JP2020518126A - 繰り返し率ベースの利得推定器を用いる改善されたレーザ光エネルギー及びドーズの制御 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本願は、2017年4月24日出願の米国出願第15/495,245号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
[00022] 上式で、各記憶された利得推定器(すなわち、テーブル内の各RRGE)は、したがって、値X1及びX2として示されるこのデータを含み、値X1及びX2は推定器が実行するごとに更新される推定器の状態であり、kは「更新前の値」を指し、一方でk+1は「更新後の値」を指し、a、b、及びcはシステム作成者によって決定される定数である。
[00031] 上式で、
[00032] V 静的コントロールによって推測される電圧
[00033] E エネルギーターゲット
[00034] V0 基準電圧
[00035] E0 基準エネルギー
[00036] ∈ エネルギー曲線に起因する調節
[00037] dV/dE 電圧の一次導関数/勾配に対する利得推定器の出力である基準エネルギーにおけるエネルギー、
である。
いかなる以前に記憶された利得推定器(デフォルトの利得推定器を含む)を使用するよりも、正確な利得推定器を各RepRateに対して提供することができる。
レーザ光エネルギー制御の方法であって、
レーザシステムコントローラにおいて、第1のレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを受信すること、
レーザシステムコントローラによって、電圧コマンドを第1のエネルギーターゲットに変換すること、
第1のレーザトリガコマンドと前のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、レーザシステムコントローラによって、第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
レーザシステムコントローラによって、第1のレーザ繰り返し率に対応する第1の繰り返し率利得推定器を取り出すこと、
レーザシステムコントローラによって、第1のエネルギーターゲット及び第1の繰り返し率利得推定器を使用して第1のレーザ電圧を決定すること、
レーザシステムコントローラによって、第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示すること、
レーザシステムコントローラにおいて、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信すること、
レーザシステムコントローラによって、後続の電圧コマンドを第2のエネルギーターゲットに変換すること、
後続のレーザトリガコマンドと第1のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、レーザシステムコントローラによって、第2のレーザ繰り返し率を決定することであって、第2のレーザ繰り返し率は第1のレーザ繰り返し率とは異なる、第2のレーザ繰り返し率を決定すること、
レーザシステムコントローラによって、第2のレーザ繰り返し率に対応する第2の繰り返し率利得推定器を取り出すこと、
レーザシステムコントローラによって、第2のエネルギーターゲット及び第2の繰り返し率利得推定器を使用して第2のレーザ電圧を決定すること、及び、
レーザシステムコントローラによって、第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示すること、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。
条項1のステップの前に、
第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器を、デフォルト値に設定すること、
を更に含む、条項1に記載の方法。
第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器を更新すること、及び、
第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、
を更に含む、条項2に記載の方法。
第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、及び、
第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、
を更に含む、条項2に記載の方法。
レーザ光エネルギー制御のためのレーザシステムであって、
レーザシステムコントローラを備え、レーザシステムコントローラは、
第1のレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを受信するように構成され、
電圧コマンドを第1のエネルギーターゲットに変換するように構成され、
第1のレーザトリガコマンドと前のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、第1のレーザ繰り返し率を決定するように構成され、
第1のレーザ繰り返し率に対応する第1の繰り返し率利得推定器を取り出すように構成され、
第1のエネルギーターゲット及び第1の繰り返し率利得推定器を使用して、第1のレーザ電圧を決定するように構成され、
第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示するように構成され、
後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信するように構成され、
後続の電圧コマンドを第2のエネルギーターゲットに変換するように構成され、
後続のレーザトリガコマンドと第1のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、第2のレーザ繰り返し率を決定するように構成され、第2のレーザ繰り返し率は第1のレーザ繰り返し率とは異なり、
第2のレーザ繰り返し率に対応する第2の繰り返し率利得推定器を取り出すように構成され、
第2のエネルギーターゲット及び第2の繰り返し率利得推定器を使用して、第2のレーザ電圧を決定するように構成され、及び、
第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示するように構成される、
レーザ光エネルギー制御のためのレーザシステム。
レーザシステムコントローラは、第1のレーザトリガコマンド及び第1の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器をデフォルト値に設定するように更に構成される、
条項5に記載のレーザシステム。
レーザシステムコントローラは、更に、
第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器を更新するように構成され、及び、
第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成される、
条項6に記載のレーザシステム。
レーザシステムコントローラは、更に、
第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成され、及び、
第2のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、第1の繰り返し率利得推定器及び第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成される、
条項6に記載のレーザシステム。
フォトリソグラフィシステムにおいて、フォトリソグラフィシステムは、少なくともレーザ源及びスキャナを有し、レーザ光エネルギー制御の方法は、
利得推定器のセットを提供することであって、利得推定器のセットにおける各利得推定器はレーザ繰り返し率のレンジに対応する、利得推定器のセットを提供すること、
フォトリソグラフィシステムのスキャナから通信を受信することであって、通信はレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを含む、通信を受信すること、
通信に対応する第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
利得推定器のセットから第1の利得推定器を取り出すことであって、第1の利得推定器はレーザ繰り返し率の第1のレンジに関連付けられ、レーザ繰り返し率の第1のレンジは第1のレーザ繰り返し率を含む、第1の利得推定器を取り出すこと、及び、
レーザ光を生成するようにレーザ源を活動化することであって、活動化することは、第1の利得推定器を使用して決定されたレーザ電圧に応答する、レーザ源を活動化すること、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。
フォトリソグラフィシステムは深UV(DUV)フォトリソグラフィシステムである、条項9に記載の方法。
各利得推定器は、レーザ源に印加される電圧の量と、レーザ源によって生成されるレーザ光におけるエネルギーの量との間の関係に関連する、条項9に記載の方法。
活動化の後に、第1の利得推定器を更新することを更に含み、更新することは、レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも測定されたエネルギーに基づいて、更新された利得推定器値を計算することを含む、条項9に記載の方法。
活動化の後に利得推定器のセットを更新することを更に含み、更新することは、レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも測定されたエネルギーに基づいて、利得推定器のセットについて更新された利得推定器値を計算することを含む、条項9に記載の方法。
レーザ光源のためのレーザ光エネルギー制御の方法であって、
利得推定器のセットを作成することであって、利得推定器のセットにおける各利得推定器はレーザ繰り返し率のレンジに対応し、作成することは、少なくとも、
a)トレーニングモードのレーザ活動化信号を生成することであって、トレーニングモードのレーザ活動化信号の各々は、少なくともトレーニングモードのレーザトリガコマンド及びトレーニングモードの電圧コマンドを含む、生成すること、
b)トレーニングモードのレーザ活動化信号に対応するレーザ繰り返し率を決定すること、
c)レーザパルスを生成するために、トレーニングモードのレーザ活動化信号に応答してレーザ源を活動化すること、
d)レーザパルスのエネルギーレベルを望ましいエネルギーレベルに到達させるために、レーザ源に供給される電圧レベルを変化させること、
e)レーザ繰り返し率のための利得推定器を計算するために、レーザパルスのエネルギーを望ましいエネルギーレベルに到達させる、電圧レベルを採用すること、及び、
f)利得推定器のセットを取得するために、異なるトレーニングモードのレーザ活動化信号を用いて、ステップa)からe)を繰り返すこと、
を含む、利得推定器のセットを作成することと、
ウェーハフォトリソグラフィを実行するためのレーザ光を生成するために、利得推定器のセットを採用することと、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。
採用することは、
フォトリソグラフィシステムのスキャナから通信を受信することであって、通信はレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを含む、通信を受信すること、
通信に対応する第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
利得推定器のセットから第1の利得推定器を取り出すことであって、第1の利得推定器はレーザ繰り返し率の第1のレンジに関連付けられ、レーザ繰り返し率の第1のレンジは第1のレーザ繰り返し率を含む、第1の利得推定器を取り出すこと、及び、
レーザ光を生成するようにレーザ源を活動化することであって、活動化することは、第1の利得推定器を使用して決定されたレーザ電圧に応答する、レーザ源を活動化すること、
を含む、条項14に記載の方法。
フォトリソグラフィシステムは深UV(DUV)フォトリソグラフィシステムである、条項15に記載の方法。
各利得推定器は、レーザ源に印加される電圧の量と、レーザ源によって生成されるレーザ光におけるエネルギーの量との間の関係に関連する、条項15に記載の方法。
活動化の後に、第1の利得推定器を更新することを更に含み、更新することは、レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも測定されたエネルギーに基づいて、更新された利得推定器値を計算することを含む、条項15に記載の方法。
活動化の後に利得推定器のセットを更新することを更に含み、更新することは、レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも測定されたエネルギーに基づいて、利得推定器のセットについて更新された利得推定器値を計算することを含む、条項15に記載の方法。
Claims (19)
- レーザ光エネルギー制御の方法であって、
レーザシステムコントローラにおいて、第1のレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを受信すること、
前記レーザシステムコントローラによって、前記電圧コマンドを第1のエネルギーターゲットに変換すること、
前記第1のレーザトリガコマンドと前のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、前記レーザシステムコントローラによって、第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第1のレーザ繰り返し率に対応する第1の繰り返し率利得推定器を取り出すこと、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第1のエネルギーターゲット及び前記第1の繰り返し率利得推定器を使用して第1のレーザ電圧を決定すること、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示すること、
前記レーザシステムコントローラにおいて、後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信すること、
前記レーザシステムコントローラによって、前記後続の電圧コマンドを第2のエネルギーターゲットに変換すること、
前記後続のレーザトリガコマンドと前記第1のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、前記レーザシステムコントローラによって、第2のレーザ繰り返し率を決定することであって、前記第2のレーザ繰り返し率は前記第1のレーザ繰り返し率とは異なる、第2のレーザ繰り返し率を決定すること、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第2のレーザ繰り返し率に対応する第2の繰り返し率利得推定器を取り出すこと、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第2のエネルギーターゲット及び前記第2の繰り返し率利得推定器を使用して第2のレーザ電圧を決定すること、及び、
前記レーザシステムコントローラによって、前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示すること、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。 - 請求項1のステップの前に、
前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器を、デフォルト値に設定すること、
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、前記後続のレーザトリガコマンド及び前記後続の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器を更新すること、及び、
前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、前記第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、
を更に含む、請求項2に記載の方法。 - 前記第1のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、前記後続のレーザトリガコマンド及び前記後続の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、及び、
前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器を更新すること、
を更に含む、請求項2に記載の方法。 - レーザ光エネルギー制御のためのレーザシステムであって、
レーザシステムコントローラを備え、前記レーザシステムコントローラは、
第1のレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを受信するように構成され、
前記電圧コマンドを第1のエネルギーターゲットに変換するように構成され、
前記第1のレーザトリガコマンドと前のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、第1のレーザ繰り返し率を決定するように構成され、
前記第1のレーザ繰り返し率に対応する第1の繰り返し率利得推定器を取り出すように構成され、
前記第1のエネルギーターゲット及び前記第1の繰り返し率利得推定器を使用して、第1のレーザ電圧を決定するように構成され、
前記第1のレーザ電圧を使用して発射するようにレーザ源に指示するように構成され、
後続のレーザトリガコマンド及び後続の電圧コマンドを受信するように構成され、
前記後続の電圧コマンドを第2のエネルギーターゲットに変換するように構成され、
前記後続のレーザトリガコマンドと前記第1のレーザトリガコマンドとの間の差に基づき、第2のレーザ繰り返し率を決定するように構成され、前記第2のレーザ繰り返し率は前記第1のレーザ繰り返し率とは異なり、
前記第2のレーザ繰り返し率に対応する第2の繰り返し率利得推定器を取り出すように構成され、
前記第2のエネルギーターゲット及び前記第2の繰り返し率利得推定器を使用して、第2のレーザ電圧を決定するように構成され、及び、
前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示するように構成される、
レーザ光エネルギー制御のためのレーザシステム。 - 前記レーザシステムコントローラは、前記第1のレーザトリガコマンド及び前記第1の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器をデフォルト値に設定するように更に構成される、
請求項5に記載のレーザシステム。 - 前記レーザシステムコントローラは、更に、
前記第1のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、前記後続のレーザトリガコマンド及び前記後続の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器を更新するように構成され、及び、
前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、前記第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成される、
請求項6に記載のレーザシステム。 - 前記レーザシステムコントローラは、更に、
前記第1のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、前記後続のレーザトリガコマンド及び前記後続の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成され、及び、
前記第2のレーザ電圧を使用して発射するように前記レーザ源に指示した後、及び、任意の他のレーザトリガコマンド及び任意の他の電圧コマンドを受信する前に、前記第1の繰り返し率利得推定器及び前記第2の繰り返し率利得推定器を更新するように構成される、
請求項6に記載のレーザシステム。 - フォトリソグラフィシステムにおいて、前記フォトリソグラフィシステムは、少なくともレーザ源及びスキャナを有し、レーザ光エネルギー制御の方法は、
利得推定器のセットを提供することであって、前記利得推定器のセットにおける各利得推定器はレーザ繰り返し率のレンジに対応する、利得推定器のセットを提供すること、
前記フォトリソグラフィシステムの前記スキャナから通信を受信することであって、前記通信はレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを含む、通信を受信すること、
前記通信に対応する第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
前記利得推定器のセットから第1の利得推定器を取り出すことであって、前記第1の利得推定器はレーザ繰り返し率の第1のレンジに関連付けられ、前記レーザ繰り返し率の第1のレンジは前記第1のレーザ繰り返し率を含む、第1の利得推定器を取り出すこと、及び、
レーザ光を生成するように前記レーザ源を活動化することであって、前記活動化することは、前記第1の利得推定器を使用して決定されたレーザ電圧に応答する、前記レーザ源を活動化すること、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。 - 前記フォトリソグラフィシステムは深UV(DUV)フォトリソグラフィシステムである、請求項9に記載の方法。
- 前記各利得推定器は、前記レーザ源に印加される電圧の量と、前記レーザ源によって生成されるレーザ光におけるエネルギーの量との間の関係に関連する、請求項9に記載の方法。
- 前記活動化の後に、前記第1の利得推定器を更新することを更に含み、前記更新することは、前記レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも前記測定されたエネルギーに基づいて、更新された利得推定器値を計算することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記活動化の後に前記利得推定器のセットを更新することを更に含み、前記更新することは、前記レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも前記測定されたエネルギーに基づいて、前記利得推定器のセットについて更新された利得推定器値を計算することを含む、請求項9に記載の方法。
- レーザ光源のためのレーザ光エネルギー制御の方法であって、
利得推定器のセットを作成することであって、前記利得推定器のセットにおける各利得推定器はレーザ繰り返し率のレンジに対応し、前記作成することは、少なくとも、
a)トレーニングモードのレーザ活動化信号を生成することであって、前記トレーニングモードのレーザ活動化信号の各々は、少なくともトレーニングモードのレーザトリガコマンド及びトレーニングモードの電圧コマンドを含む、生成すること、
b)前記トレーニングモードのレーザ活動化信号に対応するレーザ繰り返し率を決定すること、
c)レーザパルスを生成するために、前記トレーニングモードのレーザ活動化信号に応答して前記レーザ源を活動化すること、
d)前記レーザパルスのエネルギーレベルを望ましいエネルギーレベルに到達させるために、前記レーザ源に供給される電圧レベルを変化させること、
e)前記レーザ繰り返し率のための利得推定器を計算するために、前記レーザパルスの前記エネルギーを前記望ましいエネルギーレベルに到達させる、前記電圧レベルを採用すること、及び、
f)前記利得推定器のセットを取得するために、異なるトレーニングモードのレーザ活動化信号を用いて、ステップa)からe)を繰り返すこと、
を含む、利得推定器のセットを作成することと、
ウェーハフォトリソグラフィを実行するためのレーザ光を生成するために、前記利得推定器のセットを採用することと、
を含む、レーザ光エネルギー制御の方法。 - 前記採用することは、
フォトリソグラフィシステムのスキャナから通信を受信することであって、前記通信はレーザトリガコマンド及び電圧コマンドを含む、通信を受信すること、
前記通信に対応する第1のレーザ繰り返し率を決定すること、
前記利得推定器のセットから第1の利得推定器を取り出すことであって、前記第1の利得推定器はレーザ繰り返し率の第1のレンジに関連付けられ、前記レーザ繰り返し率の第1のレンジは前記第1のレーザ繰り返し率を含む、第1の利得推定器を取り出すこと、及び、
前記レーザ光を生成するように前記レーザ源を活動化することであって、前記活動化することは、前記第1の利得推定器を使用して決定されたレーザ電圧に応答する、前記レーザ源を活動化すること、
を含む、請求項14に記載の方法。 - 前記フォトリソグラフィシステムは深UV(DUV)フォトリソグラフィシステムである、請求項15に記載の方法。
- 前記各利得推定器は、前記レーザ源に印加される電圧の量と、前記レーザ源によって生成されるレーザ光におけるエネルギーの量との間の関係に関連する、請求項15に記載の方法。
- 前記活動化の後に、前記第1の利得推定器を更新することを更に含み、前記更新することは、前記レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも前記測定されたエネルギーに基づいて、更新された利得推定器値を計算することを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記活動化の後に前記利得推定器のセットを更新することを更に含み、前記更新することは、前記レーザ光において測定されたエネルギーを取得すること、及び、少なくとも前記測定されたエネルギーに基づいて、前記利得推定器のセットについて更新された利得推定器値を計算することを含む、請求項15に記載の方法。
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