JP2021065804A - 窒化チタン含有塊の除去方法 - Google Patents
窒化チタン含有塊の除去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021065804A JP2021065804A JP2019190404A JP2019190404A JP2021065804A JP 2021065804 A JP2021065804 A JP 2021065804A JP 2019190404 A JP2019190404 A JP 2019190404A JP 2019190404 A JP2019190404 A JP 2019190404A JP 2021065804 A JP2021065804 A JP 2021065804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- treatment
- cleaned
- titanium nitride
- dipping
- immersion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 103
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 110
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 98
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 86
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 86
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 216
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 127
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 21
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 17
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 47
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 42
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 40
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 33
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 31
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 239000000463 material Substances 0.000 description 34
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 206010058109 Hangnail Diseases 0.000 description 20
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 19
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 18
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 14
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 14
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 13
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 10
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 10
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 10
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000003570 air Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 4
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 4
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 4
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 4
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 4
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 4
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 4
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 2
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 2
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 description 2
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000131091 Lucanus cervus Species 0.000 description 2
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 2
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 2
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000862969 Stella Species 0.000 description 2
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 2
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 2
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- KVBCYCWRDBDGBG-UHFFFAOYSA-N azane;dihydrofluoride Chemical compound [NH4+].F.[F-] KVBCYCWRDBDGBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 229940090046 jet injector Drugs 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 2
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 2
- 231100000956 nontoxicity Toxicity 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
洗浄対象物に付着堆積している金属酸化物を含む高硬度の窒化チタン含有塊の除去を、洗浄対象物を傷付けることなく実施する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
硝酸と酸性フッ化アンモニウムの混合液に洗浄対象物を浸漬する工程と、浸漬工程後の洗浄対象物を物理処理する工程を含む窒化チタン含有塊の除去方法であって、このとき、(1)浸漬工程は、複数個の洗浄対象物を1個以上からなる複数の組に分け、時間的間隔をあけて、1組ずつ、浸漬槽に追加投入して浸漬工程を行うことが好ましく、(2)物理処理工程は、エアー噴射、水噴射、バフ掛け、ブラシ掛け、水洗の何れか1つ以上で行うことが好ましい。
【選択図】 なし
Description
この治具の材料としては金属、セラミック等各種のものが使用されるが、加工が容易であり、毒性が無く、取り扱い易さ等の点から、炭素系の材料が重用されている。
繰り返し使用に際しては、治具に付着堆積している窒化チタン塊を除去しなければならない。
(i)フッ素化合物と、還元力をもつ金属イオン(3価チタン、2価鉄)を含有するpH5以下の水溶液からなるチタン剥離液(特開2005−232559)、
(ii)フッ酸、過酸化水素、水、フッ酸以外の無機酸(硫酸、硝酸、塩酸)を含有する窒化チタン剥離液(特開2009−19255)、
(iii)フッ酸、過酸化水素、水溶性有機溶剤(イミダゾール、ピラゾール)、防食剤(エーテル)を含有する窒化チタン剥離液(特開2009−21516)、
(iv)フッ酸、過酸化水素、及び水溶性有機溶剤(多価アルコール、そのアルキルエーテル)を含む窒化チタン剥離液(特開2009−44129)、
等がある。
治具の材料、特に炭素系の材料から製造される治具にあっては、治具の材料入手上深刻な問題があることから、窒化チタン含有塊の美麗な除去技術の開発が急務となっている。
(1)上記(i)〜(iv)の剥離液を用いて窒化チタン含有塊の除去を試みたところ、窒化チタン塊(層)の下層にTi以外の金属の酸化物の塊(層)が存在しており、この金属酸化物は、上記の剥離液では除去することができない。
(2)上記の金属酸化物は、窒化チタン保護層を形成する際の下地層として形成するものであり、この下地層を形成しないと、窒化チタン保護層の形成対象物によっては、窒化チタン保護層が良好に形成されないばかりか、せっかく形成された保護層が簡単に剥離してしまうと言う問題がある。
(3)この金属酸化物も、当然に、上記治具に付着堆積し、この金属酸化物の上に窒化チタンが付着堆積してしまう。従って、上記治具を繰り返し使用するに際しては、窒化チタン塊(層)のみならず、金属酸化物塊(層)をも美麗に除去する必要がある。
(4)そこで、先ず、窒化チタン塊(層)を除去する薬剤を検討中に、特定のフッ素化合物と硝酸との混合液を用いたところ、窒化チタン塊(層)が美麗に除去されるのみならず、該層の下側に存在している金属酸化物塊(層)が面粗し状態となっており、この面粗し状態は、手指の触感で、ささくれ状であることが確認された。
(5)また、洗浄対象物を上記混合液で洗浄する操作を混合液に浸漬して行うことが利便性の点で好ましいが、複数個の洗浄対象物を長時間浸漬したままでは、たとえ攪拌操作を併用しても、十分な除去が困難になる場合があるが、このような場合、未処理の洗浄対象物を追加浸漬したところ、意外にも除去が進行することが判明した。
(6)次いで、上記のささくれ状に面粗しされた金属酸化物塊(層)の除去方法を追求した結果、薬剤による溶解除去よりも、エアーや水の噴射、バフ掛けやブラシ掛け等の物理処理による除去が、洗浄対象物の表面を平滑に処理しつつ除去できることが確認され、物理処理した洗浄対象物であれば、そのまま再使用できるとの知見を得た。
(1)硝酸と酸性フッ化アンモニウムの混合液に洗浄対象物を浸漬する工程、洗浄対象物を物理処理する工程を含んでなることを特徴とする窒化チタン含有塊を除去する方法である。
このとき、(2)上記の浸漬工程は、複数個の洗浄対象物を1個以上からなる複数の組に分け、時間的間隔をあけて、1組ずつ、浸漬槽に追加投入(すなわち、最初の1組目を浸漬し、適宜の時間経過後、2組目を1組目に追加する態様で投入)してもよいし、また浸漬工程は、常温〜90℃、0.5時間〜30日間で行ってよいし、攪拌操作を加えてもよい。さらに、(3)上記物理処理工程は、エアー噴射、水噴射、サンド噴射、バフ掛け、ブラシ掛け、水洗の何れか1つ以上で行ってよい。
なお、上記(2)の分割追加投入法の場合、第1組目の投入個数は、洗浄対象物全個数の半数以上、最終組の投入個数は、洗浄対象物全個数の20%以下程度とすることが好ましい。
特に、原材料が枯渇している炭素系の工具において、本発明の方法により、該工具に付着堆積している金属酸化物含有窒化チタン塊(層)を、該工具を傷付けることなく、かつ美麗な表面状態を呈して除去することができるため、本発明の方法で処理した該工具は、そのまま繰り返し使用することができる。
この浸漬工程の際、攪拌操作を加えてもよく、攪拌操作は浸漬工程中連続してあるいは間隔を一定にしてあるいはランダムに断続的に行ってもよい。攪拌の程度は、上記の混合液が洗浄対象物の全面に接触できればよいため、一般には、0.1〜10rpm程度で十分である。
この分割追加投入法では、第1組目の投入個数は、洗浄対象物全個数の半数以上、最終組の投入個数は、洗浄対象物全個数の20%以下程度とすることが、洗浄効率の点から好ましく、最初の組と最終の組の間の組の個数については、次第に少なくなるようにしてもよいし、逆に次第に多くなるようにしてもよく、あるいはランダムに多→少→多、あるいは同数→同数→同数のようにしてもよい。
このような分割追加投入による浸漬工程においても、上記の温度、時間で行い、さらに攪拌操作を加えてもよいことは言うまでもない。
このささくれ状態の金属酸化物塊(層)は、次工程の物理処理によって除去する。
また、このような場合、水やエアー噴射を水中で行う方法も採用でき、物理処理の速度を向上させることができる。
例えば、カーボングラファイト製の外径100〜700mm、内径70〜650mm、厚さ10〜50mmの薄肉ドーナツ型円盤状(あるいは箍状)の外周に沿って凹状の保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径5〜25mm、深さ3〜15mm程度の概略円筒形)を複数具備する構造を有するもの、あるいはカーボングラファイト製の外径100〜700mm、内径8〜50mm、厚さ10〜50mmの薄肉ドーナツ型円盤状のドーナツ型円盤面に凹状の保持部(上記と同様の開口部径5〜25mm、深さ3〜15mm程度の概略円筒形)を複数具備する構造を有するもの、を洗浄対象物とする場合、ノズル寸法が先端部0.1〜0.7mm、後端部0.5〜1.5mmを使用し、噴射圧が1〜50L/sec程度で行われる。水中で水やエアー噴射を行う言わばジェットバスタイプの場合の水槽は、上記の洗浄対象物が複数個没入できる程度の大きさのものを使用する。
本発明の方法において、物理処理としてバフ掛けやブラシ掛けを採用する場合、これらの処理に先立って、洗浄対象物を水洗して、該対象物の表面に残存している浸漬処理水を除去しておくことが好ましいが、上記のようなエアーや水の噴射、あるいは水洗で物理処理する場合には、これらの処理に先立つ水洗は不要とすることができる。
カーボングラファイト製の外径300mm、内径250mm、厚さ25mmの薄肉ドーナツ型円盤状(箍状)の外周に沿って凹状保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径20mm、深さ10mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(窒化チタン層形成対象物を保持してCVD法により該層を形成する際に使用した治具《以下、“使用済み治具”と記すこともある》、なおアルミナが窒化チタン層の下地層として形成されている《以下、“下地層あり”と記すこともある》)12個を次の工程により処理した。
内槽(内容量200L)に浸漬用の液を注入し、外槽に湯を流通させて内槽の浸漬液の温度を一定に保持する二槽タイプの浸漬槽を使用した。
浸漬液は、酸性フッ化アンモニウム(ステラケミファ社製商品名“酸性フッ化アンモニウム(D)”)20kgに、硝酸(濃度98%の武田商事社製商品名“CAS 7697−37−2”)14.2Lの割合で混合して調製した。
この浸漬液150Lを、上記の浸漬槽の内槽に注入し、外槽に80℃の湯を流通して、浸漬液を65℃に保持した。
浸漬槽から取り出した浸漬処理後の洗浄対象物を水道水で水洗し、乾燥した。
乾燥後の洗浄対象物の保持部内面をも含めた全表面を、大〜小面積用の金属ブラシ(スリーエム社製商品名“スコッチブライト工業用パッド7448”)と、極小面積用のダイヤモンド電着ブラシ(ダイヤモンドヤスリ)(ビップ商工社販売商品名“DCW5”)とを用い、手作業によりブラシ掛けを行い、目視と指の触感とにより、洗浄対象物の略全表面のささくれ状態が無くなり、滑らかにまるまでブラシ処理を行った。
物理処理後の洗浄対象物は、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、鉄バフ材(有明鍍研磨材工業社製商品名“鉄バフTE100×12.7”)を用い、手作業によりバフ掛けを行う以外は実施例1と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様、保持部内面までをも含め、表面のささくれ状態は無くなり、平滑な表面となっており、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、ジェット噴射機付き水槽(内容量200L)(浸漬工程で使用した浸漬槽の内槽と同じ仕様の水槽に、一般家庭用のジェットバス《森鉄工社製商品名“家庭用マイクロバブル発生器BU―BU本体セット”》を設置)内に水道水150Lを注入し、ここに浸漬処理後の洗浄対象物12個を200mmの間隔を空けて埋没させ、水中に水噴射を行いつつ水洗する以外は実施例1と同様にして処理した。なお、水噴射圧の調整は、洗浄対象物の状態を目視観察しつつ行った。フルパワーでの噴射圧で24時間洗浄した結果、ほぼ全ての洗浄対象物が良好に洗浄できた。一部、残存していたものについては、実施例1又は2と同じブラシ又はバフを用いて、仕上げ処理の感覚で処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1,2と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、本例では、図1(A)に示す透明合成樹脂製円筒形容器(径900mm×長さ1200mm、長さ方向に開閉)1の長さ方向に等間隔で4か所、周方向に4本のエアー又は水噴射用ノズル設置部2,2・・・を有し、各設置部にそれぞれ4個の噴射ノズル3,3・・・を等間隔(すなわち45°毎)に設置した。ノズルの向きは上記円筒形容器の内面から15°傾斜させた。
ノズル3,3・・は、先端部0.5mm、後端部0.8mmのコンバートジェント型を使用した。ノズル3,3・・・は、図1(C)に示すように、導管4,4・・・を介して制御部5に連結され、噴射圧が制御されて、エアーや水が供給される。
このような構成の透明合成樹脂製円筒形容器1内の噴射ノズル設置部2,2・・の下方に位置させて(すなわちノズルからのエアー、水、又はサンドが図示しない洗浄対象物の保持部設置面に15°の角度で衝射されるように)、浸漬処理済の洗浄対象物(図示省略)を4個セットした後、4個のノズルそれぞれから、エアーを30L/secで噴射する以外は実施例1と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1〜3と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
なお、上記と同様の物理処理を、残り8個についても4個ずつ繰り返し行った。結果は、上記と同様であった。
エアー噴射を水噴射に替え、噴射圧を20L/secとする以外は実施例4と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1〜4と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
カーボングラファイト製の外側辺が一辺700mm、内側辺が一辺450mm、厚さ40mmの薄肉矩形型盤状(矩形フレーム状)の側辺に沿って凹状保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径25mm、深さ15mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(窒化チタン層形成対象物を保持してCVD法により該層を形成する際に使用した治具)3個と、実施例1〜5と同じ形状・寸法の洗浄対象物5個と、寸法が外径200mm、内径150mm、厚さ25mmである以外は実施例1〜5と同じ薄肉ドーナツ型円盤状(箍状)の洗浄対象物5個を用意し、次の工程により処理した。
結果は、何れの実施例においても、実施例1と略同様、多少の差は有るものの、12個全ての洗浄対象物において、形成対処物の保持部内面までも含めて表面がささくれ立った状態となっており、窒化チタン塊(層)の大部分が除去できていることが確認された。
結果は、表2に合わせて示す通りであった。
<浸漬処理工程>:
実施例1と同様の形状を有する洗浄対象物12個を、11個の組(第1の組)と1個の組(第2の組)の2つの組に分け、第1の組の11個を実施例1の浸漬処理工程と同じ条件で浸漬処理を行い、24時間程度経過した時点で、浸漬処理を続行しつつ、この浸漬槽に第2の組の1個を追加浸漬し、約22時間浸漬処理を行った。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物を取り出して、表面状態を目視観察したところ、浸漬処理工程(1)〜(6)のいずれの場合も、実施例1のものより、大きなささくれ状態となっており、作業員が指でささくれの1つを摘まんで上方に引っ張ったところ、容易に剥離することが確認された。剥離後の目視観察によれば、チタン層形成対象物の素材自体の表面が露出していることが確認された。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例10の浸漬処理工程(1)と(5)と同様の浸漬処理を、表3に示す配合割合の浸漬液にて、表3に示す温度条件で行った。
浸漬時間についての結果は、表3に示す通りであった。
上記浸漬処理工程(1)、(5)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
カーボングラファイト製の外径300mm、内径55mm、厚さ25mmの薄肉ドーナツ型円盤状のドーナツ型円盤面に凹状保持部(開口部径20mm、深さ10mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(使用済み治具で、アルミナ下地層あり)24個を次の工程により処理した。
上記洗浄対象物を12個づつ2組に分け、それぞれの組について実施例1と同様にして行った。結果は、2つの組の全てにおいて実施例1と略同様であった。
(1)浸漬処理工程後の洗浄対象物2個について、実施例1と同様のダイヤモンド電着ブラシ処理を行った。結果は、処理時間が洗浄対象物2個の合計で約30分であった以外は、実施例1と略同様であった。
(2)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物2個について、実施例2で使用したものと同じ鉄バフ処理を行った。結果は、処理時間が洗浄対象物2個の合計で約30分であった以外は、実施例2と略同様であった。
(3)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物6個について、実施例3と同様のジェットバス処理を行った。結果は、処理時間が約15時間であった以外は、実施例3と略同様であった。
(4)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物4個について、本例では、図1(B)の一部説明図に示すように、図1(A)と同様の透明合成樹脂製円筒形容器(径900mm×長さ1200mm、長さ方向に開閉)1の長さ方向に等間隔で4か所(図1(B)では省略)、該円筒形容器1の上曲面の頂点1か所と、該頂点から左右方向に等間隔で1か所ずつの計3か所から垂直方向に3本のエアー又は水噴射用ノズル設置用パイプ6,6,6を有し、同図(B)に示すように、頂点の設置用パイプ6には長さ方向に4個のノズル3,3,3,3、左右方向の設置用パイプ6,6にはそれぞれ長さ方向に2個のノズル3,3、3,3を取り付けた
ノズル3,3・・は、図1(A)に示すものと同様のコンバートジェント型を使用した。ノズル3,3・・・は、図1(A)の場合と同様、図1(C)に示す導管4,4・・・により制御部5に連結され、噴射圧が制御されて、エアーや水が供給される。
このような構成の透明合成樹脂製円筒形容器1内のノズル3,3・・・に対面させて(すなわちノズルからのエアー、水、又はサンドが図示しない洗浄対象物の保持部設置面に衝射されるように)、浸漬処理済の洗浄対象物(図示省略)を4個セットした後、4個のノズルそれぞれから、エアーを30L/secで噴射する以外は実施例4と同様にして処理した。
結果は、実施例4と同様、内部の目視観察は極めて困難故に、実施例4と同様に、30分毎に、5分間エアー噴射を休止し、容器内の飛散を沈めて目視観察する操作を、5時間継続したところ、実施例4の場合と同様、金属酸化物塊は、略全てが除去されていた。続いて、ノズル3,3,3・・・・・と反対側面にも上記と同様のエアー噴射処理を行うべく、洗浄対象物を反転させて、1時間のエアー噴射を行った結果、この面に僅かに残っていた塊も略全てが除去されていた。その後、僅かに残っていた塊は、両面共にバフ掛けにより除去した。
(5)浸漬処理工程後の更に他の洗浄対象物4個について、エアー噴射を水噴射に替え、噴射圧を20L/secとする以外は上記(4)と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例12と同様の形状を有する洗浄対象物を、実施例10(1)〜(6)と同様の組に分けて、実施例10(1)〜(6)と同様の浸漬処理を行った。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物を取り出して、表面状態を目視観察したところ、浸漬処理工程(1)〜(6)のいずれの場合も、実施例12のものより、大きなささくれ状態となっており、作業員が指でささくれの1つを摘まんで上方に引っ張ったところ、容易に剥離することが確認された。剥離後の目視観察によれば、チタン層形成対象物の素材自体の表面が露出していることが確認された。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例13の浸漬処理工程(3)と(6)と同様の浸漬処理を、表4に示す配合割合の浸漬液にて、表4に示す温度条件で行った。
浸漬時間についての結果は、表4に示す通りであった。
上記浸漬処理工程(3)、(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
よって、該冶具の材料が枯渇している現状において、本発明の方法は、当該産業分野において、極めて有益な利用可能性がある。
2 ノズル設置部
3 ノズル
4 パイプ
5 制御部
6 ノズル設置用パイプ
この治具の材料としては金属、セラミック等各種のものが使用されるが、加工が容易であり、毒性が無く、取り扱い易さ等の点から、炭素系の材料が重用されている。
繰り返し使用に際しては、治具に付着堆積している窒化チタン塊を除去しなければならない。
(i)フッ素化合物と、還元力をもつ金属イオン(3価チタン、2価鉄)を含有するpH5以下の水溶液からなるチタン剥離液(特開2005−232559)、
(ii)フッ酸、過酸化水素、水、フッ酸以外の無機酸(硫酸、硝酸、塩酸)を含有する窒化チタン剥離液(特開2009−19255)、
(iii)フッ酸、過酸化水素、水溶性有機溶剤(イミダゾール、ピラゾール)、防食剤(エーテル)を含有する窒化チタン剥離液(特開2009−21516)、
(iv)フッ酸、過酸化水素、及び水溶性有機溶剤(多価アルコール、そのアルキルエーテル)を含む窒化チタン剥離液(特開2009−44129)、
等がある。
治具の材料、特に炭素系の材料から製造される治具にあっては、治具の材料入手上深刻な問題があることから、窒化チタン含有塊の美麗な除去技術の開発が急務となっている。
(1)上記(i)〜(iv)の剥離液を用いて窒化チタン含有塊の除去を試みたところ、窒化チタン塊(層)の下層にTi以外の金属の酸化物の塊(層)が存在しており、この金属酸化物は、上記の剥離液では除去することができない。
(2)上記の金属酸化物は、窒化チタン保護層を形成する際の下地層として形成するものであり、この下地層を形成しないと、窒化チタン保護層の形成対象物によっては、窒化チタン保護層が良好に形成されないばかりか、せっかく形成された保護層が簡単に剥離してしまうと言う問題がある。
(3)この金属酸化物も、当然に、上記治具に付着堆積し、この金属酸化物の上に窒化チタンが付着堆積してしまう。従って、上記治具を繰り返し使用するに際しては、窒化チタン塊(層)のみならず、金属酸化物塊(層)をも美麗に除去する必要がある。
(4)そこで、先ず、窒化チタン塊(層)を除去する薬剤を検討中に、特定のフッ素化合物と硝酸との混合液を用いたところ、窒化チタン塊(層)が美麗に除去される場合であっ て、該層の下側に存在している金属酸化物塊(層)が面粗し状態となっており、この面粗し状態は、手指の触感で、ささくれ状であることが確認された。
(5)また、洗浄対象物を上記混合液で洗浄する操作を混合液に浸漬して行うことが利便性の点で好ましいが、複数個の洗浄対象物を長時間浸漬したままでは、たとえ攪拌操作を併用しても、十分な除去が困難になる場合があるが、このような場合、未処理の洗浄対象物を追加浸漬したところ、意外にも除去が進行することが判明した。
(6)次いで、上記のささくれ状に面粗しされた金属酸化物塊(層)の除去方法を追求した結果、薬剤による溶解除去よりも、エアーや水の噴射、バフ掛けやブラシ掛け等の物理処理による除去が、洗浄対象物の表面を平滑に処理しつつ除去できることが確認され、物理処理した洗浄対象物であれば、そのまま再使用できるとの知見を得た。
(1)硝酸と酸性フッ化アンモニウムの混合液に、洗浄対象物である炭素系材料製の治具を浸漬する工程、浸漬工程後の洗浄対象物を、エアー噴射、水噴射、サンド噴射、バフ掛 け、ブラシ掛けの何れか1つ以上で物理処理する工程を含んでなることを特徴とする炭素 系材料製治具に付着堆積している窒化チタン含有塊を除去する方法である。
このとき、(2)上記の浸漬工程は、複数個の洗浄対象物を1個以上からなる複数の組に分け、時間的間隔をあけて、1組ずつ、浸漬槽に追加投入(すなわち、最初の1組目を浸漬し、適宜の時間経過後、2組目を1組目に追加する態様で投入)してもよいし、また浸漬工程は、常温〜90℃、0.5時間〜30日間で行ってよいし、攪拌操作を加えてもよい。さらに、(3)上記物理処理工程における水噴射は、ノズル又はジェットバスを用 いて行ってよい。
なお、上記(2)の分割追加投入法の場合、第1組目の投入個数は、洗浄対象物全個数の半数以上、最終組の投入個数は、洗浄対象物全個数の20%以下程度とすることが好ましい。
特に、原材料が枯渇している炭素系の工具において、本発明の方法により、該工具に付着堆積している金属酸化物含有窒化チタン塊(層)を、該工具を傷付けることなく、かつ美麗な表面状態を呈して除去することができるため、本発明の方法で処理した該工具は、そのまま繰り返し使用することができる。
この浸漬工程の際、攪拌操作を加えてもよく、攪拌操作は浸漬工程中連続してあるいは間隔を一定にしてあるいはランダムに断続的に行ってもよい。攪拌の程度は、上記の混合液が洗浄対象物の全面に接触できればよいため、一般には、0.1〜10rpm程度で十分である。
この分割追加投入法では、第1組目の投入個数は、洗浄対象物全個数の半数以上、最終組の投入個数は、洗浄対象物全個数の20%以下程度とすることが、洗浄効率の点から好ましく、最初の組と最終の組の間の組の個数については、次第に少なくなるようにしてもよいし、逆に次第に多くなるようにしてもよく、あるいはランダムに多→少→多、あるいは同数→同数→同数のようにしてもよい。
このような分割追加投入による浸漬工程においても、上記の温度、時間で行い、さらに攪拌操作を加えてもよいことは言うまでもない。
このささくれ状態の金属酸化物塊(層)は、次工程の物理処理によって除去する。
また、このような場合、水やエアー噴射を水中で行う方法も採用でき、物理処理の速度を向上させることができる。
例えば、カーボングラファイト製の外径100〜700mm、内径70〜650mm、厚さ10〜50mmの薄肉ドーナツ型円盤状(あるいは箍状)の外周に沿って凹状の保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径5〜25mm、深さ3〜15mm程度の概略円筒形)を複数具備する構造を有するもの、あるいはカーボングラファイト製の外径100〜700mm、内径8〜50mm、厚さ10〜50mmの薄肉ドーナツ型円盤状のドーナツ型円盤面に凹状の保持部(上記と同様の開口部径5〜25mm、深さ3〜15mm程度の概略円筒形)を複数具備する構造を有するもの、を洗浄対象物とする場合、ノズル寸法が先端部0.1〜0.7mm、後端部0.5〜1.5mmを使用し、噴射圧が1〜50L/sec程度で行われる。水中で水やエアー噴射を行う言わばジェットバスタイプの場合の水槽は、上記の洗浄対象物が複数個没入できる程度の大きさのものを使用する。
本発明の方法において、物理処理としてバフ掛けやブラシ掛けを採用する場合、これらの処理に先立って、洗浄対象物を水洗して、該対象物の表面に残存している浸漬処理水を除去しておくことが好ましいが、上記のようなエアーや水の噴射、あるいは水洗で物理処理する場合には、これらの処理に先立つ水洗は不要とすることができる。
カーボングラファイト製の外径300mm、内径250mm、厚さ25mmの薄肉ドーナツ型円盤状(箍状)の外周に沿って凹状保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径20mm、深さ10mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(窒化チタン層形成対象物を保持してCVD法により該層を形成する際に使用した治具《以下、“使用済み治具”と記すこともある》、なおアルミナが窒化チタン層の下地層として形成されている《以下、“下地層あり”と記すこともある》)12個を次の工程により処理した。
内槽(内容量200L)に浸漬用の液を注入し、外槽に湯を流通させて内槽の浸漬液の温度を一定に保持する二槽タイプの浸漬槽を使用した。
浸漬液は、酸性フッ化アンモニウム(ステラケミファ社製商品名“酸性フッ化アンモニウム(D)”)20kgに、硝酸(濃度98%の武田商事社製商品名“CAS 7697−37−2”)14.2Lの割合で混合して調製した。
この浸漬液150Lを、上記の浸漬槽の内槽に注入し、外槽に80℃の湯を流通して、浸漬液を65℃に保持した。
浸漬槽から取り出した浸漬処理後の洗浄対象物を水道水で水洗し、乾燥した。
乾燥後の洗浄対象物の保持部内面をも含めた全表面を、大〜小面積用の金属ブラシ(スリーエム社製商品名“スコッチブライト工業用パッド7448”)と、極小面積用のダイヤモンド電着ブラシ(ダイヤモンドヤスリ)(ビップ商工社販売商品名“DCW5”)とを用い、手作業によりブラシ掛けを行い、目視と指の触感とにより、洗浄対象物の略全表面のささくれ状態が無くなり、滑らかになるまでブラシ処理を行った。
物理処理後の洗浄対象物は、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、鉄バフ材(有明鍍研磨材工業社製商品名“鉄バフTE100×12.7”)を用い、手作業によりバフ掛けを行う以外は実施例1と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様、保持部内面までをも含め、表面のささくれ状態は無くなり、平滑な表面となっており、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、ジェット噴射機付き水槽(内容量200L)(浸漬工程で使用した浸漬槽の内槽と同じ仕様の水槽に、一般家庭用のジェットバス《森鉄工社製商品名“家庭用マイクロバブル発生器BU―BU本体セット”》を設置)内に水道水150Lを注入し、ここに浸漬処理後の洗浄対象物12個を200mmの間隔を空けて埋没させ、水中に水噴射を行いつつ水洗する以外は実施例1と同様にして処理した。なお、水噴射圧の調整は、洗浄対象物の状態を目視観察しつつ行った。フルパワーでの噴射圧で24時間洗浄した結果、ほぼ全ての洗浄対象物が良好に洗浄できた。一部、残存していたものについては、実施例1又は2と同じブラシ又はバフを用いて、仕上げ処理の感覚で処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1,2と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
物理処理工程を、本例では、図1(A)に示す透明合成樹脂製円筒形容器(径900mm×長さ1200mm、長さ方向に開閉)1の長さ方向に等間隔で4か所、周方向に4本のエアー又は水噴射用ノズル設置部2,2・・・を有し、各設置部にそれぞれ4個の噴射ノズル3,3・・・を等間隔(すなわち45°毎)に設置した。ノズルの向きは上記円筒形容器の内面から15°傾斜させた。
ノズル3,3・・は、先端部0.5mm、後端部0.8mmのコンバートジェント型を使用した。ノズル3,3・・・は、図1(C)に示すように、導管4,4・・・を介して制御部5に連結され、噴射圧が制御されて、エアーや水が供給される。
このような構成の透明合成樹脂製円筒形容器1内の噴射ノズル設置部2,2・・の下方に位置させて(すなわちノズルからのエアー、水、又はサンドが図示しない洗浄対象物の保持部設置面に15°の角度で衝射されるように)、浸漬処理済の洗浄対象物(図示省略)を4個セットした後、4個のノズルそれぞれから、エアーを30L/secで噴射する以外は実施例1と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1〜3と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
なお、上記と同様の物理処理を、残り8個についても4個ずつ繰り返し行った。結果は、上記と同様であった。
エアー噴射を水噴射に替え、噴射圧を20L/secとする以外は実施例4と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、実施例1〜4と同様に、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
カーボングラファイト製の外側辺が一辺700mm、内側辺が一辺450mm、厚さ40mmの薄肉矩形型盤状(矩形フレーム状)の側辺に沿って凹状保持部(窒化チタン層形成対象物の保持部であって、開口部径25mm、深さ15mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(窒化チタン層形成対象物を保持してCVD法により該層を形成する際に使用した治具)3個と、実施例1〜5と同じ形状・寸法の洗浄対象物5個と、寸法が外径200mm、内径150mm、厚さ25mmである以外は実施例1〜5と同じ薄肉ドーナツ型円盤状(箍状)の洗浄対象物5個を用意し、次の工程により処理した。
結果は、何れの実施例においても、実施例1と略同様、多少の差は有るものの、12個全ての洗浄対象物において、形成対処物の保持部内面までも含めて表面がささくれ立った状態となっており、窒化チタン塊(層)の大部分が除去できていることが確認された。
結果は、表2に合わせて示す通りであった。
<浸漬処理工程>:
(1)実施例1と同様の形状を有する洗浄対象物12個を、11個の組(第1の組)と1個の組(第2の組)の2つの組に分け、第1の組の11個を実施例1の浸漬処理工程と同じ条件で浸漬処理を行い、24時間程度経過した時点で、浸漬処理を続行しつつ、この浸漬槽に第2の組の1個を追加浸漬し、約22時間浸漬処理を行った。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物を取り出して、表面状態を目視観察したところ、浸漬処理工程(1)〜(6)のいずれの場合も、実施例1のものより、大きなささくれ状態となっており、作業員が指でささくれの1つを摘まんで上方に引っ張ったところ、容易に剥離することが確認された。剥離後の目視観察によれば、チタン層形成対象物の素材自体の表面が露出していることが確認された。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例10の浸漬処理工程(1)と(5)と同様の浸漬処理を、表3に示す配合割合の浸漬液にて、表3に示す温度条件で行った。
浸漬時間についての結果は、表3に示す通りであった。
上記浸漬処理工程(1)、(5)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
カーボングラファイト製の外径300mm、内径55mm、厚さ25mmの薄肉ドーナツ型円盤状のドーナツ型円盤面に凹状保持部(開口部径20mm、深さ10mmの円筒形)を複数具備する構造の洗浄対象物(使用済み治具で、アルミナ下地層あり)24個を次の工程により処理した。
上記洗浄対象物を12個づつ2組に分け、それぞれの組について実施例1と同様にして行った。結果は、2つの組の全てにおいて実施例1と略同様であった。
(1)浸漬処理工程後の洗浄対象物2個について、実施例1と同様のダイヤモンド電着ブラシ処理を行った。結果は、処理時間が洗浄対象物2個の合計で約30分であった以外は、実施例1と略同様であった。
(2)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物2個について、実施例2で使用したものと同じ鉄バフ処理を行った。結果は、処理時間が洗浄対象物2個の合計で約30分であった以外は、実施例2と略同様であった。
(3)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物6個について、実施例3と同様のジェットバス処理を行った。結果は、処理時間が約15時間であった以外は、実施例3と略同様であった。
(4)浸漬処理工程後の他の洗浄対象物4個について、本例では、図1(B)の一部説明図に示すように、図1(A)と同様の透明合成樹脂製円筒形容器(径900mm×長さ1200mm、長さ方向に開閉)1の長さ方向に等間隔で4か所(図1(B)では省略)、該円筒形容器1の上曲面の頂点1か所と、該頂点から左右方向に等間隔で1か所ずつの計3か所から垂直方向に3本のエアー又は水噴射用ノズル設置用パイプ6,6,6を有し、同図(B)に示すように、頂点の設置用パイプ6には長さ方向に4個のノズル3,3,3,3、左右方向の設置用パイプ6,6にはそれぞれ長さ方向に2個のノズル3,3、3,3を取り付けた。
ノズル3,3・・は、図1(A)に示すものと同様のコンバートジェント型を使用した。ノズル3,3・・・は、図1(A)の場合と同様、図1(C)に示す導管4,4・・・により制御部5に連結され、噴射圧が制御されて、エアーや水が供給される。
このような構成の透明合成樹脂製円筒形容器1内のノズル3,3・・・に対面させて(すなわちノズルからのエアー、水、又はサンドが図示しない洗浄対象物の保持部設置面に衝射されるように)、浸漬処理済の洗浄対象物(図示省略)を4個セットした後、4個のノズルそれぞれから、エアーを30L/secで噴射する以外は実施例4と同様にして処理した。
結果は、実施例4と同様、内部の目視観察は極めて困難故に、実施例4と同様に、30分毎に、5分間エアー噴射を休止し、容器内の飛散を沈めて目視観察する操作を、5時間継続したところ、実施例4の場合と同様、金属酸化物塊は、略全てが除去されていた。続いて、ノズル3,3,3・・・・・と反対側面にも上記と同様のエアー噴射処理を行うべく、洗浄対象物を反転させて、1時間のエアー噴射を行った結果、この面に僅かに残っていた塊も略全てが除去されていた。その後、僅かに残っていた塊は、両面共にバフ掛けにより除去した。
(5)浸漬処理工程後の更に他の洗浄対象物4個について、エアー噴射を水噴射に替え、噴射圧を20L/secとする以外は上記(4)と同様にして処理した。
処理後の洗浄対象物は、そのままCVD装置の窒化チタン被膜形成対象物保持具として良好に使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例12と同様の形状を有する洗浄対象物を、実施例10(1)〜(6)と同様の組に分けて、実施例10(1)〜(6)と同様の浸漬処理を行った。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物を取り出して、表面状態を目視観察したところ、浸漬処理工程(1)〜(6)のいずれの場合も、実施例12のものより、大きなささくれ状態となっており、作業員が指でささくれの1つを摘まんで上方に引っ張ったところ、容易に剥離することが確認された。剥離後の目視観察によれば、チタン層形成対象物の素材自体の表面が露出していることが確認された。
上記浸漬処理工程(1)〜(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
<浸漬処理工程>:
実施例13の浸漬処理工程(3)と(6)と同様の浸漬処理を、表4に示す配合割合の浸漬液にて、表4に示す温度条件で行った。
浸漬時間についての結果は、表4に示す通りであった。
上記浸漬処理工程(3)、(6)で処理した後の各12個の洗浄対象物をそれぞれ、実施例1〜5の物理処理工程と同様にして処理した。
結果は、実施例1と同様のブラシ掛け、実施例2と同様のバフ掛け処理共に、12個の合計時間で、実施例1,2の処理時間(各5時間程度)が6割程度の処理時間(各3時間程度)で、良好に再使用することができた。また、実施例3と同様の水中での水噴射処理では15時間程度で、実施例4と同様のエアー噴射処理、実施例5と同様の水噴射処理はともに3時間程度で、良好に再使用することができた。
よって、該冶具の材料が枯渇している現状において、本発明の方法は、当該産業分野において、極めて有益な利用可能性がある。
2 ノズル設置部
3 ノズル
4 パイプ
5 制御部
6 ノズル設置用パイプ
Claims (3)
- 硝酸と酸性フッ化アンモニウムの混合液に洗浄対象物を浸漬する工程、
浸漬工程後の洗浄対象物を物理処理する工程
を含んでなることを特徴とする窒化チタン含有塊の除去方法。 - 複数個の洗浄対象物を1個以上からなる複数の組に分け、時間的間隔をあけて、1組ずつ、浸漬槽に追加投入して浸漬工程を行うことを特徴とする請求項1記載の窒化チタン含有塊の除去方法。
- 物理処理工程を、エアー噴射、水噴射、サンド噴射、バフ掛け、ブラシ掛け、水洗の何れか1つ以上で行うことを特徴とする請求項1又は2記載の窒化チタン含有塊の除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019190404A JP2021065804A (ja) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 窒化チタン含有塊の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019190404A JP2021065804A (ja) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 窒化チタン含有塊の除去方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021065804A true JP2021065804A (ja) | 2021-04-30 |
Family
ID=75636269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019190404A Pending JP2021065804A (ja) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 窒化チタン含有塊の除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021065804A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022215522A1 (ja) | 2021-04-08 | 2022-10-13 | 株式会社スリーボンド | 二液硬化型樹脂組成物及びその硬化物 |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58199898A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-21 | Neos Co Ltd | 電着塗装用治具の洗浄方法 |
JPS5941479A (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-07 | Citizen Watch Co Ltd | 窒化チタン被膜の除去方法 |
JPS62180065A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Citizen Watch Co Ltd | Pvd被膜形成治具の清浄方法 |
JPH03256906A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-15 | Alps Electric Co Ltd | 洗浄機用搬送装置 |
JPH0498487U (ja) * | 1991-01-29 | 1992-08-26 | ||
JPH0689461B2 (ja) * | 1985-07-16 | 1994-11-09 | シチズン時計株式会社 | 窒化チタン被膜の除去方法 |
JPH07308777A (ja) * | 1994-05-18 | 1995-11-28 | Nisshin Steel Co Ltd | スラブ表面の溶削方法 |
JPH0833916A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Kawasaki Steel Corp | 冷間圧延板の洗浄方法 |
JPH1179757A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-23 | Canon Inc | 光学素子成形用型及びその再生方法 |
JP2000140931A (ja) * | 1998-11-06 | 2000-05-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 板厚プレス装置のデスケーリング装置 |
US6530388B1 (en) * | 2000-02-15 | 2003-03-11 | Quantum Global Technologies, Llc | Volume efficient cleaning systems |
JP2012069299A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | 燃料電池の製造方法 |
JP2012222066A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Panasonic Corp | 半導体装置の製造方法及び処理装置 |
JP2013064180A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shinryo Corp | 超硬材における硬質被膜の除去方法及び超硬材の製造方法 |
JP2016068188A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 新東工業株式会社 | 付着物除去方法 |
JP2017031502A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 銅層およびチタン層を含む多層薄膜をエッチングするためのエッチング液およびこれを用いたエッチング方法、並びに該エッチング方法を用いて得られた基板 |
JP2017048416A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 日本表面化学株式会社 | 皮膜除去剤及び皮膜除去方法 |
JP2017195311A (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 関東化學株式会社 | 単層膜または積層膜のエッチング組成物または前記組成物を用いたエッチング方法 |
-
2019
- 2019-10-17 JP JP2019190404A patent/JP2021065804A/ja active Pending
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58199898A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-21 | Neos Co Ltd | 電着塗装用治具の洗浄方法 |
JPS5941479A (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-07 | Citizen Watch Co Ltd | 窒化チタン被膜の除去方法 |
JPH0689461B2 (ja) * | 1985-07-16 | 1994-11-09 | シチズン時計株式会社 | 窒化チタン被膜の除去方法 |
JPS62180065A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Citizen Watch Co Ltd | Pvd被膜形成治具の清浄方法 |
JPH03256906A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-15 | Alps Electric Co Ltd | 洗浄機用搬送装置 |
JPH0498487U (ja) * | 1991-01-29 | 1992-08-26 | ||
JPH07308777A (ja) * | 1994-05-18 | 1995-11-28 | Nisshin Steel Co Ltd | スラブ表面の溶削方法 |
JPH0833916A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Kawasaki Steel Corp | 冷間圧延板の洗浄方法 |
JPH1179757A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-23 | Canon Inc | 光学素子成形用型及びその再生方法 |
JP2000140931A (ja) * | 1998-11-06 | 2000-05-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 板厚プレス装置のデスケーリング装置 |
US6530388B1 (en) * | 2000-02-15 | 2003-03-11 | Quantum Global Technologies, Llc | Volume efficient cleaning systems |
JP2012069299A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | 燃料電池の製造方法 |
JP2012222066A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Panasonic Corp | 半導体装置の製造方法及び処理装置 |
JP2013064180A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shinryo Corp | 超硬材における硬質被膜の除去方法及び超硬材の製造方法 |
JP2016068188A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 新東工業株式会社 | 付着物除去方法 |
JP2017031502A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 銅層およびチタン層を含む多層薄膜をエッチングするためのエッチング液およびこれを用いたエッチング方法、並びに該エッチング方法を用いて得られた基板 |
JP2017048416A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 日本表面化学株式会社 | 皮膜除去剤及び皮膜除去方法 |
JP2017195311A (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 関東化學株式会社 | 単層膜または積層膜のエッチング組成物または前記組成物を用いたエッチング方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022215522A1 (ja) | 2021-04-08 | 2022-10-13 | 株式会社スリーボンド | 二液硬化型樹脂組成物及びその硬化物 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101481824B (zh) | 多晶碳头料的清洗方法 | |
CN104674321B (zh) | 一种钛或钛合金表面含铜抗菌生物陶瓷膜的制备方法和应用 | |
CN108754471B (zh) | 一种陶化剂及陶化液配制方法和陶化工艺 | |
JPH057147B2 (ja) | ||
JP2021065804A (ja) | 窒化チタン含有塊の除去方法 | |
CN104624457A (zh) | 一种钢材表面防锈处理方法 | |
CN103952664A (zh) | 一种类金刚石镀膜工件表面预处理工艺 | |
CN105970234A (zh) | 清洗黑色金属断口的试剂 | |
JPH10503240A (ja) | ステンレス鋼酸処理 | |
EP0781258A1 (en) | Stainless steel alkali treatment | |
CN101245458A (zh) | 四功能钢铁表面处理液 | |
CN106591795B (zh) | 沉积cvd金刚石涂层基体除油脱钴方法 | |
JP2003277960A (ja) | マグネシウム合金の表面処理方法 | |
US4613378A (en) | Method of restoring marble and brick surfaces | |
CN107214600A (zh) | 一种新型现场用钢基体快速去除腐蚀产物的方法 | |
CN105395274A (zh) | 一种义齿金属处理方法 | |
TW201116366A (en) | Grinding tool trimmer with protection film and its protection film formation method | |
CN109402645A (zh) | 一种金属管道的表面处理工艺 | |
CN202342205U (zh) | 一种可重复使用的塑料牙科手机 | |
EP2678123A1 (en) | Method of removing dental cement from dental restorations | |
JP3643882B2 (ja) | 酸化皮膜の除去方法、ガス軟窒化処理方法、有機系塩化物の使用方法 | |
JP6916495B1 (ja) | 部材の抗カビ表面処理方法及び抗カビ部材 | |
JP2004315864A (ja) | アルミ鋳物素地の表面処理方法 | |
CN216754635U (zh) | 一种手持医疗器械的耐磨防刮花结构 | |
WO2018127941A1 (en) | Composition for the cleaning of stone material surfaces |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210730 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211221 |