JP2020201235A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定対象物の清浄表面の元素分析を実現する。【解決手段】測定対象物にレーザ光を照射する照射部と、レーザ光を第1パルス光および第2パルス光に分割して、第1パルス光を測定対象物に照射した後、測定対象物に第2パルス光を照射する分割部と、測定対象物への第2パルス光の照射により生じた発光を検出する検出部とを備える検査装置を提供する。分割部は、第1パルス光のパルス幅を第2パルス光のパルス幅よりも長くするパルス幅調整部を有してよい。【選択図】図1
Description
本発明は、検査装置に関する。
従来、レーザ照射部および光検出部より構成される検査装置であって、レーザブレーションによるプラズマからの発光を計測することにより,対象物の含有元素種を検査する装置が知られている(例えば、特許文献1−4参照)。
特許文献1 特開平7−167785号公報
特許文献2 特表2012−508824号公報
特許文献3 特開2012−6814号公報
特許文献4 特開2013−190411号公報
特許文献1 特開平7−167785号公報
特許文献2 特表2012−508824号公報
特許文献3 特開2012−6814号公報
特許文献4 特開2013−190411号公報
しかしながら、特許文献1および特許文献2に記載の方法では、測定対象物の表面が清浄でない場合、正確に元素分析できない。特許文献3ではレーザ照射部が1台であるので、レーザ照射部の繰り返し周波数の範囲内では、測定対象物が停止している場合しか使用できない。特許文献4では、2台のレーザ照射部を設ける必要がある。
本発明の第1の態様においては、測定対象物にレーザ光を照射する照射部と、レーザ光を第1パルス光および第2パルス光に分割して、第1パルス光を測定対象物に照射した後、測定対象物に第2パルス光を照射する分割部と、測定対象物への第2パルス光の照射により生じた発光を検出する検出部とを備える検査装置を提供する。
分割部は、第1パルス光のパルス幅を第2パルス光のパルス幅よりも長くするパルス幅調整部を有してよい。
分割部は、第1パルス光を誘導するための第1光路と、第2パルス光を誘導するための第2光路とを有してよい。第2光路は、第1光路よりも長くてよい。
検査装置は、第2パルス光の遅延時間に基づいて、検出部による検出タイミングを制御する動作制御部を備えてよい。
本発明の第2の態様においては、第1の態様に係る検査装置が、測定対象物にガスを吹き付けるガス吹付ノズルをさらに備える、検査装置を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、実施例1に係る検査装置100の構成の概要を示す。検査装置100は、照射部10と、分割部20と、検出部30と、動作制御部40とを備える。検査装置100は、測定対象物70にレーザ光Lを照射することにより生じたプラズマの発光に基づいて測定対象物70を検査する。例えば、検査装置100は、測定対象物70の元素含有量計測装置として用いられる。
照射部10は、測定対象物70にレーザ光Lを照射する。照射部10が照射するレーザ光Lの波長および出力は、測定対象物70の性質に応じて適宜設定されてよい。照射部10は、固定レーザ、半導体レーザ、液体レーザおよび気体レーザのいずれかであってよい。一例において、照射部10は、ナノ秒のパルス幅で発振する固体レーザである。
分割部20は、レーザ光Lを第1パルス光L1および第2パルス光L2に分割する。分割部20は、レーザ光Lを2つの光路に分割し、一方に遅延を与えたのち、連続した2つのパルス光として測定対象物70に照射する。本例の分割部20は、第2レーザ光L2を第1パルス光L1よりも予め定められた遅延時間Dだけ遅延させる。このように、分割部20は、第1パルス光L1を測定対象物70に照射した後に、測定対象物70に第2パルス光L2を照射する。分割部20は、ビームスプリッタ21と、ミラー22と、ミラー23と、ミラー24と、パルス幅調整部25とを備える。
ビームスプリッタ21は、レーザ光Lを複数のパルス光に分割する。本例のビームスプリッタ21は、レーザ光Lを第1パルス光L1および第2パルス光L2の2つのパルス光に分割する。本例のビームスプリッタ21は、第1パルス光L1を直進させ、第2レーザ光L2を入射方向に垂直な方向に反射させる。
ミラー22およびミラー23は、第2レーザ光L2の光路を調整する。ミラー22およびミラー23は、第2レーザ光L2を誘導するための第2光路を構成する。ミラー22およびミラー23の配置によって、第2レーザ光L2の第2光路の長さを調整できる。本例の分割部20は、第2光路を、第1パルス光L1を誘導するための第1光路よりも長くする。これにより、分割部20は、第1パルス光L1と第2パルス光L2の照射タイミングを調整することができる。
ミラー24は、第1パルス光L1を測定対象物70に向けて反射させる。また、ミラー24は、第2レーザ光L2を透過させる。ミラー24は、第1パルス光L1および第2パルス光L2を同じ光路で測定対象物70に向けて照射する。ミラー24は、測定対象物70の位置に応じて適宜配置されてよい。
パルス幅調整部25は、第1パルス光L1のパルス幅を調整する。一例において、パルス幅調整部25は、第1パルス光L1のパルス幅を、第2レーザ光L2のパルス幅と異なるように調整する。本例のパルス幅調整部25は、第1パルス光L1のパルス幅を第2パルス光L2のパルス幅よりも長くする。例えば、パルス幅調整部25は、回折格子とレンズの組み合わせを含む。また、パルス幅調整部25は、チャープしたボリュームブラッググレーテイングなどの素子を有してもよい。
第1パルス光L1および第2レーザ光L2は、バンドパスフイルタ50およびレンズ60を通過して測定対象物70に照射される。レンズ60は、入射したパルス光を集光して測定対象物70に照射する。バンドパスフイルタ50およびレンズ60の母材は、使用する波長帯に応じて決定される。例えば、バンドパスフイルタ50およびレンズ60の母材は、無水石英ガラスおよび含水石英ガラスの少なくとも1つを含んでもよい。
第1パルス光L1は、測定対象物70の表面をクリーニングするために用いられる。例えば、第1パルス光L1は、測定対象物70の表面に付着した被膜および塗布物等を除去する。第1パルス光L1は、クリーニングしやすいように、第2レーザ光L2よりも広いパルス幅に調整されてよい。クリーニングによって、測定対象物70の清浄表面が露出する。
第2パルス光L2は、測定対象物70の表面にプラズマを発生させる。第2レーザ光L2は、測定対象物70の表面において、第1パルス光L1が照射された位置に照射される。本例の第2パルス光L2は、第1パルス光L1でクリーニングされた測定対象物70の清浄表面にプラズマを発生させる。第2パルス光L2の強度は、第1パルス光L1の強度よりも大きくてよい。
バンドパスフイルタ50は、予め定められた周波数帯の光を透過する。バンドパスフイルタ50は、プラズマ発光による光を検出部30に向けて反射する。例えば、バンドパスフイルタ50では、フッ化カルシウムの母材に誘電体多層膜が設けられている。
検出部30は、測定対象物70への第2パルス光L2の照射により生じたプラズマ発光を検出する。プラズマ発光は、第2レーザ光L2で測定対象物70をレーザ励起することにより生じたプラズマからの発光である。測定対象物70の清浄表面を露出させることにより、測定対象物70の被膜の影響を低減して元素分析できる。検出部30は、レンズ31と、受光調整部32と、分光カメラ33とを備える。
レンズ31は、測定対象物70のプラズマ発光による光を集光する。レンズ31は、集光した光を受光調整部32に入射する。例えば、レンズ31の材料は、フッ化カルシウムを含む。
受光調整部32は、分光カメラ33が受光する光およびそのタイミングを調整する。受光調整部32は、レンズ31が集光した光を増幅して分光カメラ33に出力する。これにより、微弱なプラズマの光を検出できる。受光調整部32は、ゲートの開閉により画像を取得するか否かを制御する。一例において、受光調整部32は、予め定められたゲート時間でゲートを開き、その間に受光した光を出力する。例えば、受光調整部32は、イメージインテンシファイアである。
分光カメラ33は、受光調整部32が増幅した光の画像を取得する。本例の分光カメラ33は、分散型分光器を備えた装置である。分光カメラ33は、受光した光を回折格子により分散させて、分光した各波長の光を検出する。本例の分光カメラ33は、シリコン素子のラインセンサによりスペクトルを計測するが、これに限定されない。光学系は紫外線を透過する光学系であってよい。
動作制御部40は、照射部10および検出部30の動作を制御する。例えば、動作制御部40は、第2パルス光L2の遅延時間Dに基づいて、検出部30による検出タイミングを制御する。また、動作制御部40は、分割部20の動作を制御してもよい。動作制御部40は、レーザ制御部41と、遅延発生器42と、処理部43とを備える。
レーザ制御部41は、照射部10によるレーザ光Lの照射を制御する。例えば、レーザ制御部41は、レーザ光Lの照射タイミングおよび照射強度を制御する。本例のレーザ制御部41は、予め定められた間隔で照射部10のトリガーパルスを発生する。レーザ制御部41は、測定対象物70の位置に応じて、トリガーパルスを発生させてよい。例えば、レーザ制御部41は、全数検査をするために、測定対象物70の入れ替えに応じてトリガーパルスを発生する。
遅延発生器42は、レーザ制御部41のトリガーパルスのタイミングに応じて、受光調整部32の動作のタイミングを制御する。例えば、遅延発生器42は、第1パルス光L1が測定対象物70に照射されてから遅延時間Dが経過した後のプラズマの発光を検出するように、受光調整部32のゲートを制御する。遅延発生器42は、予め定められたゲート時間の間、ゲートが開くように受光調整部32を制御する。
処理部43は、分光カメラ33が取得したスペクトルのデータを取得する。処理部43は、スペクトルに基づいて測定対象物70の元素分析を実行する。処理部43は、ユーザにより操作されてもよい。
検査装置100は、測定対象物70にパルス光を照射してプラズマの発光スペクトルを取得するサイクルを一定時間間隔で繰り返す。これにより、検査装置100は、測定対象物70の着目元素の元素量を、リアルタイムかつ連続的に計測することができる。よって、検査装置100は、測定対象物70が移動している場合であっても、全数検査を実現できる。
以上の通り、検査装置100は、分割部20によりレーザ光Lを2つのパルス光に分割するので、照射部10の繰り返し周期内で測定対象物70が移動している場合にも検査できる。レーザ光Lを分割しない場合は、照射部10の繰り返し周期内では、測定対象物70が停止していなければ照射位置がずれてしまい検査できない。
また、検査装置100は、分割部20を設けることにより、1台の照射部10で、遅延時間Dの間に連続してパルス光を照射することができる。即ち、検査装置100は、複数の照射部10を設ける必要がなく、装置全体を小さくして、コストを低減できる。
図2は、パルス光のパルス幅および照射タイミングを説明するための図である。縦軸はパルス光の強度を示し、横軸は時間を示す。同図は、第1パルス光L1および第2レーザ光L2を示している。
第1パルス光L1は、パルス幅が広げられて、第2パルス光L2よりも先に測定対象物70に照射される。第1パルス光L1のパルス幅を広げることにより、測定対象物70の表面付着物をクリーニングしやすくなる。但し、照射部10から照射された第1パルス光L1のパルス幅が、測定対象物70の表面のクリーニング効果が得られる程度に広い場合、パルス幅調整部25によるパルス幅の調整が不要である。
第2パルス光L2は、第1パルス光L1から予め定められた遅延時間Dの後、測定対象物70に照射される。第2パルス光L2の遅延時間Dは、分割部20における遅延光学系の光路長によって決まる。遅延時間Dは、第1パルス光L1が測定対象物70に照射されてから、第2パルス光L2が測定対象物70に照射されるまでの時間である。本例の遅延時間Dは、第1パルス光L1および第2レーザ光L2の強度のピーク位置を基準に決定されている。分割部20は、照射部10が照射するレーザ光Lの繰り返し周期よりも、遅延時間Dを短くできる。
図3は、比較例に係る検査装置で用いられるパルス光のパルス幅および照射タイミングを示す。縦軸はパルス光の強度を示し、横軸は時間を示す。同図は、第1パルス光L1および第2レーザ光L2を示している。
比較例に係る検査装置は、同一の照射部から、第1パルス光Lc1を照射した後に第2パルス光Lc2を照射する。そのため、第1パルス光Lc1と第2パルス光Lc2との間には、照射部の繰り返し周期に応じた遅延時間Dcが発生する。遅延時間Dcは、分割部20で遅延させることにより生じた遅延時間Dよりも長くなる。よって、比較例に係る検査装置では、測定対象物70が遅延時間Dcの間に移動する場合に対応できなくなる。
図4は、実施例2に係る検査装置100の構成の概要を示す。本実施例に係る検査装置100は、実施例1に係る検査装置100と基本的な構造は同じである。ただし、本例の検査装置100は、ガス吹付ノズル80と、ガス供給部81を備えている点で、実施例1に係る検査装置100と相違する。本例では、実施例1と相違する点について特に説明する。
ガス吹付ノズル80は、測定対象物70にガスを吹き付ける。本例では、レンズ60と測定対象物70の間の光路上に配置されているが、これに限られない。
ガス供給部81は、ガス吹付ノズル80にガスを供給する。例えば、ガス供給部81は、ガスボンベにレギュレータを取り付け、レギュレータで圧力を調整した後、ガス配管によって、ガス吹付ノズル80に取り付ける構成とできる。また、ガスの充てんされた容器を、直接、ガス吹付ノズル80に取り付ける構成としてもよく、これらに限られない。
供給するガスの種類は、ヘリウム、窒素、アルゴンなどの不活性ガスが望ましいが、これに限られない。本例では、不活性ガスとして、アルゴンを供給する。
一例において、ガス吹付の方法は、計測時、常時ガスをフローする方法であるが、これに限られない。例えば、レーザ制御部41のトリガーパルスのタイミングに応じて、間欠的に吹き付ける方法も取り得る。間欠的に吹き付ける方法は、使用するガスの量を少なくできる。
例えば、不活性ガスをパルスが照射される試料表面に吹き付けるようにすると、クリーング効果が増加し得る。第1パルス光L1でアプレーションされた被膜および塗布物等の微粒子を吹き飛ばし、再付着を防止するからである。第1パルス光L1でクリーニングされた測定対象物70の清浄表面における酸化等の化学変化を抑制する効果もある。
また、不活性ガスを吹き付けることは、第2パルス光L2の照射によって生成するプラズマを安定化させる効果もあり得る。不活性ガスはイオン化エネルギが高いので、生成したプラズマと相互作用し難い。そのため、プラズマは発生から発光冷却まで安定した過程をたどることになり、このことはノイズの少ない高精度な元素分析を可能にする。
以上の通り、検査装置100は、レーザ励起によりプラズマを形成し、その発光により測定対象物70の元素量を計測する方法において、測定対象物70の表面に付着した被膜および塗布物等の影響を低減することができる。また、検査装置100は、蛍光X線検査、分光計測およびICP発光分析と比較して、簡素で安価な構成を用いて、測定対象物70の元素計測を実現することができる。さらに、検査装置100は、幅広い材料の分析に用いることができる。
検査装置100は、蛍光X線検査、分光計測およびICP発光分析等と比較して、計測の準備も簡単で計測時間を短縮化するので、全数検査および連続検査に対応できる。例えば、ファクトリーオートメーション分野において、製造組立ラインの全数検査およびリアルタイム検査に対応できる。また、検査装置100は、抜き取りにより検査で生じるような不良製品の検査すり抜けを防止できる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるものでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
10・・・照射部、20・・・分割部、21・・・ビームスプリッタ、22・・・ミラー、23・・・ミラー、24・・・ミラー、25・・・パルス幅調整部、30・・・検出部、31・・・レンズ、32・・・受光調整部、33・・・分光カメラ、40・・・動作制御部、41・・・レーザ制御部、42・・・遅延発生器、43・・・処理部、50・・・バンドパスフイルタ、60・・・レンズ、70・・・測定対象物、80・・・ガス吹付ノズル、81・・・ガス供給部、100・・・検査装置
Claims (5)
- 測定対象物にレーザ光を照射する照射部と、
前記レーザ光を第1パルス光および第2パルス光に分割して、前記第1パルス光を前記測定対象物に照射した後、前記測定対象物に前記第2パルス光を照射する分割部と、
前記測定対象物への前記第2パルス光の照射により生じた発光を検出する検出部と
を備える
検査装置。 - 前記分割部は、前記第1パルス光のパルス幅を前記第2パルス光のパルス幅よりも長くするパルス幅調整部を有する
請求項1に記載の検査装置。 - 前記分割部は、前記第1パルス光を誘導するための第1光路と、前記第2パルス光を誘導するための第2光路とを有し、
前記第2光路は、前記第1光路よりも長い
請求項2に記載の検査装置。 - 前記第2パルス光の遅延時間に基づいて、前記検出部による検出タイミングを制御する動作制御部を備える
請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記測定対象物にガスを吹き付けるガス吹付ノズルをさらに備える、
請求項1から4のいずれか一項に記載の検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019104635 | 2019-06-04 | ||
JP2019104635 | 2019-06-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020201235A true JP2020201235A (ja) | 2020-12-17 |
Family
ID=73743469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019163669A Withdrawn JP2020201235A (ja) | 2019-06-04 | 2019-09-09 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020201235A (ja) |
-
2019
- 2019-09-09 JP JP2019163669A patent/JP2020201235A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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