JP2021162525A - 応力発光測定方法および応力発光測定装置 - Google Patents

応力発光測定方法および応力発光測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2021162525A
JP2021162525A JP2020066648A JP2020066648A JP2021162525A JP 2021162525 A JP2021162525 A JP 2021162525A JP 2020066648 A JP2020066648 A JP 2020066648A JP 2020066648 A JP2020066648 A JP 2020066648A JP 2021162525 A JP2021162525 A JP 2021162525A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stress
sample
load
image
luminescent material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020066648A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7334664B2 (ja
Inventor
祐介 横井
Yusuke Yokoi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2020066648A priority Critical patent/JP7334664B2/ja
Priority to US17/219,186 priority patent/US11704786B2/en
Publication of JP2021162525A publication Critical patent/JP2021162525A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7334664B2 publication Critical patent/JP7334664B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/0002Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • G06T7/0006Industrial image inspection using a design-rule based approach
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/60Analysis of geometric attributes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10Image acquisition modality
    • G06T2207/10141Special mode during image acquisition
    • G06T2207/10152Varying illumination
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30148Semiconductor; IC; Wafer
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30204Marker

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

【課題】サンプルの欠陥に由来する応力発光体の外観上の変化を正確かつ簡易に捉えることができる応力発光測定方法および応力発光測定装置を提供する。【解決手段】一態様に係る応力発光測定方法は、サンプルの表面に応力発光体を配置するステップと、応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得するステップと、サンプルに荷重を印加するステップと、応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得するステップと、荷重が除去された後の応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得するステップと、応力発光画像に、第1の撮像画像および第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存するステップとを備える。【選択図】図5

Description

本発明は、応力発光測定方法および応力発光測定装置に関する。
フレキシブルデバイスは、樹脂基板などの可撓性を有する基板上に半導体素子または発光素子などが形成されたデバイスであり、代表的には、照明装置、ディスプレイおよびセンサなどが挙げられる。近年では、折り畳みまたは折り曲げが可能なフレキシブルディスプレイを搭載した製品が種々開発されている。
フレキシブルディスプレイ搭載製品の一例として、折り畳み型の携帯端末(スマートフォン、タブレット等)がある。このような携帯端末において、フレキシブルディスプレイはタッチパネルディスプレイであり、ディスプレイと、ユーザの操作を受け付ける入力部とを有している。
折り畳み型の携帯端末の開発現場においては、一般的に、例えば特開2019−39743号公報(特許文献1)に示されるような変形試験器を用いてサンプルの折り畳み試験を数万〜数十万回繰り返し実行することにより、サンプルの耐久性および性能を検証することが行なわれている。
特開2019−39743号公報
上述した折り畳み試験においては、サンプルに欠陥が生じると、欠陥の周辺にひずみが発生し、サンプルが破断に至る可能性がある。近年、このような欠陥を検知する技術としては、応力発光体を利用する技術が提案されている。具体的には、応力発光体を含有する発光膜をサンプルの表面に配置し、サンプルとともに発光膜に外力を印加することにより応力発光体を発光させる。この発光を測定することにより、サンプルの欠陥を検知することができる。
しかしながら、応力発光体を利用した欠陥の検知では、遮光した状態でサンプルからの発光を測定するため、サンプルの欠陥が発生したタイミングを捉えることができるものの、欠陥に由来するサンプルの外観上の変化を正確に捉えることが困難となる。そのため、欠陥の発生箇所を誤って検知してしまうことが懸念される。
なお、欠陥の発生箇所を正確に検知するためには、応力発光画像に対する画像解析処理などを行なうことが必要となるため、簡易な手法で欠陥の発生箇所を検知できないことが懸念される。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであって、その目的は、サンプルの欠陥に由来する応力発光体の外観上の変化を正確かつ簡易に捉えることができる応力発光測定方法および応力発光測定装置を提供することである。
本発明の第1の態様に係る応力発光測定方法は、サンプルの表面に応力発光体を配置するステップと、応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得するステップと、サンプルに荷重を印加するステップと、応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得するステップと、荷重が除去された後の応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得するステップと、応力発光画像に、第1の撮像画像および第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存するステップとを備える。
本発明の第2の態様に係る応力発光測定装置は、サンプルの表面に配置された応力発光体の発光を測定する。応力発光測定装置は、応力発光体に励起光を照射するように構成された光源と、サンプルに荷重を印加するように構成された荷重印加機構と、応力発光体を撮像するように構成されたカメラと、光源、荷重印加機構およびカメラを制御するコントローラと、メモリとを備える。コントローラは、励起光の照射中に応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得する。コントローラは、応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得する。コントローラは、荷重が除去された後の応力発光体に励起光を照射する。コントローラは、励起光の照射中に荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得し、かつ、応力発光画像に第1の撮像画像および第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存する。
本開示によれば、サンプルの欠陥に由来する応力発光体の外観上の変化を正確かつ簡易に捉えることができる応力発光測定方法および応力発光測定装置を提供することができる。
実施の形態に係る応力発光測定装置の全体構成を示すブロック図である。 荷重印加機構の構成例を示す図である。 コントローラの機能構成を説明するためのブロック図である。 応力発光測定装置を用いたフレキシブルディスプレイの応力発光測定の処理手順を説明するフローチャートである。 サンプルとなるスマートフォンおよび応力発光体を模式的に示す図である。 図4のステップS60により取得される応力発光画像を模式的に示す図である。 ROI内の応力発光強度と折り曲げ角度との関係を示すグラフの一例を示す図である。 一実施態様に従う応力発光測定処理における、光源、カメラおよびホルダの動作を説明するためのタイミングチャートである。 コントローラにより実行される判定処理の手順を説明するフローチャートである。 図4のステップS10のサンプル準備処理を説明するための図である。 カメラによる第1および第2の撮像画像の一例を模式的に示す図である。 マーカの他の構成例を模式的に示す図である。 マーカの他の構成例を模式的に示す図である。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
<応力発光測定装置の構成>
図1は、実施の形態に係る応力発光測定装置の全体構成を示すブロック図である。本実施の形態に係る応力発光測定装置100は、応力発光体の発光現象を利用して、試験対象(以下、単に「サンプル」とも称する)に発生する応力(ひずみ)を測定する装置である。応力発光測定装置100は、サンプルに発生する応力に対する耐久性を試験するためにも用いることができる。
図1の例では、サンプルは可撓性を有している。サンプルは、例えば、フレキシブルデバイスまたは、フレキシブルデバイスに装着可能な部材(例えば、ディスプレイの保護シートなど)である。図1の例では、フレキシブルデバイスは、折り畳み型のスマートフォン1に搭載されるフレキシブルディスプレイ2である。スマートフォン1において、フレキシブルディスプレイ2はタッチパネルディスプレイであり、ディスプレイと、ユーザの操作を受け付ける入力部とを有している。なお、サンプルは可撓性を有するものに限定されるものではない。
フレキシブルディスプレイ2の表面には、応力発光体3が配置されている。応力発光体3は、例えば応力発光材料を含有する応力発光シートであり、少なくともフレキシブルディスプレイ2の所定領域の表面上に配置されている。この所定領域は、スマートフォン1の折り畳み操作時に応力が印加される領域(すなわち、フレキシブルディスプレイ2の変形領域)を含むように設定されている。したがって、スマートフォン1を折り畳んだとき、応力発光体3は、フレキシブルディスプレイ2と一体的に応力が印加されて変形(ひずみ)が生じることになる。
応力発光体3は、外部からの機械的な刺激によって発光する部材であり、従来公知のものを用いることができる。応力発光体は、外部から印加されるひずみエネルギーによって発光するという性質を有しており、その発光強度はひずみエネルギーに応じて変化する。応力発光体3は、例えば、アルミン酸ストロンチウム、硫化亜鉛、チタン酸バリウム、ケイ酸塩およびリン酸塩からなる群から選択された物質を含む。
応力発光測定装置100は、折り畳み型のスマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2に対して荷重を印加するための荷重印加機構を備える。荷重印加機構は、スマートフォン1に対する折り畳み操作時にフレキシブルディスプレイ2に印加される荷重を再現可能に構成される。
具体的には、荷重印加機構は、ホルダ10と、第1ドライバ20とを有する。ホルダ10は、フレキシブルディスプレイ2が上側(図1の紙面上側)に位置するようにスマートフォン1を支持する。第1ドライバ20は、ホルダ10を第1の姿勢と第2の姿勢との間で遷移させることにより、スマートフォン1を折り畳み可能に構成される。このような荷重印加機構には、例えば、特開2019−39743号公報に開示される変形試験器を適用することができる。
図1の例では、ホルダ10は、第1取付板11、第2取付板12および駆動軸13を有する。第1取付板11は、長方形状の主面11aを有する。第2取付板12は、長方形状の主面12aを有する。主面11aおよび主面12aには、スマートフォン1が、その裏面(フレキシブルディスプレイ2と反対側の面)が接着されることにより取り付けられる。
第1ドライバ20は、駆動軸13の基部が取り付けられる。駆動軸13は、その中心軸がX軸に平行な状態で回動自在に支持される。第1ドライバ20は、内部にモータ、変速機および制御部(図示せず)を含んでおり、所定の回動角度および回動速度により駆動軸13をその中心軸の周りに正逆に回動させる。なお、駆動軸13の回動角度および回動速度は可変であり、これにより、後述するスマートフォン1の折り畳み試験における折り曲げ角度および折り曲げ速度を適宜変更することができる。
第2取付板12は、駆動軸13に回動不可能に取り付けられる。駆動軸13の回動に伴って第2取付板12が回動する。第2取付板12が回動すると、第1取付板11も回動する。
図2は、図1に示す荷重印加機構の動作を説明する図である。図2には、第1取付板11、第2取付板12およびこれらに取り付けられたスマートフォン1をX軸方向から見た様子を示している。図2(B)および(C)は、図2(A)の状態からスマートフォン1を折り畳んだ状態を示している。スマートフォン1は、フレキシブルディスプレイ2と、フレキシブルディスプレイ2の表面に配置された応力発光体3とを有している。
図2(A)の状態から第1ドライバ20によって駆動軸13をその中心軸周りに正方向(時計回り方向)に回動させると、図2(B)および(C)に示すように、主面12aおよび主面11aに取り付けられたスマートフォン1は、互いに平行でありかつ距離Kが一定の端部12acおよび端部11acを中心に平面Pに面対称に回動する主面12aおよび主面11aの間で折り曲げられる。このため、端部12ac近傍、端部11ac近傍および端部11ac,12ac間、いずれの部分のスマートフォン1もほぼ同じ曲げ半径により曲げられる。これによると、スマートフォン1の位置によって曲げ条件が不意に偏り難いことから、再現性の高い試験を行なうことができる。
また、図1の荷重印加機構は、端部12acおよび端部11acを中心に端部12acおよび端部11acが常に平行かつ距離Kが一定に保たれた状態で主面85aおよび主面55aを回動させるため、端部12ac近傍と端部11ac近傍との間に位置するスマートフォン1の部分を変形させるものの、それ以外のスマートフォン1の残部はほぼ変形させない。このことは、変形試験の対象とすべき部分を選択的に変形させるものであり、正確かつ再現性の高い変形試験を実現する。
なお、スマートフォン1を折り畳んだ状態(図2(C))から、第1ドライバ20によって駆動軸13を逆方向(反時計回り方向)に回動させると、図2(B)の状態を経由して図2(A)の状態に戻る。このように、図2(A)の状態(スマートフォン1は平らな状態)から駆動軸13を正方向に回動させて図2(C)の状態(スマートフォン1は折り畳まれた状態)とし、その後、図2(C)の状態から駆動軸13を逆方向へ回動させて図3(A)の状態に戻すことで(1測定セットに相当)、スマートフォン1は平らな状態から折り畳まれて再び平らな状態に戻るため、スマートフォン1を1回折り畳む試験を行なうことができる。このような駆動軸13の正逆の回動を交互に行なうことにより、スマートフォン1の折り畳み試験を繰り返し行なうことができる。
図1に戻って、応力発光測定装置100は、光源31と、筐体15と、カメラ40と、第2ドライバ42と、第3ドライバ32と、コントローラ50と、をさらに備える。
光源31は、スマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2の上方に配置されており、応力発光体3に対して励起光を照射するように構成される。励起光を受けて、応力発光体3が発光状態に遷移する。励起光は、例えば、紫外線または近赤外線である。なお、図1の例では、応力発光体3に対して2方向から励起光を照射する構成としたが、光源31は1方向または3方向以上から応力発光体3に対して励起光を照射する構成としてもよい。
ホルダ10および光源31は、筐体15内に収容されている。光源31が停止している状態において、筐体15を暗室とすることができる。光源31は、励起光源であるとともに、筐体15内部の照明光源としても機能し得る。
第3ドライバ32は、光源31を駆動するための電力を供給する。第3ドライバ32は、コントローラ50から受ける指令に応じて光源31に供給する電力を制御することにより、光源31から照射される励起光の光量および励起光の照射時間などを制御することができる。
カメラ40は、スマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2の上方に、フレキシブルディスプレイ2の所定領域上に位置する応力発光体3を撮像視野に含むように配置される。図1の例では、カメラ40は、筐体15の天井面に取り付けられている。具体的には、カメラ40は、フォーカス位置がフレキシブルディスプレイ2の所定領域内の少なくとも1点に位置するように配置される。所定領域内の少なくとも1点は、フレキシブルディスプレイ2の曲げの中心部分に位置することが好ましい。
カメラ40は、レンズなどの光学系および撮像素子を含む。撮像素子は、たとえばCCD(Charge Coupled Device)センサ、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどにより実現される。撮像素子は、光学系を介して応力発光体から入射される光を電気信号に変換することによって撮像画像を生成する。
カメラ40は、光源31の励起光によって応力発光体3を励起する際、励起光の照射中の応力発光体3を撮像するように構成される。すなわち、カメラ40は、励起光を照明光として利用して、荷重が印加されていない状態の応力発光体3を撮像するように構成される。
カメラ40はまた、フレキシブルディスプレイ2に対する荷重印加時(すなわち、スマートフォン1の折り畳み時)において、所定領域上に位置する応力発光体3の発光を撮像するように構成される。カメラ40の撮像により生成された画像データはコントローラ50へ送信される。
第2ドライバ42は、コントローラ50から受ける指令に応じて、カメラ40のフォーカス位置を変更可能に構成される。具体的には、第2ドライバ42は、カメラ40を図2に示すZ軸方向およびY軸方向に沿って移動させることにより、カメラ40のフォーカス位置を調整することができる。例えば、第2ドライバ42は、カメラ40をZ軸方向およびY軸方向に移動させる送りねじを回転させるモータと、モータを駆動するモータドライバとを有する。送りねじがモータによって回転駆動されることにより、カメラ40は、Z軸およびY軸の各方向の所定範囲内の指定された位置に位置決めされる。また、第2ドライバ42は、カメラ40の位置を示す位置情報をコントローラ50へ送信する。
コントローラ50は、応力発光測定装置100全体を制御する。コントローラ50は、主な構成要素として、プロセッサ501と、メモリ502と、入出力インターフェイス(I/F)503と、通信I/F504とを有する。これらの各部は、図示しないバスを介して互いに通信可能に接続される。
プロセッサ501は、典型的には、CPU(Central Processing Unit)またはMPU(Micro Processing Unit)などの演算処理装置である。プロセッサ501は、メモリ502に記憶されたプログラムを読み出して実行することで、応力発光測定装置100の各部の動作を制御する。具体的には、プロセッサ501は、当該プログラムを実行することによって、後述する応力発光測定装置100の処理の各々を実現する。なお、図1の例では、プロセッサが単数である構成を例示しているが、コントローラ50は複数のプロセッサを有する構成としてもよい。
メモリ502は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)およびフラッシュメモリなどの不揮発性メモリによって実現される。メモリ502は、プロセッサ501によって実行されるプログラム、またはプロセッサ501によって用いられるデータなどを記憶する。
入出力I/F503は、プロセッサ501と、第1ドライバ20、第3ドライバ32、カメラ40および第2ドライバ42との間で各種データをやり取りするためのインターフェイスである。
通信I/F504は、応力発光測定装置100と他の装置との間で各種データをやり取りするための通信インターフェイスであり、アダプタまたはコネクタなどによって実現される。なお、通信方式は、無線LAN(Local Area Network)などによる無線通信方式であってもよいし、USB(Universal Serial Bus)などを利用した有線通信方式であってもよい。
コントローラ50には、ディスプレイ60および操作部70が接続される。ディスプレイ60は、画像を表示可能な液晶パネルなどで構成される。操作部70は、応力発光測定装置100に対するユーザの操作入力を受け付ける。操作部70は、典型的には、タッチパネル、キーボード、マウスなどで構成される。
コントローラ50は、第1ドライバ20、第3ドライバ32、カメラ40および第2ドライバ42と通信接続されている。コントローラ50と第1ドライバ20、第3ドライバ32、カメラ40および第2ドライバ42との間の通信は、無線通信で実現されてもよいし、有線通信で実現されてもよい。
<コントローラ50の機能構成>
図3は、コントローラ50の機能構成を説明するためのブロック図である。
図3を参照して、コントローラ50は、応力制御部61、光源制御部62、撮像制御部63、測定制御部64、データ取得部65、およびデータ処理部66を有する。これらは、プロセッサ501がメモリ502に格納されたプログラムを実行することに基づいて実現される機能ブロックである。
応力制御部61は、第1ドライバ20の動作を制御する。具体的には、応力制御部61は、予め設定されている測定条件に従って、第1ドライバ20の動作速度および動作時間などを制御する。第1ドライバ20の動作速度および動作時間を制御することによって、ホルダ10における駆動軸13の回動角度および回動速度などを調整することができる。これにより、スマートフォン1の折り曲げ角度および折り曲げ速度などを調整することができる。
光源制御部62は、第3ドライバ32による光源31の駆動を制御する。具体的には、光源制御部62は、予め設定されている測定条件に基づいて、光源31に供給する電力の大きさおよび光源31への電力の供給時間などを指示するための指令を生成し、生成した指令を第3ドライバ32へ出力する。第3ドライバ32が当該指令に従って光源31に供給する電力を制御することにより、光源31から照射される励起光の光量および励起光の照射時間などを調整することができる。
撮像制御部63は、第2ドライバ42によるカメラ40の移動を制御する。具体的には、撮像制御部63は、予め設定されている測定条件および第2ドライバ42から入力されるカメラ40の位置情報に基づいて、フレキシブルディスプレイ2の所定領域の移動に追従してカメラ40を移動させるための指令を生成する。撮像制御部63は、生成した指令を第2ドライバ42へ出力する。第2ドライバ42が当該指令に従ってカメラ40を移動させることにより、カメラ40のフォーカス位置をフレキシブルディスプレイ2の所定領域の少なくとも1点に維持することができる。
撮像制御部63はさらに、カメラ40による撮像を制御する。具体的には、撮像制御部63は、予め設定されている測定条件に従って、励起光の照射時および荷重印加時において、応力発光体3を撮像するようにカメラ40を制御する。撮像に関する測定条件は、カメラ40のフレームレートを含む。
データ取得部65は、カメラ40の撮像により生成された画像データを取得し、取得した画像データをデータ処理部66へ転送する。
データ処理部66は、荷重印加時におけるカメラ40の撮像により得られた画像データに対して公知の画像処理を施すことにより、応力発光体3の応力発光を測定する。データ処理部66は、例えば、応力発光体3における応力発光強度の分布を示す画像を生成する。データ処理部66は、カメラ40による撮像画像および応力発光体3における応力発光強度の分布を示す画像を含む測定結果をディスプレイ60に表示させることができる。
データ処理部66はさらに、励起光照射時におけるカメラ40により得られた画像データをディスプレイ60に表示させることができる。
測定制御部64は、応力制御部61、光源制御部62、撮像制御部63、データ取得部65およびデータ処理部66を統括的に制御する。具体的には、測定制御部64は、操作部70に入力される測定条件およびサンプルとなるスマートフォン1の情報などに基づいて、各部に対して制御指令を与える。
<フレキシブルデバイスの応力発光測定>
次に、本実施の形態に係る応力発光測定装置100を用いたフレキシブルディスプレイ2の応力発光測定について説明する。
図4は、応力発光測定装置100を用いたフレキシブルディスプレイ2の応力発光測定の処理手順を説明するフローチャートである。
図4を参照して、最初にステップS10により、サンプルとなるスマートフォン1が準備される。スマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2の表面の所定領域には、応力発光体3が配置される。例えば、応力発光体3は、フレキシブルディスプレイ2と同程度のサイズの矩形形状を有している。
応力発光体3は、例えば、応力発光材料を含有する応力発光シートをフレキシブルディスプレイ2の所定領域に貼り付けることによって形成することができる。応力発光材料としては、アルミン酸ストロンチウム、硫化亜鉛、チタン酸バリウム、ケイ酸塩およびリン酸塩からなる群から選択された物質が挙げられる。
ステップS20では、サンプルが応力発光測定装置100のホルダ10(図1参照)にセットされる。図1の例では、第1取付板11の主面11aおよび第2取付板12の主面12aには、サンプルとなるスマートフォン1が、その裏面(フレキシブルディスプレイ2と反対側の面)が接着されることにより取り付けられる。
ステップS20によりサンプルがホルダ10にセットされると、応力発光測定装置100を用いてサンプルの応力発光測定処理が実行される。図4および図5を用いて、応力発光測定装置100による応力発光測定処理の手順について説明する。
図5は、サンプルとなるスマートフォン1および応力発光体3を模式的に示す図である。図5(A)には荷重印加前のスマートフォン1が示され、図5(B)および(C)には荷重印加時のスマートフォン1が示され、図5(D)には荷重印加後のスマートフォン1が示される。
図5(A)に示すように、ホルダ10の第1取付板11の主面11aおよび第2取付板12の主面12aに裏面が接着されることにより、スマートフォン1が取り付けられる。スマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2上には、応力発光体3が配置されている。
図4のステップS30に進み、コントローラ50は、応力発光体3に対して、光源31から励起光を照射することにより、応力発光体3を励起させる(図5(A)参照)。励起光を受けて、応力発光体3が発光状態に遷移する。
次に、図4のステップS40により、コントローラ50は、励起光の照射中、カメラ40により応力発光体3を撮像する(図5(A)参照)。励起光が照明光として応力発光体3に照射されることにより、応力発光体3が識別可能となる。カメラ40は、応力発光体3の画像を撮像する。本願明細書では、カメラ40による応力発光体3の撮像画像のうち、初期状態(一度も荷重が印加されていない状態)の応力発光体3の撮像画像を「第1の撮像画像」とも称する。コントローラ50は、取得された第1の撮像画像をメモリ502(図1参照)に保存するとともに、ディスプレイ60に表示させることができる。
次に、図4のステップS50により、コントローラ50は、第1ドライバ20を駆動させてスマートフォン1を折り畳むことにより、フレキシブルディスプレイ2に荷重(曲げ荷重)を印加する。図5(B)に示すように、第1ドライバ20によって駆動軸13を正方向に回動させることにより、スマートフォン1を折り畳む。図5(B)および(C)では、駆動軸13の正方向の回動に連動して、スマートフォン1が折り畳まれる様子が段階的に示されている。図5(D)には、スマートフォン1が伸ばされる様子が示されている。
図4のステップS60では、コントローラ50は、フレキシブルディスプレイ2に対する荷重印加のタイミングに合わせて、カメラ40により応力発光体3を撮像する。すなわち、カメラ40は、応力発光体3の発光を撮像する。カメラ40による撮像は暗室内にて行なわれる。本願明細書では、カメラ40による応力発光の撮像画像を「応力発光画像」とも称する。コントローラ50は、取得された応力発光画像および、応力発光体3における応力発光強度の分布を示す画像を含む測定結果をディスプレイ60に表示させることができる。
ここで、ホルダ10に支持されたスマートフォン1を折り畳むと、フレキシブルディスプレイ2の曲げの中心部分が図2のZ軸方向およびY軸方向に移動する。具体的には、フレキシブルディスプレイ2の曲げの中心部分は、Y軸方向に平行移動するとともに、Z軸方向に沿ってカメラ40から離れる方向に移動する。一方、スマートフォン1を伸ばすと、曲げの中心部分は、Y軸方向に平行移動するとともに、Z軸方向に沿ってカメラ40に近づく方向に移動する。そのため、カメラ40の位置を固定した場合には、フレキシブルディスプレイ2の所定領域の移動に応じて、カメラ40と当該所定領域との相対位置が変動する。この結果、カメラ40と所定領域の少なくとも1点との間の距離も変動することになる。このときのカメラ40のフォーカス位置が固定されているため、カメラ40と当該少なくとも1点との間の距離が変動すると、カメラ40は当該少なくとも1点にフォーカスを合わせることができず、結果的に当該少なくとも1点に合焦した画像を得ることが困難となることが懸念される。
そこで、コントローラ50は、少なくともカメラ40による撮像時においてカメラ40のフォーカス位置をフレキシブルディスプレイ2の所定領域の少なくとも1点に維持するように、第1ドライバ20および第2ドライバ42の少なくとも一方を制御するように構成される。
このような制御の一態様として、本実施の形態では、コントローラ50は、カメラ40のフォーカス位置をフレキシブルディスプレイ2の所定領域の少なくとも1点に維持するように、第2ドライバ42を制御する。具体的には、第2ドライバ42は、コントローラ50から受ける指令に従って、所定領域の移動に応じて、カメラ40を移動させることにより、カメラ40のフォーカス位置を当該所定領域内の少なくとも1点に維持するように構成される。
図6は、図4のステップS60により取得される応力発光画像を模式的に示す図である。図6に示すように、応力発光画像では、応力発光強度の強さが2次元平面上に明度で表現される。なお、応力発光画像において、応力発光強度の強弱が、色度、彩度および明度の少なくとも1つによって表現されてもよい。図6では、応力発光強度の強弱を便宜的に異なるハッチングで描いている。そのため、撮像画像の右側に、応力発光強度の強度に応じて割り当てられるハッチングの範囲を示すバーを示す。
図6に示すように、応力発光画像には、応力発光パターンが、応力発光体3の横方向(Y軸方向)における中央部分(すなわち、曲げの中心部分)に縦方向(X軸方向)に延びる帯状の形状となって現れる。この応力発光パターンは、フレキシブルディスプレイ2の変形領域と対応している。したがって、撮像画像から応力発光パターンを抽出して解析することにより、フレキシブルディスプレイ2に生じるひずみを可視化および定量化することが可能となる。具体的には、応力発光パターンのうちの応力発光強度が大きい部分はひずみが大きい部分を示し、応力発光強度が小さい部分はひずみが小さい部分を示している。よって、応力発光強度の分布に基づいて、折り曲げられた状態でのフレキシブルディスプレイ2のひずみ量の分布を可視化および定量化することができる。
さらに、上述したスマートフォン1の折り畳み(図5(B)および(C))と、スマートフォン1の伸ばし(図5(D))とを一定周期(第1ドライバ20の動作周期)で繰り返し実行することにより、フレキシブルディスプレイ2に対して曲げ荷重を繰り返し印加することができる。そして、この曲げ伸ばしの繰り返し動作中における応力発光体3の応力発光をカメラ40で撮像することにより、フレキシブルディスプレイ2に加わる繰り返し荷重に対する耐久性を評価することができる。
例えば、ユーザは、サンプルの折り畳み試験中における応力発光強度の時間的変化を観察することができる。ユーザは、操作部70を用いて、応力発光画像内に少なくとも1つの関心領域(ROI:Region of Interest)を設定することができる。コントローラ50(図3のデータ処理部66)は、カメラ40の撮像による画像データを取得すると、画像データに含まれる複数のフレームの各々について、ROI内の応力発光強度に基づく値を算出する。ROI内の応力発光強度に基づく値は、ROI内の応力発光強度を統計的処理または一般的な演算処理により算出することができる。本願明細書では、コントローラ50は、フレームごとにROI内の平均発光強度を算出し、算出した平均発光強度とスマートフォン1の折り曲げ角度との関係を示すグラフをディスプレイ60に表示する。これによると、ユーザは、1回の折り畳み試験の実行中、ディスプレイ60に表示されるグラフを参照することにより、サンプルの折り曲げ角度に応じてROIの応力発光強度がどのように変化するのかをリアルタイムで観察することができる。
また、サンプルの折り畳み試験を繰り返し行なう場合には、複数回の折り畳み試験の間で、ROI内の応力発光強度を比較することができる。図7は、ROI内の応力発光強度と折り曲げ角度との関係を示すグラフの一例を示す図である。図7の縦軸は応力発光強度を示し、横軸はサンプルの折り曲げ角度を示す。図中の波形k1は、フレキシブルディスプレイ2に欠陥が発生していないときの応力発光強度と折り曲げ角度との関係を示すグラフである。応力発光強度は応力発光体3のひずみ量に依存する。すなわち、ひずみ量が最も大きくなる折り曲げ角度A1において、応力発光強度が最大となる。
一方、図中の波形k2は、繰り返し荷重によってフレキシブルディスプレイ2に微細な亀裂または欠けなどの欠陥が生じているときの応力発光強度と折り曲げ角度との関係を示すグラフである。フレキシブルディスプレイ2に欠陥が生じると、この欠陥部分に応力が集中することによって、欠陥部分の応力発光強度は周辺よりも強くなる。そのため、応力発光強度の分布に変化が生じる。
波形k2では、フレキシブルディスプレイ2に欠陥が発生したことに起因して、波形k1と比較して、応力発光強度が最大値となるときの折り曲げ角度が変化している。なお、この折り曲げ角度の変化は、フレキシブルディスプレイ2に生じた欠陥の位置などに依存する。
コントローラ50は、1回の折り畳み試験ごとに、ROI内の応力発光強度とスマートフォン1の折り曲げ角度との関係を示すグラフに基づいて、応力発光強度の最大値およびそのときの折り曲げ角度を検出し、検出値をメモリ502に記録する。
なお、応力発光体3に繰り返し荷重を印加すると、応力発光体の発光量が徐々に減少する。そのため、スマートフォン1の折り畳み試験をN回(Nは1以上の整数)行なうと、コントローラ50は、図4のステップS70に進み、応力発光体3に対して励起光を照射することにより、応力発光体3を再び励起させる(図5(A)参照)。そして、コントローラ50は、図4のステップS80に進み、励起光照射中の応力発光体3をカメラ40により撮像する(図5(A))。すなわち、コントローラ50は、荷重印加後に応力発光体3を再び励起させる際に、励起光を照明光として利用して、荷重が除去された後の応力発光体3を撮像する。本願明細書では、カメラ40による応力発光体3の撮像画像のうち、荷重が除去されている状態の応力発光体3の撮像画像を「第2の撮像画像」とも称する。コントローラ50は、取得された第2の撮像画像をディスプレイ60に表示させることができる。
この第2の撮像画像は、荷重が印加されていない状態の応力発光体3を撮像したものであるため、本来、ステップS40により取得された第1の撮像画像と同じものとなる。なお、第1の撮像画像とは、初期状態の応力発光体3の撮像画像である。
ただし、第2の撮像画像においては、第1の撮像画像からの変化が現れる場合がある。この第1の撮像画像に対する第2の撮像画像の変化は、応力発光体3の外観上の変化であり、荷重の印加によって生じた、フレキシブルディスプレイ2に生じた微細な亀裂または欠けなどの局所的な欠陥を表している。したがって、第1の撮像画像と第2の撮像画像とを比較して応力発光体3の外観上の変化を捉えることにより、サンプルにおける局所的な欠陥の発生を検知することが可能となる。
図4のステップS90では、コントローラ50は、ステップS80により取得された第2の撮像画像を、ステップS40により取得された第1の撮像画像およびステップS60により取得された応力発光画像と紐付けて、サンプルの画像データとしてメモリ502(図1参照)に保存する。メモリ502に保存された画像データ(応力発光画像、第1および第2の撮像画像)を用いて、サンプルに発生した欠陥を検知することができる。
上述したように、応力発光画像によれば、応力発光強度の時間的変化を可視化することができるため、サンプルの局所的な欠陥に起因した応力発光強度分布の変化および、応力発光強度が最大値となるときの折り曲げ角度の変化を捉えることができる。これにより、折り畳み動作中のどのタイミングでサンプルに欠陥が発生したのかを検知することが可能となる。ただし、遮光した状態で応力発光体3の発光を撮像するため、その欠陥が発生した箇所を正確に捉えることは困難である。
一方、第2の撮像画像は、励起光を照明光として利用して応力発光体3を撮像して得られる画像であるため、サンプルの欠陥に基づいた、第1の撮像画像からの外観上の変化を可視化することができる。よって、この外観上の変化に基づいて、サンプルの欠陥が発生した箇所を正確に捉えることが可能となる。したがって、応力発光画像と、第1および第2の撮像画像とを紐付けて保存することにより、これらの画像を用いて、サンプルに欠陥が発生したタイミングに加えて、欠陥の発生箇所を検知することが可能となる。
<応力発光測定処理の具体的な実施態様>
以下、本実施の形態に係る応力発光測定装置100における応力発光測定処理をさらに詳しく述べるために、具体的な実施態様を説明する。
本実施の形態に係る応力発光測定処理は、例えば以下に示す実施態様を含むことができる。ただし、本実施の形態に係る応力発光測定処理は、本開示の効果が得られる限り、以下の実施態様に限定されない。
図8は、一実施態様に従う応力発光測定処理における、光源31、カメラ40およびホルダ10の動作を説明するためのタイミングチャートである。図8には、光源31における励起光の照射タイミングを示す波形、カメラ40の撮像タイミングを示す波形、および第1ドライバ20によるホルダ10の動作タイミングを示す波形が示されている。
ホルダ10の動作タイミングは「試験回数」で表されている。ホルダ10によりサンプル(スマートフォン1)を折り曲げる動作を1回の折り畳み試験(以下、単に「試験」とも称する)とする。したがって、第1ドライバ20の1動作周期の前半に、1回の試験が行なわれる。1回の試験後、ホルダ10によりサンプルを伸ばすことにより、サンプルが折り畳んだ状態から平らな状態に戻される。図8の例では、試験を複数回繰り返し行なうこととする。図8では、1回目の試験を「T1」、2回目の試験を「T2」とも表記する。
応力発光測定装置100は、複数回の試験の実行中、応力発光体3の発光を測定する。1回の応力発光測定処理において、コントローラ50は、光源31から応力発光体3に励起光を照射するステップ(図5のS30)と、励起光照射中の応力発光体3をカメラ40により撮像するステップ(図5のS40)と、サンプルに荷重を印加するステップ(図5のS50)と、応力発光体3の発光をカメラ40により撮像するステップ(図5のS60)とを実行する。
図8では、時刻t3で試験T1が開始される。この時刻t3よりも前の時刻t1から時刻t2までの時間Tiに、光源31から応力発光体3に励起光が照射される。時刻t1から時刻t2までの時間Tiは光源31の照射時間に相当し、時刻t2から時刻t3までの時間Twは励起光の照射を終えてから測定開始までの待機時間に相当する。照射時間Tiでは、カメラ40により、初期状態の応力発光体3が撮像される。図8の例では、初期状態の撮像画像(第1の撮像画像)を「撮像画像0」と表記する。コントローラ50は、取得され撮像画像0のデータをディスプレイ60(図1参照)に表示するとともに、メモリ502(図1参照)に保存する。
時刻t3にて試験T1が開始されると、カメラ40による応力発光の撮像が開始される。測定時間Tmでは、カメラ40による撮像は、時刻t4で試験T1が終了する時刻t4まで継続して実行される。すなわち、時刻t3から時刻t4までの時間Tmは、応力発光の測定時間に相当する。
測定時間Tmでは、カメラ40のフレームレートに応じた枚数の静止画像が生成される。フレームレートは、動画処理において単位時間当たりに処理されるフレーム数(静止画像)である。カメラ40の露光時間をTeとし、露光後から次のフレームの露光までのインターバル時間Tiとすると、フレーム数mは、m=Tm/(Te+Tr)で表すことができる。図8の例では、k回目の試験Tkにおいて取得される応力発光画像を「応力発光画像k」と表記する。コントローラ50は、生成された応力発光画像kのデータをディスプレイ60に表示するとともに、メモリ502に保存する。
コントローラ50は、メモリ502に順次格納される応力発光画像に基づいて、ROI内の応力発光強度とサンプルの折り曲げ角度との関係を示すグラフ(図7参照)を生成する。コントローラ50はまた、応力発光強度の最大値およびそのときの折り曲げ角度を検出し、検出値をメモリ502に記録する。
試験T2が開始される時刻t7よりも前の時刻t5から時刻t6までの時間Ti(照射時間)では、光源31から応力発光体3に励起光が照射されるとともに、カメラ40により応力発光体3が撮像される。図8の例では、k回目の試験Tkによる荷重が除去された後の撮像画像(第2の撮像画像)を「撮像画像k」と表記する。コントローラ50は、取得された撮像画像kのデータをディスプレイ60に表示するとともに、撮像画像0および応力発光画像kのデータと紐付けてメモリ502に保存する。
なお、図8では、1回の試験を行なうごとに応力発光体3に励起光を照射する構成を例示したが、試験を複数回行なうごとに、応力発光体3に励起光を照射する構成としてもよい。
本実施態様によれば、応力発光体3を励起するための励起光を照明光として利用して応力発光体3を撮像することにより、第1および第2の撮像画像を取得するための照明光源の設置が不要となる。したがって、応力発光測定装置100の部品点数が増えることを防ぐことができる。
さらに、本実施態様によれば、応力発光体3を励起する時間を利用して応力発光体3を撮像することができるため、第1および第2の撮像画像を取得するために応力発光測定処理に要する時間が増えることを防止することができる。
コントローラ50は、応力発光測定処理の実行中にメモリ502に格納される撮像画像1、応力発光画像kおよび撮像画像kに基づいて、折り畳み動作中のどのタイミングで欠陥が発生したのか、および、フレキシブルディスプレイ2のどの部分に欠陥が発生したのかを判定する。図9は、本実施態様に従う応力発光測定処理においてコントローラ50により実行される判定処理の手順を説明するフローチャートである。
図9を参照して、コントローラ50は、ステップS100により、撮像画像0のデータをメモリ502に保存する。次に、コントローラ50は、試験Tkの実行中、ステップS110にて応力発光画像kを取得すると、1回の試験における、ROI内の応力発光強度とサンプルの折り曲げ角度との関係を示すグラフ(図7参照)を作成し、作成したグラフをディスプレイ60に表示する。コントローラ50はまた、ステップS130により、グラフから、応力発光強度の最大値および、応力発光強度が最大値となるときの折り曲げ角度を検出し、検出値をメモリ502に保存する。
次に、コントローラ50は、ステップS140にて撮像画像kを取得すると、撮像画像kのデータを、撮像画像0および応力発光画像kのデータと紐付けてメモリ502に保存する。
コントローラ50は、ステップS150により、撮像画像0と撮像画像kとを比較することにより、撮像画像kに撮像画像0からの変化、すなわち、応力発光体3に初期状態からの外観上の変化(欠陥)が生じているか否かを判定する。ステップS150では、コントローラ50は、公知の画像処理技術を用いることにより、撮像画像0に対する、撮像画像kの変形量を検出する。コントローラ50は、検出された変形量が予め定められている許容範囲を超えている場合、応力発光体3の外観に変化が生じていると判定する。
撮像画像kに変化が生じていると判定されると(S160にてYES)、コントローラ50は、ステップS170に進み、直近の試験Tk−1において得られた折り曲げ角度の検出値を、応力発光体3の外観に変化が生じたときの折り曲げ角度と特定する。
コントローラ50は、ステップS180では、ステップS150にて検出された応力発光体3の変形量と、ステップS170にて特定された折り曲げ角度とを紐付けてメモリ502に保存する。
<応力発光体の他の構成例>
上述した実施の形態では、応力発光体3として、応力発光シートをフレキシブルディスプレイ2の表面の所定領域に貼り付ける構成を例示したが、応力発光シートの膜厚が厚くなると、応力発光シートに微小なひずみが現れにくくなるため、応力発光体3の撮像画像において応力発光体3の外観の変化を捉えにくくなることが懸念される。
以下では、応力発光体3の他の構成例として、応力発光材料を含有するマーカをフレキシブルディスプレイ2の表面の所定領域に配置する構成を説明する。
図10は、図4のステップS10のサンプル準備処理を説明するための図である。図10には、サンプルとなるスマートフォン1および転写シート30の平面図が模式的に示される。図10(C)に示すように、スマートフォン1は、フレキシブルディスプレイ2の幅方向における中央線の両端に設けられた一対のヒンジ部1a,1bを支点として折り畳み可能に構成されている。
サンプル準備処理では、図10(A)に示すように、応力発光材料を含有させたマーカ3Aが形成された転写シート30を準備する。図10(A)の例では、転写シート30は、フレキシブルディスプレイ2と同程度のサイズの矩形形状を有している。転写シート30は、一方の表面である第1面30Aと、他方の表面である第2面30Bとを有する。
転写シート30の第1面30Aに、インクまたは塗料を用いてマーカ3Aが形成される。転写シート30におけるマーカ3Aの形成には、一般的な印刷技術を用いることができる。マーカ3Aを形成するために用いるインクまたは塗料は、応力発光材料を所定の割合で含んでいる。
次に、スマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2の表面にマーカ3Aが転写される。具体的には、図10(B)に示すように、サンプルとなるスマートフォン1のフレキシブルディスプレイ2の表面に、転写シート30の第1面30Aを接触させて押圧する。その後、フレキシブルディスプレイ2と転写シート30とを引き離すことによって、図10(C)に示すように、転写シート30の第1面30A上のマーカ3Aが、フレキシブルディスプレイ2の表面に転写される。
なお、フレキシブルディスプレイ2の表面にマーカ3Aを形成する方法は、上述した転写シート30を用いた転写印刷に限定されない。例えば、フレキシブルディスプレイ2の表面に直接的に、応力発光材料を含有させたインクを用いてマーカ3Aを印刷する方法を採用してもよい。
フレキシブルディスプレイ2の横方向(図10(C)の左右方向)における中央部分には、スマートフォン1の折り畳み操作時に変形領域が形成される。この変形領域は、縦方向(図10(C)の上下方向)に延びる帯状の形状を有している。マーカ3Aは、少なくとも変形領域上に位置するように、フレキシブルディスプレイ2に接着される。図10(C)の例では、フレキシブルディスプレイ2の全域を覆うようにマーカ3Aが配置されている。
マーカ3Aはパターンを有しており、フレキシブルディスプレイ2の表面上の位置を特定するための指標として機能し得る。図10の例では、マーカ3Aは、格子柄のパターンを有している。フレキシブルディスプレイ2の所定領域には、格子柄を構成する縦縞および横縞によって形成される複数の交点がマトリクス状に配置されている。個々の交点の位置から、フレキシブルディスプレイ2の表面上の位置を特定することができる。
サンプルにマーカ3Aが転写されると、応力発光測定装置100(図1参照)を用いてサンプルの応力発光測定処理(図4のステップS20〜S90)が実行される。本構成例では、図4のステップS40,S80において、励起光を照明光として利用して、カメラ40によりマーカ3Aが撮像される。
図11は、カメラ40による第1および第2の撮像画像の一例を模式的に示す図である。図11(A)は第1の撮像画像が模式的に示し、図11(B)には第2の撮像画像を模式的に示している。
図11(A)に示すように、第1の撮像画像には、マーカ3Aが有する格子柄のパターンが現れる。第2の撮像画像においても同一のパターンが現れる。
ただし、サンプルに微細な亀裂または欠けなどの欠陥が生じている場合には、第2の撮像画像において、このパターンに変化が現れる。図11(B)の例では、格子柄の発光パターンの一部分にモアレ(干渉縞)Mが生じている。このモアレMが生じている部分では、パターンに変形(ひずみ)が発生している。このパターンのひずみに対応する部分において、フレキシブルディスプレイ2に欠陥が発生していると判断することができる。
詳細には、図11(A)および図11(B)を対比して明らかなように、繰り返し荷重によりフレキシブルディスプレイ2に発生した欠陥によって、マーカ3Aのパターンに変形(ひずみ)が現れる。そして、マーカ3Aのパターンが変形している部分は、フレキシブルディスプレイ2の欠陥が発生している部分に対応している。したがって、第1の撮像画像と第2の撮像画像とを比較して、マーカ3Aが有するパターンのひずみを抽出することにより、フレキシブルディスプレイ2のどの部分において欠陥が発生しているのかを特定することができる。
すなわち、本構成例において、マーカ3Aは、スマートフォン1の折り畳み動作中にフレキシブルディスプレイ2に生じる応力の時間的変化を測定するための指標となるとともに、フレキシブルディスプレイ2における欠陥の発生箇所を特定するための指標となり得る。本変更例では、マーカ3Aを格子柄のパターンとしたことにより、マーカ3Aの発光パターンには異常ひずみの発生部分に依存したモアレが現れる。そのため、欠陥の発生部分を容易かつ正確に特定することができる。
なお、マーカ3Aが有するパターンは、サンプルの欠陥の発生箇所に依存してパターンが変形する構成であればよい。例えば、図12に示すように、マーカ3Aは、フレキシブルディスプレイ2の曲げ中心を中心として同心円状に配置された複数の円環からなるパターンを有するように構成してもよい。または、図13に示すように、マーカ3Aは、フレキシブルディスプレイ2の表面にマトリクス状に配置された複数のドットからなるパターンを有するように構成してもよい。
上述したように、フレキシブルディスプレイ2の表面の所定領域に応力発光シートを配置する構成では、応力発光シートの膜厚によっては、応力発光シートに微小なひずみが現れにくくなることが懸念される。一方、本構成例では、フレキシブルディスプレイ2の表面に、パターンを有するマーカ3Aを形成することにより、パターンに微小なひずみが現れやすくなる。その結果、フレキシブルディスプレイ2における欠陥の発生を、より早い段階で検知することが可能となる。また、パターンが変形した部分は、欠陥が発生した部分と密接に関連付いているため、フレキシブルディスプレイ2のどの部分で欠陥が発生し始めたのかを容易に特定することができる。
なお、本構成例においても、荷重が除去された後の第2の撮像画像からフレキシブルディスプレイ2に欠陥が発生していると判断された場合には、メモリ502の記憶内容を参照することにより、励起光を照射する直近に行なわれた折り畳み試験において、応力発光強度が最大値となるときの折り曲げ角度の検出値を取得することができる。これによると、フレキシブルディスプレイ2に欠陥が発生したときの折り曲げ角度を特定することができる。例えば、直近の折り畳み試験において図7中の波形k2のようなグラフが取得されていた場合には、波形k2から取得される応力発光強度が最大値となるときの折り曲げ角度A2のときに欠陥が発生したと判断することができる。
(その他の構成例)
上述した実施の形態では、フレキシブルデバイス搭載製品として、フレキシブルディスプレイを搭載した折り畳み型のスマートフォンを例示したが、フレキシブルデバイス搭載製品には、巻き付け型または巻取り型のフレキシブルデバイスを備えた製品も存在する。このような製品の変形試験を行なう場合、荷重印加機構は、巻き付けまたは巻き取り操作時にフレキシブルデバイスに印加される荷重を再現するように構成することができる。
[態様]
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
(第1項)一態様に係る応力発光測定方法は、サンプルの表面に応力発光体を配置するステップと、応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得するステップと、サンプルに荷重を印加するステップと、応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得するステップと、荷重が除去された後の応力発光体に励起光を照射するステップと、励起光の照射中に荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得するステップと、応力発光画像に、第1の撮像画像および第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存するステップとを備える。
第1項に記載の応力発光測定方法によれば、荷重が除去された後の応力発光体には、荷重印加時に生じたサンプルの欠陥に由来する外観上の変化(変形)が現れる。したがって、荷重が除去された後の応力発光体を撮像することにより、応力発光体の初期状態(一度も荷重が印加されていない状態)に対して外観が変形している部分を捉えることができる。この外観上の変化に基づいて、サンプルの欠陥の発生および欠陥の発生箇所を検知することができる。さらに、第1および第2の撮像画像と紐付けられた応力発光画像から観察される、荷重印加中の応力発光の時間的変化に基づいて、どのタイミングでサンプルに欠陥が発生したのかを検知することができる。
また、励起光を照明光として利用して応力発光体を撮像することにより、第1および第2の撮像画像を取得するための照明光源の設置が不要となる。したがって、応力発光測定装置の部品点数を増やすことなく、上記応力発光測定方法を実現することができる。
さらに、応力発光体を励起する時間を利用して応力発光体を撮像することができるため、第1および第2の撮像画像を取得するために応力発光測定に要する時間が増えることを防止することができる。
(第2項)第1項に記載の応力発光測定方法において、応力発光体は、サンプルの表面上の位置が特定され得るパターンを有するマーカである。
第2項に記載の応力発光測定方法によれば、マーカは、サンプルの欠陥が生じたタイミングを特定するための指標となるとともに、サンプルにおける欠陥の発生箇所を特定するための指標となり得る。これによると、サンプルにおける欠陥の発生箇所および発生タイミングを容易に検知することができる。
(第3項)第1項または第2項に記載の応力発光測定方法は、第1の撮像画像に対する第2の撮像画像の変化に基づいて、サンプルに生じた欠陥を判定するステップをさらに備える。
第3項に記載の応力発光測定方法によれば、荷重が除去された後の応力発光体において、初期状態(一度も荷重が印加されていない状態)に対して外観が変形している部分を捉えることができる。
(第4項)第3項に記載の応力発光測定方法において、サンプルは、可撓性を有する。印加するステップは、サンプルに曲げ荷重を印加するステップを含む。応力発光測定方法は、応力発光画像に基づいて、応力発光強度とサンプルの曲げ角度との関係を取得するステップと、関係を参照することにより、欠陥が生じたときの曲げ角度を特定するステップとをさらに備える。
第4項に記載の応力発光測定方法によれば、サンプルに生じる応力とサンプルの曲げ角度との関係を取得することができるため、サンプルに欠陥が生じたときの曲げ角度を検知することができる。
(第5項)第1項から第4項に記載の応力発光測定方法において、印加するステップは、サンプルに繰り返し荷重を印加するステップを含む。第2の撮像画像を取得するステップは、所定回数の繰り返し荷重が印加されるごとに、荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得するステップを含む。
第5項に記載の応力発光測定方法によれば、サンプルに繰り返し荷重を印加する間に定期的に応力発光体を観察することにより、サンプルの欠陥の発生を早期に検知することができる。
(第6項)一態様に係る応力発光測定装置は、サンプルの表面に配置された応力発光体の発光を測定する。応力発光測定装置は、応力発光体に励起光を照射するように構成された光源と、サンプルに荷重を印加するように構成された荷重印加機構と、応力発光体を撮像するように構成されたカメラと、光源、荷重印加機構およびカメラを制御するコントローラと、メモリとを備える。コントローラは、励起光の照射中に応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得する。コントローラは、応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得する。コントローラは、荷重が除去された後の応力発光体に励起光を照射する。コントローラは、励起光の照射中に荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得し、かつ、応力発光画像に第1の撮像画像および第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存する。
第6項に記載の応力発光測定装置によれば、荷重が除去された後の応力発光体を撮像した第2の撮像画像と、初期状態の応力発光体を撮像した第1の撮像画像とを比較することにより、サンプルの欠陥に由来する外観上の変化を捉えることができる。さらに、第1および第2の撮像画像と紐付けられた応力発光画像から観察される、荷重印加中の応力発光の時間的変化に基づいて、どのタイミングでサンプルに欠陥が発生したのかを検知することができる。
また、励起光を照明光として利用して応力発光体を撮像することにより、第1および第2の撮像画像を取得するための照明光源の設置が不要となる。したがって、応力発光測定装置の部品点数が増えることを防止することができる。さらに、応力発光体を励起する時間を利用して応力発光体を撮像することができるため、第1および第2の撮像画像を取得するために応力発光測定に要する時間が増えることを防止することができる。
(第7項)第6項に記載の応力発光測定装置において、応力発光体は、サンプルの表面上の位置が特定され得るパターンを有するマーカである。
第7項に記載の応力発光測定装置によれば、マーカは、サンプルの欠陥が生じたタイミングを特定するための指標となるとともに、サンプルにおける欠陥の発生箇所を特定するための指標となり得る。これにより、サンプルにおける欠陥の発生箇所および発生タイミングを容易に検知することができる。
(第8項)第6項または第7項に記載の応力発光測定装置において、コントローラは、第1の撮像画像に対する第2の撮像画像の変化に基づいて、サンプルに生じた欠陥を判定する。
第8項に記載の応力発光測定装置によれば、荷重が除去された後の応力発光体において、初期状態に対して外観が変形している部分を捉えることができるため、サンプルの欠陥の発生および欠陥の発生箇所を検知することができる。
(第9項)第8項に記載の応力発光測定装置において、サンプルは、可撓性を有する。荷重印加機構は、サンプルに曲げ荷重を印加するように構成される。コントローラは、応力発光画像に基づいて、応力発光強度とサンプルの曲げ角度との関係を取得するとともに、当該関係を参照することにより、欠陥が生じたときの曲げ角度を特定する。
第9項に記載の応力発光測定装置によれば、サンプルに繰り返し荷重を印加する間に定期的に応力発光体を観察することにより、サンプルの欠陥の発生を早期に検出することができる。
(第10項)第6項から第9項に記載の応力発光測定装置において、荷重印加機構は、サンプルに繰り返し荷重を印加するように構成される。コントローラは、所定回数の繰り返し荷重が印加されるごとに、荷重が除去された状態の応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得する。
第10項に記載の応力発光測定装置によれば、サンプルに繰り返し荷重を印加する間に定期的に応力発光体を観察することにより、サンプルの欠陥の発生を早期に検知することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 スマートフォン、2 フレキシブルディスプイレイ、3 応力発光体、3A マーカ、10 ホルダ、11 第1取付板、12 第2取付板、13 駆動軸、20 第1ドライバ、30 転写シート、31 光源、32 第3ドライバ、40 カメラ、42 第2ドライバ、50 コントローラ、60 ディスプレイ、61 応力制御部、62 光源制御部、63 撮像制御部、64 測定制御部、65 データ取得部、66 データ処理部、70 操作部、100 応力発光測定装置、501 プロセッサ、502 メモリ、503 入出力I/F、504 通信I/F、M モアレ。

Claims (10)

  1. サンプルの表面に応力発光体を配置するステップと、
    前記応力発光体に励起光を照射するステップと、
    前記励起光の照射中に前記応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得するステップと、
    前記サンプルに荷重を印加するステップと、
    前記応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得するステップと、
    前記荷重が除去された後の前記応力発光体に前記励起光を照射するステップと、
    前記励起光の照射中に前記荷重が除去された状態の前記応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得するステップと、
    前記応力発光画像に、前記第1の撮像画像および前記第2の撮像画像を紐付けてメモリに保存するステップとを備える、応力発光測定方法。
  2. 前記応力発光体は、前記サンプルの表面上の位置が特定され得るパターンを有するマーカである、請求項1に記載の応力発光測定方法。
  3. 前記第1の撮像画像に対する前記第2の撮像画像の変化に基づいて、前記サンプルに生じた欠陥を判定するステップをさらに備える、請求項1または2に記載の応力発光測定方法。
  4. 前記サンプルは、可撓性を有しており、
    前記印加するステップは、前記サンプルに曲げ荷重を印加するステップを含み、
    前記応力発光画像に基づいて、応力発光強度と前記サンプルの曲げ角度との関係を取得するステップと、
    前記関係を参照することにより、前記欠陥が生じたときの前記曲げ角度を特定するステップとをさらに備える、請求項3に記載の応力発光測定方法。
  5. 前記印加するステップは、前記サンプルに繰り返し荷重を印加するステップを含み、
    前記第2の撮像画像を取得するステップは、所定回数の前記繰り返し荷重が印加されるごとに、前記荷重が除去された状態の前記応力発光体を撮像することにより、前記第2の撮像画像を取得するステップを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の応力発光測定方法。
  6. サンプルの表面に配置された応力発光体の発光を測定する応力発光測定装置であって、
    前記応力発光体に励起光を照射するように構成された光源と、
    前記サンプルに荷重を印加するように構成された荷重印加機構と、
    前記応力発光体を撮像するように構成されたカメラと、
    前記光源、前記荷重印加機構および前記カメラを制御するコントローラと、
    メモリとを備え、
    前記コントローラは、
    前記励起光の照射中に前記応力発光体を撮像することより、第1の撮像画像を取得し、
    前記応力発光体の応力発光を撮像することにより、応力発光画像を取得し、
    前記荷重が除去された後の前記応力発光体に前記励起光を照射し、
    前記励起光の照射中に前記荷重が除去された状態の前記応力発光体を撮像することにより、第2の撮像画像を取得し、かつ、
    前記応力発光画像に、前記第1の撮像画像および前記第2の撮像画像を紐付けて前記メモリに保存する、応力発光測定装置。
  7. 前記応力発光体は、前記サンプルの表面上の位置が特定され得るパターンを有するマーカである、請求項6に記載の応力発光測定装置。
  8. 前記コントローラは、前記第1の撮像画像に対する前記第2の撮像画像の変化に基づいて、前記サンプルに生じた欠陥を判定する、請求項6または7に記載の応力発光測定装置。
  9. 前記サンプルは、可撓性を有しており、
    前記荷重印加機構は、前記サンプルに曲げ荷重を印加するように構成され、
    前記コントローラは、
    前記応力発光画像に基づいて、応力発光強度と前記サンプルの曲げ角度との関係を取得し、
    前記関係を参照することにより、前記欠陥が生じたときの前記曲げ角度を特定する、請求項8に記載の応力発光測定装置。
  10. 前記荷重印加機構は、前記サンプルに繰り返し荷重を印加するように構成され、
    前記コントローラは、
    所定回数の前記繰り返し荷重が印加されるごとに、前記荷重が除去された状態の前記応力発光体を撮像することにより、前記第2の撮像画像を取得する、請求項6から9のいずれか1項に記載の応力発光測定装置。
JP2020066648A 2020-04-02 2020-04-02 応力発光測定方法および応力発光測定装置 Active JP7334664B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020066648A JP7334664B2 (ja) 2020-04-02 2020-04-02 応力発光測定方法および応力発光測定装置
US17/219,186 US11704786B2 (en) 2020-04-02 2021-03-31 Stress luminescence measurement method and stress luminescence measurement device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020066648A JP7334664B2 (ja) 2020-04-02 2020-04-02 応力発光測定方法および応力発光測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021162525A true JP2021162525A (ja) 2021-10-11
JP7334664B2 JP7334664B2 (ja) 2023-08-29

Family

ID=77922843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020066648A Active JP7334664B2 (ja) 2020-04-02 2020-04-02 応力発光測定方法および応力発光測定装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11704786B2 (ja)
JP (1) JP7334664B2 (ja)

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH041551A (ja) * 1990-04-18 1992-01-07 Hitachi Maxell Ltd 薄膜の機械強度試験装置
JP3314083B1 (ja) * 1999-08-06 2002-08-12 ユニバーシティ・オブ・フロリダ ひずみ解析における発光性脆性コーティング
JP2007510913A (ja) * 2003-11-05 2007-04-26 イノヴェイティブ サイエンティフィック ソリューションズ,インコーポレイテッド 表面接触力を判定するための方法
JP2009092644A (ja) * 2007-09-21 2009-04-30 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 構造体の欠陥を検知するための方法及びシステム
JP2010190865A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 応力発光解析装置、応力発光解析方法、応力発光解析プログラムおよび記録媒体
JP2011127992A (ja) * 2009-12-17 2011-06-30 Japan Fine Ceramics Center 構造物の歪・応力計測方法、歪・応力センサ、及びその製造方法
KR20130115678A (ko) * 2012-04-13 2013-10-22 한국세라믹기술원 세라믹 재료의 선 균열 측정장치 및 그 측정방법
US20150103333A1 (en) * 2013-10-10 2015-04-16 GunJin Yun Apparatus for quantitative measurements of stress distributions from mechanoluminescence materials
JP2015075477A (ja) * 2013-10-11 2015-04-20 独立行政法人産業技術総合研究所 応力発光評価装置並びに応力発光評価方法
JP2016180637A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 株式会社日立製作所 欠陥検査装置および方法
JP2018163083A (ja) * 2017-03-27 2018-10-18 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 歪み測定装置、歪み測定方法及び歪み測定プログラム
CN109764992A (zh) * 2018-12-27 2019-05-17 西安交通大学 一种用于3d打印氧化锆陶瓷结构的残余应力无损检测方法
JP2019158437A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 残留応力算出方法、残留応力算出装置、及び残留応力算出プログラム
JP2020034466A (ja) * 2018-08-31 2020-03-05 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 応力発光計測装置及び応力発光計測方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5817945A (en) * 1996-04-15 1998-10-06 Mcdonnell Douglas System and method of determining strain
JP3709430B2 (ja) * 2000-02-02 2005-10-26 独立行政法人産業技術総合研究所 応力発光材料を用いた応力または応力分布の測定方法
AT411496B (de) * 2002-01-25 2004-01-26 Gornik Erich Dipl Ing Dr Verfahren und einrichtung zum optischen testen von halbleiterbauelementen
JPWO2003078889A1 (ja) * 2002-03-18 2005-07-14 独立行政法人科学技術振興機構 発光素子、表示装置、および応力センサ
US6943869B2 (en) * 2002-10-04 2005-09-13 Resesarch Foundation, Inc. Method and apparatus for measuring strain using a luminescent photoelastic coating
DE112006002049B4 (de) * 2005-08-03 2013-09-19 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Zu messendes Material für eine Stressanalyse, beschichtende Flüssigkeit zum Bilden einer Filmschicht auf dem zu messenden Material und stress-induziert lumineszierende Struktur
US7444882B2 (en) * 2005-12-06 2008-11-04 Geoffrey Woo Material failure prediction/stress/strain detection method and system using deformation luminescence
US7700928B2 (en) * 2007-01-25 2010-04-20 Etaluma, Inc. Apparatus and method for interleaving detection of fluorescence and luminescence
US20120100666A1 (en) * 2008-12-10 2012-04-26 Applied Materials Italia S.R.L. Photoluminescence image for alignment of selective-emitter diffusions
WO2011062279A1 (ja) * 2009-11-20 2011-05-26 独立行政法人産業技術総合研究所 欠陥を検査する方法、欠陥の検査を行ったウエハまたはそのウエハを用いて製造された半導体素子、ウエハまたは半導体素子の品質管理方法及び欠陥検査装置
JP2012083147A (ja) * 2010-10-08 2012-04-26 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥分類システム及び欠陥分類装置及び画像撮像装置
US9085052B1 (en) * 2011-05-05 2015-07-21 The Boeing Company Structural repair having optical witness and method of monitoring repair performance
US9046353B2 (en) * 2011-08-02 2015-06-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy System and method for remote full field three-dimensional displacement and strain measurements
US20130082191A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Stress-sensitive material and methods for using same
WO2013144788A1 (en) * 2012-03-26 2013-10-03 Technion Research And Development Foundation Ltd. A platform unit for combined sensing of pressure, temperature and humidity
KR101465156B1 (ko) * 2013-10-01 2014-11-26 한국표준과학연구원 최대 변형률 측정을 위한 fbg 센서, 제조방법 및 사용방법
US9784656B2 (en) * 2014-03-10 2017-10-10 Cool Clubs, LLC Methods and apparatus for measuring properties of a cantilevered member
US20150267107A1 (en) * 2014-03-20 2015-09-24 Jiahua Zhu Full field strain sensors using mechanoluminescence materials
WO2016047093A1 (ja) * 2014-09-25 2016-03-31 日本電気株式会社 状態判定装置および状態判定方法
US9873527B2 (en) * 2015-03-26 2018-01-23 The Boeing Company System and method to map a thermal profile of a composite structure using a thermochromatic witness assembly
KR101702438B1 (ko) * 2015-07-13 2017-02-06 울산대학교 산학협력단 산화텅스텐 나노입자가 코팅된 탄소나노튜브 산화그래핀 하이브리드 기반 플렉시블 이산화질소 가스센서 및 그 제조방법
JP6654159B2 (ja) * 2017-01-24 2020-02-26 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 歪み量算出装置、歪み量算出方法及び歪み量算出プログラム
CN107144525A (zh) * 2017-05-27 2017-09-08 中国矿业大学(北京) 复杂非均质结构体的动态应力场演化规律的测量方法
JP6912790B2 (ja) 2017-08-24 2021-08-04 ユアサシステム機器株式会社 変形試験器
US11486774B2 (en) * 2018-10-19 2022-11-01 The Florida State University Research Foundation, Inc. Mechanoluminescent devices, articles, and methods
KR102667359B1 (ko) * 2018-12-04 2024-05-21 삼성디스플레이 주식회사 검사 장치 및 이의 구동 방법

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH041551A (ja) * 1990-04-18 1992-01-07 Hitachi Maxell Ltd 薄膜の機械強度試験装置
JP3314083B1 (ja) * 1999-08-06 2002-08-12 ユニバーシティ・オブ・フロリダ ひずみ解析における発光性脆性コーティング
JP2007510913A (ja) * 2003-11-05 2007-04-26 イノヴェイティブ サイエンティフィック ソリューションズ,インコーポレイテッド 表面接触力を判定するための方法
JP2009092644A (ja) * 2007-09-21 2009-04-30 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 構造体の欠陥を検知するための方法及びシステム
JP2010190865A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 応力発光解析装置、応力発光解析方法、応力発光解析プログラムおよび記録媒体
JP2011127992A (ja) * 2009-12-17 2011-06-30 Japan Fine Ceramics Center 構造物の歪・応力計測方法、歪・応力センサ、及びその製造方法
KR20130115678A (ko) * 2012-04-13 2013-10-22 한국세라믹기술원 세라믹 재료의 선 균열 측정장치 및 그 측정방법
US20150103333A1 (en) * 2013-10-10 2015-04-16 GunJin Yun Apparatus for quantitative measurements of stress distributions from mechanoluminescence materials
JP2015075477A (ja) * 2013-10-11 2015-04-20 独立行政法人産業技術総合研究所 応力発光評価装置並びに応力発光評価方法
JP2016180637A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 株式会社日立製作所 欠陥検査装置および方法
JP2018163083A (ja) * 2017-03-27 2018-10-18 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 歪み測定装置、歪み測定方法及び歪み測定プログラム
JP2019158437A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 残留応力算出方法、残留応力算出装置、及び残留応力算出プログラム
JP2020034466A (ja) * 2018-08-31 2020-03-05 株式会社トヨタプロダクションエンジニアリング 応力発光計測装置及び応力発光計測方法
CN109764992A (zh) * 2018-12-27 2019-05-17 西安交通大学 一种用于3d打印氧化锆陶瓷结构的残余应力无损检测方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
泉 隼人、外3名: "応力発光を用いた積層構造フィルムの屈曲変形に伴う損傷挙動の評価", 日本機械学会東海支部第67期総会講演会講演論文集, JPN6020024198, 13 March 2018 (2018-03-13), JP, ISSN: 0005051768 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP7334664B2 (ja) 2023-08-29
US11704786B2 (en) 2023-07-18
US20210312608A1 (en) 2021-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210356400A1 (en) Stress luminescence measurement device and stress luminescence measurement method
US8037744B2 (en) Method for measuring deformation of tire tread
US20100271633A1 (en) Semiconductor test instrument and the method to test semiconductor
CN116222846A (zh) 应力测量方法、装置以及计算机可读非暂时性存储介质
KR20090120856A (ko) 압흔 검사장치 및 방법
JP2021162525A (ja) 応力発光測定方法および応力発光測定装置
TWI498543B (zh) 自動晶圓光學檢測裝置及檢測晶圓表面均勻性的方法
US6512387B1 (en) Pressure-sensitive system and method of testing electronic device interconnections
WO2021229929A1 (ja) ひずみ計測装置およびひずみ計測方法
JP2023073399A (ja) 評価方法及び評価システム
WO2022003848A1 (ja) 検査方法、検査システムおよび応力発光測定装置
TWI606227B (zh) Three-dimensional measuring device
JP2001124538A (ja) 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP7099634B2 (ja) 応力発光測定装置、応力発光測定方法および応力発光測定システム
WO2021157656A1 (ja) フレキシブルディスプレイ搭載製品の検査方法、フレキシブルディスプレイ搭載製品の製造方法、フレキシブルディスプレイ搭載製品の検査システムおよびフレキシブルディスプレイ搭載製品
US20210372868A1 (en) Stress management device
KR101111383B1 (ko) 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템
JP5168049B2 (ja) 画像処理方法および画像処理装置
WO2021240947A1 (ja) 応力測定装置
WO2020230473A1 (ja) 応力発光測定装置、応力発光測定方法および応力発光測定システム
CN110441331B (zh) 玻璃光畸变检测***及方法
TWI580927B (zh) Three - dimensional measuring device and three - dimensional measurement method
JP2021004752A (ja) 応力発光測定装置、応力発光測定方法および応力発光測定システム
JP2021004753A (ja) 応力発光測定装置、応力発光測定方法および応力発光測定システム
JP2006275527A (ja) 光学系一体型検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220720

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230412

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230509

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230703

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230718

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230731

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7334664

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151