JP2021536590A - 高圧接続用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[00001] この出願は、2018年9月18日に出願された米国特許出願第62/732,845号の優先権を主張し、同特許は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1.第1の高融点金属製の導管部分と、
導管部分の軸端に取り付けられた継手部分であって、第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属製である継手部分と
を含む装置。
2.継手部分が、導管部分の軸端に溶接される、条項1に記載の装置。
3.第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、条項1に記載の装置。
4.第2の高融点金属が、TaW10を含む、条項1に記載の装置。
5.継手部分が、円非対称性断面を有する、条項1に記載の装置。
6.TaW2.5を含む導管部分と、
導管部分の軸端に溶接された継手部分であって、TaW10を含む継手部分と
を含む装置。
7.EUV光源の照射領域にターゲット材料を搬送するように適応させたEUV光源ターゲット材料搬送システムであって、
ターゲット材料貯蔵部と、
上記ターゲット材料貯蔵部と流体連通する導管と、
上記導管と流体連通するノズルアセンブリと
を含む、ターゲット材料搬送システムであり、
導管が、第1の高融点金属製の導管部分と、導管部分の軸端に取り付けられた少なくとも1つの継手部分であって、第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属製である少なくとも1つの継手部分とを含む、EUV光源ターゲット材料搬送システム。
8.少なくとも1つの継手部分が、導管部分の軸端に溶接される、条項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
9.第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、条項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
10.第2の高融点金属が、TaW10を含む、条項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
11.導管を作成するための方法であって、
第1の高融点金属製の細長い導管部分を提供するステップと、
細長い導管部分の軸端に取り付けられた継手部分を提供するステップであって、継手部分が、第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属を含む、ステップと、
継手部分を細長い導管部分に取り付けるステップと
を含む、方法。
12.継手部分を細長い導管部分に取り付けるステップが、継手部分を細長い導管部分に溶接することを含む、条項11に記載の方法。
13.第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、条項11に記載の方法。
14.第2の高融点金属が、TaW10を含む、条項11に記載の方法。
15.継手部分が、円非対称性断面を有する、条項11に記載の方法。
Claims (15)
- 第1の高融点金属製の導管部分と、
前記導管部分の軸端に取り付けられた継手部分であって、前記第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属製である継手部分と
を含む装置。 - 前記継手部分が、前記導管部分の軸端に溶接される、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記第2の高融点金属が、TaW10を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記継手部分が、円非対称性断面を有する、請求項1に記載の装置。
- TaW2.5を含む導管部分と、
前記導管部分の軸端に溶接された継手部分であって、TaW10を含む継手部分と
を含む装置。 - EUV光源の照射領域にターゲット材料を搬送するように適応させたEUV光源ターゲット材料搬送システムであって、
ターゲット材料貯蔵部と、
前記ターゲット材料貯蔵部と流体連通する導管と、
前記導管と流体連通するノズルアセンブリと
を含み、
前記導管が、第1の高融点金属製の導管部分と、前記導管部分の軸端に取り付けられた少なくとも1つの継手部分であって、前記第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属製である少なくとも1つの継手部分とを含む、
EUV光源ターゲット材料搬送システム。 - 前記少なくとも1つの継手部分が、前記導管部分の軸端に溶接される、請求項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
- 前記第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、請求項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
- 前記第2の高融点金属が、TaW10を含む、請求項7に記載のEUV光源ターゲット材料搬送システム。
- 導管を作成するための方法であって、
第1の高融点金属製の細長い導管部分を提供するステップと、
前記細長い導管部分の軸端に取り付けられた継手部分を提供するステップであって、前記継手部分が、前記第1の高融点金属より高い降伏強度を有する第2の高融点金属を含む、ステップと、
前記継手部分を前記細長い導管部分に取り付けるステップと
を含む、方法。 - 前記継手部分を前記細長い導管部分に取り付ける前記ステップが、前記継手部分を前記細長い導管部分に溶接することを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第1の高融点金属が、TaW2.5を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第2の高融点金属が、TaW10を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記継手部分が、円非対称性断面を有する、請求項11に記載の方法。
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