JP2021143840A - 検査装置、及び参照画像の生成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ようにしてもよい。
10 ステージ
11 駆動機構
20 撮像光学系
21 光源
22 ビームスプリッタ
23 対物レンズ
24 光検出器
40 試料
41 パターン
42 異常
50 処理装置
51 第1画像取得部
52 第2画像取得部
53 比較部
54 参照画像記憶部
55 参照画像生成部
56 駆動制御部
400 検査領域
Claims (10)
- 試料を保持するステージと、
前記試料を照明する照明光を発生する光源と、
複数の画素を備え、前記照明光で照明された検出領域からの検出光を検出する光検出器と、
前記試料に対する前記検出領域の相対位置を移動させる駆動機構と、
前記光検出器によって前記試料を撮像するために、前記駆動機構を制御する処理部であって、前記試料の撮像画像を参照画像と比較することで、検査を行う処理部と、を備え、
前記処理部が、
前記画素の配列方向と前記配列方向に交差する交差方向とに前記駆動機構を交互に駆動させることで、前記交差方向を長手方向とするストライプ領域を複数含むキャプチャ画像を取得し、
前記交差方向に前記駆動機構を駆動させることで撮像された前記ストライプ領域の撮像画像を、第1の検証画像として取得し、
同一のストライプ領域について、前記キャプチャ画像と前記第1の検証画像とを比較して、第1の比較結果とし、
前記第1の比較結果が良好な場合、前記ストライプ領域の前記キャプチャ画像に基づいて前記参照画像を生成し、
前記第1の比較結果が良好でない場合に、前記交差方向に前記駆動機構を駆動させることで再度撮像された前記ストライプ領域の撮像画像を、第2の検証画像として取得し、
前記同一のストライプ領域について、前記キャプチャ画像と前記第2の検証画像とを比較して、第2の比較結果とし、
前記第2の比較結果が良好な場合に、前記ストライプ領域の前記キャプチャ画像に基づいて、前記参照画像を生成する検査装置。 - 前記第2の比較結果が良好でない場合に、前記第1の検証画像と前記第2の検証画像とを比較して、第3の比較結果とし、
前記第3の比較結果が良好の場合に、前記第1の検証画像又は前記第2の検証画像に基づいて、前記参照画像を生成する請求項1に記載の検査装置。 - 前記第3の比較結果が良好でない場合に、前記ストライプ領域に対する2つの検証画像の比較結果が良好となるまで、前記ストライプ領域の撮像を繰り返す請求項2に記載の検査装置。
- 前記第1の比較結果、又は前記第2の比較結果が良好である場合、次のストライプ領域の検証画像を撮像するために、前記処理部が前記駆動機構を前記配列方向に駆動させる請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記キャプチャ画像を撮像した後、前記第1の検証画像を撮像する前に、前記駆動機構が位置合わせを行う請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 試料を保持するステージと、
前記試料を照明する照明光を発生する光源と、
複数の画素を備え、前記照明光で照明された検出領域からの検出光を検出する光検出器と、
前記試料に対する前記検出領域の相対位置を移動させる駆動機構と、を備えた検査装置での画像比較検査に用いられる参照画像の生成方法であって、
前記画素の配列方向と前記配列方向に交差する交差方向とに前記駆動機構を交互に駆動させることで、前記交差方向を長手方向とするストライプ領域を複数含むキャプチャ画像を取得するステップと、
前記交差方向に前記駆動機構を駆動させることで撮像された前記ストライプ領域の撮像画像を、第1の検証画像として取得するステップと、
同一のストライプ領域について、前記キャプチャ画像と前記第1の検証画像とを比較して、第1の比較結果とするステップと、
前記第1の比較結果が良好な場合、前記ストライプ領域の前記キャプチャ画像に基づいて前記参照画像を生成するステップと、
前記第1の比較結果が良好でない場合に、前記交差方向に前記駆動機構を駆動させることで再度撮像された前記ストライプ領域の撮像画像を、第2の検証画像として取得するステップと、
前記同一のストライプ領域について、前記キャプチャ画像と前記第2の検証画像とを比較して、第2の比較結果とするステップと、
前記第2の比較結果が良好な場合に、前記ストライプ領域の前記キャプチャ画像に基づいて、前記参照画像を生成するステップと、を備えた参照画像の生成方法。 - 前記第2の比較結果が良好でない場合に、前記第1の検証画像と前記第2の検証画像とを比較して、第3の比較結果とし、
前記第3の比較結果が良好の場合に、前記第1の検証画像又は前記第2の検証画像に基づいて、前記参照画像を生成する請求項6に記載の参照画像の生成方法。 - 前記第3の比較結果が良好でない場合に、前記ストライプ領域に対する2つの検証画像の比較結果が良好となるまで、前記ストライプ領域の撮像を繰り返す請求項7に記載の参照画像の生成方法。
- 前記第1の比較結果、又は前記第2の比較結果が良好である場合、次のストライプ領域の検証画像を撮像するために、前記駆動機構を前記配列方向に駆動させる請求項6〜8のいずれか1項に記載の参照画像の生成方法。
- 前記キャプチャ画像を撮像した後、前記第1の検証画像を撮像する前に、前記駆動機構が前記キャプチャ画像と前記第1の検証画像との位置合わせを行う請求項6〜9のいずれか1項に記載の参照画像の生成方法。
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