JP2021124472A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
Description
ち、本開示の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
の感湿部材に付着した場合に比べ格段に小さくなる。
11、12、21 感温素子
20 温度検出部
30 圧力検出部
40 信号処理部
50 パッケージ
53A 第1領域
53B 第2領域
100 複合センサ
Claims (3)
- 測定領域における気体の湿度を検出する湿度検出部と、
前記気体の圧力を検出する圧力検出部と、
前記気体の温度を検出する温度検出部と、
前記湿度検出部、前記圧力検出部と前記温度検出部に接続された信号処理部と、
前記湿度検出部、前記圧力検出部、前記温度検出部と前記信号処理部を包含したパッケージを備え、
前記パッケージは、前記気体が流入可能な第1領域と、前記気体が流入できない第2領域を有しており、
前記湿度検出部は、前記第1領域に配置される第1の感温素子と、前記第2領域に配置される第2の感温素子とを有しており、
前記信号処理部は、
前記第1の感温素子からの出力情報と前記第2の感温素子からの出力情報の差を湿度の初期情報として、前記温度検出部からの検出情報と前記圧力検出部の検出情報とに基づいて前記初期情報を補正した湿度の補正情報を出力するように構成されている、複合センサ。 - 前記温度検出部は、前記第2の感温素子により構成されている、
請求項1に記載の複合センサ。 - 前記温度検出部と前記第1の感温素子と前記第2の感温素子は、それぞれサーミスタで構成されている、
請求項1または請求項2に記載の複合センサ。
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