JP2021500742A5

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Info

Publication number: JP2021500742A5
Application number: JP2020521368A
Authority: JP
Filing date: 2018-10-17
Publication date: 2021-11-25

Claims

欠陥検査を実行する方法であって、
ｘ座標、
ｙ座標、及び
形状、
を含めそれぞれ複数通りの所定特性を有する第１の適応性ケアエリアと第２の適応性ケアエリアを少なくとも画定するステップと、
非一時的コンピュータ可読格納媒体を含む電子データ格納ユニット内に格納されるレシピにその適応性ケアエリアを保存するステップと、
粒子エミッタ及び検出器を備える検査ツールを用いステージ上のウェハのダイ画像を取得するステップと、
プロセッサにて前記レシピを前記電子データ格納ユニットから読み込み、そのレシピに保存されている適応性ケアエリアに関し、そのプロセッサを用いて、
前記ダイ画像上で前記第１の適応性ケアエリアに対応する第１個所を特定し、
そのダイ画像上の第１個所上に前記第１の適応性ケアエリアを重ね、
そのダイ画像上の１個又は複数個の対応フィーチャに前記第１の適応性ケアエリアを合わせ込み、前記第２の適応性ケアエリアは、前記合わせ込みの間に前記ダイ画像上の第１箇所に関して固定され、そして
前記第１の適応性ケアエリア内でそのダイ画像の欠陥検査を実行する、
ステップと、
を有する方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記粒子エミッタが広帯域プラズマ光源、電子ビーム源、ランプ又はレーザを有する方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記形状が多角形又は楕円である方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記形状が、ユーザが定めた不規則形状である方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記複数通りの所定特性が、更に、少なくとも一通りのフィーチャ特性を含む方法。
請求項５に記載の方法であって、
前記フィーチャ特性が、スケール不変特徴変換、ロバスト特徴量高速化、オリエンテッドＦＡＳＴと回転ブリーフ、勾配方向ヒストグラム、隅部検出子又は勾配ベース記述子を含む方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記ダイ画像上の１個又は複数個の対応フィーチャへの前記第１の適応性ケアエリアの合せ込みが、並進、回動、スケーリング、アフィン変換、遠近法ワープ及び投影歪曲のうち一種類又は複数種類を含む方法。
請求項１に記載の方法であって、
更に、一通り又は複数通りの調整限界を画定するステップを有し、前記ダイ画像内の１個又は複数個の対応フィーチャへの前記第１の適応性ケアエリアの合せ込みが、当該一通り又は複数通りの調整限界により拘束される方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記形状が多角形であり、前記ダイ画像上の１個又は複数個の対応フィーチャへの前記第１の適応性ケアエリアの合せ込みが、その多角形の少なくとも１個の隅部の合せ込みを含む方法。
請求項９に記載の方法であって、
更に、一通り又は複数通りの調整限界を画定するステップを有し、前記多角形の隅部の合せ込みが当該一通り又は複数通りの調整限界により拘束される方法。
請求項１に記載の方法であって、
更に、前記検査ツールを用い前記ダイ画像を取得する前に前記第１の適応性ケアエリアへの予合わせを実行するステップを有し、前記第１の適応性ケアエリアへのその予合わせが、
確認済フィーチャを有する絶好ダイ、近隣ダイのメディアンから計算された合成ダイ又はデザインファイルから模擬導出されたデザイン画像を参照ダイとし、その参照ダイの参照ダイ画像を取得するステップと、
前記プロセッサにて前記レシピを前記電子データ格納ユニットから読み込み、そのレシピに保存されている適応性ケアエリアに関し、そのプロセッサを用いて、
前記参照ダイ画像上で前記第１の適応性ケアエリアに対応する第２個所を特定し、
その参照ダイ画像上の第２個所上に前記第１の適応性ケアエリアを重ね、そして
その参照ダイ画像上の１個又は複数個の対応要素に前記第１の適応性ケアエリアを予合わせする、
ステップと、
を含む方法。
欠陥検査システムであって、
検査ツールを備え、その検査ツールが、
粒子を粒子ビームの態で放出するよう構成された粒子エミッタと、
その粒子エミッタにより放出される粒子ビームの経路上にてウェハを保持するよう構成されたステージと
そのウェハにより反射された粒子のうち一部分を検出しダイ画像をもたらすよう構成された検出器と、
を有し、
非一時的コンピュータ可読格納媒体を含む電子データ格納ユニットを備え、その電子データ格納ユニットが、
ｘ座標、
ｙ座標、及び
形状、
を含めそれぞれ複数通りの所定特性を有する第１の適応性ケアエリアと第２の適応性ケアエリアを少なくとも含むレシピを格納しうるよう構成されており、
それら検査ツール及び電子データ格納ユニットと電子通信するプロセッサを備え、そのプロセッサが、
その検査ツールから前記ダイ画像を受け取り、
前記レシピをその電子データ格納ユニットから読み込み、そのレシピに保存されている前記第１の適応性ケアエリアに、
そのダイ画像上で前記第１の適応性ケアエリアに対応する第１個所を特定し、
そのダイ画像上の第１個所上に前記第１の適応性ケアエリアを重ね、
そのダイ画像上の１個又は複数個の対応要素に前記第１の適応性ケアエリアを合せ込み、前記第２の適応性ケアエリアは、前記合わせ込みの間に前記ダイ画像上の第１箇所に関して固定され、そして
前記第１の適応性ケアエリア内でそのダイ画像の欠陥検査を実行するよう、
構成されているシステム。
請求項１２に記載のシステムであって、
前記プロセッサが、更に、前記レシピを前記電子データ格納ユニットから読み込み、そのレシピに保存されている前記第１の適応性ケアエリアに関し、
確認済フィーチャを有する絶好ダイ、近隣ダイのメディアンから計算された合成ダイ又はデザインファイルから模擬導出されたデザイン画像、から取得された参照ダイ画像上で、前記第１の適応性ケアエリアに対応する第２個所を特定し、
その参照ダイ画像上の第２個所上に前記第１の適応性ケアエリアを重ね、そして
その参照ダイ画像上の１個又は複数個の対応フィーチャに前記第１の適応性ケアエリアを予合わせするよう、
構成されているシステム。
請求項１２に記載のシステムであって、
前記粒子が光子又は電子であるシステム。
請求項１２に記載のシステムであって、
前記形状が多角形又は楕円であるシステム。
請求項１２に記載のシステムであって、
前記形状が、ユーザが定めた不規則形状であるシステム。
ｘ座標、
ｙ座標、及び
形状、
を含めそれぞれ複数通りの所定特性を有する第１の適応性ケアエリアと第２の適応性ケアエリアを画定するステップと、
その適応性ケアエリアをレシピに保存するステップと、
粒子エミッタ及び検出器を備える検査ツールからステージ上のウェハのダイ画像を取得するステップと、
前記レシピを読み込み、そのレシピに保存されている前記第１の適応性ケアエリアに、
前記ダイ画像上で前記第１の適応性ケアエリアに対応する個所を特定し、
そのダイ画像上のその個所の上に前記第１の適応性ケアエリアを重ね、
そのダイ画像上の１個又は複数個の対応フィーチャに前記第１の適応性ケアエリアを合せ込み、前記第２の適応性ケアエリアは、前記合わせ込みの間に前記ダイ画像上の第１箇所に関して固定され、そして
前記第１の適応性ケアエリア内でそのダイ画像の欠陥検査を実行せよとの命令を送る、
ステップと、
を１個又は複数個の情報処理装置上で実行させる１個又は複数個のプログラムを有する非一時的コンピュータ可読格納媒体。
請求項１７に記載の非一時的コンピュータ可読格納媒体であって、
前記形状が多角形又は楕円である非一時的コンピュータ可読格納媒体。
請求項１７に記載の非一時的コンピュータ可読格納媒体であって、
前記形状が、ユーザが定めた不規則形状である非一時的コンピュータ可読格納媒体。
請求項１７に記載の非一時的コンピュータ可読格納媒体であって、
一通り又は複数通りの調整限界が画定され、前記ダイ画像内の１個又は複数個の対応フィーチャへの前記第１の適応性ケアエリアの合せ込みが、当該一通り又は複数通りの調整限界により拘束される非一時的コンピュータ可読格納媒体。