JP2021163955A - 洗浄部材の洗浄装置、基板洗浄装置及び洗浄部材アセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
洗浄部材を有する洗浄部材アセンブリを保持する保持部と、
前記洗浄部材を回転させる部材回転部と、
前記洗浄部材内に洗浄液を供給するインナー洗浄液供給部と、
前記洗浄部材外から洗浄液を供給するアウター洗浄液供給部と、
前記洗浄部材を前記基板に第一圧力で押し当てつつ前記アウター洗浄液供給部から基板に洗浄液を供給する第一処理と、前記洗浄部材を前記基板から離間する又は前記洗浄部材を前記基板に第一圧力以下である第二圧力で押し当てつつインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給する第二処理を行うよう、制御する制御部と、
を備えてもよい。
前記第二処理の間、前記アウター洗浄液供給部から前記基板への洗浄液の供給を停止してもよい。
前記第二処理の間も、前記アウター洗浄液供給部から前記基板への洗浄液の供給を行ってもよい。
前記第二処理における前記洗浄部材の第二回転速度は、前記第一処理における前記洗浄部材の第一回転速度よりも速くなってもよい。
インナー洗浄液供給部はリンス液を供給し、アウター洗浄液供給部は薬液を供給する、インナー洗浄液供給部は薬液を供給し、アウター洗浄液供給部はリンス液を供給する、又はインナー洗浄液供給部及びアウター洗浄液供給部は薬液を供給してもよい。
インナー洗浄液供給部は第一薬液を供給し、アウター洗浄液供給部は第一薬液とは異なる第二薬液を供給してもよい。
前記制御部は、前記洗浄部材を前記基板に第二圧力で押し当てている間にインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給し、
前記第二圧力は前記第一圧力の1/2以下となってもよい。
前記制御部は、前記基板を入れ替えるよう搬送部を制御し、前記第一処理及び前記第二処理による処理と前記基板の入れ替え処理を複数回のセットとして行うように制御してもよい。
後半のセットにおける第一圧力は、前半のセットにおける第一圧力よりも小さくなってもよい。
前記制御部は、第一圧力が閾値以上の場合には基板と洗浄部材の回転方向が逆方向となり、第一圧力が前記閾値未満の場合には基板と洗浄部材の回転方向は同じ方向になるように制御してもよい。
前記アウター洗浄液供給部は、前記第一処理及び前記第二処理の間、洗浄液を供給し続け、
前記インナー洗浄液供給部はリンス液を供給し、前記第一処理の間はリンス液の供給を停止してもよい。
前記インナー洗浄液供給部はリンス液を供給し、
前記制御部は、前記第一処理を行う第一時間が前記第二処理を行う第二時間よりも長くなるように制御してもよい。
前記制御部は、洗浄処理が行われる基板を洗浄する前にフラッシング処理を行うよう前記アウター洗浄液供給部を制御してもよい。
前述した洗浄部材の洗浄装置によって洗浄された洗浄部材を備えてもよい。
基板の洗浄を行う基板洗浄装置であって、
基板を保持する基板支持部と、
前記基板に洗浄液を供給する基板洗浄液供給部と、
洗浄部材を有する洗浄部材アセンブリを保持する保持部と、
前記洗浄部材を回転させる部材回転部と、
前記洗浄部材内に洗浄液を供給するインナー洗浄液供給部と、
前記洗浄部材外から洗浄液を供給するアウター洗浄液供給部と、
前記洗浄部材を前記基板に第一圧力で押し当てつつ前記アウター洗浄液供給部から基板に洗浄液を供給する第一処理と、前記洗浄部材を前記基板から離間する又は前記洗浄部材を前記基板に第一圧力以下である第二圧力で押し当てつつインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給する第二処理を行うよう、制御する制御部と、
を備えてもよい。
前述した基板洗浄装置によって洗浄された洗浄部材を備えてもよい。
《構成》
基板洗浄装置等を含む基板処理装置の実施の形態について説明する。なお、以下の実施の一形態においては半導体ウエハ(被処理体)の洗浄処理、とりわけ薬液を用いた処理に適用した例を示しているが、本発明はウエハの洗浄処理への適用に限定されるものではない。
実施例1の態様は、樹脂材料からなるロール洗浄部材90をダミー基板Wdに押し付けている間はインナー洗浄液供給部110からリンス液を供給せず、ロール洗浄部材90をダミー基板Wdから離間させる間にインナー洗浄液供給部110からリンス液を供給する態様である(図5参照)。ロール洗浄部材90の回転数は400rpm(回転/分)となっている。アウター洗浄液供給部120からは薬液を供給し続けている。なお、薬液としてはNH4OHを用い、リンス液としては純水(DIW)を用いている。実施例1では、第一処理及び第二処理による処理とダミー基板Wdの入れ替え処理を繰り返して行った。
比較例1ではロール洗浄部材90をダミー基板Wdに押し付けた状態でアウター洗浄液供給部120からは薬液を供給し続けている態様である。この際、インナー洗浄液供給部110からリンス液は供給していない。
実施例2では、アウター洗浄液供給部120から薬液を供給している間はインナー洗浄液供給部110からリンス液を供給せず、アウター洗浄液供給部120からの薬液の供給を停止した後で、インナー洗浄液供給部110からリンス液の供給を900ml/分で行った(図14参照)。この間、樹脂材料からなるロール洗浄部材90はダミー基板Wdに9Nで押し付けられており、ロール洗浄部材90のダミー基板Wdへの押し付け力は常に同じ値9Nとした(つまり、第一圧力=第二圧力とした。)。
実施例3では、アウター洗浄液供給部120から薬液を供給し続け、一定のタイミングでインナー洗浄液供給部110からリンス液の供給を900ml/分で行った(図15参照)。この間、実施例2と同様、樹脂材料からなるロール洗浄部材90はダミー基板Wdに9Nで押し付けられており、ロール洗浄部材90のダミー基板Wdへの押し付け力は常に同じ値9Nとした(つまり、第一圧力=第二圧力とした。)。
次に、上述した構成からなる本実施の形態による効果であって、未だ説明していないものを中心に説明する。「構成」で記載されていない場合であっても、「効果」で説明するあらゆる構成を本件発明において採用することができる。なお「効果」においては、洗浄部材の一例である「ロール洗浄部材」という用語ではなく、「洗浄部材」という用語を用いて説明する。
90 洗浄部材
100 保持部
110 インナー洗浄液供給部
120 アウター洗浄液供給部
350 制御部
Wd ダミー基板
Claims (15)
- 洗浄部材を有する洗浄部材アセンブリを保持する保持部と、
前記洗浄部材を回転させる部材回転部と、
前記洗浄部材内に洗浄液を供給するインナー洗浄液供給部と、
前記洗浄部材外から洗浄液を供給するアウター洗浄液供給部と、
前記洗浄部材を前記基板に第一圧力で押し当てつつ前記アウター洗浄液供給部から基板に洗浄液を供給する第一処理と、前記洗浄部材を前記基板から離間する又は前記洗浄部材を前記基板に第一圧力以下である第二圧力で押し当てつつインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給する第二処理を行うよう、制御する制御部と、
を備える洗浄部材の洗浄装置。 - 前記第二処理の間、前記アウター洗浄液供給部から前記基板への洗浄液の供給を停止する請求項1に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 前記第二処理の間も、前記アウター洗浄液供給部から前記基板への洗浄液の供給を行う請求項1に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 前記第二処理における前記洗浄部材の第二回転速度は、前記第一処理における前記洗浄部材の第一回転速度よりも速くなる請求項1乃至3のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- インナー洗浄液供給部はリンス液を供給し、アウター洗浄液供給部は薬液を供給する、インナー洗浄液供給部は薬液を供給し、アウター洗浄液供給部はリンス液を供給する、又はインナー洗浄液供給部及びアウター洗浄液供給部は薬液を供給する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- インナー洗浄液供給部は第一薬液を供給し、アウター洗浄液供給部は第一薬液とは異なる第二薬液を供給する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 前記制御部は、前記洗浄部材を前記基板に第二圧力で押し当てている間にインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給し、
前記第二圧力は前記第一圧力の1/2以下となっている請求項1乃至6のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。 - 前記制御部は、前記基板を入れ替えるよう搬送部を制御し、前記第一処理及び前記第二処理による処理と前記基板の入れ替え処理を複数回のセットとして行うように制御する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 後半のセットにおける第一圧力は、前半のセットにおける第一圧力よりも小さくなる請求項8に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 前記制御部は、第一圧力が閾値以上の場合には基板と洗浄部材の回転方向が逆方向となり、第一圧力が前記閾値未満の場合には基板と洗浄部材の回転方向は同じ方向になるように制御する請求項1乃至9のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 前記アウター洗浄液供給部は、前記第一処理及び前記第二処理の間、洗浄液を供給し続け、
前記インナー洗浄液供給部はリンス液を供給し、前記第一処理の間はリンス液の供給を停止する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。 - 前記制御部は、洗浄処理が行われる基板を洗浄する前にフラッシング処理を行うよう前記アウター洗浄液供給部を制御する請求項1乃至11のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置。
- 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の洗浄部材の洗浄装置によって洗浄された洗浄部材を備える洗浄部材アセンブリ。
- 基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
基板を保持する基板支持部と、
前記基板に洗浄液を供給する基板洗浄液供給部と、
洗浄部材を有する洗浄部材アセンブリを保持する保持部と、
前記洗浄部材を回転させる部材回転部と、
前記洗浄部材内に洗浄液を供給するインナー洗浄液供給部と、
前記洗浄部材外から洗浄液を供給するアウター洗浄液供給部と、
前記洗浄部材を前記基板に第一圧力で押し当てつつ前記アウター洗浄液供給部から基板に洗浄液を供給する第一処理と、前記洗浄部材を前記基板から離間する又は前記洗浄部材を前記基板に第一圧力以下である第二圧力で押し当てつつインナー洗浄液供給部から洗浄液を供給する第二処理を行うよう、制御する制御部と、
を備える基板洗浄装置。 - 請求項14に記載の基板洗浄装置によって洗浄された洗浄部材を備える洗浄部材アセンブリ。
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KR102456239B1 (ko) * | 2021-04-16 | 2022-10-20 | 주식회사 디에이피 | 도금장치의 이물제거장치 |
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