JP2022051437A - 基板処理装置、基板保持具、及び、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を処理する処理室と、
前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、
前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、
前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きい第1リングプレートと、
を有する技術が提供される。
本実施形態において、本開示に係る基板処理装置100は、ウエハに各種の熱処理を施す枚葉式熱処理装置として構成されており、後述する電磁波を用いたアニール処理(改質処理)を行う装置として説明を行う。本実施形態における基板処理装置100では、基板としてのウエハ200を内部に収容した収納容器(キャリア)としてFOUP(Front Opening Unified Pod:以下、ポッドと称する)110が使用される。 ポッド110は、ウエハ200を種々の基板処理装置間を搬送する為の搬送容器としても用いられる。
図1の破線で囲まれた領域Aには、図3に示すような基板処理構造を有する処理炉が構成される。図2に示すように、本実施形態においては処理炉が複数設けられているが、処理炉の構成は同一である為、一方の構成を説明するに留め、他方の処理炉構成の説明は省略する。
図4に示すように、制御部(制御装置、制御手段)であるコントローラ121は、CPU(Central Processing Unit)121a、RAM(Random Access Memory)121b、記憶装置121c、I/Oポート121dを備えたコンピュータとして構成されている。RAM121b、記憶装置121c、I/Oポート121dは、内部バス121eを介して、CPU121aとデータ交換可能なように構成されている。コントローラ121には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置122が接続されている。
次に、上述の基板処理装置100の処理炉を用いて、半導体装置(デバイ ス)の製造工程の一工程として、例えば、基板上に形成されたシリコン含有膜としてのアモルファスシリコン膜の改質(結晶化)方法の一例について図5に示した処理フローに沿って説明する。以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。また、上述した処理炉構造と同様に本実施形態における基板処理工程においても、処理内容、すなわちレシピについては複数設けられた処理炉において同一レシピを使用する為、一方の処理炉を使用した基板処理工程について説明するに留め、他方の処理炉を用いた基板処理工程の説明は省略する。
図3に示されるように、ツィーザ125a-1、125a―2のいずれか 一方、または両方に載置されたウエハ200はゲートバルブ205の開閉動作によって所定の処理室201に搬入(ローディング)される(S501)。
処理室201内へのウエハ200の搬入が完了したら、処理室201内が 所定の圧力(例えば10~102000Pa)となるよう処理室201内の雰囲気を制御する。具体的には、真空ポンプ246により排気しつつ、圧力センサ245により検出された圧力情報に基づいて圧力調整器244の弁開度をフィードバック制御し、処理室201内を所定の圧力とする。また、同時に予備加熱として電磁波供給部を制御し、所定の温度まで加熱を行うように制御してもよい(S502)。電磁波供給部によって、所定の基板処理温度まで昇温させる場合、ウエハ200が変形・破損しないように、後述する改質工程の出力よりも小さな出力で昇温を行うことが好ましい。なお、大気圧下で基板処理を行う場合、炉内圧力調整を行わず、炉内の温度調整のみを行った後、後述する不活性ガス供給工程S503へ移行するように制御してもよい。
炉内圧力・温度調整工程S502によって処理室201内の圧力と温度を 所定の値に制御すると、駆動機構267は、シャフト255を回転させ、載置台210上のボート217を介してウエハ200を回転させる。このとき、窒素ガス等の不活性ガスがガス供給管232を介して供給される(S50 3)。さらにこのとき、処理室201内の圧力は10Pa以上102000 Pa以下の範囲となる所定の値であって、例えば101300Pa以上101650Pa以下となるように調整される。なお、シャフトは基板搬入工程S501時、すなわち、ウエハ200を処理室201内に搬入完了後に回転させてもよい。
処理室201内を所定の圧力となるように維持すると、マイクロ波発振器655は上述した各部を介して処理室201内にマイクロ波を供給する。処理室201内にマイクロ波が供給されることによって、ウエハ200が100℃以上、1000℃以下の温度、好適には400℃以上、900℃以下の温度となるように加熱し、さらに好適には、500℃以上、700℃以下の温度となるように加熱する。このような温度で基板処理することによって、ウエハ200が効率よくマイクロ波を吸収する温度下での基板処理となり、改質処理の速度向上が可能となる。換言すると、ウエハ200の温度を100℃よりも低い温度、または1000℃よりも高い温度下で処理してしまうと、ウエハ200の表面が変質してしまい、マイクロ波を吸収し難くなってしまうためにウエハ200を加熱し難くなってしまうこととなる。このため、上述した温度帯で基板処理を行うことが望まれる。
処理室201内の圧力を大気圧復帰させた後、ゲートバルブ205を開放 し処理室201と搬送室203とを空間的に連通させる。その後、ボートに載置されているウエハ200を移載機125のツィーザ125aによって、搬送室203に搬出する(S505)。
次に、石英プレート101の形状、及び石英プレート101を保持する、基板保持具としてのボート217による保持構造の一例について説明する。図6、図7(A)、(B)では、説明の簡単化のため、上述したボート217の天井板(端板)の記載を省略している。
本実施形態によれば以下に示す1つまたは複数の効果が得られる。
以下、本実施形態の変形例1について説明する。図10に示すように、変形例1では、前述の実施形態における第2リングプレート101a2の中央に穴が形成されていない、第2プレート101a2-1が用いられている。第2リングプレート101b2についても同様の第2プレート101b2-1が用いられている。
以下、本実施形態の変形例2について説明する。図11(A)に示すように、変形例2では、石英プレート101aが、第1リングプレート101a1、第2リングプレート101a2、に加えて、第3リングプレート101a3、第4リングプレート101a4、を備えている。
以下、本実施形態の変形例3について説明する。図13(B)に示すように、変形例3では、石英プレート101、サセプタ103、ウエハ200の、ボート217における配置が異なっている。また、石英プレート101として、石英プレート101a、101b、101c、101dの4枚がボート217に配置されている。
本開示の一態様では、
基板を処理する処理室と、
前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、
前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、
前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きい第1リングプレートと、
を有する基板処理装置、が提供される。
付記1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保温部材は、中央部が貫通する第2リングプレートである。
付記1または付記2の基板処理装置において、好ましくは、
前記第1リングプレートの外周に、前記第1リングプレートより外径が大きい第3リングプレートが設けられる。
付記1~付記3のいずれか1の基板処理装置において、好ましくは、
前記第2リングプレート内周に、前記第2リングプレートより内周が小さい第4リングプレートが設けられる。
付記1~付記4のいずれか1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保温部材は、反射率が高い部材により形成される。
付記1~付記5のいずれか1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保温部材は、石英で形成される。
付記1~付記5のいずれか1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保温部材は、更に、前記基板の下部に設けられる。
付記2の基板処理装置において、好ましくは、
前記第2リングプレートに外周から径方向外側へ突出する保持部が設けられ、当該保持部により前記第1リングプレートが保持される。
付記3の基板処理装置において、好ましくは、
前記第1リングプレートに外周から径方向外側へ突出する保持部が設けられ、当該保持部により前記第3リングプレートが保持される。
付記4の基板処理装置において、好ましくは、
前記第2リングプレートに内周から径方向内側に突出する保持部が設けられ、当該保持部により前記第4リングプレートが保持される
付記2の基板処理装置において、好ましくは、
前記第2リングプレートの外周上部を切り欠いた段差部が設けられ、前記第1リングプレートの内周下部を切り欠いた段差部が設けられ、前記第2リングプレートの外周に設けられた段差部と前記第1リングプレートの内周に設けられた段差部とが係合し、前記第2リングプレートが前記第1リングプレートを保持する。
付記3の基板処理装置において、好ましくは、
前記第1リングプレートの外周上部を切り欠いた段差部が設けれ、前記第3リングプレートの内周下部を切り欠いた段差部が設けられ、前記第1リングプレートの外周に設けられた段差部と前記第3リングプレートの内周に設けられた段差部とが係合し、前記第1リングプレートが前記第3リングプレートを保持する。
付記4の基板処理装置において、好ましくは、
前記第2リングプレートの内周上部を切り欠いた段差部が設けれ、前記第4リングプレートの外周下部を切り欠いた段差部が設けられ、前記第2リングプレートの内周に設けられた段差部と前記第4リングプレートの外周に設けられた段差部とが係合し、前記第2リングプレートが前記第4リングプレートを保持する。
本開示の他の態様では、
基板と、当該基板の上部に配置されマイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持し、前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外周が大きいリングプレートと、を有する基板保持具、が提供される。
本開示の他の態様では、
基板を処理する処理室と、前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きいリングプレートと、を有する基板処理装置の前記処理室に前記基板を搬入する工程と、
前記マイクロ波により、前記基板を加熱処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法、が提供される。
本開示の他の態様では、
基板を処理する処理室と、前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きいリングプレートと、を有する基板処理装置の前記処理室に前記基板を搬入する手順と、
前記マイクロ波により、前記基板を加熱処理する手順と、
をコンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラム、が提供される。
101 石英プレート
101a1 第1リングプレート(第1リング)
101a2 第2リングプレート(保温部材)
101a3 第3リングプレート(第3リング)
200 ウエハ(基板)
201 処理室
217 ボート(基板保持具)
655 マイクロ波発振器
Claims (5)
- 基板を処理する処理室と、
前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、
前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、
前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きい第1リングプレートと、
を有する基板処理装置。 - 前記保温部材は、中央部に貫通口を有する第2リングプレートである請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第1リングプレートの外周に、前記第1リングプレートより外径が大きい第3リングプレートが設けられる請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 基板と、当該基板の上部に配置されマイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持し、前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外周が大きい第1リングプレートと、を有する基板保持具。
- 基板を処理する処理室と、前記処理室にマイクロ波を供給し、前記基板を加熱処理するマイクロ波発生器と、前記基板と、当該基板の上部に配置され前記マイクロ波により加熱された前記基板を保温する保温部材と、を積載して保持する基板保持具と、前記保温部材の外周に保持され、前記基板より外径が大きいリングプレートと、を有する基板処理装置の前記処理室に前記基板を搬入する工程と、
前記マイクロ波により、前記基板を加熱処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
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US17/475,535 US20220093435A1 (en) | 2020-09-18 | 2021-09-15 | Substrate processing apparatus, substrate retainer and method of manufacturing semiconductor device |
CN202111082187.0A CN114203621A (zh) | 2020-09-18 | 2021-09-15 | 基板处理装置、基板保持件、半导体装置的制造方法及存储介质 |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11482433B2 (en) * | 2020-07-17 | 2022-10-25 | Intel Corporation | Stacked thermal processing chamber modules for remote radiative heating in semiconductor device manufacture |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000058471A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置 |
JP2003031647A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP2011204819A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理方法 |
WO2017056148A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2018020733A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 株式会社日立国際電気 | 発熱体、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
WO2018163386A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
WO2018173197A1 (ja) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | 株式会社Kokusai Electric | 発熱体、基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
WO2019053805A1 (ja) * | 2017-09-13 | 2019-03-21 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
JP2019169509A (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-03 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5645646A (en) * | 1994-02-25 | 1997-07-08 | Applied Materials, Inc. | Susceptor for deposition apparatus |
JPH07254591A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Toshiba Corp | 熱処理装置 |
US20050188923A1 (en) * | 1997-08-11 | 2005-09-01 | Cook Robert C. | Substrate carrier for parallel wafer processing reactor |
US6048403A (en) * | 1998-04-01 | 2000-04-11 | Applied Materials, Inc. | Multi-ledge substrate support for a thermal processing chamber |
FR2783970B1 (fr) * | 1998-09-25 | 2000-11-03 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif autorisant le traitement d'un substrat dans une machine prevue pour traiter de plus grands substrats et systeme de montage d'un substrat dans ce dispositif |
KR100404778B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2003-11-07 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 진공 처리 장치 |
JP3757066B2 (ja) * | 1998-10-30 | 2006-03-22 | 東芝セラミックス株式会社 | 熱処理装置用断熱部材 |
JP4003906B2 (ja) * | 1999-03-19 | 2007-11-07 | コバレントマテリアル株式会社 | シリコン単結晶半導体ウエハ加熱処理用治具及びこれを用いたシリコン単結晶半導体ウエハ加熱処理用装置 |
JP2003197722A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウェーハ熱処理用治具及びこれを用いた熱処理用装置並びに半導体ウェーハ熱処理用治具の製造方法 |
US20030209326A1 (en) * | 2002-05-07 | 2003-11-13 | Mattson Technology, Inc. | Process and system for heating semiconductor substrates in a processing chamber containing a susceptor |
KR100891259B1 (ko) * | 2003-11-27 | 2009-04-01 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 장치, 기판 보관 유지 장비, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP4931360B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2012-05-16 | 京セラ株式会社 | ウェハ加熱装置 |
TWI281833B (en) * | 2004-10-28 | 2007-05-21 | Kyocera Corp | Heater, wafer heating apparatus and method for manufacturing heater |
JP4845389B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-12-28 | 京セラ株式会社 | ヒータ及びウェハ加熱装置 |
US7900579B2 (en) * | 2007-09-26 | 2011-03-08 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment method wherein the substrate holder is composed of two holder constituting bodies that move relative to each other |
CN102110634B (zh) * | 2010-11-22 | 2012-04-11 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 可旋转加热的吸附装置 |
KR101750633B1 (ko) * | 2012-07-30 | 2017-06-23 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
JP6234674B2 (ja) * | 2012-12-13 | 2017-11-22 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置 |
US10047457B2 (en) * | 2013-09-16 | 2018-08-14 | Applied Materials, Inc. | EPI pre-heat ring |
JP6188145B2 (ja) | 2013-09-27 | 2017-08-30 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2015180768A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-10-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びに記録媒体 |
DE102014118153A1 (de) * | 2014-12-08 | 2016-06-09 | Werner Reiter | Gassensorelement |
KR101927699B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2018-12-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
US10704147B2 (en) * | 2016-12-03 | 2020-07-07 | Applied Materials, Inc. | Process kit design for in-chamber heater and wafer rotating mechanism |
KR102203745B1 (ko) * | 2017-02-23 | 2021-01-18 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 컴퓨터 프로그램 및 반응관 |
JP6330941B1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-05-30 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR102435888B1 (ko) * | 2017-07-04 | 2022-08-25 | 삼성전자주식회사 | 정전 척, 기판 처리 장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
US11629409B2 (en) * | 2019-05-28 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Inline microwave batch degas chamber |
-
2020
- 2020-09-18 JP JP2020157917A patent/JP7361005B2/ja active Active
-
2021
- 2021-09-10 KR KR1020210120960A patent/KR20220037969A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-09-15 CN CN202111082187.0A patent/CN114203621A/zh active Pending
- 2021-09-15 US US17/475,535 patent/US20220093435A1/en active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000058471A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置 |
JP2003031647A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP2011204819A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理方法 |
WO2017056148A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2018020733A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 株式会社日立国際電気 | 発熱体、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
WO2018163386A1 (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
WO2018173197A1 (ja) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | 株式会社Kokusai Electric | 発熱体、基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
WO2019053805A1 (ja) * | 2017-09-13 | 2019-03-21 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
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