JP2021034365A5 - - Google Patents
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図2Aは、図1の正面図に示す発光管の拡大図であり、発光管の電極部近傍の太い管径と、U字部側部分の相対的に細い管径とを示した説明図である。理解を容易にするため、管径の差は誇張して図示している。発光管4の左端は、電極2a,2bを内蔵した電極部4aであり、右端は屈曲部(U字形状部)4bである。図1の平面図に示すように、発光管4は、一方の電極2aを内蔵した部分から長手方向に延在し(1段目)、最初のU字部4b1で屈曲して電極2a方向に折り返して長手方向に延在し(2段目)、電極2a近傍に達したら再びU字形状に折り返して長手方向に延在し(3段目)、第2のU字部4b2で屈曲して電極2a方向に折り返して長手方向に延在し(4段目)、これを所定の回数繰り返して電極2a側に戻って他方の電極2bを内蔵した端部で終端する形状である。
この発光管4の形状により、被照射物(「ワーク」ともいう。)に対して面照射が可能となる。
この発光管4の形状により、被照射物(「ワーク」ともいう。)に対して面照射が可能となる。
最冷部の位置転換の手段として、発光管の電極部近傍に、従来のU字部側に位置する最冷部より低温の箇所を形成するため、次の構成を採用した。
構成1:反射板に関し、電極部近傍を一層冷やすため、開口率(=全開口の合計面積/反射板の面積)を部分的に高くする。例えば、反射板の電極部近傍部分の開口率を局部的に高くし冷却空気量を多くして、冷却効果を高める。
構成2:発光管に関し、他の部分に比較して、発光管の電極部近傍の管径を太くして、冷却空気に曝される表面積を広くして、冷却効果を高める。
構成3:反射板に関し、電極から遠いU字部側の開口率を部分的に低くし、又は開口を設けず、相対的に発光管U字部の冷却を防ぐ。
構成1:反射板に関し、電極部近傍を一層冷やすため、開口率(=全開口の合計面積/反射板の面積)を部分的に高くする。例えば、反射板の電極部近傍部分の開口率を局部的に高くし冷却空気量を多くして、冷却効果を高める。
構成2:発光管に関し、他の部分に比較して、発光管の電極部近傍の管径を太くして、冷却空気に曝される表面積を広くして、冷却効果を高める。
構成3:反射板に関し、電極から遠いU字部側の開口率を部分的に低くし、又は開口を設けず、相対的に発光管U字部の冷却を防ぐ。
表1に示すとおり、構成1の反射板の開口に関しては、実施例では、図2B(A)に示す形状を採用し、反射板の円形開口9をφ6.5 mmとし、電極部近傍部分に位置する開口9を相互に繋げて長円形開口(短軸6.5mmと長軸φ82.5mm)とした。従来品では、開口9はφ6.5 mmである。構成2の発光管に関しては、実施例と従来品共に、電極部近傍の太い管径はφ10mmであり、U字部側部分の相対的に細い管径はφ9mmである。構成3の反射板の開口に関しては、実施例では、図2Bに示すように反射板の電極から遠いU字部側6bには開口9を設けず、U字部側に供給される冷却空気を少なくし、従来品では、φ6.5の開口を設けている。
(低圧水銀ランプユニットの応用例)
図5Aは、本実施形態に係る低圧水銀ランプユニット10aを使用して、紫外線消去型EPROM のデータ消去を行っている際の、冷却空気の流れを説明する図である。EPROM22aが収納されたトレイ22aの上方に、低圧水銀ランプユニット10aが発光面下向きで配置されている。装置全体が、フード24aで覆われている。ファン23aが稼働すると、吸気流Finと排気流Foutが発生し、低圧水銀ランプユニット10aを冷却している。
図5Aは、本実施形態に係る低圧水銀ランプユニット10aを使用して、紫外線消去型EPROM のデータ消去を行っている際の、冷却空気の流れを説明する図である。EPROM22aが収納されたトレイ22aの上方に、低圧水銀ランプユニット10aが発光面下向きで配置されている。装置全体が、フード24aで覆われている。ファン23aが稼働すると、吸気流Finと排気流Foutが発生し、低圧水銀ランプユニット10aを冷却している。
[まとめ]
以上、本発明に係る低圧水銀ランプユニットの実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されない。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
以上、本発明に係る低圧水銀ランプユニットの実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されない。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
2a,2b:電極、 4:発光管、 6:反射板、 9:開口、 10:低圧水銀ランプユニット、 11a,11b:最冷部、 23a:ファン、 23b,23c:軸流ファン、 24:フード、 32:安定器、
Claims (6)
- 一方の側に電極が配置され、発光管が所定のランプ軸線方向長さに所定回数U字形 状に屈曲を繰り返す面照射可能な低圧水銀ランプと該発光管の発光を被照射物の方向へ反射して向ける反射板とを備えた低圧水銀ランプユニットにおいて、
前記発光管の電極部近傍の箇所に、最冷部を形成した低圧水銀ランプユニット。 - 請求項1に記載の低圧水銀ランプユニットにおいて、
前記反射板には、冷却空気が通過する複数個の開口が形成され、該反射板の電極部 近傍の開口率を局部的に高くして冷却空気量を多くし、冷却効果を高ためたことを特徴とする、低圧水銀ランプユニット。 - 請求項2に記載の低圧水銀ランプユニットにおいて、
前記反射板の電極部近傍の開口は長円形であり、それ以外の開口は円形である、低 圧水銀ランプユニット。 - 請求項2又は3に記載の低圧水銀ランプユニットにおいて、 前記反射板の電極部近傍の開口は、それ以外の開口より大きいサイズである、低圧 水銀ランプユニット。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の低圧水銀ランプユニットにおいて、
前記発光管の電極部近傍の管径を相対的に太く形成したことを特徴とする、低圧水 銀ランプユニット。 - 請求項2又は3に記載の低圧水銀ランプユニットにおいて、
前記反射板は、U字部近傍の開口率を部分的に低くし、又は開口を設けず、相対的 に発光管U字部の冷却を防いでいる、低圧水銀ランプユニット。
Priority Applications (2)
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019157492A JP7248954B2 (ja) | 2019-08-29 | 2019-08-29 | 低圧水銀ランプユニット |
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Family Applications (1)
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2019
- 2019-08-29 JP JP2019157492A patent/JP7248954B2/ja active Active
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- 2020-08-28 TW TW109129416A patent/TWI753555B/zh active
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