JP2020190744A - Liquid crystal device and electronic apparatus - Google Patents

Abstract

To provide a liquid crystal device capable of improving display quality and an electronic apparatus.SOLUTION: A liquid crystal device comprises: an element substrate 60 having q pixel electrode 23 and a TFT 19; and a counter substrate 30 arranged to face the element substrate 60. The element substrate 60 includes a first microlens ML1, a second microlens ML2, and a third microlens ML3, corresponding to the pixel electrode 23.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、液晶装置、及び電子機器に関する。 The present invention relates to liquid crystal devices and electronic devices.

液晶装置として、プロジェクターのライトバルブに適用される透過型の液晶装置が知られている。このような液晶装置では、光源から発する光を有効に利用して明るい表示を可能とするために、例えば、素子基板に１つのマイクロレンズを備え、対向基板に１つのマイクロレンズを備える構成が提案されている。 As a liquid crystal device, a transmissive liquid crystal device applied to a light bulb of a projector is known. In such a liquid crystal device, in order to effectively utilize the light emitted from the light source to enable a bright display, for example, a configuration in which one microlens is provided on the element substrate and one microlens is provided on the opposing substrate is proposed. Has been done.

しかし、素子基板と対向基板とを貼り合せる際に、素子基板のマイクロレンズの中心と、対向基板のマイクロレンズの中心と、がずれてしまい、明るさが低下するという問題がある。そこで、特許文献１には、素子基板に２つのマイクロレンズを備え、素子基板側から光を入射する構成の液晶装置が提案されている。 However, when the element substrate and the facing substrate are bonded to each other, there is a problem that the center of the microlens of the element substrate and the center of the microlens of the facing substrate are deviated from each other, resulting in a decrease in brightness. Therefore, Patent Document 1 proposes a liquid crystal device in which two microlenses are provided on an element substrate and light is incident from the element substrate side.

特開２０１５−２２８０４０号公報JP-A-2015-228040

しかしながら、今後の高精細化に伴い、素子基板側から光を入射する液晶装置において、更なる光の利用効率の向上、及びコントラスト比の向上が求められているという課題がある。 However, with the advancement of high definition in the future, there is a problem that the liquid crystal apparatus that injects light from the element substrate side is required to further improve the light utilization efficiency and the contrast ratio.

本願の液晶装置は、光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、を備え、前記第１マイクロレンズのレンズパワーと前記第２マイクロレンズのレンズパワーの関係は、前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする。 The liquid crystal device of the present application is arranged on the incident side of light, and is arranged on the first substrate having a pixel electrode and a switching element, facing the first substrate, and on the emitting side of the light. A second substrate and a liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate are provided, and the first substrate is arranged corresponding to the pixel electrode and is more than the pixel electrode. A first microlens arranged on the incident side of light and a second microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the pixel electrode and the first microlens are provided. The relationship between the lens power of the first microlens and the lens power of the second microlens is characterized in that the lens power of the first microlens ≥ the lens power of the second microlens.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are convex lenses projecting toward the incident side of the light.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記スイッチング素子に対して前記液晶層とは反対側に配置されていることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are arranged on the opposite side of the switching element from the liquid crystal layer.

本願の液晶装置は、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置される第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して、第１マイクロレンズと、第２マイクロレンズと、第３マイクロレンズと、を備えることを特徴とする。 The liquid crystal device of the present application is arranged between a first substrate having a pixel electrode and a switching element, a second substrate arranged to face the first substrate, and the first substrate and the second substrate. A liquid crystal layer is provided, and the first substrate is characterized by including a first microlens, a second microlens, and a third microlens corresponding to the pixel electrodes.

上記の液晶装置において、前記第１基板は、光の入射側に配置され、前記第２基板は、前記光の出射側に配置され、前記第１マイクロレンズ、前記第２マイクロレンズ、及び前記第３マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the liquid crystal apparatus, the first substrate is arranged on the incident side of light, the second substrate is arranged on the emitting side of light, and the first microlens, the second microlens, and the first The 3 microlens is preferably a convex lens that projects toward the incident side of the light.

本願の液晶装置は、光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記液晶層と前記画素電極との間に配置された第３マイクロレンズと、を備え、前記第１マイクロレンズのレンズパワー、前記第２マイクロレンズのレンズパワー、及び前記第３マイクロレンズのレンズパワーの関係は、前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー≧前記第３マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする。 The liquid crystal device of the present application is arranged on the incident side of light, and is arranged on the first substrate having a pixel electrode and a switching element, facing the first substrate, and on the emitting side of the light. A second substrate and a liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate are provided, and the first substrate is arranged corresponding to the pixel electrode and is more than the pixel electrode. A first microlens arranged on the incident side of light, a second microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the pixel electrode and the first microlens, and the pixel electrode. A third microlens, which is correspondingly arranged and is arranged between the liquid crystal layer and the pixel electrode, comprises the lens power of the first microlens, the lens power of the second microlens, and the first. The relationship between the lens powers of the three microlenses is characterized in that the lens power of the first microlens ≧ the lens power of the second microlens ≧ the lens power of the third microlens.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are convex lenses projecting toward the incident side of the light.

本願の電子機器は、上記に記載の液晶装置を備えることを特徴とする。 The electronic device of the present application is characterized by including the liquid crystal device described above.

液晶装置の構成を示す模式平面図。The schematic plan view which shows the structure of the liquid crystal apparatus. 液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図。An equivalent circuit diagram showing an electrical configuration of a liquid crystal device. 図１に示す液晶装置のＡ−Ａ’線に沿った模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA'of the liquid crystal apparatus shown in FIG. プロジェクターの構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of a projector. 図１に示す液晶装置のＡ−Ａ’線に沿った模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA'of the liquid crystal apparatus shown in FIG.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大、縮小、あるいは誇張して表示している。また、説明に必要な構成要素以外は図示を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings. The drawings to be used are enlarged, reduced, or exaggerated as appropriate so that the parts to be described are recognizable. In addition, illustration may be omitted except for the components necessary for explanation.

なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。 In the following form, for example, when it is described as "on the substrate", when it is arranged so as to be in contact with the substrate, or when it is arranged on the substrate via another component, or when it is arranged on the substrate via another component, or the substrate It shall represent the case where a part is arranged so as to be in contact with the top and a part is arranged via another component.

本実施形態では、薄膜トランジスター（Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を画素のスイッチング素子として備えたアクティブマトリックス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば、後述するプロジェクターの液晶ライトバルブとして好適に用いることができるものである。 In the present embodiment, an active matrix type liquid crystal device including a thin film transistor (TFT) as a pixel switching element will be described as an example. This liquid crystal device can be suitably used as, for example, a liquid crystal light bulb of a projector described later.

（第１実施形態）
次に、本実施形態の液晶装置について、図１〜図３を参照しながら説明する。図１は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図２は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。図３は、図１に示す液晶装置のＡ−Ａ’線に沿った模式断面図である。 (First Embodiment)
Next, the liquid crystal apparatus of this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a schematic plan view showing the configuration of a liquid crystal device. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram showing the electrical configuration of the liquid crystal device. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA'of the liquid crystal apparatus shown in FIG.

まず、図１に示すように、本実施形態に係る液晶装置１は、第１基板としての素子基板１０と、素子基板１０に対向配置された第２基板としての対向基板３０と、シール材４２と、液晶層４０と、を備えている。素子基板１０は対向基板３０よりも大きく、両基板は、対向基板３０の縁部に沿って枠状に配置されたシール材４２を介して接合されている。 First, as shown in FIG. 1, the liquid crystal apparatus 1 according to the present embodiment includes an element substrate 10 as a first substrate, an opposing substrate 30 as a second substrate arranged to face the element substrate 10, and a sealing material 42. And the liquid crystal layer 40. The element substrate 10 is larger than the opposing substrate 30, and both substrates are joined via a sealing material 42 arranged in a frame shape along the edge of the opposing substrate 30.

液晶層４０は、素子基板１０と対向基板３０とシール材４２とによって囲まれた空間に封入された、正または負の誘電異方性を有する液晶で構成されている。シール材４２は、例えば熱硬化性または紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤からなる。シール材４２には、素子基板１０と対向基板３０との間隔を一定に保持するための図示しないスペーサーが混入されている。 The liquid crystal layer 40 is composed of a liquid crystal having positive or negative dielectric anisotropy enclosed in a space surrounded by the element substrate 10, the opposing substrate 30, and the sealing material 42. The sealing material 42 is made of an adhesive such as a thermosetting or ultraviolet curable epoxy resin. A spacer (not shown) for keeping the distance between the element substrate 10 and the opposing substrate 30 constant is mixed in the sealing material 42.

枠状に配置されたシール材４２の内側には、素子基板１０に設けられた遮光層と、対向基板３０に設けられた遮光層とが配置されている。遮光層は、枠状の周縁部を有し、例えば遮光性の金属あるいは金属酸化物などで形成されている。枠状の遮光層の内側は、複数の画素Ｐが配列された表示領域Ｅとなっている。画素Ｐは、略多角形の平面形状を有している。画素Ｐは、例えば、略矩形状を有し、マトリックス状に配列されている。 Inside the sealing material 42 arranged in a frame shape, a light-shielding layer provided on the element substrate 10 and a light-shielding layer provided on the facing substrate 30 are arranged. The light-shielding layer has a frame-shaped peripheral edge, and is formed of, for example, a light-shielding metal or a metal oxide. Inside the frame-shaped light-shielding layer is a display area E in which a plurality of pixels P are arranged. The pixel P has a substantially polygonal planar shape. The pixels P have, for example, a substantially rectangular shape and are arranged in a matrix.

表示領域Ｅは、液晶装置１において、実質的に表示に寄与する領域である。素子基板１０に設けられた遮光層は、表示領域Ｅにおいて、複数の画素Ｐの開口領域を平面的に区画するように、例えば格子状に設けられている。なお、液晶装置１は、表示領域Ｅの周囲を囲むように設けられた、実質的に表示に寄与しないダミー領域を備えていてもよい。 The display area E is an area that substantially contributes to the display in the liquid crystal device 1. The light-shielding layer provided on the element substrate 10 is provided in the display region E, for example, in a grid pattern so as to partition the opening regions of the plurality of pixels P in a plane. The liquid crystal device 1 may include a dummy area that is provided so as to surround the display area E and does not substantially contribute to the display.

素子基板１０には、図１において下側に位置する第１辺に沿って、データ線駆動回路５１および複数の外部接続端子５４が設けられている。また、その第１辺に対向する第２辺に沿ったシール材４２の表示領域Ｅ側には、検査回路５３が設けられている。さらに、これらの２辺と直交し互いに対向する他の２辺に沿ったシール材４２の内側には、走査線駆動回路５２が設けられている。 The element substrate 10 is provided with a data line drive circuit 51 and a plurality of external connection terminals 54 along the first side located on the lower side in FIG. Further, an inspection circuit 53 is provided on the display area E side of the sealing material 42 along the second side facing the first side. Further, a scanning line drive circuit 52 is provided inside the sealing material 42 along the other two sides that are orthogonal to these two sides and face each other.

検査回路５３が設けられた第２辺のシール材４２の表示領域Ｅ側には、２つの走査線駆動回路５２を繋ぐ複数の配線５５が設けられている。これらデータ線駆動回路５１、走査線駆動回路５２に繋がる配線は、複数の外部接続端子５４に接続されている。また、対向基板３０の角部には、素子基板１０と対向基板３０との間で電気的導通をとるための上下導通部５６が設けられている。なお、検査回路５３の配置はこれに限定されず、データ線駆動回路５１と表示領域Ｅとの間のシール材４２の内側に沿った位置に設けてもよい。 On the display area E side of the sealing material 42 on the second side where the inspection circuit 53 is provided, a plurality of wirings 55 connecting the two scanning line drive circuits 52 are provided. The wiring connected to the data line drive circuit 51 and the scanning line drive circuit 52 is connected to a plurality of external connection terminals 54. Further, at the corners of the facing substrate 30, a vertical conduction portion 56 for establishing electrical conduction between the element substrate 10 and the facing substrate 30 is provided. The arrangement of the inspection circuit 53 is not limited to this, and may be provided at a position along the inside of the sealing material 42 between the data line drive circuit 51 and the display area E.

以下の説明では、データ線駆動回路５１が設けられた第１辺に沿った軸をＸ軸とし、この第１辺と直交し互いに対向する他の２辺に沿った軸をＹ軸とする。Ｘ軸は、図１のＡ−Ａ’線に沿った軸である。遮光層１７，２１は、Ｘ軸とＹ軸とに沿った格子状に設けられている。画素Ｐの開口領域は、遮光層１７，２１によって格子状に区画され、Ｘ軸とＹ軸とに沿ったマトリックス状に配列されている。 In the following description, the axis along the first side provided with the data line drive circuit 51 is defined as the X axis, and the axis along the other two sides orthogonal to the first side and facing each other is defined as the Y axis. The X-axis is the axis along the A-A'line of FIG. The light-shielding layers 17 and 21 are provided in a grid pattern along the X-axis and the Y-axis. The opening regions of the pixels P are partitioned in a grid pattern by the light-shielding layers 17 and 21, and are arranged in a matrix along the X-axis and the Y-axis.

また、Ｘ軸およびＹ軸と直交し図１における手前に向かう軸をＺ軸とする。なお、本明細書では、液晶装置１の対向基板３０側表面の法線方向から見ることを「平面視」という。 Further, the axis orthogonal to the X-axis and the Y-axis and heading toward the front in FIG. 1 is defined as the Z-axis. In the present specification, viewing from the normal direction of the surface of the liquid crystal device 1 on the opposite substrate 30 side is referred to as "plan view".

図２に示すように、素子基板１０の表示領域Ｅには、走査線２とデータ線３とが互いに交差するように形成され、走査線２とデータ線３との交差に対応して画素Ｐが設けられている。画素Ｐのそれぞれには、画素電極２３と、スイッチング素子としてのＴＦＴ１９とが設けられている。 As shown in FIG. 2, in the display area E of the element substrate 10, the scanning lines 2 and the data lines 3 are formed so as to intersect each other, and the pixels P correspond to the intersections between the scanning lines 2 and the data lines 3. Is provided. Each of the pixels P is provided with a pixel electrode 23 and a TFT 19 as a switching element.

ＴＦＴ１９のソース電極は、データ線駆動回路５１から延在するデータ線３に電気的に接続されている。データ線３には、データ線駆動回路５１から画像信号、言い換えればデータ信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎが線順次で供給される。ＴＦＴ１９のゲート電極は、走査線駆動回路５２から延在する走査線２の一部である。走査線２には、走査線駆動回路５２から走査信号Ｇ１，Ｇ２，…，Ｇｍが線順次で供給される。ＴＦＴ１９のドレイン電極は、画素電極２３に電気的に接続されている。 The source electrode of the TFT 19 is electrically connected to the data line 3 extending from the data line drive circuit 51. Image signals, in other words, data signals S1, S2, ..., Sn are sequentially supplied to the data line 3 from the data line drive circuit 51. The gate electrode of the TFT 19 is a part of the scanning line 2 extending from the scanning line driving circuit 52. Scanning signals G1, G2, ..., Gm are sequentially supplied to the scanning line 2 from the scanning line driving circuit 52. The drain electrode of the TFT 19 is electrically connected to the pixel electrode 23.

画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎは、ＴＦＴ１９を一定期間だけオン状態とすることにより、データ線３を介して画素電極２３に所定のタイミングで書き込まれる。このようにして画素電極２３を介して液晶層４０に書き込まれた所定レベルの画像信号は、対向基板３０に設けられた図３に示す共通電極３３との間に形成される液晶容量で一定期間保持される。 The image signals S1, S2, ..., Sn are written to the pixel electrode 23 at a predetermined timing via the data line 3 by turning on the TFT 19 for a certain period of time. The predetermined level image signal written to the liquid crystal layer 40 via the pixel electrode 23 in this way has a liquid crystal capacity formed between the image signal and the common electrode 33 shown in FIG. 3 provided on the facing substrate 30 for a certain period of time. Be retained.

なお、保持された画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎがリークするのを防止するため、走査線２に沿って形成された容量線４と画素電極２３との間に蓄積容量５が形成され、液晶容量と並列に配置されている。このように、各画素Ｐの液晶に電圧信号が印加されると、印加された電圧レベルにより液晶の配向状態が変化する。これにより、図３に示す液晶層４０に入射した光が変調されて階調表示が可能となる。 In order to prevent the retained image signals S1, S2, ..., Sn from leaking, a storage capacity 5 is formed between the capacitance line 4 formed along the scanning line 2 and the pixel electrode 23. It is arranged in parallel with the liquid crystal capacity. In this way, when a voltage signal is applied to the liquid crystal of each pixel P, the orientation state of the liquid crystal changes depending on the applied voltage level. As a result, the light incident on the liquid crystal layer 40 shown in FIG. 3 is modulated and gradation display becomes possible.

液晶層４０を構成する液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。例えば、ノーマリーホワイトモードの場合、各画素Ｐの単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少する。ノーマリーブラックモードの場合、各画素Ｐの単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加し、全体として液晶装置１からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射される。 The liquid crystal constituting the liquid crystal layer 40 modulates light by changing the orientation and order of the molecular assembly depending on the applied voltage level, and enables gradation display. For example, in the normal white mode, the transmittance for incident light decreases according to the voltage applied in units of each pixel P. In the normally black mode, the transmittance for incident light increases according to the voltage applied in units of each pixel P, and the liquid crystal device 1 emits light having a contrast corresponding to the image signal as a whole.

図３に示すように、液晶装置１は、素子基板１０と、対向基板３０と、素子基板１０と対向基板３０との間に挟持された液晶層４０と、を有している。本実施形態では、光Ｌは、素子基板１０側から入射し、液晶層４０を透過して、対向基板３０側から射出される。 As shown in FIG. 3, the liquid crystal device 1 has an element substrate 10, a facing substrate 30, and a liquid crystal layer 40 sandwiched between the element substrate 10 and the facing substrate 30. In the present embodiment, the light L is incident from the element substrate 10 side, passes through the liquid crystal layer 40, and is emitted from the opposite substrate 30 side.

素子基板１０は、第１基材１１と、第１レンズ層１２と、透光層１３と、中間層１４と、第２レンズ層１５と、透光層１６と、遮光層１７と、絶縁層１８と、ＴＦＴ１９と、絶縁層２０と、遮光層２１と、絶縁層２２と、画素電極２３と、配向膜２４とを備えている。第１レンズ層１２は、複数の第１マイクロレンズＭＬ１を有している。第２レンズ層１５は、複数の第２マイクロレンズＭＬ２を有している。本実施形態の液晶装置１は、第１マイクロレンズＭＬ１と第２マイクロレンズＭＬ２との２段のマイクロレンズを備えている。 The element substrate 10 includes a first base material 11, a first lens layer 12, a translucent layer 13, an intermediate layer 14, a second lens layer 15, a translucent layer 16, a light-shielding layer 17, and an insulating layer. It includes 18, a TFT 19, an insulating layer 20, a light-shielding layer 21, an insulating layer 22, a pixel electrode 23, and an alignment film 24. The first lens layer 12 has a plurality of first microlenses ML1. The second lens layer 15 has a plurality of second microlenses ML2. The liquid crystal device 1 of the present embodiment includes a two-stage microlens of a first microlens ML1 and a second microlens ML2.

第１基材１１は、例えば、ガラスや石英などの光透過性を有する材料からなる。第１基材１１には、複数の凹部１２ａが設けられている。各凹部１２ａは、画素Ｐ毎に設けられている。凹部１２ａの断面形状は、例えば、半円や半楕円などの曲面となっている。凹部１２ａは、第１マイクロレンズＭＬ１のレンズ面を構成する。 The first base material 11 is made of a light-transmitting material such as glass or quartz. The first base material 11 is provided with a plurality of recesses 12a. Each recess 12a is provided for each pixel P. The cross-sectional shape of the recess 12a is, for example, a curved surface such as a semicircle or a semi-ellipse. The recess 12a constitutes the lens surface of the first microlens ML1.

第１レンズ層１２は、凹部１２ａを埋めるように形成されている。第１レンズ層１２は、光透過性を有し、第１基材１１とは異なる屈折率を有する無機材料からなる。本実施形態では、第１レンズ層１２の屈折率は、第１基材１１の屈折率よりも大きく、かつ、第２レンズ層１５の屈折率よりも大きい。このような無機材料としては、例えばＳｉＯＮなどが挙げられる。 The first lens layer 12 is formed so as to fill the recess 12a. The first lens layer 12 is made of an inorganic material having a light transmittance and a refractive index different from that of the first base material 11. In the present embodiment, the refractive index of the first lens layer 12 is larger than the refractive index of the first base material 11 and larger than the refractive index of the second lens layer 15. Examples of such an inorganic material include SiON.

第１レンズ層１２を形成する材料で凹部１２ａを埋め込むことにより、第１マイクロレンズＭＬ１が構成される。すなわち、第１レンズ層１２のうち凹部１２ａを埋めて、光Ｌが入射する側に突出する凸状の部分が第１マイクロレンズＭＬ１である。各第１マイクロレンズＭＬ１は、画素Ｐ毎に配置されている。 The first microlens ML1 is configured by embedding the recess 12a with the material forming the first lens layer 12. That is, the first microlens ML1 is a convex portion of the first lens layer 12 that fills the recess 12a and projects toward the side where the light L is incident. Each first microlens ML1 is arranged for each pixel P.

透光層１３は、第１レンズ層１２を覆うように形成されている。透光層１３は、光透過性を有し、例えば、第１レンズ層１２とほぼ同じ屈折率を有する、例えばＳｉＯ₂などの無機材料からなる。透光層１３は、第１レンズ層１２を保護するとともに、第１マイクロレンズＭＬ１から第２マイクロレンズＭＬ２までの距離を所望の値に合わせる機能を有する。透光層１３の層厚は、光の波長に応じた第１マイクロレンズＭＬ１の焦点距離などの光学条件に基づいて適宜設定される。 The light transmitting layer 13 is formed so as to cover the first lens layer 12. The light-transmitting layer 13 is made of an inorganic material such as SiO ₂ , which has light transmittance and has substantially the same refractive index as that of the first lens layer 12, for example. The translucent layer 13 has a function of protecting the first lens layer 12 and adjusting the distance from the first microlens ML1 to the second microlens ML2 to a desired value. The layer thickness of the light transmitting layer 13 is appropriately set based on optical conditions such as the focal length of the first microlens ML1 according to the wavelength of light.

中間層１４は、透光層１３を覆うように形成されている。中間層１４は、光透過性を有し、透光層１３とほぼ同じ屈折率を有する、例えば、ＳｉＯ₂などの無機材料からなる。 The intermediate layer 14 is formed so as to cover the translucent layer 13. The intermediate layer 14 is made of an inorganic material having light transmittance and having substantially the same refractive index as the light transmitting layer 13, for example, SiO ₂ .

中間層１４には、複数の凹部１５ａが設けられている。各凹部１５ａは、画素Ｐ毎に設けられている。凹部１５ａの断面形状は、例えば、半円や半楕円などの曲面となっている。凹部１５ａは、第２マイクロレンズＭＬ２のレンズ面を構成する。 The intermediate layer 14 is provided with a plurality of recesses 15a. Each recess 15a is provided for each pixel P. The cross-sectional shape of the recess 15a is, for example, a curved surface such as a semicircle or a semi-ellipse. The recess 15a constitutes the lens surface of the second microlens ML2.

第２レンズ層１５は、凹部１５ａを埋めるように形成されている。第２レンズ層１５は、光透過性を有し、第１レンズ層１２よりも屈折率が小さい。このような無機材料としては、例えばＳｉＯＮなどが挙げられる。 The second lens layer 15 is formed so as to fill the recess 15a. The second lens layer 15 has light transmittance and has a lower refractive index than the first lens layer 12. Examples of such an inorganic material include SiON.

第２レンズ層１５を形成する材料で凹部１５ａを埋め込むことにより、第２マイクロレンズＭＬ２が構成される。すなわち、第２レンズ層１５のうち凹部１５ａを埋めて、光Ｌが入射する側に突出する凸状の部分が第２マイクロレンズＭＬ２である。各第２マイクロレンズＭＬ２は、画素Ｐ毎に配置されている。 The second microlens ML2 is configured by embedding the recess 15a with the material forming the second lens layer 15. That is, the second microlens ML2 is a convex portion of the second lens layer 15 that fills the recess 15a and projects toward the side where the light L is incident. Each second microlens ML2 is arranged for each pixel P.

マイクロレンズの光を曲げる力の強さ（焦点距離の逆数）をレンズパワーとすると、第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーと第２マイクロレンズＭＬ２とのレンズパワーの関係は、光Ｌの入射側に配置されている第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーと同じ、又は、第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーの方が大きいことが好ましい。なお、レンズパワーとは、光を曲げる力の大小を表し、屈折率やレンズの角度に依存する。 Assuming that the strength of the force that bends the light of the microlens (the inverse of the focal distance) is the lens power, the relationship between the lens power of the first microlens ML1 and the lens power of the second microlens ML2 is on the incident side of the light L. It is preferable that the lens power of the arranged first microlens ML1 is the same as or the lens power of the first microlens ML1 is larger. The lens power represents the magnitude of the force that bends light, and depends on the refractive index and the angle of the lens.

また、本実施形態では、光Ｌの入射側に突出する、凸状の、即ち凸レンズの第１マイクロレンズＭＬ１と、凸状の、即ち凸レンズの第２マイクロレンズＭＬ２と、が配置されていることになる。 Further, in the present embodiment, the convex, that is, the first microlens ML1 of the convex lens and the convex, that is, the second microlens ML2 of the convex lens, which project to the incident side of the light L, are arranged. become.

透光層１６は、第２レンズ層１５を覆うように形成されている。透光層１６は、光透過性を有し、例えば、第２レンズ層１５とほぼ同じ屈折率を有する、例えばＳｉＯ₂などの無機材料からなる。透光層１６は、第２レンズ層１５を保護するとともに、第２マイクロレンズＭＬ２から液晶層４０までの距離を所望の値に合わせる機能を有する。透光層１６の層厚は、光の波長に応じた第２マイクロレンズＭＬ２の焦点距離などの光学条件に基づいて適宜設定される。 The light transmitting layer 16 is formed so as to cover the second lens layer 15. The light-transmitting layer 16 is made of an inorganic material such as SiO ₂ , which has light transmittance and has substantially the same refractive index as that of the second lens layer 15, for example. The translucent layer 16 has a function of protecting the second lens layer 15 and adjusting the distance from the second microlens ML2 to the liquid crystal layer 40 to a desired value. The layer thickness of the light transmitting layer 16 is appropriately set based on optical conditions such as the focal length of the second microlens ML2 according to the wavelength of light.

遮光層１７は、透光層１６上に設けられている。遮光層１７は、上層の遮光層２１に平面視で重なるように格子状に形成されている。遮光層１７および遮光層２１は、例えば、金属や金属化合物などで形成される。遮光層１７および遮光層２１は、素子基板１０の厚さ方向（Ｚ軸）において、ＴＦＴ１９を間に挟むように配置されている。遮光層１７は、ＴＦＴ１９の少なくともチャネル領域と平面視で重なっている。 The light-shielding layer 17 is provided on the light-transmitting layer 16. The light-shielding layer 17 is formed in a grid pattern so as to overlap the light-shielding layer 21 of the upper layer in a plan view. The light-shielding layer 17 and the light-shielding layer 21 are formed of, for example, a metal or a metal compound. The light-shielding layer 17 and the light-shielding layer 21 are arranged so as to sandwich the TFT 19 in the thickness direction (Z-axis) of the element substrate 10. The light-shielding layer 17 overlaps at least the channel region of the TFT 19 in a plan view.

絶縁層１８は、透光層１６と遮光層１７とを覆うように設けられている。絶縁層１８は、例えば、ＳｉＯ₂などの無機材料からなる。 The insulating layer 18 is provided so as to cover the light transmitting layer 16 and the light shielding layer 17. The insulating layer 18 is made of, for example, an inorganic material such as SiO ₂ .

ＴＦＴ１９は、絶縁層１８上に設けられており、遮光層１７および遮光層２１と平面視で重なる領域に配置されている。ＴＦＴ１９は、画素電極２３を駆動するスイッチング素子である。ＴＦＴ１９は、図示しない半導体層、ゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極で構成されている。半導体層には、ソース領域、チャネル領域、およびドレイン領域が形成されている。チャネル領域とソース領域、又は、チャネル領域とドレイン領域との界面にはＬＤＤ（Lightly Doped Drain）領域が形成されていてもよい。 The TFT 19 is provided on the insulating layer 18, and is arranged in a region where the light-shielding layer 17 and the light-shielding layer 21 overlap in a plan view. The TFT 19 is a switching element that drives the pixel electrode 23. The TFT 19 is composed of a semiconductor layer (not shown), a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode. A source region, a channel region, and a drain region are formed in the semiconductor layer. An LDD (Lightly Doped Drain) region may be formed at the interface between the channel region and the source region or the channel region and the drain region.

ゲート電極は、素子基板１０において平面視で半導体層のチャネル領域と重なる領域に絶縁層２０の一部、即ち、ゲート絶縁膜を介して形成されている。図示を省略するが、ゲート電極は、下層側に配置された走査線にコンタクトホールを介して電気的に接続されており、走査信号が印加されることによってＴＦＴ１９をオン／オフ制御している。 The gate electrode is formed in a region of the element substrate 10 that overlaps with the channel region of the semiconductor layer in a plan view through a part of the insulating layer 20, that is, a gate insulating film. Although not shown, the gate electrode is electrically connected to a scanning line arranged on the lower layer side via a contact hole, and the TFT 19 is controlled to be turned on / off by applying a scanning signal.

絶縁層２０は、絶縁層１８とＴＦＴ１９とを覆うように設けられている。絶縁層２０は、例えば、ＳｉＯ₂などの無機材料からなる。絶縁層２０は、ＴＦＴ１９の半導体層とゲート電極との間を絶縁するゲート絶縁膜を含む。絶縁層２０により、ＴＦＴ１９によって生じる表面の凹凸が緩和される。 The insulating layer 20 is provided so as to cover the insulating layer 18 and the TFT 19. The insulating layer 20 is made of, for example, an inorganic material such as SiO ₂ . The insulating layer 20 includes a gate insulating film that insulates between the semiconductor layer of the TFT 19 and the gate electrode. The insulating layer 20 alleviates the surface irregularities caused by the TFT 19.

絶縁層２０上には、上述した遮光層２１が設けられている。そして、絶縁層２０と遮光層２１とを覆うように、ＳｉＯ₂などの無機材料からなる絶縁層２２が設けられている。 The light-shielding layer 21 described above is provided on the insulating layer 20. An insulating layer 22 made of an inorganic material such as SiO ₂ is provided so as to cover the insulating layer 20 and the light-shielding layer 21.

遮光層１７により第１基材１１側からのＴＦＴ１９への光の入射が抑制され、遮光層２１により液晶層４０側からのＴＦＴ１９への光の入射が抑制されるので、ＴＦＴ１９における光リーク電流の増大や光による誤動作を抑えることができる。遮光層１７に囲まれた開口部内の領域、および、遮光層２１に囲まれた開口部内の領域は、平面視で互いに重なっており、画素Ｐの領域のうち光が透過する開口領域となる。 Since the light-shielding layer 17 suppresses the light incident on the TFT 19 from the first base material 11 side and the light-shielding layer 21 suppresses the light incident on the TFT 19 from the liquid crystal layer 40 side, the light leakage current in the TFT 19 is suppressed. It is possible to suppress malfunction due to increase and light. The area in the opening surrounded by the light-shielding layer 17 and the area in the opening surrounded by the light-shielding layer 21 overlap each other in a plan view, and are the opening areas of the pixel P through which light is transmitted.

画素電極２３は、絶縁層２２上に、画素Ｐ毎に設けられている。画素電極２３は、画素Ｐにおける開口部に平面視で重なる領域に配置されている。画素電極２３は、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）などの透明導電膜からなる。
配向膜２４は、画素電極２３を覆うように設けられている。液晶層４０は、素子基板１０側の配向膜２４と対向基板３０側の配向膜３４との間に封入されている。なお、画素電極２３とＴＦＴ１９とは、図示しないタングステンプラグによって接続されている。画素電極２３とＴＦＴ１９との接続は、１層乃至複数層の中継電極によって接続する構成であってもよい。 The pixel electrode 23 is provided on the insulating layer 22 for each pixel P. The pixel electrode 23 is arranged in a region that overlaps the opening in the pixel P in a plan view. The pixel electrode 23 is made of, for example, a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide).
The alignment film 24 is provided so as to cover the pixel electrode 23. The liquid crystal layer 40 is enclosed between the alignment film 24 on the element substrate 10 side and the alignment film 34 on the facing substrate 30 side. The pixel electrode 23 and the TFT 19 are connected by a tungsten plug (not shown). The connection between the pixel electrode 23 and the TFT 19 may be configured by a relay electrode having one or more layers.

対向基板３０は、第２基材３１と、絶縁層３２と、共通電極３３と、配向膜３４とを備えている。第２基材３１は、例えば、ガラスや石英などの光透過性を有する無機材料からなる。 The facing substrate 30 includes a second base material 31, an insulating layer 32, a common electrode 33, and an alignment film 34. The second base material 31 is made of a light-transmitting inorganic material such as glass or quartz.

絶縁層３２は、第２基材３１の全面に形成されている。絶縁層３２は、例えば、ＳｉＯ₂などの無機材料からなる。共通電極３３は、絶縁層３２を覆うように設けられており、複数の画素Ｐに跨って形成されている。共通電極３３は、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）などの透明導電膜からなる。配向膜３４は、共通電極３３を覆うように設けられている。 The insulating layer 32 is formed on the entire surface of the second base material 31. The insulating layer 32 is made of, for example, an inorganic material such as SiO ₂ . The common electrode 33 is provided so as to cover the insulating layer 32, and is formed so as to straddle the plurality of pixels P. The common electrode 33 is made of, for example, a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide). The alignment film 34 is provided so as to cover the common electrode 33.

なお、図示を省略するが、平面視で遮光層１７および遮光層２１に重なる領域には、ＴＦＴ１９に電気信号を供給するための電極、配線、中継電極や、図２に示す蓄積容量５を構成する容量電極などが設けられている。 Although not shown, an electrode, wiring, and a relay electrode for supplying an electric signal to the TFT 19 and a storage capacity 5 shown in FIG. 2 are configured in a region overlapping the light-shielding layer 17 and the light-shielding layer 21 in a plan view. Capacitive electrodes and the like are provided.

本実施形態に係る液晶装置１では、光源などから発せられた光Ｌは、第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２を備える素子基板１０側から入射し、対向基板３０側から出射される。 In the liquid crystal apparatus 1 according to the present embodiment, the light L emitted from the light source or the like is incident on the element substrate 10 side including the first microlens ML1 and the second microlens ML2, and is emitted from the opposite substrate 30 side.

このように、素子基板１０に第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２を配置し、光Ｌの入射側に配置された第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーを、第２マイクロレンズＭＬ２よりも高くすることにより、光の利用効率を向上させることができる。更に、素子基板１０に２つのマイクロレンズを配置するので、素子基板１０と対向基板３０とを貼り合せた際の位置ズレの発生を抑えることができ、その結果、回折光の発生を抑え、コントラストを向上させることができる。 In this way, the first microlens ML1 and the second microlens ML2 are arranged on the element substrate 10, and the lens power of the first microlens ML1 arranged on the incident side of the light L is made higher than that of the second microlens ML2. By doing so, the efficiency of light utilization can be improved. Further, since the two microlenses are arranged on the element substrate 10, it is possible to suppress the occurrence of positional deviation when the element substrate 10 and the opposing substrate 30 are bonded to each other, and as a result, the generation of diffracted light is suppressed and the contrast is suppressed. Can be improved.

また、第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２は、光Ｌの入射側に突出する凸状のマイクロレンズであるため、同じ形成方法を用いることが可能となり、各マイクロレンズの位置がずれることを抑えることができる。 Further, since the first microlens ML1 and the second microlens ML2 are convex microlenses protruding toward the incident side of the light L, the same forming method can be used, and the positions of the respective microlenses are displaced. Can be suppressed.

また、ＴＦＴ１９の下方、即ち、液晶層４０とは反対側に２つのマイクロレンズを配置するので、ＴＦＴ１９や配線などで遮光されないように光Ｌを対向基板３０に出射させることが可能となり、光の利用効率を向上させることができる。 Further, since the two microlenses are arranged below the TFT 19, that is, on the side opposite to the liquid crystal layer 40, the light L can be emitted to the facing substrate 30 so as not to be shielded by the TFT 19 or wiring, and the light can be emitted. Utilization efficiency can be improved.

＜電子機器＞
次に、本実施形態に係る電子機器としてのプロジェクターの構成を説明する。図４は、プロジェクターの構成を示す模式図である。以下、プロジェクターの構成を、図４を参照しながら説明する。 <Electronic equipment>
Next, the configuration of the projector as an electronic device according to the present embodiment will be described. FIG. 4 is a schematic view showing the configuration of the projector. Hereinafter, the configuration of the projector will be described with reference to FIG.

図４に示すように、プロジェクター１００は、偏光照明装置１１０と、２つのダイクロイックミラー１０４，１０５と、３つの反射ミラー１０６，１０７，１０８と、５つのリレーレンズ１１１，１１２，１１３，１１４，１１５と、３つの液晶ライトバルブ１２１，１２２，１２３と、クロスダイクロイックプリズム１１６と、投写レンズ１１７とを備えている。 As shown in FIG. 4, the projector 100 includes a polarizing illumination device 110, two dichroic mirrors 104, 105, three reflection mirrors 106, 107, 108, and five relay lenses 111, 112, 113, 114, 115. , Three liquid crystal light valves 121, 122, 123, a cross dichroic prism 116, and a projection lens 117.

偏光照明装置１１０は、例えば超高圧水銀灯やハロゲンランプなどの白色光源からなる光源としてのランプユニット１０１と、インテグレーターレンズ１０２と、偏光変換素子１０３とを備えている。ランプユニット１０１と、インテグレーターレンズ１０２と、偏光変換素子１０３とは、システム光軸Ｌｘに沿って配置されている。 The polarizing illumination device 110 includes a lamp unit 101 as a light source made of a white light source such as an ultra-high pressure mercury lamp or a halogen lamp, an integrator lens 102, and a polarization conversion element 103. The lamp unit 101, the integrator lens 102, and the polarization conversion element 103 are arranged along the system optical axis Lx.

ダイクロイックミラー１０４は、偏光照明装置１１０から出射された偏光光束のうち、赤色光（Ｒ）を反射させ、緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とを透過させる。もう１つのダイクロイックミラー１０５は、ダイクロイックミラー１０４を透過した緑色光（Ｇ）を反射させ、青色光（Ｂ）を透過させる。 The dichroic mirror 104 reflects the red light (R) of the polarized light flux emitted from the polarized lighting device 110, and transmits the green light (G) and the blue light (B). The other dichroic mirror 105 reflects the green light (G) transmitted through the dichroic mirror 104 and transmits the blue light (B).

ダイクロイックミラー１０４で反射した赤色光（Ｒ）は、反射ミラー１０６で反射した後にリレーレンズ１１５を経由して液晶ライトバルブ１２１に入射する。ダイクロイックミラー１０５で反射した緑色光（Ｇ）は、リレーレンズ１１４を経由して液晶ライトバルブ１２２に入射する。ダイクロイックミラー１０５を透過した青色光（Ｂ）は、３つのリレーレンズ１１１，１１２，１１３と２つの反射ミラー１０７，１０８とで構成される導光系を経由して液晶ライトバルブ１２３に入射する。 The red light (R) reflected by the dichroic mirror 104 is reflected by the reflection mirror 106 and then enters the liquid crystal light valve 121 via the relay lens 115. The green light (G) reflected by the dichroic mirror 105 enters the liquid crystal light bulb 122 via the relay lens 114. The blue light (B) transmitted through the dichroic mirror 105 is incident on the liquid crystal light valve 123 via a light guide system composed of three relay lenses 111, 112, 113 and two reflection mirrors 107, 108.

光変調素子としての透過型の液晶ライトバルブ１２１，１２２，１２３は、クロスダイクロイックプリズム１１６の色光ごとの入射面に対してそれぞれ対向配置されている。液晶ライトバルブ１２１，１２２，１２３に入射した色光は、映像情報（映像信号）に基づいて変調され、クロスダイクロイックプリズム１１６に向けて出射される。 The transmissive liquid crystal light bulbs 121, 122, and 123 as the light modulation elements are arranged to face each of the incident surfaces of the cross dichroic prism 116 for each color light. The colored light incident on the liquid crystal light bulbs 121, 122, 123 is modulated based on the video information (video signal) and emitted toward the cross dichroic prism 116.

クロスダイクロイックプリズム１１６は、４つの直角プリズムが貼り合わされて構成されており、その内面には赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が合成される。合成された光は、投写光学系である投写レンズ１１７によってスクリーン１３０上に投写され、画像が拡大されて表示される。 The cross dichroic prism 116 is formed by laminating four right-angled prisms, and a dielectric multilayer film that reflects red light and a dielectric multilayer film that reflects blue light are formed in a cross shape on the inner surface thereof. There is. Three colored lights are combined by these dielectric multilayer films to synthesize light representing a color image. The combined light is projected onto the screen 130 by the projection lens 117, which is a projection optical system, and the image is enlarged and displayed.

液晶ライトバルブ１２１は、色光の入射側と出射側とにおいてクロスニコルに配置された一対の偏光素子の間に隙間を置いて配置されている。他の液晶ライトバルブ１２２，１２３も同様である。液晶ライトバルブ１２１，１２２，１２３は、第１の実施形態に係る液晶装置１が適用されたものである。 The liquid crystal light bulb 121 is arranged with a gap between a pair of polarizing elements arranged on the cross Nicol on the incident side and the outgoing side of the colored light. The same applies to the other liquid crystal light bulbs 122 and 123. The liquid crystal light bulbs 121, 122, and 123 are to which the liquid crystal device 1 according to the first embodiment is applied.

以上説明したように、第１実施形態の液晶装置１、及びプロジェクター１００によれば、以下の効果を得ることができる。 As described above, according to the liquid crystal apparatus 1 and the projector 100 of the first embodiment, the following effects can be obtained.

（１）第１実施形態の液晶装置１によれば、素子基板１０に第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２を配置し、光Ｌの入射側に配置された第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーを、第２マイクロレンズＭＬ２のレンズパワー以上にすることにより、光の利用効率を向上させることができる。更に、素子基板１０に２つのマイクロレンズを配置するので、素子基板１０と対向基板３０とを貼り合せた際の位置ズレの発生を抑えることができ、その結果、回折光の発生を抑え、コントラストを向上させることができる。 (1) According to the liquid crystal apparatus 1 of the first embodiment, the first microlens ML1 and the second microlens ML2 are arranged on the element substrate 10, and the lens of the first microlens ML1 arranged on the incident side of the light L. By setting the power to be equal to or higher than the lens power of the second microlens ML2, the light utilization efficiency can be improved. Further, since the two microlenses are arranged on the element substrate 10, it is possible to suppress the occurrence of positional deviation when the element substrate 10 and the opposing substrate 30 are bonded to each other, and as a result, the generation of diffracted light is suppressed and the contrast is suppressed. Can be improved.

（２）第１実施形態のプロジェクター１００によれば、コントラストなど表示品質を向上させることが可能なプロジェクター１００を提供することができる。 (2) According to the projector 100 of the first embodiment, it is possible to provide the projector 100 capable of improving display quality such as contrast.

（第２実施形態）
図５は、第２実施形態の液晶装置の構成を示す模式断面図である。以下、第２実施形態の液晶装置の構成を、図５を参照しながら説明する。 (Second Embodiment)
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the liquid crystal apparatus of the second embodiment. Hereinafter, the configuration of the liquid crystal apparatus of the second embodiment will be described with reference to FIG.

第１実施形態の液晶装置１は、素子基板１０に第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２の２つを配置していたが、第２実施形態の液晶装置２０１は、素子基板６０に第１マイクロレンズＭＬ１、第２マイクロレンズＭＬ２、及び第３マイクロレンズＭＬ３の３つのマイクロレンズを配置している部分が異なっている。その他の部分については概ね第１実施形態と同様であるため、第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。 In the liquid crystal apparatus 1 of the first embodiment, two of the first microlens ML1 and the second microlens ML2 are arranged on the element substrate 10, but the liquid crystal apparatus 201 of the second embodiment has the second microlens ML1 on the element substrate 60. The portion where the three microlenses of the 1 microlens ML1, the 2nd microlens ML2, and the 3rd microlens ML3 are arranged is different. Since the other parts are substantially the same as those in the first embodiment, in the second embodiment, the parts different from the first embodiment will be described in detail, and the other overlapping parts will be omitted as appropriate.

図５に示すように、第２実施形態の液晶装置２０１は、ＴＦＴ１９の上層に配置された無機材料からなる絶縁層２２に、凹部６１ａが形成されている。上記したように、絶縁層２２には、複数の凹部６１ａが設けられている。各凹部６１ａは、画素Ｐ毎に設けられている。凹部６１ａの断面形状は、例えば、半円や半楕円などの曲面となっている。凹部６１ａは、第３マイクロレンズＭＬ３のレンズ面を構成する。 As shown in FIG. 5, in the liquid crystal apparatus 201 of the second embodiment, the recess 61a is formed in the insulating layer 22 made of an inorganic material arranged on the upper layer of the TFT 19. As described above, the insulating layer 22 is provided with a plurality of recesses 61a. Each recess 61a is provided for each pixel P. The cross-sectional shape of the recess 61a is, for example, a curved surface such as a semicircle or a semi-ellipse. The recess 61a constitutes the lens surface of the third microlens ML3.

第３レンズ層６１は、凹部６１ａを埋めるように形成されている。第３レンズ層６１は、光透過性を有し、第２レンズ層１５よりも屈折率が小さい。このような無機材料としては、例えばＳｉＯＮなどが挙げられる。 The third lens layer 61 is formed so as to fill the recess 61a. The third lens layer 61 has light transmittance and has a lower refractive index than the second lens layer 15. Examples of such an inorganic material include SiON.

第３レンズ層６１を形成する材料で凹部６１ａを埋め込むことにより、第３マイクロレンズＭＬ３が構成される。すなわち、第３レンズ層６１のうち凹部６１ａを埋めて、光Ｌが入射する側に突出する凸状の部分が第３マイクロレンズＭＬ３である。各第３マイクロレンズＭＬ３は、画素Ｐ毎に配置されている。言い換えれば、画素電極２３とＴＦＴ１９との間に凹部６１ａを含む第３マイクロレンズＭＬ３が設けられている。なお、画素電極２３とＴＦＴ１９とは、図示しないタングステンプラグによって接続されている。画素電極２３とＴＦＴ１９との接続は、１層乃至複数層の中継電極によって接続する構成であってもよい。 The third microlens ML3 is configured by embedding the recess 61a with the material forming the third lens layer 61. That is, the third microlens ML3 is a convex portion of the third lens layer 61 that fills the recess 61a and projects toward the side where the light L is incident. Each third microlens ML3 is arranged for each pixel P. In other words, a third microlens ML3 including a recess 61a is provided between the pixel electrode 23 and the TFT 19. The pixel electrode 23 and the TFT 19 are connected by a tungsten plug (not shown). The connection between the pixel electrode 23 and the TFT 19 may be configured by a relay electrode having one or more layers.

本実施形態では、光Ｌは、第１マイクロレンズＭＬ１、第２マイクロレンズＭＬ２、及び第３マイクロレンズＭＬ３を備える素子基板６０側から入射し、対向基板３０側から出射される。 In the present embodiment, the light L is incident from the element substrate 60 side including the first microlens ML1, the second microlens ML2, and the third microlens ML3, and is emitted from the opposite substrate 30 side.

このように、本実施形態の第３マイクロレンズＭＬ３は、光Ｌの入射側から見て凸状、即ち凸レンズになっている。即ち、第１マイクロレンズＭＬ１、第２マイクロレンズＭＬ２、及び第３マイクロレンズＭＬ３は、共に光Ｌの入射側に突出する凸状のマイクロレンズである。 As described above, the third microlens ML3 of the present embodiment has a convex shape, that is, a convex lens when viewed from the incident side of the light L. That is, the first microlens ML1, the second microlens ML2, and the third microlens ML3 are all convex microlenses protruding toward the incident side of the light L.

なお、各マイクロレンズのレンズパワーの関係は、「第１マイクロレンズＭＬ１≧第２マイクロレンズＭＬ２≧第３マイクロレンズＭＬ３」の関係を満たしていること、即ち第１マイクロレンズＭＬ１のレンズパワーは、第２マイクロレンズＭＬ２のレンズパワー以上であり、かつ、第２マイクロレンズＭＬ２のレンズパワーは、第３マイクロレンズＭＬ３のレンズパワー以上であることが好ましい。絶縁層２２上には、例えば、透光層６２が形成されている。 The relationship of the lens power of each microlens satisfies the relationship of "first microlens ML1 ≥ second microlens ML2 ≥ third microlens ML3", that is, the lens power of the first microlens ML1 is. It is preferable that the lens power of the second microlens ML2 or more and the lens power of the second microlens ML2 are equal to or more than the lens power of the third microlens ML3. For example, a translucent layer 62 is formed on the insulating layer 22.

透光層６２は、第３レンズ層６１を覆うように形成されている。透光層６２は、光透過性を有し、例えば、第３レンズ層６１とほぼ同じ屈折率を有する、例えばＳｉＯ₂などの無機材料からなる。透光層６２は、第３レンズ層６１を保護するとともに、第３マイクロレンズＭＬ３から液晶層４０までの距離を所望の値に合わせる機能を有する。透光層６２の層厚は、光の波長に応じた第３マイクロレンズＭＬ３の焦点距離などの光学条件に基づいて適宜設定される。 The light transmitting layer 62 is formed so as to cover the third lens layer 61. The light transmitting layer 62 is made of an inorganic material such as SiO ₂ , which has light transmittance and has substantially the same refractive index as that of the third lens layer 61, for example. The translucent layer 62 has a function of protecting the third lens layer 61 and adjusting the distance from the third microlens ML3 to the liquid crystal layer 40 to a desired value. The layer thickness of the light transmitting layer 62 is appropriately set based on optical conditions such as the focal length of the third microlens ML3 according to the wavelength of light.

このように、素子基板６０に３つのマイクロレンズＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３を配置することにより、以下のような効果を得ることができる。第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２により、表示領域Ｅの開口領域に効率よく光を集光させることができ、ＴＦＴ１９と画素電極２３との間に配置された第３マイクロレンズＭＬ３によって光線を平行光にすることが可能となり、光の利用効率を向上させることができる。 By arranging the three microlenses ML1, ML2, and ML3 on the element substrate 60 in this way, the following effects can be obtained. The first microlens ML1 and the second microlens ML2 can efficiently collect light in the aperture region of the display region E, and the third microlens ML3 arranged between the TFT 19 and the pixel electrode 23 emits light. Can be made into parallel light, and the light utilization efficiency can be improved.

加えて、素子基板６０に３つのマイクロレンズＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３を備えることにより、画素電極２３や遮光層１７，２１などとの位置ずれを抑えることができる。更に、対向基板３０にマイクロレンズを配置しない構成にすることにより、素子基板６０と対向基板３０とを貼り合せる際の組ズレを無くすことができる。その結果、光の利用効率を向上させることができ、即ち、明るくすることができると共に、コントラスト比を向上させることができる。 In addition, by providing the element substrate 60 with three microlenses ML1, ML2, ML3, it is possible to suppress the positional deviation from the pixel electrodes 23, the light-shielding layers 17, 21 and the like. Further, by adopting a configuration in which the microlens is not arranged on the facing substrate 30, it is possible to eliminate the assembly misalignment when the element substrate 60 and the facing substrate 30 are bonded together. As a result, the light utilization efficiency can be improved, that is, the light can be brightened and the contrast ratio can be improved.

また、第１マイクロレンズＭＬ１、第２マイクロレンズＭＬ２、第３マイクロレンズＭＬ３の全てのレンズが、光Ｌの入射側に突出する凸状のマイクロレンズで統一されているので、各マイクロレンズＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３の形成方法を同じにすることが可能となり、形成方法の効率化を向上させることができると共に、各マイクロレンズの位置がずれることを抑えることができる。 Further, since all the lenses of the first microlens ML1, the second microlens ML2, and the third microlens ML3 are unified by the convex microlenses protruding to the incident side of the light L, each microlens ML1, It is possible to make the forming methods of ML2 and ML3 the same, it is possible to improve the efficiency of the forming method, and it is possible to suppress the displacement of each microlens.

また、第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２と比較して、第３マイクロレンズＭＬ３のレンズパワーを小さくすることにより、投写レンズによるケラレやコントラスト比が低下することを抑えることができる。 Further, by reducing the lens power of the third microlens ML3 as compared with the first microlens ML1 and the second microlens ML2, it is possible to suppress eclipse and a decrease in contrast ratio due to the projection lens.

以上説明したように、第２実施形態の液晶装置２０１によれば、以下の効果を得ることができる。 As described above, according to the liquid crystal apparatus 201 of the second embodiment, the following effects can be obtained.

（３）第２実施形態によれば、素子基板６０に第１マイクロレンズＭＬ１、第２マイクロレンズＭＬ２、及び第３マイクロレンズＭＬ３の３つのマイクロレンズを備えるので、３段階に効率よく光を集光することが可能となり、明るさを向上させることができる。また、画素電極２３やＴＦＴ１９を有する素子基板６０に３つのマイクロレンズＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３を形成するので、素子基板６０と対向基板３０とを貼り合せた際の組ずれが発生することを抑えることが可能となり、回折光の発生を抑え、コントラスト比を向上させることができる。 (3) According to the second embodiment, since the element substrate 60 is provided with three microlenses of the first microlens ML1, the second microlens ML2, and the third microlens ML3, light is efficiently collected in three stages. It becomes possible to shine and the brightness can be improved. Further, since the three microlenses ML1, ML2, and ML3 are formed on the element substrate 60 having the pixel electrode 23 and the TFT 19, it is possible to suppress the occurrence of misalignment when the element substrate 60 and the facing substrate 30 are bonded together. This makes it possible to suppress the generation of diffracted light and improve the contrast ratio.

（変形例）
また、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。 (Modification example)
Moreover, the said embodiment may be changed as follows.

上記した第１実施形態では、第１マイクロレンズＭＬ１及び第２マイクロレンズＭＬ２は、光Ｌの入射側に突出する凸状のマイクロレンズで構成しているが、これに限定されず、光Ｌの出射側に突出する凹状のマイクロレンズとの組み合わせでもよいし、凹状のマイクロレンズのみで構成するようにしてもよい。また、第２実施形態も同様に、凹状のマイクロレンズとの組み合わせでもよいし、凹状のマイクロレンズのみで構成するようにしてもよい。なお、レンズパワーの関係性は、上記実施形態と同様にすることが好ましい。 In the first embodiment described above, the first microlens ML1 and the second microlens ML2 are composed of convex microlenses protruding toward the incident side of the light L, but the light L is not limited to this. It may be combined with a concave microlens protruding to the emitting side, or may be composed only of the concave microlens. Similarly, the second embodiment may be combined with a concave microlens, or may be composed of only a concave microlens. The relationship between the lens powers is preferably the same as in the above embodiment.

上記した実施形態では、ＴＦＴ１９の下側（液晶層４０とは反対側）に２つのマイクロレンズＭＬ１，ＭＬ２を配置したが、これに限定されず、２つ以上のマイクロレンズを配置するようにしてもよい。 In the above embodiment, the two microlenses ML1 and ML2 are arranged on the lower side of the TFT 19 (the side opposite to the liquid crystal layer 40), but the present invention is not limited to this, and two or more microlenses are arranged. May be good.

上記した実施形態では、マイクロレンズの中心と画素の中心と、を同じにしているが、これに限定されず、マイクロレンズの中心と画素の中心とを異ならすように配置してもよいし、表示領域Ｅの中央から表示領域Ｅの外側に向かって徐々に第２マイクロレンズＭＬ２の中心位置がずれるように配置してもよい。また、ＲＧＢごとにずれ量を変えるようにしてもよい。 In the above embodiment, the center of the microlens and the center of the pixel are the same, but the present invention is not limited to this, and the center of the microlens and the center of the pixel may be arranged so as to be different from each other. The center position of the second microlens ML2 may be gradually shifted from the center of the display area E toward the outside of the display area E. Further, the deviation amount may be changed for each RGB.

以下に、実施形態から導き出される内容を記載する。 The contents derived from the embodiment are described below.

液晶装置は、光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、を備え、前記第１マイクロレンズのレンズパワーと前記第２マイクロレンズのレンズパワーの関係は、前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする。 The liquid crystal device is arranged on the incident side of the light, and is arranged so as to face the first substrate having the pixel electrode and the switching element and the first substrate, and is arranged on the emitting side of the light. A substrate and a liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate are provided, and the first substrate is arranged corresponding to the pixel electrode, and the light is more than the pixel electrode. The first microlens is provided with a first microlens arranged on the incident side and a second microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the pixel electrode and the first microlens. The relationship between the lens power of the microlens and the lens power of the second microlens is characterized in that the lens power of the first microlens ≥ the lens power of the second microlens.

この構成によれば、第１基板に第１マイクロレンズ及び第２マイクロレンズを配置し、光の入射側に配置された第１マイクロレンズのレンズパワーを、第２マイクロレンズのレンズパワー以上にすることにより、光の利用効率を向上させることができる。更に、第１基板に２つのマイクロレンズを配置するので、第１基板と第２基板とを貼り合せた際の位置ズレの発生を抑えることができ、その結果、回折光の発生を抑え、コントラストを向上させることができる。 According to this configuration, the first microlens and the second microlens are arranged on the first substrate, and the lens power of the first microlens arranged on the incident side of the light is set to be equal to or higher than the lens power of the second microlens. As a result, the efficiency of light utilization can be improved. Further, since the two microlenses are arranged on the first substrate, it is possible to suppress the occurrence of positional deviation when the first substrate and the second substrate are bonded to each other, and as a result, the generation of diffracted light is suppressed and the contrast is suppressed. Can be improved.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are convex lenses projecting toward the incident side of the light.

この構成によれば、２つのマイクロレンズの向きが同じ方向に突出する凸レンズを備えるので、凸レンズを同じ製造方法で作ることが可能となり、効率よく形成することができる。 According to this configuration, since the convex lens in which the directions of the two microlenses project in the same direction is provided, the convex lens can be manufactured by the same manufacturing method, and can be efficiently formed.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記スイッチング素子に対して前記液晶層とは反対側に配置されていることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are arranged on the opposite side of the switching element from the liquid crystal layer.

この構成によれば、スイッチング素子に対して液晶層４０とは反対側に２つのマイクロレンズを形成するので、スイッチング素子で遮光されないように光を第２基板に出射させることが可能となり、光の利用効率を向上させることができる。 According to this configuration, since two microlenses are formed on the side opposite to the liquid crystal layer 40 with respect to the switching element, it is possible to emit light to the second substrate so as not to be shielded by the switching element. Utilization efficiency can be improved.

液晶装置は、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置される第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して、第１マイクロレンズと、第２マイクロレンズと、第３マイクロレンズと、を備えることを特徴とする。 The liquid crystal device includes a first substrate having a pixel electrode and a switching element, a second substrate arranged so as to face the first substrate, and a liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate. The first substrate is characterized by including a first microlens, a second microlens, and a third microlens corresponding to the pixel electrodes.

この構成によれば、スイッチング素子を備える第１基板に３つのマイクロレンズを備えるので、明るさを向上させることができる。更に、スイッチング素子を有する同じ第１基板に３つのマイクロレンズをつくるので、第１基板と第２基板とを組み合わせた際に生じる組ずれが発生することを抑えることが可能となり、コントラストを向上させることができる。 According to this configuration, since the first substrate including the switching element is provided with three microlenses, the brightness can be improved. Further, since three microlenses are formed on the same first substrate having a switching element, it is possible to suppress the occurrence of misalignment that occurs when the first substrate and the second substrate are combined, and improve the contrast. be able to.

上記の液晶装置において、前記第１基板は、光の入射側に配置され、前記第２基板は、前記光の出射側に配置され、前記第１マイクロレンズ、前記第２マイクロレンズ、及び前記第３マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the liquid crystal apparatus, the first substrate is arranged on the incident side of light, the second substrate is arranged on the emitting side of light, and the first microlens, the second microlens, and the first The 3 microlens is preferably a convex lens that projects toward the incident side of the light.

この構成によれば、光の入射側である第１基板に凸レンズである３つのマイクロレンズを備えるので、スイッチング素子などによって遮光されないように光を集光させることが可能となり、光の利用効率を向上させることができる。 According to this configuration, since the first substrate on the incident side of the light is provided with three microlenses which are convex lenses, it is possible to collect the light so as not to be shielded by a switching element or the like, and the light utilization efficiency can be improved. Can be improved.

液晶装置は、光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、を備え、前記第１基板は、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、前記画素電極に対応して配置され、前記液晶層と前記画素電極との間に配置された第３マイクロレンズと、を備え、前記第１マイクロレンズのレンズパワー、前記第２マイクロレンズのレンズパワー、及び前記第３マイクロレンズのレンズパワーの関係は、前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー≧前記第３マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする。 The liquid crystal device is arranged on the incident side of the light, and is arranged so as to face the first substrate having the pixel electrode and the switching element and the first substrate, and is arranged on the emitting side of the light. A substrate and a liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate are provided, and the first substrate is arranged corresponding to the pixel electrode, and the light is more than the pixel electrode. A first microlens arranged on the incident side, a second microlens arranged corresponding to the pixel electrode, and arranged between the pixel electrode and the first microlens, and corresponding to the pixel electrode. A third microlens arranged between the liquid crystal layer and the pixel electrode, the lens power of the first microlens, the lens power of the second microlens, and the third micro. The relationship of the lens power of the lens is characterized in that the lens power of the first microlens ≧ the lens power of the second microlens ≧ the lens power of the third microlens.

この構成によれば、第１基板に第１マイクロレンズ、第２マイクロレンズ、及び第３マイクロレンズを配置し、レンズパワーの関係を上記のような関係にすることにより、光の利用効率を向上させることができる。更に、第１基板に３つのマイクロレンズを配置するので、第１基板と第２基板とを貼り合せた際の位置ズレの発生を抑えることができ、その結果、回折光の発生を抑え、コントラストを向上させることができる。 According to this configuration, the first microlens, the second microlens, and the third microlens are arranged on the first substrate, and the relationship between the lens powers is as described above, thereby improving the light utilization efficiency. Can be made to. Further, since the three microlenses are arranged on the first substrate, it is possible to suppress the occurrence of positional deviation when the first substrate and the second substrate are bonded to each other, and as a result, the generation of diffracted light is suppressed and the contrast is suppressed. Can be improved.

上記の液晶装置において、前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることが望ましい。 In the above liquid crystal apparatus, it is desirable that the first microlens and the second microlens are convex lenses projecting toward the incident side of the light.

この構成によれば、３つのマイクロレンズの向きが全て同じ方向に突出する凸レンズを備えるので、凸レンズを同じ製造方法で作ることが可能となり、位置ズレが発生することを抑えることができる。 According to this configuration, since the convex lens in which all three microlenses project in the same direction is provided, it is possible to manufacture the convex lens by the same manufacturing method, and it is possible to suppress the occurrence of misalignment.

電子機器は、上記に記載の液晶装置を備えることを特徴とする。 The electronic device is characterized by including the liquid crystal device described above.

この構成によれば、コントラストなど表示品質を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。 According to this configuration, it is possible to provide an electronic device capable of improving display quality such as contrast.

１，２０１…液晶装置、２…走査線、３…データ線、５…蓄積容量、１０，６０…第１基板としての素子基板、１１…第１基材、１２…第１レンズ層、１２ａ…凹部、１３…透光層、１４…中間層、１５…第２レンズ層、１６…透光層、１７，２１…遮光層、１８…絶縁層、１９…スイッチング素子としてのＴＦＴ、２０…絶縁層、２２…絶縁層、２３…画素電極、２４…配向膜、３０…第２基板としての対向基板、３１…第２基材、３２…絶縁層、３３…共通電極、３４…配向膜、４０…液晶層、６１…第３レンズ層、６１ａ…凹部、６２…透光層、１００…電子機器としてのプロジェクター、１０１…ランプユニット、１０２…インテグレーターレンズ、１０３…偏光変換素子、１０４，１０５…ダイクロイックミラー、１０６，１０７，１０８…反射ミラー、１１０…偏光照明装置、１１１，１１２，１１３，１１４，１１５…リレーレンズ、１１６…クロスダイクロイックプリズム、１１７…投写レンズ、１２１，１２２，１２３…液晶ライトバルブ、１３０…スクリーン。 1,201 ... Liquid crystal device, 2 ... Scanning line, 3 ... Data line, 5 ... Storage capacity, 10,60 ... Element substrate as first substrate, 11 ... First substrate, 12 ... First lens layer, 12a ... Recess, 13 ... translucent layer, 14 ... intermediate layer, 15 ... second lens layer, 16 ... translucent layer, 17, 21 ... light-shielding layer, 18 ... insulating layer, 19 ... TFT as switching element, 20 ... insulating layer , 22 ... Insulation layer, 23 ... Pixel electrode, 24 ... Alignment film, 30 ... Opposing substrate as second substrate, 31 ... Second substrate, 32 ... Insulation layer, 33 ... Common electrode, 34 ... Alignment film, 40 ... Liquid crystal layer, 61 ... 3rd lens layer, 61a ... recess, 62 ... translucent layer, 100 ... projector as an electronic device, 101 ... lamp unit, 102 ... integrator lens, 103 ... polarization conversion element, 104, 105 ... dichroic mirror , 106, 107, 108 ... Reflective mirror, 110 ... Polarized illumination device, 111, 112, 113, 114, 115 ... Relay lens, 116 ... Cross dichroic prism, 117 ... Projection lens, 121, 122, 123 ... Liquid crystal light valve, 130 ... Screen.

Claims (8)

光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、
前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、
を備え、
前記第１基板は、
前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、
前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、を備え、
前記第１マイクロレンズのレンズパワーと前記第２マイクロレンズのレンズパワーの関係は、前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする液晶装置。 A first substrate which is arranged on the incident side of light and has a pixel electrode and a switching element,
The second substrate, which is arranged to face the first substrate and is arranged on the light emitting side,
A liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate,
With
The first substrate is
A first microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged on the incident side of the light with respect to the pixel electrode.
A second microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the pixel electrode and the first microlens is provided.
The liquid crystal apparatus, characterized in that the relationship between the lens power of the first microlens and the lens power of the second microlens is ≥ the lens power of the first microlens ≥ the lens power of the second microlens. 請求項１に記載の液晶装置であって、
前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることを特徴とする液晶装置。 The liquid crystal device according to claim 1.
The liquid crystal apparatus, wherein the first microlens and the second microlens are convex lenses that project to the incident side of the light. 請求項１又は請求項２に記載の液晶装置であって、
前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記スイッチング素子に対して前記液晶層とは反対側に配置されていることを特徴とする液晶装置。 The liquid crystal device according to claim 1 or 2.
A liquid crystal apparatus characterized in that the first microlens and the second microlens are arranged on the side opposite to the liquid crystal layer with respect to the switching element. 画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、
前記第１基板に対向して配置される第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、
を備え、
前記第１基板は、前記画素電極に対応して、第１マイクロレンズと、第２マイクロレンズと、第３マイクロレンズと、を備えることを特徴とする液晶装置。 A first substrate having a pixel electrode and a switching element,
A second substrate arranged to face the first substrate and
A liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate,
With
The first substrate is a liquid crystal apparatus including a first microlens, a second microlens, and a third microlens corresponding to the pixel electrodes. 請求項４に記載の液晶装置であって、
前記第１基板は、光の入射側に配置され、
前記第２基板は、前記光の出射側に配置され、
前記第１マイクロレンズ、前記第２マイクロレンズ、及び前記第３マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることを特徴とする液晶装置。 The liquid crystal device according to claim 4.
The first substrate is arranged on the incident side of light.
The second substrate is arranged on the light emitting side.
The liquid crystal apparatus, wherein the first microlens, the second microlens, and the third microlens are convex lenses that project to the incident side of the light. 光の入射側に配置されると共に、画素電極及びスイッチング素子を有する第１基板と、
前記第１基板に対向して配置されると共に、前記光の出射側に配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置された液晶層と、
を備え、
前記第１基板は、
前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極よりも前記光の入射側に配置された第１マイクロレンズと、
前記画素電極に対応して配置され、前記画素電極と前記第１マイクロレンズとの間に配置された第２マイクロレンズと、
前記画素電極に対応して配置され、前記液晶層と前記画素電極との間に配置された第３マイクロレンズと、を備え、
前記第１マイクロレンズのレンズパワー、前記第２マイクロレンズのレンズパワー、及び前記第３マイクロレンズのレンズパワーの関係は、
前記第１マイクロレンズのレンズパワー≧前記第２マイクロレンズのレンズパワー≧前記第３マイクロレンズのレンズパワー、であることを特徴とする液晶装置。 A first substrate which is arranged on the incident side of light and has a pixel electrode and a switching element,
The second substrate, which is arranged to face the first substrate and is arranged on the light emitting side,
A liquid crystal layer arranged between the first substrate and the second substrate,
With
The first substrate is
A first microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged on the incident side of the light with respect to the pixel electrode.
A second microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the pixel electrode and the first microlens,
A third microlens arranged corresponding to the pixel electrode and arranged between the liquid crystal layer and the pixel electrode is provided.
The relationship between the lens power of the first microlens, the lens power of the second microlens, and the lens power of the third microlens is
A liquid crystal apparatus characterized in that the lens power of the first microlens ≥ the lens power of the second microlens ≥ the lens power of the third microlens. 請求項６に記載の液晶装置であって、
前記第１マイクロレンズ及び前記第２マイクロレンズは、前記光の入射側に突出する凸レンズであることを特徴とする液晶装置。 The liquid crystal device according to claim 6.
The liquid crystal apparatus, wherein the first microlens and the second microlens are convex lenses that project to the incident side of the light. 請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic device including the liquid crystal device according to any one of claims 1 to 7.

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