 37b arranged at an end portion of the line portion 36b. The coil conductor 32c has a line portion 36c and a land portion 37c arranged at the end of the line portion 36c. The coil conductor 32d has a line portion 36d and a land portion 37d arranged at the end of the line portion 36d.

絶縁層３１ａ、絶縁層３１ｂ、絶縁層３１ｃ、及び、絶縁層３１ｄには、各々、ビア導体３３ａ、ビア導体３３ｂ、ビア導体３３ｃ、及び、ビア導体３３ｄが積層方向に貫通するように配置されている。 The via conductor 33a, the via conductor 33b, the via conductor 33c, and the via conductor 33d are arranged in the insulating layer 31a, the insulating layer 31b, the insulating layer 31c, and the insulating layer 31d so as to penetrate in the stacking direction, respectively. There is.

コイル導体３２ａ及びビア導体３３ａ付きの絶縁層３１ａと、コイル導体３２ｂ及びビア導体３３ｂ付きの絶縁層３１ｂと、コイル導体３２ｃ及びビア導体３３ｃ付きの絶縁層３１ｃと、コイル導体３２ｄ及びビア導体３３ｄ付きの絶縁層３１ｄとは、１つの単位（図４及び図５中の点線で囲まれた部分）として繰り返し積層されている。これにより、コイル導体３２ａのランド部３７ａと、コイル導体３２ｂのランド部３７ｂと、コイル導体３２ｃのランド部３７ｃと、コイル導体３２ｄのランド部３７ｄとは、ビア導体３３ａ、ビア導体３３ｂ、ビア導体３３ｃ、及び、ビア導体３３ｄを介して接続される。つまり、積層方向に隣り合うコイル導体のランド部は、ビア導体を介して互いに接続される。 With an insulating layer 31a with a coil conductor 32a and a via conductor 33a, an insulating layer 31b with a coil conductor 32b and a via conductor 33b, an insulating layer 31c with a coil conductor 32c and a via conductor 33c, and a coil conductor 32d and a via conductor 33d. The insulating layer 31d of the above is repeatedly laminated as one unit (a portion surrounded by a dotted line in FIGS. 4 and 5). As a result, the land portion 37a of the coil conductor 32a, the land portion 37b of the coil conductor 32b, the land portion 37c of the coil conductor 32c, and the land portion 37d of the coil conductor 32d are the via conductor 33a, the via conductor 33b, and the via conductor. It is connected via 33c and a via conductor 33d. That is, the land portions of the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction are connected to each other via the via conductor.

以上により、積層体１０に内蔵されるソレノイド状のコイル３０が構成される。 As described above, the solenoid-shaped coil 30 built in the laminated body 10 is configured.

積層方向から平面視したとき、コイル導体３２ａ、コイル導体３２ｂ、コイル導体３２ｃ、及び、コイル導体３２ｄで構成されるコイル３０は、円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。積層方向から平面視したとき、コイル３０が多角形状である場合、多角形の面積相当円の直径をコイル３０のコイル径とし、多角形の重心を通り積層方向に延伸する軸をコイル３０のコイル軸とする。 When viewed in a plan view from the stacking direction, the coil 30 composed of the coil conductor 32a, the coil conductor 32b, the coil conductor 32c, and the coil conductor 32d may have a circular shape or a polygonal shape. When the coil 30 has a polygonal shape when viewed from the stacking direction, the diameter of the circle corresponding to the area of the polygon is defined as the coil diameter of the coil 30, and the axis extending in the stacking direction through the center of gravity of the polygon is the coil of the coil 30. Use as the axis.

積層方向から平面視したとき、ランド部３７ａ、ランド部３７ｂ、ランド部３７ｃ、及び、ランド部３７ｄの径は、各々、図５に示すように、ライン部３６ａ、ライン部３６ｂ、ライン部３６ｃ、及び、ライン部３６ｄの線幅よりも大きいことが好ましい。 When viewed in a plan view from the stacking direction, the diameters of the land portion 37a, the land portion 37b, the land portion 37c, and the land portion 37d are, as shown in FIG. 5, the line portion 36a, the line portion 36b, and the line portion 36c, respectively. And, it is preferable that it is larger than the line width of the line portion 36d.

積層方向から平面視したとき、ランド部３７ａ、ランド部３７ｂ、ランド部３７ｃ、及び、ランド部３７ｄは、各々、図５に示すような円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。積層方向から平面視したとき、ランド部３７ａ、ランド部３７ｂ、ランド部３７ｃ、及び、ランド部３７ｄが多角形状である場合、多角形の面積相当円の直径を各ランド部の径とする。 When viewed in a plan view from the stacking direction, the land portion 37a, the land portion 37b, the land portion 37c, and the land portion 37d may each have a circular shape or a polygonal shape as shown in FIG. good. When the land portion 37a, the land portion 37b, the land portion 37c, and the land portion 37d are polygonal when viewed in a plan view from the stacking direction, the diameter of the circle corresponding to the area of the polygon is defined as the diameter of each land portion.

絶縁層３５ａ_１、絶縁層３５ａ_２、絶縁層３５ａ_３、及び、絶縁層３５ａ_４には、各々、ビア導体３３ｐが積層方向に貫通するように配置されている。絶縁層３５ａ_１、絶縁層３５ａ_２、絶縁層３５ａ_３、及び、絶縁層３５ａ_４の主面上には、ビア導体３３ｐに接続されるランド部が配置されていてもよい。 The via conductor 33p is arranged so as to penetrate the insulating layer 35a ₁ , the insulating layer 35a ₂ , the insulating layer 35a ₃ , and the insulating layer 35a ₄ , respectively, in the stacking direction. A land portion connected to the via conductor 33p may be arranged on the main surfaces of the insulating layer 35a ₁ , the insulating layer 35a ₂ , the insulating layer 35a ₃ , and the insulating layer 35a ₄ .

ビア導体３３ｐ付きの絶縁層３５ａ_１と、ビア導体３３ｐ付きの絶縁層３５ａ_２と、ビア導体３３ｐ付きの絶縁層３５ａ_３と、ビア導体３３ｐ付きの絶縁層３５ａ_４とは、コイル導体３２ａ及びビア導体３３ａ付きの絶縁層３１ａと重なるように積層されている。これにより、ビア導体３３ｐ同士がつながって第１の連結導体４１を構成し、第１の連結導体４１が第１の端面１１に露出する。その結果、第１の外部電極２１とコイル３０とが、第１の連結導体４１を介して互いに接続される。 The insulating layer 35a ₁ with the via conductor 33p, the insulating layer 35a ₂ with the via conductor 33p, the insulating layer 35a ₃ with the via conductor 33p, and the insulating layer 35a ₄ with the via conductor 33p are the coil conductor 32a and the via. It is laminated so as to overlap with the insulating layer 31a with the conductor 33a. As a result, the via conductors 33p are connected to each other to form the first connecting conductor 41, and the first connecting conductor 41 is exposed to the first end face 11. As a result, the first external electrode 21 and the coil 30 are connected to each other via the first connecting conductor 41.

第１の連結導体４１は、上述したように、第１の外部電極２１とコイル３０との間を直線状に接続することが好ましい。第１の連結導体４１が第１の外部電極２１とコイル３０との間を直線状に接続するとは、積層方向から平面視したとき、第１の連結導体４１を構成するビア導体３３ｐ同士が重なっていることを意味し、ビア導体３３ｐ同士は厳密に直線状に並んでいなくてもよい。 As described above, the first connecting conductor 41 preferably linearly connects between the first external electrode 21 and the coil 30. The fact that the first connecting conductor 41 linearly connects between the first external electrode 21 and the coil 30 means that the via conductors 33p constituting the first connecting conductor 41 overlap each other when viewed in a plan view from the stacking direction. It means that the via conductors 33p do not have to be arranged exactly in a straight line.

絶縁層３５ｂ_１、絶縁層３５ｂ_２、絶縁層３５ｂ_３、及び、絶縁層３５ｂ_４には、各々、ビア導体３３ｑが積層方向に貫通するように配置されている。絶縁層３５ｂ_１、絶縁層３５ｂ_２、絶縁層３５ｂ_３、及び、絶縁層３５ｂ_４の主面上には、ビア導体３３ｑに接続されるランド部が配置されていてもよい。 The via conductor 33q is arranged so as to penetrate the insulating layer 35b ₁ , the insulating layer 35b ₂ , the insulating layer 35b ₃ , and the insulating layer 35b ₄ , respectively, in the stacking direction. A land portion connected to the via conductor 33q may be arranged on the main surfaces of the insulating layer 35b ₁ , the insulating layer 35b ₂ , the insulating layer 35b ₃ , and the insulating layer 35b ₄ .

ビア導体３３ｑ付きの絶縁層３５ｂ_１と、ビア導体３３ｑ付きの絶縁層３５ｂ_２と、ビア導体３３ｑ付きの絶縁層３５ｂ_３と、ビア導体３３ｑ付きの絶縁層３５ｂ_４とは、コイル導体３２ｄ及びビア導体３３ｄ付きの絶縁層３１ｄと重なるように積層されている。これにより、ビア導体３３ｑ同士がつながって第２の連結導体４２を構成し、第２の連結導体４２が第２の端面１２に露出する。その結果、第２の外部電極２２とコイル３０（コイル導体３２ｄ）とが、第２の連結導体４２を介して互いに接続される。 The insulating layer 35b ₁ with the via conductor 33q, the insulating layer 35b ₂ with the via conductor 33q, the insulating layer 35b ₃ with the via conductor 33q, and the insulating layer 35b ₄ with the via conductor 33q are the coil conductor 32d and the via. It is laminated so as to overlap with the insulating layer 31d with the conductor 33d. As a result, the via conductors 33q are connected to each other to form the second connecting conductor 42, and the second connecting conductor 42 is exposed to the second end face 12. As a result, the second external electrode 22 and the coil 30 (coil conductor 32d) are connected to each other via the second connecting conductor 42.

第２の連結導体４２は、上述したように、第２の外部電極２２とコイル３０との間を直線状に接続することが好ましい。第２の連結導体４２が第２の外部電極２２とコイル３０との間を直線状に接続するとは、積層方向から平面視したとき、第２の連結導体４２を構成するビア導体３３ｑ同士が重なっていることを意味し、ビア導体３３ｑ同士は厳密に直線状に並んでいなくてもよい。 As described above, the second connecting conductor 42 preferably linearly connects between the second external electrode 22 and the coil 30. The fact that the second connecting conductor 42 linearly connects between the second external electrode 22 and the coil 30 means that the via conductors 33q constituting the second connecting conductor 42 overlap each other when viewed in a plan view from the stacking direction. It means that the via conductors 33q do not have to be arranged exactly in a straight line.

なお、第１の連結導体４１を構成するビア導体３３ｐと第２の連結導体４２を構成するビア導体３３ｑとの各々にランド部が接続されている場合、第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２の形状は、ランド部を除いた形状を意味する。 When the land portion is connected to each of the via conductor 33p constituting the first connecting conductor 41 and the via conductor 33q constituting the second connecting conductor 42, the first connecting conductor 41 and the second connecting conductor 41 The shape of the connecting conductor 42 means a shape excluding the land portion.

図４及び図５では、コイル３０の３ターンを構成するためのコイル導体の積層数が４である場合、すなわち、繰り返し形状が３／４ターン形状である場合を例示したが、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数は特に限定されない。
例えば、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数が２、すなわち、繰り返し形状が１／２ターン形状であってもよい。 In FIGS. 4 and 5, the case where the number of laminated coil conductors for forming three turns of the coil 30 is 4, that is, the case where the repeating shape is a 3/4 turn shape is illustrated, but one turn of the coil is illustrated. The number of laminated coil conductors for constituting the above is not particularly limited.
For example, the number of laminated coil conductors for forming one turn of the coil may be 2, that is, the repeating shape may be a 1/2 turn shape.

積層方向から平面視したときに、コイルを構成するコイル導体は互いに重なることが好ましい。また、積層方向から平面視したとき、コイルの形状は円形であることが好ましい。なお、コイルがランド部を含む場合には、ランド部を除いた形状（すなわちライン部の形状）をコイルの形状とする。
また、連結導体を構成するビア導体にランド部が接続されている場合には、ランド部を除いた形状（すなわちビア導体の形状）を連結導体の形状とする。 When viewed in a plan view from the stacking direction, it is preferable that the coil conductors constituting the coil overlap each other. Further, when viewed in a plan view from the stacking direction, the shape of the coil is preferably circular. When the coil includes a land portion, the shape excluding the land portion (that is, the shape of the line portion) is the shape of the coil.
When the land portion is connected to the via conductor constituting the connecting conductor, the shape excluding the land portion (that is, the shape of the via conductor) is defined as the shape of the connecting conductor.

なお、図４に示すコイル導体は、繰り返しパターンが円形となるような形状であるが、繰り返しパターンが四角形等の多角形となるようなコイル導体であってもよい。
またコイル導体の繰り返し形状は３／４ターン形状ではなく、１／２ターン形状であってもよい。 The coil conductor shown in FIG. 4 has a shape such that the repeating pattern has a circular shape, but may be a coil conductor having a polygonal shape such as a quadrangle.
Further, the repeating shape of the coil conductor may be a 1/2 turn shape instead of a 3/4 turn shape.

図６は、コイル導体の繰り返し形状を模式的に示す平面図である。
図６に示すように、コイル導体３２の繰り返し形状は円形となっている。
コイル導体３２の内径Ｒ_ｃは５０μｍ以上、１００μｍ以下となっている。また、コイル導体３２を構成するライン部の幅Ｗ_ｃは３０μｍ以上、５０μｍ以下となっている。 FIG. 6 is a plan view schematically showing the repeating shape of the coil conductor.
As shown in FIG. 6, the repeating shape of the coil conductor 32 is circular.
The inner diameter R _c of the coil conductor 32 is 50 μm or more and 100 μm or less. Further, the width W _c of the line portion constituting the coil conductor 32 is 30 μm or more and 50 μm or less.

積層方向に隣り合うコイル導体間の距離を４μｍ以上、８μｍ以上とし、コイル導体のライン部の幅を３０μｍ以上、５０μｍ以下とし、コイル導体の内径を５０μｍ以上、１００μｍ以上とすることで、積層方向に隣り合うコイル導体間の浮遊容量が小さくなるため、高周波特性が向上し、５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を－１．２ｄＢ以上とすることができる。
積層型コイル部品の５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が－１．２ｄＢ以上である場合、例えば、光通信回路内のバイアスティー（Ｂｉａｓ－Ｔｅｅ）回路等に好適に使用できる。透過係数Ｓ２１は、入力信号に対する透過信号の電力の比から求められる。周波数毎の透過係数Ｓ２１は、例えば、ネットワークアナライザを用いて求められる。透過係数Ｓ２１は、基本的に無次元量であるが、通常、常用対数をとってｄＢ単位で表される。 By setting the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction to 4 μm or more and 8 μm or more, the width of the line portion of the coil conductor to be 30 μm or more and 50 μm or less, and the inner diameter of the coil conductor to be 50 μm or more and 100 μm or more, the stacking direction. Since the stray capacitance between the coil conductors adjacent to each other is reduced, the high frequency characteristics are improved, and the transmission coefficient S21 at 50 GHz can be set to −1.2 dB or more.
When the transmission coefficient S21 of the laminated coil component at 50 GHz is −1.2 dB or more, it can be suitably used for, for example, a bias tea circuit in an optical communication circuit. The transmission coefficient S21 is obtained from the ratio of the power of the transmission signal to the input signal. The transmission coefficient S21 for each frequency is obtained by using, for example, a network analyzer. The transmission coefficient S21 is basically a dimensionless quantity, but is usually expressed in dB by taking the common logarithm.

ライン部の幅は、３０μｍ以上、５０μｍ以下であり、より好ましくは３０μｍ以上、４０μｍ以下である。ライン部の線幅が３０μｍよりも小さい場合、コイルの直流抵抗が大きくなる。ライン部の線幅が５０μｍよりも大きい場合、コイルの静電容量が大きくなるため、積層型コイル部品の高周波特性が低下する。
ライン部の幅を３０μｍ以上、４０μｍ以下とすることにより、積層型コイル部品の５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を－１．０ｄＢ以上とすることができる。 The width of the line portion is 30 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 30 μm or more and 40 μm or less. When the line width of the line portion is smaller than 30 μm, the DC resistance of the coil becomes large. When the line width of the line portion is larger than 50 μm, the capacitance of the coil becomes large, so that the high frequency characteristics of the laminated coil component deteriorate.
By setting the width of the line portion to 30 μm or more and 40 μm or less, the transmission coefficient S21 of the laminated coil component at 50 GHz can be set to −1.0 dB or more.

コイル導体の内径は、５０μｍ以上、１００μｍ以下であり、より好ましくは、５０μｍ以上、８０μｍ以下である。
コイル導体の内径が５０μｍよりも小さい場合、コイルのインダクタンスが低下してしまう。コイル導体の内径が１００μｍよりも大きい場合、コイルの静電容量が大きくなるため、積層型コイル部品の高周波特性が低下する。
コイル導体の内径を５０μｍ以上、８０μｍ以下とすることにより、積層型コイル部品の５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を－１．０ｄＢ以上とすることができる。 The inner diameter of the coil conductor is 50 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 50 μm or more and 80 μm or less.
If the inner diameter of the coil conductor is smaller than 50 μm, the inductance of the coil will decrease. When the inner diameter of the coil conductor is larger than 100 μm, the capacitance of the coil becomes large, so that the high frequency characteristics of the laminated coil component deteriorate.
By setting the inner diameter of the coil conductor to 50 μm or more and 80 μm or less, the transmission coefficient S21 of the laminated coil component at 50 GHz can be set to −1.0 dB or more.

積層方向に隣り合うコイル導体間の距離は４μｍ以上、８μｍ以下であり、好ましくは、５μｍ以上、７μｍ以下である。
積層方向に隣り合うコイル導体間の距離を５μｍ以上、７μｍ以下とすることにより、積層型コイル部品の５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を－１．０ｄＢ以上とすることができる。 The distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction is 4 μm or more and 8 μm or less, preferably 5 μm or more and 7 μm or less.
By setting the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction to 5 μm or more and 7 μm or less, the transmission coefficient S21 of the laminated coil component at 50 GHz can be set to −1.0 dB or more.

積層方向から平面視したとき、コイル導体において、ランド部の外周縁は、ライン部の内周縁と接していることが好ましい。これにより、ライン部の外周縁の外側に位置するランド部の面積が充分小さくなり、ランド部に起因する浮遊容量が充分小さくなるため、積層型コイル部品の高周波特性がより向上する。 When viewed in a plan view from the stacking direction, it is preferable that the outer peripheral edge of the land portion is in contact with the inner peripheral edge of the line portion in the coil conductor. As a result, the area of the land portion located outside the outer peripheral edge of the line portion becomes sufficiently small, and the stray capacitance caused by the land portion becomes sufficiently small, so that the high frequency characteristics of the laminated coil component are further improved.

積層方向から平面視したときのランド部の形状は、円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。ランド部の形状が多角形状である場合、多角形の面積相当円の直径をランド部の径とする。 The shape of the land portion when viewed in a plan view from the stacking direction may be a circular shape or a polygonal shape. When the shape of the land portion is a polygon, the diameter of the circle corresponding to the area of the polygon is defined as the diameter of the land portion.

コイル導体の厚みは特に限定されないが、３μｍ以上、６μｍ以下であることが好ましい。 The thickness of the coil conductor is not particularly limited, but is preferably 3 μm or more and 6 μm or less.

コイル導体の積層数は特に限定されないが、４０以上、６０以下であることが好ましい。
コイル導体の積層数が４０未満であると、浮遊容量が大きくなり、透過係数Ｓ２１が低下する。一方、コイル導体の積層数が６０を超えると、直流抵抗（Ｒｄｃ）が大きくなる。
コイル導体の積層数を４０以上、６０以下とすることで、５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を向上させることができる。 The number of laminated coil conductors is not particularly limited, but is preferably 40 or more and 60 or less.
When the number of laminated coil conductors is less than 40, the stray capacitance becomes large and the transmission coefficient S21 decreases. On the other hand, when the number of laminated coil conductors exceeds 60, the direct current resistance (Rdc) becomes large.
By setting the number of laminated coil conductors to 40 or more and 60 or less, the transmission coefficient S21 at 50 GHz can be improved.

本発明の積層型コイル部品は、積層方向から平面視したときに、ランド部が、ライン部の内周縁よりも内側に位置せず、かつ、ライン部と部分的に重なることが好ましい。
ランド部がライン部の内周縁よりも内側に位置すると、インピーダンスが低下してしまうことがある。
また、積層方向から平面視したときに、ランド部の径は、ライン部の線幅の１．０５倍以上、１．３倍以下であることが好ましい。
ランド部の径がライン部の線幅の１．０５倍未満であると、ランド部とビア導体との接続が不充分となることがある。一方、ランド部の径がライン部の線幅の１．３倍を超えると、ランド部に起因する浮遊容量が大きくなるため、高周波特性が低下することがある。 In the laminated coil component of the present invention, it is preferable that the land portion is not located inside the inner peripheral edge of the line portion and partially overlaps with the line portion when viewed in a plan view from the stacking direction.
If the land portion is located inside the inner peripheral edge of the line portion, the impedance may decrease.
Further, when viewed in a plan view from the stacking direction, the diameter of the land portion is preferably 1.05 times or more and 1.3 times or less the line width of the line portion.
If the diameter of the land portion is less than 1.05 times the line width of the line portion, the connection between the land portion and the via conductor may be insufficient. On the other hand, if the diameter of the land portion exceeds 1.3 times the line width of the line portion, the stray capacitance caused by the land portion becomes large, so that the high frequency characteristics may deteriorate.

本明細書において、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離とは、ビアを介して接続されているコイル導体間の積層方向における最短距離である。従って、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離と、浮遊容量を発生させるコイル導体間の距離とは、必ずしも一致しない。 In the present specification, the distance between coil conductors adjacent to each other in the stacking direction is the shortest distance in the stacking direction between coil conductors connected via vias. Therefore, the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction and the distance between the coil conductors that generate stray capacitance do not always match.

本発明の積層型コイル部品において、実装面は特に限定されないが、第１の主面が実装面であることが好ましい。
第１の主面が実装面である場合には、第１の外部電極が、第１の端面の一部と第１の主面の一部とを延伸して覆い、第２の外部電極が、第２の端面の一部と第１の主面の一部とを延伸して覆うことが好ましい。 In the laminated coil component of the present invention, the mounting surface is not particularly limited, but it is preferable that the first main surface is the mounting surface.
When the first main surface is a mounting surface, the first external electrode stretches and covers a part of the first end surface and a part of the first main surface, and the second external electrode , It is preferable to stretch and cover a part of the second end surface and a part of the first main surface.

第１の主面が実装面である場合の外部電極の形状の例について、図７、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図８（ｃ）を用いて説明する。
図７は、本発明の積層型コイル部品の他の一例を模式的に示す斜視図であり、図８（ａ）は、図７に示す積層型コイル部品の側面図であり、図８（ｂ）は、図７に示す積層型コイル部品の正面図であり、図８（ｃ）は、図７に示す積層型コイル部品の底面図である。 An example of the shape of the external electrode when the first main surface is the mounting surface will be described with reference to FIGS. 7, 8 (a), 8 (b), and 8 (c).
7 is a perspective view schematically showing another example of the laminated coil component of the present invention, FIG. 8A is a side view of the laminated coil component shown in FIG. 7, and FIG. 8B is a side view. ) Is a front view of the laminated coil component shown in FIG. 7, and FIG. 8 (c) is a bottom view of the laminated coil component shown in FIG. 7.

図７、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示す積層型コイル部品２は、積層体１０と第１の外部電極１２１と第２の外部電極１２２とを備えている。積層体１０の構成については、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示した積層型コイル部品１を構成する積層体１０と同じである。 The laminated coil component 2 shown in FIGS. 7, 8 (a), 8 (b) and 8 (c) includes a laminated body 10, a first external electrode 121, and a second external electrode 122. There is. The structure of the laminated body 10 is the same as that of the laminated body 10 constituting the laminated coil component 1 shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c).

第１の外部電極１２１は、図７及び図８（ｂ）に示すように、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆い、かつ、図７及び図８（ｃ）に示すように、第１の端面１１から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。図８（ｂ）に示すように、第１の外部電極１２１は、第１の端面１１のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っているが、第１の端面１１から延伸して第２の主面１４を覆っていてもよい。 The first external electrode 121 covers a part of the first end surface 11 of the laminated body 10 as shown in FIGS. 7 and 8 (b), and as shown in FIGS. 7 and 8 (c). , It extends from the first end surface 11 and is arranged so as to cover a part of the first main surface 13. As shown in FIG. 8B, the first external electrode 121 covers the region of the first end surface 11 including the ridge line portion intersecting with the first main surface 13, but the first end surface 11 It may be stretched from the second main surface 14 to cover the second main surface 14.

なお、図８（ｂ）では、積層体１０の第１の端面１１を覆う部分の第１の外部電極１２１の高さは一定であるが、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆う限り、第１の外部電極１２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の端面１１において、第１の外部電極１２１は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、図８（ｃ）では、積層体１０の第１の主面１３を覆う部分の第１の外部電極１２１の長さは一定であるが、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第１の外部電極１２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第１の外部電極１２１は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。 In FIG. 8B, the height of the first external electrode 121 of the portion covering the first end surface 11 of the laminated body 10 is constant, but a part of the first end surface 11 of the laminated body 10 is used. As long as it covers, the shape of the first external electrode 121 is not particularly limited. For example, in the first end surface 11 of the laminated body 10, the first external electrode 121 may have a mountain shape that rises from the end portion toward the center portion. Further, in FIG. 8C, the length of the first external electrode 121 of the portion covering the first main surface 13 of the laminated body 10 is constant, but one of the first main surfaces 13 of the laminated body 10. The shape of the first external electrode 121 is not particularly limited as long as it covers the portion. For example, in the first main surface 13 of the laminated body 10, the first external electrode 121 may have a mountain shape that becomes longer from the end portion toward the center portion.

図７及び図８（ａ）に示すように、第１の外部電極１２１は、さらに、第１の端面１１及び第１の主面１３から延伸して第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、図８（ａ）に示すように、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第１の外部電極１２１は、いずれも、第１の端面１１と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第１の外部電極１２１は、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。 As shown in FIGS. 7 and 8 (a), the first external electrode 121 further extends from the first end surface 11 and the first main surface 13 to form a part of the first side surface 15 and the second surface. It may be arranged so as to cover a part of the side surface 16. In this case, as shown in FIG. 8A, the first external electrode 121 of the portion covering the first side surface 15 and the second side surface 16 both has a ridge line portion intersecting with the first end surface 11 and a first. It is preferable that the ridge line portion intersecting with the main surface 13 of 1 is formed diagonally. The first external electrode 121 may not be arranged so as to cover a part of the first side surface 15 and a part of the second side surface 16.

第２の外部電極１２２は、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆い、かつ、第２の端面１２から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。第１の外部電極１２１と同様、第２の外部電極１２２は、第２の端面１２のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っている。
また、第１の外部電極１２１と同様に、第２の外部電極１２２は、第２の端面１２から延伸して、第２の主面１４の一部、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆っていてもよい。 The second external electrode 122 is arranged so as to cover a part of the second end surface 12 of the laminated body 10 and extend from the second end surface 12 to cover a part of the first main surface 13. .. Similar to the first external electrode 121, the second external electrode 122 covers the region of the second end surface 12 including the ridge line portion intersecting with the first main surface 13.
Further, similarly to the first external electrode 121, the second external electrode 122 extends from the second end surface 12, and is a part of the second main surface 14, a part of the first side surface 15, and the first surface. A part of the side surface 16 of 2 may be covered.

第１の外部電極１２１と同様、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆う限り、第２の外部電極１２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第２の端面１２において、第２の外部電極１２２は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第２の外部電極１２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第２の外部電極１２２は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。 Similar to the first external electrode 121, the shape of the second external electrode 122 is not particularly limited as long as it covers a part of the second end surface 12 of the laminated body 10. For example, in the second end surface 12 of the laminated body 10, the second external electrode 122 may have a mountain shape that rises from the end portion toward the center portion. Further, the shape of the second external electrode 122 is not particularly limited as long as it covers a part of the first main surface 13 of the laminated body 10. For example, in the first main surface 13 of the laminated body 10, the second external electrode 122 may have a mountain shape that becomes longer from the end portion toward the center portion.

第１の外部電極１２１と同様、第２の外部電極１２２は、さらに、第２の端面１２及び第１の主面１３から延伸して、第２の主面１４の一部、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第２の外部電極１２２は、いずれも、第２の端面１２と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第２の外部電極１２２は、第２の主面１４の一部、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。 Similar to the first external electrode 121, the second external electrode 122 further extends from the second end surface 12 and the first main surface 13, and is a part of the second main surface 14, the first side surface. It may be arranged so as to cover a part of 15 and a part of the second side surface 16. In this case, the second external electrode 122 of the portion covering the first side surface 15 and the second side surface 16 is located on the ridge line portion intersecting with the second end surface 12 and the ridge line portion intersecting with the first main surface 13. On the other hand, it is preferably formed diagonally. The second external electrode 122 may not be arranged so as to cover a part of the second main surface 14, a part of the first side surface 15, and a part of the second side surface 16.

以上のように第１の外部電極１２１及び第２の外部電極１２２が配置されているため、積層型コイル部品２を基板上に実装する場合には、積層体１０の第１の主面１３が実装面となる。 Since the first external electrode 121 and the second external electrode 122 are arranged as described above, when the laminated coil component 2 is mounted on the substrate, the first main surface 13 of the laminated body 10 is used. It becomes a mounting surface.

積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ（図８（ｂ）中、両矢印Ｅ_２で示される長さ）は、０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。
なお、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ、及び、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さが一定でない場合、最も高い部分の高さが上記範囲にあることが好ましい。 The height of the first external electrode (the length indicated by the _double -headed arrow E2 in FIG. 8B) of the portion covering the first end face of the laminate is 0.10 mm or more and 0.20 mm or less. Is preferable. Similarly, the height of the second external electrode of the portion covering the second end surface of the laminated body is preferably 0.10 mm or more and 0.20 mm or less. In this case, the stray capacitance caused by the external electrode can be reduced.
It is the highest when the height of the first external electrode of the portion covering the first end face of the laminated body and the height of the second external electrode of the portion covering the second end face of the laminated body are not constant. The height of the portion is preferably in the above range.

図７、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示す積層型コイル部品２は、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す積層型コイル部品１と比較して、外部電極が設けられている面積が小さいため、積層型コイル部品１よりも浮遊容量を低減し、高周波特性を向上させることができる。 The laminated coil component 2 shown in FIGS. 7, 8 (a), 8 (b) and 8 (c) is shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c). Since the area where the external electrode is provided is smaller than that of the laminated coil component 1 shown, the stray capacitance can be reduced and the high frequency characteristics can be improved as compared with the laminated coil component 1.

図７、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示す外部電極の形状を採用する場合、第１の連結導体及び第２の連結導体は、コイル導体のうち、第１の主面に最も近い部分に接続されていることが好ましい。これにより、第１の端面及び第２の端面を覆う第１の外部電極１２１及び第２の外部電極１２２の高さＥ_２を低くすることができる。高さＥ_２が低くなることにより、外部電極とコイルとの間の浮遊容量を低減し、高周波特性を向上させることができる。 When the shapes of the external electrodes shown in FIGS. 7, 8 (a), 8 (b) and 8 (c) are adopted, the first connecting conductor and the second connecting conductor are the second coil conductors. It is preferable that it is connected to the portion closest to the main surface of 1. As a result, the height E ₂ of the first external electrode 121 and the second external electrode 122 that cover the first end face and the second end face can be lowered. By lowering the height E ₂ , the stray capacitance between the external electrode and the coil can be reduced and the high frequency characteristics can be improved.

［積層型コイル部品の製造方法］
本発明の積層型コイル部品の製造方法の一例について説明する。 [Manufacturing method of laminated coil parts]
An example of a method for manufacturing a laminated coil component of the present invention will be described.

最初に、後に絶縁層となるセラミックグリーンシートを作製する。例えば、まず、フェライト材料に、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、分散剤と、等を加えて混練し、スラリー状にする。その後、ドクターブレード法等の方法によって、厚みが１０～２５μｍ程度のセラミックグリーンシートを作製する。
セラミックグリーンシートの厚みが１０～２５μｍ程度であると、積層体において積層方向に隣接するコイル導体間の距離を４μｍ以上、８μｍ以下に調整しやすい。 First, a ceramic green sheet to be used as an insulating layer is prepared. For example, first, an organic binder such as a polyvinyl butyral resin, an organic solvent such as ethanol and toluene, a dispersant, and the like are added to a ferrite material and kneaded to form a slurry. Then, a ceramic green sheet having a thickness of about 10 to 25 μm is produced by a method such as a doctor blade method.
When the thickness of the ceramic green sheet is about 10 to 25 μm, it is easy to adjust the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction to 4 μm or more and 8 μm or less in the laminated body.

フェライト材料としては、例えば、下記の方法で作製されるものが挙げられる。まず、鉄、ニッケル、亜鉛、及び、銅の酸化物原料を混合し、８００℃で１時間仮焼成する。その後、得られた仮焼成物をボールミルによって粉砕し、乾燥させることによって、平均粒径が約２μｍのＮｉ－Ｚｎ－Ｃｕ系のフェライト材料（酸化物混合粉末）を作製する。 Examples of the ferrite material include those produced by the following methods. First, iron, nickel, zinc, and copper oxide raw materials are mixed and calcined at 800 ° C. for 1 hour. Then, the obtained calcined product is pulverized by a ball mill and dried to prepare a Ni—Zn—Cu based ferrite material (oxide mixed powder) having an average particle size of about 2 μm.

フェライト材料を用いてセラミックグリーンシートを作製する場合、高いインダクタンスを得るためには、フェライト材料の組成が、Ｆｅ_２Ｏ_３：４０ｍоｌ％以上、４９．５ｍоｌ％以下、ＺｎＯ：５ｍоｌ％以上、３５ｍоｌ％以下、ＣｕＯ：４ｍоｌ％以上、１２ｍоｌ％以下、残部：ＮｉＯ及び微量添加剤（不可避不純物を含む）、であることが好ましい。 When a ceramic green sheet is produced using a ferrite material, in order to obtain high inductance, the composition of the ferrite material is Fe _2O ₃ : 40 mL or more, 49.5 mol% or less, ZnO: 5 mL% or more, 35 mL%. Hereinafter, it is preferable that CuO: 4 mL% or more, 12 mL% or less, the balance: NiO and a trace additive (including unavoidable impurities).

セラミックグリーンシートの材料としては、上述したフェライト材料等の磁性材料以外に、例えば、ガラスセラミック材料等の非磁性材料、磁性材料及び非磁性材料の混合材料、等を用いてもよい。 As the material of the ceramic green sheet, in addition to the magnetic material such as the above-mentioned ferrite material, for example, a non-magnetic material such as a glass ceramic material, a mixed material of a magnetic material and a non-magnetic material, and the like may be used.

次に、セラミックグリーンシートに、後にコイル導体及びビア導体となる導体パターンを形成する。例えば、まず、セラミックグリーンシートにレーザー加工を施すことによって、直径２０μｍ以上、３０μｍ以下程度のビアホールを形成する。そして、銀ペースト等の導電性ペーストをビアホールに充填し、ビア導体用導体パターンを形成する。更に、セラミックグリーンシートの主面上に、銀ペースト等の導電性ペーストを用いて、スクリーン印刷等の方法によって、厚みが１１μｍ程度のコイル導体用導体パターンを印刷する。コイル導体用導体パターンとしては、例えば、図４及び図５に示すようなコイル導体に相当する導体パターンなどを印刷する。
このとき、コイル導体用導体パターンの形状を、得られるコイル導体のコイル径が５０μｍ以上、１００μｍ以下、かつ、ライン部の幅が３０μｍ以上、５０μｍ以下となるような形状とする。 Next, a conductor pattern that later becomes a coil conductor and a via conductor is formed on the ceramic green sheet. For example, first, a ceramic green sheet is laser-processed to form a via hole having a diameter of 20 μm or more and 30 μm or less. Then, a conductive paste such as silver paste is filled in the via hole to form a conductor pattern for the via conductor. Further, a conductor pattern for a coil conductor having a thickness of about 11 μm is printed on the main surface of the ceramic green sheet by a method such as screen printing using a conductive paste such as silver paste. As the conductor pattern for the coil conductor, for example, a conductor pattern corresponding to the coil conductor as shown in FIGS. 4 and 5 is printed.
At this time, the shape of the coil conductor conductor pattern is such that the coil diameter of the obtained coil conductor is 50 μm or more and 100 μm or less, and the width of the line portion is 30 μm or more and 50 μm or less.

その後、乾燥させることによって、セラミックグリーンシートにコイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンが形成された構成を有するコイルシートが得られる。コイルシートにおいては、コイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンが互いに接続されている。 Then, by drying, a coil sheet having a structure in which a conductor pattern for a coil conductor and a conductor pattern for a via conductor are formed on a ceramic green sheet can be obtained. In the coil sheet, the conductor pattern for the coil conductor and the conductor pattern for the via conductor are connected to each other.

また、コイルシートとは別に、セラミックグリーンシートにビア導体用導体パターンが形成された構成を有するビアシートを作製する。ビアシートのビア導体用導体パターンは、後に連結導体を構成するビア導体となる導体パターンである。 Further, separately from the coil sheet, a via sheet having a structure in which a conductor pattern for a via conductor is formed on a ceramic green sheet is produced. The via conductor conductor pattern of the via sheet is a conductor pattern that later becomes a via conductor constituting a connecting conductor.

次に、個片化及び焼成後に実装面と平行なコイル軸を有するコイルが積層体の内部に形成されるように、コイルシートを所定の順序で積層させる。
更に、コイルシートの積層体の上下にビアシートを積層させる。
コイルシートの積層数は４０以上、６０以下であることが好ましい。 Next, the coil sheets are laminated in a predetermined order so that a coil having a coil axis parallel to the mounting surface is formed inside the laminated body after individualization and firing.
Further, the via sheets are laminated above and below the laminated body of the coil sheets.
The number of laminated coil sheets is preferably 40 or more and 60 or less.

次に、コイルシート及びビアシートの積層体を熱圧着して圧着体を得た後、所定のチップサイズとなるように切断することによって、個片化したチップを得る。個片化したチップに対しては、例えば、バレル研磨を施すことによって、角部及び稜線に丸みを付けてもよい。 Next, the laminated body of the coil sheet and the via sheet is thermocompression-bonded to obtain a crimped body, and then cut to a predetermined chip size to obtain an individualized chip. The corners and ridges of the individualized chips may be rounded, for example, by performing barrel polishing.

次に、個片化したチップに対して、所定の温度及び時間で脱バインダ処理及び焼成を施すことによって、内部にコイルを内蔵する積層体（焼成体）を形成する。この際、コイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンは、各々、焼成後にコイル導体及びビア導体となる。コイルは、コイル導体同士がビア導体を介して接続されてなる。また、積層体の積層方向とコイルのコイル軸方向とは、実装面と平行になる。 Next, the individualized chips are subjected to a binder removal treatment and firing at a predetermined temperature and time to form a laminated body (fired body) having a coil inside. At this time, the conductor pattern for the coil conductor and the conductor pattern for the via conductor become the coil conductor and the via conductor, respectively, after firing. The coil is formed by connecting coil conductors to each other via via conductors. Further, the stacking direction of the laminated body and the coil axial direction of the coil are parallel to the mounting surface.

次に、銀ペースト等の導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、積層体を垂直に浸漬して焼き付けることによって、積層体の５面（端面、両主面及び両端面）に外部電極の下地電極層を形成する。
また、銀ペースト等の導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、積層体を斜めに浸漬して焼き付けることによって、積層体の４面（主面、端面、及び、両側面）に外部電極の下地電極層を形成することができる。 Next, by vertically immersing the laminate in a layer obtained by stretching a conductive paste such as silver paste to a predetermined thickness and baking it, external electrodes are applied to five surfaces (end faces, both main faces and both end faces) of the laminate. Form the base electrode layer of.
Further, by immersing the laminate diagonally in a layer obtained by stretching a conductive paste such as silver paste to a predetermined thickness and baking it, external electrodes are applied to four surfaces (main surface, end surface, and both side surfaces) of the laminate. The base electrode layer can be formed.

次に、下地電極層に対して、めっきによって、所定の厚みのニッケル被膜及びスズ被膜を順次形成する。その結果、外部電極が形成される。 Next, a nickel film and a tin film having a predetermined thickness are sequentially formed on the base electrode layer by plating. As a result, an external electrode is formed.

以上により、本発明の積層型コイル部品が製造される。 As described above, the laminated coil component of the present invention is manufactured.

以下、本発明の積層型コイル部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, an embodiment in which the laminated coil component of the present invention is disclosed more specifically will be shown. The present invention is not limited to these examples.

［試料の作製］
（試料１）
（１）所定の組成を有するフェライト材料（仮焼粉末）を準備した。 [Preparation of sample]
(Sample 1)
(1) A ferrite material (temporarily baked powder) having a predetermined composition was prepared.

（２）上記仮焼粉末に有機バインダ（ポリビニルブチラール系樹脂）、有機溶剤（エタノール及びトルエン）をＰＳＺボールとともにポットミルに入れ、湿式で充分に混合粉砕し、磁性体スラリーを作製した。 (2) An organic binder (polyvinyl butyral resin) and an organic solvent (ethanol and toluene) were put into a pot mill together with PSZ balls in the calcined powder, and the mixture was sufficiently mixed and pulverized in a wet manner to prepare a magnetic slurry.

（３）ドクターブレード法により、上記磁性体スラリーをシート状に成形加工し、これを矩形に打ち抜くことにより、厚さ１２μｍのセラミックグリーンシートを複数枚作製した。 (3) By the doctor blade method, the magnetic slurry was molded into a sheet shape and punched into a rectangular shape to prepare a plurality of 12 μm-thick ceramic green sheets.

（４）Ａｇ粉末と有機ビヒクルを含む内部導体用の導電性ペーストを準備した。 (4) A conductive paste for an internal conductor containing Ag powder and an organic vehicle was prepared.

（５）ビアシートの作製
セラミックグリーンシートの所定箇所にレーザーを照射することにより、ビアホールを形成した。ビアホールに導電性ペーストを充填してビア導体を形成、その周囲に円形に導電性ペーストをスクリーン印刷することにより、ランド部を形成した。 (5) Preparation of Via Sheet A via hole was formed by irradiating a predetermined portion of the ceramic green sheet with a laser. A land portion was formed by filling a via hole with a conductive paste to form a via conductor and screen-printing the conductive paste in a circular shape around the via conductor.

（６）コイルシートの作製
セラミックグリーンシートの所定箇所にビアホールを形成し、導電性ペーストを充填してビア導体を形成した後、ランド部及びライン部からなるコイル導体を印刷し、コイルシートを得た。 (6) Preparation of Coil Sheet After forming a via hole at a predetermined position on the ceramic green sheet and filling it with a conductive paste to form a via conductor, the coil conductor consisting of a land portion and a line portion is printed to obtain a coil sheet. rice field.

（７）これらのシートを図４及び図５に示した順序で、コイル導体の積層数が５６となるように積層した後、加熱、加圧し、ダイサーで切断して個片化することにより積層成形体を作製した。 (7) These sheets are laminated in the order shown in FIGS. 4 and 5 so that the number of laminated coil conductors is 56, and then heated, pressurized, cut with a dicer, and separated into individual pieces. A molded body was produced.

（８）積層成形体を焼成炉に入れて、大気雰囲気下、５００℃の温度で脱バインダ処理を行い、その後、９００℃の温度で焼成することにより、積層体（焼成済み）を作製した。
得られた積層体３０個の寸法をマイクロメーターを用いて測定し平均値を求めたところ、Ｌ＝０．６０ｍｍ、Ｗ＝０．３０ｍｍ、Ｔ＝０．３０ｍｍであった。 (8) The laminated molded body was placed in a firing furnace, subjected to a binder removal treatment at a temperature of 500 ° C. in an air atmosphere, and then fired at a temperature of 900 ° C. to prepare a laminated body (baked).
When the dimensions of the obtained 30 laminated bodies were measured using a micrometer and the average value was obtained, L = 0.60 mm, W = 0.30 mm, and T = 0.30 mm.

（９）Ａｇ粉末とガラスフリットを含有する外部電極用の導電性ペーストを塗膜形成槽に流し込み、所定厚みの塗膜が形成されるようにした。この塗膜に、積層体の外部電極を形成する箇所を浸漬した。 (9) A conductive paste for an external electrode containing Ag powder and glass frit was poured into a coating film forming tank so that a coating film having a predetermined thickness was formed. The portion where the external electrode of the laminated body was formed was immersed in this coating film.

（１０）浸漬後、８００℃程度の温度で焼き付けることで、外部電極の下地電極を形成した。 (10) After immersion, the substrate electrode of the external electrode was formed by baking at a temperature of about 800 ° C.

（１１）電解めっきで、下地電極の上にＮｉ皮膜及びＳｎ皮膜を順次形成して、外部電極を形成した。
以上により、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す形状の外部電極、並びに、図３、図４及び図５に示すような積層体の内部構造を有する積層型コイル部品（試料１）を作製した。
試料１では、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_ｃを４μｍ、コイル内径Ｒ_ｃを１００μｍ、ライン部の幅Ｗ_ｃを３０μｍとした。また、コイル導体の厚さを６μｍとし、積層方向におけるコイル導体の配置領域の寸法を、積層体の長さ寸法の９３．３％とした。 (11) By electrolytic plating, a Ni film and a Sn film were sequentially formed on the base electrode to form an external electrode.
Based on the above, the external electrodes having the shapes shown in FIGS. 1, 2 (a), 2 (b) and 2 (c), and the internal structure of the laminate as shown in FIGS. 3, 4 and 5 are obtained. A laminated coil component (Sample 1) having a structure was produced.
In Sample 1, the distance D _c between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction was 4 μm, the coil inner diameter R _c was 100 μm, and the width W _c of the line portion was 30 μm. Further, the thickness of the coil conductor was set to 6 μm, and the dimension of the arrangement region of the coil conductor in the stacking direction was set to 93.3% of the length dimension of the laminated body.

（透過係数Ｓ２１の測定）
図９は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。
図９に示すように、信号経路６１とグランド導体６２を設けた測定用治具６０に試料（積層型コイル部品１）をはんだ付けした。積層型コイル部品１の第１の外部電極２１が信号経路６１に接続され、第２の外部電極２２がグランド導体６２に接続される。 (Measurement of transmission coefficient S21)
FIG. 9 is a diagram schematically showing a method for measuring the transmission coefficient S21.
As shown in FIG. 9, a sample (laminated coil component 1) was soldered to a measuring jig 60 provided with a signal path 61 and a ground conductor 62. The first external electrode 21 of the laminated coil component 1 is connected to the signal path 61, and the second external electrode 22 is connected to the ground conductor 62.

ネットワークアナライザ６３を用いて、試料への入力信号と透過信号の電力を求め、周波数を変化させて透過係数Ｓ２１を測定した。ネットワークアナライザ６３には、信号経路６１の一端と他端が接続される。
測定結果を図１０に、６０ＧＨｚにおける透過係数Ｓ２１を表１にそれぞれ示す。図１０は、実施例で作製した試料の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。なお、透過係数Ｓ２１は、０ｄＢに近いほど損失が少ないことを示す。 Using a network analyzer 63, the powers of the input signal and the transmission signal to the sample were obtained, and the transmission coefficient S21 was measured by changing the frequency. One end and the other end of the signal path 61 are connected to the network analyzer 63.
The measurement results are shown in FIG. 10, and the transmission coefficient S21 at 60 GHz is shown in Table 1, respectively. FIG. 10 is a graph showing the permeability coefficient S21 of the sample prepared in the example. The transmission coefficient S21 indicates that the closer it is to 0 dB, the smaller the loss.

（試料２～１６）
積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_ｃ、コイルの内径Ｒ_ｃ及びライン部の幅Ｗ_ｃを表１に示したように変更したほかは、試料１と同様の手順で積層型コイル部品（試料２～１６）を作製し、透過係数Ｓ２１を測定した。結果を表１、図１０、図１１、図１２及び図１３に示す。
図１０は、試料１～５の透過係数Ｓ２１を示すグラフであり、図１１は、試料６～１０の透過係数Ｓ２１を示すグラフであり、図１２は、試料１１～１５の透過係数Ｓ２１を示すグラフであり、図１３は、試料３及び１６の透過係数Ｓ２１を示すグラフである。
全ての試料について、積層体の長さ寸法に対する積層方向におけるコイル導体の配置領域の寸法の割合は、試料１と同じく９３．３％であった。
なお、試料１１～１６については、コイル導体の配置領域の寸法、及び、コイル導体の厚さは変更せずに、コイル導体の積層数及びセラミックグリーンシートの厚さを変更した。
また、試料３、試料８及び試料１２は、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離、コイルの内径及びライン部の幅が全て同じである。 (Samples 2 to 16)
The laminated coil parts (laminated coil parts (in the same procedure as sample 1) except that the distance D _c between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction, the inner diameter R _c of the coil, and the width W _c of the line portion are changed as shown in Table 1. Samples 2 to 16) were prepared and the permeability coefficient S21 was measured. The results are shown in Table 1, FIG. 10, FIG. 11, FIG. 12 and FIG.
10 is a graph showing the permeability coefficient S21 of the samples 1 to 5, FIG. 11 is a graph showing the permeability coefficient S21 of the samples 6 to 10, and FIG. 12 shows the transmission coefficient S21 of the samples 11 to 15. It is a graph, and FIG. 13 is a graph showing the permeability coefficient S21 of the samples 3 and 16.
For all the samples, the ratio of the dimension of the coil conductor placement region in the stacking direction to the length dimension of the laminate was 93.3%, which was the same as that of sample 1.
For the samples 11 to 16, the number of laminated coil conductors and the thickness of the ceramic green sheet were changed without changing the dimensions of the coil conductor placement area and the thickness of the coil conductors.
Further, the sample 3, the sample 8 and the sample 12 all have the same distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction, the inner diameter of the coil, and the width of the line portion.

表１の結果より、本発明の積層型コイル部品は、５０ＧＨｚにおける透過係数Ｓ２１が－１．２ｄＢ以上であり、高周波特性に優れることがわかった。
さらに、ライン部の幅Ｗ_ｃを３０μｍ以上、４０μｍ以下とするか、コイルの内径Ｒ_ｃを５０μｍ以上、８０μｍ以下とするか、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_ｃを５μｍ以上、７μｍ以下とすることにより、５０ＧＨｚにおける透過係数Ｓ２１を－１．０ｄＢ以上とすることができることがわかった。
また、試料１６の結果より、ライン部の幅Ｗ_ｃを３０μｍ以上、４０μｍ以下とし、コイルの内径Ｒ_ｃを５０μｍ以上、８０μｍ以下とし、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ_ｃを５μｍ以上、７μｍ以下とすることにより、５０ＧＨｚにおける透過係数Ｓ２１をさらに低下させることができることがわかった。 From the results in Table 1, it was found that the laminated coil component of the present invention has a transmission coefficient S21 at 50 GHz of −1.2 dB or more and is excellent in high frequency characteristics.
Further, the width W _c of the line portion should be 30 μm or more and 40 μm or less, the inner diameter R _c of the coil should be 50 μm or more and 80 μm or less, or the distance D _c between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction should be 5 μm or more and 7 μm. It was found that the transmission coefficient S21 at 50 GHz can be set to −1.0 dB or more by the following.
From the results of sample 16, the width W _c of the line portion is set to 30 μm or more and 40 μm or less, the inner diameter R _c of the coil is set to 50 μm or more and 80 μm or less, and the distance D _c between adjacent coil conductors in the stacking direction is 5 μm or more. It was found that the transmission coefficient S21 at 50 GHz can be further reduced by setting the thickness to 7 μm or less.

１積層型コイル部品
１０積層体
１１第１の端面
１２第２の端面
１３第１の主面
１４第２の主面
１５第１の側面
１６第２の側面
２１第１の外部電極
２２第２の外部電極
３０コイル
３１、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３５ａ、３５ａ_１、３５ａ_２、３５ａ_３、３５ａ_４、３５ｂ、３５ｂ_１、３５ｂ_２、３５ｂ_３、３５ｂ_４絶縁層
３２、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ、１３２コイル導体
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ、３３ｐ、３３ｑビア導体
３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄライン部
３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄランド部
４１第１の連結導体
４２第２の連結導体
６０測定用治具
６１信号経路
６２グランド導体
６３ネットワークアナライザ
Ａコイルの中心軸
Ｄ_ｃ積層方向に隣り合うコイル導体間の距離
Ｅ_１第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ
Ｅ_２第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ
Ｌ_１積層体の長さ寸法
Ｌ_２積層型コイル部品の長さ寸法
Ｌ_３積層方向におけるコイル導体の配置領域の寸法
Ｒ_Ｃコイルの内径
Ｔ_１積層体の高さ寸法
Ｔ_２積層型コイル部品の高さ寸法
Ｗ_１積層体の幅寸法
Ｗ_２積層型コイル部品の幅寸法
Ｗ_Ｃライン部の幅

1 Laminated coil component 10 Laminated body 11 First end surface 12 Second end surface 13 First main surface 14 Second main surface 15 First side surface 16 Second side surface 21 First external electrode 22 Second External electrode 30 Coil 31, 31a, 31b, 31c, 31d, 35a, 35a ₁ , 35a ₂ , 35a ₃ , 35a ₄ , 35b, 35b ₁ , 35b ₂ , 35b ₃ , 35b ₄ Insulation layer 32, 32a, 32b, 32c , 32d, 132 Coil conductors 33a, 33b, 33c, 33d, 33p, 33q Via conductors 36a, 36b, 36c, 36d Line parts 37a, 37b, 37c, 37d Land parts 41 First connecting conductor 42 Second connecting conductor 60 Measuring jig 61 Signal path 62 Ground conductor 63 Network analyzer A Coil central axis D _c Distance between adjacent coil conductors in the stacking direction E ₁ Length of the first external electrode of the portion covering the first main surface E ₂ Height of the first external electrode of the portion covering the first end face L ₁ Length dimension of the laminated body L ₂ Length dimension of the laminated coil component L ₃ Dimension of the arrangement area of the coil conductor in the stacking direction _RC coil Inner diameter T ₁ Height dimension of laminated body T ₂ Height dimension of laminated coil component W ₁ Width dimension of laminated body W ₂ Width dimension of laminated coil component _WC Line width

Claims

複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、
前記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備え、
前記コイルは、前記絶縁層とともに前記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、
前記積層体は、前記長さ方向において相対する第１の端面及び第２の端面と、前記長さ方向と直交する高さ方向において相対する第１の主面及び第２の主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向において相対する第１の側面及び第２の側面と、を有し、
前記第１の外部電極は、前記第１の端面の少なくとも一部を覆い、
前記第２の外部電極は、前記第２の端面の少なくとも一部を覆い、
前記積層体の積層方向と前記コイルのコイル軸方向とは、前記第１の主面と平行であり、
前記積層方向に隣り合う前記コイル導体間の距離は、４μｍ以上、８μｍ以下であり、
前記コイル導体は、ライン部と、前記ライン部の端部に配置されるランド部と、を有し、
前記積層方向に隣り合う前記コイル導体の前記ランド部は、ビア導体を介して互いに接続されており、
前記ライン部の幅は、３０μｍ以上、５０μｍ以下であり、
光通信回路内のバイアスティー回路に用いられることを特徴とする、積層型コイル部品。 A laminated body in which a plurality of insulating layers are laminated in the length direction and a coil is built in the inside,
A first external electrode and a second external electrode electrically connected to the coil are provided.
The coil is formed by electrically connecting a plurality of coil conductors laminated in the length direction together with the insulating layer.
The laminated body includes a first main surface and a second end surface facing each other in the length direction, and a first main surface and a second main surface facing each other in a height direction orthogonal to the length direction. It has a first side surface and a second side surface which are opposed to each other in the length direction and the width direction orthogonal to the height direction.
The first external electrode covers at least a part of the first end face.
The second external electrode covers at least a part of the second end face.
The stacking direction of the laminated body and the coil axial direction of the coil are parallel to the first main surface.
The distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction is 4 μm or more and 8 μm or less.
The coil conductor has a line portion and a land portion arranged at an end portion of the line portion.
The land portions of the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction are connected to each other via a via conductor.
The width of the line portion is 30 μm or more and 50 μm or less.
A laminated coil component characterized by being used in a bias tee circuit in an optical communication circuit.

前記ライン部の幅は、３０μｍ以上、４０μｍ以下である請求項１に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to claim 1, wherein the width of the line portion is 30 μm or more and 40 μm or less.

前記コイル導体の内径が、５０μｍ以上、８０μｍ以下である請求項１又は２に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to claim 1 or 2, wherein the inner diameter of the coil conductor is 50 μm or more and 80 μm or less.

前記積層方向に隣り合う前記コイル導体間の距離は、５μｍ以上、７μｍ以下である請求項１～３のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to any one of claims 1 to 3, wherein the distance between the coil conductors adjacent to each other in the stacking direction is 5 μm or more and 7 μm or less.

前記コイル導体の積層数は４０以上、６０以下である請求項１～４のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to any one of claims 1 to 4, wherein the number of laminated coil conductors is 40 or more and 60 or less.

前記積層体の長さ寸法は、５６０μｍ以上、６００μｍ以下である請求項１～５のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to any one of claims 1 to 5, wherein the length dimension of the laminated body is 560 μm or more and 600 μm or less.

前記積層方向における前記コイル導体の配置領域の寸法は、前記積層体の長さ寸法の８５％以上、９５％以下である請求項１～６のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to any one of claims 1 to 6, wherein the dimension of the arrangement region of the coil conductor in the laminated direction is 85% or more and 95% or less of the length dimension of the laminated body.

前記積層方向における前記コイル導体の配置領域の寸法は、前記積層体の長さ寸法の９０％以上、９５％以下である請求項１～７のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The laminated coil component according to any one of claims 1 to 7, wherein the dimension of the arrangement region of the coil conductor in the laminated direction is 90% or more and 95% or less of the length dimension of the laminated body.

前記第１の主面が実装面であり、
前記第１の外部電極は、前記第１の端面の一部と前記第１の主面の一部とを延伸して覆い、
前記第２の外部電極は、前記第２の端面の一部と前記第１の主面の一部とを延伸して覆う、請求項１～８のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。 The first main surface is a mounting surface, and the first main surface is a mounting surface.
The first external electrode stretches and covers a part of the first end surface and a part of the first main surface.
The laminated coil component according to any one of claims 1 to 8, wherein the second external electrode stretches and covers a part of the second end surface and a part of the first main surface. ..

請求項１～９のいずれか１項に記載の積層型コイル部品を備えることを特徴とする、光通信回路内のバイアスティー回路。

A bias tee circuit in an optical communication circuit, comprising the laminated coil component according to any one of claims 1 to 9.