JP2021025971A - Device and method for inspecting conduction - Google Patents

Device and method for inspecting conduction Download PDF

Info

Publication number
JP2021025971A
JP2021025971A JP2019146496A JP2019146496A JP2021025971A JP 2021025971 A JP2021025971 A JP 2021025971A JP 2019146496 A JP2019146496 A JP 2019146496A JP 2019146496 A JP2019146496 A JP 2019146496A JP 2021025971 A JP2021025971 A JP 2021025971A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
voltage
contact
unit
inspected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019146496A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
森　和弘
Kazuhiro Mori
和弘 森
敏史 下山
Toshifumi Shimoyama
敏史 下山
利恭 村松
Toshiyasu Muramatsu
利恭 村松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON LOCK KK
Nippon Lock Co Ltd
Original Assignee
NIPPON LOCK KK
Nippon Lock Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON LOCK KK, Nippon Lock Co Ltd filed Critical NIPPON LOCK KK
Priority to JP2019146496A priority Critical patent/JP2021025971A/en
Publication of JP2021025971A publication Critical patent/JP2021025971A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

To prevent a defective item to be determined as a defect-free item by mistake in a measurement of a terminal voltage in a conduction inspection, and to prevent defective items from being distributed.SOLUTION: (1) A command sending/receiving unit 86 sends a predetermined command to a first contact T1 of a plurality of contacts 38f of probe parts 36 and 56, and receives a response to the predetermined command from a second contact T2 of the plurality of contacts 38f. (2) A voltage application unit 82 is used to apply a predetermined drive voltage VIGN to a third contact T3 of the plurality of contacts 38f and a voltage measurement unit 84 measures a voltage VP of the third contact T3. (3) Whether a received response is a right response is determined and whether the voltage VP of the third contact T3 is in a predetermined voltage range is determined. (4) An inspection target object 100 is determined to be defect-free when the received response is a right response and the voltage VP of the third contact T3 is in the predetermined voltage range.SELECTED DRAWING: Figure 11

Description

本発明は、電子機器及び回路基板等の電気的特性を確認する通電検査装置及び通電検査方法に関する。 The present invention relates to an energization inspection device and an energization inspection method for confirming electrical characteristics of electronic devices, circuit boards, and the like.

高温下又は低温下での電子機器及び回路基板等の被検査物（以下、「ワーク」とも称呼する。）の検査において、恒温槽内のワークに対し、プローブの針（接触子）を接触させることによりワークの電気的特性を測定する検査装置が知られている。従来の通電検査装置の一つ（以下、「従来装置」と称呼する。）は、恒温槽（温度試験部５）内に搬送されたワークがプローブブロックの直下に到達した時点でプローブブロックを下降させ、接触子をワークの端子に接触させ、ワークの電気的特性を測定するようになっている（特許文献１を参照。）。 In the inspection of objects to be inspected (hereinafter, also referred to as "work") such as electronic devices and circuit boards under high temperature or low temperature, the needle (contactor) of the probe is brought into contact with the work in the constant temperature bath. As a result, inspection devices that measure the electrical characteristics of workpieces are known. One of the conventional energization inspection devices (hereinafter referred to as "conventional device") lowers the probe block when the work conveyed in the constant temperature bath (temperature test unit 5) reaches directly under the probe block. The contact is brought into contact with the terminal of the work, and the electrical characteristics of the work are measured (see Patent Document 1).

特開２００１−２８１２９４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-281294

ところで、プローブブロックが備える複数の接触子のうち特定の接触子において、当該特定の接触子に所定の電圧を印加し、特定の接触子と当該特定の接触子に対応するワークの端子とが電気的に接触することにより特定の接触子の電圧が所定の電圧から降下することを利用して、ワークの良品／不良品を判定する通電検査装置がある。このような通電検査装置は、例えば、特定の接触子の電圧が基準電圧値より高い電圧が検出されたときワークが良品であると判定し、基準電圧値より低い電圧が検出されたときワークが不良品であると判定する。 By the way, in a specific contact among a plurality of contacts included in the probe block, a predetermined voltage is applied to the specific contact, and the specific contact and the terminal of the work corresponding to the specific contact are electrically connected. There is an energization inspection device that determines whether a work is good or bad by utilizing the fact that the voltage of a specific contact drops from a predetermined voltage due to physical contact. Such an energization inspection device determines, for example, that the work is a non-defective product when a voltage higher than the reference voltage value of a specific contactor is detected, and when a voltage lower than the reference voltage value is detected, the work is Determined to be defective.

このような通電検査装置において、特定の接触子とこれに対応するワークの端子との接触が不良となる場合（即ち、非接触状態である場合）を考える。仮に、特定の接触子とこれに対応するワークの端子とが接触したときには特定の接触子の電圧が基準電圧値より低くなるようなワーク（つまり、不良品のワーク）であっても、特定の接触子とこれに対応する端子とが非接触状態にある場合、特定の接触子の電圧は基準電圧値より高くなってしまう。従って、この場合、不良品が良品であると判定される虞がある。 In such an energization inspection device, consider a case where the contact between a specific contact and the terminal of the corresponding work is poor (that is, a non-contact state). Even if the work is such that the voltage of the specific contact becomes lower than the reference voltage value when the specific contact and the terminal of the corresponding work come into contact with each other (that is, a defective work), the specific contact is specified. When the contactor and the corresponding terminal are in a non-contact state, the voltage of a specific contactor becomes higher than the reference voltage value. Therefore, in this case, the defective product may be determined to be a non-defective product.

本発明は上記課題に対処するために為されたものである。即ち、本発明の目的の一つは、通電検査装置のプローブの接触子とワークの端子とが非接触状態で検査されることを防止し、以て、不良品の流出を防止する通電検査装置及び通電検査方法を提供することにある。 The present invention has been made to address the above problems. That is, one of the objects of the present invention is an energization inspection device that prevents the contactor of the probe of the energization inspection device and the terminal of the work from being inspected in a non-contact state, thereby preventing the outflow of defective products. And to provide an energization inspection method.

上記目的を達成するため、本発明の通電検査装置（以下、「本発明装置」とも称呼する。）は、プローブ部（３６、５６）と、プローブ移動機構（３０、５０）と、電圧印加部（８２）と、電圧測定部（８４）と、コマンド送受信部（８６）と、制御・判定部（８０）と、を備える。 In order to achieve the above object, the energization inspection device of the present invention (hereinafter, also referred to as "the device of the present invention") includes a probe unit (36, 56), a probe moving mechanism (30, 50), and a voltage application unit. (82), a voltage measuring unit (84), a command transmitting / receiving unit (86), and a control / determination unit (80) are provided.

前記プローブ部は、被検査物（１００）が備える複数の端子（１３０）と電気的に接触させるための複数の接触子（３８ｆ）を備える。前記プローブ移動機構は、前記プローブ部を前記複数の端子と前記複数の接触子とが何れも接触しない位置である第１位置（初期位置）と、前記複数の端子と前記複数の接触子とが接触し得る位置である第２位置（検査位置）との間において移動可能に構成される。 The probe portion includes a plurality of contacts (38f) for making electrical contact with a plurality of terminals (130) included in the object to be inspected (100). The probe moving mechanism has a first position (initial position) at which the plurality of terminals and the plurality of contacts do not contact the probe portion, and the plurality of terminals and the plurality of contacts. It is configured to be movable from the second position (inspection position), which is a position where contact is possible.

前記電圧印加部は、前記複数の接触子に所定の駆動電圧（ＶＩＧＮ）を印加する。前記電圧測定部は、前記所定の駆動電圧が印加されたときの前記接触子の電圧を測定する。前記コマンド送受信部は、コマンドを前記被検査物に送信するとともに前記被検査物から前記コマンドに対する応答を受信するようになっている。 The voltage application unit applies a predetermined drive voltage (VIGN) to the plurality of contacts. The voltage measuring unit measures the voltage of the contact when the predetermined driving voltage is applied. The command transmission / reception unit transmits a command to the inspected object and receives a response to the command from the inspected object.

前記制御・判定部は、前記プローブ移動機構により前記プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて前記コマンド送受信部により前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子（Ｔ１）に所定のコマンドを送信するとともに前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子（Ｔ２）から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、前記電圧印加部を用いて前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子（Ｔ３）に前記所定の駆動電圧（ＶＩＧＮ）を印加するとともに前記電圧測定部により前記第３接触子の電圧（ＶＰ１、ＶＰ２）を測定し、前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記第３接触子の電圧が所定の電圧範囲（ＶＰ１≧Ｖｔｈ１、ＶＰ２≧Ｖｔｈ２）にあるか否かを判定する通電検査を実行する。ここで、「正しい応答」とは正常にコマンドの送受信が行われたことを表す。 The control / determination unit is the first of the plurality of contacts of the probe unit by the command transmission / reception unit in a state where the probe unit is moved from the first position to the second position by the probe movement mechanism. A predetermined command is transmitted to the contactor (T1), a response to the predetermined command is received from the second contactor (T2) among the plurality of contacts of the probe unit, and the voltage application unit is used. The predetermined drive voltage (VIGN) is applied to the third contact (T3) among the plurality of contacts of the probe unit, and the voltage (VP1, VP2) of the third contact is measured by the voltage measuring unit. , An energization test for determining whether the received response is a correct response and whether the voltage of the third contact is within a predetermined voltage range (VP1 ≧ Vth1, VP2 ≧ Vth2). Execute. Here, the "correct response" means that the command was sent and received normally.

しかし、プローブ部の接触子と被検査物の端子との接触が不良である（非接触状態にある）場合、前述したように、不良品を良品と判定してしまう虞がある。 However, if the contact between the contactor of the probe portion and the terminal of the object to be inspected is poor (in a non-contact state), the defective product may be judged as a non-defective product as described above.

そこで、制御・判定部は、前記受信された応答が正しい応答であると判定し、且つ、前記第３接触子の電圧が所定の電圧範囲にあるとき、前記被検査物が良品であると判定する。 Therefore, the control / determination unit determines that the received response is a correct response, and when the voltage of the third contactor is within a predetermined voltage range, determines that the object to be inspected is a good product. To do.

送信されたコマンドに対する応答が正しい応答であると判定される場合、プローブの接触子（以下、「ピン」とも称呼する。）と被検査物（以下、「ワーク」とも称呼する。）の端子はすべて確実に接続されていることが保証される。従って、送信されたコマンドに対する応答が正しい応答であると判定された後に測定される電圧は、信頼のおける値である。このように、本発明装置によれば、通電検査装置のプローブ部のピンとワークの端子とが非接触状態で検査されることを防止できる。その結果、不良品を流出させない通電検査装置を提供することができる。 When the response to the transmitted command is determined to be the correct response, the terminals of the probe contactor (hereinafter, also referred to as "pin") and the object to be inspected (hereinafter, also referred to as "work") are Everything is guaranteed to be securely connected. Therefore, the voltage measured after the response to the transmitted command is determined to be the correct response is a reliable value. As described above, according to the apparatus of the present invention, it is possible to prevent the pin of the probe portion of the energization inspection apparatus and the terminal of the work from being inspected in a non-contact state. As a result, it is possible to provide an energization inspection device that does not allow defective products to flow out.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記通電検査装置は、更に、前記被検査物を配置可能な空間を有し、前記空間の温度を所定の検査温度に設定可能な検査槽部（４０）と、前記検査槽部に前記被検査物を搬入するとともに前記検査槽部から前記被検査物を搬出する搬送部（２０）と、を備える。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the energization inspection device further has a space in which the object to be inspected can be arranged, and the temperature of the space can be set to a predetermined inspection temperature. 40), and a transport unit (20) for carrying the object to be inspected into the inspection tank unit and carrying out the object to be inspected from the inspection tank unit.

更に、前記通電検査装置は、前記プローブ部として、前記検査槽部の外部の第１検査位置にて静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子（３８ｆ）を備えた第１プローブ部（３６）、及び前記検査槽部の内部の第２検査位置にて静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子（３８ｆ）を備えた第２プローブ（５６）、を備える。 Further, the energization inspection device has a plurality of contacts (38f) for electrically contacting the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the first inspection position outside the inspection tank portion, as the probe portion. ), And a plurality of contacts (38f) for electrically contacting the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the second inspection position inside the inspection tank portion. ), A second probe (56).

このように構成された本発明装置において、前記制御・判定部は、前記所定の検査温度を前記検査槽部の外部の温度である第１温度（常温）とは異なる第２温度（高温）に設定し、以下の第１検査、前記被検査物の搬入、第２検査、第３検査及び前記被検査物の搬出を実行するように構成されている。 In the apparatus of the present invention configured as described above, the control / determination unit sets the predetermined inspection temperature to a second temperature (high temperature) different from the first temperature (room temperature) which is the temperature outside the inspection tank unit. It is configured to set and execute the following first inspection, carry-in of the inspected object, second inspection, third inspection, and carry-out of the inspected object.

第１検査：前記被検査物が前記第１検査位置にあるとき、前記第１プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記コマンド送受信部により前記第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し（ステップ１１０５）、
前記電圧印加部を用いて前記第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記電圧測定部を用いて前記第１温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ１）を測定し（ステップ１１０５）、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第１温度における前記第３接触子の電圧が第１閾値電圧（Ｖｔｈ１）以上であるか否かを判定し（ステップ１１２０）、前記第１プローブ部を前記第１位置に移動させる（ステップ１３５０）。 First inspection: When the object to be inspected is in the first inspection position, the first contact is made by the command transmission / reception unit in a state where the first probe portion is moved from the first position to the second position. A predetermined command is transmitted to the child, and a response to the predetermined command is received from the second contactor (step 1105).
The voltage application unit is used to apply the predetermined drive voltage to the third contact, and the voltage measurement unit is used to measure the voltage (VP1) of the third contact at the first temperature (step 1105). ),
It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage of the third contact at the measured first temperature is equal to or higher than the first threshold voltage (Vth1). (Step 1120), the first probe portion is moved to the first position (step 1350).

搬入：前記搬送部を用いて前記検査槽部内に前記被検査物を搬入させる（ステップ１４２０）。 Carry-in: The object to be inspected is carried into the inspection tank section using the transport section (step 1420).

第２検査：前記被検査物が前記第２検査位置にあるとき、前記第２プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記コマンド送受信部により前記第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し（ステップ１１２５）、
前記電圧印加部を用いて前記第３接触子に前記所定の駆動電圧（ＶＩＧＮ）を印加するとともに前記電圧測定部を用いて前記第２温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ２）を測定し（ステップ１１３５）、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第２温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ２）が第２閾値電圧（Ｖｔｈ２）以上であるか否かを判定し、前記第２プローブ部を前記第１位置に移動させる（ステップ１５６０）。 Second inspection: When the object to be inspected is in the second inspection position, the second probe unit is moved from the first position to the second position, and the command transmission / reception unit makes the first contact. A predetermined command is transmitted to the child, and a response to the predetermined command is received from the second contactor (step 1125).
The voltage application unit is used to apply the predetermined drive voltage (VIGN) to the third contact, and the voltage measurement unit is used to measure the voltage (VP2) of the third contact at the second temperature. (Step 1135),
Whether or not the received response is a correct response is determined, and whether or not the voltage (VP2) of the third contact at the measured second temperature is equal to or higher than the second threshold voltage (Vth2). Is determined, and the second probe portion is moved to the first position (step 1560).

第３検査：前記第１温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ１）と前記第２温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ２）との差分値（ΔＶ＝ＶＰ１−ＶＰ２）が第３閾値電圧（Ｖｔｈ３）以下であるか否かを判定する（ステップ１１４５）。 Third inspection: The difference value (ΔV = VP1-VP2) between the voltage of the third contact at the first temperature (VP1) and the voltage of the third contact at the second temperature (VP2) is the third threshold value. It is determined whether or not the voltage is (Vth3) or less (step 1145).

搬出：前記搬送部を用いて前記検査槽部から前記被検査物を搬出する（ステップ１６２０）。 Carrying out: The object to be inspected is carried out from the inspection tank part using the carrying part (step 1620).

これによれば、常温（第１温度）における通電検査から常温以外の温度（第２温度；例えば、高温）における通電検査（検査槽部内における通電検査）に至るまで作業者を介入させることなく連続的に自動で通電検査を実施することができる。従って、本発明装置によれば、通電検査の工程の工数を削減し、且つタクトタイムを短縮することができる。 According to this, from the energization inspection at room temperature (first temperature) to the energization inspection at a temperature other than room temperature (second temperature; for example, high temperature) (energization inspection in the inspection tank portion), it is continuous without intervention of an operator. It is possible to automatically carry out an energization inspection. Therefore, according to the apparatus of the present invention, it is possible to reduce the man-hours in the energization inspection process and shorten the tact time.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記制御・判定部は、前記第１検査において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第１閾値電圧以上であると判定する第１判定条件、前記第２検査において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第２閾値電圧以上であると判定する第２判定条件、及び前記第３検査において前記差分値が前記第３閾値電圧以下であると判定する第３判定条件、のすべての条件が成立したとき（ステップ１１４５：Ｙｅｓ）、前記通電検査にて前記被検査物が良品であると判定する（ステップ１１５０）。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the control / determination unit determines in the first inspection that the received response is the correct response, and the voltage of the third contact is the first. The first determination condition for determining that the voltage is equal to or higher than the threshold voltage, the second inspection determines that the received response is the correct response, and the voltage of the third contact is equal to or higher than the second threshold voltage. When all the conditions of the second determination condition for determination and the third determination condition for determining that the difference value is equal to or less than the third threshold voltage in the third inspection are satisfied (step 1145: Yes), the energization is performed. The inspection determines that the object to be inspected is a non-defective product (step 1150).

一方前記制御・判定部は、前記第１判定条件、前記第２判定条件及び前記第３判定条件の少なくとも何れか一つが成立しないとき（ステップ１１１０：Ｎｏ、ステップ１１２０：Ｎｏ、ステップ１１３０：Ｎｏ、ステップ１１４０：Ｎｏ、ステップ１１４５：Ｎｏ）、前記通電検査にて前記被検査物が不良品であると判定する（ステップ１１５５）。 On the other hand, when at least one of the first determination condition, the second determination condition, and the third determination condition is not satisfied, the control / determination unit has (step 1110: No, step 1120: No, step 1130: No, Step 1140: No, step 1145: No), the energization inspection determines that the object to be inspected is a defective product (step 1155).

第２温度における第３接触子の電圧と、第１温度における第３接触子の電圧と、の差分値は、被検査物の電気的特性の一つに関する温度ドリフト特性を表している。従って、この態様によれば、第１温度における第３接触子の電圧、第２温度における第３接触子の電圧及び第２温度における電圧と第１温度における電圧との差分値に基づいて被検査物の合否を判定することとなり、その結果、被検査物の温度ドリフト特性を考慮した、より正確な合否判定が可能となる。 The difference between the voltage of the third contact at the second temperature and the voltage of the third contact at the first temperature represents the temperature drift characteristic with respect to one of the electrical characteristics of the object to be inspected. Therefore, according to this aspect, the voltage to be inspected is based on the voltage of the third contact at the first temperature, the voltage of the third contact at the second temperature, and the difference between the voltage at the second temperature and the voltage at the first temperature. The pass / fail judgment of the object is made, and as a result, a more accurate pass / fail judgment can be made in consideration of the temperature drift characteristic of the object to be inspected.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記制御・判定部は、前記所定のコマンドを送信し、当該所定のコマンドに対する応答を受信し、前記応答が前記正しい応答であると判定した後に、前記電圧印加部により前記所定の駆動電圧を印加したときの前記第３接触子の電圧を測定するように構成される。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the control / determination unit transmits the predetermined command, receives a response to the predetermined command, determines that the response is the correct response, and then determines that the response is the correct response. The voltage application unit is configured to measure the voltage of the third contact when the predetermined drive voltage is applied.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記通電検査装置は、前記良品であると判定された被検査物と、前記不良品であると判定された被検査物と、を選別する選別部を更に備える。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the energization inspection device is a sorting unit that sorts out the inspected object determined to be a non-defective product and the inspected object determined to be a defective product. Further prepare.

この態様によれば、良品と不良品の選別を行う選別工程を自動化することができるので、更に工数を削減することができる。 According to this aspect, the sorting process for sorting non-defective products and defective products can be automated, so that the man-hours can be further reduced.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記制御・判定部は、前記搬送部上に前記搬送部の搬送方向に所定の間隔で配置された複数の前記被検査物のうち、第１の被検査物を検査するための前記第１検査と、既に前記第１検査が実行された第２の被検査物を検査するための前記第２検査と、を同時に実行するように構成される。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the control / determination unit is the first of a plurality of the objects to be inspected arranged on the transport unit at predetermined intervals in the transport direction of the transport unit. The first inspection for inspecting the inspected object and the second inspection for inspecting the second inspected object for which the first inspection has already been performed are configured to be executed at the same time.

搬送部が被検査物を搬送している間は、被検査物の検査を実行することができない。しかし、この態様によれば、被検査物が搬送部上に搬送方向に所定の間隔で配置されているので、搬送部が停止している期間中に第１検査と第２検査を同時期に実行することができる。その結果、搬送部を停止させておく時間を短縮することができ、そのため、通電検査のタクトタイムをより短縮することができる。 While the transport unit is transporting the inspected object, the inspected object cannot be inspected. However, according to this aspect, since the objects to be inspected are arranged on the transport unit at predetermined intervals in the transport direction, the first inspection and the second inspection are performed at the same time during the period when the transport unit is stopped. Can be executed. As a result, the time for keeping the transport unit stopped can be shortened, and therefore the tact time for the energization inspection can be further shortened.

本発明に係る通電検査装置の一態様において、前記第３接触子の電圧は、前記被検査物内のツェナーダイオードの漏れ電流と相関を有している。 In one aspect of the energization inspection device according to the present invention, the voltage of the third contact has a correlation with the leakage current of the Zener diode in the object to be inspected.

例えば、サージ電圧から内部の回路を保護するために被検査物の入力端子にツェナーダイオードのカソードが接続されており、検査装置から抵抗を介して被検査物の入力端子に所定の駆動電圧を印加した場合、ツェナーダイオードの漏れ電流が大きいほど第３接触子の電圧（入力端子の電圧）は低くなる。従って、この態様によれば、漏れ電流の大きさを入力端子の電圧として測定することができる。 For example, a Zener diode cathode is connected to the input terminal of the object to be inspected to protect the internal circuit from surge voltage, and a predetermined drive voltage is applied from the inspection device to the input terminal of the object to be inspected via a resistor. In this case, the larger the leakage current of the Zener diode, the lower the voltage of the third contact (voltage of the input terminal). Therefore, according to this aspect, the magnitude of the leakage current can be measured as the voltage of the input terminal.

本発明に係る通電検査方法は、第１検査工程、搬入工程、第２検査工程、第３検査工程、判定工程、搬出工程及び選別工程を有している。 The energization inspection method according to the present invention includes a first inspection step, a carry-in step, a second inspection step, a third inspection step, a determination step, a carry-out step, and a sorting step.

第１検査工程は、被検査物（１００）を配置可能な空間を有する検査槽部（４０）の外部の第１検査位置に静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備え、前記複数の端子と前記複数の接触子とが何れも接触しない位置である第１位置と、前記複数の端子と前記複数の接触子とが接触し得る位置である第２位置との間を移動可能な第１プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、
前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、
前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに第１温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ１）を測定し、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第１温度における前記第３接触子の電圧が第１閾値電圧（Ｖｔｈ１）以上であるか否かを判定し、前記第１プローブ部を前記第１位置に移動させる工程である。 The first inspection step is for electrically contacting the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the first inspection position outside the inspection tank portion (40) having a space where the object to be inspected (100) can be placed. The first position is a position where the plurality of contacts are provided and the plurality of terminals and the plurality of contacts are not in contact with each other, and the positions where the plurality of terminals and the plurality of contacts can be in contact with each other. In a state where the first probe portion that can move between the second position and the second position is moved from the first position to the second position.
A predetermined command is transmitted to the first contact among the plurality of contacts of the first probe unit, and a response to the predetermined command is sent from the second contact of the plurality of contacts of the first probe unit to the first contact. Receive and
The predetermined drive voltage is applied to the third contact among the plurality of contacts of the first probe unit, and the voltage (VP1) of the third contact at the first temperature is measured.
It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage of the third contact at the measured first temperature is equal to or higher than the first threshold voltage (Vth1). This is a step of moving the first probe portion to the first position.

前記搬入工程は、前記検査槽部内に前記被検査物を搬入させる工程である。 The carry-in step is a step of bringing the inspected object into the inspection tank portion.

前記第２検査工程は、前記検査槽部の内部の第２検査位置に静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備え、前記第１位置と前記第２位置との間を移動可能な第２プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、
前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、
前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記第２温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ２）を測定し、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第２温度における前記第３接触子の電圧が第２閾値電圧（Ｖｔｈ２）以上であるか否かを判定し、前記第２プローブ部を前記第１位置に移動させる工程である。 The second inspection step includes a plurality of contacts for making electrical contact with the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the second inspection position inside the inspection tank portion, and the first position and the said. In a state where the second probe portion that can move between the second position and the second position is moved from the first position to the second position.
A predetermined command is transmitted to the first contact among the plurality of contacts of the second probe unit, and a response to the predetermined command is sent from the second contact of the plurality of contacts of the second probe unit to the first contact. Receive and
The predetermined drive voltage is applied to the third contact among the plurality of contacts of the second probe portion, and the voltage (VP2) of the third contact at the second temperature is measured.
It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage of the third contact at the measured second temperature is equal to or higher than the second threshold voltage (Vth2). This is a step of moving the second probe portion to the first position.

前記第３検査工程は、前記第１温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ１）と前記第２温度における前記第３接触子の電圧（ＶＰ２）との差分値（ΔＶ）が第３閾値電圧（Ｖｔｈ３）以下であるか否かを判定する工程である。 In the third inspection step, the difference value (ΔV) between the voltage of the third contact at the first temperature (VP1) and the voltage of the third contact at the second temperature (VP2) is the third threshold voltage. It is a step of determining whether or not it is (Vth3) or less.

前記判定工程は、前記第１検査工程において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第１閾値電圧以上であると判定する第１判定条件、前記第２検査工程において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第２閾値電圧以上であると判定する第２判定条件、及び前記第３検査工程において前記差分値が前記第３閾値電圧以下であると判定する第３判定条件、のすべての条件が成立したとき、前記被検査物が良品であると判定し、前記第１判定条件、前記第２判定条件及び前記第３判定条件の少なくとも何れか一つが成立しないとき、前記被検査物が不良品であると判定する工程である。 In the determination step, the first determination condition, in which the received response is determined to be the correct response in the first inspection step and the voltage of the third contact is determined to be equal to or higher than the first threshold voltage. A second determination condition for determining that the received response is the correct response in the second inspection step and determining that the voltage of the third contact is equal to or higher than the second threshold voltage, and the third inspection. When all the conditions of the third determination condition for determining that the difference value is equal to or less than the third threshold voltage are satisfied in the step, it is determined that the object to be inspected is a non-defective product, and the first determination condition, said. This is a step of determining that the object to be inspected is a defective product when at least one of the second determination condition and the third determination condition is not satisfied.

前記搬出工程は、前記検査槽部から前記被検査物を搬出する工程である。 The carry-out step is a step of carrying out the inspected object from the inspection tank portion.

前記選別工程は、前記良品であると判定された被検査物と、前記不良品であると判定された被検査物と、を選別する工程である。 The sorting step is a step of sorting the inspected object determined to be a non-defective product and the inspected object determined to be a defective product.

本発明方法によれば、通電検査の工数を削減し且つタクトタイムを短縮するとともに、より正確に被検査物が良品であるか不良品であるかを判定することができる。 According to the method of the present invention, it is possible to reduce the man-hours for the energization inspection, shorten the tact time, and more accurately determine whether the inspected object is a good product or a defective product.

上記説明においては、本発明の理解を助けるために、後述する実施形態に対応する発明の構成に対し、その実施形態で用いた名称及び／又は符号を括弧書きで添えている。しかしながら、本発明の各構成要素は、前記名称及び／又は符号によって規定される実施形態に限定されるものではない。本発明の他の目的、他の特徴及び付随する利点は、以下の図面を参照しつつ記述される本発明の実施形態についての説明から容易に理解されるであろう。 In the above description, in order to help the understanding of the present invention, the names and / or symbols used in the embodiments are added in parentheses to the configurations of the invention corresponding to the embodiments described later. However, each component of the present invention is not limited to the embodiment defined by the above name and / or reference numeral. Other objects, other features and accompanying advantages of the invention will be readily understood from the description of embodiments of the invention described with reference to the drawings below.

図１は、本発明の実施形態に係る検査装置の概略構成図であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inspection device according to an embodiment of the present invention, (A) is a top view, and (B) is a front view. 図２は、図１に示した検査装置によって検査される被検査物の外観図である。FIG. 2 is an external view of an object to be inspected by the inspection device shown in FIG. 図３は、図１に示した搬送部に固定される被検査物ホルダの構成図であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図（１−１断面図）である。3A and 3B are configuration views of an object holder to be inspected fixed to the transport portion shown in FIG. 1, where FIG. 3A is a top view and FIG. 3B is a side view (1-1 cross-sectional view). 図４は、図３に示した被検査物ホルダに被検査物がセットされたときの外観図であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図（１−１断面図）である。4A and 4B are external views when the inspected object is set in the inspected object holder shown in FIG. 3, FIG. 4A is a top view, and FIG. 4B is a side view (1-1 cross-sectional view). .. 図５は、図１に示した検査部の概略構成図であり、（Ａ）は、第１検査部の概略構成図、（Ｂ）は第２検査部の概略構成図である。5A and 5B are schematic configuration diagrams of the inspection unit shown in FIG. 1, FIG. 5A is a schematic configuration diagram of the first inspection unit, and FIG. 5B is a schematic configuration diagram of the second inspection unit. 図６は、図１に示した第１検査部の第１プローブ部の概略構成図であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図（２−２断面図）である。6A and 6B are schematic configuration views of a first probe portion of the first inspection portion shown in FIG. 1, where FIG. 6A is a top view and FIG. 6B is a side view (2-2 cross-sectional view). 図７は、図６に示した第１プローブ部に取り付けられるプローブヘッドの外観図である。FIG. 7 is an external view of the probe head attached to the first probe portion shown in FIG. 図８は、図３に示した被検査物ホルダと図６に示した第１プローブ部との相対位置を説明するための図であり、（Ａ）は第１プローブ部が第１位置（初期位置）にある場合、（Ｂ）は第１プローブ部が第２位置（検査位置）にある場合、を示した図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the relative position between the object holder shown in FIG. 3 and the first probe portion shown in FIG. 6, and FIG. 8A is a diagram in which the first probe portion is in the first position (initial position). (B) is a diagram showing the case where the first probe portion is in the second position (inspection position). 図９は、図１に示した通電検査装置の制御・判定部と被検査物との接続を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the connection between the control / determination unit of the energization inspection device shown in FIG. 1 and the object to be inspected. 図１０は、図１に示した通電検査装置の電圧印加部と被検査物の内部回路を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining the voltage application portion of the energization inspection device shown in FIG. 1 and the internal circuit of the object to be inspected. 図１１は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する通電検査の概要を説明するためのフローチャートであるFIG. 11 is a flowchart for explaining an outline of the energization inspection executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１２は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「通電検査ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart showing a “energization inspection routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１３は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「常温検査ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart showing a “normal temperature inspection routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１４は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「搬入ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart showing a “carry-in routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１５は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「高温検査ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing a “high temperature inspection routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１６は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「搬出ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing a “unloading routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１７は、図１に示した制御・判定部のＣＰＵが実行する「選別ルーチン」を示したフローチャートである。FIG. 17 is a flowchart showing a “sorting routine” executed by the CPU of the control / determination unit shown in FIG. 図１８は、他の実施形態に係る通電検査装置の作動を説明するためのタイミングチャートである。FIG. 18 is a timing chart for explaining the operation of the energization inspection device according to another embodiment. 図１９は、他の実施形態に係る通電検査装置の作動を説明するための模式図であり、（Ａ）は、最初のセットの常温検査が実行されるときの模式図、（Ｂ）は、５回目のセットの常温検査が実行されるときの模式図である。19A and 19B are schematic views for explaining the operation of the energization inspection device according to another embodiment, FIG. 19A is a schematic diagram when the room temperature inspection of the first set is performed, and FIG. 19B is a schematic diagram. It is a schematic diagram when the room temperature inspection of the 5th set is executed. 図２０は、変形例に係る通電検査装置の制御・判定部のＣＰＵが実行する通電検査の概要を説明するためのフローチャートである。FIG. 20 is a flowchart for explaining an outline of the energization inspection executed by the CPU of the control / determination unit of the energization inspection device according to the modified example.

（構成）
以下、図１を参照しながら、本発明の実施形態に係る通電検査装置（以下、「本装置」とも称呼される。）について説明する。 (Constitution)
Hereinafter, the energization inspection device (hereinafter, also referred to as “the device”) according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本装置１０は、搬送部２０、第１検査部３０、検査槽部４０、第２検査部５０、選別部６０、警告部７０及び制御・判定部８０を備えている。 The apparatus 10 includes a transport unit 20, a first inspection unit 30, an inspection tank unit 40, a second inspection unit 50, a sorting unit 60, a warning unit 70, and a control / determination unit 80.

＜搬送部＞
搬送部２０は、ベルトコンベア２２、電動モータ２４及び被検査物ホルダ（以下、単に「ホルダ」とも称呼される）２６（図３及び図４を参照。）を含んでいる。ベルトコンベア２２は、一定の幅を有するベルト２２ａと、左右方向に所定の間隔に配置された複数のローラ２２ｂと、を有する。なお、本実施形態における左右方向は図１の本装置１０の長手方向（Ｘ方向）とする。ベルト２２ａは、複数のローラ２２ｂを周回可能にローラ２２ｂに巻かれている。電動モータ２４は、複数のローラ２２ｂをそれぞれ等しい速度にて回転させるように構成されている。例えば、電動モータ２４は、複数のローラ２２ｂにそれぞれ個別に設けられ、複数のローラ２２ｂを個別に駆動させてもよいし、ギヤ機構を介して複数のローラ２２ｂを一括して駆動させることができるように構成されてもよい。 <Transport section>
The transport unit 20 includes a belt conveyor 22, an electric motor 24, and an object holder (hereinafter, also simply referred to as “holder”) 26 (see FIGS. 3 and 4). The belt conveyor 22 has a belt 22a having a constant width and a plurality of rollers 22b arranged at predetermined intervals in the left-right direction. The left-right direction in this embodiment is the longitudinal direction (X direction) of the apparatus 10 in FIG. The belt 22a is wound around the rollers 22b so as to be able to orbit a plurality of rollers 22b. The electric motor 24 is configured to rotate a plurality of rollers 22b at equal speeds. For example, the electric motor 24 may be individually provided on the plurality of rollers 22b, and the plurality of rollers 22b may be individually driven, or the plurality of rollers 22b may be collectively driven via the gear mechanism. It may be configured as follows.

ホルダ２６は、被検査物（ワーク）１００をベルトコンベア２２に固定するための検査用治具である。ここで、図２を参照しながらワーク１００について説明する。ワーク１００は、本体１１０及びコネクタ部１２０を含んでいる。本体１１０は、略直方体の形状を有し、一つの面１１２（図２において上面）において当該面１１２に対して垂直に四角筒状のコネクタ部１２０及びその内部に位置する端子１３０が上方に延出している。更に、本体１１０の面１１４（図２において前面）の右端の上下中央部分には前方に突出する突起部１４０が形成されている。本体１１０の内部にはＲＯＭを実装した回路基板が格納されている。内部の回路基板への電力の供給及びデータの読み出しは端子１３０を経由して行われる。従って、ワーク１００は、以下、「ＲＯＭモジュール」１００とも称呼される。 The holder 26 is an inspection jig for fixing the object to be inspected (work) 100 to the belt conveyor 22. Here, the work 100 will be described with reference to FIG. The work 100 includes a main body 110 and a connector portion 120. The main body 110 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and on one surface 112 (upper surface in FIG. 2), a square tubular connector portion 120 perpendicular to the surface 112 and terminals 130 located inside the connector portion 120 extend upward. It is out. Further, a protrusion 140 projecting forward is formed on the upper and lower central portions of the right end of the surface 114 (front surface in FIG. 2) of the main body 110. A circuit board on which a ROM is mounted is stored inside the main body 110. Power is supplied to the internal circuit board and data is read out via the terminal 130. Therefore, the work 100 is also hereinafter referred to as the "ROM module" 100.

ホルダ２６は、細長い矩形板状のアルミニウム及びステンレス等の金属でできている。図３に示したように、ホルダ２６の表面には、ワーク１００を装着固定するための複数の矩形の固定孔２６ａがホルダ２６の長手方向に沿って形成されている。本実施形態において、複数の固定孔２６ａは１０箇所に等間隔に形成されている。上面視にて複数の固定孔２６ａはワーク１００の形状に合わせて矩形に開口している（図３の（Ａ）を参照）。図４の（Ａ）及び（Ｂ）は、ホルダ２６の各固定孔２６ａにワーク１００が装着固定された状態を示している。側面視の図４の（Ｂ）から理解されるように、ワーク１００は、コネクタ部１２０がホルダ２６の主面２６ｂの法線方向（主面２６ｂに対して直交する方向）上向きとなるようにホルダ２６に装着固定される。言い換えると、ワーク１００は、端子１３０が主面２６ｂの法線方向上向きに本体１１０から延出するようにホルダ２６に装着固定される。 The holder 26 is made of an elongated rectangular plate-shaped metal such as aluminum and stainless steel. As shown in FIG. 3, a plurality of rectangular fixing holes 26a for mounting and fixing the work 100 are formed on the surface of the holder 26 along the longitudinal direction of the holder 26. In the present embodiment, the plurality of fixing holes 26a are formed at 10 positions at equal intervals. When viewed from above, the plurality of fixing holes 26a are rectangularly opened according to the shape of the work 100 (see (A) in FIG. 3). FIGS. 4A and 4B show a state in which the work 100 is mounted and fixed in each fixing hole 26a of the holder 26. As can be understood from FIG. 4B in the side view, the work 100 is oriented so that the connector portion 120 faces upward in the normal direction (direction orthogonal to the main surface 26b) of the main surface 26b of the holder 26. It is mounted and fixed to the holder 26. In other words, the work 100 is mounted and fixed to the holder 26 so that the terminal 130 extends upward from the main body 110 in the normal direction of the main surface 26b.

更に、平面視によるホルダ２６の上面の四隅には、それぞれ同径の丸孔２６ｃが開口している。なお、丸孔２６ｃにはそれぞれ、後述するガイドピン３６ｂ（図６を参照。）が嵌合する。 Further, round holes 26c having the same diameter are opened at the four corners of the upper surface of the holder 26 in a plan view. A guide pin 36b (see FIG. 6), which will be described later, is fitted into each of the round holes 26c.

ホルダ２６は、その長手方向がベルト２２ａの搬送方向（Ｘ方向）と垂直となり且つ主面２６ｂの法線方向が鉛直方向（Ｚ方向）と一致する向きにてベルト２２ａに固定される。 The holder 26 is fixed to the belt 22a in a direction in which the longitudinal direction thereof is perpendicular to the transport direction (X direction) of the belt 22a and the normal direction of the main surface 26b coincides with the vertical direction (Z direction).

＜第１検査部＞
図５の（Ａ）に示したように、第１検査部３０は、第１アクチュエータ３２、第１シャフト３４及び第１プローブ部３６を含んでいる。なお、第１アクチュエータ３２及び第１シャフト３４は、「第１プローブ移動機構」とも称呼される。第１アクチュエータ３２は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置及び圧縮空気が供給され又は排出される周知のエアシリンダにより構成されている。第１シャフト３４は、第１アクチュエータ３２と第１プローブ部３６とを鉛直方向（Ｚ方向）に連結している。本実施形態において、第１シャフト３４は、４本のシャフト（ロッド）を備えている。これにより、第１プローブ部３６と第１アクチュエータ３２との間の鉛直方向を回転中心軸とする相対的な捻れが防止される。第１シャフト３４は、第１アクチュエータ３２内のエアシリンダが伸びたとき、下方（Ｚ方向と反対向き）に伸長する。従って、このとき第１プローブ部３６は下方に移動する。反対に、第１シャフト３４は、第１アクチュエータ３２内のエアシリンダが縮んだとき、上方（Ｚ方向）に収縮する。従って、このとき第１プローブ部３６は上方に移動する。 <1st inspection department>
As shown in FIG. 5A, the first inspection unit 30 includes a first actuator 32, a first shaft 34, and a first probe unit 36. The first actuator 32 and the first shaft 34 are also referred to as a "first probe moving mechanism". The first actuator 32 includes a compressed air supply device that supplies compressed air and a well-known air cylinder to which compressed air is supplied or discharged. The first shaft 34 connects the first actuator 32 and the first probe portion 36 in the vertical direction (Z direction). In the present embodiment, the first shaft 34 includes four shafts (rods). As a result, relative twisting between the first probe portion 36 and the first actuator 32 with the rotation center axis in the vertical direction is prevented. The first shaft 34 extends downward (opposite the Z direction) when the air cylinder in the first actuator 32 extends. Therefore, at this time, the first probe portion 36 moves downward. On the contrary, the first shaft 34 contracts upward (Z direction) when the air cylinder in the first actuator 32 contracts. Therefore, at this time, the first probe portion 36 moves upward.

第１プローブ部３６は、図６に示したように、平板状の固定板３６ａ、複数のガイドピン３６ｂ、整列板３６ｃ及び複数のプローブヘッド３８等を備えている。本実施形態において、各プローブヘッド３８は１０個備えられており、１０個のプローブヘッド３８が固定板３６ａの長手方向（Ｙ方向）に一列に整列して取り付けられている。１０個のプローブヘッド３８は、ホルダ２６の固定孔２６ａが整列している間隔と等しい間隔で整列している。 As shown in FIG. 6, the first probe portion 36 includes a flat plate-shaped fixing plate 36a, a plurality of guide pins 36b, an alignment plate 36c, a plurality of probe heads 38, and the like. In the present embodiment, ten probe heads 38 are provided, and the ten probe heads 38 are attached in a row in the longitudinal direction (Y direction) of the fixing plate 36a. The ten probe heads 38 are aligned at intervals equal to the spacing at which the fixing holes 26a of the holder 26 are aligned.

プローブヘッド３８は図７に示したように、プローブ格納部３８ａ、複数のスプリングプローブ３８ｂ及びフランジ部３８ｃを備えている。プローブ格納部３８ａ及びフランジ部３８ｃは樹脂（絶縁体）により一体的に形成されている。 As shown in FIG. 7, the probe head 38 includes a probe housing portion 38a, a plurality of spring probes 38b, and a flange portion 38c. The probe housing portion 38a and the flange portion 38c are integrally formed of a resin (insulator).

プローブ格納部３８ａは、図７の状態で前後の長さよりも上下の長さが長く、さらに上下の長さよりも左右の長さが長い略直方体に形成されている。プローブ格納部３８ａの先端面（下端面）３８ｄからは、複数の貫通孔３８ｅが、上方に向かって延びるように、左右に一定間隔に整列して形成されている。複数のスプリングプローブ３８ｂは、下端面がすり鉢状に凹んだ接触子３８ｆを備え、接触子３８ｆがプローブ格納部３８ａの先端面３８ｄ側に露出するようにプローブ格納部３８ａの貫通孔３８ｅにそれぞれ挿入固定される。接触子３８ｆは銀又は銅の合金でできており表面には金めっきが施されている。 In the state of FIG. 7, the probe storage portion 38a is formed in a substantially rectangular parallelepiped in which the vertical length is longer than the front-rear length and the left-right length is longer than the vertical length. From the front end surface (lower end surface) 38d of the probe storage portion 38a, a plurality of through holes 38e are formed so as to extend upward at regular intervals on the left and right sides. Each of the plurality of spring probes 38b is provided with a contactor 38f whose lower end surface is recessed in a mortar shape, and is inserted into a through hole 38e of the probe storage portion 38a so that the contactor 38f is exposed on the tip surface 38d side of the probe storage portion 38a. It is fixed. The contact 38f is made of an alloy of silver or copper, and the surface is gold-plated.

スプリングプローブ３８ｂは、周知のプランジャ構造を有しており、接触子３８ｆは、スプリングプローブ３８ｂ内部の図示しないコイルばねにより図７の下方に常に付勢されている。このような構造により、接触子３８ｆは、検査時に、ワーク１００の端子１３０の先端に押し付けられ、ワーク１００の端子１３０と接触子３８ｆとの間において安定的な電気的接触が得られるようになっている。このように構成されたプローブヘッド３８は、ワーク１００に電力を供給するとともにワーク１００との間にて電気信号を授受することができる。 The spring probe 38b has a well-known plunger structure, and the contactor 38f is always urged downward in FIG. 7 by a coil spring (not shown) inside the spring probe 38b. With such a structure, the contact 38f is pressed against the tip of the terminal 130 of the work 100 at the time of inspection, and stable electrical contact can be obtained between the terminal 130 of the work 100 and the contact 38f. ing. The probe head 38 configured in this way can supply electric power to the work 100 and exchange electric signals with and from the work 100.

フランジ部３８ｃは、プローブ格納部３８ａの上方に位置し、左右方向の長さがプローブ格納部３８ａと同じで、上下方向の長さがプローブ格納部３８ａよりも短く、前後方向の長さがプローブ格納部３８ａよりも長い略直方体に形成されている。フランジ部３８ｃには、固定板３６ａに固定される際に用いられる固定用のねじを貫通させるための貫通孔３８ｈが上下方向に形成される。このような構成により、プローブヘッド３８は、先端面３８ｄが鉛直下向きとなる向きにて固定板３６ａに取り付けられる。 The flange portion 38c is located above the probe storage portion 38a, has the same length in the left-right direction as the probe storage portion 38a, has a shorter vertical length than the probe storage portion 38a, and has a length in the front-rear direction. It is formed in a substantially rectangular parallelepiped longer than the storage portion 38a. A through hole 38h for passing a fixing screw used when fixing to the fixing plate 36a is formed in the flange portion 38c in the vertical direction. With such a configuration, the probe head 38 is attached to the fixing plate 36a with the tip surface 38d facing vertically downward.

＜ワークとピンヘッダとの接続（接触）＞
図８の（Ａ）には、第１プローブ部３６が初期位置にある状態が示されており、図８の（Ｂ）には、第１プローブ部３６が下降して、ワーク１００のコネクタ部１２０にプローブヘッド３８が進入した状態が示されている。図８の（Ｂ）に示したように、四隅のガイドピン３６ｂ（図６の（Ａ）を参照。）は丸孔２６ｃ（図３及び図４参照）にそれぞれ嵌合することにより、第１プローブ部３６とホルダ２６との間の位置決めが為される。更に、整列板３６ｃは、ワーク１００のコネクタ部１２０を上部から押さえ付けるとともに、Ｘ方向及びＸ方向と反対方向から挟み込む。これにより、ワーク１００のＸ方向及びＹ方向の位置ずれを防止する。このようにして、スプリングプローブ３８ｂの接触子３８ｆと端子１３０とが確実に当接するようになっている。従って、初期位置は、「ワーク１００の複数の端子１３０と、スプリングプローブ３８ｂの複数の接触子３８ｆとが何れも接触しない位置」であり、以下、「第１位置」とも称呼される。更に、上述の第１プローブ部３６が下降した位置は、「複数の端子１３０と、複数の接触子３８ｆとが接触し得る位置」であり、以下、「第２位置」とも称呼される。 <Connection (contact) between work and pin header>
FIG. 8A shows a state in which the first probe portion 36 is in the initial position, and FIG. 8B shows a state in which the first probe portion 36 is lowered and the connector portion of the work 100 is formed. The state in which the probe head 38 has entered the 120 is shown. As shown in FIG. 8B, the guide pins 36b at the four corners (see FIG. 6A) are first fitted into the round holes 26c (see FIGS. 3 and 4). Positioning is performed between the probe portion 36 and the holder 26. Further, the alignment plate 36c presses the connector portion 120 of the work 100 from above and sandwiches the work 100 from the X direction and the direction opposite to the X direction. This prevents the work 100 from being displaced in the X and Y directions. In this way, the contact 38f of the spring probe 38b and the terminal 130 are surely in contact with each other. Therefore, the initial position is "a position where none of the plurality of terminals 130 of the work 100 and the plurality of contacts 38f of the spring probe 38b come into contact with each other", and is also hereinafter referred to as "first position". Further, the position where the first probe portion 36 is lowered is "a position where the plurality of terminals 130 and the plurality of contacts 38f can come into contact with each other", and is also hereinafter referred to as "second position".

＜検査槽部＞
図１に示したように、検査槽部４０は、検査槽本体４２、ヒータ４４及び温度センサ４６等を備える。検査槽部４０は、検査槽本体４２の内部の温度を設定された所定の温度に維持することができる恒温槽である。図１において、検査槽部４０は、第１検査部３０のＸ軸方向右側に設置される。検査槽本体４２の左側方及び右側方にはベルトコンベア２２及びワーク１００を含むホルダ２６が通過可能な開口（図示せず）が形成されている。 <Inspection tank>
As shown in FIG. 1, the inspection tank unit 40 includes an inspection tank main body 42, a heater 44, a temperature sensor 46, and the like. The inspection tank unit 40 is a constant temperature bath capable of maintaining the temperature inside the inspection tank main body 42 at a set predetermined temperature. In FIG. 1, the inspection tank unit 40 is installed on the right side of the first inspection unit 30 in the X-axis direction. Openings (not shown) through which the holder 26 including the belt conveyor 22 and the work 100 can pass are formed on the left side and the right side of the inspection tank main body 42.

＜第２検査部＞
図１に示したように、第２検査部５０は、検査槽本体４２の右側上面において検査槽本体４２の上面部を貫通して取り付けられる。図５の（Ｂ）に示したように、第２検査部５０は、第２アクチュエータ５２、第２シャフト５４及び第２プローブ部５６を含んでいる。なお、第２アクチュエータ３２及び第２シャフト５４は、「第２プローブ移動機構」とも称呼される。第２プローブ部５６は、第１プローブ部３６と同様に１０個のプローブヘッド３８を備えている。第２検査部５０は、第２シャフト５４が第１シャフト３４よりも長い点において第１検査部３０と異なっているが、第２検査部５０の他の構成は、第１検査部３０と同一の構成であるので、詳細な説明は省略する。なお、第１検査部３０が取り付けられる搬送部２０の外郭部の上面位置よりも第２検査部５０が取り付けられる検査槽本体４２の上面位置の方が高くなっており、このため、第２シャフト５４は第１シャフト３４よりも長くなっている。 <Second inspection department>
As shown in FIG. 1, the second inspection unit 50 is attached on the upper right surface of the inspection tank main body 42 so as to penetrate the upper surface portion of the inspection tank main body 42. As shown in FIG. 5B, the second inspection unit 50 includes a second actuator 52, a second shaft 54, and a second probe unit 56. The second actuator 32 and the second shaft 54 are also referred to as a "second probe moving mechanism". The second probe unit 56 includes 10 probe heads 38 like the first probe unit 36. The second inspection unit 50 differs from the first inspection unit 30 in that the second shaft 54 is longer than the first shaft 34, but the other configurations of the second inspection unit 50 are the same as those of the first inspection unit 30. Since it is the configuration of, detailed description will be omitted. The upper surface position of the inspection tank body 42 to which the second inspection unit 50 is attached is higher than the upper surface position of the outer shell portion of the transport unit 20 to which the first inspection unit 30 is attached. Therefore, the second shaft 54 is longer than the first shaft 34.

＜選別部＞
図１に示したように、選別部６０は、検査槽部４０の右側から後方（Ｙ方向）に延びるように設置される。選別部６０は、ピックアップ装置６２、良品箱６４及び不良品箱６６を備えている。 <Sorting section>
As shown in FIG. 1, the sorting unit 60 is installed so as to extend rearward (Y direction) from the right side of the inspection tank unit 40. The sorting unit 60 includes a pickup device 62, a non-defective box 64, and a defective box 66.

ピックアップ装置６２のピックアップ部６２ａは、少なくとも上下方向（Ｚ方向）及び搬送部２０（ベルトコンベア２２）の搬送方向と垂直な方向（Ｙ方向）に移動可能であり、少なくとも１つのワーク１００を把持又は解放することが可能なロボットである。本実施形態において、ピックアップ部６２ａは１０個のワーク１００をそれぞれ独立して把持又は解放することができるように構成されている。ピックアップ部６２ａは、検査後に搬送部２０により選別部６０の所定位置まで搬送されたワーク１００をピックアップし、良品箱６４又は不良品箱６６へ搬送する。 The pickup unit 62a of the pickup device 62 can move at least in the vertical direction (Z direction) and in the direction perpendicular to the transport direction (Y direction) of the transport unit 20 (belt conveyor 22), and grips or grips at least one work 100. It is a robot that can be released. In the present embodiment, the pickup unit 62a is configured so that the ten works 100 can be independently gripped or released. The pick-up unit 62a picks up the work 100 transported to a predetermined position of the sorting unit 60 by the transport unit 20 after the inspection, and transports the work 100 to the non-defective product box 64 or the defective product box 66.

より具体的に述べると、ワーク１００のピックアップ位置（所定位置）、良品箱６４及び不良品箱６６は、Ｙ方向に整列して配置され、且つ正面視にて手前からピックアップ位置、不良品箱６６、良品箱６４の順に配置されている。つまり、不良品箱６６はピックアップ部６２ａがピックアップ位置から良品箱６４へ移動する経路途中に配置される。ピックアップ部６２ａは、ホルダ２６に係止された全てのワーク１００をそれぞれ個別に把持すると、不良品箱６６へ向かって移動する。ピックアップ部６２ａが不良品箱６６の上方に到達すると、ピックアップ部６２ａは常温検査及び高温検査にて不良品であると判定されたワーク１００を解放する。これにより、不良品であると判定されたワーク１００は、不良品箱６６に収容される。その後、ピックアップ部６２ａは、不良品箱６６の上方から良品箱６４の上方へと移動すると、残りのワーク１００を解放する。これにより、良品であると判定されたワーク１００は、良品箱６４に収容される。このようにして、選別部６０は、良品を良品箱６４へ移動し、不良品を不良品箱６６へ移動することにより、良品と不良品とを選別することができる。 More specifically, the pickup position (predetermined position) of the work 100, the non-defective box 64 and the defective box 66 are arranged so as to be aligned in the Y direction, and the pickup position and the defective box 66 are arranged from the front in front view. , The non-defective box 64 is arranged in this order. That is, the defective product box 66 is arranged in the middle of the path in which the pickup unit 62a moves from the pickup position to the non-defective product box 64. When all the workpieces 100 locked to the holder 26 are individually gripped, the pickup portion 62a moves toward the defective product box 66. When the pickup unit 62a reaches the upper part of the defective product box 66, the pickup unit 62a releases the work 100 determined to be defective by the normal temperature inspection and the high temperature inspection. As a result, the work 100 determined to be a defective product is housed in the defective product box 66. After that, when the pickup unit 62a moves from above the defective product box 66 to above the non-defective product box 64, the remaining work 100 is released. As a result, the work 100 determined to be a non-defective product is housed in the non-defective product box 64. In this way, the sorting unit 60 can sort the non-defective product and the defective product by moving the non-defective product to the non-defective product box 64 and moving the defective product to the defective product box 66.

＜警告部＞
警告部７０は、搬送部２０の外郭部の上面において第１検査部３０の左側に配置される。警告部７０は、警告灯７２及びブザー７４を備える。警告部７０は、制御・判定部８０によって、本装置１０の異常状態が検知されたとき（例えば、後述のステップ１３６５及びステップ１３７０等）、制御・判定部８０によって警告灯７２が点灯させられるとともにブザー７４が鳴動させられる。なお、警告部７０は、必ずしも第１検査部３０の左側にある必要はなく、任意の位置に配置されればよい。 <Warning section>
The warning unit 70 is arranged on the left side of the first inspection unit 30 on the upper surface of the outer shell portion of the transport unit 20. The warning unit 70 includes a warning light 72 and a buzzer 74. When the control / judgment unit 80 detects an abnormal state of the apparatus 10 (for example, step 1365 and step 1370 described later), the warning light 72 is turned on by the control / judgment unit 80. The buzzer 74 is sounded. The warning unit 70 does not necessarily have to be on the left side of the first inspection unit 30, and may be arranged at an arbitrary position.

＜制御・判定部＞
制御・判定部８０は、ベルトコンベア２２の下方に配置されており、電動モータ２４、プローブヘッド３８、ヒータ４４、温度センサ４６、ピックアップ装置６２、警告部７０及び図示しない位置検出センサ等と電気的に接続されている。制御・判定部８０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びインタフェース等を含むマイクロコンピュータを主要構成部品として有する電子制御回路である。制御・判定部８０は、メモリ（ＲＯＭ）に格納されたインストラクション（コンピュータプログラム）を実行することにより、後述する各種機能を実現する。 <Control / judgment unit>
The control / determination unit 80 is arranged below the belt conveyor 22, and is electrically connected to the electric motor 24, probe head 38, heater 44, temperature sensor 46, pickup device 62, warning unit 70, position detection sensor (not shown), and the like. It is connected to the. The control / determination unit 80 is an electronic control circuit having a microcomputer including a CPU, ROM, RAM, an interface, and the like as a main component. The control / determination unit 80 realizes various functions described later by executing an instruction (computer program) stored in a memory (ROM).

従って、制御・判定部８０は、メモリに格納されたインストラクションに従って、電動モータ２４を駆動させることにより、ベルトコンベア２２の移動速度、移動開始時間及び停止時間等を制御することができる。制御・判定部８０は、プローブヘッド３８への電源の供給及び信号の送受信を制御するとともに、検査プログラムを実行することができる。制御・判定部８０は、設定された温度と温度センサ４６により検出された値とに基づいてヒータ４４の発熱量を制御することができる。制御・判定部８０は、選別部６０のピックアップ装置６２の動作を制御することができる。制御・判定部８０は、警告部７０の警告灯７２及びブザー７４を制御することができる。なお、制御・判定部８０の機能はソフトウェアによってではなく、ハードウェアによって実現されてもよいし、ハードウェアとソフトウェアとの協働により実現されてもよい。 Therefore, the control / determination unit 80 can control the moving speed, moving start time, stop time, and the like of the belt conveyor 22 by driving the electric motor 24 according to the instructions stored in the memory. The control / determination unit 80 can control the supply of power to the probe head 38 and the transmission / reception of signals, and can execute an inspection program. The control / determination unit 80 can control the calorific value of the heater 44 based on the set temperature and the value detected by the temperature sensor 46. The control / determination unit 80 can control the operation of the pickup device 62 of the sorting unit 60. The control / determination unit 80 can control the warning light 72 and the buzzer 74 of the warning unit 70. The function of the control / determination unit 80 may be realized not by software but by hardware, or may be realized by collaboration between hardware and software.

＜電圧印加部、電圧測定部、コマンド送受信部＞
制御・判定部８０は、更に、図９に示したように、電圧印加部８２、電圧測定部８４及びコマンド送受信部８６を備える。電圧印加部８２は、プローブヘッド３８に備えられた複数の接触子３８ｆの少なくとも一つの接触子３８ｆに所定の駆動電圧を印加する。電圧測定部８４は、電圧印加部８２によって所定の駆動電圧が印加された接触子３８ｆの電圧を測定する。コマンド送受信部８６は、コマンドを接触子３８ｆの一つである第１接触子Ｔ１を経由してワーク１００に送信するとともにワーク１００から接触子３８ｆの一つである第２接触子Ｔ２を介してコマンドに対する応答を受信する。なお、実際には、ワーク１００の数は１０個であるが、説明を簡単にするため、図９においては、ワーク１００は１つだけ記載している。 <Voltage application unit, voltage measurement unit, command transmission / reception unit>
As shown in FIG. 9, the control / determination unit 80 further includes a voltage application unit 82, a voltage measurement unit 84, and a command transmission / reception unit 86. The voltage application unit 82 applies a predetermined drive voltage to at least one of the plurality of contacts 38f provided on the probe head 38. The voltage measuring unit 84 measures the voltage of the contact 38f to which a predetermined driving voltage is applied by the voltage applying unit 82. The command transmission / reception unit 86 transmits a command to the work 100 via the first contact T1 which is one of the contacts 38f, and also from the work 100 via the second contact T2 which is one of the contacts 38f. Receive a response to the command. In reality, the number of works 100 is 10, but for the sake of simplicity, only one work 100 is shown in FIG.

電圧印加部８２と第３接触子Ｔ３との間には、抵抗ＲＬ及びリレーＲＥが介装されている。抵抗ＲＬと接触子３８ｆとの間の点Ｐ１は、電圧測定部８４に接続されている。リレーＲＥは、通電検査実行時にオフ位置からオン位置に変更されるようになっている。 A resistor RL and a relay RE are interposed between the voltage application unit 82 and the third contact T3. The point P1 between the resistor RL and the contact 38f is connected to the voltage measuring unit 84. The relay RE is changed from the off position to the on position when the energization inspection is executed.

電圧印加部８２は、高分解能の電圧発生器を備えており、所定の駆動電圧ＶＩＧＮを精度良く出力することができるようになっている。第３接触子Ｔ３には、ワーク（ＲＯＭモジュール）１００の入力端子１３１が接続される。 The voltage application unit 82 is provided with a high-resolution voltage generator so that a predetermined drive voltage VIGN can be output with high accuracy. The input terminal 131 of the work (ROM module) 100 is connected to the third contact T3.

＜ワーク＞
図１０に示したように、入力端子１３１とワーク１００内のＩＣとの間には入力インピーダンスの高い入力回路（ドライバ回路）１３６が備えられている。入力端子１３１と入力回路１３６との間にはツェナーダイオードＺＤのカソードＫが接続されている。このツェナーダイオードＺＤのアノードＡは、ＧＮＤに接続されている。従って、入力端子１３１に逆電圧としてツェナーダイオードＺＤの降伏電圧以上の電圧（例えば、サージ電圧）が印加された場合、ツェナーダイオードＺＤのカソードＫからアノードＡに向かって電流が流れるので、入力回路１３６を保護することができる。 <Work>
As shown in FIG. 10, an input circuit (driver circuit) 136 having a high input impedance is provided between the input terminal 131 and the IC in the work 100. The cathode K of the Zener diode ZD is connected between the input terminal 131 and the input circuit 136. The anode A of the Zener diode ZD is connected to the GND. Therefore, when a voltage equal to or higher than the breakdown voltage of the Zener diode ZD (for example, surge voltage) is applied to the input terminal 131 as a reverse voltage, a current flows from the cathode K of the Zener diode ZD toward the anode A, so that the input circuit 136 Can be protected.

ところで、ツェナーダイオードＺＤは、降伏電圧以下の逆電圧が印加された場合であっても、カソードからアノードに向かって僅かな電流が流れることが知られている。この電流は、以下、「漏れ電流」Ｉleakと称呼される。上述の回路構成によれば、点Ｐ１の電位（電圧）ＶＰは、漏れ電流Ｉleakの大きさによって変化する。つまり、漏れ電流Ｉleakが大きいほど、点Ｐ１の電圧ＶＰは低くなる。更に、漏れ電流Ｉleakは一般的に高温であるほど大きくなる。 By the way, it is known that a small current flows from the cathode to the anode of the Zener diode ZD even when a reverse voltage equal to or lower than the breakdown voltage is applied. This current is hereinafter referred to as "leakage current" Ileak. According to the circuit configuration described above, the potential (voltage) VP at point P1 changes depending on the magnitude of the leakage current I leak. That is, the larger the leakage current I leak, the lower the voltage VP at the point P1. Further, the leakage current Ileak generally increases as the temperature increases.

ところで、漏れ電流Ｉleakが大きく且つ常温における漏れ電流Ｉleakと、高温における漏れ電流Ｉleakとの差分値（即ち、漏れ電流Ｉleakの温度ドリフト）が大きいほど、ワーク１００の性能に与える影響が大きいことが発明者らの検討により判明した。 By the way, it was invented that the larger the leakage current Ileak and the larger the difference value between the leakage current Ileak at room temperature and the leakage current Ileak at high temperature (that is, the temperature drift of the leakage current Ileak), the greater the influence on the performance of the work 100. It became clear by the examination of those.

そこで、第１装置は、ツェナーダイオードＺＤの漏れ電流Ｉleakに相関を有する値である入力端子１３１の電圧を常温検査（第１検査）と高温検査（第２検査）のそれぞれにおいて測定し、これらの電圧がそれぞれ所定の電圧範囲にあるか（所定の電圧以上であるか）否かを判定する。更に、これらの電圧の差分値を演算し、当該差分値が所定の閾値電圧以下であるか否かを判定する。 Therefore, the first apparatus measures the voltage of the input terminal 131, which is a value having a correlation with the leakage current Ileak of the Zener diode ZD, in each of the normal temperature inspection (first inspection) and the high temperature inspection (second inspection), and these It is determined whether or not each voltage is in a predetermined voltage range (is equal to or higher than a predetermined voltage). Further, the difference value of these voltages is calculated, and it is determined whether or not the difference value is equal to or less than a predetermined threshold voltage.

より具体的に述べると、第１装置は、常温検査にて測定された入力端子１３１の電圧（以下、「第１電圧ＶＰ１」と称呼する。）が第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上であるか否かを判定する。更に、第１装置は、高温検査にて測定された入力端子１３１の電圧（以下、「第２電圧ＶＰ２」と称呼する。）が第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上であるか否かを判定する。加えて、第１装置は、第１電圧ＶＰ１と第２電圧ＶＰ２との差分値ΔＶ（＝ＶＰ１−ＶＰ２）が第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下であるか否かを判定する。なお、第１閾値電圧Ｖｔｈ１は第１温度における基準電圧値であり、第２閾値電圧Ｖｔｈ２は第２温度における基準電圧値である。 More specifically, in the first apparatus, whether or not the voltage of the input terminal 131 measured by the room temperature inspection (hereinafter, referred to as "first voltage VP1") is equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. To judge. Further, the first apparatus determines whether or not the voltage of the input terminal 131 measured by the high temperature inspection (hereinafter, referred to as “second voltage VP2”) is equal to or higher than the second threshold voltage Vth2. In addition, the first apparatus determines whether or not the difference value ΔV (= VP1-VP2) between the first voltage VP1 and the second voltage VP2 is equal to or less than the third threshold voltage Vth3. The first threshold voltage Vth1 is a reference voltage value at the first temperature, and the second threshold voltage Vth2 is a reference voltage value at the second temperature.

しかし、（前述したように、）入力端子１３１と接触子３８ｆとの間に接触不良が発生した場合、電圧測定部により測定される点Ｐ１には電圧降下は発生しないので、第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰは、所定の駆動電圧ＶＩＧＮと等しい値となる。従って、この場合、ツェナーダイオードＺＤの漏れ電流Ｉleakの大きさによらず、ワーク１００は良品であると判定されてしまう。 However, when a poor contact occurs between the input terminal 131 and the contact 38f (as described above), no voltage drop occurs at the point P1 measured by the voltage measuring unit, so that the third contact T3 The voltage VP of is equal to the predetermined drive voltage VIGN. Therefore, in this case, the work 100 is determined to be a non-defective product regardless of the magnitude of the leakage current Ileak of the Zener diode ZD.

そこで、第１装置は、第１プローブ部３６を第１位置から第２位置に移動させた後、ワーク１００にコマンドを送受信して、そのコマンドに対する応答が正しい応答であるとき（正常にコマンドが送受信されたとき）、接触不良はなく、第１電圧ＶＰ１は信頼できる（正しい）電圧値であると判断する。同様に、第１装置は、第２プローブ部３６を第１位置から第２位置に移動させた後、ワーク１００にコマンドを送受信して、そのコマンドに対する応答が正しい応答であるとき、接触不良がなく、第２電圧ＶＰ２は信頼できる（正しい）電圧値であると判断する。つまり、正しい応答が受信されたとき、第１プローブ部３６／第２プローブ部５６の接触子３８ｆとワーク１００の端子とは確実に接続されていることが保証される。 Therefore, the first apparatus sends and receives a command to the work 100 after moving the first probe unit 36 from the first position to the second position, and when the response to the command is the correct response (the command is normally issued). (When transmitted and received), there is no contact failure, and it is determined that the first voltage VP1 is a reliable (correct) voltage value. Similarly, the first apparatus sends and receives a command to the work 100 after moving the second probe unit 36 from the first position to the second position, and when the response to the command is the correct response, a poor contact occurs. It is determined that the second voltage VP2 is a reliable (correct) voltage value. That is, when a correct response is received, it is guaranteed that the contact 38f of the first probe unit 36 / second probe unit 56 and the terminal of the work 100 are securely connected.

よって、制御・判定部８０は、電圧印加部８２を用いてプローブ部３６（プローブヘッド３８）の複数の接触子３８ｆのうち第３接触子Ｔ３に所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加し、電圧測定部８４により第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰを測定し、電圧測定部８４による電圧の測定結果に基づいて、ワーク１００の合否を判定する。 Therefore, the control / determination unit 80 applies a predetermined drive voltage VIGN to the third contact T3 among the plurality of contacts 38f of the probe unit 36 (probe head 38) by using the voltage application unit 82, and the voltage measurement unit 80. The voltage VP of the third contact T3 is measured by the 84, and the pass / fail of the work 100 is determined based on the voltage measurement result by the voltage measuring unit 84.

（作動の概要）
このような、本装置１０が実行する通電検査の作動の概要を、図１１に示したフローチャートを参照しながら説明する。 (Outline of operation)
An outline of the operation of the energization inspection executed by the present device 10 will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

（１）ワークが良品である場合
本装置１０の制御・判定部８０のＣＰＵ（以下、単に「ＣＰＵ」と称呼する。）は、ステップ１１００から処理を開始してステップ１１０５に進み、常温にてコマンド送受信部８６を用いてコマンドを送受信する。次いで、ＣＰＵは、ステップ１１１０に進み、コマンド送受信部８６が、送信したコマンドに対する正しい応答を受信したか否かを判定する。 (1) When the work is a non-defective product The CPU of the control / judgment unit 80 of the present device 10 (hereinafter, simply referred to as “CPU”) starts processing from step 1100, proceeds to step 1105, and at room temperature. Commands are transmitted and received using the command transmission / reception unit 86. Next, the CPU proceeds to step 1110 and determines whether or not the command transmission / reception unit 86 has received a correct response to the transmitted command.

上述の仮定によれば、ワーク１００は良品であるから、ＣＰＵは正しい応答を受信する。従って、ＣＰＵはステップ１１１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１１１５に進み、常温にて電圧印加部８２を用いて第３接触子Ｔ３に所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加するとともに電圧測定部８４を用いて電圧ＶＰ１を測定する。 According to the above assumption, since the work 100 is a non-defective product, the CPU receives a correct response. Therefore, the CPU determines "Yes" in step 1110, proceeds to step 1115, applies a predetermined drive voltage VIGN to the third contact T3 using the voltage application unit 82 at room temperature, and causes the voltage measurement unit 84 to operate. The voltage VP1 is measured using.

次いで、ＣＰＵは、ステップ１１２０に進み、測定された第１電圧ＶＰ１が第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上であるか否かを判定する。上述の仮定によれば、測定された第１電圧ＶＰ１は第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上である。従って、ＣＰＵはステップ１１２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１１２５に進み、高温にてコマンド送受信部８６を用いてコマンドを送受信する。次いで、ＣＰＵは、ステップ１１３０に進み、コマンド送受信部８６が、送信したコマンドに対する正しい応答を受信したか否かを判定する。 Next, the CPU proceeds to step 1120 and determines whether or not the measured first voltage VP1 is equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. According to the above assumption, the measured first voltage VP1 is equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. Therefore, the CPU determines "Yes" in step 1120, proceeds to step 1125, and transmits / receives a command using the command transmission / reception unit 86 at a high temperature. Next, the CPU proceeds to step 1130 and determines whether or not the command transmission / reception unit 86 has received a correct response to the transmitted command.

上述の仮定によれば、ＣＰＵは正しい応答を受信する。従って、ＣＰＵはステップ１１３０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１１３５に進み、高温にて電圧印加部８２を用いて第３接触子Ｔ３に所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加するとともに電圧測定部８４を用いて第２電圧ＶＰ２を測定する。 According to the above assumptions, the CPU receives the correct response. Therefore, the CPU determines "Yes" in step 1130, proceeds to step 1135, applies a predetermined drive voltage VIGN to the third contact T3 using the voltage application unit 82 at a high temperature, and causes the voltage measurement unit 84 to operate. The second voltage VP2 is measured using.

次いで、ＣＰＵは、ステップ１１４０に進み、測定された第２電圧ＶＰ２が第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上であるか否かを判定する。上述の仮定によれば、測定された第２電圧ＶＰ２は第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上である。従って、ＣＰＵはステップ１１４０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１１４５に進み、第１電圧ＶＰ１と第２電圧ＶＰ２との差分値ΔＶが第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下であるか否かを判定する。 Next, the CPU proceeds to step 1140 and determines whether or not the measured second voltage VP2 is equal to or higher than the second threshold voltage Vth2. According to the above assumption, the measured second voltage VP2 is equal to or higher than the second threshold voltage Vth2. Therefore, the CPU determines "Yes" in step 1140 and proceeds to step 1145 to determine whether or not the difference value ΔV between the first voltage VP1 and the second voltage VP2 is equal to or less than the third threshold voltage Vth3.

上述の仮定によれば、第１電圧ＶＰ１と第２電圧ＶＰ２との差分値ΔＶは第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下である。従って、ＣＰＵはステップ１１４５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１１５０に進み、ワーク１００が良品であると判定する。次いで、ＣＰＵは、ステップ１１９５に進んで、本ルーチンを一旦終了する。 According to the above assumption, the difference value ΔV between the first voltage VP1 and the second voltage VP2 is equal to or less than the third threshold voltage Vth3. Therefore, the CPU determines "Yes" in step 1145, proceeds to step 1150, and determines that the work 100 is a non-defective product. Next, the CPU proceeds to step 1195 and temporarily ends this routine.

（２）ワークが不良品である場合
一方、以下の場合、ＣＰＵはステップ１１５５に進んで、ワーク１００が不良品であると判定する。
（Ａ）常温にてコマンド送受信部８６が正しい応答を受信できなかった場合（ステップ１１１０における「Ｎｏ」との判定）。
（Ｂ）第１電圧ＶＰ１が第１閾値電圧Ｖｔｈ１未満である場合（ステップ１１２０における「Ｎｏ」との判定）。
（Ｃ）高温にてコマンド送受信部８６が正しい応答を受信できなかった場合（ステップ１１３０における「Ｎｏ」との判定）。
（Ｄ）第２電圧ＶＰ２が第２閾値電圧Ｖｔｈ２未満である場合（ステップ１１４０における「Ｎｏ」との判定）。
（Ｅ）第１電圧ＶＰ１と第２電圧ＶＰ２の差分値ΔＶ（＝ＶＰ１−ＶＰ２）が第３閾値電圧Ｖｔｈ３より大きい場合（ステップ１１４５における「Ｎｏ」との判定）。 (2) When the work is a defective product On the other hand, in the following cases, the CPU proceeds to step 1155 and determines that the work 100 is a defective product.
(A) When the command transmission / reception unit 86 cannot receive a correct response at room temperature (determination of "No" in step 1110).
(B) When the first voltage VP1 is less than the first threshold voltage Vth1 (determination of "No" in step 1120).
(C) When the command transmission / reception unit 86 cannot receive a correct response at a high temperature (determination of "No" in step 1130).
(D) When the second voltage VP2 is less than the second threshold voltage Vth2 (determination of "No" in step 1140).
(E) When the difference value ΔV (= VP1-VP2) between the first voltage VP1 and the second voltage VP2 is larger than the third threshold voltage Vth3 (determination of “No” in step 1145).

なお、ステップ１１０５乃至ステップ１１２０は、上述の「第１検査（常温検査）」に相当し、ステップ１１２５乃至ステップ１１５５は、上述の「第２検査（高温検査）」に相当する。 In addition, step 1105 to step 1120 correspond to the above-mentioned "first inspection (normal temperature inspection)", and step 1125 to step 1155 correspond to the above-mentioned "second inspection (high temperature inspection)".

このように、本装置１０は、コマンド送受信部８６が正しい応答を受信できたときに限り第１電圧ＶＰ１及び第２電圧ＶＰ２を測定する。 In this way, the present device 10 measures the first voltage VP1 and the second voltage VP2 only when the command transmission / reception unit 86 can receive the correct response.

（実際の作動）
次に、本装置１０の実際の作動について説明する。ＣＰＵは、図１２にフローチャートにより示した通電検査ルーチンを実行するようになっている。 (Actual operation)
Next, the actual operation of the present device 10 will be described. The CPU executes the energization inspection routine shown by the flowchart in FIG.

ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１２００から処理を開始してステップ１２１０の常温検査工程、ステップ１２２０の搬入工程、ステップ１２３０の高温検査工程、ステップ１２４０の搬出工程及びステップ１２５０の選別工程を順に実行し、ステップ１２９５に進んで、通電検査を完了する。以下、上記の各工程（ステップ）についてより具体的に説明する。 The CPU starts the process from step 1200 at a predetermined timing, and executes the normal temperature inspection step of step 1210, the carry-in step of step 1220, the high temperature inspection step of step 1230, the carry-out step of step 1240, and the sorting step of step 1250 in order. , Step 1295 to complete the energization inspection. Hereinafter, each of the above steps (steps) will be described in more detail.

＜常温検査工程＞
ステップ１２１０の常温検査工程（常温検査ルーチン）は図１３にフローチャートにより示される。ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１３００から処理を開始してステップ１３０５に進み、検査開始ボタンが押下されたか否かを判定する。検査開始ボタンは、コンピュータのマウス操作及びタッチパネルの操作により行われてもよいし、専用の操作ボタンが操作されてもよい。 <Room temperature inspection process>
The room temperature inspection step (normal temperature inspection routine) of step 1210 is shown by a flowchart in FIG. The CPU starts the process from step 1300 at a predetermined timing, proceeds to step 1305, and determines whether or not the inspection start button is pressed. The inspection start button may be operated by operating the mouse of the computer or operating the touch panel, or may be operated by a dedicated operation button.

作業者により検査の準備が行われ、検査開始ボタンが押下されたとすると、ＣＰＵはステップ１３０５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１３１０に進み、後述する各種フラグ（常温検査良品フラグＸＲＯＫ、常温検査不良品フラグＸＲＮＧ、常温検査完了フラグＸＲＴＴ、高温検査良品フラグＸＨＯＫ、高温検査不良品フラグＸＨＮＧ、電圧差不良品フラグＸＶＮＧ、高温検査完了フラグＸＨＴＴ及び未検査フラグＸＭＩＫ）の値を「０」に設定する。次いで、ＣＰＵはステップ１３１５に進み、第１検査部３０の第１プローブ部３６を下降させるための指令を実行すると、ステップ１３２０に進み、第１プローブ部３６が第２位置（検査位置）にあるか否かを判定する。 If the operator prepares for the inspection and the inspection start button is pressed, the CPU determines "Yes" in step 1305 and proceeds to step 1310, and various flags described later (normal temperature inspection good product flag XROK, normal temperature inspection). Set the values of the defective product flag XRNG, normal temperature inspection completion flag XRTT, high temperature inspection good product flag XHOK, high temperature inspection defective product flag XHNG, voltage difference defective product flag XVNG, high temperature inspection completion flag XHTT and uninspected flag XMIK) to "0". To do. Next, the CPU proceeds to step 1315, executes a command for lowering the first probe unit 36 of the first inspection unit 30, then proceeds to step 1320, and the first probe unit 36 is in the second position (inspection position). Judge whether or not.

ＣＰＵは、ホルダ２６にセットされたすべてのワーク１００と第１プローブ部３６との間の電気的接触が確認されたとき、第１プローブ部３６が第２位置にあると判定する。第１プローブ部３６が第２位置にある場合、ＣＰＵはステップ１３２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１３２５に進み、常温検査プログラム（常温における通電検査のプログラム）を実行する。ＣＰＵは、ワーク１００に対しＲＯＭデータの読み出しを要求するためのコマンドを送信し、このコマンドに対する応答（ＲＯＭデータ）を受信する。更に、ＣＰＵは、入力端子１３１の電圧を測定する。次いで、ＣＰＵはステップ１３３０に進み、ワーク１００からのＲＯＭデータの読み出しに成功したか否か（即ち、ワーク１００の応答が正しい応答であるか否か）を判定する。 When the electrical contact between all the workpieces 100 set in the holder 26 and the first probe portion 36 is confirmed, the CPU determines that the first probe portion 36 is in the second position. When the first probe unit 36 is in the second position, the CPU determines "Yes" in step 1320, proceeds to step 1325, and executes a room temperature inspection program (program for energization inspection at room temperature). The CPU transmits a command for requesting the work 100 to read the ROM data, and receives a response (ROM data) to the command. Further, the CPU measures the voltage of the input terminal 131. Next, the CPU proceeds to step 1330 and determines whether or not the reading of the ROM data from the work 100 is successful (that is, whether or not the response of the work 100 is a correct response).

ＲＯＭデータの読み出しに成功した場合（ワーク１００の応答が正しい応答であった場合）、ＣＰＵはステップ１３３０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１３３５に進み、測定された電圧ＶＰ１が所定の電圧範囲内（第１閾値電圧Ｖｔｈ１以下）であるか否かを判定する。測定された電圧ＶＰ１が所定の電圧範囲内である場合、ＣＰＵはステップ１３３５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１３４０に進み、常温検査良品フラグＸＲＯＫの値を「１」に設定してステップ１３５０に進む。 When the reading of the ROM data is successful (when the response of the work 100 is a correct response), the CPU determines "Yes" in step 1330 and proceeds to step 1335, and the measured voltage VP1 is in the predetermined voltage range. It is determined whether or not the voltage is within (1st threshold voltage Vth1 or less). When the measured voltage VP1 is within the predetermined voltage range, the CPU determines “Yes” in step 1335 and proceeds to step 1340, sets the value of the room temperature inspection non-defective product flag XROK to “1”, and steps 1350. Proceed to.

一方、ＲＯＭデータの読み出しに成功しなかった場合、ＣＰＵはステップ１３３０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１３４５に進み、常温検査不良品フラグＸＲＮＧの値を「１」に設定してステップ１３５０に進む。同様に、電圧が所定範囲内になかった場合、ＣＰＵはステップ１３３５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１３４５に進み、常温検査不良品フラグＸＲＮＧの値を「１」に設定してステップ１３５０に進む。なお、上記ステップ１３２５乃至ステップ１３４５は、ホルダ２６にセットされたすべてのワーク１００についてそれぞれ個別に行われる。それぞれのワーク１００についての検査は、１つずつ順に実行されてもよいし、すべてのワーク１００について同時に（並列に）実行されてもよい。 On the other hand, if the reading of the ROM data is not successful, the CPU determines "No" in step 1330 and proceeds to step 1345, sets the value of the room temperature inspection defective product flag XRNG to "1", and proceeds to step 1350. move on. Similarly, if the voltage is not within the predetermined range, the CPU determines "No" in step 1335 and proceeds to step 1345, sets the value of the room temperature inspection defective product flag XRNG to "1", and proceeds to step 1350. move on. The steps 1325 to 1345 are performed individually for all the works 100 set in the holder 26. The inspections for each work 100 may be performed one by one in sequence, or all the works 100 may be performed simultaneously (in parallel).

ＣＰＵはすべてのワーク１００について検査が完了すると（すべてのワーク１００について常温検査良品フラグＸＲＯＫ又は常温検査不良品フラグＸＲＮＧの値が「１」に設定されると）ステップ１３５０にて第１プローブ部３６の上昇指令を実行する。次いで、ＣＰＵはステップ１３５５に進み、第１プローブ部３６が第１位置（初期位置）にあるか否かを判定する。 When the inspection of all the workpieces 100 is completed (when the value of the normal temperature inspection good product flag XROK or the normal temperature inspection defective product flag XRNG is set to "1" for all the workpieces 100), the CPU performs the first probe unit 36 in step 1350. Execute the ascending command of. The CPU then proceeds to step 1355 to determine if the first probe unit 36 is in the first position (initial position).

第１プローブ部３６が第１位置にある場合、ＣＰＵはステップ１３５５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１３６０に進み、常温検査完了フラグＸＲＴＴの値を「１」に設定してステップ１３９５に進み、本ルーチンを一旦終了する。 When the first probe unit 36 is in the first position, the CPU determines "Yes" in step 1355 and proceeds to step 1360, sets the value of the room temperature inspection completion flag XRTT to "1", and proceeds to step 1395. , Terminate this routine once.

なお、ステップ１３１５の第１プローブ部３６の下降指令実行後、第１プローブ部３６が第２位置にない場合、即ち、ホルダ２６にセットされたワーク１００のうち、何れかのワーク１００にて導通が確認できない場合、ＣＰＵはステップ１３２０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１３６５に進む。ここで、ＣＰＵは、警告部７０を用いてアラーム（警報）を発生させ、本装置１０の運転サイクルを停止させ、未検査フラグＸＭＩＫの値を「１」に設定してステップ１３９５に直接進み、本ルーチンを一旦終了する。 When the first probe portion 36 is not in the second position after the lowering command of the first probe portion 36 is executed in step 1315, that is, the work 100 set in the holder 26 is conductive. If is not confirmed, the CPU determines "No" in step 1320 and proceeds to step 1365. Here, the CPU uses the warning unit 70 to generate an alarm (alarm), stops the operation cycle of the present device 10, sets the value of the uninspected flag XMIK to "1", and directly proceeds to step 1395. Terminate this routine once.

ステップ１３５０の第１プローブ部３６の上昇指令実行後、第１プローブ部３６が第１位置にない場合、即ち、第１プローブ部３６が図示しない位置センサにより検知されない場合、ＣＰＵはステップ１３５５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１３７０に進み、警告部７０を用いてアラームを発生させ、本装置１０の運転サイクルを停止させ、未検査フラグＸＭＩＫの値を「１」に設定して、ステップ１３９５に進む。 After executing the ascending command of the first probe unit 36 in step 1350, if the first probe unit 36 is not in the first position, that is, if the first probe unit 36 is not detected by a position sensor (not shown), the CPU performs step 1355. It is determined as "No", the process proceeds to step 1370, an alarm is generated using the warning unit 70, the operation cycle of the apparatus 10 is stopped, the value of the uninspected flag XMIK is set to "1", and step 1395 is performed. Proceed to.

＜搬入工程＞
ステップ１４２０の搬入工程（搬入ルーチン）は図１４にフローチャートにより示される。ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１４００から処理を開始してステップ１４１０に進み、常温検査完了フラグＸＲＴＴの値が「０」から「１」に変化したか否かを判定する。例えば、常温検査完了フラグＸＲＴＴの値が「０」である場合（常温検査が行われていない又は正常に終了していない場合）、ＣＰＵはステップ１４１０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１４９５に直接進んで本ルーチンを一旦終了する。つまり、この場合、ＣＰＵは高温検査ルーチンを実行しない。 <Carry-in process>
The carry-in process (carry-in routine) of step 1420 is shown by a flowchart in FIG. The CPU starts the process from step 1400 at a predetermined timing and proceeds to step 1410 to determine whether or not the value of the room temperature inspection completion flag XRTT has changed from "0" to "1". For example, when the value of the normal temperature inspection completion flag XRTT is "0" (when the normal temperature inspection has not been performed or has not been completed normally), the CPU determines "No" in step 1410 and proceeds to step 1495. Proceed directly to end this routine. That is, in this case, the CPU does not execute the high temperature inspection routine.

一方、常温検査完了フラグＸＲＴＴの値が「０」から「１」に変化した場合、ＣＰＵはステップ１４１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１４２０に進み、ベルトコンベア作動指令を実行する。ベルトコンベア２２の所定部分は、第１検査部３０が検査を行う位置（第１検査位置）から第２検査部５０が検査を行う位置（第２検査位置）まで所定の速度にて移動するようになっている。 On the other hand, when the value of the room temperature inspection completion flag XRTT changes from "0" to "1", the CPU determines "Yes" in step 1410, proceeds to step 1420, and executes the belt conveyor operation command. The predetermined portion of the belt conveyor 22 moves at a predetermined speed from the position where the first inspection unit 30 inspects (first inspection position) to the position where the second inspection unit 50 inspects (second inspection position). It has become.

例えば、検査槽部４０内の温度が１００℃前後の高温に設定されている場合、ワーク１００が熱衝撃を受けにくくするために、ＣＰＵは、ホルダ２６が比較的低い速度にて検査槽部４０内に進入するようにベルトコンベア２２を移動させる。更に、その後、ワーク１００の温度が検査槽部４０内の設定温度と一致するまでにある程度の時間を要するため、ＣＰＵは、検査槽本体４２内にワーク１００が搬入されてから所定時間（第１所定時間）経過後に第２検査位置にて高温検査を開始するようになっている。即ち、ＣＰＵは、検査槽本体４２内にワーク１００を搬入させてから第１所定時間留置させた後、第２検査部５０を用いてワーク１００の電気的な出力を受信する。従って、例えば、ＣＰＵはワーク１００が検査槽本体４２に搬入されてから第１所定時間経過後に第２検査位置に到達するようにベルトコンベア２２を移動させる。 For example, when the temperature inside the inspection tank 40 is set to a high temperature of about 100 ° C., in order to make the work 100 less susceptible to thermal shock, the CPU uses the holder 26 at a relatively low speed for the inspection tank 40. The belt conveyor 22 is moved so as to enter the inside. Further, after that, it takes a certain amount of time for the temperature of the work 100 to match the set temperature in the inspection tank unit 40, so that the CPU takes a predetermined time (first) after the work 100 is carried into the inspection tank main body 42. After the lapse of a predetermined time), the high temperature inspection is started at the second inspection position. That is, the CPU receives the electrical output of the work 100 by using the second inspection unit 50 after carrying the work 100 into the inspection tank main body 42 and indwelling it for a first predetermined time. Therefore, for example, the CPU moves the belt conveyor 22 so as to reach the second inspection position after the lapse of the first predetermined time after the work 100 is carried into the inspection tank main body 42.

＜高温検査工程＞
ステップ１２３０の高温検査工程（高温検査ルーチン）は図１５にフローチャートにより示される。ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１５００から処理を開始してステップ１５０５に進み、第１所定時間（ワーク１００が検査槽本体４２内に搬入されてからの時間）が経過したか否かを判定する。第１所定時間が経過していない場合、ＣＰＵはステップ１５０５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５９５に直接進み、本ルーチンを一旦終了する。即ち、ＣＰＵは所定時間が経過するまで、高温検査を実行しない。 <High temperature inspection process>
The high temperature inspection step (high temperature inspection routine) of step 1230 is shown by a flowchart in FIG. The CPU starts the process from step 1500 at a predetermined timing, proceeds to step 1505, and determines whether or not the first predetermined time (time after the work 100 is carried into the inspection tank main body 42) has elapsed. .. If the first predetermined time has not elapsed, the CPU determines "No" in step 1505, proceeds directly to step 1595, and temporarily ends this routine. That is, the CPU does not execute the high temperature inspection until a predetermined time has elapsed.

一方、第１所定時間が経過している場合、ＣＰＵは、ステップ１５０５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５１０に進み、ホルダ２６が第２検査位置にあるか否かを判定する。ホルダ２６の位置は図示しない位置検出センサにより検出される。ホルダ２６が第２検査位置にある場合、ＣＰＵはステップ１５１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５１５に進み、第２検査部５０の第２プローブ部５６の下降指令を実行する。次いで、ＣＰＵはステップ１５２０に進み、第２プローブ部５６が第２位置（検査位置）にあるか否かを判定する。第１プローブ部３６の場合と同様に、第２プローブ部５６が第２位置にあるか否かは、ホルダ２６にセットされたワーク１００と第２プローブ部５６との電気的接触の有無により判定される。 On the other hand, when the first predetermined time has elapsed, the CPU determines "Yes" in step 1505 and proceeds to step 1510 to determine whether or not the holder 26 is in the second inspection position. The position of the holder 26 is detected by a position detection sensor (not shown). When the holder 26 is in the second inspection position, the CPU determines “Yes” in step 1510, proceeds to step 1515, and executes a lowering command of the second probe unit 56 of the second inspection unit 50. Next, the CPU proceeds to step 1520 and determines whether or not the second probe unit 56 is in the second position (inspection position). As in the case of the first probe portion 36, whether or not the second probe portion 56 is in the second position is determined by the presence or absence of electrical contact between the work 100 set in the holder 26 and the second probe portion 56. Will be done.

第２プローブ部５６が第２位置にある場合、ＣＰＵはステップ１５２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５２５に進み、高温検査用のプログラムを実行する。具体的には、ＣＰＵは、ワーク１００からのＲＯＭデータの読み出しを実行（要求）するとともに、入力端子１３１の電圧ＶＰ２を測定する。更に、ＣＰＵは常温検査にて取得された入力端子１３０の電圧ＶＰ１と、本高温検査にて取得された入力端子１３１の電圧ＶＰ２との差分値ΔＶ（＝ＶＰ１−ＶＰ２）を演算する。 When the second probe unit 56 is in the second position, the CPU determines "Yes" in step 1520, proceeds to step 1525, and executes a program for high temperature inspection. Specifically, the CPU executes (requests) reading of ROM data from the work 100 and measures the voltage VP2 of the input terminal 131. Further, the CPU calculates the difference value ΔV (= VP1-VP2) between the voltage VP1 of the input terminal 130 acquired in the normal temperature inspection and the voltage VP2 of the input terminal 131 acquired in the high temperature inspection.

次いで、ＣＰＵはステップ１５３０に進むと、ワーク１００からのＲＯＭデータの読み出しに成功したか否かを判定する。ＲＯＭデータの読み出しに成功した場合、ＣＰＵはステップ１５３０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５３５に進み、測定された電圧ＶＰ２が所定の電圧範囲内（第２閾値電圧Ｖｔｈ２以下）にあるか否かを判定する。測定された電圧ＶＰ２が所定の電圧範囲内にある場合、ＣＰＵはステップ１５３５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５４０に進み、差分値ΔＶが第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下であるか否かを判定する。差分値ΔＶが第３閾値電圧ΔＶｔｈ以下である場合、ＣＰＵはステップ１５４０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５４５に進み、高温検査良品フラグＸＨＯＫの値を「１」に設定してステップ１５６０に進む。 Next, when the CPU proceeds to step 1530, it determines whether or not the reading of the ROM data from the work 100 is successful. If the reading of the ROM data is successful, the CPU determines "Yes" in step 1530 and proceeds to step 1535, and whether or not the measured voltage VP2 is within the predetermined voltage range (second threshold voltage Vth2 or less). Is determined. When the measured voltage VP2 is within a predetermined voltage range, the CPU determines “Yes” in step 1535 and proceeds to step 1540 to determine whether or not the difference value ΔV is equal to or less than the third threshold voltage Vth3. To do. When the difference value ΔV is equal to or less than the third threshold voltage ΔVth, the CPU determines “Yes” in step 1540 and proceeds to step 1545, sets the value of the high temperature inspection non-defective product flag XHOK to “1”, and proceeds to step 1560. move on.

一方、ＲＯＭデータの読み出しに成功しなかった場合、ＣＰＵはステップ１５３０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５５０に進み、高温検査不良品フラグＸＨＮＧの値を「１」に設定してステップ１５６０に進む。また、測定された電圧ＶＰ２が所定の電圧範囲内にない場合、ＣＰＵはステップ１５３５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５５０に進み、高温検査不良品フラグＸＨＮＧの値を「１」に設定してステップ１５６０に進む。更に、差分値ΔＶが第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下でない場合、ＣＰＵはステップ１５４０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５５５に進み、電圧差不良品フラグＸＶＮＧの値を「１」に設定してステップ１５６０に進む。上記ステップ１５２５乃至ステップ１５５５は、ホルダ２６にセットされたワーク１００に対して個別に実行される。 On the other hand, if the reading of the ROM data is not successful, the CPU determines "No" in step 1530 and proceeds to step 1550, sets the value of the high temperature inspection defective product flag XHNG to "1", and proceeds to step 1560. move on. If the measured voltage VP2 is not within the predetermined voltage range, the CPU determines "No" in step 1535, proceeds to step 1550, and sets the value of the high temperature inspection defective product flag XHNG to "1". To step 1560. Further, when the difference value ΔV is not equal to or less than the third threshold voltage Vth3, the CPU determines “No” in step 1540 and proceeds to step 1555, sets the value of the voltage difference defective product flag XVNG to “1”, and steps. Proceed to 1560. The steps 1525 to 1555 are individually executed for the work 100 set in the holder 26.

各ワーク１００の検査が完了すると、ＣＰＵはステップ１５６０にて第２プローブ部５６の上昇指令を実行し、ステップ１５６５に進むと、第２プローブ部５６が第１位置（初期位置）にあるか否かを判定する。第２プローブ部５６が第１位置にあるか否かは、常温検査と同様に、図示しない位置検出センサが第２プローブ部５６を検出することにより行われる。 When the inspection of each work 100 is completed, the CPU executes an ascending command of the second probe unit 56 in step 1560, and when proceeding to step 1565, whether or not the second probe unit 56 is in the first position (initial position). Is determined. Whether or not the second probe unit 56 is in the first position is determined by detecting the second probe unit 56 with a position detection sensor (not shown), as in the normal temperature inspection.

第２プローブ部５６が第１位置にある場合、ＣＰＵはステップ１５６５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１５７０に進み、高温検査完了フラグＸＨＴＴの値を「１」に設定してステップ１５９５に進み、本ルーチンを一旦終了する。 When the second probe unit 56 is in the first position, the CPU determines "Yes" in step 1565 and proceeds to step 1570, sets the value of the high temperature inspection completion flag XHTT to "1", and proceeds to step 1595. , Terminate this routine once.

なお、ステップ１５０５にて「Ｙｅｓ」と判定された後、ホルダ２６が第２検査位置にない場合、ＣＰＵはステップ１５１０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５７５に進み、警告部７０を用いてアラームを発生させ、本装置１０の運転サイクルを停止するとともに未検査フラグＸＭＩＫの値を「１」に設定してステップ１５９５に直接進む。 If the holder 26 is not in the second inspection position after the determination of "Yes" in step 1505, the CPU determines "No" in step 1510, proceeds to step 1575, and uses the warning unit 70. An alarm is generated, the operation cycle of the apparatus 10 is stopped, the value of the uninspected flag XMIK is set to "1", and the process directly proceeds to step 1595.

また、ステップ１５１５にて第２プローブ部５６の下降指令を実行後、第２プローブ部５６が第２位置にない場合、ＣＰＵはステップ１５２０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５８０に進み、警告部７０を用いてアラームを発生させ、本装置１０の運転サイクルを停止するとともに未検査フラグＸＭＩＫの値を「１」に設定してステップ１５９５に直接進む。 Further, if the second probe unit 56 is not in the second position after executing the lowering command of the second probe unit 56 in step 1515, the CPU determines "No" in step 1520 and proceeds to step 1580 to warn. The unit 70 is used to generate an alarm, the operation cycle of the apparatus 10 is stopped, the value of the uninspected flag XMIK is set to "1", and the process directly proceeds to step 1595.

更に、ステップ１５６０にて第２プローブ部５６の上昇指令を実行後、第２プローブ部５６が第１位置にない場合、ＣＰＵはステップ１５６５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１５８５に進み、警告部７０を用いてアラームを発生させ、本装置１０の運転サイクルを停止してステップ１５９５に進む。 Further, if the second probe unit 56 is not in the first position after executing the ascending command of the second probe unit 56 in step 1560, the CPU determines "No" in step 1565 and proceeds to step 1585 to warn. An alarm is generated by using the unit 70, the operation cycle of the apparatus 10 is stopped, and the process proceeds to step 1595.

＜搬出工程＞
ステップ１２４０の搬出工程（搬出ルーチン）は図１６にフローチャートにより示される。ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１６００から処理を開始してステップ１６１０に進み、高温検査完了フラグＸＨＴＴの値が「０」から「１」に変化したか否かを判定する。例えば、高温検査完了フラグＸＨＴＴの値が「０」である場合（高温検査が行われていない又は正常に終了していない場合）、ＣＰＵはステップ１６１０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１６９５に直接進んで本ルーチンを一旦終了する。 <Delivery process>
The unloading process (unloading routine) of step 1240 is shown by a flowchart in FIG. The CPU starts the process from step 1600 at a predetermined timing and proceeds to step 1610 to determine whether or not the value of the high temperature inspection completion flag XHTT has changed from "0" to "1". For example, when the value of the high temperature inspection completion flag XHTT is "0" (when the high temperature inspection is not performed or the high temperature inspection is not completed normally), the CPU determines "No" in step 1610 and proceeds to step 1695. Proceed directly to end this routine.

一方、高温検査完了フラグＸＨＴＴの値が「０」から「１」に変化した場合、ＣＰＵはステップ１６１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１６２０に進み、ベルトコンベア作動指令を実行する。ワーク１００は、ベルトコンベア２２により所定の速度にて搬送され、所定時間（第２所定時間）後に選別部６０の所定の選別位置に到達するようになっている。 On the other hand, when the value of the high temperature inspection completion flag XHTT changes from "0" to "1", the CPU determines "Yes" in step 1610, proceeds to step 1620, and executes the belt conveyor operation command. The work 100 is conveyed by the belt conveyor 22 at a predetermined speed, and reaches a predetermined sorting position of the sorting unit 60 after a predetermined time (second predetermined time).

＜選別工程＞
ステップ１２５０の選別工程（選別ルーチン）は図１７にフローチャートにより示される。ＣＰＵは所定のタイミングにてステップ１７００から処理を開始してステップ１７１０に進み、ステップ１６２０のベルトコンベア作動指令が実行されてから第２所定時間が経過したか否かを判定する。第２所定時間が経過していない場合、ＣＰＵはステップ１７１０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１７９５に直接進んで本ルーチンを一旦終了する。 <Sorting process>
The sorting step (sorting routine) of step 1250 is shown by a flowchart in FIG. The CPU starts the process from step 1700 at a predetermined timing and proceeds to step 1710, and determines whether or not a second predetermined time has elapsed since the belt conveyor operation command in step 1620 was executed. If the second predetermined time has not elapsed, the CPU determines "No" in step 1710 and directly proceeds to step 1795 to temporarily end this routine.

一方、ベルトコンベア作動指令が実行されてから第２所定時間が経過している場合、ＣＰＵはステップ１７１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１７２０に進み、ホルダ２６が選別位置にあるか否かを判定する。ホルダ２６が選別位置にあるか否かは、図示しない位置検出センサによって検出される。ホルダ２６が選別位置にある場合、ＣＰＵはステップ１７２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１７３０に進み、ワーク１００をピックアップ装置６２によりピックアップする。 On the other hand, when the second predetermined time has elapsed since the belt conveyor operation command was executed, the CPU determines "Yes" in step 1710 and proceeds to step 1720 to see if the holder 26 is in the sorting position. To judge. Whether or not the holder 26 is in the sorting position is detected by a position detection sensor (not shown). When the holder 26 is in the sorting position, the CPU determines “Yes” in step 1720, proceeds to step 1730, and picks up the work 100 by the pickup device 62.

次いで、ＣＰＵはステップ１７４０に進み、ピックアップされたワーク１００が高温検査にて良品であると判定された（高温検査良品フラグＸＨＯＫの値が「１」である）ワークであるか否かを判定する。つまり、ＣＰＵは、ピックアップされたワーク１００に対応する高温検査良品フラグＸＨＯＫの値が「１」である場合、ステップ１７４０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１７５０に進み、当該ワーク１００を良品箱６４へ収容させる。その後、ＣＰＵはステップ１７９５に進み、本ルーチンを一旦終了する。 Next, the CPU proceeds to step 1740 and determines whether or not the picked-up work 100 is a work that has been determined to be a non-defective product by the high-temperature inspection (the value of the high-temperature inspection non-defective product flag XHOK is "1"). .. That is, when the value of the high temperature inspection non-defective product flag XHOK corresponding to the picked-up work 100 is "1", the CPU determines "Yes" in step 1740 and proceeds to step 1750 to move the work 100 to the non-defective product box. Contain to 64. After that, the CPU proceeds to step 1795 and temporarily ends this routine.

一方、当該ワーク１００に対応する高温検査良品フラグＸＨＯＫの値が「０」である、即ち、ワーク１００が不良品であると判定された場合、ＣＰＵは、ステップ１７４０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１７６０に進み、当該ワーク１００を不良品箱６６へ収容させる。 On the other hand, when the value of the high temperature inspection non-defective product flag XHOK corresponding to the work 100 is "0", that is, when it is determined that the work 100 is a defective product, the CPU determines "No" in step 1740. Step 1760 is performed, and the work 100 is housed in the defective box 66.

なお、第２所定時間経過後にホルダ２６が選別位置にない場合、ＣＰＵはステップ１７２０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１７７０に進み、警告部７０を用いてアラームを発生させるとともに本装置１０の運転サイクルを停止させる。 If the holder 26 is not in the sorting position after the lapse of the second predetermined time, the CPU determines "No" in step 1720 and proceeds to step 1770, uses the warning unit 70 to generate an alarm, and the apparatus 10 Stop the operation cycle.

以上、説明したように、本装置１０は、検査槽部４０と、搬送部２０と、第１プローブ部３６と、第２プローブ部５６と、プローブ移動機構３０、５０と、電圧印加部８２と、電圧測定部８４と、コマンド送受信部８６と、制御・判定部８０と、を備える。 As described above, the present device 10 includes the inspection tank unit 40, the transport unit 20, the first probe unit 36, the second probe unit 56, the probe moving mechanisms 30 and 50, and the voltage application unit 82. , A voltage measuring unit 84, a command transmitting / receiving unit 86, and a control / determination unit 80.

検査槽部４０は、被検査物１００を配置可能な空間を有し、上記空間の温度を所定の検査温度に設定することができる。搬送部２０は、検査槽部４０に被検査物１００を搬入するとともに検査槽部４０から被検査物１００を搬出する。 The inspection tank unit 40 has a space in which the object to be inspected 100 can be placed, and the temperature of the space can be set to a predetermined inspection temperature. The transport unit 20 carries the inspected object 100 into the inspection tank unit 40 and also carries out the inspected object 100 from the inspection tank unit 40.

第１プローブ部３６は、検査槽部４０の外部の第１検査位置にて静止している被検査物１００の端子１３０と電気的に接触させるための接触子３８ｆを備える。第２プローブ部５６は、検査槽部４０の内部の第２検査位置にて静止している被検査物１００の端子１３０と電気的に接触させるための接触子３８ｆを備える。プローブ移動機構３０、５０は、第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６を複数の端子１３０と複数の接触子３８ｆとが何れも接触しない位置である第１位置と、複数の端子１３０と複数の接触子３８ｆとが接触し得る位置である第２位置との間において移動可能である。 The first probe unit 36 includes a contactor 38f for electrically contacting the terminal 130 of the object to be inspected 100 that is stationary at the first inspection position outside the inspection tank unit 40. The second probe portion 56 includes a contactor 38f for electrically contacting the terminal 130 of the object to be inspected 100 that is stationary at the second inspection position inside the inspection tank portion 40. The probe moving mechanisms 30 and 50 have a first position where the first probe portion 36 and the second probe portion 56 are not in contact with the plurality of terminals 130 and the plurality of contacts 38f, and a plurality of terminals 130. It is movable between the second position, which is a position where the contactor 38f of the above can be contacted.

電圧印加部８２は、複数の接触子３８ｆに所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加する。電圧測定部８４は、所定の駆動電圧ＶＩＧＮが印加されたときの接触子３８ｆの電圧を測定する。コマンド送受信部８６は、コマンドを被検査物１００に送信するとともに被検査物１００からコマンドに対する応答を受信する。 The voltage application unit 82 applies a predetermined drive voltage VIGN to the plurality of contacts 38f. The voltage measuring unit 84 measures the voltage of the contact 38f when a predetermined driving voltage VIGN is applied. The command transmission / reception unit 86 transmits a command to the inspected object 100 and receives a response to the command from the inspected object 100.

制御・判定部８０は、先ず、所定の検査温度を検査槽部４０の外部の温度である第１温度とは異なる第２温度に設定する。更に、制御・判定部８０は、以下の各検査、ワーク１００の搬入、搬出及び選別を実行する。 First, the control / determination unit 80 sets a predetermined inspection temperature to a second temperature different from the first temperature, which is the temperature outside the inspection tank unit 40. Further, the control / determination unit 80 executes each of the following inspections, loading, unloading, and sorting of the work 100.

（１）第１検査（常温検査）
・ワーク１００が第１検査位置にあるとき、第１プローブ部３６を第１位置から第２位置に移動させた状態にて、コマンド送受信部８６により第１接触子Ｔ１に所定のコマンドを送信するとともに第２接触子Ｔ２から所定のコマンドに対する応答を受信する。
・電圧印加部８２を用いて第３接触子Ｔ３に所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加するとともに電圧測定部８４を用いて第１温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１を測定する。
・受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに測定された第１温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１が第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上であるか否かを判定し、第１プローブ部３６を第１位置に移動させる。 (1) First inspection (normal temperature inspection)
When the work 100 is in the first inspection position, the command transmission / reception unit 86 transmits a predetermined command to the first contactor T1 in a state where the first probe unit 36 is moved from the first position to the second position. At the same time, a response to a predetermined command is received from the second contactor T2.
A predetermined drive voltage VIGN is applied to the third contact T3 using the voltage application unit 82, and the voltage VP1 of the third contact T3 at the first temperature is measured using the voltage measurement unit 84.
-It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage VP1 of the third contact T3 at the measured first temperature is equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. The probe portion 36 is moved to the first position.

（２）ワークの搬入
搬送部２０を用いて検査槽部４０内にワーク１００を搬入させる。 (2) Carrying in the work The work 100 is carried into the inspection tank part 40 by using the carrying part 20.

（３）第２検査（高温検査）
・ワーク１００が第２検査位置にあるとき、第２プローブ部５６を第１位置から第２位置に移動させた状態にて、コマンド送受信部８６により第１接触子Ｔ１に所定のコマンドを送信するとともに第２接触子Ｔ２から所定のコマンドに対する応答を受信する。
・電圧印加部８２を用いて第３接触子Ｔ３に所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加するとともに電圧測定部８４を用いて第２温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ２を測定する。
・受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに測定された第２温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ２が第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上であるか否かを判定し、第２プローブ部５６を第１位置に移動させる。 (3) Second inspection (high temperature inspection)
When the work 100 is in the second inspection position, the command transmission / reception unit 86 transmits a predetermined command to the first contactor T1 in a state where the second probe unit 56 is moved from the first position to the second position. At the same time, a response to a predetermined command is received from the second contactor T2.
A predetermined drive voltage VIGN is applied to the third contact T3 using the voltage application unit 82, and the voltage VP2 of the third contact T3 at the second temperature is measured using the voltage measurement unit 84.
-It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage VP2 of the third contactor T3 at the measured second temperature is equal to or higher than the second threshold voltage Vth2. The probe portion 56 is moved to the first position.

（４）第３検査
第１温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１と第２温度における第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ２との差分値ΔＶが第３閾値電圧Ｖｔｈ３以下であるか否かを判定する。 (4) Third inspection It is determined whether or not the difference value ΔV between the voltage VP1 of the third contact T3 at the first temperature and the voltage VP2 of the third contact T3 at the second temperature is equal to or less than the third threshold voltage Vth3. To do.

（５）ワークの搬出
搬送部２０を用いて検査槽部４０からワーク１００を搬出する。 (5) Carrying out the work The work 100 is carried out from the inspection tank part 40 by using the carrying part 20.

（６）ワークの選別
第３検査の判定結果に基づいてワーク１００を良品と不良品とに選別する。 (6) Sorting of works The work 100 is sorted into non-defective products and defective products based on the judgment result of the third inspection.

これによれば、ワーク１００の常温における通電検査及び常温以外の温度における通電検査を、作業者を介入させることなく連続的に実施することができる。その結果、検査工程の工数を削減し且つタクトタイムを短縮することができる。更に、検査後のワーク１００の選別を自動で実行することにより、検査工程の工数を削減することができる。更に、通電検査装置のプローブ部のピン３８ｆとワーク１００の端子１３０とが非接触状態で検査されることを防止することができる。その結果、不良品を流出させない通電検査装置を提供することができる。 According to this, the energization inspection at room temperature and the energization inspection at a temperature other than normal temperature of the work 100 can be continuously performed without intervention of an operator. As a result, the man-hours of the inspection process can be reduced and the tact time can be shortened. Further, the man-hours in the inspection process can be reduced by automatically selecting the work 100 after the inspection. Further, it is possible to prevent the pin 38f of the probe portion of the energization inspection device and the terminal 130 of the work 100 from being inspected in a non-contact state. As a result, it is possible to provide an energization inspection device that does not allow defective products to flow out.

更に、本装置１０によれば、前記制御・判定部８０は、所定のコマンドを送信し、所定のコマンドに対する応答を受信し、応答が正しい応答であると判定した後に、電圧印加部８２により所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加したときの第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１、ＶＰ２を測定するように構成されている。従って、この場合、コマンド送受信が正しく行われたか否かを表すフラグが不要となる。 Further, according to the present device 10, the control / determination unit 80 transmits a predetermined command, receives a response to the predetermined command, determines that the response is a correct response, and then determines the voltage application unit 82. It is configured to measure the voltages VP1 and VP2 of the third contactor T3 when the driving voltage VIGN of the above is applied. Therefore, in this case, a flag indicating whether or not the command is transmitted / received correctly becomes unnecessary.

＜他の実施形態＞
ところで、これまでの説明から理解されるように、本装置１０にて行われる通電検査においては、ベルトコンベア２２を停止させているときにのみ第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６の下降並びにＲＯＭデータの読み出し等が実施可能である。そこで、ベルトコンベア２２が停止しているときに常温検査（第１検査）と高温検査（第２検査）とを同時に実施することがタクトタイムの短縮に有効である。以下、常温検査と高温検査とを同時に実施する例について説明する。 <Other embodiments>
By the way, as understood from the above description, in the energization inspection performed by the present device 10, the first probe portion 36 and the second probe portion 56 are lowered and the second probe portion 56 is lowered only when the belt conveyor 22 is stopped. It is possible to read ROM data and the like. Therefore, it is effective to shorten the tact time by simultaneously performing the room temperature inspection (first inspection) and the high temperature inspection (second inspection) when the belt conveyor 22 is stopped. Hereinafter, an example in which the normal temperature inspection and the high temperature inspection are performed at the same time will be described.

例えば、常温検査（第１検査）が完了してから高温検査（第２検査）が開始されるまでのインターバルが１時間に設定される場合を考える。例えば、１０分毎にベルトコンベア２２が停止され、停止期間中に常温検査が実施される場合、最初の常温検査の開始から１時間経過するまで、合計６回の常温検査が実施される。同様に、例えば、１５分毎にベルトコンベア２２が停止され、停止期間中に常温検査が実施される場合、最初の常温検査の開始から１時間経過するまで、合計４回の常温検査が実施される。以下、１５分毎に常温検査が実施される場合を例に図１８及び図１９を参照しながら説明する。 For example, consider a case where the interval from the completion of the normal temperature inspection (first inspection) to the start of the high temperature inspection (second inspection) is set to one hour. For example, when the belt conveyor 22 is stopped every 10 minutes and the room temperature inspection is performed during the stop period, the room temperature inspection is performed a total of 6 times from the start of the first room temperature inspection until 1 hour has passed. Similarly, for example, when the belt conveyor 22 is stopped every 15 minutes and the room temperature inspection is performed during the stop period, a total of four room temperature inspections are performed from the start of the first room temperature inspection until one hour has passed. Ru. Hereinafter, a case where the room temperature inspection is performed every 15 minutes will be described with reference to FIGS. 18 and 19.

図１８に示したように、ベルトコンベア２２が２分間の停止と１３分間の定速移動のセット（合計１５分間のセット）を繰り返すように電動モータ２４が制御される。定速移動の速度は、最初のセットの停止期間において第１検査位置に位置していたワーク＃１（図１９の（Ａ）を参照。）が、上記セットを４回繰り返したとき、第２検査位置に位置する（図１９の（Ｂ）を参照。）ように決定される。この場合、ワーク＃１〜＃５はベルトコンベア２２上にベルトコンベア２２の搬送方向（Ｘ方向）に等間隔に配置される。 As shown in FIG. 18, the electric motor 24 is controlled so that the belt conveyor 22 repeats a set of stopping for 2 minutes and moving at a constant speed for 13 minutes (set for a total of 15 minutes). The speed of constant speed movement is the second when the work # 1 (see (A) in FIG. 19), which was located at the first inspection position during the stop period of the first set, repeats the above set four times. It is determined to be located at the inspection position (see (B) in FIG. 19). In this case, the works # 1 to # 5 are arranged on the belt conveyor 22 at equal intervals in the transport direction (X direction) of the belt conveyor 22.

上記のように設定すると、図１８に示したように、次のセット（つまり、５回目のセット）において、第１検査部３０にてワーク＃５の検査と、第２検査部５０にてワーク＃１の検査と、を同時に実施することができる。つまり、ベルトコンベア２２が停止しているときにのみ第１検査部３０及び第２検査部５０にて検査が実施され、ベルトコンベア２２が移動しているときには、第１検査部３０においても第２検査部５０においても検査は実施されない。 With the above settings, as shown in FIG. 18, in the next set (that is, the fifth set), the first inspection unit 30 inspects the work # 5 and the second inspection unit 50 inspects the work. The inspection of # 1 and the inspection can be carried out at the same time. That is, the inspection is carried out by the first inspection unit 30 and the second inspection unit 50 only when the belt conveyor 22 is stopped, and when the belt conveyor 22 is moving, the first inspection unit 30 also performs the inspection. The inspection unit 50 also does not carry out the inspection.

このように、ベルトコンベア２２（搬送部２０）と、第１検査部３０と、第２検査部５０と、を連動させることにより、効率よくワーク１００の検査を実行することができる。その結果、更に通電検査のタクトタイムが短縮され得る。 In this way, by interlocking the belt conveyor 22 (conveying unit 20), the first inspection unit 30, and the second inspection unit 50, the inspection of the work 100 can be efficiently executed. As a result, the takt time of the energization inspection can be further shortened.

なお、上記の各数値（検査のインターバル、検査時間及び繰り返しの回数）は、あくまでの本発明の理解を助けるための例示であって、本発明を限定するものではない。これらの数値は、本発明の範囲内において適宜変更されてもよい。 It should be noted that each of the above numerical values (inspection interval, inspection time and number of repetitions) is merely an example for assisting the understanding of the present invention, and does not limit the present invention. These numerical values may be changed as appropriate within the scope of the present invention.

＜変形例＞
本発明は上記実施形態に限定されることはなく、以下に述べるように、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。 <Modification example>
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be adopted within the scope of the present invention as described below.

上記実施形態において、検査槽部４０内の温度は常温よりも高温に設定されていたが、検査槽部４０内の温度は、常温よりも低温に設定されていてもよい。即ち、本発明の範囲は、常温における通電検査と、常温以外の温度における通電検査と、を連続して実行する方法及び当該方法を実現する検査装置である。 In the above embodiment, the temperature inside the inspection tank 40 is set to be higher than room temperature, but the temperature inside the inspection tank 40 may be set to be lower than room temperature. That is, the scope of the present invention is a method of continuously performing an energization inspection at room temperature and an energization inspection at a temperature other than room temperature, and an inspection device that realizes the method.

上記実施形態において、第１アクチュエータ３２及び第２アクチュエータ５２は、圧縮空気を用いたエアシリンダにより構成されていたが、第１アクチュエータ３２及び第２アクチュエータ５２は、周知の油圧シリンダにより構成されてもよいし、周知の電動リニアモータにより構成されてもよい。 In the above embodiment, the first actuator 32 and the second actuator 52 are configured by an air cylinder using compressed air, but the first actuator 32 and the second actuator 52 may be configured by a well-known hydraulic cylinder. Alternatively, it may be configured by a well-known electric linear motor.

上記実施形態において、第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６が第２位置に位置しているか否かは、第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６の接触子３８ｆがそれぞれ対応するワーク１００の端子１３０と電気的に接触しているか否かにより判定されていた。これに対し、第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６のＺ方向の位置を、検出センサを用いて検出し、第１プローブ部３６及び第２プローブ部５６が第２位置に位置しているか否かを判定するように構成してもよい。 In the above embodiment, whether or not the first probe portion 36 and the second probe portion 56 are located at the second position depends on the work 100 to which the contacts 38f of the first probe portion 36 and the second probe portion 56 correspond to each other. It was determined by whether or not it was in electrical contact with the terminal 130 of. On the other hand, the positions of the first probe unit 36 and the second probe unit 56 in the Z direction are detected by using the detection sensor, and whether the first probe unit 36 and the second probe unit 56 are located at the second position. It may be configured to determine whether or not.

上記実施形態において、制御・判定部８０は、第１検査にて先ず、コマンド送受信を行い、正しい応答があったと判定した後、所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加し、第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１が第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上であるか否かを判定していた。更に、制御・判定部８０は、第２検査にて先ず、コマンド送受信を行い、正しい応答があったと判定した後、所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加し、第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ２が第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上であるか否かを判定していた（図１１を参照。）。しかし、制御・判定部は、図２０に示したように、第１検査にて先ず、所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加し、第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ１が第１閾値電圧Ｖｔｈ１以上であると判定した後、コマンド送受信を行い、正しい応答があるか否かを判定してもよい。更に、制御・判定部は、第２検査にて先ず、所定の駆動電圧ＶＩＧＮを印加し、第３接触子Ｔ３の電圧ＶＰ２が第２閾値電圧Ｖｔｈ２以上であると判定した後、コマンド送受信を行い、正しい応答があるか否かを判定してもよい。 In the above embodiment, the control / determination unit 80 first transmits / receives commands in the first inspection, determines that a correct response has been obtained, applies a predetermined drive voltage VIGN, and applies a predetermined drive voltage VIGN to the voltage VP1 of the third contact T3. Was determined whether or not was equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. Further, the control / determination unit 80 first sends and receives commands in the second inspection, determines that a correct response has been obtained, and then applies a predetermined drive voltage VIGN, and the voltage VP2 of the third contact T3 is second. It was determined whether or not the threshold voltage was Vth2 or higher (see FIG. 11). However, as shown in FIG. 20, the control / determination unit first applies a predetermined drive voltage VIGN in the first inspection, and determines that the voltage VP1 of the third contact T3 is equal to or higher than the first threshold voltage Vth1. After the determination, commands may be sent and received to determine whether or not there is a correct response. Further, the control / judgment unit first applies a predetermined drive voltage VIGN in the second inspection, determines that the voltage VP2 of the third contact T3 is equal to or higher than the second threshold voltage Vth2, and then sends and receives commands. , You may determine if there is a correct response.

１０…検査装置、２０…搬送部、２２…ベルトコンベア、３０…第１検査部、３２…第１アクチュエータ、３６…第１プローブ部、３８…プローブヘッド、３８ｆ…接触子、４０…検査槽部、５０…第２検査部、５２…第２アクチュエータ、５６…第２プローブ部、６０…選別部、８０…制御・判定部、８２…電圧印加部、８４…電圧測定部、８６…コマンド送受信部、１００…被検査物（ワーク）、１１０…被検査物本体、１２０…コネクタ部、１３０…端子、Ｔ１…第１接触子、Ｔ２…第２接触子、Ｔ３…第３接触子。

10 ... Inspection device, 20 ... Conveyor unit, 22 ... Belt conveyor, 30 ... First inspection unit, 32 ... 1st actuator, 36 ... First probe unit, 38 ... Probe head, 38f ... Connector, 40 ... Inspection tank unit , 50 ... 2nd inspection unit, 52 ... 2nd actuator, 56 ... 2nd probe unit, 60 ... sorting unit, 80 ... control / judgment unit, 82 ... voltage application unit, 84 ... voltage measurement unit, 86 ... command transmission / reception unit , 100 ... Inspected object (work), 110 ... Inspected object main body, 120 ... Connector part, 130 ... Terminal, T1 ... First contactor, T2 ... Second contactor, T3 ... Third contactor.

Claims (8)

被検査物が備える複数の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備えるプローブ部と、
前記プローブ部を前記複数の端子と前記複数の接触子とが何れも接触しない位置である第１位置と、前記複数の端子と前記複数の接触子とが接触し得る位置である第２位置との間において移動可能にするプローブ移動機構と、
前記複数の接触子に所定の駆動電圧を印加する電圧印加部と、
前記所定の駆動電圧が印加されたときの前記接触子の電圧を測定する電圧測定部と、
コマンドを前記被検査物に送信するとともに前記被検査物から前記コマンドに対する応答を受信するコマンド送受信部と、
前記プローブ移動機構により前記プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて前記コマンド送受信部により前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、
前記電圧印加部を用いて前記プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記電圧測定部により前記第３接触子の電圧を測定し、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記第３接触子の電圧が所定の電圧範囲にあるか否かを判定する通電検査を実行する、制御・判定部と、
を備えた、通電検査装置において、
前記制御・判定部は、
前記受信された応答が正しい応答であると判定し、且つ、前記第３接触子の電圧が所定の電圧範囲にあるとき、前記被検査物が良品であると判定する、
通電検査装置。 A probe unit having a plurality of contacts for making electrical contact with a plurality of terminals provided on the object to be inspected,
The probe portion has a first position where the plurality of terminals and the plurality of contacts do not contact, and a second position where the plurality of terminals and the plurality of contacts can come into contact with each other. A probe movement mechanism that allows movement between
A voltage application unit that applies a predetermined drive voltage to the plurality of contacts,
A voltage measuring unit that measures the voltage of the contact when the predetermined drive voltage is applied, and
A command transmission / reception unit that sends a command to the inspected object and receives a response to the command from the inspected object.
In a state where the probe portion is moved from the first position to the second position by the probe moving mechanism, the command transmission / reception unit issues a predetermined command to the first contact among the plurality of contacts of the probe portion. At the same time as transmitting, a response to the predetermined command is received from the second contact among the plurality of contacts of the probe unit.
The voltage application unit is used to apply the predetermined drive voltage to the third contact among the plurality of contacts of the probe unit, and the voltage measuring unit measures the voltage of the third contact.
A control / determination unit that determines whether or not the received response is a correct response and executes an energization inspection that determines whether or not the voltage of the third contactor is within a predetermined voltage range.
In the energization inspection device equipped with
The control / judgment unit
When it is determined that the received response is a correct response and the voltage of the third contact is within a predetermined voltage range, it is determined that the object to be inspected is a good product.
Energization inspection device. 請求項１に記載の通電検査装置であって、
前記被検査物を配置可能な空間を有し、前記空間の温度を所定の検査温度に設定可能な検査槽部と、
前記検査槽部に前記被検査物を搬入するとともに前記検査槽部から前記被検査物を搬出する搬送部と、
を更に備え、
前記プローブ部として、前記検査槽部の外部の第１検査位置にて静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備えた第１プローブ部、及び前記検査槽部の内部の第２検査位置にて静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備えた第２プローブ部、を備えた、
通電検査装置において、
前記制御・判定部は、
前記所定の検査温度を前記検査槽部の外部の温度である第１温度とは異なる第２温度に設定し、
前記被検査物が前記第１検査位置にあるとき、前記第１プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記コマンド送受信部により前記第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、
前記電圧印加部を用いて前記第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記電圧測定部を用いて前記第１温度における前記第３接触子の電圧を測定し、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第１温度における前記第３接触子の電圧が第１閾値電圧以上であるか否かを判定し、前記第１プローブ部を前記第１位置に移動させる第１検査を実行し、
前記搬送部を用いて前記検査槽部内に前記被検査物を搬入させ、
前記被検査物が前記第２検査位置にあるとき、前記第２プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記コマンド送受信部により前記第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、
前記電圧印加部を用いて前記第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記電圧測定部を用いて前記第２温度における前記第３接触子の電圧を測定し、
前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第２温度における前記第３接触子の電圧が第２閾値電圧以上であるか否かを判定し、前記第２プローブ部を前記第１位置に移動させる第２検査を実行し、
前記第１温度における前記第３接触子の電圧と前記第２温度における前記第３接触子の電圧との差分値が第３閾値電圧以下であるか否かを判定する第３検査を実行し、
前記搬送部を用いて前記検査槽部から前記被検査物を搬出する、
通電検査装置。 The energization inspection device according to claim 1.
An inspection tank unit having a space in which the object to be inspected can be placed and the temperature of the space can be set to a predetermined inspection temperature.
A transport unit that carries the object to be inspected into the inspection tank and carries out the object to be inspected from the inspection tank.
With more
As the probe portion, a first probe portion provided with a plurality of contacts for making electrical contact with terminals of the object to be inspected, which is stationary at a first inspection position outside the inspection tank portion, and the probe portion. A second probe portion provided with a plurality of contacts for making electrical contact with the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the second inspection position inside the inspection tank portion, is provided.
In the energization inspection device
The control / judgment unit
The predetermined inspection temperature is set to a second temperature different from the first temperature, which is the temperature outside the inspection tank portion.
When the object to be inspected is in the first inspection position, the first probe unit is moved from the first position to the second position, and the command transmission / reception unit determines the first contact. A command is sent and a response to the predetermined command is received from the second contact.
The voltage application unit is used to apply the predetermined drive voltage to the third contact, and the voltage measurement unit is used to measure the voltage of the third contact at the first temperature.
It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage of the third contact at the measured first temperature is equal to or higher than the first threshold voltage. 1 Perform the first inspection to move the probe part to the first position,
The object to be inspected is carried into the inspection tank section using the transport section.
When the object to be inspected is in the second inspection position, the second probe portion is moved from the first position to the second position, and the command transmission / reception unit determines the first contact. A command is sent and a response to the predetermined command is received from the second contact.
The voltage application unit is used to apply the predetermined drive voltage to the third contact, and the voltage measurement unit is used to measure the voltage of the third contact at the second temperature.
It is determined whether or not the received response is a correct response, and whether or not the voltage of the third contact at the measured second temperature is equal to or higher than the second threshold voltage. 2 Perform the second inspection to move the probe part to the first position,
A third inspection for determining whether or not the difference value between the voltage of the third contact at the first temperature and the voltage of the third contact at the second temperature is equal to or less than the third threshold voltage is executed.
The object to be inspected is carried out from the inspection tank section using the transport section.
Energization inspection device. 請求項２に記載の通電検査装置において、
前記制御・判定部は、
前記第１検査において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第１閾値電圧以上であると判定する第１判定条件、
前記第２検査において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第２閾値電圧以上であると判定する第２判定条件、及び
前記第３検査において前記差分値が前記第３閾値電圧以下であると判定する第３判定条件、
のすべての条件が成立したとき、前記通電検査にて前記被検査物が良品であると判定し、
前記第１判定条件、前記第２判定条件及び前記第３判定条件の少なくとも何れか一つが成立しないとき、前記通電検査にて前記被検査物が不良品であると判定する、
通電検査装置。 In the energization inspection device according to claim 2,
The control / judgment unit
The first determination condition, in which it is determined in the first inspection that the received response is the correct response and the voltage of the third contact is equal to or higher than the first threshold voltage.
In the second determination condition, in which it is determined that the received response is the correct response in the second inspection and the voltage of the third contact is equal to or higher than the second threshold voltage, and in the third inspection. A third determination condition for determining that the difference value is equal to or less than the third threshold voltage,
When all of the above conditions are met, the energization inspection determines that the object to be inspected is a non-defective product.
When at least one of the first determination condition, the second determination condition, and the third determination condition is not satisfied, the energization inspection determines that the object to be inspected is a defective product.
Energization inspection device. 請求項２に記載の通電検査装置において、
前記制御・判定部は、前記所定のコマンドを送信し、当該所定のコマンドに対する応答を受信し、前記応答が前記正しい応答であると判定した後に、前記電圧印加部により前記所定の駆動電圧を印加したときの前記第３接触子の電圧を測定するように構成された、
通電検査装置。 In the energization inspection device according to claim 2,
The control / determination unit transmits the predetermined command, receives a response to the predetermined command, determines that the response is the correct response, and then applies the predetermined drive voltage by the voltage application unit. It was configured to measure the voltage of the third contact when
Energization inspection device. 請求項３に記載の通電検査装置において、
前記通電検査において良品であると判定された被検査物と、前記通電検査において不良品であると判定された被検査物と、を選別する選別部を更に備えた、
通電検査装置。 In the energization inspection device according to claim 3,
Further provided with a sorting unit for sorting an inspected object determined to be a non-defective product in the energization inspection and an inspected object determined to be a defective product in the energization inspection.
Energization inspection device. 請求項２に記載の通電検査装置において、
前記制御・判定部は、
前記搬送部上に前記搬送部の搬送方向に所定の間隔で配置された複数の前記被検査物のうち、第１の被検査物を検査するための前記第１検査と、既に前記第１検査が実行された第２の被検査物を検査するための前記第２検査と、を同時に実行するように構成された、
通電検査装置。 In the energization inspection device according to claim 2,
The control / judgment unit
The first inspection for inspecting the first inspected object among a plurality of the inspected objects arranged on the conveying portion in the conveying direction of the conveying section at predetermined intervals, and the first inspection already. Was configured to simultaneously perform the second inspection for inspecting the second subject to be inspected.
Energization inspection device. 請求項２に記載の通電検査装置において、
前記第３接触子の電圧は、ツェナーダイオードの漏れ電流と相関を有している、
通電検査装置。 In the energization inspection device according to claim 2,
The voltage of the third contact correlates with the leakage current of the Zener diode.
Energization inspection device. 被検査物を配置可能な空間を有する検査槽部の外部の第１検査位置に静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備え、前記複数の端子と前記複数の接触子とが何れも接触しない位置である第１位置と、前記複数の端子と前記複数の接触子とが接触し得る位置である第２位置との間を移動可能な第１プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、前記第１プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに第１温度における前記第３接触子の電圧を測定し、前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第１温度における前記第３接触子の電圧が第１閾値電圧以上であるか否かを判定し、前記第１プローブ部を前記第１位置に移動させる第１検査工程、
前記検査槽部内に前記被検査物を搬入させる搬入工程、
前記検査槽部の内部の第２検査位置に静止している前記被検査物の端子と電気的に接触させるための複数の接触子を備え、前記第１位置と前記第２位置との間を移動可能な第２プローブ部を前記第１位置から前記第２位置に移動させた状態にて、前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第１接触子に所定のコマンドを送信するとともに前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第２接触子から前記所定のコマンドに対する応答を受信し、前記第２プローブ部の前記複数の接触子のうち第３接触子に前記所定の駆動電圧を印加するとともに前記第２温度における前記第３接触子の電圧を測定し、前記受信された応答が正しい応答であるか否かを判定するとともに前記測定された前記第２温度における前記第３接触子の電圧が第２閾値電圧以上であるか否かを判定し、前記第２プローブ部を前記第１位置に移動させる第２検査工程、
前記第１温度における前記第３接触子の電圧と前記第２温度における前記第３接触子の電圧との差分値が第３閾値電圧以下であるか否かを判定する第３検査工程、
前記第１検査工程において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第１閾値電圧以上であると判定する第１判定条件、前記第２検査工程において前記受信された応答が前記正しい応答であると判定し且つ前記第３接触子の電圧が前記第２閾値電圧以上であると判定する第２判定条件、及び前記第３検査工程において前記差分値が前記第３閾値電圧以下であると判定する第３判定条件、のすべての条件が成立したとき、前記被検査物が良品であると判定し、前記第１判定条件、前記第２判定条件及び前記第３判定条件の少なくとも何れか一つが成立しないとき、前記被検査物が不良品であると判定する判定工程、
前記検査槽部から前記被検査物を搬出する搬出工程、及び前記良品であると判定された被検査物と、前記不良品であると判定された被検査物と、を選別する選別工程、
を有する、通電検査方法。 The plurality of contacts are provided for electrically contacting the terminals of the object to be inspected, which are stationary at the first inspection position outside the inspection tank portion having a space in which the object to be inspected can be placed. A first position capable of moving between a first position where the plurality of contacts do not come into contact with each other and a second position where the plurality of terminals and the plurality of contacts can come into contact with each other. With the probe unit moved from the first position to the second position, a predetermined command is transmitted to the first contactor among the plurality of contacts of the first probe unit, and the first probe unit is used. The response to the predetermined command is received from the second contact among the plurality of contacts, and the predetermined drive voltage is applied to the third contact among the plurality of contacts of the first probe unit. The voltage of the third contact at the first temperature is measured to determine whether or not the received response is the correct response, and the measured voltage of the third contact at the first temperature is the second. The first inspection step of determining whether or not the voltage is equal to or higher than one threshold voltage and moving the first probe unit to the first position.
A carry-in process for carrying the object to be inspected into the inspection tank portion,
A plurality of contacts for electrically contacting the terminal of the object to be inspected, which is stationary at the second inspection position inside the inspection tank portion, are provided, and the space between the first position and the second position is provided. In a state where the movable second probe portion is moved from the first position to the second position, a predetermined command is transmitted to the first contact among the plurality of contacts of the second probe portion. A response to the predetermined command is received from the second contact among the plurality of contacts of the second probe unit, and the predetermined drive is performed by the third contact of the plurality of contacts of the second probe unit. While applying a voltage, the voltage of the third contact at the second temperature is measured to determine whether or not the received response is a correct response, and the third at the measured second temperature. A second inspection step of determining whether or not the contact voltage is equal to or higher than the second threshold voltage and moving the second probe unit to the first position.
A third inspection step of determining whether or not the difference value between the voltage of the third contact at the first temperature and the voltage of the third contact at the second temperature is equal to or less than the third threshold voltage.
The first determination condition for determining that the received response is the correct response in the first inspection step and determining that the voltage of the third contact is equal to or higher than the first threshold voltage, the second inspection step. In the second determination condition for determining that the received response is the correct response and determining that the voltage of the third contact is equal to or higher than the second threshold voltage, and the difference value in the third inspection step. When all the conditions of the third determination condition for determining that is equal to or less than the third threshold voltage are satisfied, it is determined that the object to be inspected is a non-defective product, and the first determination condition, the second determination condition, and A determination step of determining that the object to be inspected is a defective product when at least one of the third determination conditions is not satisfied.
A carry-out step of carrying out the inspected object from the inspection tank portion, and a sorting step of selecting the inspected object determined to be a non-defective product and the inspected object determined to be a defective product.
A method of energization inspection.
JP2019146496A 2019-08-08 2019-08-08 Device and method for inspecting conduction Pending JP2021025971A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019146496A JP2021025971A (en) 2019-08-08 2019-08-08 Device and method for inspecting conduction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019146496A JP2021025971A (en) 2019-08-08 2019-08-08 Device and method for inspecting conduction

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021025971A true JP2021025971A (en) 2021-02-22

Family

ID=74663059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019146496A Pending JP2021025971A (en) 2019-08-08 2019-08-08 Device and method for inspecting conduction

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2021025971A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7241978B1 (en) * 2022-02-21 2023-03-17 三菱電機株式会社 DEVICE INSPECTION APPARATUS AND DEVICE INSPECTION METHOD

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7241978B1 (en) * 2022-02-21 2023-03-17 三菱電機株式会社 DEVICE INSPECTION APPARATUS AND DEVICE INSPECTION METHOD
WO2023157291A1 (en) * 2022-02-21 2023-08-24 三菱電機株式会社 Device inspection apparatus and device inspection method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11009523B2 (en) Probe, inspection jig, and inspection apparatus
US7768286B2 (en) Electronic device testing apparatus and temperature control method in an electronic device testing apparatus
US11187747B2 (en) Inspection system and malfunction analysis/prediction method for inspection system
JP4571076B2 (en) Inspection equipment for semiconductor devices
KR100538912B1 (en) Method for detecting the position of components placed on a substrate by a pick-and-place robot
CN111146103B (en) Wafer detection method and detection equipment
TWI635297B (en) Substrate inspecting apparatus, substrate inspecting method and jig for inspecting substrate
US20180049315A1 (en) Manufacture of Electronic Circuits
JP2021025971A (en) Device and method for inspecting conduction
CN110431431A (en) The diagnostic method and inspection system of check device
JP2016183893A (en) Electronic component carrier device, electronic component inspection device and positioning device of electronic component carrier device and positioning method of electronic component carrier device
CN116577638A (en) Intelligent circuit board testing system, method, device and medium
TW201350885A (en) Kelvin sense probe calibration
JP7236500B2 (en) How to analyze loads
KR20200053587A (en) Inspection system and inspection method
JPH0441495B2 (en)
WO2007138831A1 (en) Board examination method and board examination device
JP2018136239A (en) Electronic component carrier apparatus and electronic component inspection device
CN109564254B (en) Circuit board with contact structure
JP5198040B2 (en) Control device, inspection device, and control method
KR101367069B1 (en) Apparatus and method for testing inertial sensor
KR100977328B1 (en) Aligning method of needles of prober system
JP6058325B2 (en) Substrate inspection apparatus and substrate inspection method
JP2007078658A (en) Device and method for measuring electronic component
JP6723190B2 (en) Inspection equipment