JP2020502438A

JP2020502438A - 真空ポンプのための軸受支持体

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Publication number: JP2020502438A
Application number: JP2019531997A
Authority: JP
Inventors: エミリアーノルチェッタ; ルーベンデイ
Original assignee: Edwards Ltd
Current assignee: Edwards Ltd
Priority date: 2016-12-15
Filing date: 2017-12-14
Publication date: 2020-01-23
Anticipated expiration: 2037-12-14
Also published as: US10808713B2; GB201621361D0; CN110050133B; GB2557676A; EP3555490B1; CN110050133A; EP3555490A1; WO2018109474A1; US20190383299A1; JP7275029B2

Abstract

本発明は、真空ポンプのための少なくとも１つの可撓性部材（３５）を有する弾性軸方向−半径方向軸受支持体（３６）に関し、詳細には、真空ポンプのためのポリマー軸受支持体に関する。本発明は更に、ポリマー軸受支持体を含む真空ポンプ及び軸受支持体を製造する方法を包含する。【選択図】図４

Description

本発明は、真空ポンプのための軸受支持体に関し、特に、真空ポンプのためのポリマー軸受支持体に関する。本発明は更に、ポリマー軸受支持体を含む真空ポンプ及び軸受支持体の製造方法を包含する。本発明は、ターボ分子ポンプにおける回転子軸受、特に転動軸受を支持するのに特に有利である。

真空ポンプは、典型的には、周囲の固定子に対して回転するためにシャフト上に装着された回転子の形態のインペラを含む。シャフトは、該シャフトのそれぞれの端部又はその中間に位置付けられた２つの軸受を含む軸受機構によって支持される。これらの軸受の一方又は両方は、転動軸受の形態とすることができる。例えば、上側軸受は磁気軸受の形態とすることができ、下側軸受は転動軸受の形態である。

図１に示すように、典型的な転動軸受１０は、ポンプのシャフト１４に対して固定された内側レース１２と、外側レース１６と、内側レース１２及び外側レース１６の相対回転を可能にするようケージ２０によって支持された複数の転動要素１８と、を含む。転動軸受１０は、摩擦及び摩耗を最小にするために転動及び摺動接触状態の軸受構成要素を分離する荷重支持フィルムを確立するように潤滑され、シールド要素２２は、転動軸受１０から外への潤滑剤の漏出に耐えるように設けられる。

従来、ポンプ内で転動軸受１０を支持するための装着機構は、外側レース１６の半径方向移動を減衰するために外側レース１６とハウジング部分２６との間に半径方向に位置決めされた半径方向エラストマー減衰リング２４と、外側レース１６の軸方向移動を減衰するために外側レース１６の端面とハウジング部分２６との間に位置決めされた軸方向エラストマー減衰リング２８と、を含んでいた。

真空ポンプ内の振動を軽減するために半径方向及び軸方向エラストマー減衰リング２４、２８の使用に関連して幾つかの問題がある。例えば、軸方向及び半径方向剛性が結合されるので、軸方向に高い剛性要件は、半径方向に低い剛性要件と矛盾する。ある時間期間にわたって、エラストマー材料は、負荷状態でクリープ及び応力緩和を生じる場合がある。エラストマー材料はまた、軸受から吐出される潤滑剤との相互作用に起因して軟化する。更に、エラストマー材料の剛性特性は、高度に非線形であり、また、時間、温度及び潤滑剤との相互作用に伴って顕著に変化するので、使用時にリングの剛性及び減衰特性を予測するための正確な解析モデルは現在のところ存在していない。加えて、軸受交換が容易ではなく、別個のカートリッジが導入されない限り現場での交換が困難になる。

最近になって、金属軸受支持体が真空ポンプにおいて使用されている。図２及び３は、複数の可撓性部材３０によって接続された内側２９及び外側３１環状部分を含むこのような金属支持体３２の実施例を示している。金属軸受支持体は、エラストマー減衰リングに関連する複数の問題に対処するが、これらはまた、これらの使用に関連する複数の特定の技術的な課題を提示する。

金属軸受支持体は、典型的には、ワイヤー放電加工を用いて製造され、これは、実施するのに時間を要し且つ高コストである。製造公差に起因して、生成可能な可撓性ビームの厚みの下限値が存在し、これは、支持体の半径方向可撓性に対して下限値が設けられる。加えて、高い弾性接触力及び結果として生じる変形は、軸受がデバイスの内側に圧入できないことを意味する。代わりに、軸受は、追加のロック機構で、例えばロックナットを用いて所定位置に結合され及び／又は固定される必要がある。更に、金属軸受支持体は、実質的に減衰しないので、通常は別個のダンパーが使用される。エラストマーダンパは、金属支持体の半径方向剛性を望ましくなく増大させ、支持体の性能を更に低下させる可能性があることが観察されている。

本発明は、従来技術に関するこれら及び他の問題に対処する。

従って、第１の態様では、本発明は、半径方向及び軸方向の両方での真空ポンプの回転子軸受の弾性支持で使用するためのポリマー軸受支持体を提供する。軸受支持体は、軸受に結合されるように構成された内側部分と、真空ポンプのハウジングに結合されるように構成された外側部分とを含むことができる。内側及び外側部分は、少なくとも１つの可撓性部材によって接続することができる。典型的には、軸受支持体は、単一の単体構造体である。好ましくは、軸受支持体は、ポリマーの単一片を含む。

ポリマー軸受支持体は、有利には、金属軸受支持体に関する問題に対処する。これらは、製造が安価であり、少なくとも部分的に自己減衰し、低引張係数であることに起因して、外側レースの歪みなしで軸受上に圧入することができる。

典型的には、ポリマー支持体は、約５０Ｎ／ｍｍ〜約５００Ｎ／ｍｍ、好ましくは約３００Ｎ／ｍｍ未満、より好ましくは約２５０Ｎ／ｍｍ未満、より好ましくは約２２０Ｎ／ｍｍ未満の範囲の半径方向剛性を有する。従って、弾性支持体は、真空ポンプの所要の回転子動特性に適合するよう極めて低い半径方向剛性で設計することができる。

典型的には、ポリマー支持体は、約３００Ｎ／ｍｍより高い、より好ましくは約３５０Ｎ／ｍｍより高い、より好ましくは約３００Ｎ／ｍｍ〜約１０００Ｎ／ｍｍの半径方向剛性を有する。従って、支持体が真空ポンプにおいて使用される場合、ポンプの作動時に駆動シャフトの最小軸方向移動が存在し、従って、ポンプの作動の際に圧送機構の構成要素間の緊密な軸方向クリアランスを実質的に維持できるようになる。

好ましくは、軸方向剛性は、半径方向剛性よりも大きい。

好ましくは、本発明によるポリマー軸受支持体の半径方向剛性は、実質的に等方性であり、好ましくは、半径方向剛性は、何らかの半径方向で約２％未満、より好ましく約１％未満、より好ましくは約０．５％未満だけ変化する。本発明では、非環状の実施形態において、半径方向剛性は横方向剛性を含む。

本発明の実施形態において、内側部分及び外側部分のうちの１つは環状であり、より典型的には、外側及び内側部分の両方が環状である。可撓性部材は、内側環状部分及び／又は外側環状部分と実質的に同心の細長い弓形部材とすることができる。

可撓性部材は、それ自体が環状であり、好ましくは、少なくとも１つの半径方向ビームによって内側部分に、及び少なくとも１つの第２の半径方向ビームによって外側部分に接合することができる。好ましくは、内側部分は、２つ、３つ、４つ、５つ又はそれ以上の半径方向ビームによって少なくとも１つの環状可撓性部材に接合される。同様に、外側部分は、好ましくは、２つ、３つ、４つ、５つ又はそれ以上の半径方向ビームによって環状可撓性部材に接合される。外側部分に接続されたビームは、内側部分に接続されたビームと共に円周方向にオフセットすることができ、好ましくは、ビームは、内側及び外側部分に交互に接続される。典型的には、ビームの数及び配列は、支持体の半径方向剛性が実質的に等方性であるように選択される。各々が内側部分及び外側部分と同心状をなす、１つよりも多くの環状可撓性部材を用いることができる。

典型的には、ビームの軸方向に整列された面は、丸みが点けられて、好ましくは凹状面を形成する。有利には、この配列は、ビームが環状部材及び可撓性部材とそれぞれ交差する望ましくない応力集中を低減する。

このような軸受支持体は、機械加工、成形又は押出しをするのに安価で容易であり、金属支持部材と比べて性能が改善される。

好ましくは、可撓性部材は、約０．１ｍｍ〜約１ｍｍ、好ましくは約０．３ｍｍ〜約０．７ｍｍの横方向、例えば半径方向の厚みを有する。

好ましくは、ビームは、約０．５ｍｍ〜約３ｍｍの半径方向長さを有する。典型的には、これらは、約０．２ｍｍ〜約１．５ｍｍの厚みを有する。典型的には、内側ビーム及び外側ビームは、実質的に同じ長さ及び／又は厚みのものである。

従って、支持体は、環状部材と可撓性部材との間に位置付けられた部分環状スロットを含むことができる。典型的には、スロットは、約０．５ｍｍ〜約３ｍｍの厚みを有することができる。

ビーム、環状及び可撓性部材の軸方向長さは、実質的に同じである。典型的には、これらの軸方向長さは、約２ｍｍ〜約１０ｍｍである。

実施形態において、本発明の支持体は、新規のターボ分子ポンプで用いることができ、或いは、ターボ分子ポンプに後付けして既存の金属軸受支持体と置き換えることができる。

好ましくは、ポリマー支持体は、成形、押出、プリント、機械加工、鋳造又はスピン鋳造、或いはこれらの組合せを行われる。射出成形、押出、スピン鋳造、レーザマイクロジェット機械加工及びマイクロウォータージェット機械加工が、ポリマー支持体を形成するのに特に好ましい方法である。

好ましいポリマーは、エラストマー、熱可塑性材料又は熱硬化性樹脂から成るグループから選択される。特にこれらの機械的及び熱的特性に起因して、熱可塑性材料、高性能熱可塑性材料として分類されるものが好ましい。好適な熱可塑性ポリマーは、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリスルホン（ＰＳＵ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、スチレンブタジエン共重合体（ＳＢＣ）、ポリケトン（ＰＫ）、及びこれらの誘導体及び共重合体を含む。ＰＥＥＫが特に好ましい。

ポリマーは、帯電防止剤、酸化防止剤、離型剤、防炎剤、潤滑剤、着色剤、流動促進剤、ナノフィルタを含むフィルタ、光安定剤及び紫外線吸収剤、色素、耐候剤及び可塑剤から成るグループから１又は２以上を追加的に含むことができる。

有利には、ポリマー支持部材内で繊維を配向又は整列させるのに、射出成形を用いることができる。

加えて又はこれに代えて、ポリマーは、ポリマーマトリックス複合材とすることができる。好ましくは、ポリマーマトリックスは、複合材の少なくとも約５０ｗｔ％、より好ましくは約６０ｗｔ％〜約８０ｗｔ％を占める。ポリマーマトリックス複合材は、例えば、ガラス繊維又は炭素繊維強化ポリマー、又は金属粉末強化ポリマーとすることができる。ガラス繊維強化ＰＥＥＫなどのガラス繊維強化ポリマーが特に好ましい。好ましくは、繊維含有量は、約１０ｗｔ％〜約５０ｗｔ％、好ましくは約２０ｗｔ％〜約４０ｗｔ％、好ましくは約２５ｗｔ％〜約３５ｗｔ％である。好ましくは、複合材は、成形、付加製造、機械加工又は押出を行うことができる。

好ましくは、支持体は、約５０ＧＰａ未満、好ましくは約２ＧＰａ〜約２５ＧＰａ、より好ましくは約３ＧＰａ〜約１０ＧＰａ、より好ましくは約３ＧＰａ〜約５ＧＰａの引張係数を有するポリマーを含む。対照的に、真空ポンプ軸受支持体で一般に用いられるチタニウムは、約１００ＧＰａ〜約１２５ＧＰａの引張係数を有する。

本発明で用いられるポリマーのより低い引張係数は、有利には、より低い半径方向剛性を有する軸受支持体の製造を可能にし、これは、所定位置に圧入することができ、これにより製造中のロックナット及び／又は結合ステップの必要性が排除される。対照的に、チタニウムの高い引張係数に起因して、公知のチタニウム支持体は、軸受のスチールケースとの接触応力が高過ぎることで、軸受に圧入することができず、外側レースの歪みのリスクを伴う。

好ましくは、支持体は、少なくとも約８５ＭＰａ、より好ましくは少なくとも約９５ＭＰａの降伏強度を有するポリマーを含む。ポリマーは、約８５ＭＰａ〜約５００ＭＰａ、好ましくは約９５ＭＰａ〜約２００ＭＰａの降伏強度を有することができる。

実施形態において、好ましくは、支持体は、比率σＵＴＳ／（Ｅ＾２／３）が約０．３より大きく、好ましくは約０．３５より大きく、好ましくは約０．２５〜約０．５、より好ましくは約０．３５より大きく、より好ましくは約０．２５〜約０．５、より好ましくは約０．３〜約０．４である材料を含む。σＵＴＳはＭＰａの極限引張強度であり、ＥはＭＰａで表した「引張係数」である。

有利には、軸受支持体の引張及び曲げ特性は、軸受支持体の作動温度で著しく悪化することはない。典型的には、作動温度は約９０℃である。好ましくは、支持体は、≧１００℃、より好ましくは≧１１０℃、より好ましくは≧１２０℃、より好ましくは≧１４０℃、より好ましくは約１００℃〜約２４０℃、より好ましくは約１１０℃〜約２３０℃のガラス遷移温度を有するポリマーを含む。

好ましくは、ポリマーは、９０℃で少なくとも約６０ＭＰａの引張強度を有する。

全速力で、ターボ分子ポンプの回転子は、ミクロン単位で振動することになるが、始動及び停止手順中に、ポンプサイクルの始め及び終わりにおいて、回転子は、一連の共振点を通過することになる。典型的には、共振中の変位は、約８０ミクロン〜約１２０ミクロン、好ましくは約１００ミクロンに制限される。

好ましくは、１０⁷サイクルにおけるポリマーの疲労強度は、約４５ＭＰａより大きく、より好ましくは約５５ＭＰａより大きい。

好ましくは、ポリマーは、約１５ＭＰａより大きい、好ましくは約２５ＭＰａより大きい、１Ｅ＋６ｓに対して１５０℃でクリープ破断強度を有する。加えて又はこれに代えて、１Ｅ＋８ｓに対して２３℃におけるクリープ破断強度は、約６０ＭＰａより大きい、好ましくは約８０ＭＰａより大きいとすることができる。

更なる態様では、本発明は、半径方向及び軸方向の両方での真空ポンプの回転子軸受の弾性支持で使用するためのポリマー軸受支持体を提供し、軸受支持体は、内側及び外側環状部分と、少なくとも１つの第１の半径方向ビームによって内側部分に接合され且つ少なくとも１つの第２の半径方向ビームによって外側部分に接合された少なくとも１つの中間環状部分とを含む。

更なる態様では、本発明は、軸受機構によって支持された回転子を含み、該軸受機構が、本発明の他のあらゆる態様又は実施形態よるポリマー支持体によって半径方向及び軸方向の両方で支持された軸受を含む、真空ポンプを提供する。

本発明は、軸受機構によって支持された回転子を含み、該軸受機構が、少なくとも１つの可撓性部材によって接続された内側環状部分及び外側環状部分を含む弾性ポリマー支持体によって半径方向及び軸方向の両方で支持された軸受を含む、真空ポンプを更に提供する。

本発明は更に、半径方向及び軸方向の両方に真空ポンプにおいて回転子軸受を弾性的に支持するように、少なくとも１つの可撓性部材によって接続された内側及び外側部分を含む弾性支持体において、ポリマー、詳細にはＰＥＥＫ、ポリスルホン（ＰＳＵ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、スチレンブタジエン共重合体（ＳＢＣ）、ポリケトン（ＰＫ）、及びこれらの誘導体及び共重合体の使用方法を提供する。

本発明は、支持体を形成するようにポリマーを成形し、押出し、印刷し又は機械加工するステップを含む弾性ポリマー軸受支持体を製造する方法を更に提供し、支持体は、軸受に結合されるように構成された内側部分と、真空ポンプのハウジングに結合されるように構成された外側部分とを含み、内側及び外側部分は、少なくとも１つの可撓性部材によって接続される。

本発明は、軸受支持体を含む真空ポンプを組立てる方法を更に提供し、本方法は、軸受支持体を取り外すステップと、ポリマー軸受支持体、好ましくは、本発明の他の態様のうちの１又は２以上による軸受支持体と軸受支持体を取り替えるステップと、を含む。取り替えられた軸受支持体は、本発明による金属軸受支持体又は軸受支持体とすることができる。

典型的には、交換ポリマー軸受支持体の外径は、金属軸受支持体のものと実質的に同じである。例えば、有利には、ポリマーの内側環状部分の内壁の円周及び金属軸受支持体は、実質的に同じであり、及び／又はポリマーの外側環状部分の内壁の円周及び金属軸受支持体は実質的に同じであり、及び／又はポリマーの軸方向長さ及び金属軸受支持体は実質的に同じである。

誤解を避けるために、以下に記載される全ての態様及び実施形態は、変更すべきところは変更して組合せることができる。

ここで、本発明の好ましい特徴について、添付図面を参照しながら実施例として説明する。

従来技術の軸受支持体を示す図である。従来技術の軸受支持体を示す図である。従来技術の軸受支持体を示す図である。本発明によるポリマー軸受支持体を示す図である。本発明によるポリマー軸受支持体を示す図である。本発明によるポリマー軸受支持体を示す図である。

本発明は、半径方向及び軸方向の両方での真空ポンプの回転子軸受の弾性支持に使用するためのポリマー軸受支持体３６を提供する。

図４に示すように、一実施例において、少なくとも１つの可撓性部材３５は環状であり、軸Ａの周りで内側３３及び外側３４環状部分と実質的に同心である。例示的な可撓性部材３５は、０．４ｍｍの半径方向厚みを有し、３つの半径方向ビーム３８によって内側部分３３に、及び別の３つの半径方向ビーム３７によって外側部分３４に接合される。半径方向ビーム３７、３８は、内側３３及び外側３４部分に円周方向に交互に接続され、実質的に等距離に配列される。従って、弾性支持体の可撓性部材３５は、弾性支持体３６の一体型板ばねを提供する。例示的な軸受支持体３６の半径方向剛性は、実質的に等方性であることが分かっている。

ビームの軸方向に整列された面４１、４２は、ビーム３７、３８が環状３３、３４及び可撓性３５部材と交差する応力集中を低減するように凹状面である。

弾性支持体３６の内側部分３３は、転動軸受（図示せず）の外側レースの外側表面と係合する内側の軸方向に延びる円筒面３９を有する。

使用時には、端面４３は、分子ポンプハウジング（図示せず）の半径方向に延びる表面と係合し、弾性支持体３６の外側部分３４の外側の軸方向に延びる円筒面４０は、ハウジング（図示せず）の軸方向に延びる表面と係合する。

弾性支持体３６は、ＰＥＥＫ（例えば、ＶＩＣＴＲＥＸ（登録商標）ＰＥＥＫ４５０Ｇ）の成形ポリマーディスクから機械加工される。弾性支持体３６の剛性は、スロット４４、４５、ビーム３７、３８及び可撓性部材３５の幾何学形状によって決定付けられ、有限要素解析を用いて正確に推定することができる。弾性支持体３６は、ターボ分子ポンプインペラのシャフトからハウジングへの振動の伝達を抑制するために、例えば、５０〜３００Ｎ／ｍｍの範囲、及び好ましくは約２２０Ｎ／ｍｍの比較的低い半径方向剛性を有するように容易に設計できることが分かっている。

弾性支持体３６はまた、例えば、３００〜１０，０００Ｎ／ｍｍの範囲、好ましくは３００〜１０００Ｎ／ｍｍの範囲、及びより好ましくは３００〜８００Ｎ／ｍｍの範囲の比較的高い軸方向剛性を有することができ、ポンプの作動中にシャフトの最小軸方向移動が存在するようになる。

図５ａ及び５ｂは、本発明の代替の実施例を示す。図５ａは、軸受支持体５０のポンプ端部（又は上部）を示す。図５ｂは、同じ軸受支持体５０の下側を示す。

代替の実施例では、少なくとも１つの可撓性部材５１は環状であり、軸Ａの周りで内側５２及び外側５３環状部分と実質的に同心である。例示的な可撓性部材５１は０．４ｍｍの半径方向厚みを有し、３つの半径方向ビーム５４によって内側部分５２に、及び別の３つの半径方向ビーム５５によって外側部分５３に接合される。半径方向ビーム５４，５５は、内側５２及び外側５３部分に円周方向に交互に接続されて、実質的に等距離に配列される。従って、弾性支持体の可撓性部材５１は、弾性支持体５０の一体型板ばねを提供する。例示的な軸受支持体５０の半径方向剛性は、この場合も同様に、実質的に等方性であることが分かっている。

弾性支持体は、ＰＥＥＫ（例えば、ＶＩＣＴＲＥＸ（登録商標）ＰＥＥＫ４５０Ｇ）から射出成形され、又はＰＥＥＫ（例えば、ＴｅｃａｐｅｅｋＮａｔｕｒａｌ）から機械加工される。

弾性支持体５０の内側部分５２は、転動軸受（図示せず）の外側レースの外側表面と締まり嵌めで係合する内側の軸方向に延びる円筒面５６を有する。軸受のポンプ端部の一部分は、内側部分（５２）の一体的に形成された半径方向内向きに延びる肩部（５７）と係合する。

ねじ付きボス（５８）は、ポンプ（図示せず）との可逆的な機械的係合を提供する外側部分（５３）上に位置付けられる。軸方向止め部（図示せず）は、軸受の背後の内側部分（５２）に結合することができる。これは、締まり嵌めだけで信頼できない場合又は軸受を所定位置に保持するには不十分である実施形態において有利である。

軸受支持体５０は、エラストマー減衰部材（図示せず）を任意選択的に受けるための実質的に環状の溝５９を更に含む。エラストマー減衰部材は、溝５９と結合するためのＯリング又は他の好適な形状とすることができる。当業者は、エラストマー減衰部材が必要かどうかを判定することができる。

特許法に基づき解釈されるような添付の特許請求の範囲によって定める本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、図示の実施形態に対して種々の修正を行うことができることは理解されるであろう。

３３内側
３４外側
３５可撓性部材
３６支持体
３７、３８ビーム
３９、４０円筒面
４１、４２面
４３端面
４４、４５スロット

Claims

半径方向及び軸方向の両方での真空ポンプの回転子軸受の弾性支持で使用するためのポリマー軸受支持体であって、前記軸受支持体が、前記回転子軸受に結合されるように構成された内側部分と、前記真空ポンプのハウジングに結合されるように構成された外側部分とを含み、前記内側部分及び外側部分は、少なくとも１つの可撓性部材によって接続され、前記少なくとも１つの可撓性部材は、内側環状部分及び外側環状部分と実質的に同心の細長い弓形部材である、ポリマー軸受支持体。
前記ポリマー支持体は、約５０〜約５００Ｎ／ｍｍの範囲の半径方向剛性を有する、請求項１に記載のポリマー軸受支持体。
前記ポリマー支持体は、約３００Ｎ／ｍｍよりも大きな軸方向剛性を有する、請求項１又は２に記載のポリマー軸受支持体。
前記軸方向剛性が、前記半径方向剛性よりも大きい、請求項１から３の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記内側部分及び／又は外側部分が環状である、請求項１から４の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記可撓性部材は環状であり、少なくとも１つの半径方向ビームによって前記内側部分に接合され、少なくとも１つの第２の半径方向ビームによって前記外側部分に接合される、請求項１に記載のポリマー軸受支持体。
前記可撓性部材は、約０．１ｍｍ〜約１ｍｍ、好ましくは約０．３ｍｍ〜約０．７ｍｍの厚みを有する、請求項１から６の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記支持体は、約５０ＧＰａ未満の引張係数を有するポリマーを含む、請求項１から７の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記支持体は、≧１００℃のガラス遷移温度を有するポリマーを含む、請求項１から８の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記支持体は、締まり嵌め（圧入）を用いて前記ハウジング及び／又は前記軸受に結合される、請求項１から９の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記支持体は、成形、押出、プリント、機械加工、鋳造、スピン鋳造、レーザマイクロジェット機械加工又はマイクロウォータージェット機械加工が行われる、請求項１から１０の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
前記支持体は、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を含む、請求項１から１１の何れかに記載のポリマー軸受支持体。
半径方向及び軸方向の両方での真空ポンプの回転子軸受の弾性支持で使用するためのポリマー軸受支持体であって、前記軸受支持体は、内側及び外側環状部分と、少なくとも１つの第１の半径方向ビームによって前記内側環状部分に接合され、少なくとも１つの第２の半径方向ビームによって前記外側環状部分に接合された少なくとも１つの中間環状部分と、を含む、ポリマー軸受支持体。
軸受機構によって支持された回転子を含む真空ポンプであって、前記軸受機構が、請求項１から１３の何れかに記載のポリマー支持体によって半径方向及び軸方向の両方で支持された軸受を含む、真空ポンプ。
軸受機構によって支持された回転子を含む真空ポンプであって、前記軸受機構が、少なくとも１つの可撓性部材によって接続された内側環状部分及び外側環状部分を含む弾性ポリマー支持体によって半径方向及び軸方向の両方で支持された軸受を含む、真空ポンプ。
半径方向及び軸方向の両方で真空ポンプにおいて回転子軸受を弾性的に支持するように、少なくとも１つの可撓性部材によって接続された内側部分及び外側部分を含む弾性支持体におけるポリマーの使用法。
ポリマーを成形、押出、プリント又は機械加工、鋳造、又はスピン鋳造して、支持体を形成するステップを含む、弾性ポリマー軸受支持体を製造する方法であって、前記支持体は、前記軸受に結合されるように構成された内側部分と、真空ポンプのハウジングに結合されるように構成された外側部分とを含み、前記内側及び外側部分は、少なくとも１つの可撓性部材によって接続される、弾性ポリマー軸受支持体を製造する方法。
軸受支持体を含む真空ポンプを組立てる方法であって、前記方法は、前記軸受支持体を前記真空ポンプから取り外すステップと、ポリマー軸受支持体、好ましくは本発明の他の態様のうちの１又は２以上による軸受支持体と前記軸受支持体を交換するステップと、を含む、方法。