JP2021028969A

JP2021028969A - 垂直フィン加工機

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Publication number: JP2021028969A
Application number: JP2019156181A
Authority: JP
Inventors: 政晴熊谷; Masaharu Kumagai
Original assignee: Custom Cool Center Co Ltd
Current assignee: Custom Cool Center Co Ltd
Priority date: 2019-08-09
Filing date: 2019-08-09
Publication date: 2021-02-25
Anticipated expiration: 2039-08-09
Also published as: JP7246604B2

Abstract

【課題】掘り起こし工具を用いて起立形成される放熱フィンを、安定して垂直に形成加工できる垂直フィン加工機を提供する。【解決手段】先端側に刃部が形成された掘り起こし工具１により、切削可能な金属素材２の平面に肉薄な板状の垂直フィン３を起立形成する加工装置であって、金属素材２を載置固定する載置台１１と、掘り起こし工具１が金属素材２に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構１２と、それらを水平方向に移動させる水平移動機構１３と、垂直移動機構と水平移動機構とを制御して掘り起こし工具１を金属素材２の平面に対して所定の角度を有した状態で移動させて傾斜した板状のフィンを金属素材２の平面から掘り起こす掘り起しモードと、この掘り起しモードの後に垂直移動機構１２により掘り起こし工具１を金属素材２の平面に対して垂直な上方向に移動させて傾斜したフィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードを制御する制御装置とを備えている。【選択図】図２

Description

本発明は、例えば電子部品等から生ずる熱を効率的に放熱するための板状の垂直な放熱フィンを金属素材から形成するための垂直フィン加工機に関する。

例えば、半導体集積回路等の電子部品から生ずる熱を放熱するために、従来一般に実用に供されている放熱器は、ベース上に多数の櫛歯状の放熱フィンを垂直に立設している。この放熱器を電子部品等に直接又は間接的に接合することによって、放熱器の放熱フィンを介して外方に放熱するようにしている。この放熱器は、アルミニウムなどの熱伝導率が良好な金属材に対し、掘り起こし工具を用いて放熱フィンを形成する方法が特開２００１−１５６２２４（特許文献１）や特開２００５−１４２２４７号公報（特許文献２）に開示されている。

特許文献１に示された放熱器の製造方法は、基板部の上面側に突提状のフィン形成用被削部が形成されたアルミニウム合金押出形材からなるヒートシンク素材が用いられ、上記フィン形成用被削部をバイト等の切削工具を用いて掘り起こし、それによって複数のフィンが形成される。

また、特許文献２に示された放熱器の製造方法は、熱伝導率が良好なフープ状金属板と、移動方向の先端側に刃部が形成された掘り起こし工具とを、所定の角度を有した状態で相対移動させて、フープ状金属板を掘り下げることにより、板状の放熱フィンを一体に起立形成し、次に、放熱フィンが起立形成された被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から、フープ状金属板と掘り起こし工具とを相対移動させて、フープ状金属板を掘り起こすことにより次の板状の放熱フィンを一体に起立形成し、以後、この掘り起こし工程を順次繰り返すことによりフープ状金属板に複数の放熱フィンが連続して形成される。

ところが、特許文献１及び２に示されるように、掘り起こし工具を用いて放熱フィンを形成すると、放熱フィンがカーリングするとともに、金属板から掘り起こし工具の角度と同じ角度に傾斜した状態で形成される。このように、傾斜した放熱フィンを放熱器として使用した場合、熱は垂直方向に上昇する性質を有することから、放熱フィンがカーリングしていると、熱が放熱フィンの側面に当たりながら蛇行して上昇する。このため、放熱フィンを再加熱することがあり、放熱効率を低下させる要因となっていた。

そこで、放熱フィンを垂直に形成する方法が、特開２０１８−１１７１０７号公報（特許文献３）のように提案されている。この方法によれば、掘り起こし工具の前進側に離間して押圧部材を設け、掘り起こし工具を前進させて金属板を掘り起こすことにより板状の放熱フィンを起立形成した後、掘り起こし工具により次の放熱フィンを起立形成するときに、掘り起こし工具とともに前進させて、前に起立形成された事前の傾斜した放熱フィンに当接させて押圧することにより、傾斜した放熱フィンをほぼ垂直に形成させている。

特開２００１−１５６２２４号公報特開２００５−１４２２４７号公報特開２０１８−１１７１０７号公報

上述した特許文献３に示される方法は、掘り起こし工具の前進側に押圧部材を設けることにより、傾斜した放熱フィンをほぼ垂直に形成することができるとしている。しかしながら、押圧部材は構成が複雑なことから動作が不安定になることがあり、放熱フィンを均一に垂直に形成することができない問題がある。また、掘り起こし工具によって金属板を掘り起こすときと同時に押圧部材を作動させることから、摩耗等によって精度が低下することから、放熱フィンを所定の垂直な角度に形成できない問題も生じていた。

そこで、本発明の課題は、掘り起こし工具を用いて起立形成される放熱フィンを、金属素材の平面に対して安定して垂直に形成加工できる垂直フィン加工機を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明による垂直フィン加工機は、先端側に刃部が形成された掘り起こし工具により、切削可能な金属素材の平面に肉薄な板状の垂直フィンを起立形成する加工装置であって、前記金属素材を載置固定する載置台と、前記掘り起こし工具が前記金属素材の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構と、前記垂直移動機構または前記載置台を水平方向に移動させる水平移動機構と、前記垂直移動機構と前記水平移動機構とを制御して前記掘り起こし工具を前記金属素材の平面に対して所定の角度を有した状態で移動させて傾斜した板状のフィンを前記金属素材の平面から掘り起こす掘り起しモードと、この掘り起しモードの後に前記垂直移動機構により前記掘り起こし工具を前記金属素材の平面に対して垂直な上方向に移動させて傾斜した前記フィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードを制御する制御装置とを備えたことを要旨としている。

また、前記水平移動機構には、前記載置台を水平駆動モータによって水平方向に移動させる水平スライダーが設けられ、前記垂直移動機構には、固定フレームに対して前記掘り起こし工具を垂直駆動モータによって垂直方向に移動させる垂直スライダーが設けられている。

さらに、前記載置台は、機構台座の所定位置に載置固定され、前記垂直移動機構は、前記掘り起こし工具を垂直方向に移動させる垂直スライダーが設けられた固定フレームを水平駆動モータによって水平方向に移動させる水平駆動装置が設けられている。

本発明にかかる垂直フィン加工機によれば、掘り起こし工具が金属素材の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構を設けているので、この垂直移動機構によって、掘り起こし工具を垂直な上方向に移動させるように作動させるだけで、傾斜したフィンを容易に垂直に起立矯正することができる。さらに、金属素材の平面に対して、水平方向に移動させる水平移動機構が設けられているので、垂直移動機構と水平移動機構とを制御装置によって動作を制御することにより、掘り起こし工具によるフィンの掘り起こし角度を金属素材の材質等に合わせて任意に設定することが可能になり、しかも、フィンの起立角度を、要求される放熱器の特性に合わせて調整することが可能となる。

また、水平移動機構には、載置台をモータ駆動によって水平方向に移動させる水平スライダーが設けられ、モータを制御装置により制御することにより、高精度に金属素材を水平方向に移動させることができる。さらに、掘り起こし工具をモータ駆動によって垂直方向に移動させる垂直スライダーが設けられ、モータを制御装置により制御することにより、高精度に金属素材を垂直方向に移動させることができる。このように、載置台と掘り起こし工具を各々のモータによって制御しながら移動させることにより、フィンを任意の角度で高精度に形成することが可能となる。

さらに、垂直移動機構をモータ駆動によって水平方向に移動させるとともに、掘り起こし工具をモータ駆動によって垂直方向に移動させるように構成しているので、金属素材を安定した状態で固定したうえで、垂直移動機構を水平方向と垂直方向に作動させることにより、フィンを任意の角度で高精度に形成することが可能となる。

垂直フィンによって形成される放熱器を示す斜視図である。本発明にかかるフィン加工機の第１の実施例を示す側面図である。（Ａ）〜（Ｅ）は、垂直フィン加工機による垂直フィンの形成工程を示す工程説明図である。（Ａ）〜（Ｃ）は、掘り起こし工具による垂直フィンの形成工程を示す工程説明図である。本発明にかかる垂直フィン加工機の第２の実施例を示す側面図である。

本発明にかかる垂直フィン加工機は、先端側に刃部が形成された掘り起こし工具により、切削可能な金属素材の平面に肉薄な板状の垂直フィンを起立形成する。垂直フィン加工機には、金属素材を載置固定する載置台と、掘り起こし工具が金属素材の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構と、垂直移動機構または載置台を水平方向に移動させる水平移動機構と、垂直移動機構と水平移動機構とを制御して前記掘り起こし工具を金属素材の平面に対して所定の角度を有した状態で移動させて傾斜した板状のフィンを金属素材の平面から掘り起こす掘り起しモードと、この掘り起しモードの後に垂直移動機構により掘り起こし工具を金属素材の平面に対して垂直な上方向に移動させて傾斜したフィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードを制御する制御装置とを備えている。

以下、図面を参照して本発明にかかる垂直フィン加工機について詳細に説明する。図１は、本発明による垂直フィン加工機によって複数の垂直フィン３が形成された放熱器ＨＴを示している。垂直フィン３は、金属板２の平面に対して所定の角度を有した状態で進退移動する掘り起こし工具１によって起立形成される。掘り起こし工具１には、移動方向の先端側には刃部１ａが形成されている。この刃部１ａの幅は、金属素材２の幅よりも小さく設定されている。なお、刃部１ａの幅は、後述する放熱器ＨＴに形成される複数の垂直フィン３の幅に応じて設定される。そして、後述するように、所定の角度を有した状態で移動する掘り起こし工具１によって形成された傾斜したフィンは、図１に示す矢示のように、掘り起こし工具１を垂直移動させることにより、金属素材２の平面に対して垂直に形成される。掘り起こし工具１は、以下に説明する垂直フィン加工機に設置されている。

図２は、垂直フィン加工機の第１の実施例を示している。垂直フィン加工機１０は、先端側に刃部１ａが形成された掘り起こし工具１により、切削可能な金属素材２の平面に肉薄な板状の垂直フィン３を起立形成する。垂直フィン加工機１０には、金属素材２を載置固定する載置台１１と、掘り起こし工具１が金属素材２の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構１２と、載置台１１を水平方向に移動させる水平移動機構１３と、垂直移動機構１２と水平移動機構１３を制御して掘り起こし工具１を金属素材２の平面に対して所定の角度を有した状態で移動させて傾斜した板状のフィンを金属素材２の平面から掘り起こす掘り起しモードと、この掘り起しモードの後に垂直移動機構１２により掘り起こし工具１を金属素材２の平面に対して垂直な上方向に移動させて傾斜したフィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードを制御する制御装置を備えている。

金属素材２を載置固定する載置台１１は、水平方向に移動させる水平スライダー１３ａに設置されたスライドブロック１１ａに固定されている。水平スライダー１３ａは、ベッド１４の上面に設置され、水平スライダー１３ａの両端はベッド１４に設けられた軸受１５によって支持されていて、図示左方の軸受１５から突出した軸端にプーリー１６が固着されている。水平スライダー１３ａの中間部はボールねじが形成され、載置台１１の下面に設けられたスライドブロック１１ａのナット部に螺合している。プーリー１６はＶベルトやタイミングベルトからなるベルト１７が懸架され、水平駆動モータ１８の出力軸に連結されている。そして、図示しない制御装置によって水平駆動モータ１８を回転駆動することにより、水平スライダー１３ａのボールねじが回転し、スライドブロック１１ａを水平方向に移動させている。このスライドブロック１１ａの水平移動により、載置台１１が一体に水平方向に移動される。

一方、掘り起こし工具１が金属素材２の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構１２は、ベッド１４の上面に設置された固定フレーム１９の側面に設置されている。掘り起こし工具１を着脱自在に固着する工具保持台２０は、垂直方向に移動させる垂直スライダー２１に設置されたスライドブロック２１ａに固定されている。垂直スライダー２１は、固定フレーム１９の側面に設置され、垂直スライダー２１の両端は軸受２２によって支持されていて、図示上方の軸受２２から突出した軸端にプーリー２３が固着されている。垂直スライダー２１の中間部はボールねじが形成され、工具保持台２０に設けられたスライドブロック２１ａのナット部に螺合している。プーリー２３にはＶベルトやタイミングベルトからなるベルト２４が懸架され、垂直駆動モータ２５の出力軸に固着されたプーリー２６に連結されている。そして、制御装置によって垂直駆動モータ２５を回転駆動することにより、垂直スライダー２１のボールねじが回転し、スライドブロック２１ａを垂直方向に移動させている。このスライドブロック２１ａの垂直移動により、工具保持台２１が一体に垂直方向に移動される。

掘り起こし工具１は、先端側に金属素材２を掘り起こしてフィンを形成する刃部が形成されていて、下具保持台２１の下端にボルト等により固着され、先端の刃部が下方に向くように傾斜させて固着している。この傾斜角度は、垂直方向に対して概ね３０度から７５度としているが、後述する垂直フィンの形成工程において、水平方向に移動される載置台１１との相対的移動によって設定している。

次に、図３を参照して、垂直フィン加工機による垂直フィンの形成工程について説明する。金属素材２は、載置台１１の上面に位置決めして固定されている。この位置決めの手段としては、例えば、金属素材２の進行方向の両側にパイロット孔を形成する一方、図２に示すように、載置台１１にパイロットピン１１ａを立設し、このパイロットピン１１ａにパイロット孔を嵌合することにより、載置台１１と金属素材２とを不動となるように位置決めしている。

図３（Ａ）は、金属素材２に対する掘り起こし工具１のスタート位置を示している。この状態では、掘り起こし工具１は金属素材２の右側上方に待避している。この状態から、掘り起こし工具１を金属素材２の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構１２と、載置台１１に載置した金属素材２を水平方向に移動させる水平移動機構１３との相対的な移動によって、金属素材２の平面に対して垂直な垂直フィンが形成される。なお、図３（Ｂ）から（Ｅ）及び、図４（Ａ）から（Ｄ）は、予め金属素材２の平面に複数の垂直フィンを形成したのち、その後、次に金属素材２に垂直フィンを形成する工程を示している。

まず、掘り起しモードにおいては、垂直移動機構１２の垂直駆動モータ２５を制御装置によって回転駆動することによって掘り起こし工具１を垂直に下降させるとともに、水平移動機構１３の水平駆動モータ１８を制御装置により回転駆動することによって、図４（Ａ）に示すように、先に形成した垂直フィン３よりも所定ピッチＤだけ図示左方の上流側に離間した金属素材２の平面に掘り起こし工具１の刃部１ａを当接させる。その後、垂直移動機構１２によって掘り起こし工具１をさらに垂直に下降させるとともに、水平移動機構１３によって金属素材２を図示左方に移動させる。この結果、掘り起しモードにおいては、掘り起こし工具１の刃部の下降と、金属素材２の裏面方向への移動によるベクトルから、掘り起こし工具１の刃部が、あたかも所定の角度を保ちながら次第に金属素材２の裏面方向に移動してフィンが掘り起こされる。この結果、図４（Ｂ）及び図３（Ｂ）に示すように、金属素材２から傾斜したフィンが起立形成される。

その後、傾斜したフィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードに移行する。垂直矯正モードにおいては、掘り起こし工具１の刃部１ａの先端が、図３（Ｃ）に示すように、傾斜したフィンの基部の最下点に当接されている。この状態から、図３（Ｄ）及び図４（Ｃ）に示すように、垂直移動機構１２によって掘り起こし工具１を垂直に上昇させる。この結果、傾斜したフィンが掘り起こし工具１の刃部によって、金属素材２の平面に対して垂直に起立するように矯正され、垂直フィンが形成される。このとき、制御装置は、垂直移動機構１２を垂直に上昇させる制御を行い、水平移動機構１３は停止させている。

この垂直矯正モードが終了した後、垂直移動機構１２をさらに垂直方向に上昇させるとともに、水平移動機構１３を次の垂直フィンを形成するために、先に形成した垂直フィンよりも所定ピッチＤだけ図４（Ａ）に示すような図示右方に移動する。その後、前述したように、金属素材２の平面に掘り起こし工具１の刃部を当接させた後、掘り起しモードと垂直矯正モードを制御装置によって制御して、垂直移動機構１２と水平移動機構１３駆動することにより、金属素材２の平面には、図１などに示した複数の垂直フィン３が順次起立形成される。

図５は、垂直フィン加工機の第２の実施例を示している。この第２の実施例において、前述した第１の実施例と相違する点は、垂直移動機構３２を水平方向に移動させるように構成し、金属素材２を載置する載置台３１を固定状態としたことである。

金属素材２を載置固定する載置台３１は、ヘッド４７の上面に載置固定されている。一方、垂直移動機構３２は、掘り起こし工具１を垂直方向に移動させる垂直スライダー３３が設けられたスライドフレーム３５に配設されている。また、水平駆動機構３４は、スライドフレーム３５をモータ駆動によって水平方向に移動させるように構成されている。

掘り起こし工具１を垂直方向に移動させる垂直スライダー３３は、スライドフレーム３５の側面に設けられ、前述した第１の実施例と同様に構成されている。すなわち、掘り起こし工具１を着脱自在に固着する工具保持台３６は、垂直方向に移動させる垂直スライダー３３に設置されたスライドブロック３３ａに固定されている。垂直スライダー３３は、スライドフレーム３５の側面に設置され、垂直スライダー３３の両端は軸受３７によって支持されていて、図示上方の軸受３７から突出した軸端にプーリー３８が固着されている。垂直スライダー３３の中間部はボールねじが形成され、工具保持台３６に設けられたスライドブロック３３ａのナット部に螺合している。プーリー３８にはＶベルトやタイミングベルトからなるベルト３９が懸架され、垂直駆動モータ４０の出力軸に固着されたプーリー４１に連結されている。そして、制御装置によって垂直駆動モータ４０を回転駆動することにより、垂直スライダー３３のボールねじが回転し、スライドブロック３３ａを垂直方向に移動させている。このスライドブロック３３ａの垂直移動により、工具保持台３６が一体に垂直方向に移動される。

垂直移動機構３２の垂直スライダー３３を配設したスライドフレーム３５は、ベッド３４の上面に水平方向に移動可能になっている。スライドフレーム３５を自在に水平移動するために、例えばベッド４７の上面にレール（図示しない）を敷設し、このレール上をスライドフレーム３５の下面に配設した車輪を走行させるようにしている。また、スライドフレーム３５には、スライドブロック３５ａが設けられている。一方、ベッド４７の上面には水平スライダー４２が設けられている。水平スライダー４２の両端はベッド４７に設けられた軸受４３によって支持されていて、図示左方の軸受４３から突出した軸端にプーリー４４が固着されている。水平スライダー４２の中間部はボールねじが形成され、スライドフレーム３５の側面に設けられたスライドブロック３５ａのナット部に螺合している。プーリー４４はＶベルトやタイミングベルトからなるベルト４５が懸架され、水平駆動モータ４６の出力軸に連結されている。そして、図示しない制御装置によって水平駆動モータ４６を回転駆動することにより、水平スライダー４２のボールねじが回転し、スライドブロック３５ａを水平方向に移動させている。このスライドブロック３５ａの水平移動により、スライドフレーム３５が一体に水平方向に移動される。

次に、図５に示した垂直フィン加工機の第２の実施例による垂直フィンの形成工程について説明する。金属素材２は、載置台３１の上面に第１の実施例と同様に位置決めして固定されている。載置台３１は不動となっている。この状態から、金属素材２の上面に垂直フィン３を形成するが、金属素材２に対する掘り起こし工具１の挙動は、概ね前述した第１の実施例と同様であり、重複した詳細な説明は省略する。

まず、掘り起しモードにおいては、垂直移動機構３２の垂直駆動モータ４０を制御装置に制御されて回転駆動することにより、垂直スライダー３３を垂直に下降させるとともに、水平移動機構３４のスライドフレーム３５を水平駆動モータ４０の回転駆動することによって、図４（Ａ）に示すように、先に形成した垂直フィン３よりも所定ピッチＤだけ図示左方の上流側に離間した金属素材２の平面に掘り起こし工具１の刃部を当接させる。そして、垂直移動機構３２の垂直スライダー３３に配設した掘り起こし工具１をさらに垂直に下降させるとともに、水平移動機構３４のスライドフレーム３５を図示右方に移動させる。この結果、掘り起しモードにおいては、掘り起こし工具１の刃部１ａの下降と、金属素材２の裏面方向への移動によるベクトルから、掘り起こし工具１の刃部１ａが、あたかも所定の角度を保ちながら次第に金属素材２の裏面方向に移動することによりフィンが掘り起こされる。この結果、図４（Ｂ）に示すように、金属素材２から傾斜したフィンが起立形成される。

その後、傾斜したフィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードに移行する。垂直矯正モードにおいては、掘り起こし工具１の刃部１ａの先端が、図３（Ｃ）に示すように、傾斜したフィンの基部、すなわち最下点に当接されている。この状態から、図３（Ｄ）及び図４（Ｃ）に示すように、垂直移動機構３２の垂直スライダー３３によりて掘り起こし工具１を垂直に上昇させる。この結果、傾斜したフィンが掘り起こし工具１の刃部１ａによって、金属素材２の平面に対して垂直に起立するように矯正され、垂直フィン３が形成される。このとき、制御装置は、垂直移動機構３２を垂直に上昇させる制御を行い、水平移動機構は停止させている。

この垂直矯正モードが終了した後、垂直移動機構３２をさらに垂直方向に上昇させるとともに、水平移動機構３４のスライドフレーム３５を、次の垂直フィン３を形成するために、先に形成した垂直フィン３よりも所定ピッチＤだけ図４（Ａ）に示すような図示右方に移動する。その後、前述したように、金属素材２の平面に掘り起こし工具１の刃部１ａを当接させた後、掘り起しモードと垂直矯正モードを制御装置によって制御して、垂直移動機構３２と水平移動機構３４を駆動することにより、金属素材２の平面には、図１などに示した複数の垂直フィンが順次起立形成される。

以上、本発明を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、垂直移動機構や水平移動機構としてボールねじを使用したリニアスライダーの他、周知の移動機構を使用しても良い。また、駆動モータは、サーボモータを使用することが望ましいが、リニアスライダー等に位置センサーを設置し、センサーの出力信号に基づいて制御装置により垂直移動機構や水平移動機構を制御するようにしても良い。

１掘り起こし工具
１ａ刃部
２金属板
３垂直フィン
１０垂直フィン加工機
１１載置台
１２垂直移動機構
１３水平移動機構

Claims

先端側に刃部が形成された掘り起こし工具により、切削可能な金属素材の平面に肉薄な板状の垂直フィンを起立形成する加工装置であって、
前記金属素材を載置固定する載置台と、
前記掘り起こし工具が前記金属素材の平面に対して垂直方向に上下動させる垂直移動機構と、
前記垂直移動機構または前記載置台を水平方向に移動させる水平移動機構と、
前記垂直移動機構と前記水平移動機構とを制御して前記掘り起こし工具を前記金属素材の平面に対して所定の角度を有した状態で移動させて傾斜した板状のフィンを前記金属素材の平面から掘り起こす掘り起しモードと、この掘り起しモードの後に前記垂直移動機構により前記掘り起こし工具を前記金属素材の平面に対して垂直な上方向に移動させて傾斜した前記フィンを垂直に起立矯正する垂直矯正モードを制御する制御装置とを備えたことを特徴とする垂直フィン加工機。
前記水平移動機構には、前記載置台を水平駆動モータによって水平方向に移動させる水平スライダーが設けられ、前記垂直移動機構には、固定フレームに対して前記掘り起こし工具を垂直駆動モータによって垂直方向に移動させる垂直スライダーが設けられた請求項１に記載の垂直フィン加工機。
前記載置台は、機構台座の所定位置に載置固定され、前記垂直移動機構は、前記掘り起こし工具を垂直方向に移動させる垂直スライダーが設けられた固定フレームを水平駆動モータによって水平方向に移動させる水平駆動装置が設けられた請求項１に記載の垂直フィン加工機。