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Abstract
Description
本発明は、分割予定ラインに形成される加工痕を検査する機能を有する加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus having a function of inspecting processing marks formed on a scheduled division line.
半導体ウェーハやセラミックス、樹脂パッケージ基板、ＳｉＣウェーハ、サファイアウェーハ等各種板状の被加工物を個々のチップに分割するために、切削ブレードを用いる切削装置やレーザー光線を用いるレーザー加工装置が使用される。これらの装置では、オペレータは被加工物を装置に投入したあと、装置が被加工物を撮影し、画像認識機能を用いたオートアライメントで自動的に分割予定ラインの位置を検出し、加工を開始する。加工中、特に問題が無ければ加工が終了する。加工途中に加工痕（切削溝やレーザー加工痕）が、分割予定ラインの中に収まっているか、大きな欠けなどが発生していないかを自動的に確認する、いわゆるカーフチェックという機能が使用される（特許文献１参照）。 A cutting device using a cutting blade or a laser processing device using a laser beam is used to divide various plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers, ceramics, resin package substrates, SiC wafers, and sapphire wafers into individual chips. In these devices, after the operator puts the work piece into the device, the device takes a picture of the work piece, automatically detects the position of the scheduled division line by auto-alignment using the image recognition function, and starts machining. To do. During processing, if there are no particular problems, processing will end. A so-called calf check function is used to automatically check whether machining marks (cutting grooves and laser machining marks) are within the planned division line and whether there are any major chips during machining. (See Patent Document 1).
カーフチェックによって、例えば閾値以上の大きな欠けがあると装置が認識すると、不合格判定をしてエラーとなり、オペレータがエラーコールで呼び出される。この際、実際に大きな欠けが発生していた場合、オペレータは予め決められたルールに則り、例えば切削ブレードを交換し、残りの分割予定ラインを加工する。一方、実際は大きな欠けが発生しておらず、例えばストリートにあるＴＥＧ（Test Element Group）を誤って大きな欠けと認識していた場合、オペレータはエラーコールを解除して加工を続行する。いずれにせよ、エラーの発生により加工装置はストップするが、このように大きな欠けが誤認識だった場合には、非常に無駄な装置停止が発生する事になる。 If the device recognizes that there is a large chip above the threshold value by the calf check, a failure determination is made and an error occurs, and the operator is called by an error call. At this time, if a large chip is actually generated, the operator follows a predetermined rule, for example, replaces the cutting blade and processes the remaining planned division line. On the other hand, if a large chip is not actually generated, for example, if the TEG (Test Element Group) on the street is mistakenly recognized as a large chip, the operator cancels the error call and continues processing. In any case, the processing device is stopped due to the occurrence of an error, but if such a large chip is misrecognized, a very useless device stop will occur.
また、近年では、カーフチェックによるエラーの発生について、加工工程の検証、改善及びデバイスの販売先への開示をする等の目的で、データを取りたいというニーズが高まっているという問題があった。 Further, in recent years, there has been a problem that there is an increasing need to collect data for the purpose of verifying and improving the processing process and disclosing the occurrence of an error due to calf check to the sales destination of the device.
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、カーフチェックによるエラーの発生について、加工工程の検証、改善及び開示を可能にするデータを取得することができる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of acquiring data that enables verification, improvement and disclosure of a processing process regarding the occurrence of an error due to a calf check. To provide.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、複数の分割予定ラインを備える被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮影するカメラと、該分割予定ラインを撮影した画像から該加工ユニットが形成した加工痕を検出し、所定の検査項目で該加工痕の状態を検査する検査部と、該カメラで撮影した画像を記録する記録部と、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、１枚の被加工物の加工開始から加工終了までの間に、任意のタイミングで該加工痕の状態を検査部で検査させ、該検査部が該加工痕の状態を不合格と判定した場合、不合格と判定された該加工痕のある該分割予定ラインより前に加工された該分割予定ラインの加工痕の状態を検査し、検査結果及び検査で用いた該画像を該記録部に記録することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the processing apparatus of the present invention uses a chuck table for holding a work piece having a plurality of scheduled division lines and a work piece held on the chuck table. A processing device including a processing unit that processes along a scheduled division line, and the processing unit is formed from a camera that captures an object to be processed held on the chuck table and an image that captures the scheduled division line. It is provided with an inspection unit that detects the processed marks and inspects the state of the processing marks with predetermined inspection items, a recording unit that records an image taken by the camera, and a control unit that controls each component. The control unit causes the inspection unit to inspect the state of the processing mark at an arbitrary timing from the start of processing of one workpiece to the end of processing, and the inspection unit fails the state of the processing mark. If it is determined that, the state of the processing marks of the planned division line processed before the planned division line having the processing marks determined to be unacceptable is inspected, and the inspection result and the image used in the inspection are used as the inspection result. It is characterized by recording in a recording unit.
該制御ユニットは、該検査部が該加工痕の状態を合格と判定するまで、検査した該加工痕のある該分割予定ラインより前に加工した該分割予定ラインに対して検査を実施してもよい。 The control unit may inspect the scheduled division line processed before the scheduled division line having the inspected processing mark until the inspection unit determines that the state of the processing mark is acceptable. Good.
該制御ユニットは、不合格と判定された該加工痕と同じ該分割予定ラインの異なる位置の加工痕と、不合格の該分割予定ラインの直前に加工した該分割予定ラインの加工痕とを検査し、両方の加工痕の検査結果が共に合格だった場合、該加工ユニットによる加工を続行させてもよい。 The control unit inspects the machining marks at different positions of the same scheduled division line as the machining marks determined to be rejected, and the machining marks of the scheduled split line machined immediately before the rejected scheduled split line. However, if the inspection results of both processing marks are both acceptable, the processing by the processing unit may be continued.
該加工痕は、切削ブレードによる切削溝、または、レーザー光線によるレーザー加工痕であってもよい。 The machining mark may be a cutting groove formed by a cutting blade or a laser machining mark formed by a laser beam.
本願発明は、カーフチェックによるエラーの発生について、加工工程の検証、改善及び開示を可能にするデータを取得することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to acquire data that enables verification, improvement and disclosure of a processing process regarding the occurrence of an error due to a calf check.
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態１に係る加工装置１は、被加工物２００を切削し、切削加工によって形成された加工痕である切削溝３００（図２参照）に対していわゆるカーフチェックを遂行する切削装置であり、以下において、切削加工によって形成された切削溝３００に対してカーフチェックを遂行する形態について説明する。なお、加工装置１は、本発明では、これに限定されず、被加工物２００にレーザー光線を照射して被加工物２００をレーザー加工し、レーザー加工によって形成された加工痕であるレーザー加工痕に対していわゆるカーフチェックを遂行するレーザー加工装置であってもよい。
[Embodiment 1]
The processing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the processing apparatus 1 according to the first embodiment. The machining apparatus 1 according to the first embodiment is a cutting apparatus that cuts a
実施形態１において、加工装置１が切削する被加工物２００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、平坦な表面２０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にデバイス２０３が形成されている。被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ２０５が貼着され、粘着テープ２０５の外縁部に環状フレーム２０６が装着されている。なお、被加工物２００は、本発明では、これに限定されず、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。
In the first embodiment, as shown in FIG. 1, the
加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削加工を実施する加工ユニット２０と、カメラ３０と、検査部４０と、記録部５０と、制御ユニット６０と、を備える。加工装置１は、図１に示すように、加工ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。
As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 includes a chuck table 10, a
また、加工装置１は、図１に示すように、Ｘ軸移動ユニット７１と、Ｙ軸移動ユニット７２と、Ｚ軸移動ユニット７３と、をさらに備える。Ｘ軸移動ユニット７１は、チャックテーブル１０を加工ユニット２０に対して相対的に、水平方向の一方向であるＸ軸方向に沿って加工送りする。Ｙ軸移動ユニット７２は、加工ユニット２０をチャックテーブル１０に対して相対的に、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向に沿って割り出し送りする。Ｚ軸移動ユニット７３は、加工ユニット２０をチャックテーブル１０に対して相対的に、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方と直交し鉛直方向に平行なＺ軸方向に沿って切り込み送りする。
Further, as shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 further includes an
チャックテーブル１０は、複数の分割予定ライン２０２を備える被加工物２００を保持する。チャックテーブル１０は、被加工物２００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット７１により移動自在で、不図示の回転駆動源により回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物２００を吸引保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０６をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。
The chuck table 10 holds a
加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を分割予定ライン２０２に沿って加工して切削溝３００を形成する。加工ユニット２０は、切削ブレード２１と、スピンドルと、スピンドルハウジング２２と、を備える。切削ブレード２１は、Ｙ軸周りの回転動作が加えられて、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する。スピンドルは、Ｙ軸方向に沿って設けられ、先端でＹ軸周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドルハウジング２２は、スピンドルをＹ軸周りの回転動作を可能に収納する。加工ユニット２０は、スピンドルハウジング２２が、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット７２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット７３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
The
カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する。カメラ３０は、実施形態１では、加工ユニット２０と一体的に移動するように、加工ユニット２０に固定されている。カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工前の被加工物２００の分割予定ライン２０２、及び、切削加工後の被加工物２００の加工痕である切削溝３００を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。
The
カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工前の被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット６０に出力する。また、カメラ３０は、チャックテーブル１０に保持された切削加工後の被加工物２００を撮像して、切削溝３００が分割予定ライン２０２の中に収まっているか、大きな欠けなどが発生していないかを自動的に確認する、いわゆるカーフチェックを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット６０に出力する。
The
検査部４０は、分割予定ライン２０２を撮影した画像から加工ユニット２０が形成した加工痕である切削溝３００を検出し、所定の検査項目で加工痕である切削溝３００の状態を検査する機能部である。検査部４０が検査する所定の検査項目の詳細については、後述する。
The
記録部５０は、カメラ３０で撮影した画像、具体的には、上記したアライメントを遂行するため等の画像や、カーフチェックを遂行するため等の画像を記録する機能部である。
The
制御ユニット６０は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する切削加工及びカーフチェックに関する各動作を加工装置１に実施させるものである。
The
検査部４０、記録部５０及び制御ユニット６０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。検査部４０、記録部５０及び制御ユニット６０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。
The
また、演算処理装置は、切削加工及びカーフチェックに関する各動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット６１、切削加工及びカーフチェックに関する各動作の状態に基づいて報知する発光ダイオード（Light Emitting Diode、ＬＥＤ）などにより構成される報知ユニット６２、及び、オペレータが切削加工及びカーフチェックに関する情報等を入力及び登録等する際に用いる入力ユニット６３と接続されている。入力ユニット６３は、表示ユニット６１に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。
Further, the arithmetic processing device notifies based on a
検査部４０は、演算処理装置が、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される機能部である。記録部５０は、記憶装置により実現される。制御ユニット６０は、演算処理装置、記憶装置及び入出力インターフェース装置により実現される。検査部４０、記録部５０及び制御ユニット６０は、実施形態１では、一体化されたコンピュータシステムに基づいて実現されているが、本発明では、これに限定されず、例えば、各部及び各ユニットが独立したコンピュータシステムに基づいて実現されていてもよい。
The
また、加工装置１は、図１に示すように、切削加工前後の被加工物２００を収容するカセット８０と、カセット８０の収容前後の被加工物２００を仮置きする仮置きユニット８２と、切削加工後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット９０と、被加工物２００をチャックテーブル１０、カセット８０、仮置きユニット８２及び洗浄ユニット９０の間で搬送する搬送ユニット８５と、をさらに備える。
Further, as shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 includes a
加工装置１は、搬送ユニット８５がカセット８０内から被加工物２００を１枚取り出してチャックテーブル１０の保持面１１に載置する。加工装置１は、チャックテーブル１０の保持面１１で被加工物２００を吸引保持して、加工ユニット２０から被加工物２００に切削水を供給しながら、Ｘ軸移動ユニット７１、回転駆動源、Ｙ軸移動ユニット７２及びＺ軸移動ユニット７３によりチャックテーブル１０と加工ユニット２０とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させて、加工ユニット２０で被加工物２００の分割予定ライン２０２を切削して切削溝３００を形成する。加工装置１は、被加工物２００の全ての分割予定ライン２０２を切削すると、被加工物２００を洗浄ユニット９０で洗浄した後にカセット８０内に収容する。
In the processing apparatus 1, the
加工装置１は、制御ユニット６０が、１枚の被加工物２００の加工開始から加工終了までの間に、任意のタイミングで加工痕である切削溝３００の状態を検査部４０で検査させるいわゆるカーフチェックを実施する。図２は、実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの設定画面１００の一例を示す図である。図３は、実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査項目１１０の一例を示す図である。図４は、実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の一例である検査画面１２０を示す図である。図５は、実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の別の一例である検査画面１３０を示す図である。図６は、実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の別の一例である検査画面１４０を示す図である。以下において、図２から図６を用いて、実施形態１に係る加工装置１が実施するカーフチェックの詳細を説明する。
In the processing device 1, the
なお、以下において、Ｘ軸方向に沿った切削溝３００に対するカーフチェックと、Ｙ軸方向に沿った切削溝３００に対するカーフチェックとは、切削溝３００の向きを除いて同様であるため、Ｘ軸方向に沿ったものについて詳細な説明だけをし、Ｙ軸方向に沿ったものについては、その詳細な説明を省略する。ここで、Ｃｈ２で設定される加工条件によって形成されるＹ軸方向に沿った切削溝３００は、具体的には、Ｃｈ１で設定される加工条件によって形成されるＸ軸方向に沿った切削溝３００を形成した後、チャックテーブル１０ごと被加工物２００を回転させて、Ｃｈ２で加工条件が設定される分割予定ライン２０２をＸ軸方向と平行にしてから、Ｘ軸方向に沿って切削加工をすることで形成し、この切削溝３００を形成する工程でカーフチェックも実行する。このため、Ｙ軸方向に沿った切削溝３００についてカーフチェックを行う場合でも、切削溝３００は、検査画面上ではＸ軸方向に沿って伸びているように表示される。
In the following, the calf check for the cutting
実施形態１に係るカーフチェックの設定画面１００は、図２に示すように、カーフチェックを実施する頻度１０１、カメラ３０によるカーフチェックの実施を目的とする画像撮像時の光量１０２、各加工ユニット２０により形成される切削溝３００の幅３０１を示す溝幅１０３、各加工ユニット２０により形成される切削溝３００の幅方向の中心３０２の分割予定ライン２０２の幅方向の中心２０２−２からのずれ３０３を示すカット位置ずれ１０４、並びに、チッピングの切削溝３００の縁からの長さ３０４を示すチッピングサイズ１０５を設定して登録する画面である。カーフチェックの設定画面１００は、表示ユニット６１に表示され、制御ユニット６０が入力ユニット６３からの設定及び登録を受け付けるユーザインターフェイスである。
As shown in FIG. 2, the calf
なお、図２に示す例では、頻度１０１は、Ｃｈ１がＸ軸方向に沿った分割予定ライン２０２に対するカーフチェックに関する設定を示し、Ｃｈ２がＹ軸方向に沿った分割予定ライン２０２に対するカーフチェックに関する設定を示している。頻度１０１は、分割予定ライン２０２を何本毎にカーフチェックを実施するかという分割予定ライン２０２の本数で表され、この本数が少なければ少ないほどカーフチェックの実施頻度が高く、この本数が多ければ多いほどカーフチェックの実施頻度が低いことを示している。
In the example shown in FIG. 2,
また、図２に示す例では、光量１０２は、カメラ３０における落射及び射光のそれぞれの設定を示している。光量１０２は、撮影される画像において、被加工物２００の表面２０１に対して切削溝３００が明瞭に可視化される条件に設定される。
Further, in the example shown in FIG. 2, the
また、図２に示す例では、溝幅１０３、カット位置ずれ１０４及びチッピングサイズ１０５のカーフチェックに関する各許容条件は、Ｚ１が、一方の加工ユニット２０の切削加工条件に対応し、Ｚ２が、他方の加工ユニット２０の切削加工条件に対応する。溝幅１０３は、許容される最大の切削溝３００の幅３０１と最小の切削溝３００の幅３０１との双方と各加工ユニット２０の切削ブレード２１の刃先の厚さとの差を示している。
Further, in the example shown in FIG. 2, Z1 corresponds to the cutting conditions of one
また、図２に示す例では、カット位置ずれ１０４及びチッピングサイズ１０５は、それぞれ、厳しめの許容条件である閾値小（第１閾値）と、緩めの許容条件である閾値大（第２閾値）と、の各設定が示されている。
Further, in the example shown in FIG. 2, the
実施形態１に係る加工装置１が実施するカーフチェックの検査項目１１０は、図３に示すように、重要度の高いものから重要度の低いものまで、４項目が設定されている。図３に示す例では、重要度が最も高い第１項目は、切削溝３００のエッジの位置が所定の閾値よりずれているか否かであり、より具体的には、切削溝３００のエッジが分割予定ライン２０２の幅２０２−１を超えてデバイス２０３に侵入しているか否かである。実施形態１に係るカーフチェックでは、切削溝３００のエッジがデバイス２０３に侵入してしまうと、当該デバイス２０３を不良品として取り扱う必要性が生じるため、切削溝３００のエッジの位置が所定の閾値よりずれているか否かを、重要度の最も高い第１項目として取り扱うことが好ましい。
As shown in FIG. 3, four items of the calf
図３に示す例では、上記した第１項目に次いで重要度が高い第２項目は、切削溝３００の幅３０１が細すぎるか否かであり、より具体的には、十分な幅３０１の切削溝３００で分割予定ライン２０２に沿ってきちんと切削加工を施しているか否かである。実施形態１に係るカーフチェックでは、十分な幅３０１の切削溝３００で分割予定ライン２０２に沿ってきちんと切削加工を施すことができなかった場合、切削加工そのものに問題があると判断できるため、切削溝３００の幅３０１が細すぎるか否かを、上記した第１項目に次いで重要度の高い第２項目として取り扱うことが好ましい。
In the example shown in FIG. 3, the second item having the highest importance next to the first item described above is whether or not the
図３に示す例では、上記した第１項目及び第２項目に次いで重要度が高い、すなわち重要度が２番目に低い第３項目は、チッピングサイズ１０５が設定した閾値大より大きいか否かであり、より具体的には、切削加工の際に閾値大よりも大きなチッピングが発生したか否かである。実施形態１に係るカーフチェックでは、切削加工の際に閾値大よりも大きなチッピングが発生してしまった場合、切削加工そのものに問題が発生している可能性があると判断できるため、チッピングサイズ１０５が設定した閾値大より大きいか否かを、上記した第１項目及び第２項目に次いで重要度が高い第３項目として取り扱うことが好ましい。
In the example shown in FIG. 3, the third item having the highest importance after the first and second items described above, that is, the third item having the second lowest importance, depends on whether or not the
図３に示す例では、上記した第１項目、第２項目及び第３項目に次いで重要度が高い、すなわち重要度が１番低い第４項目は、チッピングサイズ１０５が設定した閾値小より大きいか否かであり、より具体的には、切削加工の際に閾値小よりも大きなチッピングが発生したか否かである。実施形態１に係るカーフチェックでは、切削加工の際に閾値小よりも大きなチッピングが発生してしまった場合、切削加工の際に閾値大よりも大きなチッピングが発生してしまった場合ほどではないが、切削加工そのものに問題が発生している可能性があると判断できるため、チッピングサイズ１０５が設定した閾値小より大きいか否かを、上記した第１項目、第２項目及び第３項目に次いで重要度が高い第４項目として取り扱うことが好ましい。
In the example shown in FIG. 3, is the fourth item having the highest importance after the first item, the second item, and the third item, that is, the fourth item having the lowest importance, larger than the threshold value set by the
なお、図３に示す例では、加工装置１の制御ユニット６０は、例えば、合格と不合格との境界となる重要度を設定し、検査部４０に、当該重要度より高い項目のうち少なくともいずれか１項目で不合格と判定させた場合には、カーフチェックの評価結果を不合格とさせ、当該重要度より高い項目で全て合格と判定させ、当該重要度より低い項目のみで不合格と判定させた場合には、カーフチェックの評価結果を合格とさせてもよい。加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、オペレータ等の要求に応じて、全ての項目に対して高い重要度を設定して厳しめの基準を設定することもできるし、所定の項目に対して低い重要度を設定して緩めの基準を設定することもできる。なお、加工装置１の制御ユニット６０は、本発明では、上記したカーフチェックの項目及び基準に限定されず、種々のカーフチェックの項目及び基準を設定することができる。
In the example shown in FIG. 3, the
実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の一例である検査画面１２０は、図４に示すように、切削溝３００が分割予定ライン２０２の幅２０２−１内に収まっており、切削溝３００の幅方向の中心３０２の位置が閾値よりもずれておらず、切削溝３００の幅３０１が細すぎず、チッピングが発生していないので当然にチッピングサイズが閾値大よりも閾値小よりも大きくない状態を示している。このため、加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、検査部４０に、図４に示す検査画面１２０を、上記した第１項目から第４項目の全てにおいて合格と判定させ、設定基準によらず、合格の検査結果を出させる。
In the
実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の別の一例である検査画面１３０は、図５に示すように、切削溝３００が形成された位置が分割予定ライン２０２からずれており、切削溝３００が分割予定ライン２０２の幅２０２−１を超えてしまい、切削溝３００の幅方向の中心３０２の位置が閾値よりもずれている状態を示している。また、検査画面１３０は、切削溝３００の幅３０１が細すぎない状態を示している。また、検査画面１３０は、チッピングが発生しており、チッピングサイズが閾値小よりも大きいものの閾値大よりも大きくない状態を示している。このため、加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、検査部４０に、図５に示す検査画面１３０を、上記した第１項目及び第４項目において不合格と判定させ、上記した第２項目及び第３項目において合格と判定させ、設定基準によらず、不合格の検査結果を出させる。
As shown in FIG. 5, in the
実施形態１に係る加工装置１におけるカーフチェックの検査画面の別の一例である検査画面１４０は、図６に示すように、切削溝３００が分割予定ライン２０２の幅２０２−１内に収まっていないものの、切削溝３００の幅方向の中心３０２の位置が閾値よりもずれておらず、切削溝３００の幅３０１が細すぎず、閾値大よりも大きなチッピングが発生してチッピングの部分だけが分割予定ライン２０２の幅２０２−１を超えてしまっている状態を示している。このため、加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、検査部４０に、図６に示す検査画面１４０を、上記した第１項目及び第２項目において合格と判定させ、上記した第３項目及び第４項目において不合格と判定させる。
As shown in FIG. 6, in the
これにより、加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、検査部４０に、図６に示す検査画面１４０を、設定基準が厳しめである場合には不合格の検査結果を出させる。一方で、加工装置１の制御ユニット６０は、実施形態１に係るカーフチェックでは、検査部４０に、図６に示す検査画面１４０を、設定基準が緩めである場合には合格の検査結果を出させるとともに、加工ユニット２０による切削加工自体は問題ないと判定させるが、分割予定ライン２０２の幅２０２−１を超えたチッピングが発生した部分のデバイス２０３のみが突発的な原因により不良品となるに至ったと判定させる。
As a result, the
実施形態１に係る加工装置１の作用について以下に説明する。図７は、実施形態１に係る加工装置１における動作の一例を示すフローチャートである。図８は、図７の動作におけるカーフチェックの検査箇所の一例である検査箇所４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６を示す上面図である。なお、図８は、紙面の下側の分割予定ライン２０２から順に、加工ユニット２０により切削加工が施され、下から６本の分割予定ライン２０２が、各分割予定ライン２０２に沿って切削溝３００が形成された際の状態を示している。
The operation of the processing apparatus 1 according to the first embodiment will be described below. FIG. 7 is a flowchart showing an example of the operation in the processing apparatus 1 according to the first embodiment. FIG. 8 is a top view showing inspection points 401, 402, 403, 404, 405, 406, which are examples of inspection points of the calf check in the operation of FIG. 7. In FIG. 8, cutting is performed by the
加工装置１の制御ユニット６０は、まず、図７に示すように、１枚の被加工物２００の加工開始から加工終了までの間に、任意のタイミングで加工痕である切削溝３００の状態を検査させるいわゆるカーフチェックを検査部４０に実施させる（ステップＳＴ１１）。
As shown in FIG. 7, the
実施形態１では、ステップＳＴ１１では、加工装置１の制御ユニット６０が、検査部４０に、検査箇所４０１におけるカーフチェックを実施させる。具体的には、ステップＳＴ１１では、まず、加工装置１のカメラ３０が、制御ユニット６０が入力ユニット６３を介して入力及び設定を受け付けた光量１０２の条件下で、チャックテーブル１０に保持された切削加工後の被加工物２００における検査箇所４０１の部分を撮影して、検査箇所４０１においてカーフチェックを実施するための画像を取得し、取得した画像を制御ユニット６０に送信する。なお、加工装置１の制御ユニット６０は、加工ユニット２０により被加工物２００に切削加工を施す前に実施するアライメントの際に、被加工物２００上の各分割予定ライン２０２を検出し、その位置を座標で認識しているため、これに基づき、円滑にカメラ３０の撮影領域を被加工物２００における分割予定ライン２０２上の検査箇所４０１へ移動させることができる。
In the first embodiment, in step ST11, the
ステップＳＴ１１では、次に、制御ユニット６０が、検査部４０に、カメラ３０が撮影して取得した検査箇所４０１の部分の画像に対して所定の画像解析を実施させることで、検査箇所４０１における切削溝３００を検出させ、分割予定ライン２０２の幅２０２−１及び幅方向の中心２０２−２と、分割予定ライン２０２に沿って形成された切削溝３００のエッジ、幅３０１、幅方向の中心３０２、幅方向の中心３０２の幅方向の中心２０２−２からのずれ３０３及びチッピングの切削溝３００の縁からの長さ３０４と、を導出させる。
In step ST11, the
ステップＳＴ１１では、その次に、制御ユニット６０が、検査部４０に導出させた検査箇所４０１における分割予定ライン２０２及び切削溝３００に関する上記した各パラメータ等に基づいて、検査部４０に、図３に示すカーフチェックの検査項目１１０のそれぞれについて合格であるか不合格であるかを判定させる。ステップＳＴ１１では、そして、制御ユニット６０が、検査部４０に、カーフチェックの検査項目１１０のそれぞれについての判定結果と、設定されたカーフチェックの基準に基づいて、検査箇所４０１における切削溝３００のカーフチェックの検査結果が、合格であるか不合格であるかを判定させる。
In step ST11, the
加工装置１の制御ユニット６０は、検査箇所４０１における加工痕の状態、すなわち、検査部４０に実施させた検査箇所４０１における切削溝３００のカーフチェックの検査結果が合格である場合（ステップＳＴ１２でＹＥＳ）、加工ユニット２０による被加工物２００の切削加工を続行し（ステップＳＴ１３）、カーフチェックの検査結果が合格である旨を表示ユニット６１に表示したり報知ユニット６２で報知したりした後、実施形態１に係るカーフチェックのフローを終了する。一方、加工装置１の制御ユニット６０は、検査部４０に実施させた検査箇所４０１における切削溝３００のカーフチェックの検査結果が不合格である場合（ステップＳＴ１２でＮＯ）、加工ユニット２０による被加工物２００の切削加工の継続を一旦中止する（ステップＳＴ１４）。その後、実施形態１に係るカーフチェックのフローをステップＳＴ１５へ進める。なお、実施形態１に係るカーフチェックでは、カーフチェックの検査結果が不合格である旨を表示ユニット６１に表示したり報知ユニット６２で報知したりする不合格通知処理を、上記のステップＳＴ１４の実施と同時のタイミングで実施してもよいし、実施形態１に係るカーフチェックのフローの完了後に実施してもよい。
When the
加工装置１の制御ユニット６０は、加工ユニット２０による被加工物２００の切削加工を中止した後、直前で検査部４０にカーフチェックを実施させて不合格と判定された加工痕である切削溝３００のある分割予定ライン２０２よりも前に加工された分割予定ライン２０２の加工痕である切削溝３００を、検査部４０に検査させる（ステップＳＴ１５）。第１回目のステップＳＴ１５では、実施形態１では、加工装置１の制御ユニット６０が、ステップＳＴ１１でカーフチェックを実施した検査箇所４０１が設定された分割予定ライン２０２よりも直前に加工された分割予定ライン２０２に設定された検査箇所４０２における加工痕である切削溝３００を、検査部４０に検査させることが好ましい。第１回目のステップＳＴ１５における切削溝３００の検査の詳細については、検査箇所４０１，４０２が異なることを除き、上述したステップＳＴ１１と同様である。
The
なお、第１回目のステップＳＴ１５では、実施形態１では、加工装置１の制御ユニット６０が、検査箇所４０２における加工痕である切削溝３００を検査部４０に検査させるが、本発明ではこれに限定されず、ステップＳＴ１１でカーフチェックを実施した検査箇所４０１が設定された分割予定ライン２０２よりも前に加工された分割予定ライン２０２に設定されたその他の検査箇所４０３，４０４，４０５，４０６のいずれかにおける加工痕である切削溝３００を、検査部４０に検査させてもよい。
In the first step ST15, in the first embodiment, the
加工装置１の制御ユニット６０は、検査箇所４０２における加工痕の状態、すなわち、検査部４０に実施させた検査箇所４０２における切削溝３００のカーフチェックの検査結果が合格である場合（１回目のステップＳＴ１６でＹＥＳ）、ここまでにステップＳＴ１１及びステップＳＴ１５で実施した全てのカーフチェックの検査結果及び検査で使用した画像を記録部５０に記録させ（ステップＳＴ１７）、実施形態１に係るカーフチェックのフローを終了する。一方、加工装置１の制御ユニット６０は、検査部４０に実施させた検査箇所４０２における切削溝３００のカーフチェックの検査結果が不合格である場合（１回目のステップＳＴ１６でＮＯ）、実施形態１に係るカーフチェックのフローを再びステップＳＴ１５へ戻す（２回目のステップＳＴ１５）。
When the
加工装置１の制御ユニット６０は、以降、ステップＳＴ１５及びステップＳＴ１６の実施を繰り返し、検査部４０が加工痕の状態を合格と判定するまで、すなわち、加工痕である切削溝３００のカーフチェックについて合格の検査結果を出すまで、検査した加工痕である切削溝３００のある分割予定ライン２０２より前に加工した分割予定ライン２０２に対して検査を実施する。加工装置１の制御ユニット６０は、具体的には、検査部４０が加工痕の状態を合格と判定するまで、検査箇所４０３，４０４，４０５，４０６について、この順で、順次、検査部４０にカーフチェックを実施させる。そして、加工装置１の制御ユニット６０は、検査部４０が加工痕の状態を合格と判定するまでにステップＳＴ１１及び複数回のステップＳＴ１５で実施した全てのカーフチェックの検査結果及び検査で使用した画像を記録部５０に記録させ（ステップＳＴ１７）、検査部４０が加工痕の状態を合格と判定するまでにカーフチェックを実施した検査箇所４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６に関する情報を表示ユニット６１に表示した後、実施形態１に係るカーフチェックのフローを終了する。
After that, the
実施形態１に係る加工装置１は、以上のような構成を有するので、制御ユニット６０が、１枚の被加工物２００の加工開始から加工終了までの間に、任意のタイミングで加工痕の状態を検査部４０で検査させ、検査部４０が加工痕（切削溝３００）の状態を不合格と判定した場合、不合格と判定された加工痕（切削溝３００）のある分割予定ライン２０２より前に加工された分割予定ライン２０２の加工痕（切削溝３００）の状態を検査し、検査結果及び検査で用いた画像を記録部５０に記録する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、いわゆるカーフチェックによるエラーの発生について、エラーの発生時における検査結果及び検査で用いた画像に加えて、エラーの発生時より前における検査結果及び検査で用いた画像を後から参照可能及び解析可能に取得して保存しておくことができるので、切削加工に関する各加工工程の検証、改善及び開示等を可能にする、いわゆるトレーサビリティを可能にするデータを取得することができるという作用効果を奏する。これにより、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータの手間をかけずに、カーフチェックで検査可能な切削加工またはカーフチェックにおけるトラブル発生状況の記録が可能になるという作用効果を奏する。
Since the processing apparatus 1 according to the first embodiment has the above-described configuration, the
また、実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット６０が、検査部４０が加工痕（切削溝３００）の状態を合格と判定するまで、検査した加工痕（切削溝３００）のある分割予定ライン２０２より前に加工した分割予定ライン２０２に対して検査を実施する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、いわゆるカーフチェックによるエラーの発生について、カーフチェックによるエラーが発生する異常な状態となったタイミングまで遡って、検査結果及び検査で用いた画像を後から参照可能に取得して保存しておくことができるので、さらに、カーフチェックによるエラーが発生する異常な状態となった原因を追究するための情報を自動的に取得することを可能にするという作用効果を奏する。また、実施形態１に係る加工装置１は、カーフチェックで不合格の結果が出た分割予定ライン２０２よりも前の分割予定ライン２０２に対して、カーフチェックの検査を合格するまで次々と検査していくことで、被加工物２００のどこまでを製品として出荷できるかの判断の目安を取得することができるという作用効果を奏する。
Further, the machining apparatus 1 according to the first embodiment is scheduled to be divided with the machining marks (cutting grooves 300) inspected until the
また、実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット６０が、カーフチェックの検査項目１１０の重要度と、合格と不合格との境界となる重要度とを設定することができる。このため、実施形態１に係る加工装置１は、必要に応じて、厳しめの設定をすることで、逐一切削加工を中止してカーフチェックによるエラーの発生に関して検証等をすることを可能にしたり、緩めの設定をすることで、無駄に切削加工を中止させることを抑制することを可能にしたりするという作用効果を奏する。なお、実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット６０が、加工痕の不合格、すなわち、カーフチェックによるエラーに応じて加工ユニット２０による切削加工を中止させているが、本発明では、これに限定されず、カーフチェックによるエラーが発生した場合でも加工ユニット２０による切削加工を一切中止させず続行して、カーフチェックによるエラーに関する検査結果及び検査で用いた画像を記録部５０に記録だけさせることとしてもよい。
Further, in the processing apparatus 1 according to the first embodiment, the
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図９は、実施形態２に係る加工装置１における動作の一例を示すフローチャートである。図１０は、図９の動作におけるカーフチェックの検査箇所の一例である検査箇所４１１，４１２を示す上面図である。なお、図１０は、図８と同様に、紙面の下側の分割予定ライン２０２から順に、加工ユニット２０により切削加工が施され、下から６本の分割予定ライン２０２が、各分割予定ライン２０２に沿って切削溝３００が形成された際の状態を示している。図９及び図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
[Embodiment 2]
The processing apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a flowchart showing an example of the operation in the processing apparatus 1 according to the second embodiment. FIG. 10 is a top view showing inspection points 411 and 412, which are examples of inspection points of the calf check in the operation of FIG. In FIG. 10, similarly to FIG. 8, cutting is performed by the
実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１において、２回目以降のカーフチェックの検査箇所４０２，４０３，４０４，４０５，４０６を検査箇所４１１，４１２に変更したものであり、その装置構成は同様である。 The processing apparatus 1 according to the second embodiment is the one in which the inspection points 402, 403, 404, 405 and 406 of the second and subsequent calf checks are changed to the inspection points 411 and 412 in the first embodiment, and the apparatus configuration thereof is as follows. The same is true.
実施形態２に係る加工装置１の作用について以下に説明する。実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、まず、図９に示すように、実施形態１と同様のステップＳＴ１１及びステップＳＴ１２を実施し、ステップＳＴ１２でＹＥＳの場合、実施形態１と同様のステップＳＴ１３を実施する。
The operation of the processing apparatus 1 according to the second embodiment will be described below. First, as shown in FIG. 9, the
実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、ステップＳＴ１２でＮＯの場合、実施形態１のようにすぐにステップＳＴ１４を実施するのではなく、不合格と判定された加工痕である検査箇所４０１の切削溝３００の直前及び直後にそれぞれ形成された加工痕である切削溝３００を検査部４０に検査させる（ステップＳＴ２１）。ステップＳＴ２１では、具体的には、実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、検査箇所４０１の切削溝３００と同じ分割予定ライン２０２上の異なる位置の切削溝３００、すなわち、図１０に示す検査箇所４１１，４１２の切削溝３００を検査部４０に検査させる。ここで、検査箇所４１１は、検査箇所４０１の直前に加工して切削溝３００を形成した同じ分割予定ライン２０２上の箇所であり、検査箇所４１２は、検査箇所４０１の直後に加工して切削溝３００を形成した同じ分割予定ライン２０２上の箇所である。
When the
なお、実施形態２では、検査箇所４０１が分割予定ライン２０２の中央付近であるので、検査箇所４０１の直前に加工した箇所である検査箇所４１１も、検査箇所４０１の直後に加工した箇所である検査箇所４１２も、同一の分割予定ライン２０２上に設定されているが、本発明では、これに限定されず、検査箇所４０１の直前に加工した箇所を検査箇所４０１が設定された分割予定ライン２０２の直前に加工された１つ前の分割予定ライン２０２上に設定されていてもよく、検査箇所４０１の直後に加工した箇所を検査箇所４０１が設定された分割予定ライン２０２の直後に加工された１つ後の分割予定ライン２０２上に設定されていてもよい。
In the second embodiment, since the
実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、ステップＳＴ２１で検査部４０に検査させた検査箇所４０１の切削溝３００の直前及び直後にそれぞれ形成された切削溝３００のカーフチェックの検査結果が共に合格だった場合（ステップＳＴ２２でＹＥＳ）、検査箇所４０１の切削溝３００のカーフチェックの検査結果が不合格となったことが、切削加工またはカーフチェックにおける突発的要因によるものまたは誤認によるものであったと判定し（ステップＳＴ２３）、上記したステップＳＴ１２でＹＥＳの場合と同様に、加工ユニット２０による被加工物２００の切削加工を続行し（ステップＳＴ１３）、実施形態２に係るカーフチェックのフローを終了する。
In the
実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、ステップＳＴ２１で検査部４０に検査させた検査箇所４０１の切削溝３００の直前及び直後にそれぞれ形成された切削溝３００のカーフチェックの検査結果が共に合格ではなかった場合、すなわち、少なくとも一方が不合格となった場合（ステップＳＴ２２でＮＯ）、検査箇所４０１の切削溝３００のカーフチェックの検査結果が不合格となったことが、切削加工またはカーフチェックにおける突発的要因によるものまたは誤認によるものではなかったと考えられるので、実施形態１においてステップＳＴ１２でＮＯの場合と同様に、加工ユニット２０による被加工物２００の切削加工を中止し（ステップＳＴ１４）、実施形態２に係るカーフチェックのフローを終了する。なお、実施形態２に係る加工装置１の制御ユニット６０は、ステップＳＴ１４の後に、実施形態１に係るカーフチェックのフローにおけるステップＳＴ１４以降の処理を実行することが好ましい。
In the
実施形態２に係る加工装置１は、以上のような構成を有するので、制御ユニット６０が、不合格と判定された加工痕（切削溝３００）と同じ分割予定ライン２０２の異なる位置の加工痕（切削溝３００）と、不合格の分割予定ライン２０２の直前に加工した分割予定ライン２０２の加工痕（切削溝３００）とを検査し、両方の加工痕（切削溝３００）の検査結果が共に合格だった場合、加工ユニット２０による加工を続行させる。このため、実施形態２に係る加工装置１は、カーフチェックの検査結果で出たエラーが、切削加工またはカーフチェックにおける突発的要因によるものまたは誤認によるものであると考えられる場合に、無駄に切削加工を中止させることを抑制することができるという作用効果を奏する。これにより、実施形態２に係る加工装置１は、オペレータの手数をかけずに、カーフチェックにおける突発的な誤認識にも対応できるという作用効果を奏する。
Since the machining apparatus 1 according to the second embodiment has the above configuration, the
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.
１ 加工装置
１０ チャックテーブル
２０ 加工ユニット
３０ カメラ
４０ 検査部
５０ 記録部
６０ 制御ユニット
２００ 被加工物
２０２ 分割予定ライン
３００ 切削溝
４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６，４１１，４１２ 検査箇所
1
Claims (4)
該チャックテーブルに保持された被加工物を撮影するカメラと、
該分割予定ラインを撮影した画像から該加工ユニットが形成した加工痕を検出し、所定の検査項目で該加工痕の状態を検査する検査部と、
該カメラで撮影した画像を記録する記録部と、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、１枚の被加工物の加工開始から加工終了までの間に、任意のタイミングで該加工痕の状態を検査部で検査させ、該検査部が該加工痕の状態を不合格と判定した場合、不合格と判定された該加工痕のある該分割予定ラインより前に加工された該分割予定ラインの加工痕の状態を検査し、検査結果及び検査で用いた該画像を該記録部に記録する加工装置。 A processing apparatus including a chuck table for holding a workpiece having a plurality of scheduled division lines and a machining unit for processing the workpiece held on the chuck table along the scheduled division lines.
A camera that photographs the work piece held on the chuck table, and
An inspection unit that detects the machining marks formed by the machining unit from the image of the scheduled division line and inspects the state of the machining marks with predetermined inspection items.
A recording unit that records images taken by the camera,
It is equipped with a control unit that controls each component.
The control unit causes the inspection unit to inspect the state of the processing mark at an arbitrary timing from the start of processing of one workpiece to the end of processing, and the inspection unit fails the state of the processing mark. If it is determined that, the state of the processing marks of the scheduled division line processed before the scheduled division line having the processing marks determined to be unacceptable is inspected, and the inspection result and the image used in the inspection are used as the inspection result. A processing device that records in the recording unit.
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