JP2022047272A - Multi-axis linear motor actuator - Google Patents

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謙輔 佐久間
Kensuke Sakuma
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Abstract

To provide a multi-axis linear motor actuator suitable for compactification.SOLUTION: A multi-axis linear motor actuator includes: first and second motor units in which n/2 linear shaft motors 10 are arranged in a row in a plan view and housed in first and second coil fixing members; and first and second dispensing head support members that have n/2 sets of guide units 44, support dispensing heads 40 in a row in a plan view so as to be movable in the central axis direction, and are attached to the first and second motor units. The first and second motor units face each other with the first and second dispensing head support members sandwiched therebetween, and the arrangement of n/2 linear shaft motors in the first motor unit and the arrangement of n/2 linear shaft motors in the second motor unit are combined so as to be staggered in a plan view, and the guide unit of the first dispensing head support member and the guide unit of the second dispensing head support member are adjacent to each other in a plan view and arranged to be alternately adjacent to each other.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、多軸リニアモータアクチュエータに関し、特に、多軸型の分注装置に適した多軸リニアモータアクチュエータに関する。 The present invention relates to a multi-axis linear motor actuator, and more particularly to a multi-axis linear motor actuator suitable for a multi-axis type dispensing device.

リニアモータの一種に、リニアシャフトモータと呼ばれるものがある。リニアシャフトモータは、複数の筒状のコイルをその中心軸方向に積層してなるコイル部と、複数の永久磁石を、同磁極同士を対向させて直列に繋ぎ合わせ、繋ぎ合わせた複数の永久磁石よりも長い支持部材に固定してモータシャフトを構成してなる磁石部とを有し、コイル部の中心孔内に微小ギャップをおいてモータシャフトを挿通した構成となっている。そして、複数のコイルをＵ相、Ｖ相、Ｗ相の三相に分け、各相のコイルに１２０度ずつ位相のずれた交流電流を流し、永久磁石から発生される磁界と、コイルに流される電流との作用により、モータシャフトを中心軸方向に駆動する推力が得られるようにしている（特許文献１）。 One type of linear motor is called a linear shaft motor. A linear shaft motor is a coil portion in which a plurality of tubular coils are laminated in the direction of the central axis thereof, and a plurality of permanent magnets are connected in series with the same magnetic poles facing each other, and the plurality of permanent magnets are connected. It has a magnet portion that is fixed to a longer support member to form a motor shaft, and has a configuration in which the motor shaft is inserted with a minute gap in the central hole of the coil portion. Then, a plurality of coils are divided into three phases of U phase, V phase, and W phase, and an alternating current with a phase shift of 120 degrees is passed through the coils of each phase, and the magnetic field generated from the permanent magnet and the coil are passed. By acting with an electric current, a thrust that drives the motor shaft in the central axis direction can be obtained (Patent Document 1).

このようなリニアシャフトモータは、電子部品のハンドリング装置、少量液体の吸引、吐出を行う分注装置等、様々な分野に適用されている。ハンドリング装置や分注装置等のいずれにおいても、通常は、リニアシャフトモータのモータシャフトを第１シャフトとし、この第１シャフトに、その中心軸方向と平行に中空状の第２シャフトを第１シャフトと一体に上下移動するように組み合わせてリニアモータアクチュエータとして提供されている。そして、第２シャフトの中空空間がエアによるハンドリングや液体の吸引、吐出に利用できるように構成されている。 Such a linear shaft motor is applied to various fields such as a handling device for electronic parts, a dispensing device for sucking and discharging a small amount of liquid, and the like. In any of the handling device, the dispensing device, etc., the motor shaft of the linear shaft motor is usually used as the first shaft, and the hollow second shaft parallel to the central axis direction thereof is used as the first shaft. It is provided as a linear motor actuator in combination with the one so as to move up and down integrally. The hollow space of the second shaft is configured to be used for handling by air and for suction and discharge of liquid.

例えば、ハンドリング装置の場合、第２シャフトの先端に真空吸着器のような治具を装着し、第１シャフトの上下移動に同期して電子部品のハンドリングを行うように構成されている（特許文献２）。一方、分注装置の場合、第２シャフトの先端にノズルを装着して分注ヘッドとし、第１シャフトの上下移動に同期してノズルの内部圧力を適宜増減させることにより、液体の吸引、吐出を行うように構成されている。 For example, in the case of a handling device, a jig such as a vacuum adsorber is attached to the tip of the second shaft, and the electronic components are handled in synchronization with the vertical movement of the first shaft (Patent Document). 2). On the other hand, in the case of a dispensing device, a nozzle is attached to the tip of the second shaft to form a dispensing head, and the internal pressure of the nozzle is appropriately increased or decreased in synchronization with the vertical movement of the first shaft to suck and discharge the liquid. Is configured to do.

特開２０１７－１３９８６１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-139861 特開２０１２－０９０４９２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-090492

近年、上記のような第１シャフトと第２シャフトの組み合わせによるリニアモータアクチュエータを複数組、一列に並べて配置構成し、一括して同じ作業動作を行わせることで作業効率を向上させるようにした、多軸型リニアモータアクチュエータと呼ばれるものが提供されている。多軸型リニアモータアクチュエータは、例えば、個別に製造された上記のような分注装置を複数組、一列に並べて配置構成し、医薬品、化粧品、バイオなどの各分野で分注作業を行うための多軸型の分注装置として適用することが行われている。多軸型の分注装置によれば、複数組の分注装置に対して一括して同じ作業動作を行わせるので、人の手作業による分注作業に比べて大幅な省力化と、分注ミスの防止に有効である。 In recent years, a plurality of sets of linear motor actuators by combining the first shaft and the second shaft as described above are arranged and arranged side by side in a row, and the same work operation is performed collectively to improve work efficiency. What is called a multi-axis linear motor actuator is provided. The multi-axis linear motor actuator is, for example, for performing dispensing work in various fields such as pharmaceuticals, cosmetics, and biotechnology by arranging and arranging a plurality of individually manufactured dispensing devices as described above side by side in a row. It is being applied as a multi-axis type dispensing device. According to the multi-axis type dispensing device, the same work operation is performed for multiple sets of dispensing devices at once, which saves a lot of labor and dispenses compared to manual dispensing work. It is effective in preventing mistakes.

これまでの多軸型の分注装置は、例えば臨床検査装置として、９６（８サンプル×１２列）検体用のマイクロプレートと組み合わされる場合、８組の分注装置が一列に並ぶように組み立てられて８軸同時制御型、すなわち多軸型の分注装置として構成されている。そして、多軸型の分注装置を搬送機構により液体（例えば試薬）の吸引場所と吐出場所（すなわちマイクロプレート）との間を往復移動させるように構成されている。よって、これまでの多軸型の分注装置は、個別に製造された複数組の分注装置の組み合わせにより製造されるのが一般的であり、同じ量の試薬を同じタイミングでマイクロプレートに吐出する分注作業のみ可能である。 When the conventional multi-axis type dispensing device is combined with a microplate for 96 (8 samples x 12 rows) sample, for example, as a clinical testing device, 8 sets of dispensing devices are assembled so as to be lined up in a row. It is configured as an 8-axis simultaneous control type, that is, a multi-axis type dispensing device. Then, the multi-axis type dispensing device is configured to reciprocate between a suction place and a discharge place (that is, a microplate) of a liquid (for example, a reagent) by a transport mechanism. Therefore, the conventional multi-axis type dispensing device is generally manufactured by a combination of a plurality of individually manufactured dispensing devices, and the same amount of reagent is discharged to the microplate at the same timing. Only dispensing work is possible.

しかしながら、第１シャフト（リニアシャフトモータ）と第２シャフトの組み合わせによるリニアモータアクチュエータを個別に製造したうえで、これを複数組組み合わせるというこれまでの多軸型の分注装置は、装置全体が大型化してしまい、コンパクト化の要求に対応しにくいという問題点がある。 However, the conventional multi-axis type dispensing device, in which a linear motor actuator by combining a first shaft (linear shaft motor) and a second shaft is individually manufactured and then combined in multiple sets, is large in size as a whole. There is a problem that it is difficult to meet the demand for compactness.

一方、多軸型の分注装置に対し、複数組の分注装置のそれぞれを独立制御可能とする要求が高まっている。多軸独立制御型の分注装置によれば、同じ列であっても軸毎に個別の試薬量を個別のタイミングでマイクロプレートに吐出し、検体の反応をモニタリングすることができる。つまり、マイクロプレートに吐出する試薬量とタイミングをサンプル毎に設定することができ、試薬の吸引、吐出を自動化された制御形態で実行できることにより、客観的で信頼性の高い検査結果を得ることができる。 On the other hand, there is an increasing demand for multi-axis type dispensing devices to be able to independently control each of a plurality of sets of dispensing devices. According to the multi-axis independent control type dispensing device, it is possible to monitor the reaction of the sample by discharging the individual reagent amount for each axis to the microplate at individual timing even in the same row. In other words, the amount and timing of reagents to be discharged to the microplate can be set for each sample, and the suction and discharge of reagents can be performed in an automated control mode, so that objective and highly reliable test results can be obtained. can.

上記のような問題点に鑑みて、本発明の課題は、コンパクト化に適した多軸リニアモータアクチュエータを提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a multi-axis linear motor actuator suitable for compactification.

（第１の態様）
本発明の第１の態様は、中心軸方向に駆動されるモータシャフトを持つリニアシャフトモータと、前記リニアシャフトモータと平行に延び、前記モータシャフトの少なくとも一端側において第１の連結部材で連結して当該モータシャフトと一体的に変位するように組み合わされた軸状の被駆動体との組み合わせをｎ組（ｎは正の偶数）備える多軸リニアモータアクチュエータにおいて、
前記リニアシャフトモータをｎ／２個ずつ平面視で一列に並べた状態で第１、第２のモータ収容部材に収容してなる第１、第２のモータユニットと、
ｎ／２組のガイド部を有して前記被駆動体を平面視で一列に並べた状態で中心軸方向に移動可能に支持すると共に、前記第１、第２のモータユニットに組み合わされる第１、第２の被駆動体支持部材と、を有し、
前記第１、第２のモータユニットを、前記第１、第２の被駆動体支持部材を間において対向し、しかも前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個の前記リニアシャフトモータの配置と前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個の前記リニアシャフトモータの配置が平面視で千鳥状になるように組み合わせ、前記第１の被駆動体支持部材の前記ガイド部と前記第２の被駆動体支持部材の前記ガイド部とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合うように構成したことを特徴とする多軸リニアモータアクチュエータである。 (First aspect)
A first aspect of the present invention is a linear shaft motor having a motor shaft driven in the central axis direction, extending in parallel with the linear shaft motor, and being connected by a first connecting member on at least one end side of the motor shaft. In a multi-axis linear motor actuator equipped with n sets (n is a positive even number) of a combination with a shaft-shaped driven body combined so as to be integrally displaced with the motor shaft.
The first and second motor units in which the linear shaft motors are housed in the first and second motor accommodating members in a state where n / 2 motors are arranged in a row in a plan view, and
A first that has n / 2 sets of guide portions and supports the driven bodies in a line in a row in a plan view so as to be movable in the central axis direction, and is combined with the first and second motor units. , With a second driven body support member,
The first and second motor units face each other with the first and second driven body support members facing each other, and the arrangement of n / 2 linear shaft motors in the first motor unit and the above. The n / 2 linear shaft motors in the second motor unit are combined so as to be staggered in a plan view, and the guide portion of the first driven body support member and the second driven body are combined. It is a multi-axis linear motor actuator characterized in that the guide portions of the support member are adjacent to each other in a plan view and are alternately adjacent to each other.

（第２の態様）
本発明の第２の態様は、前記第２のモータユニットに組み合わされる前記第２の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とし、
前記第１のモータユニットに組み合わされる前記第１の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とすることを特徴とする上記第１の態様に記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (Second aspect)
In the second aspect of the present invention, an n / 2 set of guide portions installed on the second driven body support member combined with the second motor unit is provided with n / 2 in the first motor unit. As a guide part for n / 2 driven bodies connected to each motor shaft of the linear shaft motors.
The n / 2 sets of guide portions installed on the first driven body support member combined with the first motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the second motor unit. The multi-axis linear motor actuator according to the first aspect, characterized in that it serves as a guide portion for n / 2 driven bodies connected to a shaft.

（第３の態様）
本発明の第３の態様は、前記第１のモータユニットに組み合わされる前記第１の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とし、
前記第２のモータユニットに組み合わされる前記第２の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とすることを特徴とする上記第１の態様に記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (Third aspect)
In a third aspect of the present invention, an n / 2 set of guide portions installed on the first driven body support member combined with the first motor unit is provided with n / 2 in the first motor unit. As a guide part for n / 2 driven bodies connected to each motor shaft of the linear shaft motors.
The n / 2 sets of guides installed on the second driven body support member combined with the second motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the second motor unit. The multi-axis linear motor actuator according to the first aspect, characterized in that it serves as a guide portion for n / 2 driven bodies connected to a shaft.

（第４の態様）
本発明の第４の態様は、前記第１の被駆動体支持部材は、前記第１のモータユニットにおける前記第２のモータユニットとの対向面に取り付けられる２つの第１の取付け部と、これらの２つの第１の取付け部の間に掛け渡されてｎ／２個の前記ガイド部を設置するための第１のブリッジ部を有し、該第１のブリッジ部は、前記第２のモータユニット側に向けて突出し前記被駆動体を通すための穴を持つｎ／２組の突出部を有し、
前記第２の被駆動体支持部材は、前記第２のモータユニットにおける前記第１のモータユニットとの対向面に取り付けられる２つの第２の取付け部と、これらの２つの第２の取付け部の間に掛け渡されてｎ／２個の前記ガイド部を設置するための第２のブリッジ部を有し、該第２のブリッジ部は、前記第１のモータユニット側に向けて突出し前記被駆動体を通すための穴を持つｎ／２組の突出部を有し、
前記第１、第２の被駆動体支持部材のガイド部はそれぞれ、前記被駆動体が挿通される挿通孔が、前記突出部の穴と合わさって前記第１、第２のブリッジ部から突出した状態で前記突出部に設置されることにより、前記第１の被駆動体支持部材の前記ガイド部の挿通孔と前記第２の被駆動体支持部材の前記ガイド部の挿通孔とが平面視で一列かつ交互に隣り合うようにしたことを特徴とする上記第１から第３の態様のいずれか１つに記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (Fourth aspect)
A fourth aspect of the present invention is that the first driven body support member has two first mounting portions mounted on a surface of the first motor unit facing the second motor unit, and these. It has a first bridge portion for installing n / 2 of the guide portions, which is laid between the two first mounting portions of the above, and the first bridge portion is the second motor. It has n / 2 sets of protrusions that protrude toward the unit side and have holes for passing the driven body.
The second driven body support member includes two second mounting portions mounted on the surface of the second motor unit facing the first motor unit, and two second mounting portions thereof. It has a second bridge portion that is hung between the two to install the n / 2 guide portions, and the second bridge portion projects toward the first motor unit side and is driven. It has n / 2 sets of protrusions with holes for the body to pass through,
In the guide portions of the first and second driven body support members, the insertion holes through which the driven body is inserted protrude from the first and second bridge portions in combination with the holes in the protruding portions. By being installed in the protruding portion in the state, the insertion hole of the guide portion of the first driven body support member and the insertion hole of the guide portion of the second driven body support member are viewed in a plan view. The multi-axis linear motor actuator according to any one of the first to third aspects, characterized in that they are arranged in a row and alternately adjacent to each other.

（第５の態様）
本発明の第５の態様は、前記第１の被駆動体支持部材は、前記第１のブリッジ部としてｎ／２個の上側突出部を持つ上側ブリッジとｎ／２個の下側突出部を持つ下側ブリッジとを平面視で互いに重なる位置に有して、前記ｎ／２個の上側突出部と前記ｎ／２個の下側突出部にそれぞれ、ｎ／２個の上側ガイドとｎ／２個の下側ガイドが前記ｎ／２組のガイド部として設置され、
前記第２の被駆動体支持部材も、前記第２のブリッジ部としてｎ／２個の上側突出部を持つ上側ブリッジとｎ／２個の下側突出部を持つ下側ブリッジとを平面視で互いに重なる位置に有して、前記ｎ／２個の上側突出部と前記ｎ／２個の下側突出部にそれぞれ、ｎ／２個の上側ガイドとｎ／２個の下側ガイドが前記ｎ／２組のガイド部として設置され、
前記第１の被駆動体支持部材の上側ブリッジは、前記第２の被駆動体支持部材の上側ブリッジよりも高い又は低い高さ位置にあり、前記第１の被駆動体支持部材の下側ブリッジも、前記第２の被駆動体支持部材の下側ブリッジよりも高い又は低い高さ位置にあることを特徴とする上記第１から第４の態様のいずれか１つに記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (Fifth aspect)
In a fifth aspect of the present invention, the first driven body support member has an upper bridge having n / 2 upper protrusions and n / 2 lower protrusions as the first bridge. The lower bridges to be held are provided at positions where they overlap each other in a plan view, and n / 2 upper guides and n / are placed on the n / 2 upper protrusions and the n / 2 lower protrusions, respectively. Two lower guides are installed as the n / 2 set of guides.
The second driven body support member also has an upper bridge having n / 2 upper protrusions and a lower bridge having n / 2 lower protrusions as the second bridge portion in a plan view. The n / 2 upper protrusions and the n / 2 lower protrusions have n / 2 upper guides and n / 2 lower guides, respectively, at positions overlapping each other. / Installed as 2 sets of guides,
The upper bridge of the first driven body support member is located at a height higher or lower than the upper bridge of the second driven body support member, and the lower bridge of the first driven body support member is located. The multi-axis linear motor according to any one of the first to fourth aspects, wherein the motor is located at a height higher or lower than the lower bridge of the second driven body support member. It is an actuator.

（第６の態様）
本発明の第６の態様は、前記第１の被駆動体支持部材の上側ガイドは上側ブリッジの上面側に、下側ガイドは下側ブリッジの下面側にそれぞれ設置され、
前記第２の被駆動体支持部材の上側ガイドは上側ブリッジの上面側に、下側ガイドは下側ブリッジの下面側にそれぞれ設置されることを特徴とする上記第１から第５のいずれか１つに記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (Sixth aspect)
In the sixth aspect of the present invention, the upper guide of the first driven body support member is installed on the upper surface side of the upper bridge, and the lower guide is installed on the lower surface side of the lower bridge.
The upper guide of the second driven body support member is installed on the upper surface side of the upper bridge, and the lower guide is installed on the lower surface side of the lower bridge. The multi-axis linear motor actuator according to the above.

（第７の態様）
本発明の第７の態様は、前記第１の被駆動体支持部材と前記第２の被駆動体支持部材における前記ガイド部の配列方向の長さを、前記第１のモータユニットと前記第２のモータユニットにおける前記リニアシャフトモータの配列方向の長さよりも大きくして、前記第１の被駆動体支持部材の前記２つの第１の取付け部と前記第２の被駆動体支持部材の前記２つの第２の取付け部を、前記第１のモータユニットと前記第２のモータユニットにおける前記配列方向の両端部から突出させ、この突出させた部分において前記第１の被駆動体支持部材と前記第２の被駆動体支持部材を固定するようにしたことを特徴とする上記第４から第６の態様のいずれか１つに記載の多軸リニアモータアクチュエータである。 (7th aspect)
A seventh aspect of the present invention is to set the length of the guide portion in the first driven body support member and the second driven body support member in the arrangement direction of the first motor unit and the second driven body support member. The length of the linear shaft motor in the motor unit is larger than the length in the arrangement direction of the linear shaft motor, and the two first mounting portions of the first driven body support member and the second of the second driven body support member. The two second mounting portions are projected from both ends of the first motor unit and the second motor unit in the arrangement direction, and the first driven body support member and the first driven portion are projected at the protruding portions. The multi-axis linear motor actuator according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the driven body support member of No. 2 is fixed.

本発明によれば、コンパクト化に適した多軸リニアモータアクチュエータを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a multi-axis linear motor actuator suitable for compactification.

本発明に係る多軸リニアモータアクチュエータの好ましい実施形態である８軸分注装置の斜視図である。It is a perspective view of the 8-axis dispenser which is a preferable embodiment of the multi-axis linear motor actuator which concerns on this invention. 図１に示された８軸分注装置から、リニアシャフトモータと分注ヘッド及びこれらを連結している上下の連結部材を抽出して示した斜視図である。It is a perspective view showing the linear shaft motor, the dispensing head, and the upper and lower connecting members connecting them extracted from the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1. 図１に示された８軸分注装置から、図１図中、左側の４組のリニアシャフトモータと分注ヘッドの組み合わせ（４軸分注装置）を抽出して示した斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a combination of four sets of linear shaft motors and a dispensing head (4-axis dispensing device) on the left side in FIG. 1 extracted from the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1. 図１のＡ－Ａ線による縦断面図である。It is a vertical sectional view by line AA of FIG. 図４から、リニアシャフトモータと分注ヘッドの組み合わせ及びこれらを連結している上下の連結部材を抽出して示した側面図である。FIG. 4 is a side view showing a combination of a linear shaft motor and a dispensing head and an upper and lower connecting member connecting them. 図４に示されたリニアシャフトモータの一部の内部構造及びモータユニットに設置された回路基板の一部を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the internal structure of a part of the linear shaft motor shown in FIG. 4, and a part of the circuit board installed in the motor unit. 図４に示された分注ヘッドの主要部の縦断面図である。It is a vertical sectional view of the main part of the dispensing head shown in FIG. 図１に示された８軸分注装置における第１、第２のモータユニット及び第１、第２の分注ヘッド支持部材をそれぞれ、リニアシャフトモータ、分注ヘッドを省略し、分解して示した斜視図である。The first and second motor units and the first and second dispensing head support members in the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1 are disassembled and shown by omitting the linear shaft motor and the dispensing head, respectively. It is a perspective view. 図１に示された８軸分注装置における第１、第２のモータユニットの主要部であるコイルユニットの製造過程を、順を追って説明するための斜視図である。It is a perspective view for step by step explaining the manufacturing process of the coil unit which is the main part of the 1st and 2nd motor units in the 8-axis dispensing apparatus shown in FIG. 図９に示されたコイルユニットの構成要素であるコイル部の斜視図である。It is a perspective view of the coil part which is a component of the coil unit shown in FIG. 図９に示されたコイルユニットを、その一部を分解して示した斜視図である。It is a perspective view which showed the coil unit shown in FIG. 9 by disassembling a part thereof. 図８に示されたコイルユニットに取付けられる回路基板の一例を示した図である。It is a figure which showed an example of the circuit board attached to the coil unit shown in FIG. 図８に示された一対のモータユニットの左側の第１のモータユニットを、リニアシャフトモータのモータシャフトを省略して、別角度から見た斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the first motor unit on the left side of the pair of motor units shown in FIG. 8 as viewed from another angle, omitting the motor shaft of the linear shaft motor. リニアシャフトモータにおける位置制御のために設置される一対のホールセンサの取付間隔について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the mounting interval of a pair of hall sensors installed for position control in a linear shaft motor. リニアシャフトモータにおけるモータシャフトのラジアル方向の外部磁界を計測した結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having measured the external magnetic field in the radial direction of a motor shaft in a linear shaft motor. ホールセンサによるリニアシャフトモータの位置制御系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the position control system of a linear shaft motor by a Hall sensor. 図１に示された８軸分注装置における上側連結部材の配置形態を示す上面図である。It is a top view which shows the arrangement form of the upper connecting member in the 8-axis dispensing apparatus shown in FIG. 図１に示された８軸分注装置を、上側連結部材、リニアシャフトモータ、及び分注ヘッドを省略して上方から見た平面図であり、第１のモータユニットに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材と、第２のモータユニットに取り付けられた第２の分注ヘッド支持部材とを分離した状態で示している。FIG. 1 is a plan view of the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1 as viewed from above, omitting the upper connecting member, the linear shaft motor, and the dispensing head, and is a first view attached to the first motor unit. The dispensing head support member and the second dispensing head support member attached to the second motor unit are shown in a separated state. 図１８に示された第１の分注ヘッド支持部材と、第２の分注ヘッド支持部材とを結合した状態で示した平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a state in which the first dispensing head support member and the second dispensing head support member shown in FIG. 18 are connected. 図８に示された第１の分注ヘッド支持部材を示し、図（ａ）は上面図、図（ｂ）は正面図である。The first dispensing head support member shown in FIG. 8 is shown, FIG. 8A is a top view, and FIG. 8B is a front view. 図８に示された第２の分注ヘッド支持部材を示し、図（ａ）は上面図、図（ｂ）は正面図である。The second dispensing head support member shown in FIG. 8 is shown, FIG. 8A is a top view, and FIG. 8B is a front view. ４個のヘッド本体を支持している第１の分注ヘッド支持部材と４個のヘッド本体を支持している第２の分注ヘッド支持部材とを突き合わせ固定した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the 1st dispensing head support member which supports 4 head bodies and the 2nd dispensing head support member which supports 4 head bodies are butted and fixed. 図２２の正面図である。It is a front view of FIG. 22. 第１の分注ヘッド支持部材と第２の分注ヘッド支持部材の結合形態の別の例を示す平面図である。It is a top view which shows another example of the coupling form of the 1st dispensing head support member and the 2nd dispensing head support member. 第１の分注ヘッド支持部材と第２の分注ヘッド支持部材の結合形態のさらに別の例を示す平面図である。It is a top view which shows still another example of the coupling form of the 1st dispensing head support member and the 2nd dispensing head support member. 本発明の第２の実施形態を示し、８軸分注装置を、図１８と同様に、上側連結部材、リニアシャフトモータ、及び分注ヘッドを省略して上方から見た平面図であり、第１のモータユニットに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材と、第２のモータユニットに取り付けられた第２の分注ヘッド支持部材とを分離した状態で示している。A second embodiment of the present invention is shown, which is a plan view of the 8-axis dispensing device as seen from above, omitting the upper connecting member, the linear shaft motor, and the dispensing head, as in FIG. The first dispensing head support member attached to the motor unit 1 and the second dispensing head support member attached to the second motor unit are shown in a separated state. 図１に示された８軸独立制御型の分注装置における上側連結部材の上動位置を検出する検出手段を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the detection means which detects the upward movement position of the upper connecting member in the 8-axis independent control type dispensing apparatus shown in FIG. 図２７に示された検出手段の設置形態の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the installation form of the detection means shown in FIG. 27.

図１～図８を参照して、本発明による多軸リニアモータアクチュエータの好ましい実施形態として、８軸分注装置について説明する。 An 8-axis dispensing device will be described as a preferred embodiment of the multi-axis linear motor actuator according to the present invention with reference to FIGS. 1 to 8.

図１、図２は、本発明が適用された８軸分注装置を示し、図３は、８軸分注装置の半分、すなわち４軸分注装置を示す。図４は、図１のＡ－Ａ線による縦断面図である。図５は、図４から、リニアシャフトモータと分注ヘッドの組み合わせ及びこれらを連結している上下の連結部材を抽出して示した側面図である。また、図６は、リニアシャフトモータの一部の内部構造及びモータユニットに設置された回路基板の一部を示した断面図である。 1 and 2 show an 8-axis dispenser to which the present invention is applied, and FIG. 3 shows a half of the 8-axis dispenser, that is, a 4-axis dispenser. FIG. 4 is a vertical cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 5 is a side view showing a combination of a linear shaft motor and a dispensing head and an upper and lower connecting member connecting them extracted from FIG. 4. Further, FIG. 6 is a cross-sectional view showing a part of the internal structure of the linear shaft motor and a part of the circuit board installed in the motor unit.

はじめに、リニアシャフトモータの内部構造について説明するが、この種のリニアシャフトモータは良く知られているので、簡単な説明にとどめることとする。 First, the internal structure of the linear shaft motor will be described, but since this type of linear shaft motor is well known, only a brief description will be given.

図６を参照して、リニアシャフトモータ１０は、中心軸方向に着磁した複数の永久磁石１２を、同磁極同士を対向させて直列に繋ぎ合わせた状態で、非磁性材料による筒体１３に収容、固定したものをモータシャフト（第１シャフト）１１として有する。筒体１３は、複数の永久磁石１２の全長以上の長さを持つ。永久磁石１２を収容している筒体１３部分は、リニアシャフトモータ１０用の磁石部と呼ばれても良い。このような磁石部は、後述するように、同形、同磁力の永久磁石１２を対向させることで、モータシャフト１１（磁石部）の周辺には、軸方向にＮ極とＳ極が同ピッチで交互に現れ、その表面磁束密度を測定すると正弦波形となる。リニアシャフトモータ１０はまた、モータシャフト１１を、ギャップを介して同心状に内包するように複数の筒状のコイル１４を直列に繋ぎ合わせてなるものを、コイル部１５として有する。コイル部１５は、樹脂製のコイル一体化筒１６の外周側に複数の筒状のコイル１４を直列に繋ぎ合わせて一体化している。コイル一体化筒１６は、（筒体１３の外径＋ギャップ）で表される内径を有している。モータシャフト１１とコイル部１５は、中心軸方向に相対的移動可能に構成されるが、ここでは、モータシャフト１１が可動部、コイル部１５が固定部となるように構成されている。 With reference to FIG. 6, the linear shaft motor 10 is formed on a cylinder 13 made of a non-magnetic material in a state where a plurality of permanent magnets 12 magnetized in the central axis direction are connected in series with the same magnetic poles facing each other. The housed and fixed motor shaft (first shaft) 11 is provided. The tubular body 13 has a length equal to or greater than the total length of the plurality of permanent magnets 12. The tubular body 13 portion accommodating the permanent magnet 12 may be referred to as a magnet portion for the linear shaft motor 10. As will be described later, in such a magnet portion, permanent magnets 12 having the same shape and the same magnetic flux are opposed to each other, so that the north and south poles have the same pitch in the axial direction around the motor shaft 11 (magnet portion). It appears alternately, and when the surface magnetic flux density is measured, it becomes a sine waveform. The linear shaft motor 10 also has a coil portion 15 in which a plurality of tubular coils 14 are connected in series so as to concentrically include the motor shaft 11 via a gap. The coil portion 15 is integrated by connecting a plurality of tubular coils 14 in series on the outer peripheral side of the resin coil integrated cylinder 16. The coil integrated cylinder 16 has an inner diameter represented by (outer diameter of the cylinder 13 + gap). The motor shaft 11 and the coil portion 15 are configured to be relatively movable in the central axis direction, but here, the motor shaft 11 is configured to be a movable portion and the coil portion 15 is configured to be a fixed portion.

コイル部１５は、三相リニアモータを構成するために、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の少なくとも３個のコイル１４からなる。そして、それぞれのコイル１４には電気的に１２０度の位相差を持つ交流電流を流し、各コイル１４への通電を制御することにより、永久磁石１２から発生される磁界と、コイル１４に流される電流との作用により、モータシャフト１１を中心軸方向に駆動する推力が得られるように構成している。 The coil portion 15 is composed of at least three coils 14 of U phase, V phase, and W phase in order to form a three-phase linear motor. Then, an alternating current having a phase difference of 120 degrees is electrically passed through each coil 14, and by controlling the energization of each coil 14, the magnetic field generated from the permanent magnet 12 and the coil 14 are passed. It is configured so that a thrust for driving the motor shaft 11 in the central axis direction can be obtained by the action with an electric current.

なお、本明細書において「永久磁石を繋ぎ合わせる」という意味は、図６に示すように永久磁石１２同士を直接繋ぎ合わせるだけでなく、磁気特性や、反発力を抑制して組立て易くするという製造工程を考慮して、隣接する永久磁石１２の間に軟鉄等の軟磁性体やラジアル方向に磁化した別の永久磁石をポールピースとして介在させて繋ぎ合わせることも含む。 In the present specification, the meaning of "connecting permanent magnets" is not only to directly connect the permanent magnets 12 to each other as shown in FIG. 6, but also to suppress magnetic characteristics and repulsive force to facilitate assembly. In consideration of the process, it also includes connecting a soft magnetic material such as soft iron or another permanent magnet magnetized in the radial direction between adjacent permanent magnets 12 as a pole piece.

電源を含むリニアモータ駆動回路や、リニアモータ制御回路等は、良く知られており、本発明の要部ではないので、回路の図示、説明は省略し、位置制御系について後で説明する。 A linear motor drive circuit including a power supply, a linear motor control circuit, and the like are well known and are not the main parts of the present invention. Therefore, the circuit is omitted from the illustration and description, and the position control system will be described later.

図４、図５を参照して、リニアシャフトモータ１０は、モータシャフト１１の下側、上側にそれぞれ、下側連結部材３１、上側連結部材３２が固定されている。それゆえ、固定部としてのコイル部１５に対してモータシャフト１１が上下動するのに伴って、下側連結部材３１、上側連結部材３２も一体的に上下動する。 With reference to FIGS. 4 and 5, in the linear shaft motor 10, a lower connecting member 31 and an upper connecting member 32 are fixed to the lower side and the upper side of the motor shaft 11, respectively. Therefore, as the motor shaft 11 moves up and down with respect to the coil portion 15 as the fixing portion, the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32 also move up and down integrally.

下側連結部材３１及び上側連結部材３２には、モータシャフト１１の中心軸と平行に分注ヘッド（筒状の被駆動体）４０が取り付けられている。分注ヘッド４０は、図７をも参照して、下側連結部材３１と上側連結部材３２との間隔よりも長い長さを持つ中空の筒状体によるヘッド本体４１を有し、ヘッド本体４１の上端部には上側連結部材３２からわずかに突出している突出部４１－１を有する。一方、下側連結部材３１から突出しているヘッド本体４１の下部には、先端にチップ４２を装着したノズル部４３が取り付けられている。分注ヘッド４０は、下側連結部材３１、上側連結部材３２を介してモータシャフト１１と一体に上下動する。分注ヘッド４０は、ノズル部４３よりも上方の部分、すなわちヘッド本体４１をスプライン軸として、その中心軸周りの回転を防止する構造となっている。すなわち、スプライン軸となるヘッド本体４１の外周に、中心軸方向に延びるスプライン溝（又は突条）を設けている。 A dispensing head (cylindrical driven body) 40 is attached to the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32 in parallel with the central axis of the motor shaft 11. The dispensing head 40 also has a head body 41 made of a hollow tubular body having a length longer than the distance between the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32, with reference to FIG. 7. Has a protruding portion 41-1 slightly protruding from the upper connecting member 32 at the upper end portion of the above. On the other hand, a nozzle portion 43 having a tip 42 attached to the tip thereof is attached to the lower portion of the head main body 41 protruding from the lower connecting member 31. The dispensing head 40 moves up and down integrally with the motor shaft 11 via the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32. The dispensing head 40 has a structure in which a portion above the nozzle portion 43, that is, the head main body 41 is used as a spline axis to prevent rotation around the central axis thereof. That is, a spline groove (or a ridge) extending in the central axis direction is provided on the outer periphery of the head body 41 which is the spline axis.

一方、図４、図５に戻って、下側連結部材３１と上側連結部材３２の間の２箇所に、ボールスプラインを構成する、フランジ付きのスプライン外筒を持つ上側ガイド４４－１及び下側ガイド４４－２をガイド部として設けている。上側ガイド４４－１、下側ガイド４４－２はそれぞれ、それらの中央部に分注ヘッド４０のヘッド本体４１を挿通するための貫通孔４４－１ａ（下側の貫通孔は図示せず）を持つスプライン外筒を有し、貫通孔の内周側に中心軸方向に延びる突条（又は溝）を形成してヘッド本体４１のプライン溝（又は突条）と共にボールスプラインを構成している。そして、スプライン溝（又は突条）が突条（又は溝）に嵌りこむようにヘッド本体４１を上側ガイド４４－１と下側ガイド４４－２に装着している。なお、ボールスプラインに代えてボールブッシュが用いられても良い。また、ガイド部４４は、上側ガイド４４－１、下側ガイド４４－２の一方のみで実現されても良い。 On the other hand, returning to FIGS. 4 and 5, the upper guide 44-1 having a spline outer cylinder with a flange and the lower side constituting the ball spline at two places between the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32. A guide 44-2 is provided as a guide portion. The upper guide 44-1 and the lower guide 44-2 each have a through hole 44-1a (the lower through hole is not shown) for inserting the head body 41 of the dispensing head 40 into the central portion thereof. It has a spline outer cylinder to have, and forms a ridge (or groove) extending in the direction of the central axis on the inner peripheral side of the through hole to form a ball spline together with the ridge groove (or ridge) of the head body 41. Then, the head main body 41 is attached to the upper guide 44-1 and the lower guide 44-2 so that the spline groove (or the ridge) fits into the ridge (or the groove). A ball bush may be used instead of the ball spline. Further, the guide portion 44 may be realized by only one of the upper guide 44-1 and the lower guide 44-2.

上側ガイド４４－１と下側ガイド４４－２は、分注ヘッド支持部材（被駆動体支持部材）に設置されて１組のガイド部４４として機能するが、本実施形態は、上側ガイド４４－１と下側ガイド４４－２の設置形態に１つの特徴があり、詳しくは後述する。 The upper guide 44-1 and the lower guide 44-2 are installed on the dispensing head support member (driven body support member) and function as a set of guide portions 44, but in the present embodiment, the upper guide 44- There is one feature in the installation form of 1 and the lower guide 44-2, which will be described in detail later.

モータシャフト１１の上端部を上側連結部材３２に固定するため、本実施形態では、図１に示されるように、上側連結部材３２に、モータシャフト１１を挿通するための貫通孔３２ａを形成すると共に、貫通孔３２ａから上側連結部材３２の一端に至るすり割り３２ｂを形成している。更に、上側連結部材３２の前記一端側に、一方の側面側からすり割り３２ｂを横切って他方の側面側に向かう、六角穴付ネジ３４をねじ込み可能にしている。このような構造により、貫通孔３２ａに挿入されたモータシャフト１１の上端部は、六角穴付ネジ３４による締付けによって貫通孔３２ａ内に固定される。 In order to fix the upper end portion of the motor shaft 11 to the upper connecting member 32, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the upper connecting member 32 is formed with a through hole 32a for inserting the motor shaft 11. , A slit 32b is formed from the through hole 32a to one end of the upper connecting member 32. Further, a hexagon socket head screw 34, which crosses the split 32b from one side surface side and faces the other side surface side, can be screwed into the one end side of the upper connecting member 32. With such a structure, the upper end portion of the motor shaft 11 inserted into the through hole 32a is fixed in the through hole 32a by tightening with the hexagon socket head screw 34.

モータシャフト１１の下端側についても上記と同様の固定構造が適用される。すなわち、図２、図５をも参照して、下側連結部材３１に形成された貫通孔３１ａに挿入されたモータシャフト１１の下端部が、六角穴付ネジ３５による締付けによって貫通孔３１ａ内に固定される。 The same fixing structure as described above is applied to the lower end side of the motor shaft 11. That is, with reference to FIGS. 2 and 5, the lower end portion of the motor shaft 11 inserted into the through hole 31a formed in the lower connecting member 31 is tightened by the hexagon socket head screw 35 into the through hole 31a. It is fixed.

図３に示されるように、ヘッド本体４１の上端側及びノズル部４３よりも少し上方のヘッド本体４１の途中部分も、上記と同様の固定構造(貫通孔とすり割り及び六角穴付ネジの組合せ)が適用されることにより、六角穴付ネジ３６及び３７による締付けによって、ヘッド本体４１が上側連結部材３２の貫通孔３２ｃ内及び下側連結部材３１の貫通孔３１ｃ内に固定される。 As shown in FIG. 3, the upper end side of the head body 41 and the middle part of the head body 41 slightly above the nozzle portion 43 also have the same fixing structure as above (combination of through hole, split and hexagon socket screw). ) Is applied, the head body 41 is fixed in the through hole 32c of the upper connecting member 32 and in the through hole 31c of the lower connecting member 31 by tightening with the hexagon socket head screw 36 and 37.

図３から理解できるように、４軸分注装置は、リニアシャフトモータ１０と分注ヘッド４０の組み合わせ４組からなり、４個のリニアシャフトモータ１０と４個の分注ヘッド４０がそれぞれ、互いに平行な異なる平面内で一列に並ぶように組み合わされてなる。 As can be understood from FIG. 3, the 4-axis dispensing device consists of four sets of combinations of the linear shaft motor 10 and the dispensing head 40, and the four linear shaft motors 10 and the four dispensing heads 40 are each of each other. They are combined so that they line up in different parallel planes.

図８は、図１に示された８軸分注装置における第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂ及び第１、第２の分注ヘッド支持部材（被駆動体支持部材）６０Ａ、６０Ｂをそれぞれ、リニアシャフトモータ、分注ヘッドを省略し、分解して示した斜視図である。第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂは、実質上同じ構造を有しているので、モータユニットについては、以下では、主に、図８中左側の第１のモータユニット５０Ａについて説明する。 FIG. 8 shows the first and second motor units 50A and 50B and the first and second dispensing head support members (driven body support members) 60A and 60B in the 8-axis dispensing device shown in FIG. It is a perspective view which showed by disassembling the linear shaft motor and the dispensing head, respectively, by omitting them. Since the first and second motor units 50A and 50B have substantially the same structure, the motor unit will be mainly described below with respect to the first motor unit 50A on the left side in FIG.

図４、図８を参照して、８個のリニアシャフトモータ１０を４個ずつ一列に並べて配置するために一対のコイル固定部材（モータ収容部材）５０が用いられる。一方、８個の分注ヘッド４０を一列に並べて配置するために第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂが用いられる。後の説明で明らかとなるように、本実施形態では、第１のモータユニット５０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂで支持される４個の分注ヘッド４０が対の一方の４軸分注装置を構成するようにし、第２のモータユニット５０Ｂと第１の分注ヘッド支持部材６０Ａで支持される４個の分注ヘッド４０が対の他方の４軸分注装置を構成するようにしている。第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂはそれぞれ、対の他方の４軸分注装置の４個の分注ヘッド４０と、対の一方の４軸分注装置の４個の分注ヘッド４０を交互に並べて支持するための４組のガイド部４４を有する。後述するように、ガイド部４４は、分注ヘッド４０を中心軸回りの回転を阻止しつつ中心軸方向に移動可能に支持する手段を構成するためにボールスプラインのスプライン外筒を有する。 With reference to FIGS. 4 and 8, a pair of coil fixing members (motor accommodating members) 50 are used to arrange four linear shaft motors 10 in a row. On the other hand, the first and second dispensing head support members 60A and 60B are used to arrange the eight dispensing heads 40 in a row. As will be clarified later, in the present embodiment, the four dispensing heads 40 supported by the first motor unit 50A and the second dispensing head support member 60B are paired with one of the four axes. The dispensing device is configured so that the four dispensing heads 40 supported by the second motor unit 50B and the first dispensing head support member 60A constitute the other four-axis dispensing device of the pair. ing. The first and second dispensing head support members 60A and 60B are the four dispensing heads 40 of the other four-axis dispensing device of the pair and the four dispensing of the four-axis dispensing device of the pair, respectively. Note: It has four sets of guide portions 44 for alternately arranging and supporting the heads 40. As will be described later, the guide portion 44 has a spline outer cylinder of a ball spline to form a means for supporting the dispensing head 40 so as to be movable in the central axis direction while preventing rotation around the central axis.

図３に示すような４軸分注装置は以下のようにして組立てられる。但し、図３に示す４軸分注装置は、説明をわかり易くするための、いわば一部省略図であり、図３に示すような形態に製造されるものではない。これは、図３に示す４個の分注ヘッド４０は、上述した第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂで支持された状態で８軸分注装置に組み込まれるからである。 The 4-axis dispensing device as shown in FIG. 3 is assembled as follows. However, the 4-axis dispensing device shown in FIG. 3 is, so to speak, a partially omitted diagram for the sake of easy understanding, and is not manufactured in the form shown in FIG. This is because the four dispensing heads 40 shown in FIG. 3 are incorporated into the 8-axis dispensing device in a state of being supported by the second dispensing head support member 60B described above.

はじめに、コイル固定部材５０内に４個のコイル部１５を、一定間隔をおいて並べて配置、固定した後、各コイル部１５にモータシャフト１１を挿通する。続いて、各モータシャフト１１の下端部及び上端部にそれぞれ、下側連結部材３１及び上側連結部材３２を固定する。次に、チップ４２及びノズル４３の付いていない４個の分注ヘッド４０を第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの４組のガイド部４４で支持し、ヘッド本体４１の下側部分を下側連結部材３１に固定すると共に、ヘッド本体４１の上端側を上側連結部材３２に固定する。その後、ヘッド本体４１にノズル４３及びチップ４２を装着する。以上のようにして、対の一方の４軸分注装置が組み立てられ、同様にして対の他方の４軸分注装置が組み立てられる。そして、対の４軸分注装置の組み立てに際しては、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの４組のガイド部４４と、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの４組のガイド部４４とが交互に一列に並ぶように第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂが結合され、その結果、図１に示されるような８軸分注装置が出来上がる。 First, four coil portions 15 are arranged and fixed side by side at regular intervals in the coil fixing member 50, and then the motor shaft 11 is inserted into each coil portion 15. Subsequently, the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32 are fixed to the lower end and the upper end of each motor shaft 11, respectively. Next, the four dispensing heads 40 without the tip 42 and the nozzle 43 are supported by four sets of guide portions 44 of the second dispensing head support member 60B, and the lower portion of the head body 41 is lower. It is fixed to the connecting member 31 and the upper end side of the head main body 41 is fixed to the upper connecting member 32. After that, the nozzle 43 and the tip 42 are attached to the head body 41. As described above, one pair of 4-axis dispensing devices is assembled, and the other pair of 4-axis dispensing devices is assembled in the same manner. When assembling the pair of 4-axis dispensing devices, the four sets of guide portions 44 of the first dispensing head support member 60A and the four sets of guide portions 44 of the second dispensing head support member 60B are used. The first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B are coupled so as to be alternately arranged in a row, and as a result, an 8-axis dispensing device as shown in FIG. 1 is completed.

図９～図１３をも参照して、本実施形態の別の特徴であるコイルユニットの製造方法を、第１のモータユニット５０Ａに適用して説明する。 A method of manufacturing a coil unit, which is another feature of the present embodiment, will be described by applying it to the first motor unit 50A with reference to FIGS. 9 to 13.

図９は、４軸分注装置のコイルユニットの製造過程を、順を追って示した斜視図である。 FIG. 9 is a perspective view showing the manufacturing process of the coil unit of the 4-axis dispensing device step by step.

図９において、はじめに、４組のコイル部１５を所定ピッチＰ１で一列に並べた状態で受入れ可能な受入れ部５１を持つコイル固定部材（第１のモータ収容部材）５０を用意する（図９（ａ））。コイル部１５は、図１０をも参照して、樹脂製のコイル一体化筒１６の外周に複数のコイル１４を直列につなぎ合わせて固着してなる。コイル一体化筒１６は、モータシャフト１１の外径よりわずかに大きな内径と、複数のコイルのうちの両端のコイル１４から突出した突出部１６－１を持つ長さとを持つ。前述したように、複数のコイル１４は、Ｕ相－Ｖ相－Ｗ相の３個を１組として配列され、デルタあるいはスター結線が施される。 In FIG. 9, first, a coil fixing member (first motor accommodating member) 50 having a receiving portion 51 that can be received in a state where four sets of coil portions 15 are arranged in a row at a predetermined pitch P1 is prepared (FIG. 9 (FIG. 9). a)). The coil portion 15 is formed by connecting and fixing a plurality of coils 14 in series to the outer periphery of the resin coil integrated cylinder 16 with reference to FIG. 10. The coil integrated cylinder 16 has an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the motor shaft 11 and a length having protrusions 16-1 protruding from the coils 14 at both ends of the plurality of coils. As described above, the plurality of coils 14 are arranged as a set of three U-phase, V-phase, and W-phase, and are delta- or star-connected.

次に、図９（ｂ）に示すように、コイル固定部材５０の受入れ部５１に、４組のコイル部１５を所定ピッチＰ１で一列に並べて配置する。 Next, as shown in FIG. 9B, four sets of coil portions 15 are arranged in a row at a predetermined pitch P1 on the receiving portion 51 of the coil fixing member 50.

コイル固定部材５０の受入れ部５１は、図１１を参照して、一列に並べて配置される４組のコイル部１５の受入れ空間の底面を規定する底壁５１ａと、受入れ空間をコイル部１５の軸方向と平行方向に関して規定するように互いに対向し合う一対の壁部材５１ｂと、４組のコイル部１５の両端側における一対の壁部材５１ｂの間に設けられる一対のコイルエンド５２とで形成される。コイルエンド５２は、４組のコイル部１５の両端から突出しているコイル一体化筒１６の突出部１６－１が挿入される４つの貫通孔５２ａを有し、底壁５１ａにネジ止めにより取外し可能に固定される。突出部１６－１の突出長はコイルエンド５２の板厚、すなわち貫通孔５２ａの長さより短い方が望ましい。 The receiving portion 51 of the coil fixing member 50 has a bottom wall 51a that defines the bottom surface of the receiving space of the four sets of coil portions 15 arranged side by side in a row, and the receiving space is the axis of the coil portion 15. It is formed by a pair of wall members 51b facing each other as defined in terms of direction and parallel direction, and a pair of coil ends 52 provided between the pair of wall members 51b on both ends of the four sets of coil portions 15. .. The coil end 52 has four through holes 52a into which the protruding portions 16-1 of the coil integrated cylinder 16 protruding from both ends of the four sets of coil portions 15 are inserted, and can be removed by screwing to the bottom wall 51a. Is fixed to. It is desirable that the protrusion length of the protrusion 16-1 is shorter than the plate thickness of the coil end 52, that is, the length of the through hole 52a.

コイルエンド５２を底壁５１ａから取外し可能にしているのは、複数のコイル１４の全長を、一対のコイルエンド５２の間隔とほぼ同じにしているからである。つまり、図１１に示されるように、コイル受入れ部５１の底壁５１ａに固定された一方のコイルエンド５２の４つの貫通孔５２ａに４組のコイル部１５の一方の突出部１６－１を挿入して４組のコイル部１５を受入れ部５１に配置した後、他方のコイルエンド５２を、その貫通孔５２ａに４組のコイル部１５の他方の突出部１６－１を挿入した状態で底壁５１ａにネジ止め固定する。 The coil end 52 is removable from the bottom wall 51a because the total length of the plurality of coils 14 is substantially the same as the distance between the pair of coil ends 52. That is, as shown in FIG. 11, one protruding portion 16-1 of the four sets of coil portions 15 is inserted into the four through holes 52a of the one coil end 52 fixed to the bottom wall 51a of the coil receiving portion 51. After arranging the four sets of coil portions 15 in the receiving portion 51, the other coil end 52 is inserted into the through hole 52a with the other protruding portion 16-1 of the four sets of coil portions 15 inserted into the bottom wall. It is fixed to 51a by screwing.

コイルエンド５２にはまた、受入れ部５１に配置された４組のコイル部１５の軸方向に平行な両側に、後述する磁気遮蔽板７０（図９（ｃ））を設置するための５個のスリット５２ｂが形成されている。言い換えれば、スリット５２ｂは、貫通孔５２ａの両側の位置に、受入れ空間の開口側から深さ方向に形成されている。なお、一対のコイルエンド５２は、少なくとも一方が底壁５１ａに取外し可能にされていればよい。 The coil end 52 also has five magnetic shielding plates 70 (FIG. 9 (c)) described later on both sides parallel to the axial direction of the four sets of coil portions 15 arranged in the receiving portion 51. The slit 52b is formed. In other words, the slits 52b are formed at positions on both sides of the through hole 52a in the depth direction from the opening side of the receiving space. At least one of the pair of coil ends 52 may be removable from the bottom wall 51a.

図９（ｂ）のコイル部１５の配置工程に続いて、図９（ｃ）を参照して、一列に並べて配置された４組のコイル部１５の軸方向に沿った両側にそれぞれ、コイル部１５よりも長い磁気遮蔽板７０を配置する。つまり、一対のコイルエンド５２のスリット５２ｂに１枚ずつ、合計５枚の磁気遮蔽板７０を装着する。磁気遮蔽板７０は、隣り合うコイル部１５及びモータシャフト１１内の永久磁石１２により隣り合うリニアシャフトモータが互いに干渉（例えばコギング）し合うのを防止するためのものである。このため、磁気遮蔽板７０は高透磁率材料、例えばＳＰＣＣ（冷間圧延鋼鈑）からなり、少なくともモータシャフト１１内の複数の永久磁石１２の可動範囲に亘る長さを有する。また、磁気遮蔽板７０の幅は受入れ部５１の受入れ空間の深さよりも大きく、かつ少なくとも受入れ空間領域の一部領域に対応する部分の幅を受入れ空間の深さと同程度としている。これは、図１３を参照して後述されるように、受入れ空間領域に対応する部分に回路基板８０を取付け可能な構成とするためである。 Following the process of arranging the coil portions 15 in FIG. 9 (b), with reference to FIG. 9 (c), the coil portions on both sides of the four sets of coil portions 15 arranged side by side in a row along the axial direction, respectively. A magnetic shielding plate 70 longer than 15 is arranged. That is, a total of five magnetic shielding plates 70 are attached to the slits 52b of the pair of coil ends 52, one for each. The magnetic shielding plate 70 is for preventing the adjacent linear shaft motors from interfering with each other (for example, cogging) due to the adjacent coil portion 15 and the permanent magnet 12 in the motor shaft 11. Therefore, the magnetic shielding plate 70 is made of a high magnetic permeability material, for example, SPCC (cold rolled steel plate), and has a length extending at least over the movable range of a plurality of permanent magnets 12 in the motor shaft 11. Further, the width of the magnetic shielding plate 70 is larger than the depth of the receiving space of the receiving portion 51, and at least the width of the portion corresponding to a part of the receiving space region is set to be about the same as the depth of the receiving space. This is because, as will be described later with reference to FIG. 13, the circuit board 80 can be attached to the portion corresponding to the receiving space region.

続いて、図９（ｄ）を参照して、受入れ部５１におけるコイル部１５と磁気遮蔽板７０との間に硬化性の樹脂（接着剤）７５を流し込んで硬化させる。 Subsequently, with reference to FIG. 9D, a curable resin (adhesive) 75 is poured between the coil portion 15 and the magnetic shielding plate 70 in the receiving portion 51 to be cured.

なお、磁気遮蔽板７０は、少なくとも隣り合うコイル部１５の間に対応する箇所に設けられれば良く、最も外側の２枚は省略されても良い。また、コイル部１５と磁気遮蔽板７０の固定は、硬化性の樹脂７５による接着以外の固定方法で行われても良い。 The magnetic shielding plate 70 may be provided at least at a position corresponding to the adjacent coil portions 15, and the outermost two plates may be omitted. Further, the coil portion 15 and the magnetic shielding plate 70 may be fixed by a fixing method other than the bonding with the curable resin 75.

図１２は、図９の製造方法により作られたコイルユニットにおける受入れ空間の開口側に設置される回路基板８０の一例を示し、図１３は、回路基板８０がネジ止めにより設置されたコイルユニットの例を示す。回路基板８０は、４組のコイル部１５の一部を露出させるための切欠き８１を有すると共に、磁気遮蔽板７０の板幅の大きい幅広部の回路基板８０からの突出を許容するための５個のスリット８２を有する。切欠き８１は、その周縁に形成されたコイル結線用の導電パターン８４と４組のコイル部１５との電気接続（図示省略）を容易にするために形成される。一方、スリット８２は、回路基板８０の上側となる位置に形成されているので、運用時に、万一、磁気遮蔽板７０が接着不良により受入れ部５１から剥離したとしても、幅広部の下端部がスリット８２の下端縁に引っかかることにより、磁気遮蔽板７０が落下することを防止する。 FIG. 12 shows an example of the circuit board 80 installed on the opening side of the receiving space in the coil unit manufactured by the manufacturing method of FIG. 9, and FIG. 13 shows the coil unit in which the circuit board 80 is installed by screwing. An example is shown. The circuit board 80 has a notch 81 for exposing a part of the four sets of coil portions 15, and 5 for allowing the magnetic shielding plate 70 to protrude from the circuit board 80 in a wide portion having a large plate width. It has a slit 82. The notch 81 is formed to facilitate electrical connection (not shown) between the conductive pattern 84 for coil connection formed on the peripheral edge thereof and the four sets of coil portions 15. On the other hand, since the slit 82 is formed at a position above the circuit board 80, even if the magnetic shielding plate 70 is peeled off from the receiving portion 51 due to poor adhesion during operation, the lower end portion of the wide portion is formed. The magnetic shielding plate 70 is prevented from falling by being caught on the lower end edge of the slit 82.

図１３では図示を省略しているが、コイルユニットにおける受入れ空間の開口側に設置した回路基板８０は、図８に示すように、コイル固定部材５０にネジ止めにより固定された蓋部材５５でカバーされる。勿論、蓋部材５５の上端側には、回路基板８０から突出している磁気遮蔽板７０の突出部分を受け入れるための５つの溝５５ａが形成されている。 Although not shown in FIG. 13, the circuit board 80 installed on the opening side of the receiving space in the coil unit is covered with the lid member 55 fixed to the coil fixing member 50 by screwing as shown in FIG. Will be done. Of course, on the upper end side of the lid member 55, five grooves 55a for receiving the protruding portion of the magnetic shielding plate 70 protruding from the circuit board 80 are formed.

図１２及び図１３において、８３は、モータシャフト１１内の永久磁石１２の位置を検出するための一対の磁気センサ、例えばアナログホールセンサ（以下、ホールセンサと略称する）であり、リニアシャフトモータ１０におけるモータシャフト１１の位置制御のために使用される。一対のホールセンサ８３は、モータシャフト１１に対応した位置であって磁気遮蔽板７０の幅広部に隣接する位置に、モータシャフト１１の移動方向に所定の取付間隔をおいて設置される。一対のホールセンサ８３の取付間隔は、図１４に示すように、モータシャフト１１（永久磁石１２）の表面磁束密度の波形の電気角９０度に設定される。これは、本発明者らが、リニアシャフトモータ１０のラジアル方向の外部磁界を計測した結果、図１５に示すように、モータシャフト１１（永久磁石１２）の表面磁束密度はモータシャフト１１の表面からある程度離れてゆくと正弦波に近い波形になってゆくという知見を得たことに基づいている。本実施形態では、図１５に示されるような計測データを参照しながら、正弦波により近いデータが得られる位置を、ホールセンサ８３の設置場所として決定するようにしている。 In FIGS. 12 and 13, 83 is a pair of magnetic sensors for detecting the position of the permanent magnet 12 in the motor shaft 11, for example, an analog Hall sensor (hereinafter, abbreviated as Hall sensor), and the linear shaft motor 10 It is used for the position control of the motor shaft 11 in. The pair of Hall sensors 83 are installed at positions corresponding to the motor shaft 11 and adjacent to the wide portion of the magnetic shielding plate 70 at predetermined mounting intervals in the moving direction of the motor shaft 11. As shown in FIG. 14, the mounting interval of the pair of Hall sensors 83 is set to an electric angle of 90 degrees of the waveform of the surface magnetic flux density of the motor shaft 11 (permanent magnet 12). This is because the present inventors measured the external magnetic field in the radial direction of the linear shaft motor 10, and as shown in FIG. 15, the surface magnetic flux density of the motor shaft 11 (permanent magnet 12) is from the surface of the motor shaft 11. It is based on the finding that the waveform becomes close to a sine wave when the distance is increased to some extent. In the present embodiment, the position where the data closer to the sine wave can be obtained is determined as the installation location of the hall sensor 83 with reference to the measurement data as shown in FIG.

ところで、本実施形態では、以下の理由により、一対のホールセンサ８３を、回路基板８０の表面側（受入れ部５１側と反対側の面）であって、２枚の磁気遮蔽板７０の板幅の大きい部分の間に設置している。つまり、回路基板８０にスリット８２を形成することで、磁気遮蔽板７０の板幅の大きい部分をコイル固定部材５０の受入れ部５１内まで延ばしている。これは、２枚の磁気遮蔽板７０の板幅の大きい部分の間に設置されている一対のホールセンサ８３に対して隣接するリニアシャフトモータ１０からの磁界の影響を受けないようにするためである。なお、回路基板８０に実装される電気回路は、主に、複数のコイル１４と接続されて４個のリニアシャフトモータ１０を駆動、制御するための回路であるが、回路については説明を省略し、図１６を参照して、リニアシャフトモータ１０の位置制御系について説明する。 By the way, in the present embodiment, for the following reasons, the pair of Hall sensors 83 is on the surface side of the circuit board 80 (the surface opposite to the receiving portion 51 side), and the plate width of the two magnetic shielding plates 70. It is installed between the large parts of. That is, by forming the slit 82 in the circuit board 80, the wide portion of the magnetic shielding plate 70 is extended into the receiving portion 51 of the coil fixing member 50. This is to prevent the influence of the magnetic field from the linear shaft motor 10 adjacent to the pair of Hall sensors 83 installed between the large plate width portions of the two magnetic shielding plates 70. be. The electric circuit mounted on the circuit board 80 is mainly a circuit for driving and controlling four linear shaft motors 10 connected to a plurality of coils 14, but the description of the circuit is omitted. , The position control system of the linear shaft motor 10 will be described with reference to FIG.

図１６は、リニアシャフトモータ１０を個別に制御する位置制御系のブロック図であり、この位置制御系が各軸のリニアシャフトモータ１０に設置される。ただし、マイコン８８については、すべての軸のリニアシャフトモータ１０に共通とすることができる。この位置制御系は、回路基板８０上に設置されている２つのホールセンサ８３と、２つのホールセンサ８３からの検出信号を処理するオペアンプ８５と、オペアンプ８５からの信号をデジタル化するインターポレータ８６と、インターポレータ８６からのデジタル信号に基づいてリニアシャフトモータ１０のモータシャフト１１を駆動、制御するモータ駆動回路８７と,モータ駆動回路８７に対して、リニアシャフトモータ１０の駆動に必要な移動量、移動速度、方向信号等の動作指令を出力するマイコン８８とを含む。 FIG. 16 is a block diagram of a position control system that individually controls the linear shaft motor 10, and this position control system is installed in the linear shaft motor 10 of each axis. However, the microcomputer 88 can be common to the linear shaft motor 10 of all axes. This position control system consists of two Hall sensors 83 installed on the circuit board 80, an operational amplifier 85 that processes detection signals from the two Hall sensors 83, and an interpolator that digitizes the signals from the operational amplifier 85. It is necessary to drive the linear shaft motor 10 with respect to the motor drive circuit 87 that drives and controls the motor shaft 11 of the linear shaft motor 10 based on the digital signal from the interpolator 86 and the motor drive circuit 87. It includes a microcomputer 88 that outputs operation commands such as a movement amount, a movement speed, and a direction signal.

この位置制御系は、２つのホールセンサ８３の検出信号から正の電圧信号に加えて負の電圧信号を生成する場合（信号反転ありの場合）と、２つのホールセンサ８３の検出信号から正の電圧信号のみを生成する場合（信号反転なしの場合）とで以下の２通りの制御形態がある。図１６は、信号反転なしの場合を示しているが、信号反転ありの場合には、オペアンプ８５以降の出力信号線の本数が異なることになる。 This position control system generates a negative voltage signal in addition to a positive voltage signal from the detection signals of the two Hall sensors 83 (when there is signal inversion), and a positive voltage signal from the detection signals of the two Hall sensors 83. There are the following two control modes, one is when only a voltage signal is generated (when there is no signal inversion). FIG. 16 shows a case without signal inversion, but when there is signal inversion, the number of output signal lines after the operational amplifier 85 is different.

（信号反転なしの場合）
１．モータシャフト１１の表面磁束密度をホールセンサ８３で検出し、アナログ電圧信号として出力する。モータシャフト１１の表面磁束密度は、軸方向に沿って正弦波となっており、永久磁石１２の磁極ピッチ（以下、マグネットピッチと呼ぶ）の１／４で２つのホールセンサ８３を配置し、検出を行うと、電気角で９０度位相のずれた２つの正弦波電圧信号、つまり正弦波（以下、Sin波）電圧信号、余弦波（以下、Cos波）電圧信号を生成することができる。 (Without signal inversion)
1. 1. The surface magnetic flux density of the motor shaft 11 is detected by the Hall sensor 83 and output as an analog voltage signal. The surface magnetic flux density of the motor shaft 11 is a sine wave along the axial direction, and two Hall sensors 83 are arranged and detected at 1/4 of the magnetic pole pitch of the permanent magnet 12 (hereinafter referred to as magnet pitch). This makes it possible to generate two sine wave voltage signals that are 90 degrees out of phase with each other in terms of electrical angle, that is, a sine wave (hereinafter, Sin wave) voltage signal and a chord wave (hereinafter, Cos wave) voltage signal.

２．２つのホールセンサ８３から出力されたアナログ電圧信号はオペアンプ８５に入力される。オペアンプ８５は、２つのホールセンサ８３の出力電圧をドライバ入力に適合するように調整する。 2. The analog voltage signals output from the two Hall sensors 83 are input to the operational amplifier 85. The operational amplifier 85 adjusts the output voltages of the two Hall sensors 83 to match the driver inputs.

３．ドライバのインターポレータ８６で、オペアンプ８５から入力された２つのアナログ信号をデジタル化し、指定のビット数で分割する。この分割数は、分解能（マグネットピッチ / 分割数）を規定し、例えば、マグネットピッチ２４ｍｍ、分割数２１４の場合、分解能は１．５μｍである。これにより、２つのアナログ電圧信号（Sin波電圧信号、Cos波電圧信号）は電気角で９０度位相のずれた２つの矩形波信号（位置信号）になる。 3. 3. The driver interpolator 86 digitizes the two analog signals input from the operational amplifier 85 and divides them by a specified number of bits. This number of divisions defines the resolution (magnet pitch / number of divisions). For example, when the magnet pitch is 24 mm and the number of divisions is 214, the resolution is 1.5 μm. As a result, the two analog voltage signals (Sin wave voltage signal and Cos wave voltage signal) become two square wave signals (position signals) that are 90 degrees out of phase with each other in terms of electrical angle.

４．モータ駆動回路８７で、インターポレータ８６から入力された２つの矩形波信号によりモータシャフト１１（分注ヘッド４０）の現在位置、速度を検知し、リニアシャフトモータ１０（コイル部１５）に位置制御指令を出す。 4. The motor drive circuit 87 detects the current position and speed of the motor shaft 11 (dispensing head 40) from the two square wave signals input from the interpolator 86, and controls the position on the linear shaft motor 10 (coil portion 15). Issue a command.

（信号反転ありの場合）
１．モータシャフト１１の表面磁束密度を２つのホールセンサ８３で検出し、アナログ電圧信号として出力する。モータシャフト１１の表面磁束密度は、軸方向に沿って正弦波となっており、永久磁石１２の磁極ピッチ（以下、マグネットピッチと呼ぶ）の１／４で２つのホールセンサ８３を配置し、検出を行うと、電気角で９０度位相のずれた２つのアナログ正弦波電圧信号、つまりSin波電圧信号と、Cos波電圧信号を生成することができる。 (With signal inversion)
1. 1. The surface magnetic flux density of the motor shaft 11 is detected by the two Hall sensors 83 and output as an analog voltage signal. The surface magnetic flux density of the motor shaft 11 is a sine wave along the axial direction, and two Hall sensors 83 are arranged and detected at 1/4 of the magnetic pole pitch of the permanent magnet 12 (hereinafter referred to as magnet pitch). This makes it possible to generate two analog sinusoidal voltage signals that are 90 degrees out of phase with each other in terms of electrical angle, that is, a Sin wave voltage signal and a Cos wave voltage signal.

２．２つのホールセンサ８３から出力された２つのアナログ電圧信号はオペアンプ８５に入力される。オペアンプ８５は、入力された２つのアナログ電圧信号（Sin波電圧信号、Cos波電圧信号）のそれぞれについて反転信号を生成する。これにより、ホールセンサ８３から入力されたSin波電圧信号、Cos波電圧信号の他に、-Sin波電圧信号、-Cos波電圧信号が生成されて４つのアナログ信号になる。また、オペアンプ８５は、ホールセンサ８３の出力電圧をドライバ入力に適合するように調整する。別の制御形態として上述したように、Sin波電圧信号、Cos波電圧信号の２つだけでも良いが、-Sin波電圧信号、-Cos波電圧信号を生成することでノイズに強くなる。 2. The two analog voltage signals output from the two Hall sensors 83 are input to the operational amplifier 85. The operational capacitor 85 generates an inverting signal for each of the two input analog voltage signals (Sin wave voltage signal and Cos wave voltage signal). As a result, in addition to the Sin wave voltage signal and the Cos wave voltage signal input from the Hall sensor 83, the -Sin wave voltage signal and the -Cos wave voltage signal are generated to form four analog signals. Further, the operational amplifier 85 adjusts the output voltage of the Hall sensor 83 so as to match the driver input. As described above as another control mode, only two of the Sin wave voltage signal and the Cos wave voltage signal may be used, but the generation of the -Sin wave voltage signal and the -Cos wave voltage signal makes the signal more resistant to noise.

３．ドライバのインターポレータ８６で、オペアンプ８５から入力された４つのアナログ信号をデジタル化し、指定のビット数で分割する。マグネットピッチと分割数で表される分解能は、上述した通りである。これにより、４つのアナログ電圧信号は４つの矩形波信号（位置信号）になる。 3. 3. The driver interpolator 86 digitizes the four analog signals input from the operational amplifier 85 and divides them by a specified number of bits. The resolution expressed by the magnet pitch and the number of divisions is as described above. As a result, the four analog voltage signals become four square wave signals (position signals).

４．モータ駆動回路８７で、インターポレータ８６から入力された４つの矩形波信号（位置信号）により、モータシャフト１１（分注ヘッド４０）の現在位置、速度を検知し、リニアシャフトモータ１０（コイル部１５）に位置制御指令を出す。 4. In the motor drive circuit 87, the current position and speed of the motor shaft 11 (dispensing head 40) are detected by the four square wave signals (position signals) input from the interpolator 86, and the linear shaft motor 10 (coil portion) is detected. Issue a position control command to 15).

次に、図８に加えて、図１７～図２３をも参照して、本実施形態の主たる特徴部分とも言える、８軸分注装置における８個の分注ヘッド４０の支持構造とガイド部の設置形態について説明する。 Next, with reference to FIGS. 17 to 23 in addition to FIG. 8, the support structure and the guide portion of the eight dispensing heads 40 in the 8-axis dispensing device, which can be said to be the main feature portion of the present embodiment. The installation form will be described.

図８において、８軸分注装置は、８個のリニアシャフトモータ１０を４個ずつ平面視で一列に並べた状態で第１、第２のコイル固定部材（モータ収容部材）５０に収容してなる第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂと、４組のガイド部４４を有して４個の分注ヘッド４０を平面視で一列に並べた状態で中心軸方向に移動可能に支持すると共に、第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂに取り付けられる第１、第２の分注ヘッド支持部材（被駆動体支持部材）６０Ａ、６０Ｂと、を有する。 In FIG. 8, the 8-axis dispensing device accommodates eight linear shaft motors 10 in a first and second coil fixing member (motor accommodating member) 50 in a state where four linear shaft motors 10 are arranged in a row in a plan view. It has the first and second motor units 50A and 50B and four sets of guide portions 44, and supports the four dispensing heads 40 so as to be movable in the central axis direction in a state of being arranged in a row in a plan view. It also has first and second dispensing head support members (driven body support members) 60A and 60B attached to the first and second motor units 50A and 50B.

なお、第１、第２の分注ヘッド支持部材（被駆動体支持部材）６０Ａ、６０Ｂの延在長（分注ヘッドの配列方向の長さ）を、第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂの延在長（リニアシャフトモータの配列方向の長さ）より少し大きくしているが、その理由については後述する。 The extended lengths (lengths in the arrangement direction of the dispensing heads) of the first and second dispensing head support members (driven body support members) 60A and 60B are set to the first and second motor units 50A. It is slightly larger than the extended length of 50B (the length in the arrangement direction of the linear shaft motor), and the reason will be described later.

８軸分注装置はまた、第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂを、第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂを挟んだ状態で対向し、しかも第１のモータユニット５０Ａにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置と第２のモータユニット５０Ｂにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置が平面視で千鳥状になるように組み合わせ、第１の分注ヘッド支持部材のガイド部４４と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂのガイド部４４とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合うように構成している。 The 8-axis dispensing device also faces the first and second motor units 50A and 50B with the first and second dispensing head support members 60A and 60B sandwiched between them, and the first motor unit 50A. The arrangement of the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B and the arrangement of the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B are combined so as to be staggered in a plan view, and the guide portion of the first dispensing head support member is combined. The 44 and the guide portion 44 of the second dispensing head support member 60B are adjacent to each other in a plan view, and are configured to be adjacent to each other alternately.

図１７は、図１に示された８軸分注装置における上側連結部材３２の配置形態を示す上面図であり、第１のモータユニット５０Ａにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）と第２のモータユニット５０Ｂにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）が平面視で千鳥状であることを示している。 FIG. 17 is a top view showing an arrangement form of the upper connecting member 32 in the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1, and is an arrangement of four linear shaft motors 10 in the first motor unit 50A (pitch P1). It shows that the arrangement (pitch P1) of the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B is staggered in a plan view.

一方、図１８は、図１に示された８軸分注装置を、上側連結部材３２、リニアシャフトモータ１０、及び分注ヘッド４０を省略して上方から見た平面図であり、第１のモータユニット５０Ａに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと、第２のモータユニット５０Ｂに取り付けられた第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを分離した状態で示している。 On the other hand, FIG. 18 is a plan view of the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1 as viewed from above, omitting the upper connecting member 32, the linear shaft motor 10, and the dispensing head 40. The first dispensing head support member 60A attached to the motor unit 50A and the second dispensing head support member 60B attached to the second motor unit 50B are shown in a separated state.

図１８は、以下のことを示している。第１のモータユニット５０Ａの４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）と第２のモータユニット５０Ｂの４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）が平面視で千鳥状になるように組み合わされている。図１８はまた、以下のことを示している。 FIG. 18 shows the following. The arrangement of the four linear shaft motors 10 of the first motor unit 50A (pitch P1) and the arrangement of the four linear shaft motors 10 of the second motor unit 50B (pitch P1) are staggered in a plan view. Is combined with. FIG. 18 also shows the following:

すなわち、第１のモータユニット５０Ａに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａにおいては４組のガイド部４４が、４個のリニアシャフトモータ１０の配置に対してＰ１／２ピッチだけ配列方向にずれるように設置されている。第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂについても同様であるが、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａにおける４組のガイド部４４の配置に対してもＰ１／２ピッチだけ配列方向にずれるように設置されている。 That is, in the first dispensing head support member 60A attached to the first motor unit 50A, the four sets of guide portions 44 are arranged in the arrangement direction by P1 / 2 pitch with respect to the arrangement of the four linear shaft motors 10. It is installed so that it shifts to. The same applies to the second dispensing head support member 60B, but the first dispensing head support member 60A is installed so as to be displaced in the arrangement direction by P1 / 2 pitch with respect to the arrangement of the four sets of guide portions 44. Has been done.

一方、図１９は、図１８に示された第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを結合した状態で示した平面図である。図１８、図１９は以下のことを示している。すなわち、図１８に示す分離状態から、図１９に示す結合状態になると、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの４組のガイド部４４（ピッチＰ１）と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの４組のガイド部４４（ピッチＰ１）とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合い、第１の分注ヘッド支持部材の４組のガイド部４４で支持される分注ヘッド４０と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの４組のガイド部４４で支持される分注ヘッド４０とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合う（ピッチＰ２＝Ｐ１／２）ようになる。 On the other hand, FIG. 19 is a plan view showing a state in which the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B shown in FIG. 18 are coupled. 18 and 19 show the following. That is, when the separated state shown in FIG. 18 is changed to the coupled state shown in FIG. 19, the four sets of guide portions 44 (pitch P1) of the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B The dispensing head 40 and the second set of guide portions 44 (pitch P1) are adjacent to each other in a plan view and are alternately adjacent to each other, and are supported by the four sets of guide portions 44 of the first dispensing head support member. Dispensing heads 40 supported by four sets of guide portions 44 of the dispensing head support member 60B are adjacent to each other in a plan view and are alternately adjacent to each other (pitch P2 = P1 / 2).

図１９はまた、以下のことを示している。すなわち、第１のモータユニット５０Ａに組み合わされる第１の分注ヘッド支持部材６０Ａに設置される４組のガイド部４４を、第２のモータユニット５０Ｂにおける４個のリニアシャフトモータ１０のそれぞれのモータシャフト１１に連結される４個の分注ヘッド４０のガイド部４４とし、第２のモータユニット５０Ｂに組み合わされる第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂに設置される４組のガイド部４４を、第１のモータユニット５０Ａにおける４個のリニアシャフトモータ１０のそれぞれのモータシャフト１１に連結される４個の分注ヘッド４０のガイド部４４としている。例えば、図１７、図１８、図１９を参照して、図中最も左側の分注ヘッド４０は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａに設置されたガイド部４４で支持されるが、この分注ヘッド４０は、図中最も左側の上側連結部材３２によって図中最も左側のリニアシャフトモータ１０のモータシャフトに連結され、このリニアシャフトモータ１０は第２のモータユニット５０Ｂに設置されている。 FIG. 19 also shows the following: That is, the four sets of guide portions 44 installed in the first dispensing head support member 60A combined with the first motor unit 50A are replaced with the respective motors of the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B. The guide portions 44 of the four dispensing heads 40 connected to the shaft 11 are used, and the four sets of guide portions 44 installed on the second dispensing head support member 60B combined with the second motor unit 50B are used. The guide portions 44 of the four dispensing heads 40 connected to the motor shafts 11 of the four linear shaft motors 10 in the motor unit 50A of 1 are used. For example, with reference to FIGS. 17, 18, and 19, the leftmost dispensing head 40 in the drawing is supported by a guide portion 44 installed in the first dispensing head support member 60A. Note: The head 40 is connected to the motor shaft of the leftmost linear shaft motor 10 in the figure by the leftmost upper connecting member 32 in the figure, and the linear shaft motor 10 is installed in the second motor unit 50B.

図２０は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａを示し、図（ａ）は上面図、図（ｂ）は正面図である。図２１は、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂを示し、図（ａ）は上面図、図（ｂ）は正面図である。 20A and 20B show a first dispensing head support member 60A, where FIG. 20A is a top view and FIG. 20B is a front view. 21 shows a second dispensing head support member 60B, FIG. 21A is a top view, and FIG. 21B is a front view.

図８、図２０、図２１を参照して、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａは、第１のモータユニット５０Ａにおける第２のモータユニット５０Ｂとの対向面に取り付けられる２つの取付け部（第１の取付け部）６１と、これらの２つの取付け部６１の間に掛け渡されて４組のガイド部４４を設置するための第１のブリッジ部として上側ブリッジ６２－１と、下側ブリッジ６２－２とを有する。上側ブリッジ６２－１と、下側ブリッジ６２－２はそれぞれ、第２のモータユニット５０Ｂ側に向けて突出し分注ヘッド４０のヘッド本体４１を通すための穴を持つ４個の上側突出部６２－１１（ピッチＰ１）、下側突出部６２－２１（ピッチＰ１）を有する。なお、下側ブリッジ６２－２に設けられる４個の下側突出部６２－２１は、上側ブリッジ６２－１に設けられる４個の上側突出部６２－１１と平面視で重なる位置にある。 With reference to FIGS. 8, 20, and 21, the first dispensing head support member 60A has two mounting portions (second) mounted on the facing surface of the first motor unit 50A with the second motor unit 50B. The upper bridge 62-1 and the lower bridge 62 are the first bridge portions for installing the four sets of guide portions 44, which are hung between the mounting portion (1) 61 and these two mounting portions 61. It has -2. The upper bridge 62-1 and the lower bridge 62-2 each project toward the second motor unit 50B and have four upper protrusions 62-with holes for passing the head body 41 of the dispensing head 40. It has 11 (pitch P1) and a lower protrusion 62-21 (pitch P1). The four lower protrusions 62-21 provided on the lower bridge 62-2 are positioned so as to overlap the four upper protrusions 62-11 provided on the upper bridge 62-1 in a plan view.

第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと同様に、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂも、第２のモータユニット５０Ｂにおける第１のモータユニット５０Ａとの対向面に取り付けられる２つの取付け部（第２の取付け部）６１と、これらの２つの取付け部６１の間に掛け渡されて４組のガイド部４４を設置するための第２のブリッジ部として上側ブリッジ６２－１と、下側ブリッジ６２－２とを有する。上側ブリッジ６２－１と、下側ブリッジ６２－２はそれぞれ、第１のモータユニット５０Ａ側に向けて突出し分注ヘッド４０のヘッド本体４１を通すための穴を持つ４個の上側突出部６２－１１（ピッチＰ１）、下側突出部６２－２１（図示せず）を有する。ただし、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ブリッジ６２－１、下側ブリッジ６２－２に形成する突出部は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの上側ブリッジ６２－１、下側ブリッジ６２－２に形成する突出部に対して平面視でピッチＰ２（＝Ｐ１／２）だけずれるようにしている。 Similar to the first dispensing head support member 60A, the second dispensing head support member 60B also has two mounting portions (second) mounted on the facing surface of the second motor unit 50B with the first motor unit 50A. 2 mounting portions) 61 and an upper bridge 62-1 and a lower bridge 62 as second bridge portions for installing four sets of guide portions 44, which are hung between these two mounting portions 61. It has -2. The upper bridge 62-1 and the lower bridge 62-2 each project toward the first motor unit 50A and have four upper protrusions 62-with holes for passing the head body 41 of the dispensing head 40. It has 11 (pitch P1) and a lower protrusion 62-21 (not shown). However, the protrusions formed on the upper bridge 62-1 and the lower bridge 62-2 of the second dispensing head support member 60B are the upper bridge 62-1 and the lower bridge of the first dispensing head support member 60A. It is designed to be displaced by pitch P2 (= P1 / 2) in a plan view with respect to the protrusion formed in 62-2.

第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの４個の上側ガイド４４－１はそれぞれ、ヘッド本体４１が挿通される挿通孔４４－１aが、上側ブリッジ６２－１の上側突出部６２－１１の穴と合わさって上側ブリッジ６２－１から突出した状態で上側突出部６２－１１に設置（ピッチＰ１）される。上側突出部６２－１１への上側ガイド４４－１の設置は、スプライン外筒の貫通孔４４－１ａの両側のフランジにおいてネジ４５により行われる。下側突出部６２－２１への下側ガイド４４－１の設置も同様である。同様に、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの４個の下側ガイド４４－２はそれぞれ、ヘッド本体４１が挿通される挿通孔４４－２ａ（図示せず）が、下側ブリッジ６２－２の下側突出部６２－２１の穴と合わさって下側ブリッジ６２－２から突出した状態で下側突出部６２－２１に設置（ピッチＰ１）される。第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ブリッジ６２－１に設置される４個の上側ガイド４４－１、及び下側ブリッジ６２－２に設置される下側ガイド４４－２は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ側の上側ガイド４４－１、下側ガイド４４－２に対して平面視でピッチＰ２（＝Ｐ１／２）だけずれるように設置されることを除き、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと同じであるので、説明は省略する。 In each of the four upper guides 44-1 of the first dispensing head support member 60A, the insertion holes 44-1a through which the head body 41 is inserted are the holes of the upper protrusion 62-11 of the upper bridge 62-1. It is installed in the upper protruding portion 62-11 (pitch P1) in a state of being combined and protruding from the upper bridge 62-1. Installation of the upper guide 44-1 on the upper protrusion 62-11 is performed by screws 45 at the flanges on both sides of the through hole 44-1a of the spline outer cylinder. The same applies to the installation of the lower guide 44-1 on the lower protrusion 62-21. Similarly, in each of the four lower guides 44-2 of the first dispensing head support member 60A, the insertion holes 44-2a (not shown) through which the head body 41 is inserted are the lower bridges 62-2. It is installed in the lower protrusion 62-21 (pitch P1) in a state of being aligned with the hole of the lower protrusion 62-21 and protruding from the lower bridge 62-2. The four upper guides 44-1 installed on the upper bridge 62-1 of the second dispensing head support member 60B and the lower guides 44-2 installed on the lower bridge 62-2 are the first. The first dispensing is performed except that the upper guide 44-1 and the lower guide 44-2 on the dispensing head support member 60A are installed so as to be offset by the pitch P2 (= P1 / 2) in a plan view. Since it is the same as the head support member 60A, the description thereof will be omitted.

上述したように、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａは、４組のガイド部４４を設置するための第１のブリッジ部として、４個の上側突出部６２－１１を持つ上側ブリッジ６２－１と４個の下側突出部６２－２１を持つ下側ブリッジ６２－２１とを平面視で互いに重なる位置に有して、４個の上側突出部６２－１１と４個の下側突出部６２－２１にそれぞれ、４個の上側ガイド４４－１と４個の下側ガイド４４－２が４組のガイド部４４として設置されている。これは、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂも同様である。 As described above, the first dispensing head support member 60A has an upper bridge 62-1 having four upper protrusions 62-11 as a first bridge portion for installing the four sets of guide portions 44. And a lower bridge 62-21 having four lower protrusions 62-21 are provided at positions overlapping each other in a plan view, and four upper protrusions 62-11 and four lower protrusions 62 are provided. At -21, four upper guides 44-1 and four lower guides 44-2 are installed as four sets of guide portions 44, respectively. This also applies to the second dispensing head support member 60B.

図２０、図２１をも参照して、本実施形態では特に、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの上側ブリッジ６２－１は、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ブリッジ６２－１よりも高い高さ位置にあり、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの下側ブリッジ６２－２も、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの下側ブリッジ６２－２よりも高い高さ位置にある。勿論、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの上側ブリッジ６２－１、下側ブリッジ６２－２をそれぞれ、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ブリッジ６２－１、下側ブリッジ６２－２よりも低い高さ位置にしてもよい。 With reference to FIGS. 20 and 21, in particular, in the present embodiment, the upper bridge 62-1 of the first dispensing head support member 60A is from the upper bridge 62-1 of the second dispensing head support member 60B. Is also at a higher height position, and the lower bridge 62-2 of the first dispensing head support member 60A is also at a higher height position than the lower bridge 62-2 of the second dispensing head support member 60B. .. Of course, the upper bridge 62-1 and the lower bridge 62-2 of the first dispensing head support member 60A are from the upper bridge 62-1 and the lower bridge 62-2 of the second dispensing head support member 60B, respectively. May also be in a low height position.

本実施形態ではさらに、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの上側ガイド４４－１を上側ブリッジ６２－１（上側突出部６２－１１）の上面側に設置し、下側ガイド４４－２を下側ブリッジ６２－２（下側突出部６２－２１）の下面側に設置している（図２０（ｂ））。同様に、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ガイド４４－１を上側ブリッジ６２－１（上側突出部６２－１１）の上面側に設置し、下側ガイド４４－２を下側ブリッジ６２－２（下側突出部６２－２１）の下面側に設置している（図２１（ｂ））。 In the present embodiment, the upper guide 44-1 of the first dispensing head support member 60A is further installed on the upper surface side of the upper bridge 62-1 (upper protrusion 62-11), and the lower guide 44-2 is lowered. It is installed on the lower surface side of the side bridge 62-2 (lower protrusion 62-21) (FIG. 20 (b)). Similarly, the upper guide 44-1 of the second dispensing head support member 60B is installed on the upper surface side of the upper bridge 62-1 (upper protrusion 62-11), and the lower guide 44-2 is installed on the lower bridge 62. -2 (Lower protrusion 62-21) is installed on the lower surface side (FIG. 21 (b)).

上述した８個の分注ヘッド４０の支持構造及びガイド部４４の設置形態により、図１８、図１９に示すように、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの上側ガイド４４－１の挿通孔４４－１aと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの上側ガイド４４－１の挿通孔４４－１aとが異なる高さ位置にあるにも拘わらず、平面視で一列かつピッチＰ２（＝Ｐ１／２）で交互に隣り合うようにされている。同様に、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの下側ガイド４４－２の挿通孔４４－２a（図示せず）と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの下側ガイド４４－２の挿通孔４４－２a（図示せず）とが異なる高さ位置にあるにも拘わらず、平面視で一列かつピッチＰ２で交互に隣り合うようにされている。 Due to the support structure of the eight dispensing heads 40 and the installation form of the guide portion 44 described above, as shown in FIGS. 18 and 19, the insertion hole 44 of the upper guide 44-1 of the first dispensing head support member 60A Despite the fact that -1a and the insertion hole 44-1a of the upper guide 44-1 of the second dispensing head support member 60B are at different height positions, they are in a row and pitch P2 (= P1 / 2) in a plan view. It is made to be adjacent to each other alternately. Similarly, the insertion hole 44-2a (not shown) of the lower guide 44-2 of the first dispensing head support member 60A and the insertion hole of the lower guide 44-2 of the second dispensing head support member 60B. Despite being at a different height position from 44-2a (not shown), they are arranged in a row in a plan view and alternately adjacent to each other at a pitch P2.

図２２は、４個のヘッド本体４１を支持している第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと４個のヘッド本体４１を支持している第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを突き合わせ固定した状態を示す斜視図である。第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの固定は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの両側の第１の取付け部６１と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの両側の第２の取付け部６１とを突き合わせた状態で、ネジ６３をねじ込むことで行われる。これが、第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂの延在長を、第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂの延在長より少し大きくしている理由である。つまり、図１に示すように、第１、第２のモータユニット５０Ａ、５０Ｂの両端から突出した第１、第２の取付け部６１を利用してネジ６３による締付け固定を行うことができるようにしている。 In FIG. 22, the first dispensing head support member 60A supporting the four head bodies 41 and the second dispensing head support member 60B supporting the four head bodies 41 are butted and fixed. It is a perspective view which shows the state. The first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B are fixed by the first mounting portions 61 and the second dispensing head support member on both sides of the first dispensing head support member 60A. This is done by screwing the screw 63 in a state where the second mounting portions 61 on both sides of the 60B are butted against each other. This is the reason why the extended lengths of the first and second dispensing head support members 60A and 60B are slightly larger than the extended lengths of the first and second motor units 50A and 50B. That is, as shown in FIG. 1, the first and second mounting portions 61 protruding from both ends of the first and second motor units 50A and 50B can be used to tighten and fix the screws 63. ing.

図２３は、図２２を正面から見た図である。図２３から明らかなように、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａにおける４個の上側ガイド４４－１及び下側ガイド４４－２と、第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂにおける４個の上側ガイド４４－１及び下側ガイド４４－２とを、交互に上下互い違いになるように設置したことにより、以下の効果が得られる。隣接配置された８個の分注ヘッドを、ボールスプライン（あるいはボールブッシュ）のガイド部で支持する場合、ガイド部の設置を同じ高さ位置にすると、ボールスプライン同士の干渉を防ぐために分注ヘッドの間隔を大きく取らなければならず、装置全体のコンパクト化の妨げとなる問題点がある。これに対し、８個の分注ヘッドのガイド部の設置形態を、図２３のように、交互に上下互い違いになるようにしたことにより、上記のような問題点は生じない。 FIG. 23 is a front view of FIG. 22. As is clear from FIG. 23, the four upper guides 44-1 and the lower guide 44-2 in the first dispensing head support member 60A and the four upper guides in the second dispensing head support member 60B. The following effects can be obtained by installing the 44-1 and the lower guide 44-2 so as to alternate between the upper and lower sides. When eight dispensing heads arranged adjacent to each other are supported by the guide portion of the ball spline (or ball bush), if the guide portions are installed at the same height position, the dispensing heads are used to prevent interference between the ball splines. There is a problem that a large interval must be taken, which hinders the compactification of the entire device. On the other hand, as shown in FIG. 23, the guide portions of the eight dispensing heads are installed so as to be alternately upper and lower, so that the above-mentioned problems do not occur.

図２４は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの結合形態の別の例を示す平面図である。図２２では第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとをネジ６３で直接結合しているが、本例では第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを距離ｄ１だけ離した状態で連結板６５により一体化している。連結板６５は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａの第１の取付け６１と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの第２の取付け部６１にねじ止めされる。 FIG. 24 is a plan view showing another example of the coupling form of the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B. In FIG. 22, the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B are directly connected by a screw 63, but in this example, the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60A are directly connected. The dispensing head support member 60B is integrated with the connecting plate 65 in a state of being separated by a distance d1. The connecting plate 65 is screwed to the first mounting 61 of the first dispensing head support member 60A and the second mounting portion 61 of the second dispensing head support member 60B.

図２５は、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂの結合形態のさらに別の例を示す平面図である。本例では第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを距離ｄ１だけ離した状態で連結板６５´により一体化している。連結板６５´は、第１のモータユニット５０Ａの端面と第２のモータユニット５０Ｂの端面にねじ止めされる。 FIG. 25 is a plan view showing still another example of the coupling form of the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B. In this example, the first dispensing head support member 60A and the second dispensing head support member 60B are integrated by a connecting plate 65'with a distance d1. The connecting plate 65'is screwed to the end face of the first motor unit 50A and the end face of the second motor unit 50B.

図２６は、本発明の第２の実施形態を示し、図１に示された８軸分注装置を、上側連結部材３２、リニアシャフトモータ１０、及び分注ヘッド４０を省略して上方から見た平面図であり、第１のモータユニット５０Ａに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａと、第２のモータユニット５０Ｂに取り付けられた第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂとを分離した状態で示している。第２のモータユニット５０Ｂにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置と、第１のモータユニット５０Ａにおける４個のリニアシャフトモータ１０の配置が千鳥状であるのは第１の実施形態と同じである。 FIG. 26 shows a second embodiment of the present invention, in which the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1 is viewed from above, omitting the upper connecting member 32, the linear shaft motor 10, and the dispensing head 40. It is a plan view, and the first dispensing head support member 60A attached to the first motor unit 50A and the second dispensing head support member 60B attached to the second motor unit 50B are separated. Shown in state. The arrangement of the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B and the arrangement of the four linear shaft motors 10 in the first motor unit 50A are the same as in the first embodiment. ..

第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は以下のとおりである。第１の実施形態では、図１８を参照して、第１のモータユニット５０Ａに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａにおいては４組のガイド部４４が、４個のリニアシャフトモータ１０の配置に対してＰ１／２ピッチだけ配列方向にずれるように設置されている。これに対し、第２の実施形態では、図２６を参照して、第１のモータユニット５０Ａに取り付けられた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´においては４組のガイド部４４´が、４個のリニアシャフトモータ１０の配置に対して並行するように設置されている。言い換えれば、４組のガイド部４４´は、４個のリニアシャフトモータ１１の中心から配列方向に直角な方向に延長した位置に４組のガイド部４４´の中心が位置するように設置されている。第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂ´についても同様であるが、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´における４組のガイド部４４´の配置に対してＰ２（＝Ｐ１／２）ピッチだけ配列方向にずれるように設置されている。 The second embodiment differs from the first embodiment as follows. In the first embodiment, with reference to FIG. 18, in the first dispensing head support member 60A attached to the first motor unit 50A, four sets of guide portions 44 are four linear shaft motors 10. It is installed so as to be displaced in the arrangement direction by P1 / 2 pitch with respect to the arrangement of. On the other hand, in the second embodiment, with reference to FIG. 26, in the first dispensing head support member 60A'attached to the first motor unit 50A, four sets of guide portions 44'are set to four. It is installed so as to be parallel to the arrangement of the linear shaft motors 10. In other words, the four sets of guide portions 44'are installed so that the center of the four sets of guide portions 44'is located at a position extending in a direction perpendicular to the arrangement direction from the center of the four linear shaft motors 11. There is. The same applies to the second dispensing head support member 60B', but only the P2 (= P1 / 2) pitch is arranged with respect to the arrangement of the four sets of guide portions 44'in the first dispensing head support member 60A'. It is installed so that it shifts in the direction.

第２の実施形態においても、第１のモータユニット５０Ａの４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）と第２のモータユニット５０Ｂの４個のリニアシャフトモータ１０の配置（ピッチＰ１）が平面視で千鳥状になるように組み合わされ、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´の４組のガイド部４４´と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂ´の４組のガイド部４４´とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合う（ピッチＰ２＝Ｐ１／２）構成となっている。 Also in the second embodiment, the arrangement of the four linear shaft motors 10 of the first motor unit 50A (pitch P1) and the arrangement of the four linear shaft motors 10 of the second motor unit 50B (pitch P1) are different. Combined in a staggered manner in a plan view, the first dispensing head support member 60A'with four sets of guide portions 44'and the second dispensing head support member 60B'with four sets of guide portions 44'. Are adjacent to each other in a plan view and are alternately adjacent to each other (pitch P2 = P1 / 2).

しかし、第２の実施形態では、第１のモータユニット５０Ａに組み合わされた第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´に設置される４組のガイド部４４´を、第１のモータユニット５０Ａ´における４個のリニアシャフトモータ１０のそれぞれのモータシャフト１１に連結される４個の分注ヘッド４０のガイド部４４´としている。一方、第２のモータユニット５０Ｂに組み合わされる第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂ´に設置される４組のガイド部４４´を、第２のモータユニット５０Ｂ´における４個のリニアシャフトモータ１０のそれぞれのモータシャフト１１に連結される４個の分注ヘッド４０のガイド部４４´としている。例えば、図中最も左側の分注ヘッドは、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´に設置されたガイド部４４´で支持されるが、この分注ヘッドは、図中最も左側の上側連結部材によって図中最も左側のリニアシャフトモータのモータシャフトに連結され、このリニアシャフトモータ１０は第１のモータユニット５０Ａに設置されている。 However, in the second embodiment, the four sets of guide portions 44'installed on the first dispensing head support member 60A'combined with the first motor unit 50A are provided in the first motor unit 50A'. The guide portion 44'of the four dispensing heads 40 connected to the motor shaft 11 of each of the four linear shaft motors 10. On the other hand, the four sets of guide portions 44'installed on the second dispensing head support member 60B'combined with the second motor unit 50B are combined with the four linear shaft motors 10 in the second motor unit 50B'. The guide portions 44'of the four dispensing heads 40 connected to the respective motor shafts 11 are used. For example, the leftmost dispensing head in the figure is supported by the guide portion 44'installed on the first dispensing head support member 60A', and this dispensing head is the leftmost upper connecting member in the drawing. It is connected to the motor shaft of the leftmost linear shaft motor in the figure, and the linear shaft motor 10 is installed in the first motor unit 50A.

なお、第１の分注ヘッド支持部材６０Ａ´と第２の分注ヘッド支持部材６０Ｂ´における上側ブリッジ、下側ブリッジへの上側ガイド、下側ガイドの設置構造は第１の実施形態と変わらないので図示説明は省略する。 The installation structure of the upper bridge, the upper guide to the lower bridge, and the lower guide in the first dispensing head support member 60A'and the second dispensing head support member 60B' is the same as that of the first embodiment. Therefore, the illustration will be omitted.

次に、図２７、図２８を参照して、上側連結部材３２の上動位置（上限位置）を検出することで分注ヘッド４０による液体の吐出、吸引のための位置制御に必要な位置検出手段について説明する。図２７は、図１に示された８軸分注装置における上側連結部材３２の上動位置を検出する検出器１００を説明するための斜視図である。また、図２８は、図２７に示された検出器１００の設置形態の一例を説明するための図であり、（ａ）は８軸分注装置の側面図、（ｂ）は８軸分注装置の斜視図である。 Next, with reference to FIGS. 27 and 28, by detecting the upward movement position (upper limit position) of the upper connecting member 32, the position detection necessary for position control for discharging and sucking the liquid by the dispensing head 40 is performed. The means will be described. FIG. 27 is a perspective view for explaining the detector 100 that detects the upward movement position of the upper connecting member 32 in the 8-axis dispensing device shown in FIG. 1. 28 is a diagram for explaining an example of the installation mode of the detector 100 shown in FIG. 27, where FIG. 28A is a side view of an 8-axis dispensing device and FIG. 28B is an 8-axis dispensing device. It is a perspective view of a device.

本例では、一対のホールセンサ８３からの位置検出信号によるリニアシャフトモータ１０の位置制御とは別に、上側連結部材３２の上動位置を上限位置として検出することで同じ組の分注ヘッド４０の上動位置を検出するようにしている。このために、図２７に示すように、それぞれの上側連結部材３２において、その中央に近い上端面に中空軸状の被検出突起１０１を設け、被検出突起１０１が所定の位置まで上動した時に光が遮断されるようにフォトセンサ１０２をリミットセンサとして設けている。フォトセンサ１０２は、図２８（ａ）、（ｂ）に示されるように、上側連結部材３２の上動位置よりも高い位置に、第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂに固定された支持板１１０を介してセンサ設置基板１１１を固定配置し、８軸分注装置の８個の被検出突起１０１に対応するように８個のフォトセンサ１０２をセンサ設置基板１１１上に設置している。８軸分注装置において、リニアシャフトモータ１０、分注ヘッド４０、下側連結部材３１及び上側連結部材３２を可動部とした場合、センサ設置基板１１１（フォトセンサ１０２）は、一対のコイル固定部材５０、第１、第２の分注ヘッド支持部材６０Ａ、６０Ｂと共に固定部となる。 In this example, apart from the position control of the linear shaft motor 10 by the position detection signals from the pair of Hall sensors 83, the upper moving position of the upper connecting member 32 is detected as the upper limit position, so that the dispensing head 40 of the same set is used. The upward movement position is detected. For this purpose, as shown in FIG. 27, in each upper connecting member 32, a hollow shaft-shaped projection to be detected 101 is provided on the upper end surface near the center thereof, and when the projection 101 to be detected moves upward to a predetermined position. A photo sensor 102 is provided as a limit sensor so that light is blocked. As shown in FIGS. 28A and 28B, the photosensor 102 is fixed to the first and second dispensing head support members 60A and 60B at a position higher than the upward movement position of the upper connecting member 32. The sensor installation board 111 is fixedly arranged via the supported support plate 110, and eight photosensors 102 are installed on the sensor installation board 111 so as to correspond to the eight detected projections 101 of the 8-axis dispensing device. ing. When the linear shaft motor 10, the dispensing head 40, the lower connecting member 31 and the upper connecting member 32 are movable parts in the 8-axis dispensing device, the sensor installation board 111 (photosensor 102) is a pair of coil fixing members. Together with the 50, 1st and 2nd dispensing head support members 60A and 60B, it becomes a fixed portion.

なお、検出器１００は、液体の吸引、吐出の分注作業に伴う分注ヘッド４０の上動位置を検出する手段だけでなく、分注作業を開始する際の原点位置決めを行う手段としても利用される。原点位置決めというのは以下のとおりである。 The detector 100 is used not only as a means for detecting the upward position of the dispensing head 40 accompanying the dispensing work of sucking and discharging the liquid, but also as a means for positioning the origin when starting the dispensing work. Will be done. The origin positioning is as follows.

分注動作開始時、被検出突起１０１がフォトセンサ１０２の光路を遮断し、フォトセンサ１０２から検出信号が出力されるまで各分注ヘッド４０の上動動作を行う。この動作によりフォトセンサ１０２から出力された検出信号を基準としてオフセット動作を行う。オフセットされた位置は、各軸同じ高さになるため、この位置を、後述するリニアシャフトモータ１０の位置決め制御の基準点として利用する。 At the start of the dispensing operation, the protrusion 101 to be detected blocks the optical path of the photo sensor 102, and each dispensing head 40 is moved upward until a detection signal is output from the photo sensor 102. By this operation, the offset operation is performed with reference to the detection signal output from the photo sensor 102. Since the offset position has the same height for each axis, this position is used as a reference point for positioning control of the linear shaft motor 10 described later.

また、図２７、図２８では、フォトセンサ１０２の一端側から信号伝送用のケーブル１０３が延びているが、便宜上、一部のみを残して切断して示している。 Further, in FIGS. 27 and 28, the cable 103 for signal transmission extends from one end side of the photo sensor 102, but for convenience, only a part of the cable 103 is cut and shown.

［実施形態の効果］
（１）上述した第１、第２の実施形態による８軸分注装置は、隣り合うリニアシャフトモータの間に必要なピッチを確保したうえで、装置全体をコンパクトに構成することができる。その１つの理由は、以下の通りである。隣接配置された８個の分注ヘッドを、ガイド部で支持する場合、ボールスプライン等のガイド部の設置を同じ高さ位置にすると、ガイド部同士の干渉を防ぐために分注ヘッドの間隔を大きく取らなければならず、装置全体のコンパクト化の妨げとなる問題点がある。これに対し、８個の分注ヘッドのガイド部の設置形態を、図２３のように、交互に上下互い違いになるようにしたことにより、上記のような問題点は生じない。 [Effect of embodiment]
(1) In the 8-axis dispensing device according to the first and second embodiments described above, the entire device can be compactly configured while ensuring the required pitch between adjacent linear shaft motors. One reason is as follows. When supporting eight dispensing heads arranged adjacent to each other with guide parts, if the guide parts such as ball splines are installed at the same height position, the distance between the guide parts is increased to prevent interference between the guide parts. There is a problem that it must be taken, which hinders the compactification of the entire device. On the other hand, as shown in FIG. 23, the guide portions of the eight dispensing heads are installed so as to be alternately upper and lower, so that the above-mentioned problems do not occur.

（２）上述した第１、第２の実施形態による８軸分注装置は、前述したように、８軸という多軸であってもリニアシャフトモータ１０のピッチ（間隔）Ｐ１を小さくせずに済むので、その分、永久磁石１２やコイル１４のサイズを小さくせずに分注装置を構成することができる。これは、以下のような観点において有効である。 (2) As described above, the 8-axis dispensing device according to the first and second embodiments described above does not reduce the pitch (interval) P1 of the linear shaft motor 10 even if it has a multi-axis of 8 axes. Therefore, the dispensing device can be configured without reducing the size of the permanent magnet 12 and the coil 14 by that amount. This is effective from the following viewpoints.

多軸型の分注装置に対しては、分注ヘッド間のピッチ（間隔）を小さくすることが要求される。これは、分注ヘッド間のピッチを小さくすることで多軸型の分注装置全体をコンパクト化して移動可能範囲を増やすことができるからである。しかしながら、これまでの複数の分注ヘッドの一列配置による多軸型の分注装置の場合、分注ヘッド間のピッチを小さくするためにはリニアシャフトモータの直径を小さくしなければならず、そのためには、永久磁石の直径を小さくするか、あるいはコイルの直径、すなわちコイルの巻数を減らさなければならない。これは、各軸の推力が小さくなることを意味する。しかるに、分注ヘッドの上下動には、所定の推力が要求される。これは、例えば図７を参照して、ノズル４３の先端に取り付けられるチップ４２の取外しを、液体の吸引、吐出場所とは別の場所において、チップ４２とノズル４３との間のくびれ部分をジグ（図示省略）で挟んだ状態にしてヘッド本体４１を上動させることにより、自動化することが行われているからである。言い換えれば、分注ヘッドの上下動の推力が小さくなると、チップ４２の自動取外しが困難になる。 For a multi-axis type dispensing device, it is required to reduce the pitch (interval) between the dispensing heads. This is because by reducing the pitch between the dispensing heads, the entire multi-axis dispensing device can be made compact and the movable range can be increased. However, in the case of a multi-axis type dispensing device with a single row arrangement of multiple dispensing heads so far, the diameter of the linear shaft motor must be reduced in order to reduce the pitch between the dispensing heads. In order to reduce the diameter of the permanent magnet, or reduce the diameter of the coil, that is, the number of turns of the coil. This means that the thrust of each axis becomes smaller. However, a predetermined thrust is required for the vertical movement of the dispensing head. For example, referring to FIG. 7, the tip 42 attached to the tip of the nozzle 43 is removed by jigging the constricted portion between the tip 42 and the nozzle 43 at a place other than the place where the liquid is sucked and discharged. This is because automation is performed by moving the head body 41 upward while being sandwiched between (not shown). In other words, if the thrust of the vertical movement of the dispensing head becomes small, it becomes difficult to automatically remove the tip 42.

上記のような事情に対し、本実施形態に係る８軸独立制御型の分注装置によれば、分注ヘッド間のピッチを小さくしたうえで、リニアシャフトモータの直径を小さくせずに、分注ヘッドの上下動に際して所定の推力を得ることができるので、上記のような問題を生じることがない。 In response to the above circumstances, according to the 8-axis independent control type dispensing device according to the present embodiment, the pitch between the dispensing heads is reduced and the diameter of the linear shaft motor is not reduced. Note: Since a predetermined thrust can be obtained when the head moves up and down, the above problems do not occur.

（３）通常、リニアシャフトモータのコイル部は、コイル部毎にケーシングに収められている。これに対し、上気した第１、第２の実施形態では、複数のモータシャフト１１を隣接させて配置する構造のため、複数組のコイル部１５をまとめてユニット化しているので、コイルユニットにおける部品点数の削減、組立工数の削減、省スペース化を実現できる。 (3) Normally, the coil portion of the linear shaft motor is housed in a casing for each coil portion. On the other hand, in the first and second embodiments, which have been improved, since the structure is such that a plurality of motor shafts 11 are arranged adjacent to each other, a plurality of sets of coil portions 15 are collectively unitized. It is possible to reduce the number of parts, reduce the number of assembly steps, and save space.

（４）また、各コイル部１５の軸方向の両側に磁気遮蔽板７０を設置し、コイル部１５の固定と磁気遮蔽板７０の固定を、硬化性の樹脂７５により同時に行うことができるようにしているので、この点からも、コイルユニットにおける部品点数の削減、組立工数の削減、省スペース化を実現できる。 (4) Further, magnetic shielding plates 70 are installed on both sides of each coil portion 15 in the axial direction so that the coil portions 15 and the magnetic shielding plates 70 can be fixed at the same time by the curable resin 75. Therefore, from this point as well, it is possible to reduce the number of parts in the coil unit, reduce the number of assembly steps, and save space.

以上、本発明を８軸分注装置に適用した場合の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に制限されるものでないことは言うまでもない。すなわち、本発明は、２軸以上の多軸分注装置であれば各軸を個別に制御する独立制御型、複数軸に一括して同じ動作を実行させるように制御する同時制御型のいずれにも適用可能であり、更には、分注装置に限らず、多軸型のリニアモータアクチュエータ全般に適用可能である。 Although the preferred embodiment when the present invention is applied to the 8-axis dispensing device has been described above, it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiment. That is, the present invention can be either an independent control type that controls each axis individually if it is a multi-axis dispensing device with two or more axes, or a simultaneous control type that controls a plurality of axes to collectively perform the same operation. Furthermore, it is applicable not only to the dispensing device but also to all multi-axis linear motor actuators.

１０：リニアシャフトモータ、１１：モータシャフト、１２：永久磁石、１３： 筒体、１４：コイル、１６：コイル一体化筒、３１：下側連結部材、３２：上側連結部材、４０：分注ヘッド、４１：ヘッド本体、４２：チップ、４３：ノズル、４４：ガイド部、４４－１：上側ガイド、４４－２：下側ガイド、５０：コイル固定部材、５０Ａ：第１のモータユニット、５０Ｂ：第２のモータユニット、５１：受入れ部、５２：コイルエンド、６０Ａ：第１の分注ヘッド支持部材、６０Ｂ：第２の分注ヘッド支持部材、６１：第１、第２の取付け部、６２－１：上側ブリッジ、６２－１１：上側突出部、６２－２：下側ブリッジ、６２－２１：下側突出部、６５，６５´：連結板、７０：磁気遮蔽板、８０：回路基板、８３：ホールセンサ、１００：検出器、１０２：フォトセンサ、１１１：センサ設置基板 10: Linear shaft motor, 11: Motor shaft, 12: Permanent magnet, 13: Cylinder, 14: Coil, 16: Coil integrated cylinder, 31: Lower connecting member, 32: Upper connecting member, 40: Dispensing head 41: Head body, 42: Chip, 43: Nozzle, 44: Guide part, 44-1: Upper guide, 44-2: Lower guide, 50: Coil fixing member, 50A: First motor unit, 50B: 2nd motor unit, 51: receiving part, 52: coil end, 60A: first dispensing head support member, 60B: second dispensing head support member, 61: first, second mounting part, 62 -1: Upper bridge, 62-11: Upper protrusion, 62-2: Lower bridge, 62-21: Lower protrusion, 65, 65': Connecting plate, 70: Magnetic shielding plate, 80: Circuit board, 83: Hall sensor, 100: Detector, 102: Photosensor, 111: Sensor installation board

Claims (7)

中心軸方向に駆動されるモータシャフトを持つリニアシャフトモータと、前記リニアシャフトモータと平行に延び、前記モータシャフトの少なくとも一端側において第１の連結部材で連結して当該モータシャフトと一体的に変位するように組み合わされた軸状の被駆動体との組み合わせをｎ組（ｎは正の偶数）備える多軸リニアモータアクチュエータにおいて、
前記リニアシャフトモータをｎ／２個ずつ平面視で一列に並べた状態で第１、第２のモータ収容部材に収容してなる第１、第２のモータユニットと、
ｎ／２組のガイド部を有して前記被駆動体を平面視で一列に並べた状態で中心軸方向に移動可能に支持すると共に、前記第１、第２のモータユニットに取り付けられる第１、第２の被駆動体支持部材と、を有し、
前記第１、第２のモータユニットを、前記第１、第２の被駆動体支持部材を挟んだ状態で対向し、しかも前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個の前記リニアシャフトモータの配置と前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個の前記リニアシャフトモータの配置が平面視で千鳥状になるように組み合わせることにより、前記第１の被駆動体支持部材の前記ガイド部と前記第２の被駆動体支持部材の前記ガイド部とが平面視で隣接し、かつ交互に隣り合うようにしたことを特徴とする多軸リニアモータアクチュエータ。 A linear shaft motor having a motor shaft driven in the central axis direction extends in parallel with the linear shaft motor, is connected by a first connecting member at at least one end side of the motor shaft, and is integrally displaced with the motor shaft. In a multi-axis linear motor actuator having n sets (n is a positive even number) of combinations with an axial driven body combined in such a manner.
The first and second motor units in which the linear shaft motors are housed in the first and second motor accommodating members in a state where n / 2 motors are arranged in a row in a plan view, and
A first that has n / 2 sets of guide portions and supports the driven bodies in a line in a row in a plan view so as to be movable in the central axis direction, and is attached to the first and second motor units. , With a second driven body support member,
The first and second motor units face each other with the first and second driven body support members sandwiched between them, and the arrangement of n / 2 linear shaft motors in the first motor unit. By combining the n / 2 linear shaft motors in the second motor unit so as to be staggered in a plan view, the guide portion of the first driven body support member and the second A multi-axis linear motor actuator characterized in that the guide portions of the driven body support member of the above are adjacent to each other in a plan view and are alternately adjacent to each other. 前記第２のモータユニットに組み合わされる前記第２の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とし、
前記第１のモータユニットに組み合わされる前記第１の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とすることを特徴とする請求項１に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The n / 2 sets of guides installed on the second driven body support member combined with the second motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the first motor unit. As a guide part for n / 2 driven bodies connected to the shaft,
The n / 2 sets of guide portions installed on the first driven body support member combined with the first motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the second motor unit. The multi-axis linear motor actuator according to claim 1, wherein the guide portion is an n / 2 driven body connected to a shaft. 前記第１のモータユニットに組み合わされる前記第１の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第１のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とし、
前記第２のモータユニットに組み合わされる前記第２の被駆動体支持部材に設置されるｎ／２組のガイド部を、前記第２のモータユニットにおけるｎ／２個のリニアシャフトモータのそれぞれのモータシャフトに連結されるｎ／２個の被駆動体のガイド部とすることを特徴とする請求項１に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The n / 2 sets of guides installed on the first driven body support member combined with the first motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the first motor unit. As a guide part for n / 2 driven bodies connected to the shaft,
The n / 2 sets of guides installed on the second driven body support member combined with the second motor unit are the motors of the n / 2 linear shaft motors in the second motor unit. The multi-axis linear motor actuator according to claim 1, wherein the guide portion is an n / 2 driven body connected to a shaft. 前記第１の被駆動体支持部材は、前記第１のモータユニットにおける前記第２のモータユニットとの対向面に取り付けられる２つの第１の取付け部と、これらの２つの第１の取付け部の間に掛け渡されてｎ／２個の前記ガイド部を設置するための第１のブリッジ部を有し、該第１のブリッジ部は、前記第２のモータユニット側に向けて突出し前記被駆動体を通すための穴を持つｎ／２組の突出部を有し、
前記第２の被駆動体支持部材は、前記第２のモータユニットにおける前記第１のモータユニットとの対向面に取り付けられる２つの第２の取付け部と、これらの２つの第２の取付け部の間に掛け渡されてｎ／２個の前記ガイド部を設置するための第２のブリッジ部を有し、該第２のブリッジ部は、前記第１のモータユニット側に向けて突出し前記被駆動体を通すための穴を持つｎ／２組の突出部を有し、
前記第１、第２の被駆動体支持部材のガイド部はそれぞれ、前記被駆動体が挿通される挿通孔が、前記突出部の穴と合わさって前記第１、第２のブリッジ部から突出した状態で前記突出部に設置されることにより、前記第１の被駆動体支持部材の前記ガイド部の挿通孔と前記第２の被駆動体支持部材の前記ガイド部の挿通孔とが平面視で一列かつ交互に隣り合うようにしたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The first driven body support member includes two first mounting portions mounted on a surface of the first motor unit facing the second motor unit, and two first mounting portions thereof. It has a first bridge portion that is hung between them to install n / 2 of the guide portions, and the first bridge portion projects toward the second motor unit side and is driven. It has n / 2 sets of protrusions with holes for the body to pass through,
The second driven body support member includes two second mounting portions mounted on the surface of the second motor unit facing the first motor unit, and two second mounting portions thereof. It has a second bridge portion that is hung between the two to install the n / 2 guide portions, and the second bridge portion projects toward the first motor unit side and is driven. It has n / 2 sets of protrusions with holes for the body to pass through,
In the guide portions of the first and second driven body support members, the insertion holes through which the driven body is inserted protrude from the first and second bridge portions in combination with the holes in the protruding portions. By being installed in the protruding portion in the state, the insertion hole of the guide portion of the first driven body support member and the insertion hole of the guide portion of the second driven body support member are viewed in a plan view. The multi-axis linear motor actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the multi-axis linear motor actuators are arranged in a row and alternately adjacent to each other. 前記第１の被駆動体支持部材は、前記第１のブリッジ部としてｎ／２個の上側突出部を持つ上側ブリッジとｎ／２個の下側突出部を持つ下側ブリッジとを平面視で互いに重なる位置に有して、前記ｎ／２個の上側突出部と前記ｎ／２個の下側突出部にそれぞれ、ｎ／２個の上側ガイドとｎ／２個の下側ガイドが前記ｎ／２組のガイド部として設置され、
前記第２の被駆動体支持部材も、前記第２のブリッジ部としてｎ／２個の上側突出部を持つ上側ブリッジとｎ／２個の下側突出部を持つ下側ブリッジとを平面視で互いに重なる位置に有して、前記ｎ／２個の上側突出部と前記ｎ／２個の下側突出部にそれぞれ、ｎ／２個の上側ガイドとｎ／２個の下側ガイドが前記ｎ／２組のガイド部として設置され、
前記第１の被駆動体支持部材の上側ブリッジは、前記第２の被駆動体支持部材の上側ブリッジよりも高い又は低い高さ位置にあり、前記第１の被駆動体支持部材の下側ブリッジも、前記第２の被駆動体支持部材の下側ブリッジよりも高い又は低い高さ位置にあることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The first driven body support member has an upper bridge having n / 2 upper protrusions and a lower bridge having n / 2 lower protrusions as the first bridge portion in a plan view. The n / 2 upper protrusions and the n / 2 lower protrusions have n / 2 upper guides and n / 2 lower guides, respectively, at positions overlapping each other. / Installed as 2 sets of guides,
The second driven body support member also has an upper bridge having n / 2 upper protrusions and a lower bridge having n / 2 lower protrusions as the second bridge portion in a plan view. The n / 2 upper protrusions and the n / 2 lower protrusions have n / 2 upper guides and n / 2 lower guides, respectively, at positions overlapping each other. / Installed as 2 sets of guides,
The upper bridge of the first driven body support member is located at a height higher or lower than the upper bridge of the second driven body support member, and the lower bridge of the first driven body support member is located. The multi-axis linear motor actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the motor is located at a height higher or lower than the lower bridge of the second driven body support member. 前記第１の被駆動体支持部材の上側ガイドは上側ブリッジの上面側に、下側ガイドは下側ブリッジの下面側にそれぞれ設置され、
前記第２の被駆動体支持部材の上側ガイドは上側ブリッジの上面側に、下側ガイドは下側ブリッジの下面側にそれぞれ設置されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The upper guide of the first driven body support member is installed on the upper surface side of the upper bridge, and the lower guide is installed on the lower surface side of the lower bridge.
One of claims 1 to 5, wherein the upper guide of the second driven body support member is installed on the upper surface side of the upper bridge, and the lower guide is installed on the lower surface side of the lower bridge. The multi-axis linear motor actuator described in. 前記第１の被駆動体支持部材と前記第２の被駆動体支持部材における前記ガイド部の配列方向の長さを、前記第１のモータユニットと前記第２のモータユニットにおける前記リニアシャフトモータの配列方向の長さよりも大きくして、前記第１の被駆動体支持部材の前記２つの第１の取付け部と前記第２の被駆動体支持部材の前記２つの第２の取付け部を、前記第１のモータユニットと前記第２のモータユニットにおける前記配列方向の両端部から突出させ、この突出させた部分において前記第１の被駆動体支持部材と前記第２の被駆動体支持部材を固定するようにしたことを特徴とする請求項４から６のいずれか１項に記載の多軸リニアモータアクチュエータ。 The length of the guide portion in the first driven body support member and the second driven body support member in the arrangement direction is set to the length of the linear shaft motor in the first motor unit and the second motor unit. The two first mounting portions of the first driven body support member and the two second mounting portions of the second driven body support member are made larger than the length in the arrangement direction. The first motor unit and the second motor unit are projected from both ends in the arrangement direction, and the first driven body support member and the second driven body support member are fixed at the protruding portions. The multi-axis linear motor actuator according to any one of claims 4 to 6, wherein the multi-axis linear motor actuator is provided.
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