JP2020535305A - 容器をコーティングするための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 正面
3 (第1の)搬送領域
3a 搬入装置
3b 搬出装置
3c 第1の搬送装置
3' さらに別の搬送領域
3'c 第2の搬送装置
4 (第1の)移送領域
4a 単一のグリッパキャリッジ
4b 第1のグリッパキャリッジ
4c 第2のグリッパキャリッジ
4' さらに別の移送領域
5 (第1の)処理領域
5a 第1の容器処理ユニット
5b 第2の容器処理ユニット
5' さらに別の処理領域
6 (第1の)メンテナンス領域
6' さらに別のメンテナンス領域
7 電子機器領域
8 プロセスガス処理領域
9 真空ポンプ領域
10 予備真空部分領域
11 プロセス真空部分領域
12 プロセスセグメント
Claims (13)
- コーティング法により容器をコーティングするための装置であって、外寸がISOコンテナの内寸よりも小さい支持フレーム(1)を備え、
前記容器のための少なくとも1つの搬送装置が配置された搬送領域(3)と、
前記容器をコーティングするための少なくとも1つの容器処理ユニットが配置された処理領域(5)と、
前記搬送装置と前記容器処理ユニットとの間で前記容器を移動させる移送装置が配置された移送領域(4)と、
前記少なくとも1つの容器処理ユニットの後側に配置された、外部から容易にアクセス可能なメンテナンス領域(6)と、
前記装置の構成要素の電子機器のためのスイッチギヤキャビネットが配置された電子機器領域(7)と、
前記コーティング法のためのプロセスガスを処理するための構成要素が配置されたプロセスガス処理領域(8)と、
前記コーティング法に必要な真空を生成するための真空ポンプが配置された真空ポンプ領域(9)と、が前記支持フレーム(1)内にある、装置。 - 前記支持フレーム(1)は、ケージ又はグリッドの形態で、少なくとも4つの側で、好ましくは6つの全ての側で個々の領域内に構成要素を囲い込むように構成される、請求項1に記載の装置。
- 長手方向に一続きの領域が、搬送領域(3)、移送領域(4)、処理領域(5)、メンテナンス領域(6)であり、それらに接続されてプロセスセグメント(12)が配置され、前記プロセスセグメント(12)は、互いに任意の所望の配置で、前記電子機器領域(7)、前記プロセスガス処理領域(8)、及び前記真空ポンプ領域(9)を含む、請求項1又は2に記載の装置。
- さらに別の領域が、前記長手方向において、さらに別のメンテナンス領域(6')、さらに別の処理領域(5')、さらに別の移送領域(4')、及びさらに別の搬送領域(3')の順序で、前記プロセスセグメント(12)に接続され、前記プロセスセグメント(12)内の構成要素は、既に存在する領域と付加された領域との両方に供給を行う、請求項3に記載の装置。
- さらに別の領域が、さらに別の処理領域(5')、さらに別の移送領域(4')、及びさらに別の搬送領域(3')の順序で、前記メンテナンス領域(6)と前記プロセスセグメント(12)との間に接続される、請求項3に記載の装置。
- 前記領域に配置された構成要素は、前記支持フレーム(1)の外寸によって決定される領域を超えて突出しない、請求項1から5のいずれかに記載の装置。
- 前記外部から容易にアクセス可能なメンテナンス領域(6)は前記処理ユニットの後側に配置され、そこには構成要素が配置されない、請求項1から6のいずれかに記載の装置。
- 前記移送領域(4)及び/又は前記さらに別の移送領域(4')内の前記移送装置は、それぞれの場合において、少なくとも1つのグリッパキャリッジ(4a,4b,4c)を備え、前記処理領域(5)及び/又は前記さらに別の処理領域(5')内の前記処理ユニットは、それぞれの場合において、所定数の場所、好ましくは4つの場所を有する真空チャンバを備える、請求項1から7のいずれかに記載の装置。
- 第1のグリッパキャリッジ(4b)は第1の搬送領域(3)と第1の処理領域(5)との間に配置され、第2のグリッパキャリッジ(4c)はさらに別の搬送領域(3')とさらに別の処理領域(5')との間に配置され、前記第1の搬送領域(3)は前記支持フレーム(1)の正面(2)に沿って配置され、前記さらに別の搬送領域(3')は前記処理領域(5,5')と前記プロセスセグメント(12)との間に配置され、前記さらに別の処理領域(5')のためのさらに別のメンテナンス領域(6')は、前記第1の搬送領域(3)と同じ前記支持フレーム(1)の正面(2)に配置され、前記第1の処理領域(5)のための前記メンテナンス領域(6)は、前記第2の搬送領域(3')と同様に、前記処理領域(5,5')と前記プロセスセグメント(12)との間に配置される、請求項8に記載の装置。
- 前記搬送装置(3,3')の少なくとも1つは、そのレーンの幅の調整装置を備える、請求項1から9のいずれかに記載の装置。
- 前記搬送領域(3)及び/又は前記さらに別の搬送領域(3')は、それぞれの場合において、互いに分離された2つの部分搬送装置、搬入装置(3b)及び搬出装置(3c)を備える、請求項1から請求項10のいずれかに記載の装置。
- 前記プロセスガス処理領域(8)は、キャリアガス質量流量調整器及び絶対圧力検出器が配置された非加熱領域を備える、請求項1から11のいずれかに記載の装置。
- 前記真空ポンプ領域(9)は、2つの空間的に分離された部分領域、即ち、予備真空を生成するための予備真空部分領域(10)、及びプロセス真空を生成するためのプロセス真空部分領域(11)を備える、請求項1から12のいずれかに記載の装置。
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