JP2021030377A

JP2021030377A - Measuring apparatus

Info

Publication number: JP2021030377A
Application number: JP2019153681A
Authority: JP
Inventors: 太一伊藤; Taichi Ito; 信前嶋; Makoto Maejima; 真広鈴木; Masahiro Suzuki; 良介中路; Ryosuke Nakaji
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-08-26
Filing date: 2019-08-26
Publication date: 2021-03-01

Abstract

To provide a measuring apparatus capable of easily measuring the shape of a holding surface of a chuck table.SOLUTION: A measuring apparatus 100A includes: a body section 10 which has a contact needle 12 which is brought into contact with a holding surface 5a and measures the height of the holding surface 5a, a contact needle holding section 13 holding the contact needle 12, and a guide 14A with which the contact needle holding section 13 engages and which extends in a diameter direction (X direction) of the holding surface 5a; a coordinate detection section which detects a coordinate with which the contact needle 12 comes into contact; a control device 50A (control section) which records the coordinate and the height measured by the contact needle 12 by associating them with each other; and a leg section 20 which supports the body section 10. The leg section 20 has a pair of mounting sections 21 mounted at an outer edge 5b of a chuck table 5 and a deviation regulation section 22 which hangs down from the mounting section 21, has an inner wall 22a following a side face 5c of the chuck table 5, and regulates a deviation during the measurement of the body section 10.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、測定装置に関する。 The present invention relates to a measuring device.

半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板などの被加工物をチャックテーブルの保持面に保持して、被加工物に加工を施す加工装置に関する技術が知られている。例えば、特許文献１には、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハの研削面に検出端子が接触してウェーハの厚みを計測する厚み計測手段とを備えた研削装置が開示されている。 There is known a technique related to a processing apparatus that holds a workpiece such as a semiconductor wafer, a package substrate, a ceramics substrate, or a glass substrate on a holding surface of a chuck table to process the workpiece. For example, Patent Document 1 discloses a grinding apparatus including a chuck table that holds a wafer and a thickness measuring means that measures the thickness of the wafer by contacting a detection terminal with the grinding surface of the wafer held by the chuck table. Has been done.

特開２００５−２４６４９１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-246491

加工装置では、チャックテーブルの保持面の形状（凹凸）を管理することが求められる。例えば研削装置では、研削スピンドルのマウントにダイヤルゲージといった計測器具を取り付け、保持面にダイヤルゲージの針を接触させながらチャックテーブルを移動させることで、保持面の形状を測定していた。しかしながら、スピンドル周辺が研削屑で汚れていたり、測定を行うための作業スペースが限られていたりすることで、作業性が低下してしまうという問題があった。そのため、チャックテーブルの保持面の形状を容易に測定することができる手段が求められている。 The processing apparatus is required to control the shape (unevenness) of the holding surface of the chuck table. For example, in a grinding device, a measuring instrument such as a dial gauge is attached to a mount of a grinding spindle, and the shape of the holding surface is measured by moving the chuck table while bringing the needle of the dial gauge into contact with the holding surface. However, there is a problem that workability is deteriorated because the periphery of the spindle is contaminated with grinding debris and the work space for performing measurement is limited. Therefore, there is a demand for a means capable of easily measuring the shape of the holding surface of the chuck table.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、チャックテーブルの保持面の形状を容易に測定することができる測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a measuring device capable of easily measuring the shape of a holding surface of a chuck table.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、チャックテーブルの保持面の形状を測定する測定装置であって、該保持面に接触して該保持面の高さを測定する接触針と、該接触針が保持される接触針保持部と、該接触針保持部が係合し、該保持面の直径方向に延在するガイドと、を含む本体部と、該接触針が接触している座標を検出する座標検出部と、該座標と該接触針が測定した高さを関連させて記録する制御部と、該本体部を支持する脚部と、を備え、該脚部は、該チャックテーブルの外縁に載置される一対の載置部と、該載置部から垂下し、チャックテーブルの側面にならう内壁を有し、該本体部の測定中のずれを規制するずれ規制部と、を有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the present invention is a measuring device for measuring the shape of the holding surface of the chuck table, and measures the height of the holding surface in contact with the holding surface. A main body including a contact needle, a contact needle holding portion on which the contact needle is held, a guide that the contact needle holding portion engages with and extends in the radial direction of the holding surface, and the contact needle. The leg portion includes a coordinate detection unit that detects contacting coordinates, a control unit that records the coordinates and the height measured by the contact needle in association with each other, and a leg portion that supports the main body portion. Has a pair of mounting portions mounted on the outer edge of the chuck table and an inner wall that hangs down from the mounting portions and follows the side surface of the chuck table, and regulates the deviation of the main body portion during measurement. It is characterized by having a deviation control unit.

また、本発明にかかる測定装置において、該座標検出部は、該ガイドと同方向に延在する第１のスケールと、該接触針保持部に固定され該第１のスケールを読み取る読み取り部と、を有し、該ガイドは、オペレーターが該接触針保持部を手動で移動させる際に移動量を目視で確認する第２のスケールと、該第２のスケール上の任意の位置に磁力によって着脱可能なドグと、を備え、該接触針保持部は、該ドグを検知するセンサを備え、該センサが該ドグを検知すると高さの測定を終了することが好ましい。 Further, in the measuring device according to the present invention, the coordinate detection unit includes a first scale extending in the same direction as the guide, a reading unit fixed to the contact needle holding unit and reading the first scale. The guide can be attached to and detached from a second scale for visually checking the amount of movement when the operator manually moves the contact needle holding portion, and at an arbitrary position on the second scale by magnetic force. It is preferable that the contact needle holding portion is provided with a sensor for detecting the dog, and the height measurement is completed when the sensor detects the dog.

また、本発明にかかる測定装置は、モーターと、該モーターを制御するモーター制御部と、を更に有し、該接触針保持部は該モーターの回転に伴って該ガイド上を移動し、該座標検出部は、該制御部による該モーターの回転によって該接触針の位置を検出することが好ましい。 Further, the measuring device according to the present invention further includes a motor and a motor control unit that controls the motor, and the contact needle holding unit moves on the guide as the motor rotates, and the coordinates. The detection unit preferably detects the position of the contact needle by the rotation of the motor by the control unit.

本発明にかかる測定装置は、チャックテーブルの保持面の形状を容易に測定することができるという効果を奏する。 The measuring device according to the present invention has an effect that the shape of the holding surface of the chuck table can be easily measured.

図１は、第一実施形態にかかる測定装置を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a measuring device according to the first embodiment. 図２は、第一実施形態にかかる測定装置を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a measuring device according to the first embodiment. 図３は、第一実施形態にかかる測定装置を上面側から見た模式図である。FIG. 3 is a schematic view of the measuring device according to the first embodiment as viewed from the upper surface side. 図４は、第一実施形態にかかる測定装置を用いた測定作業の手順を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a procedure of measurement work using the measuring device according to the first embodiment. 図５は、第二実施形態にかかる測定装置を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing the measuring device according to the second embodiment. 図６は、第二実施形態にかかる測定装置を用いた測定作業の手順を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a procedure of measurement work using the measuring device according to the second embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

［第一実施形態］
図１および図２は、第一実施形態にかかる測定装置を示す模式図であり、図３は、第一実施形態にかかる測定装置を上面側から見た模式図である。図２は、第一実施形態にかかる測定装置１００Ａを図１とは反対側から見た図である。第一実施形態にかかる測定装置１００Ａは、例えば半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板などの被加工物に加工を施す加工装置（図示省略）に設けられ、被加工物を保持するチャックテーブル５の保持面５ａの形状（凹凸）を測定するための装置である。加工装置は、例えば、被加工物に切削加工を施す切削装置である。加工装置は、被加工物に研削を施す研削装置等であってもよい。 [First Embodiment]
1 and 2 are schematic views showing the measuring device according to the first embodiment, and FIG. 3 is a schematic view of the measuring device according to the first embodiment as viewed from the upper surface side. FIG. 2 is a view of the measuring device 100A according to the first embodiment as viewed from the side opposite to that of FIG. The measuring device 100A according to the first embodiment is provided in a processing device (not shown) that processes a workpiece such as a semiconductor wafer, a package substrate, a ceramics substrate, or a glass substrate, and holds a chuck table for holding the workpiece. This is a device for measuring the shape (unevenness) of the holding surface 5a of 5. The processing device is, for example, a cutting device that performs a cutting process on a work piece. The processing device may be a grinding device or the like that grinds the workpiece.

測定装置１００Ａは、図１から図３に示すように、本体部１０と、脚部２０と、座標検出部３０Ａと、制御装置（制御部）５０とを備える。測定装置１００Ａは、図１から図３に示すように、加工装置から取り外されたチャックテーブル５上に載置された状態で、チャックテーブル５の保持面５ａの形状を測定する。以下の説明では、チャックテーブル５の保持面５ａの径方向（直径方向）を「Ｘ方向」と称し、Ｘ方向と直交する方向（鉛直方向）を「Ｙ方向」と称する。 As shown in FIGS. 1 to 3, the measuring device 100A includes a main body portion 10, a leg portion 20, a coordinate detecting unit 30A, and a control device (control unit) 50. As shown in FIGS. 1 to 3, the measuring device 100A measures the shape of the holding surface 5a of the chuck table 5 in a state of being placed on the chuck table 5 removed from the processing device. In the following description, the radial direction (diameter direction) of the holding surface 5a of the chuck table 5 is referred to as "X direction", and the direction orthogonal to the X direction (vertical direction) is referred to as "Y direction".

（本体部）
本体部１０は、図１から図３に示すように、支持体１１Ａと、接触針１２と、接触針保持部１３と、ガイド１４Ａとを有する。支持体１１Ａは、底板１１１と、一対の側板１１２とを有する。底板１１１は、長方形状の平板であり、測定装置１００Ａがチャックテーブル５に対して載置された載置状態で、Ｘ方向（すなわち保持面５ａの直径方向）に沿って平行に延在する。一対の側板１１２は、互いに対向しながら底板１１１の端部から垂直に立ち上がる長方形状の平板である。各側板１１２の外面には、オペレーターが測定装置１００Ａを移動させる際に把持する把持部１１３が設けられている。 (Main body)
As shown in FIGS. 1 to 3, the main body 10 has a support 11A, a contact needle 12, a contact needle holding portion 13, and a guide 14A. The support 11A has a bottom plate 111 and a pair of side plates 112. The bottom plate 111 is a rectangular flat plate, and extends in parallel along the X direction (that is, the diameter direction of the holding surface 5a) in a mounted state in which the measuring device 100A is mounted on the chuck table 5. The pair of side plates 112 are rectangular flat plates that rise vertically from the end of the bottom plate 111 while facing each other. A grip portion 113 is provided on the outer surface of each side plate 112 to be gripped when the operator moves the measuring device 100A.

（接触針）
接触針１２は、チャックテーブル５の保持面５ａに接触して保持面５ａの高さを測定する。接触針１２は、周知の接触式変位センサであり、先端に設けられた接触子が保持面５ａに接触することで、保持面５ａの高さを検出する。接触針１２は、Ｙ方向に対して移動自在となるように、接触針保持部１３に保持されており、接触針保持部１３と共にガイド１４Ａに沿って移動する。接触針１２は、有線通信または無線通信により制御装置５０Ａと通信可能に接続されており、検出した保持面５ａの高さを制御装置５０Ａへと出力する。 (Contact needle)
The contact needle 12 contacts the holding surface 5a of the chuck table 5 and measures the height of the holding surface 5a. The contact needle 12 is a well-known contact type displacement sensor, and detects the height of the holding surface 5a by contacting the contact provided at the tip with the holding surface 5a. The contact needle 12 is held by the contact needle holding portion 13 so as to be movable in the Y direction, and moves along the guide 14A together with the contact needle holding portion 13. The contact needle 12 is communicably connected to the control device 50A by wire communication or wireless communication, and outputs the detected height of the holding surface 5a to the control device 50A.

（接触針保持部）
接触針保持部１３は、接触針１２を保持する保持部である。接触針保持部１３は、例えば筐体状に形成されるが、形状はこれに限られない。接触針保持部１３の上面には、オペレーターが接触針保持部１３を操作するときに把持するハンドル部１５が取り付けられている。接触針保持部１３の内部には、接触針１２をＹ方向に沿って移動自在に保持するシリンダ（図示省略）が設けられている。ハンドル部１５には、シリンダに保持された接触針１２をＹ方向に移動させて保持面５ａに接触させるための図示しない操作部が設けられる。接触針１２のＹ方向の移動は、オペレーターが図示しない操作部を操作したことに応じて機械的に行われる。なお、接触針１２のＹ方向の移動は、接触針保持部１３内に図示しない移動機構を設けておき、制御装置５０Ａが移動機構を制御することで実行されてもよい。 (Contact needle holder)
The contact needle holding portion 13 is a holding portion that holds the contact needle 12. The contact needle holding portion 13 is formed in the shape of a housing, for example, but the shape is not limited to this. A handle portion 15 that the operator grips when operating the contact needle holding portion 13 is attached to the upper surface of the contact needle holding portion 13. Inside the contact needle holding portion 13, a cylinder (not shown) for holding the contact needle 12 so as to be movable along the Y direction is provided. The handle portion 15 is provided with an operation portion (not shown) for moving the contact needle 12 held by the cylinder in the Y direction and bringing it into contact with the holding surface 5a. The movement of the contact needle 12 in the Y direction is mechanically performed in response to the operator operating an operation unit (not shown). The movement of the contact needle 12 in the Y direction may be executed by providing a movement mechanism (not shown) in the contact needle holding portion 13 and controlling the movement mechanism by the control device 50A.

さらに、接触針保持部１３には、後述する金属製のドグ１６を検知するセンサ１７が設けられている。センサ１７は、金属材質を検出することができるものであればよく、例えば、磁界の変化を検出する誘導型近接センサ、静電容量の変化を検出する静電容量型近接センサ等である。センサ１７は、ドグ１６と接触針保持部１３との距離が所定距離以下になったときに、ドグ１６を検知する。センサ１７は、有線通信または無線通信により制御装置５０Ａと通信可能に接続されており、ドグ１６との距離が所定距離以下となったことを検知すると、検知結果を制御装置５０Ａへと出力する。 Further, the contact needle holding portion 13 is provided with a sensor 17 that detects a metal dog 16 described later. The sensor 17 may be any one capable of detecting a metal material, and is, for example, an inductive proximity sensor that detects a change in a magnetic field, a capacitance type proximity sensor that detects a change in capacitance, or the like. The sensor 17 detects the dog 16 when the distance between the dog 16 and the contact needle holding portion 13 becomes equal to or less than a predetermined distance. The sensor 17 is communicably connected to the control device 50A by wire communication or wireless communication, and when it detects that the distance to the dog 16 is equal to or less than a predetermined distance, it outputs the detection result to the control device 50A.

（ガイド）
ガイド１４Ａは、支持体１１Ａの一対の側板１１２の間に、底板１１１と間隔を空けて設けられる。ガイド１４Ａは、各側板１１２の内面に固定されており、底板１１１と平行に延在する。すなわち、ガイド１４Ａは、測定装置１００Ａがチャックテーブル５に載置された載置状態で、Ｘ方向（すなわち保持面５ａの直径方向）に沿って平行に延在する。本実施形態において、ガイド１４Ａは、金属材料により形成される。ガイド１４Ａには、接触針保持部１３が移動自在に係合されている。つまり、ガイド１４Ａは、測定装置１００Ａがチャックテーブル５に載置された載置状態で、接触針保持部１３のＹ方向の移動を規制しつつ、Ｘ方向に沿った移動を案内するガイドレールである。それにより、オペレーターは、ハンドル部１５を把持して操作することで、手動により接触針保持部１３をガイド１４Ａに沿ってＸ方向に移動させることができる。 (guide)
The guide 14A is provided between the pair of side plates 112 of the support 11A at intervals from the bottom plate 111. The guide 14A is fixed to the inner surface of each side plate 112 and extends parallel to the bottom plate 111. That is, the guide 14A extends in parallel along the X direction (that is, the diameter direction of the holding surface 5a) in the mounted state in which the measuring device 100A is mounted on the chuck table 5. In this embodiment, the guide 14A is made of a metallic material. The contact needle holding portion 13 is movably engaged with the guide 14A. That is, the guide 14A is a guide rail that guides the movement of the contact needle holding portion 13 in the Y direction while restricting the movement of the contact needle holding portion 13 in the Y direction while the measuring device 100A is mounted on the chuck table 5. is there. As a result, the operator can manually move the contact needle holding portion 13 in the X direction along the guide 14A by grasping and operating the handle portion 15.

また、ガイド１４Ａには、座標検出部３０Ａに含まれる第１のスケール３１が設けられている。第１のスケール３１は、図２に示すように、ガイド１４Ａの側面に沿って平行に延在する磁気スケールである。第１のスケール３１は、ガイド１４Ａと同方向に延在し、ガイド１４Ａの延在方向に沿って異なる磁極が交互に配置された複数の磁石３１ａを有する。なお、図２は、磁石３１ａを模式的に記載するものであり、実際は図２に示すようにより細分化された磁石が配置され、磁石３１ａの数は、図２に示すものに限られない。座標検出部３０Ａの他の構成は、後述する。 Further, the guide 14A is provided with a first scale 31 included in the coordinate detection unit 30A. The first scale 31 is a magnetic scale extending in parallel along the side surface of the guide 14A, as shown in FIG. The first scale 31 has a plurality of magnets 31a extending in the same direction as the guide 14A and having different magnetic poles alternately arranged along the extending direction of the guide 14A. Note that FIG. 2 schematically describes a magnet 31a, and in reality, more subdivided magnets are arranged as shown in FIG. 2, and the number of magnets 31a is not limited to that shown in FIG. Other configurations of the coordinate detection unit 30A will be described later.

また、ガイド１４Ａは、図３に示すように、第２のスケール４１を備えている。第２のスケール４１は、ガイド１４Ａの上面に設けられている。第２のスケール４１は、オペレーターが接触針保持部１３を手動で移動させる際に、ガイド１４Ａに沿って移動する接触針保持部１３の移動量を目視で確認するために設けられる。第２のスケール４１は、図３に例示するように、ガイド１４Ａの中心からの距離を所定の目盛（５ｍｍごと等）で刻むものである。なお、第２のスケール４１は、ガイド１４Ａの端部からの距離を所定の目盛で刻むものであってもよい。 Further, the guide 14A includes a second scale 41 as shown in FIG. The second scale 41 is provided on the upper surface of the guide 14A. The second scale 41 is provided for visually confirming the amount of movement of the contact needle holding portion 13 that moves along the guide 14A when the operator manually moves the contact needle holding portion 13. As illustrated in FIG. 3, the second scale 41 engraves the distance from the center of the guide 14A on a predetermined scale (every 5 mm, etc.). The second scale 41 may be used to mark the distance from the end of the guide 14A on a predetermined scale.

また、ガイド１４Ａは、第２のスケール４１上の任意の位置に磁力によって着脱可能なドグ１６を備えている。ドグ１６は、ガイド１４Ａに沿って移動する接触針保持部１３の移動端を定めるために設けられる部材であり、金属材料により形成される。ここでの移動端とは、オペレーターが測定装置１００Ａを用いて保持面５ａの形状を測定する作業における接触針保持部１３の移動終了位置である。言い換えると、ドグ１６は、接触針保持部１３により保持された接触針１２による保持面５ａの高さの測定終了位置を定めるために用いられる。 Further, the guide 14A includes a dog 16 that can be attached and detached by a magnetic force at an arbitrary position on the second scale 41. The dog 16 is a member provided to determine the moving end of the contact needle holding portion 13 that moves along the guide 14A, and is made of a metal material. The moving end here is a moving end position of the contact needle holding portion 13 in the work in which the operator measures the shape of the holding surface 5a using the measuring device 100A. In other words, the dog 16 is used to determine the measurement end position of the height of the holding surface 5a by the contact needle 12 held by the contact needle holding portion 13.

ドグ１６は、ガイド１４Ａに上面側から着脱自在に嵌め込むことができるように、例えばＵ字形状に形成される。ドグ１６は、ガイド１４Ａに載置されるものであってもよい。ドグ１６は、図示しない磁石が設けられており、金属材料で形成されるガイド１４Ａにドグ１６を取り付けたとき、磁力によってドグ１６をガイド１４Ａに安定的に保持することができる。また、ドグ１６は、図３に示すように、上面から下面までを貫通する開口部１６ａを有する。オペレーターは、開口部１６ａを介して、第２のスケール４１を目視することで、ガイド１４Ａ上におけるドグ１６の位置を容易に把握して、ドグ１６を所望の位置に取り付けることが可能となる。すなわち、オペレーターは、接触針保持部１３の移動端を容易かつ安定的に定めることができる。 The dog 16 is formed in, for example, a U shape so that it can be detachably fitted into the guide 14A from the upper surface side. The dog 16 may be placed on the guide 14A. The dog 16 is provided with a magnet (not shown), and when the dog 16 is attached to the guide 14A made of a metal material, the dog 16 can be stably held by the guide 14A by magnetic force. Further, as shown in FIG. 3, the dog 16 has an opening 16a penetrating from the upper surface to the lower surface. By visually observing the second scale 41 through the opening 16a, the operator can easily grasp the position of the dog 16 on the guide 14A and attach the dog 16 to a desired position. That is, the operator can easily and stably determine the moving end of the contact needle holding portion 13.

（脚部）
脚部２０は、本体部１０の下面に取り付けられ、本体部１０とチャックテーブル５との間に介在して本体部１０を支持する支持部である。脚部２０は、図３に示すように、底板１１１に取り付けられた一対の載置部２１を備える。一対の載置部２１は、互いに間隔を空けて底板１１１の側板１１２とは反対側の面に取り付けられる。各載置部２１は、チャックテーブル５の外縁５ｂに載置される。なお、ここでのチャックテーブル５の外縁５ｂとは、保持面５ａの周囲に側面５ｃまで延在する範囲である。 (leg)
The leg portion 20 is a support portion that is attached to the lower surface of the main body portion 10 and is interposed between the main body portion 10 and the chuck table 5 to support the main body portion 10. As shown in FIG. 3, the leg portion 20 includes a pair of mounting portions 21 attached to the bottom plate 111. The pair of mounting portions 21 are attached to the surfaces of the bottom plate 111 opposite to the side plates 112 at intervals from each other. Each mounting portion 21 is mounted on the outer edge 5b of the chuck table 5. The outer edge 5b of the chuck table 5 here is a range extending around the holding surface 5a to the side surface 5c.

また、脚部２０は、一対の載置部２１から垂下して延びるずれ規制部２２を有する。ずれ規制部２２は、載置部２１から１つずつ、載置部２１から底板１１１とは反対側に向けて垂直に延出される。２つのずれ規制部２２は、図１から図３に示すように、互いにチャックテーブル５の直径に対応した間隔を空けて設けられており、チャックテーブル５の側面５ｃにならう内壁２２ａを有する。内壁２２ａは、図３の破線に示すように、チャックテーブル５の側面５ｃに沿った円弧形状に形成され、測定装置１００Ａの載置状態において側面５ｃに当接する。これにより、測定装置１００Ａの載置状態において、測定作業中に本体部１０がチャックテーブル５からずれることを規制することができる。 Further, the leg portion 20 has a displacement regulating portion 22 that hangs down from the pair of mounting portions 21 and extends. The deviation regulating unit 22 extends vertically from the mounting unit 21 toward the side opposite to the bottom plate 111, one by one from the mounting unit 21. As shown in FIGS. 1 to 3, the two deviation regulating portions 22 are provided at intervals corresponding to the diameter of the chuck table 5, and have an inner wall 22a that follows the side surface 5c of the chuck table 5. As shown by the broken line in FIG. 3, the inner wall 22a is formed in an arc shape along the side surface 5c of the chuck table 5 and abuts on the side surface 5c in the mounted state of the measuring device 100A. Thereby, in the mounted state of the measuring device 100A, it is possible to prevent the main body 10 from being displaced from the chuck table 5 during the measuring operation.

（座標検出部）
座標検出部３０Ａは、接触針１２のＸ方向における座標を検出する。すなわち、座標検出部３０Ａは、接触針１２が保持面５ａに接触しているときの接触針１２の座標を検出する。座標検出部３０Ａは、上述したように、ガイド１４Ａの延在方向に沿って異なる磁極が交互に配置された複数の磁石３１ａを有する第１のスケール３１を備えている。また、座標検出部３０Ａは、第１のスケール３１を読み取る読み取り部３２を有する。読み取り部３２は、接触針保持部１３に設けられている。読み取り部３２は、磁極が交互に並んだ複数の磁石３１ａの磁気を検出する検出ヘッドである。読み取り部３２は、磁石３１ａを何回通過したかを検出することで、複数の磁石３１ａにより形成される磁気的なスケール（目盛）を読み取る。その結果、座標検出部３０Ａは、接触針１２のＸ方向における座標を取得することができる。読み取り部３２は、有線通信または無線通信により制御装置５０Ａと通信可能に接続されており、読み取った接触針１２の座標を制御装置５０Ａへと出力する。 (Coordinate detection unit)
The coordinate detection unit 30A detects the coordinates of the contact needle 12 in the X direction. That is, the coordinate detection unit 30A detects the coordinates of the contact needle 12 when the contact needle 12 is in contact with the holding surface 5a. As described above, the coordinate detection unit 30A includes a first scale 31 having a plurality of magnets 31a in which different magnetic poles are alternately arranged along the extending direction of the guide 14A. Further, the coordinate detection unit 30A has a reading unit 32 that reads the first scale 31. The reading unit 32 is provided on the contact needle holding unit 13. The reading unit 32 is a detection head that detects the magnetism of a plurality of magnets 31a in which magnetic poles are alternately arranged. The reading unit 32 reads the magnetic scale (scale) formed by the plurality of magnets 31a by detecting how many times the magnets 31a have passed. As a result, the coordinate detection unit 30A can acquire the coordinates of the contact needle 12 in the X direction. The reading unit 32 is communicably connected to the control device 50A by wire communication or wireless communication, and outputs the coordinates of the read contact needle 12 to the control device 50A.

（制御装置）
制御装置５０Ａは、演算装置としてＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）を備えるコンピュータである。制御装置５０Ａは、記憶部に記憶されたソフトウェア（プログラム）を読み出し、測定装置１００Ａに含まれる各構成要素から入力された情報に基づいて、ＣＰＵの処理により各構成要素を制御する。 (Control device)
The control device 50A is a computer including a CPU (Central Processing Unit) as an arithmetic unit. The control device 50A reads out the software (program) stored in the storage unit, and controls each component by the processing of the CPU based on the information input from each component included in the measuring device 100A.

具体的には、制御装置５０Ａには、接触針１２から検出した保持面５ａの高さが入力される。また、制御装置５０Ａには、例えばマウスやキーボードといった図示しない入力部を介してオペレーターからの種々の指示が入力される。オペレーターから入力される指示は、例えば、測定装置１００Ａによる測定開始の指示である。なお、接触針保持部１３またはハンドル部１５に設けられた図示しない操作部と制御装置５０Ａとを通信可能としておき、オペレーターが操作部を操作したときに、操作部から制御装置５０Ａへと測定開始の指示信号を出力するものとしてもよい。また、制御装置５０Ａには、座標検出部３０Ａから読み取り部３２で読み取った接触針１２のＸ方向における座標が入力される。また、制御装置５０Ａには、センサ１７からドグ１６と接触針保持部１３との距離が所定距離以下となった旨の検知結果が入力される。 Specifically, the height of the holding surface 5a detected from the contact needle 12 is input to the control device 50A. Further, various instructions from the operator are input to the control device 50A via an input unit (not shown) such as a mouse or a keyboard. The instruction input from the operator is, for example, an instruction to start measurement by the measuring device 100A. The operation unit (not shown) provided on the contact needle holding unit 13 or the handle unit 15 and the control device 50A are made communicable, and when the operator operates the operation unit, the measurement starts from the operation unit to the control device 50A. The instruction signal of may be output. Further, the coordinates in the X direction of the contact needle 12 read by the reading unit 32 are input to the control device 50A from the coordinate detecting unit 30A. Further, a detection result indicating that the distance between the dog 16 and the contact needle holding portion 13 from the sensor 17 is equal to or less than a predetermined distance is input to the control device 50A.

制御装置５０Ａは、接触針保持部１３またはハンドル部１５に設けられた図示しない操作部から測定開始の指示信号により、保持面５ａの形状の測定処理を実施する。より詳細には、制御装置５０Ａは、座標検出部３０Ａから入力された接触針１２のＸ方向における座標と、接触針１２から入力された保持面５ａの高さとを関連させて記録する。つまり、制御装置５０Ａは、現在の接触針１２のＸ方向の座標と、その座標において検出された保持面５ａの高さとを対応づけて図示しない記憶部に記憶させる。制御装置５０Ａは、接触針１２のＸ方向の座標が変化するごとに、座標ごとの保持面５ａの高さを記録していく。保持面５ａのＸ方向の座標と高さとは、保持面５ａのＸ−Ｙ断面における形状を表すデータとなる。制御装置５０Ａは、センサ１７からドグ１６と接触針保持部１３との距離が所定距離以下となった旨の検知結果が入力されると、座標ごとの保持面５ａの高さの記録、すなわち保持面５ａの高さの測定を終了する。 The control device 50A performs a measurement process of the shape of the holding surface 5a by an instruction signal for starting measurement from an operation unit (not shown) provided on the contact needle holding portion 13 or the handle portion 15. More specifically, the control device 50A records the coordinates of the contact needle 12 input from the coordinate detection unit 30A in the X direction in relation to the height of the holding surface 5a input from the contact needle 12. That is, the control device 50A stores the coordinates of the current contact needle 12 in the X direction and the height of the holding surface 5a detected at those coordinates in a storage unit (not shown). The control device 50A records the height of the holding surface 5a for each coordinate each time the coordinates of the contact needle 12 in the X direction change. The coordinates and height of the holding surface 5a in the X direction are data representing the shape of the holding surface 5a in the XY cross section. When the detection result indicating that the distance between the dog 16 and the contact needle holding portion 13 is equal to or less than a predetermined distance is input from the sensor 17, the control device 50A records the height of the holding surface 5a for each coordinate, that is, holds it. The measurement of the height of the surface 5a is completed.

（測定作業および測定装置の動作）
次に、測定装置１００Ａを用いたチャックテーブル５の保持面５ａの形状を測定する作業の手順と、測定装置１００Ａの動作について説明する。図４は、第一実施形態にかかる測定装置を用いた測定作業の手順を示す説明図である。なお、図４では、制御装置５０Ａの記載を省略している。 (Measurement work and operation of measuring device)
Next, the procedure of the work of measuring the shape of the holding surface 5a of the chuck table 5 using the measuring device 100A and the operation of the measuring device 100A will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a procedure of measurement work using the measuring device according to the first embodiment. In FIG. 4, the description of the control device 50A is omitted.

オペレーターは、図４のステップＳＴ１に示すように、チャックテーブル５を図示しない加工装置から取り外し、測定作業を実施する位置（例えば作業台）に載置する。そして、オペレーターは、ステップＳＴ１の実線矢印で示すように、チャックテーブル５の外縁５ｂに、測定装置１００Ａの脚部２０に設けられた一対の載置部２１を載置する。このとき、脚部２０のずれ規制部２２がチャックテーブル５の側面５ｃに当接するため、本体部１０をチャックテーブル５に対して安定的に位置決めすることができる。すなわち、ずれ規制部２２により、本体部１０のチャックテーブル５に対するずれを規制することができる。 As shown in step ST1 of FIG. 4, the operator removes the chuck table 5 from a processing device (not shown) and places it at a position (for example, a workbench) where the measurement work is performed. Then, as shown by the solid arrow in step ST1, the operator mounts a pair of mounting portions 21 provided on the legs 20 of the measuring device 100A on the outer edge 5b of the chuck table 5. At this time, since the displacement regulating portion 22 of the leg portion 20 comes into contact with the side surface 5c of the chuck table 5, the main body portion 10 can be stably positioned with respect to the chuck table 5. That is, the deviation regulating unit 22 can regulate the deviation of the main body 10 with respect to the chuck table 5.

次に、オペレーターは、ステップＳＴ２に実線矢印で示すように、ガイド１４Ａの任意の位置にドグ１６を取り付ける。ドグ１６を取り付ける任意の位置は、保持面５ａの形状を測定する測定範囲に基づいて、オペレーターの判断により決定される。測定範囲は、例えば保持面５ａの中心からＸ方向に所望の長さだけ移動した範囲や、保持面５ａの端部（外縁）からＸ方向に所望の長さだけ移動した範囲等、任意の範囲として決定される。オペレーターは、ドグ１６をガイド１４Ａに取り付けると、ハンドル部１５を把持して操作し、第２のスケール４１（図３参照）を目視で確認しながら接触針保持部１３を初期位置に位置づける。初期位置は、第２のスケール４１上における接触針保持部１３の位置に基づいて、オペレーターの判断により決定される。 Next, the operator attaches the dog 16 to an arbitrary position of the guide 14A as shown by the solid arrow in step ST2. The arbitrary position for attaching the dog 16 is determined by the operator's judgment based on the measurement range for measuring the shape of the holding surface 5a. The measurement range is an arbitrary range, for example, a range moved from the center of the holding surface 5a in the X direction by a desired length, a range moved from the end (outer edge) of the holding surface 5a in the X direction by a desired length, and the like. Is determined as. When the dog 16 is attached to the guide 14A, the operator grips and operates the handle portion 15 and positions the contact needle holding portion 13 at the initial position while visually checking the second scale 41 (see FIG. 3). The initial position is determined by the operator's judgment based on the position of the contact needle holding portion 13 on the second scale 41.

次に、オペレーターは、図示しない操作部を操作して、ステップＳＴ３に示すように、接触針１２を保持面５ａに接触させる。操作部は、エアシリンダーやオペレーターが接触針にふれて上下させても良い。また、オペレーターは、図示しない入力部から測定開始の指示を制御装置５０Ａに入力する。これにより、制御装置５０Ａにより測定処理が開始され、座標検出部３０Ａにより検出される現在の接触針１２の座標と、接触針１２により検出される保持面５ａの高さとが関連づけて記録される。そして、オペレーターは、ステップＳＴ３の実線矢印に示すように、ハンドル部１５を操作して接触針保持部１３をガイド１４Ａに沿って移動させる。これにより、接触針１２が保持面５ａに接触したままＸ方向に移動し、接触針１２のＸ方向の座標が変化するごとに、座標ごとの保持面５ａの高さが制御装置５０Ａで記録される。その後、例えばステップＳＴ３において破線で示すように、ドグ１６と接触針保持部１３との距離が所定距離以下となると、センサ１７（図１参照）からドグ１６の検知結果が制御装置５０Ａに出力される。それにより、制御装置５０Ａは、測定処理すなわち座標ごとの保持面５ａの高さの記録を終了する。なお、制御装置５０Ａは、オペレーターに対して、測定処理が終了した旨を音やインジケーターの表示等によって報知してもよい。 Next, the operator operates an operation unit (not shown) to bring the contact needle 12 into contact with the holding surface 5a as shown in step ST3. The operation unit may be moved up and down by the air cylinder or the operator touching the contact needle. Further, the operator inputs a measurement start instruction to the control device 50A from an input unit (not shown). As a result, the measurement process is started by the control device 50A, and the coordinates of the current contact needle 12 detected by the coordinate detection unit 30A and the height of the holding surface 5a detected by the contact needle 12 are recorded in association with each other. Then, as shown by the solid arrow in step ST3, the operator operates the handle portion 15 to move the contact needle holding portion 13 along the guide 14A. As a result, the contact needle 12 moves in the X direction while in contact with the holding surface 5a, and each time the coordinates of the contact needle 12 in the X direction change, the height of the holding surface 5a for each coordinate is recorded by the control device 50A. To. After that, for example, as shown by the broken line in step ST3, when the distance between the dog 16 and the contact needle holding portion 13 is equal to or less than a predetermined distance, the detection result of the dog 16 is output from the sensor 17 (see FIG. 1) to the control device 50A. To. As a result, the control device 50A ends the measurement process, that is, the recording of the height of the holding surface 5a for each coordinate. The control device 50A may notify the operator that the measurement process has been completed by sound, display of an indicator, or the like.

（第一実施形態の作用効果）
以上説明したように、第一実施形態にかかる測定装置１００Ａは、チャックテーブル５の保持面５ａの形状を測定する測定装置１００Ａであって、保持面５ａに接触して保持面５ａの高さを測定する接触針１２と、接触針１２が保持される接触針保持部１３と、接触針保持部１３が係合し、保持面５ａの直径方向（Ｘ方向）に延在するガイド１４Ａと、を含む本体部１０と、接触針１２が接触している座標を検出する座標検出部３０Ａと、座標と接触針１２が測定した高さを関連させて記録する制御装置５０Ａ（制御部）と、本体部１０を支持する脚部２０と、を備え、脚部２０は、チャックテーブル５の外縁５ｂに載置される一対の載置部２１と、載置部２１から垂下し、チャックテーブル５の側面５ｃにならう内壁２２ａを有し、本体部１０の測定中のずれを規制するずれ規制部２２と、を有する。 (Action and effect of the first embodiment)
As described above, the measuring device 100A according to the first embodiment is a measuring device 100A that measures the shape of the holding surface 5a of the chuck table 5, and is in contact with the holding surface 5a to measure the height of the holding surface 5a. The contact needle 12 to be measured, the contact needle holding portion 13 on which the contact needle 12 is held, and the guide 14A in which the contact needle holding portion 13 engages and extends in the radial direction (X direction) of the holding surface 5a. The main body 10 including the main body 10, the coordinate detection unit 30A that detects the coordinates that the contact needle 12 is in contact with, the control device 50A (control unit) that records the coordinates and the height measured by the contact needle 12 in association with each other, and the main body. A leg portion 20 for supporting the portion 10 is provided, and the leg portion 20 is hung from a pair of mounting portions 21 mounted on the outer edge 5b of the chuck table 5 and the mounting portion 21, and is a side surface of the chuck table 5. It has an inner wall 22a that follows 5c, and has a deviation regulating portion 22 that regulates a deviation of the main body 10 during measurement.

この構成により、測定装置１００Ａの本体部１０を支持する脚部２０により、測定装置１００Ａ（本体部１０）をチャックテーブル５上に安定的に支持させることができる。そして、ガイド１４Ａに沿って接触針保持部１３を任意の位置に移動させつつ、接触針１２を保持面５ａに接触させて保持面５ａの高さを測定し、測定した高さと座標検出部３０Ａで検出された接触針１２の座標とを関連させて記録することができる。このように、測定装置１００Ａをチャックテーブル５上に支持させることによって、チャックテーブル５をオペレーターが作業しやすい位置、環境に予め移動させた上で、測定作業を実施することができる。したがって、第一実施形態にかかる測定装置１００Ａによれば、チャックテーブル５の保持面５ａの形状を容易に測定することが可能となる。 With this configuration, the leg portion 20 that supports the main body portion 10 of the measuring device 100A can stably support the measuring device 100A (main body portion 10) on the chuck table 5. Then, while moving the contact needle holding portion 13 to an arbitrary position along the guide 14A, the contact needle 12 is brought into contact with the holding surface 5a to measure the height of the holding surface 5a, and the measured height and the coordinate detecting portion 30A are measured. It is possible to record in association with the coordinates of the contact needle 12 detected in. By supporting the measuring device 100A on the chuck table 5 in this way, the measuring operation can be performed after the chuck table 5 is moved in advance to a position and environment where the operator can easily work. Therefore, according to the measuring device 100A according to the first embodiment, the shape of the holding surface 5a of the chuck table 5 can be easily measured.

また、測定装置１００Ａにおいて、座標検出部３０Ａは、ガイド１４Ａと同方向に延在する第１のスケール３１と、接触針保持部１３に固定され第１のスケール３１を読み取る読み取り部３２と、を有し、ガイド１４Ａは、オペレーターが接触針保持部１３を手動で移動させる際に移動量を目視で確認する第２のスケール４１と、第２のスケール４１上の任意の位置に磁力によって着脱可能なドグ１６と、を備え、接触針保持部１３は、ドグ１６を検知するセンサ１７を備え、センサ１７がドグ１６を検知すると高さの測定を終了する。 Further, in the measuring device 100A, the coordinate detection unit 30A includes a first scale 31 extending in the same direction as the guide 14A and a reading unit 32 fixed to the contact needle holding unit 13 and reading the first scale 31. The guide 14A has a second scale 41 for visually checking the amount of movement when the operator manually moves the contact needle holding portion 13, and the guide 14A can be attached to and detached from an arbitrary position on the second scale 41 by magnetic force. The contact needle holding portion 13 is provided with a sensor 17 for detecting the dog 16, and when the sensor 17 detects the dog 16, the height measurement is completed.

この構成により、第１のスケール３１および読み取り部３２によって接触針１２の座標を取得することができる。また、オペレーターが接触針保持部１３の移動量を目視可能な第２のスケール４１を設け、かつ、第２のスケール４１上の任意の位置にドグ１６を取り付けることで、接触針保持部１３がドグ１６を検知した位置で、測定作業を終了させることができる。その結果、接触針保持部１３をオペレーターの手動で動かすことで、接触針保持部１３を所望の位置で止めることが難しい場合にも、測定作業を終了させる位置を精度良く定めることができる。つまり、所望の測定範囲について、精度良く測定を実施することができる。さらに、ドグ１６が第２のスケール４１に対して着脱自在であることから、オペレーターが所望の測定範囲を任意かつ容易に定めることができる。 With this configuration, the coordinates of the contact needle 12 can be acquired by the first scale 31 and the reading unit 32. Further, by providing a second scale 41 that allows the operator to visually check the amount of movement of the contact needle holding portion 13 and attaching the dog 16 at an arbitrary position on the second scale 41, the contact needle holding portion 13 can be moved. The measurement work can be completed at the position where the dog 16 is detected. As a result, by manually moving the contact needle holding portion 13 by the operator, even when it is difficult to stop the contact needle holding portion 13 at a desired position, the position at which the measurement work is ended can be accurately determined. That is, it is possible to carry out the measurement with high accuracy in the desired measurement range. Further, since the dog 16 is detachable from the second scale 41, the operator can arbitrarily and easily determine a desired measurement range.

［第二実施形態］
次に、第二実施形態にかかる測定装置１００Ｂについて説明する。図５は、第二実施形態にかかる測定装置を示す正面図である。第二実施形態にかかる測定装置１００Ｂは、第一実施形態の測定装置１００Ａの支持体１１Ａに代えて支持体１１Ｂ、ガイド１４Ａに代えてガイド１４Ｂ、座標検出部３０Ａに代えて座標検出部３０Ｂ、制御装置５０Ａに代えて制御装置５０Ｂを備える。また、測定装置１００Ｂは、上記構成に加えて、保持部駆動装置６０と、エア供給装置７０とを備えている。また、測定装置１００Ｂは、第１のスケール３１、第２のスケール４１およびドグ１６を備えない。測定装置１００Ｂの他の構成は、測定装置１００Ａと同様であるため、説明を省略し、同一の構成要素には同一の符号を付す。 [Second Embodiment]
Next, the measuring device 100B according to the second embodiment will be described. FIG. 5 is a front view showing the measuring device according to the second embodiment. The measuring device 100B according to the second embodiment includes a support 11B instead of the support 11A of the measuring device 100A of the first embodiment, a guide 14B instead of the guide 14A, and a coordinate detection unit 30B instead of the coordinate detection unit 30A. A control device 50B is provided in place of the control device 50A. In addition to the above configuration, the measuring device 100B includes a holding unit driving device 60 and an air supply device 70. Further, the measuring device 100B does not include the first scale 31, the second scale 41, and the dog 16. Since the other configurations of the measuring device 100B are the same as those of the measuring device 100A, the description thereof will be omitted, and the same components will be designated by the same reference numerals.

（支持体）
支持体１１Ｂは、支持体１１Ａの底板１１１および一対の側板１１２に加えて、天板１１４を有する。天板１１４は、一対の側板１１２の底板１１１とは反対側の端部に取り付けられる。 (Support)
The support 11B has a top plate 114 in addition to the bottom plate 111 and the pair of side plates 112 of the support 11A. The top plate 114 is attached to the end portion of the pair of side plates 112 opposite to the bottom plate 111.

（ガイド）
ガイド１４Ｂは、ガイド１４Ａと同様に、一対の側板１１２の間に底板１１１と間隔を空けて設けられ、底板１１１と平行に延在する。ガイド１４Ｂは、接触針保持部１３が移動自在に係合されており、測定装置１００Ａの載置状態で、接触針保持部１３のＹ方向の移動を規制しつつ、Ｘ方向に沿った移動を案内する。第二実施形態において、ガイド１４Ｂは、接触針保持部１３との滑り面の間に、エア供給装置７０からの加圧したエア（空気）が供給される静圧気体軸受を用いたガイドである。それにより、エアが潤滑流体として機能し、接触針保持部１３を滑らかに案内することができる。なお、ガイド１４Ｂは、第一実施形態のガイド１４Ａと同様に、静圧気体軸受を用いないものであってもよい。 (guide)
Like the guide 14A, the guide 14B is provided between the pair of side plates 112 at intervals from the bottom plate 111, and extends parallel to the bottom plate 111. The contact needle holding portion 13 is movably engaged with the guide 14B, and while the measuring device 100A is mounted, the guide 14B moves along the X direction while restricting the movement of the contact needle holding portion 13 in the Y direction. invite. In the second embodiment, the guide 14B is a guide using a static pressure gas bearing in which pressurized air (air) from the air supply device 70 is supplied between the sliding surface with the contact needle holding portion 13. .. As a result, the air functions as a lubricating fluid and can smoothly guide the contact needle holding portion 13. The guide 14B may not use the hydrostatic gas bearing as in the guide 14A of the first embodiment.

（駆動装置）
保持部駆動装置６０は、ガイド１４Ａに沿って接触針保持部１３の移動させる装置である。保持部駆動装置６０は、モーター６１と、一対のプーリー６２と、ベルト６３とを有する。モーター６１は、接触針保持部１３を移動させるための駆動力を出力する駆動源としてのパルスモーターである。モーター６１は、制御装置５０Ｂ（モーター制御部）により制御される。本実施形態では、モーター６１は、天板１１４上に設置される。モーター６１は、出力軸６１ａが天板１１４に形成された貫通孔を介して天板１１４の下面側まで延出されている。一対のプーリー６２は、互いに間隔を空けて、天板１１４の下面に回転自在に取り付けられている。プーリー６２の一つには、モーター６１の出力軸６１ａが接続されている。また、各プーリー６２には、ベルト６３が巻き付けられ、ベルト６３には、接触針保持部１３のハンドル部１５が取り付けられている。これにより、モーター６１を回転させると、出力軸６１ａを介してプーリー６２の一つが回転し、ベルト６３が一対のプーリー６２間で回転する。その結果、接触針保持部１３は、モーター６１の回転すなわちベルト６３の回転に伴って、ガイド１４Ｂ上を移動する。 (Drive)
The holding unit driving device 60 is a device for moving the contact needle holding unit 13 along the guide 14A. The holding unit driving device 60 includes a motor 61, a pair of pulleys 62, and a belt 63. The motor 61 is a pulse motor as a drive source that outputs a driving force for moving the contact needle holding portion 13. The motor 61 is controlled by the control device 50B (motor control unit). In this embodiment, the motor 61 is installed on the top plate 114. In the motor 61, the output shaft 61a extends to the lower surface side of the top plate 114 through a through hole formed in the top plate 114. The pair of pulleys 62 are rotatably attached to the lower surface of the top plate 114 at intervals from each other. The output shaft 61a of the motor 61 is connected to one of the pulleys 62. A belt 63 is wound around each pulley 62, and a handle portion 15 of the contact needle holding portion 13 is attached to the belt 63. As a result, when the motor 61 is rotated, one of the pulleys 62 is rotated via the output shaft 61a, and the belt 63 is rotated between the pair of pulleys 62. As a result, the contact needle holding portion 13 moves on the guide 14B with the rotation of the motor 61, that is, the rotation of the belt 63.

（エア供給装置）
エア供給装置７０は、エア供給源７１と、２つのエア供給チューブ７２、７３と、バルブ７４とを有する。エア供給装置７０は、例えば天板１１４上に設置される。エア供給源７１は、外部環境からエア（空気）をエア供給チューブ７２、７３へと加圧して送出する。エア供給チューブ７２は、接触針保持部１３とガイド１４Ｂとの間に接続されており、接触針保持部１３とガイド１４Ｂとの間にエア供給源７１からのエアを供給する。一方、エア供給チューブ７３は、接触針保持部１３内に配置された接触針１２を保持するシリンダに接続されており、シリンダにエア供給源７１からのエアを供給する。第二実施形態において、接触針１２は、シリンダ内で上方側に付勢されており、エア供給チューブ７３からエアが供給されると、Ｙ方向に沿って下方側に移動するように接触針保持部１３に保持されている。バルブ７４は、エア供給チューブ７３の中途に設けられ、シリンダへのエアの供給をオンオフする。エア供給源７１によるエアの圧送およびバルブ７４のオンオフは、制御装置５０Ｂにより制御される。 (Air supply device)
The air supply device 70 includes an air supply source 71, two air supply tubes 72 and 73, and a valve 74. The air supply device 70 is installed on, for example, the top plate 114. The air supply source 71 pressurizes air (air) from the external environment to the air supply tubes 72 and 73 and sends it out. The air supply tube 72 is connected between the contact needle holding portion 13 and the guide 14B, and supplies air from the air supply source 71 between the contact needle holding portion 13 and the guide 14B. On the other hand, the air supply tube 73 is connected to a cylinder that holds the contact needle 12 arranged in the contact needle holding portion 13, and supplies air from the air supply source 71 to the cylinder. In the second embodiment, the contact needle 12 is urged upward in the cylinder, and when air is supplied from the air supply tube 73, the contact needle is held so as to move downward along the Y direction. It is held by the unit 13. The valve 74 is provided in the middle of the air supply tube 73 to turn on / off the supply of air to the cylinder. The pumping of air by the air supply source 71 and the on / off of the valve 74 are controlled by the control device 50B.

（座標検出部）
第二実施形態において、座標検出部３０Ｂは、制御装置５０Ｂの機能の一部によって実現される。制御装置５０Ｂは、モーター６１の回転を制御する。上述したように、第二実施形態において、接触針保持部１３は、モーター６１の回転に伴ってガイド１４Ｂに沿って移動する。したがって、制御装置５０Ｂは、モーター６１の回転数に基づいて、接触針保持部１３のガイド１４Ｂに沿った移動量を算出することができる。そこで、第二実施形態においては、制御装置５０Ｂが、接触針保持部１３に保持された接触針１２の初期位置における座標とモーター６１の回転数とに基づいて、現在の接触針１２のＸ方向における座標を算出する（検出する）。なお、接触針１２の初期位置は、例えばガイド１４Ｂの中心またはガイド１４Ｂの端部など、オペレーターにより予め設定される。 (Coordinate detection unit)
In the second embodiment, the coordinate detection unit 30B is realized by a part of the functions of the control device 50B. The control device 50B controls the rotation of the motor 61. As described above, in the second embodiment, the contact needle holding portion 13 moves along the guide 14B as the motor 61 rotates. Therefore, the control device 50B can calculate the amount of movement of the contact needle holding portion 13 along the guide 14B based on the rotation speed of the motor 61. Therefore, in the second embodiment, the control device 50B determines the current contact needle 12 in the X direction based on the coordinates at the initial position of the contact needle 12 held by the contact needle holding portion 13 and the rotation speed of the motor 61. Calculate (detect) the coordinates in. The initial position of the contact needle 12 is preset by the operator, for example, the center of the guide 14B or the end of the guide 14B.

（制御装置）
制御装置５０Ｂは、制御装置５０Ａと同様に、演算装置としてＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）を備えるコンピュータである。制御装置５０Ｂは、記憶部に記憶されたソフトウェア（プログラム）を読み出し、測定装置１００Ａに含まれる各構成要素から入力された情報に基づいて、ＣＰＵの処理により各構成要素を制御する。 (Control device)
The control device 50B is a computer provided with a CPU (Central Processing Unit) as an arithmetic unit, similarly to the control device 50A. The control device 50B reads out the software (program) stored in the storage unit, and controls each component by the processing of the CPU based on the information input from each component included in the measuring device 100A.

具体的には、制御装置５０Ｂには、制御装置５０Ａと同様に、接触針１２から検出した保持面５ａの高さが入力される。また、制御装置５０Ｂには、例えばマウスやキーボードといった図示しない入力部を介してオペレーターからの種々の指示が入力される。オペレーターから入力される指示は、例えば、測定装置１００Ｂによる測定開始の指示である。また、オペレーターから入力される指示は、保持面５ａを測定する測定範囲８０（図６参照）の情報を含む。測定範囲８０には、測定開始位置８１（図６参照）と、測定終了位置８２（図６参照）との情報が含まれる。第二実施形態において、制御装置５０Ｂは、オペレーターから図示しない入力部を介して入力された情報に基づいて、測定範囲８０を登録する測定位置登録部５１を備えている。制御装置５０Ｂは、測定位置登録部５１で登録された測定範囲８０で保持面５ａの形状が測定されるように、測定装置１００Ｂの各構成要素を制御する。 Specifically, the height of the holding surface 5a detected from the contact needle 12 is input to the control device 50B as in the control device 50A. Further, various instructions from the operator are input to the control device 50B via an input unit (not shown) such as a mouse or a keyboard. The instruction input from the operator is, for example, an instruction to start measurement by the measuring device 100B. Further, the instruction input from the operator includes information on the measurement range 80 (see FIG. 6) for measuring the holding surface 5a. The measurement range 80 includes information on the measurement start position 81 (see FIG. 6) and the measurement end position 82 (see FIG. 6). In the second embodiment, the control device 50B includes a measurement position registration unit 51 that registers the measurement range 80 based on information input from the operator via an input unit (not shown). The control device 50B controls each component of the measurement device 100B so that the shape of the holding surface 5a is measured in the measurement range 80 registered by the measurement position registration unit 51.

より詳細には、制御装置５０Ｂは、モーター６１を制御して接触針保持部１３を測定範囲８０内で移動させ、エア供給装置７０を制御して接触針１２を保持面５ａに接触させることで、保持面５ａの高さを測定する。また、制御装置５０Ｂは、上述したように、接触針１２の初期位置における座標とモーター６１の回転数とに基づいて、現在の接触針１２のＸ方向における座標を算出し、座標と高さとを関連付けて記録する。制御装置５０Ｂは、接触針１２のＸ方向の座標が変化するごとに、座標ごとの保持面５ａの高さを記録していくことで、保持面５ａのＸ−Ｙ断面における形状を表すデータを取得する。 More specifically, the control device 50B controls the motor 61 to move the contact needle holding portion 13 within the measurement range 80, and controls the air supply device 70 to bring the contact needle 12 into contact with the holding surface 5a. , Measure the height of the holding surface 5a. Further, as described above, the control device 50B calculates the coordinates of the current contact needle 12 in the X direction based on the coordinates at the initial position of the contact needle 12 and the rotation speed of the motor 61, and determines the coordinates and the height. Associate and record. The control device 50B records the height of the holding surface 5a for each coordinate each time the coordinates of the contact needle 12 in the X direction change, so that data representing the shape of the holding surface 5a in the XY cross section can be obtained. get.

測定の具体的な手法について説明する。制御装置５０Ｂは、一例として、接触針１２を保持面５ａに接触した状態を保ったまま、接触針保持部１３を移動させて、保持面５ａの高さを連続的に測定する。このとき、モーター６１の回転による接触針保持部１３の移動速度は、少なくとも０（ｍｍ／ｓ）より大きく、２（ｍｍ／ｓ）以下であることが好ましい。接触針保持部１３の移動速度を２（ｍｍ／ｓ）以下とすることで、保持面５ａの高さを精度良く測定することができる。なお、接触針保持部１３の移動速度の上限値は、保持面５ａの高さの測定精度を確保することができれば、２（ｍｍ／ｓ）より大きくてもよい。また、接触針保持部１３の移動速度の下限値は、パルスモーターとしてのモーター６１の性能、すなわち１パルスで接触針保持部１３を移動させることができる距離に応じた値（例えば４０（μｍ／ｓ））とされてもよい。 A specific method of measurement will be described. As an example, the control device 50B moves the contact needle holding portion 13 while keeping the contact needle 12 in contact with the holding surface 5a, and continuously measures the height of the holding surface 5a. At this time, the moving speed of the contact needle holding portion 13 due to the rotation of the motor 61 is preferably at least 0 (mm / s) and 2 (mm / s) or less. By setting the moving speed of the contact needle holding portion 13 to 2 (mm / s) or less, the height of the holding surface 5a can be measured with high accuracy. The upper limit of the moving speed of the contact needle holding portion 13 may be larger than 2 (mm / s) as long as the measurement accuracy of the height of the holding surface 5a can be ensured. The lower limit of the moving speed of the contact needle holding portion 13 is a value according to the performance of the motor 61 as a pulse motor, that is, the distance at which the contact needle holding portion 13 can be moved with one pulse (for example, 40 (μm / μm / μm /). s)) may be set.

また、制御装置５０Ｂは、測定の具体的な手法の他の例として、接触針保持部１３を予め定められたピッチでガイド１４Ｂに沿って移動させるごとに、接触針１２を保持面５ａに接触させて保持面５ａの高さを測定する。すなわち、制御装置５０Ｂは、任意の位置で接触針１２を保持面５ａに接触させた状態で接触針保持部１３を予め定められたピッチでガイド１４Ｂに沿って移動させて停止し、高さを測定する作業を繰り返す。予め定められたピッチは、オペレーターにより任意に設定される。これにより、接触針１２を停止させず保持面５ａに接触させ続けて高さを測定する場合に比べて、より精度良く保持面５ａの高さを測定することができ、特に保持面５ａの凹凸が比較的に大きい場合に有効な手法となる。 Further, as another example of a specific measurement method, the control device 50B contacts the contact needle 12 with the holding surface 5a each time the contact needle holding portion 13 is moved along the guide 14B at a predetermined pitch. Then, the height of the holding surface 5a is measured. That is, the control device 50B stops the contact needle holding portion 13 by moving it along the guide 14B at a predetermined pitch in a state where the contact needle 12 is in contact with the holding surface 5a at an arbitrary position, and stops the height. Repeat the measurement work. The predetermined pitch is arbitrarily set by the operator. As a result, the height of the holding surface 5a can be measured more accurately than in the case where the contact needle 12 is continuously contacted with the holding surface 5a without stopping and the height is measured. Is an effective method when is relatively large.

（測定作業および測定装置の動作）
次に、測定装置１００Ｂを用いたチャックテーブル５の保持面５ａの形状を測定する作業の手順と、測定装置１００Ｂの動作について説明する。図６は、第二実施形態にかかる測定装置を用いた測定作業の手順を示す説明図である。なお、図６では、制御装置５０Ｂおよびエア供給装置７０の記載を省略している。 (Measurement work and operation of measuring device)
Next, the procedure of the work of measuring the shape of the holding surface 5a of the chuck table 5 using the measuring device 100B and the operation of the measuring device 100B will be described. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a procedure of measurement work using the measuring device according to the second embodiment. In FIG. 6, the description of the control device 50B and the air supply device 70 is omitted.

オペレーターは、第一実施形態と同様に、図６のステップＳＴ１１に示すように、チャックテーブル５を図示しない加工装置から取り外し、例えば作業台に載置し、測定装置１００Ｂの脚部２０をチャックテーブル５の外縁５ｂに載置する。 As in the first embodiment, as shown in step ST11 of FIG. 6, the operator removes the chuck table 5 from a processing device (not shown), places it on a workbench, for example, and attaches the leg portion 20 of the measuring device 100B to the chuck table. Place it on the outer edge 5b of 5.

オペレーターは、保持面５ａの形状を測定する測定範囲を決定し、図示しない入力部を介して制御装置５０Ｂに測定範囲８０（例えばステップＳＴ１２の破線で囲んだ範囲参照）の情報を入力する。測定範囲の情報が入力された制御装置５０Ｂは、測定位置登録部５１で測定範囲８０を登録する。さらに、オペレーターは、図示しない入力部を介して制御装置５０Ｂに測定処理の開始を指示する。測定開始の指示が入力されると、ステップＳＴ１２に示すように、登録された測定範囲８０内に含まれる測定開始位置８１に接触針１２が位置づけられるように、制御装置５０Ｂがモーター６１を制御して接触針保持部１３を移動させる。 The operator determines a measurement range for measuring the shape of the holding surface 5a, and inputs information on the measurement range 80 (see, for example, the range surrounded by the broken line in step ST12) to the control device 50B via an input unit (not shown). The control device 50B into which the measurement range information is input registers the measurement range 80 in the measurement position registration unit 51. Further, the operator instructs the control device 50B to start the measurement process via an input unit (not shown). When the measurement start instruction is input, the control device 50B controls the motor 61 so that the contact needle 12 is positioned at the measurement start position 81 included in the registered measurement range 80 as shown in step ST12. The contact needle holding portion 13 is moved.

その後、制御装置５０Ｂがエア供給装置７０およびモーター６１を制御して、ステップＳＴ１３の実線矢印に示すように、接触針保持部１３をガイド１４Ｂに沿って移動させながら接触針１２により保持面５ａの高さを測定していく。制御装置５０Ｂは、測定開始位置８１から測定終了位置８２まで、この処理を繰り返し実行し、測定範囲８０内の保持面５ａの形状を測定させる。上述したように、制御装置５０Ｂは、接触針１２を保持面５ａに接触した状態を保ったまま、接触針保持部１３を移動させて保持面５ａの高さを連続的に測定してもよいし、接触針保持部１３を予め定められたピッチでガイド１４Ｂに沿って移動させるごとに、接触針１２を保持面５ａに接触させて保持面５ａの高さを測定してもよい。これにより、測定範囲８０内で保持面５ａのＸ−Ｙ断面における形状のデータが取得される。 After that, the control device 50B controls the air supply device 70 and the motor 61, and as shown by the solid arrow in step ST13, the contact needle holding portion 13 is moved along the guide 14B, and the holding surface 5a is moved by the contact needle 12. Measure the height. The control device 50B repeatedly executes this process from the measurement start position 81 to the measurement end position 82, and causes the shape of the holding surface 5a within the measurement range 80 to be measured. As described above, the control device 50B may continuously measure the height of the holding surface 5a by moving the contact needle holding portion 13 while keeping the contact needle 12 in contact with the holding surface 5a. Then, each time the contact needle holding portion 13 is moved along the guide 14B at a predetermined pitch, the contact needle 12 may be brought into contact with the holding surface 5a to measure the height of the holding surface 5a. As a result, data on the shape of the holding surface 5a in the XY cross section within the measurement range 80 is acquired.

（第二実施形態の作用効果）
以上説明したように、第二実施形態にかかる測定装置１００Ｂは、モーター６１と、モーター６１を制御する制御装置５０Ｂ（モーター制御部）と、を更に有し、接触針保持部１３は、モーター６１の回転に伴ってガイド１４Ｂ上を移動し、座標検出部３０Ｂは、制御装置５０Ｂによるモーター６１の回転によって接触針１２の位置を検出する。 (Action and effect of the second embodiment)
As described above, the measuring device 100B according to the second embodiment further includes a motor 61 and a control device 50B (motor control unit) for controlling the motor 61, and the contact needle holding unit 13 includes the motor 61. The coordinate detection unit 30B detects the position of the contact needle 12 by the rotation of the motor 61 by the control device 50B.

この構成により、モーター６１によって接触針保持部１３をガイド１４Ｂに沿って移動させることができるため、接触針保持部１３を手動で移動させる場合に比べて、接触針１２をより精度良く位置決めすることができる。また、接触針保持部１３を手動で移動させる場合に比べて、作業性を向上させることができる。さらに、制御装置５０Ｂにより制御されるモーター６１の回転に基づいて、接触針１２の座標を精度良く、かつ、容易に検出することができる。 With this configuration, the contact needle holding portion 13 can be moved along the guide 14B by the motor 61, so that the contact needle 12 can be positioned more accurately than when the contact needle holding portion 13 is manually moved. Can be done. In addition, workability can be improved as compared with the case where the contact needle holding portion 13 is manually moved. Further, the coordinates of the contact needle 12 can be accurately and easily detected based on the rotation of the motor 61 controlled by the control device 50B.

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、第一実施形態において、エア供給装置７０を設け、ガイド１４Ａを、ガイド１４Ｂと同様に、接触針保持部１３との滑り面の間に加圧したエア（空気）が供給される静圧気体軸受を用いたガイドとしてもよい。また、第一実施形態において、接触針１２をエア供給装置７０からのエアによりＹ方向に移動させるものとしてよい。 The present invention is not limited to the above embodiments and modifications. That is, it can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention. For example, in the first embodiment, the air supply device 70 is provided, and the guide 14A is supplied with pressurized air (air) between the sliding surface of the contact needle holding portion 13 as in the guide 14B. It may be a guide using a gas bearing. Further, in the first embodiment, the contact needle 12 may be moved in the Y direction by the air from the air supply device 70.

５チャックテーブル
５ａ保持面
５ｂ外縁
５ｃ側面
１０本体部
１１Ａ，１１Ｂ支持体
１２接触針
１３接触針保持部
１４Ａ，１４Ｂガイド
１５ハンドル部
１６ドグ
１７センサ
２０脚部
２１一対の載置部
２２ずれ規制部
２２ａ内壁
３０Ａ，３０Ｂ座標検出部
３１第１のスケール
３１ａ磁石
３２読み取り部
４１第２のスケール
５０Ａ，５０Ｂ制御装置
５１測定位置登録部
６０保持部駆動装置
６１モーター
６１ａ出力軸
６２プーリー
６３ベルト
７０エア供給装置
７１エア供給源
７２，７３エア供給チューブ
７４バルブ
８０測定範囲
８１測定開始位置
８２測定終了位置
１００Ａ，１００Ｂ測定装置
１１１底板
１１２側板
１１３把持部
１１４天板
１６ａ開口部 5 Chuck table 5a Holding surface 5b Outer edge 5c Side surface 10 Main body 11A, 11B Support 12 Contact needle 13 Contact needle holding 14A, 14B Guide 15 Handle 16 Dog 17 Sensor 20 Leg 21 Pair of mounting 22 22a Inner wall 30A, 30B Coordinate detection unit 31 First scale 31a Magnet 32 Reading unit 41 Second scale 50A, 50B Control device 51 Measurement position registration unit 60 Holding unit Drive device 61 Motor 61a Output shaft 62 Pulley 63 Belt 70 Air supply Device 71 Air supply source 72, 73 Air supply tube 74 Valve 80 Measurement range 81 Measurement start position 82 Measurement end position 100A, 100B Measuring device 111 Bottom plate 112 Side plate 113 Grip part 114 Top plate 16a Opening

Claims

チャックテーブルの保持面の形状を測定する測定装置であって、
該保持面に接触して該保持面の高さを測定する接触針と、
該接触針が保持される接触針保持部と、
該接触針保持部が係合し、該保持面の直径方向に延在するガイドと、を含む本体部と、
該接触針が接触している座標を検出する座標検出部と、
該座標と該接触針が測定した高さを関連させて記録する制御部と、
該本体部を支持する脚部と、を備え、
該脚部は、
該チャックテーブルの外縁に載置される一対の載置部と、
該載置部から垂下し、チャックテーブルの側面にならう内壁を有し、該本体部の測定中のずれを規制するずれ規制部と、を有することを特徴とする、
測定装置。 A measuring device that measures the shape of the holding surface of a chuck table.
A contact needle that contacts the holding surface and measures the height of the holding surface,
A contact needle holding portion that holds the contact needle and
A body portion that includes a guide that the contact needle holding portion engages with and extends in the radial direction of the holding surface.
A coordinate detection unit that detects the coordinates that the contact needle is in contact with,
A control unit that records the coordinates and the height measured by the contact needle in association with each other.
A leg portion that supports the main body portion is provided.
The legs
A pair of mounting portions mounted on the outer edge of the chuck table,
It has an inner wall that hangs down from the mounting portion and follows the side surface of the chuck table, and has a deviation regulating portion that regulates the deviation of the main body during measurement.
measuring device.

該座標検出部は、
該ガイドと同方向に延在する第１のスケールと、該接触針保持部に固定され該第１のスケールを読み取る読み取り部と、を有し、
該ガイドは、
オペレーターが該接触針保持部を手動で移動させる際に移動量を目視で確認する第２のスケールと、該第２のスケール上の任意の位置に磁力によって着脱可能なドグと、を備え、
該接触針保持部は、該ドグを検知するセンサを備え、
該センサが該ドグを検知すると高さの測定を終了することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。 The coordinate detection unit
It has a first scale extending in the same direction as the guide, and a reading unit fixed to the contact needle holding portion and reading the first scale.
The guide
A second scale for visually checking the amount of movement when the operator manually moves the contact needle holding portion, and a dog that can be attached and detached by a magnetic force at an arbitrary position on the second scale are provided.
The contact needle holding portion includes a sensor for detecting the dog.
The measuring device according to claim 1, wherein when the sensor detects the dog, the height measurement is terminated.

モーターと、
該モーターを制御するモーター制御部と、を更に有し、
該接触針保持部は該モーターの回転に伴って該ガイド上を移動し、
該座標検出部は、該制御部による該モーターの回転によって該接触針の位置を検出することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。 With the motor
Further having a motor control unit for controlling the motor,
The contact needle holding portion moves on the guide as the motor rotates, and the contact needle holding portion moves on the guide.
The measuring device according to claim 1, wherein the coordinate detection unit detects the position of the contact needle by rotation of the motor by the control unit.