JP2020190531A - Radiation inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態は、放射線検査装置で撮影した画像（本明細書及び請求項において、放射線画像と呼ぶ）の画質調整に必要なパラメータ値を、装置の構成に合わせて自動的に設定することのできる放射線検査装置に関する。 In the embodiment of the present invention, parameter values necessary for adjusting the image quality of an image (referred to as a radiation image in the present specification and claims) taken by a radiation inspection device are automatically set according to the configuration of the device. Regarding radiation inspection equipment that can be used.
放射線検査装置で物体を撮影する場合、ノイズが少なく鮮明な画像を得るには、物体を透過する放射線の時間的・空間的な密度が増すように撮像条件を工夫する。しかし、放射線発生源から照射する放射線の強度には被爆その他の理由から一定の限界があり、放射線の粒子または光子の密度が低下すると粒状性のノイズが目立つことがある。 When photographing an object with a radiation inspection device, in order to obtain a clear image with less noise, devise imaging conditions so that the temporal and spatial density of the radiation transmitted through the object increases. However, the intensity of radiation emitted from a radiation source has a certain limit due to exposure or other reasons, and grainy noise may be noticeable when the density of radiation particles or photons decreases.
このようなノイズ対策として、従来から、撮影された放射線画像に対して各種のフィルタを用いて画像処理を行い、ノイズを低減したり輪郭を強調する手法が一般的に用いられている。この種の処理を行うフィルタには、ガウシアンフィルタ、バイラテラルフィルタ等が用いられる。これらのフィルタを用いる場合、たとえばバイラテラルフィルタにおいてはカーネルサイズK、フィルタ値S、輝度差Wがパラメータとして必要となる。また、複数のフィルタをかける場合は、各フィルタについて同じパラメータを複数準備する。 As a countermeasure against such noise, a method of reducing noise or emphasizing contours by performing image processing on a captured radiation image using various filters has been generally used. A Gaussian filter, a bilateral filter, or the like is used as a filter for performing this type of processing. When these filters are used, for example, in a bilateral filter, the kernel size K, the filter value S, and the luminance difference W are required as parameters. When applying multiple filters, prepare multiple same parameters for each filter.
一般に、ノイズ特性は、RMS粒状度（root mean square）やウィーナースペクトル（WS：Wiener spectrum）で評価することができる。例えば、ウィーナースペクトルは、横軸に空間周波数を、縦軸にウィーナースペクトルを取り、ウィーナースペクトルの値が大きいということは、ノイズのレベルが高い（粒状性が悪い＝ノイズが多い）ことを意味している。ノイズの低減のためには、適切なノイズ除去レベルが必要となる。空間周波数はノイズのサイズと関連するもので、空間周波数が高いと言うことはノイズサイズが大きいことを意味している。画像のシャープなエッジを再現するには、空間周波数の高い成分が必要であり、空間周波数が高い成分、言い換えればサイズの大きなノイズをカットすると、輪郭がぼやけた画像になる。 In general, noise characteristics can be evaluated by RMS granularity (root mean square) or Wiener spectrum (WS). For example, the Wiener spectrum has the spatial frequency on the horizontal axis and the Wiener spectrum on the vertical axis, and a large value of the Wiener spectrum means that the noise level is high (poor graininess = high noise). ing. An appropriate noise reduction level is required to reduce noise. Spatial frequency is related to the size of noise, and a high spatial frequency means a large noise size. In order to reproduce the sharp edges of an image, a component with a high spatial frequency is required, and if a component with a high spatial frequency, in other words, a large noise, is cut, the image becomes a blurred image.
放射線画像に含まれているノイズを一般的なノイズフィルタを使用して除去する場合、カーネルサイズ、フィルタ値、輝度差などのパラメータ値を個別に複数設定する必要があるが、パラメータ値が実際の放射線画像にどのように反映されるか初心者では把握が難しく、複数のパラメータ値を適切に設定することは困難である。特に、放射線画像の画像処理を行うノイズフィルタについては、パラメータが多いこと、及びパラメータ値を見ただけではそのパラメータ値の変更が画像にどの程度の影響を与えるかを直感的に把握することが難しく、適正なパラメータ値を求める方法が確立していない。例えば、図１１に示すような放射線画像に対してノイズ除去を行う場合に、パラメータの設定方法を誤ると、図１２に示す処理後画像においてノイズとともに必要な画像のエッジ情報が消失してしまう。 When removing noise contained in a radiation image using a general noise filter, it is necessary to set multiple parameter values such as kernel size, filter value, and brightness difference individually, but the parameter values are actual. It is difficult for beginners to grasp how it is reflected in the radiographic image, and it is difficult to appropriately set a plurality of parameter values. In particular, for noise filters that perform image processing of radiographic images, it is possible to intuitively understand that there are many parameters and how much the change in the parameter values affects the image just by looking at the parameter values. It is difficult and no method has been established to obtain an appropriate parameter value. For example, when noise is removed from a radiation image as shown in FIG. 11, if the parameter setting method is incorrect, the necessary edge information of the image is lost together with the noise in the processed image shown in FIG.
一般に、Ｘ線発生器の放射線管に対して管電圧を印加し、ターゲットに電子を衝突させた場合、電子発生時におけるショットノイズやサーマルノイズによって、ターゲットから発生するＸ線粒子数やＸ線粒子の有するエネルギーにばらつきが生じる。同様に、Ｘ線検出器、例えばシンチレータにおけるＸ線粒子から可視光粒子への変換効率も、シンチレータの特性や厚さなどによって異なる。 Generally, when a tube voltage is applied to the radiation tube of an X-ray generator and electrons collide with the target, the number of X-ray particles and X-ray particles generated from the target due to shot noise and thermal noise at the time of electron generation. There is a variation in the energy possessed by. Similarly, the conversion efficiency of X-ray particles to visible light particles in an X-ray detector, for example, a scintillator, also differs depending on the characteristics and thickness of the scintillator.
図１４は、シンチレータ１００に入射したＸ線粒子のエネルギーと、シンチレータ１００内部で発生した可視光粒子の受光素子に対する照射範囲の関係を示す図である。高エネルギーのＸ線粒子は、シンチレータ１００の深くまで進入してから可視光粒子を発光させることから（発光位置ｄ１）、受光素子１０１における受光範囲ｗ１が狭い。低エネルギーのＸ線粒子は、シンチレータ１００の比較的浅い位置で可視光粒子を発光させることから（発光位置ｄ２）、受光範囲ｗ２が広い。また、発光した可視光粒子の強度（ノイズレベルと呼ばれる）は、受光範囲で一様ではなく、受光範囲の周辺に行くと弱くなっている。 FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the energy of the X-ray particles incident on the scintillator 100 and the irradiation range of the visible light particles generated inside the scintillator 100 on the light receiving element. Since the high-energy X-ray particles penetrate deep into the scintillator 100 and then emit visible light particles (emission position d1), the light receiving range w1 in the light receiving element 101 is narrow. Since the low-energy X-ray particles emit visible light particles at a relatively shallow position of the scintillator 100 (emission position d2), the light receiving range w2 is wide. Further, the intensity of the emitted visible light particles (called noise level) is not uniform in the light receiving range, and becomes weaker toward the periphery of the light receiving range.
このように、Ｘ線粒子が可視光粒子を発生させる場合の反応位置はＸ線のエネルギー、シンチレータの厚み、シンチレータの材質（Ｘ線や可視光に対する減弱係数および結晶構造）により確率的に変動する。そのため、放射線検査装置によって撮影された画像に含まれるノイズも、前記のような特性を有する。しかし、従来のノイズフィルタは、このようなＸ線検出器におけるＸ線強度やシンチレータの変換特性に基づくノイズの態様を考慮したものではない。すなわち、従来技術は、Ｘ線検出器から得られた画像そのものを対象として処理を行うものであるため、適切なフィルタ処理を行うことが難しく、多数のパラメータの設定など複雑な操作が要求されていた。 In this way, the reaction position when X-ray particles generate visible light particles varies probabilistically depending on the energy of X-rays, the thickness of the scintillator, and the material of the scintillator (attenuation coefficient and crystal structure for X-rays and visible light). .. Therefore, the noise contained in the image taken by the radiation inspection device also has the above-mentioned characteristics. However, the conventional noise filter does not consider the mode of noise based on the X-ray intensity in such an X-ray detector and the conversion characteristics of the scintillator. That is, in the prior art, since the processing is performed on the image itself obtained from the X-ray detector, it is difficult to perform appropriate filtering processing, and complicated operations such as setting a large number of parameters are required. It was.
本発明の実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本発明の実施形態の目的は、装置を構成する各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などが異なる場合であっても、それらを予め考慮することで、ノイズが低減された放射線画像を容易に得ることができる放射線検査装置を提供することにある。 An embodiment of the present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems of the prior art. An object of the embodiment of the present invention is that even if the configuration and arrangement of each part constituting the apparatus or the material of the scintillator are different, the radiation image with reduced noise can be easily obtained by considering them in advance. The purpose is to provide a radiation inspection device that can be obtained.
本発明の実施形態の放射線検査装置は、次のような構成を有する。
（１）放射線発生器と、被検査物を載置する支持部と、前記被検査物を透過した放射線を受光して可視光に変換する放射線検出器。
（２）前記放射線発生器と前記放射線検出器の各部の位置関係、前記放射線発生器に加える管電圧及び／または管電流、及び前記放射線検出器の特性の少なくとも一つをパラメータとして受け付ける入力部。
（３）前記パラメータの値を、前記処理前画像に対するノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて記憶する除去ノイズデータ記憶部。
（４）撮影された放射線画像の処理前画像を保存する処理前画像記憶部。
（５）前記除去ノイズデータ記憶部に記憶されているデータに基づいて、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを決定する除去ノイズ決定部。
（６）前記除去ノイズ決定部により決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて、前記処理前画像中に含まれるノイズを除去する画像処理フィルタ。
（７）前記画像処理部によって得られた処理後画像を保存する処理後画像記憶部。
（８）前記入力部の入力インターフェースと前記処理前画像および／または処理後画像を表示する表示部。
The radiation inspection apparatus according to the embodiment of the present invention has the following configuration.
(1) A radiation generator, a support portion on which an object to be inspected is placed, and a radiation detector that receives radiation transmitted through the object to be inspected and converts it into visible light.
(2) An input unit that accepts at least one of the positional relationship between the radiation generator and each part of the radiation detector, the tube voltage and / or tube current applied to the radiation generator, and the characteristics of the radiation detector as parameters.
(3) A removal noise data storage unit that stores the value of the parameter in association with the noise removal level and noise size of the unprocessed image.
(4) A pre-processing image storage unit for storing a pre-processing image of a captured radiographic image.
(5) A removal noise determination unit that determines a noise removal level and a noise size corresponding to parameters received from the input unit based on the data stored in the removal noise data storage unit.
(6) An image processing filter that removes noise contained in the unprocessed image based on the noise removal level and noise size determined by the removal noise determination unit.
(7) A post-processing image storage unit that stores the post-processing image obtained by the image processing unit.
(8) An input interface of the input unit and a display unit for displaying the pre-processed image and / or the post-processed image.
本発明の実施形態において、次のような構成を有することができる。
（１）前記入力部は、前記表示部に表示された前記処理前画像の任意の一部を指定する範囲指定部を備え、前記画像処理フィルタは、前記範囲指定部によって指定された前記処理前画像の一部に対して、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいてノイズの除去を行う。
（２）前記画像処理フィルタは、被検査物の撮影時のパラメータにもとづいて決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを基準値として、その基準値から一定の間隔で設定された複数のノイズサイズと複数のノイズ除去レベルの組み合わせに基づいて前記処理前画像に対してノイズ除去を実施し、
前記表示部は、前記画像処理フィルタによりノイズ除去された複数の前記処理後画像のサムネイルを、マトリックス状に表示する。
（３）前記表示部は、座標表面上においてノイズサイズを横軸にノイズ除去レベルを縦軸にとり、前記横軸及び縦軸の近傍にスライドバーを配置し、前記入力部は前記スライドバーを操作してノイズサイズとノイズ除去レベルを入力する。
（４）前記除去ノイズデータ記憶部は、前記パラメータの値を、前記処理前画像に対する所定の幅を持ったノイズ除去レベルの値及びノイズサイズの値と対応付けて記憶する。
In the embodiment of the present invention, the following configuration can be provided.
(1) The input unit includes a range designation unit for designating an arbitrary part of the pre-processing image displayed on the display unit, and the image processing filter is the pre-processing designated by the range designation unit. Noise is removed from a part of the image based on the noise removal level and the noise size corresponding to the parameters received from the input unit.
(2) The image processing filter uses a noise removal level and a noise size determined based on the parameters at the time of photographing the object to be inspected as reference values, and a plurality of noise sizes set at regular intervals from the reference values. Noise removal is performed on the unprocessed image based on a combination of a plurality of noise reduction levels.
The display unit displays a plurality of thumbnails of the processed images whose noise has been removed by the image processing filter in a matrix.
(3) The display unit has a noise size on the horizontal axis and a noise removal level on the vertical axis, and slide bars are arranged in the vicinity of the horizontal axis and the vertical axis, and the input unit operates the slide bar. Then enter the noise size and noise reduction level.
(4) The removed noise data storage unit stores the value of the parameter in association with the value of the noise removal level having a predetermined width and the value of the noise size with respect to the unprocessed image.
［１．第１実施形態］
本実施形態は、装置を構成する各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などに応じてノイズ除去のレベルとサイズを自動的に決定すると共に、決定されたノイズ除去のレベルとサイズとは段階的に少しずつ異なるレベルとサイズによって画像処理した処理後画像のサムネイルを表示することにより、ユーザが最適な処理後画像を選択するものである。
［１−１．全体構成］
図１のブロック図に示すように、第１実施形態の画質調整装置を組み込んだ放射線検出装置は、Ｘ線発生器であるＸ線管１と、Ｘ線管１の焦点Ｆから放射されたＸ線ビーム２を受光する検出器３とが、被検体Ｗを挟んで対向して配置される。Ｘ線ビーム２は、Ｘ線光軸Ｌを中心とする角錐状のビームである。検出器３は、被検体Ｗを透過したＸ線ビーム２を２次元の空間分解能をもって検出し、検出器３の出力側に接続された画像処理部１０に対して透過画像データとして出力する。
[1. First Embodiment]
In this embodiment, the noise removal level and size are automatically determined according to the configuration and arrangement of each part constituting the device, the material of the scintillator, and the like, and the determined noise removal level and size are stepwise. By displaying thumbnails of processed images that have been image-processed according to slightly different levels and sizes, the user selects the optimum processed image.
[1-1. overall structure]
As shown in the block diagram of FIG. 1, the radiation detection device incorporating the image quality adjusting device of the first embodiment includes the X-ray tube 1 which is an X-ray generator and the X emitted from the focal point F of the X-ray tube 1. The detector 3 that receives the line beam 2 is arranged so as to face each other with the subject W in between. The X-ray beam 2 is a pyramidal beam centered on the X-ray optical axis L. The detector 3 detects the X-ray beam 2 transmitted through the subject W with a two-dimensional spatial resolution, and outputs the X-ray beam 2 as transmitted image data to the image processing unit 10 connected to the output side of the detector 3.
Ｘ線管１及び検出器３は対向してシフト機構４より支持されている。被検体Ｗは、その支持部である回転テーブル５上に載置される。すなわち、回転テーブル５上にＸＹ駆動機構６が設けられ、そのＸＹ駆動機構６上に被検体Ｗが載置される。被検体Ｗは回転テーブル５上でＸＹ駆動機構６によって水平な２方向に移動される。回転テーブル５は、その下部に配置された回転・昇降機構７により回転軸８を中心として回転すると共に昇降する。Ｘ線管１、検出器３、シフト機構４、ＸＹ駆動機構６及び回転・昇降機構７は、表示部１１及び入力部１２を備えた制御部９に接続される。 The X-ray tube 1 and the detector 3 face each other and are supported by the shift mechanism 4. The subject W is placed on a rotary table 5 which is a support portion thereof. That is, the XY drive mechanism 6 is provided on the rotary table 5, and the subject W is placed on the XY drive mechanism 6. The subject W is moved in two horizontal directions on the rotary table 5 by the XY drive mechanism 6. The rotary table 5 is rotated and moved up and down around the rotating shaft 8 by a rotating / elevating mechanism 7 arranged below the rotary table 5. The X-ray tube 1, the detector 3, the shift mechanism 4, the XY drive mechanism 6, and the rotation / elevating mechanism 7 are connected to a control unit 9 having a display unit 11 and an input unit 12.
制御部９及び画像処理部１０は、ＣＰＵ、メモリ、ハードディスク、キーボードやマウスなどの入力部１２と、液晶ディスプレイなどの表示部１１を備えたコンピュータの一部として構成される。表示部１１には、入力部１２の入力インターフェース、検出器３からの透過画像データに基づいて生成された処理前画像Ａ、処理前画像Ａに対してノイズ除去や輪郭強調を行った処理後画像Ｂが表示される。 The control unit 9 and the image processing unit 10 are configured as a part of a computer including an input unit 12 such as a CPU, a memory, a hard disk, a keyboard and a mouse, and a display unit 11 such as a liquid crystal display. The display unit 11 shows the input interface of the input unit 12, the pre-processed image A generated based on the transparent image data from the detector 3, and the post-processed image in which noise is removed and the contour of the preprocessed image A is enhanced. B is displayed.
入力部１２は、次のような処理を行うように構成されている。
(1) 被検査物Ｗの撮影時に使用される放射線検査装置の各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などのパラメータと、これらのパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを、被検査物Ｗの撮影時よりも前に、除去ノイズデータ記憶部に入力する。
(2) 被検査物Ｗの撮影時に使用される放射線検査装置の各パラメータを入力する。
(3) ユーザがサムネイル生成部１８に表示された複数のサムネイルを参照しながら、希望とするノイズ除去レベル及びノイズサイズを選択する。
The input unit 12 is configured to perform the following processing.
(1) Parameters such as the configuration and arrangement of each part of the radiation inspection device used when photographing the inspected object W or the material of the scintillator, and the noise removal level and noise size corresponding to these parameters are set in the inspected object W. Input to the removal noise data storage unit before shooting.
(2) Enter each parameter of the radiological inspection device used when photographing the object W to be inspected.
(3) The user selects a desired noise removal level and noise size while referring to a plurality of thumbnails displayed on the thumbnail generation unit 18.
前記(1) (2) について、入力部１２は、ユーザからあるいは別途用意されたファイルなどから、Ｘ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係、Ｘ線管１に加える管電圧及び／または管電流、放射線検出器３の特性を、制御部９に入力するものである。例えば、ユーザにより入力部１２から制御部９に入力された指令に基づき、回転テーブル５は被検体Ｗと共にシフト機構４によりＸ線管１と検出器３の間をＸ線光軸Ｌに沿って移動され、撮影距離（焦点−回転軸間距離）ＦＣＤが変更される。検出器３はシフト機構４によりＸ線光軸Ｌに沿って移動され、検出距離（焦点−検出器間距離）ＦＤＤが変更される。これにより撮影倍率ＦＤＤ／ＦＣＤが変更される。このように変更されたＦＣＤ、ＦＤＤ、ＦＤＤ／ＦＣＤなどのデータが、Ｘ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係のデータとして、入力部１２から制御部９に入力される。 Regarding (1) and (2) above, the input unit 12 receives the positional relationship between the X-ray tube 1 and each part of the radiation detector 3, the tube voltage applied to the X-ray tube 1, and / / from a file prepared separately from the user. Alternatively, the tube current and the characteristics of the radiation detector 3 are input to the control unit 9. For example, based on a command input from the input unit 12 to the control unit 9 by the user, the rotary table 5 and the subject W are moved between the X-ray tube 1 and the detector 3 by the shift mechanism 4 along the X-ray optical axis L. It is moved and the shooting distance (distance between the focal point and the axis of rotation) FCD is changed. The detector 3 is moved along the X-ray optical axis L by the shift mechanism 4, and the detection distance (distance between the focus and the detector) FDD is changed. As a result, the shooting magnification FDD / FCD is changed. The data such as FCD, FDD, and FDD / FCD changed in this way are input from the input unit 12 to the control unit 9 as the data of the positional relationship between the X-ray tube 1 and each part of the radiation detector 3.
(3) のユーザによるノイズ除去レベル及びノイズサイズの選択は、例えば次のように行う。すなわち、本実施形態では、図７に示すように、一定の間隔で設定された複数のノイズサイズと複数のノイズ除去レベルの組み合わせに基づいて画像処理された複数の処理後画像Ｂのサムネイルを、マトリックス状に表示する。マトリックス状に表示されたサムネイルの近傍には、上下または左右方向のスライドバーを設け、ユーザが希望するサムネイルに向かってスライドバーを操作することにより、そのサムネイルを生成した際に採用されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを選択する。 The user selects the noise removal level and noise size in (3) as follows, for example. That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, thumbnails of a plurality of processed images B that have been image-processed based on a combination of a plurality of noise sizes and a plurality of noise removal levels set at regular intervals are displayed. Display in a matrix. A slide bar in the vertical or horizontal direction is provided in the vicinity of the thumbnails displayed in a matrix, and the noise removal adopted when the thumbnail is generated by operating the slide bar toward the thumbnail desired by the user. Select the level and noise size.
Ｘ線管１に与える管電流及び管電圧は、Ｘ線管１から放射されるＸ線の強度に影響を与えるものであるため、被検査物の材質、肉厚などに応じて適宜調整される。この場合、管電圧及び管電流の両者を調整する場合もあるし、いずれか一方をのみを調整する場合もある。このような調整すべき管電流及び管電圧の値は、入力部１２から制御部９に出力される。 Since the tube current and tube voltage applied to the X-ray tube 1 affect the intensity of the X-rays radiated from the X-ray tube 1, they are appropriately adjusted according to the material and wall thickness of the object to be inspected. .. In this case, both the tube voltage and the tube current may be adjusted, or only one of them may be adjusted. The values of the tube current and the tube voltage to be adjusted are output from the input unit 12 to the control unit 9.
［１−２．画像処理部１０の構成］
画像処理部１０は、図２に示すように、除去ノイズデータ記憶部１３、処理前画像記憶部１５、画像処理フィルタ１６、処理後画像記憶部１７及び処理後画像Ｂのサムネイル生成部１８を備える。
[1-2. Configuration of image processing unit 10]
As shown in FIG. 2, the image processing unit 10 includes a removal noise data storage unit 13, a pre-processing image storage unit 15, an image processing filter 16, a post-processing image storage unit 17, and a thumbnail generation unit 18 of the post-processing image B. ..
除去ノイズデータ記憶部１３は、入力部１２から入力された各パラメータの組み合わせをノイズ除去レベル及びノイズサイズに対応付けて記憶する。各パラメータとノイズ除去レベル及びノイズサイズを対応付けて記憶する手法としては、例えば次のようなものを用いる。 The removal noise data storage unit 13 stores the combination of each parameter input from the input unit 12 in association with the noise removal level and the noise size. As a method for storing each parameter in association with the noise removal level and the noise size, for example, the following is used.
（ａ）実測する場合
対象の放射線検査装置において、放射線スペクトルと検出器を用いてMTFを測定することで支配的なノイズサイズを求めることができる。
(A) In the case of actual measurement In the target radiation inspection device, the dominant noise size can be obtained by measuring the MTF using the radiation spectrum and the detector.
（ｂ）計算的に求める場合
図１４に記載のように、放射線フォトンノイズの大きさは放射線がシンチレータ内でシンチレーション光に変換される深さ方向の位置により変化する。すなわち、表面で変換されればフォトン１個あたりのフォトンノイズサイズは大きくなり、受光面近くで変換されればサイズは小さくなる。この場合、放射線フォトンがシンチレータ内で反応する位置は、放射線のエネルギーＥ、シンチレータの厚みＤ、シンチレータ材質（具体的には、減弱係数および結晶構造）により確率的に変動する。そこで、放射線が単色の場合は、前記を踏まえたモンテカルロシミュレーションを行うことで、例えば、図３に示すようなサイズ分布を得ることができる。
(B) Calculation: As shown in FIG. 14, the magnitude of the radiation photon noise changes depending on the position in the depth direction in which the radiation is converted into scintillation light in the scintillator. That is, if it is converted on the surface, the photon noise size per photon becomes large, and if it is converted near the light receiving surface, the size becomes small. In this case, the position where the radiation photons react in the scintillator stochastically varies depending on the energy E of the radiation, the thickness D of the scintillator, and the material of the scintillator (specifically, the attenuation coefficient and the crystal structure). Therefore, when the radiation is monochromatic, a size distribution as shown in FIG. 3 can be obtained, for example, by performing a Monte Carlo simulation based on the above.
例えば、放射線のエネルギーＥは放射線管電圧Vにより決定され、シンチレータ内での発光位置dが変化するため、受光素子での受光範囲ｗが変化する。電圧Vと発光位置ｄと受光範囲ｗの関係は、シンチレータの構造、材質、厚みにより変化するため、
・テーブルを用いてVとｗの関係を求める
・Vとｗの相関から近似により算出する
等の方法で、管電圧Vから受光範囲ｗを求め、これをノイズサイズとする。ノイズ除去レベルについては、受光範囲ｗに存在する受光素子に対する可視光の入力強度を検出することで、受光範囲の各位置における入力レベルを知ることができる。この場合、管電圧Ｖの代わりに、管電流によっても放射線のエネルギーＥが変化することから、管電流の変化と受光範囲との関係に基づいてノイズサイズを決定することもできる。
For example, the energy E of radiation is determined by the radiation tube voltage V, and the light emitting position d in the scintillator changes, so that the light receiving range w in the light receiving element changes. Since the relationship between the voltage V, the light emitting position d, and the light receiving range w changes depending on the structure, material, and thickness of the scintillator,
・ Obtain the relationship between V and w using a table. ・ Obtain the light receiving range w from the tube voltage V by an approximation such as calculating from the correlation between V and w, and use this as the noise size. Regarding the noise removal level, the input level at each position in the light receiving range can be known by detecting the input intensity of visible light with respect to the light receiving element existing in the light receiving range w. In this case, since the radiation energy E changes depending on the tube current instead of the tube voltage V, the noise size can be determined based on the relationship between the change in the tube current and the light receiving range.
放射線検査装置におけるノイズ除去レベルとノイズサイズは、上記のような管電圧や管電流といったパラメータ以外にも、ＦＣＤ、ＦＤＤ、ＦＤＤ／ＦＣＤなどのＸ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係に関するパラメータによっても変動する。更には、シンチレータの材質や可視光への変換特性もノイズのレベルとサイズに影響する。本実施形態においては、これらの値についてもパラメータとして選定し、これら各パラメータの変動がノイズのレベルとサイズに与える影響を対応付けて予め除去ノイズデータ記憶部１３に記憶する。 The noise removal level and noise size in the radiation inspection device are the positional relationship between the X-ray tube 1 such as FCD, FDD, FDD / FCD and the radiation detector 3 in addition to the parameters such as tube voltage and tube current as described above. It also varies depending on the parameters related to. Furthermore, the material of the scintillator and the conversion characteristics to visible light also affect the noise level and size. In the present embodiment, these values are also selected as parameters, and the influences of the fluctuations of each of these parameters on the noise level and size are associated with each other and stored in advance in the noise data storage unit 13.
一方、放射線が複数のエネルギー分布を持つ場合は、図５に示すように放射線のエネルギー分布ごとのサイズ分布の重ね合わせがサイズ分布になる。この場合、サイズ分布をテーブルとして取得しておくか、被検査物Ｗの撮影の都度、エネルギー分布を測定したり、計算しても良い。その理由は、放射線画像のノイズは、厳密には被検査物Ｗを透過後のスペクトルによって生じるからである。しかし、ノイズ除去の画像処理行う場合に、被検査物Ｗの透過部分についてはノイズ除去処理を強く行うと、被検査物の画像自身が損なわれることがあるため、被検査物の撮影の前に予め放射線検査装置におけるノイズ除去レベルとサイズを決定しておくことは、実際の放射線画像の撮影時において被検査物Ｗの透過部分以外の余白部分のノイズ除去に大きな効果がある。 On the other hand, when radiation has a plurality of energy distributions, the superposition of the size distributions for each energy distribution of radiation becomes the size distribution as shown in FIG. In this case, the size distribution may be acquired as a table, or the energy distribution may be measured or calculated each time the inspected object W is photographed. The reason is that the noise of the radiographic image is strictly caused by the spectrum after passing through the object W to be inspected. However, when performing image processing for noise removal, if the noise removal processing is strongly performed on the transparent portion of the object W to be inspected, the image itself of the object to be inspected may be damaged. Determining the noise removal level and size in the radiation inspection device in advance has a great effect on removing noise in the margin portion other than the transmission portion of the object W to be inspected when actually taking a radiation image.
処理前画像記憶部１５は、撮影された放射線画像、すなわち、検出器３の透過画像データに基づいて作成された可視光画像を処理前画像Ａとして保存する。処理後画像記憶部１７は、画像処理フィルタ１６による画像処理の結果得られた処理後画像Ｂを決定部１４から受け付けたノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて保存する。サムネイル生成部１８は、処理後画像記憶部１７に保存されている処理後画像Ｂのサムネイルを生成して、表示部１１に表示する。 The pre-processing image storage unit 15 stores the captured radiographic image, that is, the visible light image created based on the transmitted image data of the detector 3 as the pre-processing image A. The post-processing image storage unit 17 stores the post-processing image B obtained as a result of image processing by the image processing filter 16 in association with the noise removal level and noise size received from the determination unit 14. The thumbnail generation unit 18 generates a thumbnail of the processed image B stored in the processed image storage unit 17 and displays it on the display unit 11.
画像処理フィルタ１６としては、次のようなものが使用できる。例えば、図３に示す単色ノイズの場合には、ノイズサイズに応じた画像内のノイズ周波数を算出し、例えば図４に示すノッチフィルタのような帯域除去フィルタを用いて対象ノイズ成分を低減する。一方、複数のノイズが重畳された図５に示す白色ノイズの場合は、図６に示すように、複数の帯域除去フィルタを組み合わせることでノイズ成分を低減する。 The following can be used as the image processing filter 16. For example, in the case of monochromatic noise shown in FIG. 3, the noise frequency in the image is calculated according to the noise size, and the target noise component is reduced by using a band removal filter such as the notch filter shown in FIG. On the other hand, in the case of the white noise shown in FIG. 5 in which a plurality of noises are superimposed, the noise component is reduced by combining a plurality of band removal filters as shown in FIG.
サムネイル生成部１８は、次のようにして処理後画像Ｂの複数のサムネイルを生成する。表示部１１は、サムネイル生成部１８によって生成された複数の処理後画像Ｂのサムネイルを、マトリックス状に表示する。
（１）画像処理フィルタ１６は、被検査物Ｗの撮影時のパラメータにもとづいて決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを基準値として基準処理前画像Ａを生成する。サムネイル生成部１８は、ノイズ決定部１４により決定された除去ノイズレベルとノイズサイズを基準として、それぞれ一定の数値間隔で異なる除去ノイズレベルとノイズサイズを設定する。この場合、選定された除去ノイズレベルとノイズサイズについて、放射線画像の改善に寄与しないことが判明している設定値や、設定値の上限や下限近傍の値については、設定する必要はない。
（２）保存された基準処理前画像Ａに対して、各パラメータの一定の数値間隔で設定されたパラメータ値の１つを選択して、選択されたパラメータ値に基づいて画像処理フィルタ１６により画像処理を行い、処理後画像Ｂを作成する。
（３）選定されたすべての除去ノイズレベルとノイズサイズについて、一定の数値間隔で設定された異なる設定値を用いて繰り返し処理後画像Ｂを作成する。サムネイル生成部１８は、生成された多数の処理後画像Ｂを表示部１１にマトリックス状に配置する。
The thumbnail generation unit 18 generates a plurality of thumbnails of the processed image B as follows. The display unit 11 displays the thumbnails of the plurality of processed images B generated by the thumbnail generation unit 18 in a matrix.
(1) The image processing filter 16 generates the image A before reference processing using the noise removal level and the noise size determined based on the parameters at the time of photographing the object W to be inspected as reference values. The thumbnail generation unit 18 sets different removal noise levels and noise sizes at regular numerical intervals based on the removal noise level and noise size determined by the noise determination unit 14. In this case, it is not necessary to set the selected removed noise level and noise size for the set values that are known not to contribute to the improvement of the radiographic image and the values near the upper and lower limits of the set values.
(2) For the saved reference preprocessed image A, one of the parameter values set at a fixed numerical interval of each parameter is selected, and the image is imaged by the image processing filter 16 based on the selected parameter value. Processing is performed, and the processed image B is created.
(3) For all the selected removed noise levels and noise sizes, the image B after repetitive processing is created using different set values set at regular numerical intervals. The thumbnail generation unit 18 arranges a large number of generated processed images B on the display unit 11 in a matrix.
［１−３．実施形態の作用］
本実施形態において、撮影された放射線画像は処理前画像Ａとして表示部１１に表示されると共に処理前画像記憶部１５に保存される。処理前画像Ａに対してノイズ除去や輪郭協調を行う場合には、(1) 自動処理と(2) 手動処理の2つを選択できる。
[1-3. Action of embodiment]
In the present embodiment, the captured radiographic image is displayed on the display unit 11 as the pre-processing image A and stored in the pre-processing image storage unit 15. When performing noise removal or contour coordination for the unprocessed image A, two options can be selected: (1) automatic processing and (2) manual processing.
(1) 自動処理の場合には、被検査物Ｗの撮影に先立ち、入力部１２から放射線検査装置の各パラメータ、例えば管電圧や措置の各部の位置関係のデータを除去ノイズデータ記憶部１３に入力する。除去ノイズデータ記憶部１３は入力された各パラメータに対応するノイズ除去レベルとノイズサイズを検索して、その結果得られたノイズのレベルとサイズを除去ノイズ決定部１４に出力する。画像処理フィルタ１６は、除去ノイズ決定部１４から取得したノイズ除去レベルとノイズサイズに相当するフィルタ、例えば図４や図６に示すフィルタ帯域フィルタを利用して処理前画像Ａに対して画像処理を行い、ノイズが除去された処理後画像Ｂを得る。 (1) In the case of automatic processing, prior to photographing the object W to be inspected, data on each parameter of the radiation inspection device, for example, the positional relationship of each part of the tube voltage and the measure is removed from the input unit 12 to the noise data storage unit 13. input. The removal noise data storage unit 13 searches for the noise removal level and noise size corresponding to each input parameter, and outputs the noise level and size obtained as a result to the removal noise determination unit 14. The image processing filter 16 performs image processing on the unprocessed image A by using a filter corresponding to the noise removal level and the noise size acquired from the removal noise determination unit 14, for example, the filter band filter shown in FIGS. 4 and 6. This is performed to obtain a processed image B from which noise has been removed.
(2) 手動処理の場合には、自動処理によって得られたノイズ除去レベルとノイズサイズを基準として基準処理後画像Ｂを形成すると共に、一定値ずつ異なったノイズ除去レベルとノイズサイズに基づいて複数の処理後画像Ｂを形成する。そしてサムネイル生成部１８により、これらの処理後画像Ｂのサムネイルを生成して表示部１１にマトリックス状に表示する。ユーザは表示部１１に表示されている縦横のスライドバーをポインティングデバイスにより操作して、最適と思われる処理後画像を選択する。 (2) In the case of manual processing, the image B after the reference processing is formed based on the noise removal level and the noise size obtained by the automatic processing, and a plurality of images are formed based on the noise removal level and the noise size which are different by a constant value. Image B is formed after the processing of. Then, the thumbnail generation unit 18 generates thumbnails of these processed images B and displays them in a matrix on the display unit 11. The user operates the vertical and horizontal slide bars displayed on the display unit 11 with the pointing device to select the most suitable processed image.
ユーザの選択が入力部１２を介してノイズ決定部１４に伝わると、画像処理フィルタ１６は、ユーザが決定したノイズ除去レベルとノイズサイズに従って処理前画像Ａに対してノイズ除去処理を行い、最終的に得られた処理後画像Ｂを表示部１１に表示すると共に処理後画像記憶部１７に保存する。 When the user's selection is transmitted to the noise determination unit 14 via the input unit 12, the image processing filter 16 performs noise removal processing on the unprocessed image A according to the noise removal level and noise size determined by the user, and finally. The processed image B obtained in 1) is displayed on the display unit 11 and stored in the processed image storage unit 17.
ユーザは、表示部１１に表示された処理後画像Ｂが満足するものである場合には処理前画像Ａに対する画像処理を終了する。一方、得られた処理後画像Ｂに不満な場合には、スライドバーを操作して新たなノイズサイズとノイズ除去レベルの値を調整する。このような調整作業を繰り返すことで、複数の処理後画像Ｂを作成して表示部１１に表示すると共に処理後画像記憶部１７に保存する。この場合、得られた複数の処理後画像Ｂを表示部１１に並べて表示することで、ユーザは図１３に示すような最適の処理後画像Ｂを得ることができる。 When the processed image B displayed on the display unit 11 is satisfied, the user ends the image processing on the unprocessed image A. On the other hand, if the obtained processed image B is dissatisfied, the slide bar is operated to adjust new noise size and noise removal level values. By repeating such adjustment work, a plurality of processed images B are created, displayed on the display unit 11, and stored in the processed image storage unit 17. In this case, by displaying the obtained plurality of processed images B side by side on the display unit 11, the user can obtain the optimum processed image B as shown in FIG.
［１−４．実施形態の効果］
（１）放射線検査装置の様々なスペックや使用態様に合わせて入力部から各種のパラメータを入力するだけで、適切なノイズサイズとノイズ除去レベルを自動的に取得することができるので、処理前画像に対するノイズの除去がきわめて簡単に実施できる。しかも、検査装置そのものの各部の配置や構成を同一のままとして、多数の被検査物を連続して検査するような場合においては、そこで発生するノイズはほぼ均等なものとなることから、撮影された多数の処理前画像に対して同一のノイズ除去処理を自動的に行うことが可能になるので、ノイズ除去作業に対するユーザの負担は格段に軽減される。
（２）ノイズレベルの除去を自動的に行うだけでなく、手動でノイズサイズとノイズ除去レベルを入力することで、自動化によるノイズ除去の結果を修正したり、微調整することが可能となる。手動でノイズサイズとノイズ除去レベルを入力する際に、異なる値によって得られる処理後画像のサムネイルを表示することで、ユーザが予め手動による調整結果を知ることができ、最適な処理後画像を得るためのノイズサイズとノイズ除去テーブルを入力することが可能となる。
[1-4. Effect of embodiment]
(1) Since the appropriate noise size and noise removal level can be automatically acquired by simply inputting various parameters from the input unit according to various specifications and usage modes of the radiation inspection device, the image before processing. Noise removal can be performed very easily. Moreover, when a large number of objects to be inspected are continuously inspected while keeping the arrangement and configuration of each part of the inspection device itself the same, the noise generated there is almost equal, so that the image is taken. Since the same noise removal processing can be automatically performed on a large number of unprocessed images, the burden on the user for the noise removal work is significantly reduced.
(2) In addition to automatically removing the noise level, by manually inputting the noise size and the noise removal level, it is possible to correct or fine-tune the result of the noise removal by automation. By displaying thumbnails of the processed images obtained by different values when manually inputting the noise size and noise removal level, the user can know the result of manual adjustment in advance and obtain the optimum processed image. It is possible to input the noise size and noise reduction table for.
（３）図４に示すように、複数の異なるノイズサイズとノイズ除去レベルを用いて、処理前画像Ａに対して複数の画像処理を行い、そのサムネイルを表示部１１にマトリックス配列で表示した場合には、最適な処理後画像Ｂの選定がより迅速に行える。すなわち、ユーザが画像処理の結果を見ながら１つずつノイズサイズとノイズ除去レベルを変更して処理後画像Ｂを生成し、それらを見比べて最適な処理後画像Ｂを選定する場合に比較して、多数のサムネイルの中からスライドバーを操作して希望するサムネイルを選定するだけで良く、ユーザの技量向上が図れる。 (3) As shown in FIG. 4, when a plurality of image processes are performed on the unprocessed image A using a plurality of different noise sizes and noise removal levels, and the thumbnails are displayed in a matrix arrangement on the display unit 11. The optimum post-processing image B can be selected more quickly. That is, compared with the case where the user changes the noise size and the noise removal level one by one while observing the result of the image processing to generate the processed image B, compares them, and selects the optimum processed image B. , You only have to operate the slide bar to select the desired thumbnail from a large number of thumbnails, and the skill of the user can be improved.
（４）図１１に示したように、放射線検査装置において発生するノイズは、ノイズサイズと強度レベルとによって表されるように、周辺に行くほど濃度が低くなった円形の画像として撮像画像中に表示される。そのため、ノイズを除去するためには、そのような特徴を有する円形の画像を撮像画像中から抽出して除去する必要があるが、従来使用されている画像処理ソフトはそのような特徴的なノイズを除去するための専用の手段を持たない。本実施形態においては、ノイズレベルと除去サイズという２つの指標により放射線検査装置に発生する特有のノイズを効果的かつ容易に除去できる。このように、本実施形態では、X線フォトンノイズのサイズを考慮しフィルタ除去時の指標を設定するため、効率的にノイズのみを除去することができる。 (4) As shown in FIG. 11, the noise generated in the radiological inspection apparatus is expressed in the captured image as a circular image whose density becomes lower toward the periphery, as represented by the noise size and the intensity level. Is displayed. Therefore, in order to remove noise, it is necessary to extract a circular image having such characteristics from the captured image and remove it, but conventional image processing software has such characteristic noise. Has no dedicated means to remove. In the present embodiment, the noise peculiar to the radiation inspection apparatus can be effectively and easily removed by the two indexes of the noise level and the removal size. As described above, in the present embodiment, since the index at the time of filter removal is set in consideration of the size of the X-ray photon noise, only the noise can be efficiently removed.
［２．第２実施形態］
図４に示す第２実施形態は、処理前画像Ａの所定範囲の画像についてのみ画像処理を実施するものである。第２実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様である。第１実施形態と同様な構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。
[2. Second Embodiment]
In the second embodiment shown in FIG. 4, image processing is performed only on an image in a predetermined range of the unprocessed image A. Other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
第２実施形態は、入力部１２からのユーザの入力に基いて、表示部１１に表示された処理前画像Ａの任意の一部を指定する範囲指定部１８を備える。この範囲指定部１８は、例えば、処理前画像Ａ上の任意の２点を対角とする長方形として、ポインティングデバイスで範囲を指定するものを使用できる。範囲指定部１８として、ポインティングデバイスで指定した多数の点を頂点とする多角形によって範囲を指定したり、円或いは楕円により範囲を指定するものも使用可能である。 The second embodiment includes a range specifying unit 18 for designating an arbitrary part of the unprocessed image A displayed on the display unit 11 based on the user's input from the input unit 12. As the range designation unit 18, for example, a rectangle whose diagonal is arbitrary two points on the unprocessed image A and whose range is designated by a pointing device can be used. As the range specifying unit 18, a range can be specified by a polygon having a large number of points specified by the pointing device as vertices, or a range can be specified by a circle or an ellipse.
画像処理フィルタ１６は、範囲指定部１８によって指定された処理前画像Ａの一部に対して、除去ノイズ決定部１４から受け付けたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて画像処理を行う。この場合、状況ノイズ決定部１４が決定したレベルとサイズによって自動的に処理後画像Ｂを生成してもよいし、サムネイル生成部１８で生成されたサムネイルを表示部１１に表示させてその中からユーザが希望する処理後画像を選択してもよいのは第１実施形態と同様である。画像処理フィルタ１６として、範囲指定部１８によって指定された範囲内については、スライドバーによって指定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズにより画像処理を行い、他の部分については処理前画像Ａのまま未処理としても良い。指定範囲内と指定範囲外について、それぞれ異なるノイズ除去レベル及びノイズサイズをスライドバーから入力してもよい。 The image processing filter 16 performs image processing on a part of the unprocessed image A designated by the range designation unit 18 based on the noise removal level and the noise size received from the removal noise determination unit 14. In this case, the processed image B may be automatically generated according to the level and size determined by the situation noise determination unit 14, or the thumbnail generated by the thumbnail generation unit 18 may be displayed on the display unit 11 from among them. Similar to the first embodiment, the user may select the desired post-processed image. As the image processing filter 16, the range specified by the range specifying unit 18 is subjected to image processing according to the noise removal level and noise size specified by the slide bar, and the other parts are not processed as the unprocessed image A. May be. Different noise removal levels and noise sizes may be input from the slide bar for the specified range and the outside of the specified range.
本実施形態によれば、放射線画像に写し出された被検体Ｗの形状や放射線の透過率などを考慮して、範囲指定部１８によって指定された処理前画像Ａの部分ごとに、ノイズ除去レベルや除去するノイズサイズを調整することができる。その結果、ユーザにとって不要な部分については、ノイズ除去レベルを高くする一方、ノイズ除去レベルが高いと必要な情報が欠落する部分については、適切なノイズ除去レベルを設定することで、全体として綺麗でしかも必要な情報が明確に含まれた処理後画像Ｂを得ることができる。本実施形態は、画像の欠落データの限界を把握し、画質補正を行うことで、例えば、基板の配線パターンの撮影を維持しながら改質を改善するなど、実用性に優れる。 According to the present embodiment, in consideration of the shape of the subject W projected on the radiation image, the transmittance of radiation, and the like, the noise removal level and the noise removal level are set for each part of the unprocessed image A designated by the range designation unit 18. The noise size to be removed can be adjusted. As a result, the noise reduction level is raised for the parts that are unnecessary for the user, while the appropriate noise removal level is set for the parts where the necessary information is missing when the noise removal level is high. Moreover, the processed image B clearly containing the necessary information can be obtained. This embodiment is excellent in practicality, for example, by grasping the limit of missing data of an image and correcting the image quality, for example, improving the modification while maintaining the photographing of the wiring pattern of the substrate.
［３．他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。具体的には、次のような他の実施形態も包含する。
[3. Other embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and at the implementation stage, the components can be modified and embodied without departing from the gist thereof. In addition, various inventions can be formed by an appropriate combination of the plurality of components disclosed in the above-described embodiment. For example, some components may be removed from all the components shown in the embodiments. In addition, components across different embodiments may be combined as appropriate. Specifically, it also includes other embodiments such as:
（１）図示の実施形態は、処理後画像Ｂのサムネイルを表示して、ユーザが所望の処理後画像Ｂを選択するようにしたが、サムネイルを表示することなく、除去ノイズ決定部１４が決定したノイズ除去レベルとノイズサイズのみによって、画像処理フィルタ１６が処理後画像Ｂを生成しても良い。 (1) In the illustrated embodiment, the thumbnail of the processed image B is displayed so that the user selects the desired post-processed image B, but the removal noise determination unit 14 determines without displaying the thumbnail. The image processing filter 16 may generate the processed image B only by the noise removal level and the noise size.
（２）除去ノイズ決定部１４による除去ノイズのレベルとサイズの決定については、撮影時における検査装置の構成や管電流などに基づいて１つの値のみを決定しても良いが、ユーザが選択するのに適正と考えられる一定の範囲の値を決定することも可能である。その場合、図９に示すように、表示部１１に表示するグラフやサム適正な値の範囲を着色するなどして表示することで、ユーザがその範囲内から所望の除去ノイズレベルとノイズサイズを簡単に選択することができる。 (2) Regarding the determination of the level and size of the removal noise by the removal noise determination unit 14, only one value may be determined based on the configuration of the inspection device at the time of shooting, the tube current, etc., but the user selects it. It is also possible to determine a range of values that are considered appropriate. In that case, as shown in FIG. 9, by displaying the graph displayed on the display unit 11 or coloring the range of the appropriate thumb value, the user can obtain the desired removal noise level and noise size from the range. It's easy to choose.
（３）サムネイルを生成する代わりに、図１０に示すようなグラフを利用して、ユーザがノイズ除去レベルとノイズサイズを選択することも可能である。図１０では、ユーザがグラフ上の点をポインタによって摘まんで移動させることにより、ノイズ除去レベルとノイズサイズを設定することができる。この場合、前記（２）のようにノイズ除去決定部１４によって選択するのに適したノイズ除去レベルとノイズサイズの範囲の決定しておき、グラフ部分にそれを表示することで、ユーザが適正な選択範囲を容易に知ることができる。 (3) Instead of generating thumbnails, the user can also select the noise reduction level and the noise size by using the graph as shown in FIG. In FIG. 10, the user can set the noise removal level and the noise size by picking and moving a point on the graph with a pointer. In this case, the noise removal level and the noise size range suitable for selection by the noise removal determination unit 14 are determined as in (2) above, and the noise removal level and the noise size range are displayed in the graph portion, so that the user is appropriate. The selection range can be easily known.
Ａ…処理前画像
Ｂ…処理後画像
Ｗ…被検体
１…Ｘ線管
２…Ｘ線ビーム
３…検出器
４…シフト機構
５…回転テーブル
６…ＸＹ駆動機構
７…回転・昇降機構
８…回転軸
９…制御部
１０…画像処理部
１１…表示部
１２…入力部
１３…除去ノイズデータ記憶部
１４…除去ノイズ決定部
１５…処理前画像記憶部
１６…画像処理フィルタ
１７…処理後画像記憶部
１８…サムネイル生成部
１９…範囲指定部
A ... Image before processing B ... Image after processing W ... Subject 1 ... X-ray tube 2 ... X-ray beam 3 ... Detector 4 ... Shift mechanism 5 ... Rotating table 6 ... XY drive mechanism 7 ... Rotation / elevating mechanism 8 ... Rotation Axis 9 ... Control unit 10 ... Image processing unit 11 ... Display unit 12 ... Input unit 13 ... Removal noise Data storage unit 14 ... Removal noise determination unit 15 ... Image storage unit before processing 16 ... Image processing filter 17 ... Image storage unit after processing 18 ... Thumbnail generation unit 19 ... Range specification unit
Claims (5)
前記放射線発生器と前記放射線検出器の各部の位置関係、前記放射線発生器に加える管電圧及び／または管電流、及び前記放射線検出器の特性の少なくとも一つをパラメータとして受け付ける入力部と、
前記パラメータの値を、前記処理前画像に対するノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて記憶する除去ノイズデータ記憶部と、
撮影された放射線画像の処理前画像を保存する処理前画像記憶部と、
前記除去ノイズデータ記憶部に記憶されているデータに基づいて、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを決定する除去ノイズ決定部と、
前記除去ノイズ決定部により決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて、前記処理前画像中に含まれるノイズを除去する画像処理フィルタと、
前記画像処理部によって得られた処理後画像を保存する処理後画像記憶部と、
を有することを特徴とする放射線検査装置。 A radiation generator, a support on which the object to be inspected is placed, and a radiation detector that receives the radiation transmitted through the object to be inspected and converts it into visible light.
An input unit that accepts at least one of the positional relationship between the radiation generator and each part of the radiation detector, the tube voltage and / or tube current applied to the radiation generator, and the characteristics of the radiation detector as parameters.
A removal noise data storage unit that stores the value of the parameter in association with the noise removal level and noise size of the unprocessed image.
A pre-processing image storage unit that saves the pre-processing image of the captured radiographic image,
A removal noise determination unit that determines the noise removal level and noise size corresponding to the parameters received from the input unit based on the data stored in the removal noise data storage unit.
An image processing filter that removes noise contained in the unprocessed image based on the noise removal level and noise size determined by the removal noise determination unit.
A post-processing image storage unit that stores the post-processing image obtained by the image processing unit,
A radiation inspection device characterized by having.
前記表示部は、前記画像処理フィルタによりノイズ除去された複数の前記処理後画像のサムネイルを、マトリックス状に表示する請求項１または請求項２に記載の放射線検査装置。 The image processing filter uses the noise removal level and noise size determined based on the parameters at the time of photographing the object to be inspected as reference values, and a plurality of noise sizes and a plurality of noises set at regular intervals from the reference values. Noise removal is performed on the unprocessed image based on the combination of removal levels.
The radiation inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the display unit displays a plurality of thumbnails of the processed images whose noise has been removed by the image processing filter in a matrix.
The removed noise data storage unit stores the value of the parameter in association with the value of the noise removal level having a predetermined width and the value of the noise size with respect to the unprocessed image.
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