JP2021513057A - マスクのオンライン検査システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第2態様では、マスクのオンライン検査方法を提供し、従来技術においてマスクの手動検査の効率が低く、コストが高く、品質が保障されないという技術的問題を解決することを目的とする。
キャビネットと、
キャビネットに設けられ、被検マスクを移動させるための搬送機構と、
キャビネットに設けられ、被検マスクを180°反転させるための反転機構と、
キャビネットに設けられ、被検マスクの正面画像と裏面画像を取得ための画像取得機構と、
キャビネットに設けられ、画像取得機構で取得された正面画像と裏面画像をプリセットされたマスク基準と比較し、被検マスクを不良品又は良品と判断するための画像処理ソフトウェアと、
搬送機構の排出端部に設けられ、不良品と良品を分別収集するための選別機構と、
キャビネットに設けられ、それぞれ搬送機構、反転機構、画像取得機構、画像処理ソフトウェア、選別機構と電気的に接続されるPLC制御システムと、
を含むマスクのオンライン検査システムを提供する。
画像処理ソフトウェアと電気的に接続される画像取得機構によって、1号検査位置の被検マスクなしの1号背景画像と2号検査位置の被検マスクなしの2号背景画像を取得し、そして1号背景画像と2号背景画像をそれぞれ1号背景グレースケール画像と2号背景グレースケール画像に変換するというステップS1と、
搬送機構は被検マスクを1号検査位置に搬送し、画像取得機構によって1号検査位置において被検マスクを含む1号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェアは1号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、被検マスクを選別機構によって不良品として収集し、良品と判定される場合、次のステップに進むというステップS2と、
反転機構によって良品を180°反転させ、搬送機構は180°反転された良品を2号検査位置に搬送するというステップS3と、
画像取得機構は2号検査位置において良品を含む2号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェアは2号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、不良品として収集し、良品と判定される場合、良品として収集するというステップS4と、
を含むマスクのオンライン検査方法を提供する。
画像処理ソフトウェア6と電気的に接続される画像取得機構2によって、1号検査位置の被検マスクなしの1号背景画像と2号検査位置の被検マスクなしの2号背景画像を取得し、そして1号背景画像と2号背景画像をそれぞれ1号背景グレースケール画像と2号背景グレースケール画像に変換するというステップS1と、
搬送機構1は被検マスクを1号検査位置に搬送し、画像取得機構2によって1号検査位置において被検マスクを含む1号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェア6は1号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、被検マスクを選別機構4によって不良品として収集し、良品と判定される場合、次のステップに進むというステップS2と、
反転機構3によって良品を180°反転させ、搬送機構1は180°反転された良品を2号検査位置に搬送するというステップS3と、
画像取得機構2は2号検査位置において良品を含む2号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェア6は2号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、不良品として収集し、良品と判定される場合、良品として収集するというステップS4と、を含むマスクのオンライン検査方法を提供する。
S21、1号検査画像の4つの頂点をP1(0,0)、P2(w,0)、P3(0,h)、P4(w,h)として、中心点をPc0(w/2,h/2)としてマークし、そして画像処理ソフトウェア6いよって1号検査画像を1号検査グレースケール画像に変換する。
1号検査グレースケール画像を1号背景グレースケール画像の同一位置の画素値と減算して第1絶対値を得て、2号検査グレースケール画像を2号背景グレースケール画像の同一位置の画素値と減算して第2絶対値を得ることと、第1絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲内である場合、該位置の画素値を255に設定し、そうでなければ、第1絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲を超えた場合、該位置の画素値に1号検査グレースケール画像の画素値を使用することと、第2絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲内である場合、該位置の画素値を255に設定し、そうでなければ、第2絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲を超えた場合、該位置の画素値に2号検査グレースケール画像の画素値を使用することと、を含む。
11 搬送モーター
12 搬送ベルト
13 第1光ファイバセンサ
14 耳掛け吹き機構
141 上部挟持ベルト
142 下部挟持ベルト
143 電磁弁
144 送気管
2 画像取得機構
21 画像取得モジュール
211 カメラ
212 レンズ
213 光源
22 ホルダ
23 第2光ファイバセンサ
24 第3光ファイバセンサ
25 リニアモーター
26 リニアガイドレール
3 反転機構
31 反転モーター
32 反転レバー
321 主レバー
322 副レバー
4 選別機構
41 不良品処理機構
411 第4光ファイバセンサ
412 第1エアシリンダ
42 不良品収集箱
43 良品処理機構
431 第5光ファイバセンサ
432 第2エアシリンダ
44 良品収集機構
441 良品収集ベルト
442 駆動モーター
5 キャビネット
6 画像処理ソフトウェア
7 PLC制御システム
E1 耳掛け検査規定枠
D1 汚れ検査規定枠
N1 ノーズバー検査規定枠
Claims (15)
- マスクのオンライン検査システムであって、
キャビネット(5)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、被検マスクを移動させるための搬送機構(1)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、前記被検マスクを180°反転させるための反転機構(3)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、前記被検マスクの正面画像と裏面画像を取得ための画像取得機構(2)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、前記画像取得機構(2)で取得された前記正面画像と前記裏面画像をプリセットされたマスク基準と比較し、前記被検マスクを不良品又は良品と判断するための画像処理ソフトウェア(6)と、
前記搬送機構(1)の排出端部に設けられ、前記不良品と前記良品を分別収集するための選別機構(4)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、それぞれ前記搬送機構(1)、前記反転機構(3)、前記画像取得機構(2)、前記画像処理ソフトウェア(6)、前記選別機構(4)と電気的に接続されるPLC制御システム(7)と、
を含むことを特徴とするマスクのオンライン検査システム。 - 前記搬送機構(1)は、
前記キャビネット(5)に間隔をあけて設けられ、前記被検マスクが少なくとも2本の搬送ベルト(12)に横置きにされる、少なくとも2本の前記搬送ベルト(12)と、
前記搬送ベルト(12)を駆動して作動させるための搬送モーター(11)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、前記被検マスクを検知するための第1光ファイバセンサ(13)と、
前記キャビネット(5)に設けられ、耳掛けを吹くための耳掛け吹き機構(14)と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記耳掛け吹き機構(14)は、
前記キャビネット5に回転可能に設けられ、前記被検マスクを牽引するための上部挟持ベルト(141)および下部挟持ベルト(142)と、
耳掛けを吹くための送気管(144)と、
送気管(144)の遮断開放を制御するための電磁弁(143)と、
を含むことを特徴とする請求項2に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記反転機構(3)は、
前記キャビネット(5)に回動可能に設けられる反転レバー(32)と、
前記反転レバー(32)を回転駆動する反転モーター(31)と、を含み、
前記反転レバー(32)は、延長方向が前記被検マスクの搬送方向に垂直する主レバー(321)と、前記主レバー(321)に垂直に設けられる少なくとも2本の副レバー(322)と、を含み、前記副レバー(322)は2本の前記搬送ベルト(12)の間に反転することを特徴とする請求項3に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記画像取得機構(2)は、
前記キャビネット(5)に設けられるホルダ(22)と、
前記ホルダ(22)に設けられるリニアガイドレール(26)と、
前記リニアガイドレール(26)に可動的に設けられる画像取得モジュール(21)と、
前記ホルダ(22)に設けられ、画像取得モジュール(21)を駆動して前記リニアガイドレール(26)の上に往復運動させるためのリニアモーター(25)と、
前記キャビネット(5)に間隔をあけて設けられる第2光ファイバセンサ(23)と、第3光ファイバセンサ(24)と、を含み、
前記反転機構(3)は前記第2光ファイバセンサ(23)と第3光ファイバセンサ(24)の間に位置することを特徴とする請求項1に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 画像取得モジュール(21)は、
前記リニアガイドレール(26)に設けられ、前記PLC制御システム(7)、及び前記画像処理ソフトウェア(6)と電気的に接続されるカメラ(211)と、
前記カメラ(211)に設けられるレンズ(212)と、
前記カメラ(211)に設けられる光源(213)と、を含み、
前記光源(213)の光は前記被検マスクに向いて照射することを特徴とする請求項5に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記光源(213)は中央開口型面光源(213)であり、前記レンズ(212)は光源(213)の中心に貫設されることを特徴とする請求項6に記載のマスクのオンライン検査システム。
- 前記選別機構(4)は、
前記搬送機構(1)の上方に並設される不良品処理機構(41)および良品処理機構(43)と、
前記搬送機構(1)の下方に並設される不良品収集箱(42)および良品収集機構(44)と、を含み、
前記不良品処理機構(41)は不良品を不良品収集箱(42)に移動させるために使用され、前記良品処理機構(43)は良品を良品収集機構(44)に移動させるために使用されることを特徴とする請求項2に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記不良品処理機構(41)は、
前記PLC制御システム(7)と電気的に接続される第4光ファイバセンサ(411)および第1エアシリンダ(412)を含み、
前記第1エアシリンダ(412)は前記搬送ベルト(12)に位置する不良品を前記不良品収集箱(42)に押し付けるために使用される、ことを特徴とする請求項8に記載のマスクのオンライン検査システム。 - 前記良品処理機構(43)は、第5光ファイバセンサ(431)と第2エアシリンダ(432)とを含み、
前記良品収集機構(44)は、前記搬送ベルト(12)の下方に設けられる良品収集ベルト(441)と、
前記良品収集ベルト(441)を駆動して作動させる駆動モーター(442)と、を含み、
前記第2エアシリンダ(432)は前記良品を前記良品収集ベルト(441)に押し付けるために使用され、
前記第5光ファイバセンサ(431)、前記第2エアシリンダ(432)と前記駆動モーター(442)は前記PLC制御システム(7)と電気的に接続されることを特徴とする請求項9に記載のマスクのオンライン検査システム。 - マスクのオンライン検査方法であって、
画像処理ソフトウェア(6)と電気的に接続される画像取得機構によって、1号検査位置の被検マスクなしの1号背景画像と2号検査位置の被検マスクなしの2号背景画像を取得し、そして前記1号背景画像と2号背景画像をそれぞれ1号背景グレースケール画像と2号背景グレースケール画像に変換するというステップS1と、
搬送機構(1)は被検マスクを1号検査位置に搬送し、画像取得機構(2)によって1号検査位置において被検マスクを含む1号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェア(6)は前記1号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、前記被検マスクを選別機構(4)によって不良品として収集し、良品と判定される場合、次のステップに進むというステップS2と、
反転機構(3)によって前記良品を180°反転させ、搬送機構(1)は180°反転された前記良品を2号検査位置に搬送するというステップS3と、
前記画像取得機構(2)は2号検査位置において前記良品を含む2号検査画像を取得し、画像処理ソフトウェア(6)は2号検査画像を識別し、そしてプリセットされたマスク基準と比較し、不良品と判定される場合、不良品として収集し、良品と判定される場合、良品として収集するというステップS4と、
を含むことを特徴とするマスクのオンライン検査方法。 - 前記ステップS2は、
1号検査画像の4つの頂点をP1(0,0)、P2(w,0)、P3(0,h)、P4(w,h)として、中心点をPc0(w/2,h/2)としてマークし、そして画像処理ソフトウェア(6)によって1号検査画像を1号検査グレースケール画像に変換するというステップS21と、
前記1号検査グレースケール画像と前記1号背景グレースケール画像を画像前景処理してマスクの正面グレースケール画像を得て、そして前記マスクの正面グレースケール画像を二値化処理してマスクの正面二値化画像を得るというステップS22と、
前記マスクの正面二値化画像に固定回数の画像膨張処理及び画像収縮処理を行い、そして輪郭抽出アルゴリズムを用いてマスク正面の輪郭を抽出し、その中で面積が最も大きい前記マスク正面の輪郭を選択し、最も大きい前記マスク正面の輪郭に対して最小外接矩形アルゴリズムを用いてマスク正面の第1最小外接矩形を抽出するというステップS23、
前記第1最小外接矩形の抽出が失敗した場合、マスクがないと判定し、
前記第1最小外接矩形の抽出に成功した場合、第1最小外接矩形の長さ値及び幅値を算出し、前記長さ値及び幅値をそれぞれプリセットされたマスク基準から減算して長さ差分値及び高さ差分値を算出し、前記長さ差分値及び/又は高さ差分値がプリセットされたマスク基準の範囲を超えた場合、不良品と判定し、そうでなければ次のステップに進むというステップS24と、
前記第1最小外接矩形の4つの頂点の座標であるP11、P12、P13、P14及び中心点の座標であるPc1(cx,cy)を出力し、直線L1(P13,P14)と直線L2(P3,P4)との間の夾角A1を算出し、中心点Pc1(cx,cy)が中心点Pc0(w/2,h/2)に対する水平方向のオフセット量Hx1及び垂直方向のオフセット量Vy1を算出するというステップS25と、
前記1号検査グレースケール画像を水平方向にHx1平行移動し、垂直方向にVy1平行移動し、中心点Pc1(cx,cy)と中心点Pc0(w/2,h/2)を重ねさせて、1号検査グレースケール平行移動画像を得るというステップS26と、
中心点Pc0(w/2,h/2)を原点として前記1号検査グレースケール平行移動画像を回転し、回転角度は夾角A1の度数であり、1号検査グレースケール回転画像を得るというステップS27と、
前記1号検査グレースケール回転画像をプリセットされたマスク基準と比較判断し、不良品と判定される場合、前記被検マスクを選別機構(4)によって不良品として収集し、良品と判定される場合、良品として収集するというステップS28と、
を含むことを特徴とする請求項11に記載のマスクのオンライン検査方法。 - ステップS28は、
プリセットされた耳掛け検査規定枠(E1)を用いてマスク正面の耳掛け欠陥を検査し、つまり、輪郭抽出アルゴリズムによって耳掛け検査領域内の耳掛け画像輪郭の属性に対して計算及び判断を行い、耳掛け画像輪郭の属性はプリセットされたマスク基準の範囲外である場合、耳掛け不良と判定するというステップS281と、
プリセットされた汚れ検査規定枠(D1)を用いてマスク正面の汚れ欠陥を検査し、つまり、固定閾値の二値化処理アルゴリズムによって汚れ検査領域を処理し、二値化処理された画像内のゼロ点の数を集計し、ゼロ点の数はプリセットされたマスク基準の範囲外である場合、汚れ不良と判定するというステップS282と、
プリセットされたノーズバー検査規定枠(N1)を用いてマスク正面のノーズバー欠陥を検査し、つまり、輪郭抽出アルゴリズムによってノーズバー検査領域内のノーズバー画像輪郭の属性に対して計算及び判断を行い、ノーズバー画像輪郭の属性はプリセットされたマスク基準の範囲外である場合、ノーズバー不良と判定し、ノーズバー画像輪郭の属性はプリセットされたマスク基準の範囲内である場合、最小外接矩形アルゴリズムを用いて最小外接矩形を算出し、そしてノーズバーの最小外接矩形の4つの頂点の座標及び中心点の座標を出力し、ノーズバーの最小外接矩形の4つの頂点の座標及び中心点の座標はプリセットされたマスク基準の範囲内にあるか否かを判断し、プリセットされたマスク基準の範囲外である場合、ノーズバー不良と判定し、1号検査位置の被検マスクに耳掛け不良、汚れ不良及びノーズバー不良のいずれも発見されなければ、前記被検マスクは良品であるというステップS283と、を含むことを特徴とする請求項12に記載のマスクのオンライン検査方法。 - ステップS4とステップS2の処理プロセスと方法は同じであり、2号検査位置の被検マスクに耳掛け不良、汚れ不良及びノーズバー不良のいずれも発見されなければ、被検マスクは良品であることを特徴とする請求項13に記載のマスクのオンライン検査方法。
- 前記画像前景処理は、
1号検査グレースケール画像を1号背景グレースケール画像の同一の位置の画素値と減算して第1絶対値を得て、2号検査グレースケール画像を2号背景グレースケール画像の同一の位置の画素値と減算して第2絶対値を得ることと、
第1絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲内である場合、該位置の画素値を255に設定し、そうでなければ、第1絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲を超えた場合、該位置の画素値に1号検査グレースケール画像の画素値を使用することと、
第2絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲内である場合、該位置の画素値を255に設定し、そうでなければ、第2絶対値はプリセットされたマスク基準の範囲を超えた場合、該位置の画素値に2号検査グレースケール画像の画素値を使用することと、を含むことを特徴とする請求項14に記載のマスクのオンライン検査方法。
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