JP2021095870A - Gas suction discharge device and gas information acquisition device - Google Patents
Gas suction discharge device and gas information acquisition device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021095870A JP2021095870A JP2019227093A JP2019227093A JP2021095870A JP 2021095870 A JP2021095870 A JP 2021095870A JP 2019227093 A JP2019227093 A JP 2019227093A JP 2019227093 A JP2019227093 A JP 2019227093A JP 2021095870 A JP2021095870 A JP 2021095870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge device
- microblower
- gas suction
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/047—Pumps having electric drive
Abstract
Description
本発明は、気体吸引排出装置、気体情報取得装置に関する。 The present invention relates to a gas suction / discharge device and a gas information acquisition device.
気体吸引排出装置として、圧電素子を用いたマイクロブロアが知られている。マイクロブロアは、圧電素子への電圧印加により屈曲振動する振動板を用いた一種のポンプであり、空気等の吸引や排出が可能である。 As a gas suction / discharge device, a microblower using a piezoelectric element is known. The microblower is a kind of pump using a diaphragm that bends and vibrates when a voltage is applied to the piezoelectric element, and can suck and discharge air and the like.
マイクロブロアとしては、例えば、圧電素子を有する振動板と、振動板の周囲を固定し、振動板との間でブロア室を形成するケースと、振動板の中央部と対向するケースの壁部に設けられた第１開口部と、ケースの外周部に設けられ、ケースから外部への振動伝搬を実質的に抑制する複数の連結部とを備えた構造が提案されている。このマイクロブロアは、圧電素子に所定周波数の電圧を印加して振動板をベンディングモードで駆動させることにより、第１開口部から圧縮性流体を排出する（例えば、特許文献１参照）。 Examples of the micro blower include a diaphragm having a piezoelectric element, a case where the periphery of the diaphragm is fixed to form a blower chamber between the diaphragm, and a wall portion of a case facing the center of the diaphragm. A structure including a first opening provided and a plurality of connecting portions provided on the outer peripheral portion of the case and substantially suppressing vibration propagation from the case to the outside has been proposed. This microblower discharges a compressible fluid from the first opening by applying a voltage of a predetermined frequency to the piezoelectric element to drive the diaphragm in a bending mode (see, for example, Patent Document 1).
上記のようなマイクロブロアは、空気を吸引及び吐出するため、大気中の塵や埃がブロア室内に堆積すると、動作時間や性能に影響する。そのため、マイクロブロアは、クリーンな環境で使用するか、又は塵や埃が入らないように、吸引側にフィルターを設けることが必要である。 Since the above-mentioned micro blower sucks and discharges air, if dust or dirt in the atmosphere accumulates in the blower chamber, the operating time and performance will be affected. Therefore, it is necessary to use the micro blower in a clean environment or to provide a filter on the suction side to prevent dust and dirt from entering.
しかしながら、フィルターを設けた場合、塵や埃によりフィルターが目詰まりすると、吸引力及び排出力が低下し、適正な吸引及び排出ができなくなり、マイクロブロアの寿命低下にも繋がる。フィルターが目詰まりしたか否かを知ることができれば、フィルターを交換することも可能となるが、従来の気体吸引排出装置では、フィルターの目詰まりの検出は行われていなかった。 However, when the filter is provided, if the filter is clogged with dust or dirt, the suction force and the discharge force are lowered, proper suction and discharge cannot be performed, and the life of the microblower is also shortened. If it is possible to know whether or not the filter is clogged, it is possible to replace the filter, but the conventional gas suction / discharge device has not detected the clogging of the filter.
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、フィルターの目詰まりを検出可能な気体吸引排出装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a gas suction / discharge device capable of detecting clogging of a filter.
本気体吸引排出装置は、気体の吸引及び排出を行うマイクロブロアと、前記マイクロブロアよりも前記気体の吸引側に配置されたフィルターと、前記フィルターの目詰まりを検出するひずみゲージと、を有する。 The gas suction / discharge device includes a microblower that sucks and discharges gas, a filter that is arranged on the suction side of the gas with respect to the microblower, and a strain gauge that detects clogging of the filter.
開示の技術によれば、フィルターの目詰まりを検出可能な気体吸引排出装置を提供できる。 According to the disclosed technique, it is possible to provide a gas suction / discharge device capable of detecting clogging of a filter.
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, modes for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same components may be designated by the same reference numerals and duplicate description may be omitted.
〈第１実施形態〉
［気体吸引排出装置１］
まず、気体吸引排出装置１の概要について説明する。図１は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する斜視図である。図２は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する断面図であり、対角に配置された後述のマイクロブロアサポート３０の中央を通る縦断面を示している。図３は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する分解斜視図である。
<First Embodiment>
[Gas suction / discharge device 1]
First, the outline of the gas suction /
図１〜図３を参照すると、気体吸引排出装置１は、下ケース１０と、マイクロブロア２０と、マイクロブロアサポート３０と、フィルターサポートプレート４０と、フィルターユニット５０と、上ケース６０とを有している。これらの構成要素は、ビス７０により固定されているが、互いに接着等はされていないため、ビス７０を外して気体吸引排出装置１を分解することで交換可能である。
Referring to FIGS. 1 to 3, the gas suction /
気体吸引排出装置１は、マイクロブロア２０の有する圧電素子を駆動させることにより、上ケース６０側から気体を吸引し、下ケース１０側に排出する装置である。上ケース６０側から吸引した気体は、フィルターユニット５０を経由して下ケース１０側に排出される。マイクロブロア２０よりも気体の吸引側（上ケース６０側）にフィルターユニット５０を配置することで、塵や埃等が気体吸引排出装置１の内部に入り込むことを防止している。なお、吸引及び排出する気体は、代表的には空気であるが、酸素、窒素、一酸化炭素、水素、二酸化炭素、炭化水素、ＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ：揮発性有機化合物）、ホルムアルデヒド、代替フロン、各種ガス等であっても構わない。各種ガスには、可燃性ガス、毒性ガス、半導体材料ガス、不活性ガス、都市ガス、ＬＰガス等が含まれる。
The gas suction /
なお、本実施形態では、便宜上、気体吸引排出装置１において、上ケース６０側を上側又は一方の側、下ケース１０側を下側又は他方の側とする。又、各部位の上ケース６０側の面を一方の面又は上面、下ケース１０側の面を他方の面又は下面とする。但し、気体吸引排出装置１は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置できる。又、平面視とは対象物を上ケース６０の上面の法線方向から視ることを指し、平面形状とは対象物を上ケース６０の上面の法線方向から視た形状を指すものとする。
In the present embodiment, for convenience, in the gas suction /
［気体吸引排出装置１の組み立て方法］
次に、気体吸引排出装置１の組み立て方法の説明を通じて、気体吸引排出装置１の各構成要素の詳細について説明する。図４〜図７は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置の組み立て方法を例示する斜視図である。
[Assembly method of gas suction / discharge device 1]
Next, the details of each component of the gas suction /
まず、図４の矢印上側に示すように、下ケース１０を準備する。図２及び図４に示すように、下ケース１０はＡＢＳ樹脂等により形成された略円盤状の部材であり、下面の略中央部にマイクロブロア２０とは反対側に突出する突出部１１が形成されている。突出部１１の略中央部には、気体を排出する流路となる貫通孔１２が形成されている。突出部１１の先端側は、例えば、面取りされて円錐台状になっている。
First, the
下ケース１０の上面側（突出部１１とは反対側）には、マイクロブロア２０を位置決めする凹部１３が形成されている。凹部１３は、下ケース１０の上面側の略中央部に設けられ、マイクロブロア２０の本体２１が配置される第１部分１３１と、下ケース１０の上面側の径方向に設けられ、マイクロブロア２０の外部接続端子２２が配置される第２部分１３２とを含む。第１部分１３１と第２部分１３２とは連通している。
A
又、下ケース１０の第１部分１３１において、第２部分１３２が設けられた内壁を除く３つの内壁から外側に向けて、第１部分１３１に連通する略半円状の凹部１４が形成されている。又、下ケース１０の外周側には、各部材同士を固定するためのビスが挿入される３つの貫通孔１５が略等間隔で形成されている。
Further, in the
次に、図４の矢印下側に示すように、下ケース１０に設けられた凹部１３にマイクロブロア２０を配置する。マイクロブロア２０は、本体２１と、外部接続端子２２とを有している。マイクロブロア２０の本体２１が凹部１３の第１部分１３１に配置され、マイクロブロア２０の外部接続端子２２が凹部１３の第２部分１３２に配置される。凹部１３の深さは、マイクロブロア２０の厚さと同程度に形成されている。そのため、下ケース１０の上面とマイクロブロア２０の上面とは、略面一となる。
Next, as shown on the lower side of the arrow in FIG. 4, the
そして、マイクロブロア２０の一方の側の外周部（例えば、四隅）に設けられた凹部２３（座グリ部）にマイクロブロアサポート３０を挿入する。マイクロブロアサポート３０は、下ケース１０及びフィルターサポートプレート４０よりも柔らく、例えば、ウレタンゴム等の変形しやすい材料により形成された低荷重の弾性体である。ウレタンゴム以外の低荷重の弾性体としては、例えば、エラストマー材や、天然ゴム、合成ゴム（シリコーンゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム等）等が挙げられる。ここで、低荷重の弾性体とは、ゴムのように弾性を持つ柔らかい成形可能な材料である。
Then, the
マイクロブロアサポート３０は接着等はされていなく、凹部２３に挿入されているだけである。各々のマイクロブロアサポート３０の一端は、マイクロブロア２０の上面から突出している。
The
マイクロブロア２０の外部接続端子２２の先端側は下ケース１０の側面から突出し、マイクロブロア２０を構成する圧電素子２１５ａ（後述）と気体吸引排出装置１の外部に設けられた回路との電気的な接続を可能とする。
The tip side of the
なお、マイクロブロア２０の外側に位置する３つの半円状の凹部１４は、メンテナンス等でマイクロブロア２０を交換する際に、マイクロブロア２０を取り外しやすくするために設けられている。すなわち、各々の凹部１４はマイクロブロア２０の側面の一部を露出するため、マイクロブロア２０の側面をつまんで容易に取り外すことができる。マイクロブロア２０の側面をつまむことができれば、凹部１４は半円以外の形状であっても構わない。又、マイクロブロア２０の側面をつまむことができれば、凹部１４は３つでなくても構わない。
The three
次に、図５の矢印上側に示すように、フィルターサポートプレート４０を準備する。フィルターサポートプレート４０は、ＡＢＳ樹脂等により形成された略円盤状の部材であり、略中央部に気体の流路の一部となる貫通孔４１が形成されている。
Next, the
又、フィルターサポートプレート４０において、貫通孔４１の周囲には、フィルターユニット５０を位置決めする凹部４２が形成されている。凹部４２は、貫通孔４１の外周に沿って環状に設けられ、フィルターユニット５０の本体が配置される第１部分４２１と、フィルターサポートプレート４０の径方向に設けられ、フィルターユニット５０の外部接続端子１１３が配置される第２部分４２２とを含む。第１部分４２１と第２部分４２２とは連通している。
Further, in the
又、フィルターサポートプレート４０の外周側には、各部材同士を固定するためのビスが挿入される３つの貫通孔４３が略等間隔で形成されている。フィルターサポートプレート４０は、各々の貫通孔４３の位置が、下ケース１０の各々の貫通孔１５と一致するように配置される。
Further, on the outer peripheral side of the
次に、図５の矢印下側に示すように、下ケース１０上及びマイクロブロア２０上にフィルターサポートプレート４０を配置する。フィルターサポートプレート４０の貫通孔４１内には、マイクロブロア２０の開口部２１９ａ（後述）が露出する。
Next, as shown on the lower side of the arrow in FIG. 5, the
下ケース１０上及びマイクロブロア２０上にフィルターサポートプレート４０が配置されると、各々のマイクロブロアサポート３０の突出部はマイクロブロア２０を挟んで下ケース１０と対向して配置されたフィルターサポートプレート４０に押されて変形する（潰れる）。これにより、マイクロブロアサポート３０がマイクロブロア２０を下ケース１０側に押圧するため、マイクロブロア２０は下ケース１０の凹部１３内に安定的に保持される。
When the
次に、図６の矢印上側に示すように、フィルターユニット５０を準備する。そして、図６の矢印下側に示すように、フィルターサポートプレート４０に設けられたフィルターユニット５０を位置決めする凹部４２にフィルターユニット５０を配置する。フィルターユニット５０の外周部が凹部４２の第１部分４２１に配置され、フィルターユニット５０の外部接続端子１１３が凹部４２の第２部分４２２に配置される。
Next, the
凹部４２の深さは、フィルターユニット５０の厚さと同程度に形成されている。そのため、フィルターサポートプレート４０の上面とフィルターユニット５０上面とは、略面一となる。
The depth of the
フィルターユニット５０の外部接続端子１１３の先端側はフィルターサポートプレート４０の側面から突出し、フィルターユニット５０に設けられたひずみゲージ１００と気体吸引排出装置１の外部に設けられた回路との電気的な接続を可能とする。
The tip end side of the
なお、フィルターユニット５０はフィルターサポートプレート４０の凹部４２に位置決めされているだけで、接着剤等で固定はされていない。すなわち、フィルターユニット５０は、着脱可能な状態で、フィルター保持部材であるフィルターサポートプレート４０に保持されているため、気体吸引排出装置１を分解することで、容易に交換できる。
The
次に、図７の矢印上側に示すように、上ケース６０を準備する。図２及び図７に示すように、上ケース６０はＡＢＳ樹脂等により形成された略円盤状の部材であり、上面の略中央部にフィルターユニット５０とは反対側に突出する突出部６１が形成されている。突出部６１の略中央部には、気体を吸引する流路となる貫通孔６２が形成されている。突出部６１の先端側は、例えば、面取りされて円錐台状になっている。
Next, as shown on the upper side of the arrow in FIG. 7, the
上ケース６０の上面の外周側には、略等間隔で配置された３つの凹部６３（座グリ部）が形成され、各々の凹部６３には、各部材同士を固定するためのビスが挿入される３つの貫通孔６４が形成されている。
Three recesses 63 (counterbore portions) arranged at substantially equal intervals are formed on the outer peripheral side of the upper surface of the
次に、図７の矢印下側に示すように、フィルターサポートプレート４０及びフィルターユニット５０上に上ケース６０を配置し、各々の貫通孔６４内にビス７０を挿入する。ビス７０は、例えば、上ケース６０の貫通孔６４、フィルターサポートプレート４０の貫通孔４３、及び下ケース１０の貫通孔１５に挿入されて、下ケース１０の下面から突出し、下ケース１０の下面側でナットにより固定される。これにより、気体吸引排出装置１が完成する。
Next, as shown on the lower side of the arrow in FIG. 7, the
なお、最後に、マイクロブロア２０の外部接続端子２２及びひずみゲージ１００の外部接続端子１１３の近傍にできた隙間を接着剤等で穴埋めすることが好ましい。気体吸引排出装置１の内部にある気体が外部に漏れることを防止すると共に、気体吸引排出装置１の内部に埃等が入り込むことを防止するためである。
Finally, it is preferable to fill the gaps formed in the vicinity of the
［マイクロブロア２０］
次に、マイクロブロア２０について説明する。図８は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置のマイクロブロアを例示する平面図である。図９は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置のマイクロブロアを例示する断面図であり、図８のＡ−Ａ線に沿う断面を示している。
[Micro blower 20]
Next, the
図８及び図９を参照すると、マイクロブロア２０は、気体の吸引及び排出を行う装置であり、本体２１と、外部接続端子２２とを有している。本体２１は、外ケース２１１と、内ケース２１２とを有している。外ケース２１１は、内ケース２１２の外側を所定の隙間を空けて非接触で覆っている。外ケース２１１は、上方が開口した円筒形の空洞部２１１ａを有し、空洞部２１１ａの中に円形の内ケース２１２が所定の隙間を空けて収容されている。
Referring to FIGS. 8 and 9, the
内ケース２１２は、例えば、ばね連結部２１４を介して外ケース２１１に弾性的に支持されている。外ケース２１１と内ケース２１２との間に、気体の流入通路２１７ａが形成されている。ばね連結部２１４は、外ケース２１１の内壁部と内ケース２１２の外壁部との間に周方向に間隔を空けて複数個（図８及び図９の例では４個）設けられている。
The
内ケース２１２の上方は開口しており、内ケース２１２の開口を閉じるように振動板２１５が固定され、内ケース２１２と振動板２１５との間に第１ブロア室２１６が形成されている。振動板２１５は、例えば、圧電セラミックよりなる圧電素子２１５ａを薄肉な弾性金属板よりなるダイヤフラム２１５ｂの中央部に貼り付けたユニモルフ構造である。圧電素子２１５ａに所定周波数の電圧を印加することにより、振動板２１５全体がベンディングモードで共振駆動される。圧電素子２１５ａは、例えば、ダイヤフラム２１５ｂの第１ブロア室２１６側とは反対側の面に固定されている。
The upper part of the
内ケース２１２において、振動板２１５と対向する壁部２１２ａは、第１ブロア室２１６の一つの壁面を構成している。振動板２１５の中心部と対向する壁部２１２ａの部位には、第１ブロア室２１６の内部と外部とを連通させる貫通孔２１２ｂが形成されている。壁部２１２ａと対向する外ケース２１１の部位には壁部２１１ｂが設けられ、壁部２１１ｂの中心部、すなわち貫通孔２１２ｂと対向する部位には貫通孔２１１ｃが形成されている。貫通孔２１１ｃは、気体の吐出口となる。壁部２１１ｂと壁部２１２ａとの間には所定の流入空間２１７ｂが形成され、流入空間２１７ｂは前述の流入通路２１７ａの一部を構成している。流入空間２１７ｂは、流入通路２１７ａから導入された気体を貫通孔２１２ｂ及び２１１ｃの付近に導く役割を持つ。
In the
外ケース２１１の上面側、すなわち振動板２１５を介して第１ブロア室２１６と反対側には、振動板２１５との間で第２ブロア室２１８を形成するための壁部２１９が設けられている。壁部２１９は、例えば、外ケース２１１の上端部の開口を閉じるように固定された蓋部材ある。壁部２１９の中央部には、外部と第２ブロア室２１８とを連通させる開口部２１９ａが形成されている。
On the upper surface side of the
第２ブロア室２１８の容積及び開口部２１９ａの開口面積は、振動板２１５の振動に伴って疑似的な共鳴空間を形成できるように設定されている。第２ブロア室２１８と流入通路２１７ａとは相互に接続されている。そのため、開口部２１９ａを介して第２ブロア室２１８に流入した気体は、流入通路２１７ａを通って流入空間２１７ｂへと供給される。
The volume of the
マイクロブロア２０において、外部接続端子２２を介して圧電素子２１５ａに所定周波数の交流電圧を印加すると、振動板２１５が共振駆動され、第１ブロア室２１６の容積が周期的に変化する。第１ブロア室２１６の容積が増大するとき、流入空間２１７ｂ内の空気が貫通孔２１２ｂを通り第１ブロア室２１６へと吸い込まれる。逆に、第１ブロア室２１６の容積が減少するとき、第１ブロア室２１６内の空気が貫通孔２１２ｂを通り流入空間２１７ｂへと排出される。
In the
振動板２１５は高周波で駆動されるため、貫通孔２１２ｂから流入空間２１７ｂへと排出された高速で高エネルギーの気体流は、流入空間２１７ｂを通過して貫通孔２１１ｃから排出される。このとき、流入空間２１７ｂ内にある周囲の気体を巻き込みながら貫通孔２１１ｃから排出する。そのため、流入通路２１７ａから流入空間２１７ｂへ向かう連続した気体の流れが生じ、貫通孔２１１ｃから気体が噴流となって連続的に吐出される。気体の流れを図９に矢印で示す。
Since the
［フィルターユニット５０］
次に、フィルターユニット５０について説明する。図１０は、第１実施形態に係る気体吸引排出装置のフィルターユニットを例示する分解斜視図である。図１０を参照すると、フィルターユニット５０は、フィルターサポート５１と、フィルター５２と、ひずみゲージ１００と、起歪体５４と、フィルターサポート５５とを有している。これらの部材は、例えば、図示の順番で、各部材間の外周に配置された両面テープにより相互に固着されている。両面テープは、例えば、フィルターサポート５１と同形状とすることができる。
[Filter unit 50]
Next, the
フィルターサポート５１及び５５は、フィルター５２とひずみゲージ１００と起歪体５４を両側から保持する部材であり、例えば、ポリイミドフィルムから形成されている。フィルターサポート５１側が気体の吸引側であり、フィルターサポート５５側が気体の排出側である。なお、フィルターサポート５１及び５５は必要に応じて設ければよい。例えば、フィルターユニット５０の強度が十分であれば、フィルターサポート５１及び５５の一方又は両方を設けなくてもよい。
The filter supports 51 and 55 are members that hold the
フィルター５２は、塵や埃等が気体吸引排出装置１の内部に入り込むことを防止する部材であり、サブミクロンレベルの塵や埃を除去できることが好ましい。フィルター５２は、例えば、ポリエステル、ポリエチレン、レーヨン、ポリプロピレン等から形成できるが、上記の機能を有するものであれば材料は問わない。
The
起歪体５４は、印加される力に応じて変形する（ひずみを生じる）部材であり、例えば、ポリイミドフィルムから形成されている。起歪体５４は、例えば、環状部５４１と、環状部５４１から内側に突起する突起部５４２とを有している。図１０の例では、突起部５４２が略等間隔で３個設けられているが、突起部５４２の個数は問わない。
The strain-causing
ひずみゲージ１００は、起歪体５４に貼り付けられて起歪体５４に生じるひずみを抵抗体の抵抗変化として検出するセンサである。ひずみゲージ１００の詳細については後述するが、例えば、抵抗体からなるジグザグ状のゲージパターンが起歪体５４の各々の突起部５４２に配置される。なお、図１０では、ひずみゲージ１００の抵抗体等の図示は省略されている。
The
起歪体５４に突起部５４２を設けることで、気体の吸引により突起部５４２が変形するが、フィルター５２が目詰まりすると吸引力が低下するため、フィルター５２が気体から受ける圧力が小さくなり、それに応じて突起部５４２の変形量も小さくなる。そのため、突起部５４２に配置されたひずみゲージ１００は、フィルター５２の目詰まりを突起部５４２の変形量の変化に基づいて精度よく検出できる。例えば、ひずみゲージ１００の抵抗値が予め定めた閾値以下となった場合に、フィルター５２が目詰まりしたと判断できる。
By providing the
［ひずみゲージ１００］
次に、ひずみゲージ１００について説明する。図１１は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する部分平面図（その１）であり、図１０のＭ部の拡大図である。図１２は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する部分平面図（その２）であり、図１０のＮ部の拡大図である。図１３は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）であり、図１１のＢ−Ｂ線に沿う断面を示している。図１０に加えて図１１〜図１３を参照すると、ひずみゲージ１００は、基材１１０と、抵抗体１３０と、配線１４０と、端子部１５０とを有している。
[Strain gauge 100]
Next, the
基材１１０は、抵抗体１３０等を形成するためのベース層となる部材であり、可撓性を有する。基材１１０は、例えば、環状部１１１と、環状部１１１から内側に突起する突起部１１２と、環状部１１１から外側に突起する外部接続端子１１３とを有している。
The
基材１１０の環状部１１１は起歪体５４の環状部５４１上に配置され、基材１１０の突起部１１２は起歪体５４の突起部５４２上に配置される。つまり、ひずみゲージ１００の抵抗体１３０は、起歪体５４の突起部５４２上に配置される。なお、起歪体５４を設けずに、基材１１０自体を起歪体としてもよい。つまり、基材１１０は、起歪体５４の機能を兼ねることができる。
The
基材１１０の厚さは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、５μｍ〜５００μｍ程度とすることができる。特に、基材１１０の厚さが５μｍ〜２００μｍであると、両面テープ等を介して基材１１０の下面に接合される起歪体５４の表面からの歪の伝達性、環境に対する寸法安定性の点で好ましく、１０μｍ以上であると絶縁性の点で更に好ましい。
The thickness of the
基材１１０は、例えば、ＰＩ（ポリイミド）樹脂、エポキシ樹脂、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂、ポリオレフィン樹脂等の絶縁樹脂フィルムから形成できる。なお、フィルムとは、厚さが５００μｍ以下程度であり、可撓性を有する部材を指す。
The
ここで、『絶縁樹脂フィルムから形成する』とは、基材１１０が絶縁樹脂フィルム中にフィラーや不純物等を含有することを妨げるものではない。基材１１０は、例えば、シリカやアルミナ等のフィラーを含有する絶縁樹脂フィルムから形成しても構わない。
Here, "forming from an insulating resin film" does not prevent the
基材１１０の樹脂以外の材料としては、例えば、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２（ＹＳＺも含む）、Ｓｉ、Ｓｉ２Ｎ３、Ａｌ２Ｏ３（サファイヤも含む）、ＺｎＯ、ペロブスカイト系セラミックス（ＣａＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３）等が挙げられる。又、基材１１０の材料として、アルミニウム、アルミニウム合金（ジュラルミン）、チタン等の金属を用いてもよい。この場合、金属製の基材１１０上に、例えば、絶縁膜が形成される。
Examples of materials other than the resin of the
抵抗体１３０は、基材１１０の各々の突起部１１２上に所定のパターンで形成された薄膜であり、ひずみを受けて抵抗変化を生じる受感部である。所定のパターンは、例えば、環状部１１１の半径方向を長手方向としてジグザグに折り返すパターンである。抵抗体１３０は、基材１１０の上面１１０ａに直接形成されてもよいし、基材１１０の上面１１０ａに他の層を介して形成されてもよい。なお、図１１では、便宜上、抵抗体１３０を梨地模様で示している。
The
抵抗体１３０は、例えば、Ｃｒ（クロム）を含む材料、Ｎｉ（ニッケル）を含む材料、又はＣｒとＮｉの両方を含む材料から形成できる。すなわち、抵抗体１３０は、ＣｒとＮｉの少なくとも一方を含む材料から形成できる。Ｃｒを含む材料としては、例えば、Ｃｒ混相膜が挙げられる。Ｎｉを含む材料としては、例えば、Ｃｕ−Ｎｉ（銅ニッケル）が挙げられる。ＣｒとＮｉの両方を含む材料としては、例えば、Ｎｉ−Ｃｒ（ニッケルクロム）が挙げられる。
The
ここで、Ｃｒ混相膜とは、Ｃｒ、ＣｒＮ、Ｃｒ２Ｎ等が混相した膜である。Ｃｒ混相膜は、酸化クロム等の不可避不純物を含んでもよい。 Here, the Cr multiphase film, Cr, CrN, Cr 2 N or the like is film multiphase. The Cr mixed phase film may contain unavoidable impurities such as chromium oxide.
抵抗体１３０の厚さは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、０．０５μｍ〜２μｍ程度とすることができる。特に、抵抗体１３０の厚さが０．１μｍ以上であると抵抗体１３０を構成する結晶の結晶性（例えば、α−Ｃｒの結晶性）が向上する点で好ましく、１μｍ以下であると抵抗体１３０を構成する膜の内部応力に起因する膜のクラックや基材１１０からの反りを低減できる点で更に好ましい。
The thickness of the
例えば、抵抗体１３０がＣｒ混相膜である場合、安定な結晶相であるα−Ｃｒ（アルファクロム）を主成分とすることで、ゲージ特性の安定性を向上できる。又、抵抗体１３０がα−Ｃｒを主成分とすることで、ひずみゲージ１００のゲージ率を１０以上、かつゲージ率温度係数ＴＣＳ及び抵抗温度係数ＴＣＲを−１０００ｐｐｍ／℃〜＋１０００ｐｐｍ／℃の範囲内とすることができる。ここで、主成分とは、対象物質が抵抗体を構成する全物質の５０質量％以上を占めることを意味するが、ゲージ特性を向上する観点から、抵抗体１３０はα−Ｃｒを８０重量％以上含むことが好ましい。なお、α−Ｃｒは、ｂｃｃ構造（体心立方格子構造）のＣｒである。
For example, when the
抵抗体１３０の両端には配線１４０が接続され、各々の配線１４０は環状部１１１上を通って外部接続端子１１３上に配置された一対の端子部１５０に接続される。端子部１５０は、例えば、平面視において、配線１４０よりも拡幅して略矩形状に形成されている。端子部１５０は、ひずみにより生じる抵抗体１３０の抵抗値の変化を外部に出力するための一対の電極であり、例えば、外部接続用のリード線等が接合される。なお、抵抗体１３０は３つの突起部１１２の各々に配置されているため、外部接続端子１１３上には三対（６個）の端子部１５０が配置される。
Wiring 140 is connected to both ends of the
配線１４０及び端子部１５０は、例えば、抵抗体１３０と同一工程において抵抗体１３０と同一材料により一体に形成できる。端子部１５０の上面に、抵抗体１３０よりも低抵抗の導体層（例えば、銅等）を設けてもよい。又、端子部１５０の上面を、端子部１５０よりもはんだ付け性が良好な金属（例えば、銅や金等）で被覆してもよい。
The
抵抗体１３０及び配線１４０を被覆し端子部１５０を露出するように基材１１０の上面１１０ａにカバー層（絶縁樹脂層）を設けても構わない。カバー層を設けることで、抵抗体１３０及び配線１４０に機械的な損傷等が生じることを防止できる。又、カバー層を設けることで、抵抗体１３０及び配線１４０を湿気等から保護できる。なお、カバー層は、端子部１５０を除く部分の全体を覆うように設けてもよい。
A cover layer (insulating resin layer) may be provided on the
カバー層は、例えば、ＰＩ樹脂、エポキシ樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、ＰＥＮ樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＰＰＳ樹脂、複合樹脂（例えば、シリコーン樹脂、ポリオレフィン樹脂）等の絶縁樹脂から形成できる。カバー層は、フィラーや顔料を含有しても構わない。カバー層の厚さは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、２μｍ〜３０μｍ程度とすることができる。 The cover layer can be formed from, for example, an insulating resin such as PI resin, epoxy resin, PEEK resin, PEN resin, PET resin, PPS resin, and composite resin (for example, silicone resin and polyolefin resin). The cover layer may contain a filler or a pigment. The thickness of the cover layer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but can be, for example, about 2 μm to 30 μm.
ひずみゲージ１００を製造するためには、まず、基材１１０を準備し、基材１１０の上面１１０ａに図１１及び図１２に示す平面形状の抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を形成する。抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０の材料や厚さは、前述の通りである。抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０は、同一材料により一体に形成できる。
In order to manufacture the
抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０は、例えば、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を形成可能な原料をターゲットとしたマグネトロンスパッタ法により成膜し、フォトリソグラフィによってパターニングすることで形成できる。抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０は、マグネトロンスパッタ法に代えて、反応性スパッタ法や蒸着法、アークイオンプレーティング法、パルスレーザー堆積法等を用いて成膜してもよい。
The
ゲージ特性を安定化する観点から、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を成膜する前に、下地層として、基材１１０の上面１１０ａに、例えば、コンベンショナルスパッタ法により膜厚が１ｎｍ〜１００ｎｍ程度の機能層を真空成膜することが好ましい。なお、機能層は、機能層の上面全体に抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を形成後、フォトリソグラフィによって抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０と共に図１１及び図１２に示す平面形状にパターニングされる。
From the viewpoint of stabilizing the gauge characteristics, before forming the
本願において、機能層とは、少なくとも上層である抵抗体１３０の結晶成長を促進する機能を有する層を指す。機能層は、更に、基材１１０に含まれる酸素や水分による抵抗体１３０の酸化を防止する機能や、基材１１０と抵抗体１３０との密着性を向上する機能を備えていることが好ましい。機能層は、更に、他の機能を備えていてもよい。
In the present application, the functional layer refers to a layer having at least a function of promoting crystal growth of the
基材１１０を構成する絶縁樹脂フィルムは酸素や水分を含むため、特に抵抗体１３０がＣｒを含む場合、Ｃｒは自己酸化膜を形成するため、機能層が抵抗体１３０の酸化を防止する機能を備えることは有効である。
Since the insulating resin film constituting the
機能層の材料は、少なくとも上層である抵抗体１３０の結晶成長を促進する機能を有する材料であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｔｉ（チタン）、Ｖ（バナジウム）、Ｎｂ（ニオブ）、Ｔａ（タンタル）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｙ（イットリウム）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｈｆ（ハフニウム）、Ｓｉ（シリコン）、Ｃ（炭素）、Ｚｎ（亜鉛）、Ｃｕ（銅）、Ｂｉ（ビスマス）、Ｆｅ（鉄）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｗ（タングステン）、Ｒｕ（ルテニウム）、Ｒｈ（ロジウム）、Ｒｅ（レニウム）、Ｏｓ（オスミウム）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｐｔ（白金）、Ｐｄ（パラジウム）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）、Ｃｏ（コバルト）、Ｍｎ（マンガン）、Ａｌ（アルミニウム）からなる群から選択される１種又は複数種の金属、この群の何れかの金属の合金、又は、この群の何れかの金属の化合物が挙げられる。
The material of the functional layer is not particularly limited as long as it has a function of promoting crystal growth of the
上記の合金としては、例えば、ＦｅＣｒ、ＴｉＡｌ、ＦｅＮｉ、ＮｉＣｒ、ＣｒＣｕ等が挙げられる。又、上記の化合物としては、例えば、ＴｉＮ、ＴａＮ、Ｓｉ３Ｎ４、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＳｉＯ２等が挙げられる。 Examples of the above alloy include FeCr, TiAl, FeNi, NiCr, CrCu and the like. Examples of the above-mentioned compounds include TiN, TaN, Si 3 N 4 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , SiO 2, and the like.
機能層は、例えば、機能層を形成可能な原料をターゲットとし、チャンバ内にＡｒ（アルゴン）ガスを導入したコンベンショナルスパッタ法により真空成膜できる。コンベンショナルスパッタ法を用いることにより、基材１１０の上面１１０ａをＡｒでエッチングしながら機能層が成膜されるため、機能層の成膜量を最小限にして密着性改善効果を得ることができる。
The functional layer can be vacuum-deposited by, for example, a conventional sputtering method in which Ar (argon) gas is introduced into a chamber by targeting a raw material capable of forming the functional layer. By using the conventional sputtering method, the functional layer is formed while etching the
但し、これは、機能層の成膜方法の一例であり、他の方法により機能層を成膜してもよい。例えば、機能層の成膜の前にＡｒ等を用いたプラズマ処理等により基材１１０の上面１１０ａを活性化することで密着性改善効果を獲得し、その後マグネトロンスパッタ法により機能層を真空成膜する方法を用いてもよい。
However, this is an example of a method for forming a functional layer, and the functional layer may be formed by another method. For example, the effect of improving adhesion is obtained by activating the
機能層の材料と抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０の材料との組み合わせは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、機能層としてＴｉを用い、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０としてα−Ｃｒ（アルファクロム）を主成分とするＣｒ混相膜を成膜可能である。
The combination of the material of the functional layer and the material of the
この場合、例えば、Ｃｒ混相膜を形成可能な原料をターゲットとし、チャンバ内にＡｒガスを導入したマグネトロンスパッタ法により、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を成膜できる。或いは、純Ｃｒをターゲットとし、チャンバ内にＡｒガスと共に適量の窒素ガスを導入し、反応性スパッタ法により、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を成膜してもよい。
In this case, for example, the
これらの方法では、Ｔｉからなる機能層がきっかけでＣｒ混相膜の成長面が規定され、安定な結晶構造であるα−Ｃｒを主成分とするＣｒ混相膜を成膜できる。又、機能層を構成するＴｉがＣｒ混相膜中に拡散することにより、ゲージ特性が向上する。例えば、ひずみゲージ１００のゲージ率を１０以上、かつゲージ率温度係数ＴＣＳ及び抵抗温度係数ＴＣＲを−１０００ｐｐｍ／℃〜＋１０００ｐｐｍ／℃の範囲内とすることができる。なお、機能層がＴｉから形成されている場合、Ｃｒ混相膜にＴｉやＴｉＮ（窒化チタン）が含まれる場合がある。
In these methods, the growth surface of the Cr mixed-phase film is defined by the functional layer made of Ti, and a Cr mixed-phase film containing α-Cr as a main component, which has a stable crystal structure, can be formed. Further, the gauge characteristics are improved by diffusing Ti constituting the functional layer into the Cr mixed phase film. For example, the gauge ratio of the
なお、抵抗体１３０がＣｒ混相膜である場合、Ｔｉからなる機能層は、抵抗体１３０の結晶成長を促進する機能、基材１１０に含まれる酸素や水分による抵抗体１３０の酸化を防止する機能、及び基材１１０と抵抗体１３０との密着性を向上する機能の全てを備えている。機能層として、Ｔｉに代えてＴａ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｆｅを用いた場合も同様である。
When the
このように、抵抗体１３０の下層に機能層を設けることにより、抵抗体１３０の結晶成長を促進可能となり、安定な結晶相からなる抵抗体１３０を作製できる。その結果、ひずみゲージ１００において、ゲージ特性の安定性を向上できる。又、機能層を構成する材料が抵抗体１３０に拡散することにより、ひずみゲージ１００において、ゲージ特性を向上できる。
By providing the functional layer under the
抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０を形成後、必要に応じ、基材１１０の上面１１０ａに、抵抗体１３０及び配線１４０を被覆し端子部１５０を露出するカバー層を設けることで、ひずみゲージ１００が完成する。カバー層は、例えば、基材１１０の上面１１０ａに、抵抗体１３０及び配線１４０を被覆し端子部１５０を露出するように半硬化状態の熱硬化性の絶縁樹脂フィルムをラミネートし、加熱して硬化させて作製できる。カバー層は、基材１１０の上面１１０ａに、抵抗体１３０及び配線１４０を被覆し端子部１５０を露出するように液状又はペースト状の熱硬化性の絶縁樹脂を塗布し、加熱して硬化させて作製してもよい。
After forming the
なお、抵抗体１３０、配線１４０、及び端子部１５０の下地層として基材１１０の上面１１０ａに機能層を設けた場合には、ひずみゲージ１００は図１４に示す断面形状となる。符号１２０で示す層が機能層である。機能層１２０を設けた場合のひずみゲージ１００の平面形状は、図１１及び図１２と同様である。
When the functional layer is provided on the
このように、気体吸引排出装置１は吸引側にフィルターユニット５０を有しており、フィルターユニット５０を構成するひずみゲージ１００によりフィルター５２の目詰まり（気体の吸引量）を検出できる。
As described above, the gas suction /
つまり、マイクロブロア２０が吸引する気体により、フィルター５２を介して起歪体５４及びひずみゲージ１００には荷重がかかる。これにより、起歪体５４及びひずみゲージ１００が変形し、ひずみゲージ１００の抵抗体１３０の抵抗値が変化する。抵抗体１３０の抵抗値の変化を配線１４０及び端子部１５０を介してを測定することで、フィルター５２の目詰まり状態を検出できる。フィルター５２の目詰まり状態をモニタすることで、常時適正な気体の吸引及び吐出が可能となる。
That is, the gas sucked by the
又、気体吸引排出装置１では、下ケース１０にマイクロブロア２０の側面を露出する凹部１４が設けられているため、メンテナンス等でマイクロブロア２０を交換する際に、マイクロブロア２０の取り外しが容易である。
Further, in the gas suction /
又、マイクロブロア２０は圧電素子２１５ａを利用して気体の移動を行うが、大変繊細であるため、マイクロブロア２０は外周部以外に負荷がかかると正確な動作が得られない。そのため、気体吸引排出装置１では、マイクロブロア２０の固定を、マイクロブロア２０の外周部（例えば、四隅）に設けられた凹部２３に低荷重の弾性体であるマイクロブロアサポート３０を挿入することで行っている。これにより、マイクロブロア２０にストレスがかかって圧電素子２１５ａの動作に影響が発生するおそれを低減でき、マイクロブロア２０の正確な動作が可能となる。
Further, the
又、マイクロブロア２０を両面テープを用いて下ケース１０に取り付けると、貼り付け時に斜め取り付けや両面テープのはみ出し等の不具合が発生するおそれがあると共に、マイクロブロア２０の交換時には性能を破壊することが考えられるため、望ましくない。マイクロブロア２０の固定をマイクロブロアサポート３０を用いて行うことで、このような問題の発生を回避できる。
Further, if the
又、両面テープや接着剤等による固定では、一度取り付けたマイクロブロアサポート３０は再使用できないが、凹部２３に低荷重の弾性体であるマイクロブロアサポート３０を挿入する固定方法により、マイクロブロアサポート３０の再使用が可能となる。
Further, the
又、ひずみゲージ１００の抵抗体１３０の材料として、高いゲージ率が得られるＣｒ混相膜を用いた場合には、フィルター５２の目詰まりを高感度で検出できる。
Further, when a Cr mixed phase film capable of obtaining a high gauge ratio is used as the material of the
〈第２実施形態〉
第２実施形態では、複数のマイクロブロアを有する気体吸引排出装置の例を示す。なお、第２実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, an example of a gas suction / discharge device having a plurality of micro blowers is shown. In the second embodiment, the description of the same components as those in the above-described embodiment may be omitted.
図１５は、第２実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する斜視図である。図１６は、第２実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する断面図であり、対角に配置されたマイクロブロアサポート３０の中央を通る縦断面を示している。 FIG. 15 is a perspective view illustrating the gas suction / discharge device according to the second embodiment. FIG. 16 is a cross-sectional view illustrating the gas suction / discharge device according to the second embodiment, and shows a vertical cross section passing through the center of the microblower supports 30 arranged diagonally.
図１５及び図１６を参照すると、気体吸引排出装置２は、４個のマイクロブロア２０を有する点が、１個のマイクロブロア２０を有する気体吸引排出装置１（図１、図２等参照）と相違する。気体吸引排出装置２は、下ケース１０と、４個のマイクロブロア２０と、マイクロブロアサポート３０と、フィルターサポートプレート４０と、フィルターユニット５０と、上ケース６０と、３個のマイクロブロアケース８０とを有している。
Referring to FIGS. 15 and 16, the gas suction /
次に、気体吸引排出装置２の組み立て方法の説明を通じて、気体吸引排出装置２の各構成要素の詳細について説明する。図１７及び図１８は、第２実施形態に係る気体吸引排出装置の組み立て方法を例示する斜視図である。
Next, the details of each component of the gas suction /
まず、第１実施形態の図４と同様の組み立てを行い、下ケース１０の凹部１３に１個目のマイクロブロア２０を配置する。次に、図１７の矢印上側に示すように、マイクロブロアケース８０を準備する。そして、図１７の矢印下側に示すように、凹部１３に１個目のマイクロブロア２０が配置された下ケース１０上に、マイクロブロアケース８０を配置する。
First, the same assembly as in FIG. 4 of the first embodiment is performed, and the
マイクロブロアケース８０はＡＢＳ樹脂等により形成された略円盤状の部材であり、突出部１１が形成されていない点を除いて下ケース１０と同様の構造である。但し、マイクロブロアケース８０の厚さは、下ケース１０より厚くても構わない。
The
マイクロブロアケース８０の上面側には、マイクロブロア２０を位置決めする凹部８３が形成されている。凹部８３は、マイクロブロアケース８０の上面側の略中央部に設けられ、マイクロブロア２０の本体２１が配置される第１部分８３１と、マイクロブロアケース８０の上面側の径方向に設けられ、マイクロブロア２０の外部接続端子２２が配置される第２部分８３２とを含む。第１部分８３１と第２部分８３２とは連通している。第１部分８３１の略中央部には、気体を排出する流路となる貫通孔８２が形成されている。
A
又、マイクロブロアケース８０の第１部分８３１において、第２部分８３２が設けられた内壁を除く３つの内壁から外側に向けて、第１部分８３１に連通する略半円状の凹部８４が形成されている。又、マイクロブロアケース８０の外周側には、各部材同士を固定するためのビスが挿入される３つの貫通孔８５が略等間隔で形成されている。
Further, in the
次に、図１８の矢印上側に示すように、マイクロブロアケース８０の凹部８３に２個目のマイクロブロア２０を配置する。マイクロブロア２０の本体２１が凹部８３の第１部分８３１に配置され、マイクロブロア２０の外部接続端子２２が凹部８３の第２部分８３２に配置される。凹部８３の深さは、マイクロブロア２０の厚さと同程度に形成されている。そのため、マイクロブロアケース８０の上面とマイクロブロア２０の上面とは、略面一となる。
Next, as shown on the upper side of the arrow in FIG. 18, the
そして、図１８の矢印下側に示すように、マイクロブロア２０の外周部の凹部２３にマイクロブロアサポート３０を挿入する。マイクロブロアサポート３０は接着等はされていなく、凹部２３に挿入されているだけである。各々のマイクロブロアサポート３０の一端は、マイクロブロア２０の上面から突出している。
Then, as shown on the lower side of the arrow in FIG. 18, the
マイクロブロア２０の外部接続端子２２の先端側はマイクロブロアケース８０の側面から突出し、マイクロブロア２０を構成する圧電素子２１５ａと気体吸引排出装置２の外部に設けられた回路との電気的な接続を可能とする。
The tip side of the
なお、マイクロブロア２０の外側に位置する３つの半円状の凹部８４は、メンテナンス等でマイクロブロア２０を交換する際に、マイクロブロア２０を取り外しやすくするために設けられている。すなわち、各々の凹部８４はマイクロブロア２０の側面の一部を露出するため、マイクロブロア２０の側面をつまんで容易に取り外すことができる。マイクロブロア２０の側面をつまむことができれば、凹部８４は半円以外の形状であっても構わない。
The three
更に、図１７と同様にして、凹部８３に２個目のマイクロブロア２０が配置された１個目のマイクロブロアケース８０上に、２個目のマイクロブロアケース８０を配置する。そして、図１８と同様にして、２個目のマイクロブロアケース８０の凹部８３に３個目のマイクロブロア２０を配置する。
Further, in the same manner as in FIG. 17, the
更に、図１７と同様にして、凹部８３に３個目のマイクロブロア２０が配置された２個目のマイクロブロアケース８０上に、３個目のマイクロブロアケース８０を配置する。そして、図１８と同様にして、３個目のマイクロブロアケース８０の凹部８３に４個目のマイクロブロア２０を配置する。
Further, in the same manner as in FIG. 17, the
次に、第１実施形態の図５〜図７と同様にして、凹部８３に４個目のマイクロブロア２０が配置された３個目のマイクロブロアケース８０上に、フィルターサポートプレート４０、フィルターユニット５０、及び上ケース６０を順次配置し、ビス７０で固定する。これにより、気体吸引排出装置２が完成する。
Next, in the same manner as in FIGS. 5 to 7 of the first embodiment, the
なお、最後に、各々のマイクロブロア２０の外部接続端子２２及びひずみゲージ１００の外部接続端子１１３の近傍にできた隙間を接着剤等で穴埋めすることが好ましい。気体吸引排出装置２の内部にある気体が外部に漏れることを防止すると共に、気体吸引排出装置２の内部に埃等が入り込むことを防止するためである。
Finally, it is preferable to fill the gaps formed in the vicinity of the
このように、気体吸引排出装置２では、気体吸引排出装置１と同様に、何れのマイクロブロア２０よりも気体の吸引側にフィルターユニット５０を配置しているため、塵や埃等が気体吸引排出装置２の内部に入り込むことを防止できる。又、気体吸引排出装置１と同様に、フィルターユニット５０を構成するひずみゲージ１００によりフィルター５２の目詰まりを検出できる。これにより、フィルター５２の目詰まり状態をモニタすることで、常時適正な気体の吸引及び吐出が可能となる。
As described above, in the gas suction /
又、気体吸引排出装置２では、マイクロブロア２０の個数を増やしているため、吸引吐出力が向上する。なお、本実施形態ではマイクロブロア２０を、気体の吸引方向及び排出方向を揃えて直列に４個配置したが、マイクロブロア２０の個数は、２個又は３個、５個以上であっても構わない。マイクロブロア２０の個数が多くなるほど、吸引吐出力を向上できる。
Further, in the gas suction /
又、気体吸引排出装置２では、下ケース１０及び各々のマイクロブロアケース８０にマイクロブロア２０の側面を露出する凹部が設けられているため、メンテナンス等でマイクロブロア２０を交換する際に、マイクロブロア２０の取り外しが容易である。
Further, in the gas suction /
又、気体吸引排出装置２では、気体吸引排出装置１と同様に、マイクロブロア２０の固定を、マイクロブロア２０の外周部に設けられた凹部２３に低荷重の弾性体であるマイクロブロアサポート３０を挿入することで行っている。これにより、マイクロブロア２０の正確な動作が可能となる。
Further, in the gas suction /
又、両面テープや接着剤等の固定では、一度取り付けたマイクロブロアサポート３０は再使用できないが、凹部２３に低荷重の弾性体であるマイクロブロアサポート３０を挿入する固定方法により、マイクロブロアサポート３０の再使用が可能となる。
Further, when fixing the double-sided tape or adhesive, the
〈第３実施形態〉
第３実施形態では、センサを搭載した気体吸引排出装置の例を示す。なお、第３実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
<Third Embodiment>
In the third embodiment, an example of a gas suction / discharge device equipped with a sensor is shown. In the third embodiment, the description of the same components as those in the above-described embodiment may be omitted.
図１９は、第３実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する断面図（その１）であり、対角に配置されたマイクロブロアサポート３０の中央を通る縦断面を示している。 FIG. 19 is a cross-sectional view (No. 1) illustrating the gas suction / discharge device according to the third embodiment, and shows a vertical cross section passing through the center of the microblower supports 30 arranged diagonally.
図１９を参照すると、気体吸引排出装置１Ａは、気体吸引排出装置１に、センサ９１、配線基板９２、スペーサ９３、及びビス９４が追加された構造である。気体吸引排出装置１Ａにおいて、センサ９１が搭載された配線基板９２が、柱状の複数のスペーサ９３を介して、ビス９４により下ケース１０に固定されている。
Referring to FIG. 19, the gas suction /
センサ９１は、マイクロブロア２０よりも気体の排出側に配置され、気体の情報を取得する機能を有する。本実施形態では、センサ９１は、下ケース１０の突出部１１よりも気体の排出側に配置され、貫通孔１２から排出された気体の情報を取得する。貫通孔１２を拡径し、貫通孔１２内にセンサ９１が配置されるようにしてもよい。この場合、センサ９１の側面が貫通孔１２の内壁に囲まれるため、センサ９１の検出力を向上できる。
The
センサ９１は、例えば、貫通孔１２から排出された気体の情報として気体の匂いを検出する匂いセンサである。匂いセンサとしては、例えば、半導体式や水晶振動子式等の周知のセンサを使用できる。なお、センサ９１は、湿度センサ、温度センサ、その他のセンサであってもよい。
The
配線基板９２は、ガラスエポキシ基板等の樹脂基板、シリコン基板、セラミック基板等に配線パターンや部品実装用ランド等が形成されたものである。配線基板９２には、気体吸引排出装置１Ａの外部と信号等の入出力を行うコネクタや線材等が設けられている。配線基板９２に、圧電素子２１５ａを駆動する回路や、ひずみゲージ１００の端子部１５０に接続するアナログフロントエンド等を搭載してもよい。アナログフロントエンドは、例えば、ブリッジ回路、増幅器、アナログ／デジタル変換回路（Ａ／Ｄ変換回路）等を備えることができる。アナログフロントエンドは、温度補償回路を備えていてもよい。
The
気体吸引排出装置１Ａのように、センサ９１を搭載することで、気体の匂いや湿度等を容易に検出可能となる。
By mounting the
図２０は、第３実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する断面図（その２）であり、対角に配置されたマイクロブロアサポート３０の中央を通る縦断面を示している。図２０に示す気体吸引排出装置２Ａのように、気体吸引排出装置２にセンサ９１等を搭載してもよい。
FIG. 20 is a cross-sectional view (No. 2) illustrating the gas suction / discharge device according to the third embodiment, and shows a vertical cross section passing through the center of the microblower supports 30 arranged diagonally. As in the gas suction /
〈第４実施形態〉
第４実施形態では、ひずみゲージをフィルターユニットとは異なる位置に配置する例を示す。なお、第４実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
<Fourth Embodiment>
In the fourth embodiment, an example in which the strain gauge is arranged at a position different from that of the filter unit is shown. In the fourth embodiment, the description of the same components as those in the above-described embodiment may be omitted.
図２１は、第４実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する斜視図である。図２２は、第４実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する断面図であり、気体吸引排出装置１Ｂの中心を通りひずみゲージ１００Ｂを長手方向に２分するように切断した縦断面を示している。図２３は、第４実施形態に係る気体吸引排出装置を例示する分解斜視図である。
FIG. 21 is a perspective view illustrating the gas suction / discharge device according to the fourth embodiment. FIG. 22 is a cross-sectional view illustrating the gas suction / discharge device according to the fourth embodiment, and shows a vertical cross section obtained by cutting the
図２１〜図２３を参照すると、気体吸引排出装置１Ｂは、下ケース１０、フィルターサポートプレート４０、フィルターユニット５０、及び、ひずみゲージ１００が、下ケース１０Ｂ、フィルターサポートプレート４０Ｂ、フィルターユニット５０Ｂ、及び、ひずみゲージ１００Ｂに置換された点が、気体吸引排出装置１（図１〜図３等参照）と相違する。
With reference to FIGS. 21 to 23, the gas suction /
下ケース１０ＢはＡＢＳ樹脂等により形成された略円盤状の部材であり、下面にマイクロブロア２０とは反対側に突出する突出部１１Ｂが形成されている。突出部１１Ｂのマイクロブロア２０と対向する部分には、気体を排出する流路となる貫通孔１２Ｂと、気体をひずみゲージ１００Ｂの抵抗体１３０に誘導する貫通孔１２Ｃが形成されている。又、下ケース１０Ｂの突出部１１Ｂと同一側には、ひずみゲージ１００Ｂを固定するゲージ取付部１７が形成されている。
The
フィルターユニット５０Ｂは、図１０に示したフィルターサポート５１と、フィルター５２と、フィルターサポート５５とを有している。つまり、フィルターユニット５０Ｂは、図１０に示したフィルターユニット５０から、ひずみゲージ１００と起歪体５４を削除したものである。従って、フィルターユニット５０Ｂは、外部接続端子１１３も有していない。フィルターユニット５０Ｂを構成する各部材は、例えば、各部材間の外周に配置された両面テープにより相互に固着されている。両面テープは、例えば、フィルターサポート５１と同形状とすることができる。
The
フィルターユニット５０Ｂが外部接続端子１１３を有していないため、フィルターサポートプレート４０Ｂは第２部分４２２を有していない。フィルターサポートプレート４０Ｂのその他の部分は、フィルターサポートプレート４０と同一である。
Since the
ひずみゲージ１００Ｂは、基材１１０Ｂと、抵抗体１３０と、配線１４０と、端子部１５０とを有している。基材１１０Ｂは、平面形状が長方形である点を除いて、基材１１０と同様である。ひずみゲージ１００Ｂは、抵抗体１３０が貫通孔１２Ｃ内に露出するように突出部１１Ｂの下面に両面テープや接着剤等により固定され、更に、ゲージ取付部１７にビス７１で固定されている。ひずみゲージ１００Ｂの端子部１５０は、下ケース１０Ｂの側面から突出し、ひずみゲージ１００Ｂと気体吸引排出装置１の外部に設けられた回路との電気的な接続を可能とする。なお、ひずみゲージ１００Ｂの基材１１０Ｂは、起歪体を兼ねている。
The
このように、フィルターの目詰まりを検出するひずみゲージは、フィルターユニット内に配置しなくてもよく、マイクロブロアが吸引する気体、又はマイクロブロアが排出する気体の通る任意の位置に配置することができる。例えば、本実施形態のように、下ケース１０Ｂにフィルターの目詰まり検出用の特別な流路（貫通孔１２Ｃ）を設けて、下ケース１０Ｂの下面側にひずみゲージを配置することができる。
In this way, the strain gauge that detects the clogging of the filter does not have to be placed in the filter unit, and can be placed at an arbitrary position through which the gas sucked by the microblower or the gas discharged by the microblower passes. it can. For example, as in the present embodiment, the
なお、第４実施形態の構造を第２実施形態及び第３実施形態に適用してもよい。第４実施形態の構造を第３実施形態に適用する場合には、貫通孔１２Ｂから排出される気体を検出できる位置にセンサ９１が配置される。
The structure of the fourth embodiment may be applied to the second embodiment and the third embodiment. When the structure of the fourth embodiment is applied to the third embodiment, the
〈第５実施形態〉
第５実施形態では、第３実施形態に係る気体吸引排出装置を用いた気体情報取得装置の例を示す。なお、第５実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
<Fifth Embodiment>
In the fifth embodiment, an example of a gas information acquisition device using the gas suction / discharge device according to the third embodiment is shown. In the fifth embodiment, the description of the same components as those in the above-described embodiment may be omitted.
図２４は、第５実施形態に係る気体情報取得装置が配置されたベッドを模式的に示す斜視図である。図２４において、ベッド８００にはクッション８１０が敷かれ、クッション８１０上の一部の領域がシーツ８２０で覆われており、ベッド８００に気体情報取得装置３が配置されている。気体情報取得装置３は、気体吸引排出装置２Ａと、ケース３００と、チューブ３４０とを有している。なお、ベッド８００、クッション８１０、及びシーツ８２０は、気体情報取得装置３の構成要素ではない。本実施形態では、検出対象となる気体は空気である。
FIG. 24 is a perspective view schematically showing a bed in which the gas information acquisition device according to the fifth embodiment is arranged. In FIG. 24, a
図２５は、第５実施形態に係る気体情報取得装置のケース近傍の部分拡大斜視図である。図２５に示すように、箱状のケース３００は、仕切り板３１０により、一列に並ぶ複数の領域３２０に区画されている。各々の領域３２０には、気体吸引排出装置２Ａが同一方向を向いて配置されている。ケース３００及び仕切り板３１０は、例えば、ＡＢＳ樹脂等により形成されている。ケース３００上に、板状の上蓋を配置してもよい。なお、本実施形態では、一例として、ケース３００内に９個の気体吸引排出装置２Ａを配置しているが、気体吸引排出装置２Ａの個数は必要に応じて適宜増減して良い。
FIG. 25 is a partially enlarged perspective view of the vicinity of the case of the gas information acquisition device according to the fifth embodiment. As shown in FIG. 25, the box-shaped
図２６は、第５実施形態に係る気体情報取得装置のケース近傍の部分拡大側面図である。図２７は、第５実施形態に係る気体情報取得装置のケース近傍の部分拡大断面図である。 FIG. 26 is a partially enlarged side view of the vicinity of the case of the gas information acquisition device according to the fifth embodiment. FIG. 27 is a partially enlarged cross-sectional view of the vicinity of the case of the gas information acquisition device according to the fifth embodiment.
図２６及び図２７に示すように、チューブ３４０は内部が空洞の管状部材であり、一端がケース３００の壁面に形成された貫通孔を介して、気体吸引排出装置２Ａの吸引側である上ケース６０の突出部６１（図２０参照）に接続されている。チューブ３４０は、例えば、ゴムやビニール等の弾性を有する材料から形成されている。チューブ３４０の内径及び外径は、必要に応じて適宜決定できるが、例えば、数ｍｍ程度である。
As shown in FIGS. 26 and 27, the
チューブ３４０は、固定部材３５１、３５２、及び３５３により、ケース３００の壁面に着脱可能に固定されている。例えば、固定部材３５２と固定部材３５３をねじ止め可能な構造とすることにより、固定部材３５３を回転させることで、チューブ３４０を容易に着脱できる。
The
図２８は、第５実施形態に係る気体情報取得装置のチューブの引き回しについて説明する模式図である。図２４及び図２８に示すように、チューブ３４０は、ケース３００の壁面から、気体の情報の測定領域となるベッド８００の上まで延伸している。ケース３００の壁面から延伸したチューブ３４０の先端側は、ベッド８００のクッション８１０とシーツ８２０との間に配置されている。
FIG. 28 is a schematic view illustrating the routing of the tube of the gas information acquisition device according to the fifth embodiment. As shown in FIGS. 24 and 28, the
本実施形態では、一例として、ベッド８００のクッション８１０とシーツ８２０との間に、９本のチューブ３４０が、所定の間隔を空けて並置されている。複数のチューブ３４０を並置することで、チューブ３４０の位置ずれにより、所望の領域の気体の吸引ができなくなることを防止できる。
In the present embodiment, as an example, nine
チューブ３４０において、クッション８１０とシーツ８２０との間に配置される部分には、長手方向に沿って１つの貫通孔３４１が配置される。なお、図２８の矢印下の拡大図に示すように、長手方向に沿って複数の貫通孔３４１が所定間隔で配置されても良い。各々の貫通孔３４１は、気体情報取得装置３において気体吸引排出装置２Ａが動作したときに、シーツ８２０近傍の空気を吸引する吸引口となる。
In the
例えば、ベッド８００が病院に置かれ、シーツ８２０上におむつを着用した患者が寝ている場合を考える。この場合、気体情報取得装置３において気体吸引排出装置２Ａを常時又は間欠的に動作させ、シーツ８２０近傍の空気をチューブ３４０の貫通孔３４１から吸引し、気体吸引排出装置２Ａのセンサ９１で検出する。
For example, consider the case where the
センサ９１の検出結果を気体情報取得装置３の外部に配置された解析装置で解析することで、シーツ８２０近傍の空気の情報を取得できる。例えば、センサ９１として匂いセンサを用いれば、シーツ８２０近傍の空気の匂いの情報を取得できる。又、センサ９１として湿度センサを用いれば、シーツ８２０近傍の空気の湿度の情報を取得できる。
By analyzing the detection result of the
例えば、気体情報取得装置３の外部に配置された解析装置で匂いを解析することで、ベッド８００の上で***（排尿や排便）が行われたことを容易に検出可能となる。解析装置がベッド８００の上で***が行われたことを検出したときに、音声や光点滅等により検出結果を病院の看護師等に伝えることで、看護師等は、例えば、ベッド８００に寝ている患者のおむつを交換するタイミングを知ることができる。その結果、ベッド８００に寝ている患者が不快な思いをする時間を短縮可能となり、又、衛生面も確保できる。
For example, by analyzing the odor with an analysis device arranged outside the gas
以上、好ましい実施形態等について詳説したが、上述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。 Although the preferred embodiments and the like have been described in detail above, they are not limited to the above-described embodiments and the like, and various modifications and substitutions are made to the above-mentioned embodiments and the like without departing from the scope of claims. Can be added.
１、１Ａ、１Ｂ、２、２Ａ 気体吸引排出装置、３ 気体情報取得装置、１０、１０Ｂ 下ケース、１１、１１Ｂ、６１ 突出部、１２、１２Ｂ、１２Ｃ、１５、４１、４３、６２、６４、８２、８５ 貫通孔、１３、１４、２３、４２、６３、８３、８４ 凹部、１７ ゲージ取付部、２０ マイクロブロア、２１ 本体、２２、１１３ 外部接続端子、３０ マイクロブロアサポート、４０、４０Ｂ フィルターサポートプレート、５０、５０Ｂ フィルターユニット、５１、５５ フィルターサポート、５２ フィルター、５４ 起歪体、６０ 上ケース、７０ ビス、８０ マイクロブロアケース、９１ センサ、９２ 配線基板、９３ スペーサ、９４ ビス、１００、１００Ｂ ひずみゲージ、１１０、１１０Ｂ 基材、１１０ａ 上面、１１１、５４１ 環状部、１１２、５４２ 突起部、１２０ 機能層、１３０ 抵抗体、１３１、４２１、８３１ 第１部分、１３２、４２２、８３２ 第２部分、１４０ 配線、１５０ 端子部、２１１ 外ケース、２１１ａ 空洞部、２１１ｂ、２１２ａ、２１９ 壁部、２１１ｃ、２１２ｂ 貫通孔、２１２ 内ケース、２１４ ばね連結部、２１５ 振動板、２１５ａ 圧電素子、２１５ｂ ダイヤフラム、２１６ 第１ブロア室、２１７ａ 流入通路、２１７ｂ 流入空間、２１８ 第２ブロア室、２１９ａ 開口部、３００ ケース、３４０ チューブ、３４１ 貫通孔、３５１、３５２、３５３ 固定部材、８００ ベッド８００ クッション、８２０ シーツ 1, 1A, 1B, 2, 2A Gas suction / discharge device, 3 Gas information acquisition device, 10, 10B Lower case, 11, 11B, 61 Protruding part, 12, 12B, 12C, 15, 41, 43, 62, 64, 82, 85 through holes, 13, 14, 23, 42, 63, 83, 84 recesses, 17 gauge mounting part, 20 micro blower, 21 main body, 22, 113 external connection terminal, 30 micro blower support, 40, 40B filter support Plate, 50, 50B filter unit, 51, 55 filter support, 52 filter, 54 strain gauge, 60 upper case, 70 screws, 80 micro blower case, 91 sensor, 92 wiring board, 93 spacer, 94 screws, 100, 100B Strain gauge, 110, 110B base material, 110a upper surface, 111,541 annular part, 112,542 protrusions, 120 functional layers, 130 resistors, 131, 421, 831 first part, 132, 422, 832 second part, 140 wiring, 150 terminals, 211 outer case, 211a cavity, 211b, 212a, 219 wall, 211c, 212b through hole, 212 inner case, 214 spring connection, 215 vibrating plate, 215a piezoelectric element, 215b diaphragm, 216 1st blower chamber, 217a inflow passage, 217b inflow space, 218 2nd blower chamber, 219a opening, 300 case, 340 tube, 341 through hole, 351, 352, 353 fixing member, 800 bed 800 cushion, 820 sheets
Claims (12)
前記マイクロブロアよりも前記気体の吸引側に配置されたフィルターと、
前記フィルターの目詰まりを検出するひずみゲージと、を有する気体吸引排出装置。 A micro blower that sucks and discharges gas,
A filter arranged on the suction side of the gas with respect to the micro blower,
A gas suction / discharge device including a strain gauge for detecting clogging of the filter.
前記ひずみゲージは抵抗体を有し、
前記抵抗体は、前記突起部上に配置されている請求項１に記載の気体吸引排出装置。 It has a strain-causing body including an annular portion and a protrusion that projects inward from the annular portion.
The strain gauge has a resistor and
The gas suction / discharge device according to claim 1, wherein the resistor is arranged on the protrusion.
前記抵抗体は、前記基材の一方の面に形成され、
前記基材が前記起歪体を兼ねる請求項２に記載の気体吸引排出装置。 The strain gauge has a flexible substrate and has a flexible substrate.
The resistor is formed on one surface of the substrate and
The gas suction / discharge device according to claim 2, wherein the base material also serves as the strain-causing body.
前記第１凹部に連通して前記マイクロブロアの側面の一部を露出する複数の第２凹部と、を一方の側に備えた第１部材を有する請求項１乃至４の何れか一項に記載の気体吸引排出装置。 A first recess for positioning the microblower and
The invention according to any one of claims 1 to 4, further comprising a first member having a plurality of second recesses communicating with the first recess and exposing a part of the side surface of the microblower on one side. Gas suction and discharge device.
各々の前記凹部には、第２部材が挿入され、
前記第２部材は、前記マイクロブロアを挟んで前記第１部材と対向して配置された第３部材に押されて変形し、前記マイクロブロアを前記第１部材側に押圧する請求項５に記載の気体吸引排出装置。 A plurality of recesses are formed on the outer peripheral portion on one side of the micro blower.
A second member is inserted into each of the recesses.
The fifth aspect of claim 5, wherein the second member is pushed and deformed by a third member arranged so as to face the first member with the microblower interposed therebetween, and presses the microblower toward the first member. Gas suction and discharge device.
前記フィルターは、何れの前記マイクロブロアよりも前記気体の吸引側に配置されている請求項１乃至７の何れか一項に記載の気体吸引排出装置。 It has a plurality of microblowers arranged in series with the suction direction and the discharge direction of the gas aligned with each other.
The gas suction / discharge device according to any one of claims 1 to 7, wherein the filter is arranged on the suction side of the gas from any of the microblowers.
前記気体吸引排出装置の吸引側に接続され、前記気体の情報の測定領域まで延伸する、前記気体の吸引口が設けられた管状部材と、を有する気体情報取得装置。 The gas suction / discharge device according to claim 9 or 10.
A gas information acquisition device having a tubular member provided with a gas suction port, which is connected to the suction side of the gas suction / discharge device and extends to a measurement region of the gas information.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019227093A JP2021095870A (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Gas suction discharge device and gas information acquisition device |
| PCT/JP2020/040248 WO2021124688A1 (en) | 2019-12-17 | 2020-10-27 | Gas suction and discharge device, and gas information acquisition device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019227093A JP2021095870A (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Gas suction discharge device and gas information acquisition device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021095870A true JP2021095870A (en) | 2021-06-24 |
Family
ID=76430855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019227093A Pending JP2021095870A (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Gas suction discharge device and gas information acquisition device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2021095870A (en) |
| WO (1) | WO2021124688A1 (en) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013076364A (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Hitachi Automotive Systems Ltd | Air cleaner device of internal combustion engine, and control device of internal combustion engine |
| WO2017135206A1 (en) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 株式会社村田製作所 | Gas control device |
| EP3479114B1 (en) * | 2016-07-04 | 2020-08-19 | Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. | Device with microfluidic actuator |
| US11119545B2 (en) * | 2016-10-17 | 2021-09-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Filter mesh with incorporated strain gauge |
| JPWO2018074193A1 (en) * | 2016-10-21 | 2019-07-11 | 株式会社村田製作所 | Aspirator and suction system |
| WO2019131706A1 (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | 株式会社村田製作所 | Pump |
-
2019
- 2019-12-17 JP JP2019227093A patent/JP2021095870A/en active Pending
-
2020
- 2020-10-27 WO PCT/JP2020/040248 patent/WO2021124688A1/en active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2021124688A1 (en) | 2021-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6394706B2 (en) | Valve, fluid control device and blood pressure monitor | |
| JP5907256B2 (en) | Valve, fluid control device | |
| JP5751026B2 (en) | Ultrasonic transducer, biosensor, and method for manufacturing ultrasonic transducer | |
| JP2563272B2 (en) | A keyboard having a foil structure | |
| US20200222004A1 (en) | Biological sound sensor and biological sound diagnostic device | |
| EP1830169B1 (en) | Quartz sensor and sensing device | |
| WO2013039153A1 (en) | Respiratory protective tool provided with electric fan | |
| US9134276B2 (en) | Bulk acoustic wave resonator sensor | |
| US20050066736A1 (en) | Piezoelectric vibration sensor | |
| US20090249599A1 (en) | Gas sensor manufacturing process | |
| WO2021124688A1 (en) | Gas suction and discharge device, and gas information acquisition device | |
| JP2023157950A (en) | Strain gauge, sensor module, and bearing mechanism | |
| JP2010020820A (en) | Magnetic disk apparatus, gas sensor, and their manufacture method | |
| US20100059127A1 (en) | Piezoelectric pump and fluid transferring system | |
| WO2021149533A1 (en) | Gas information acquiring device | |
| JP2021145708A (en) | Gas information acquisition device | |
| CN112913068A (en) | Battery pack | |
| JP6288395B1 (en) | Valve, fluid control device and blood pressure monitor | |
| JP2022061116A (en) | Cover, cover structure, and gas information acquisition device | |
| US20230313838A1 (en) | Rolling bearing holder unit | |
| JP2018110611A (en) | Ultrasonic transducer and ultrasonic imaging apparatus | |
| WO2022244642A1 (en) | Sensor module and battery pack | |
| JP2021025782A (en) | Sensor module | |
| FI118908B (en) | Acoustic Guitar Control Unit | |
| KR100531798B1 (en) | Total suspended particle sensor using film bulk acoustic resonator |