JP2020155555A - パターン基板の製造方法、パターン基板及びパターン基板製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度を高める。【解決手段】基板の線状パターン１に液体吐出用領域３〜６を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板の製造方法であって、少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向における最小解像ピッチＰｎ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成する。【選択図】図３

Description

本発明は、パターン基板の製造方法、パターン基板及びパターン基板製造装置に関するものである。

従来、基板の線状パターンに形成される液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板の製造方法が知られている。

例えば、特許文献１には、高表面エネルギー領域と低表面エネルギー領域とが形成された基板の高表面エネルギー領域に対し、導電性材料を含む液体をインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）で吐出して、高表面エネルギー領域のパターン（線状パターン）に応じた導電パターンを基板上に形成する方法が開示されている。この方法において、高表面エネルギー領域は配線領域と液体吐出用領域とからなり、インクジェットヘッドにより液体吐出用領域に対して連続して吐出した液体が配線領域へ流動することで、高表面エネルギー領域の全体に液体が広がり、高表面エネルギー領域のパターンに応じた導電パターンが形成される。液体が連続して吐出される液体吐出用領域は、直線状に延びる１本の配線領域上に、インクジェットヘッドのノズルピッチに相当する間隔をあけて２以上形成されている。そして、インクジェットヘッドの１回の走査で、当該２以上の液体吐出用領域に対して、それぞれ対応する各ノズルから液体を吐出する。

ところが、従来の方法では、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる２以上の液体吐出用領域をもつ線状パターンは、液体吐出ヘッドのノズル列方向（複数のノズルが配列されている方向）に平行な方向に延びる直線状のパターンだけであった。そのため、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる２以上の液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度が非常に低いという課題があった。

上述した課題を解決するために、本発明は、基板の線状パターンに液体吐出用領域を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板の製造方法であって、少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向における最小解像ピッチ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成することを特徴とする。

本発明によれば、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度を高めることができる。

実施形態におけるインクジェット式パターン作成装置を示す模式図。 ノズル列方向のノズル位置が互いにずれている複数のノズル列を備えた液体吐出ヘッドの一例を示す説明図。 実施形態における基板上に複数の薄膜コイルを形成した例を示す平面図。 実施形態における１個の薄膜コイルを拡大して示した平面図。 曲線状パターンによる円形状の薄膜コイルに実施形態の拡幅部を形成した変形例を示す平面図。 不定形の配線パターンに実施形態の拡幅部を形成した変形例を示す平面図。 線状パターンの端部に位置する拡幅部の好適例を示す平面図。 線状パターンの途中に位置する拡幅部の好適例を示す平面図。 複数のチップにまたがる複数の薄膜コイルを基板上に形成した変形例を示す平面図。 拡幅部の角部を面取りした例の薄膜コイルを示す平面図。 拡幅部の角部がＲ形状である例の薄膜コイルを示す平面図。 薄膜コイルにおける拡幅部と細線部との接続部分の先細り形状の一例を示す拡大平面図。 薄膜コイルにおける拡幅部と細線部との接続部分の先細り形状の他の例を示す拡大平面図。 細線部が曲線状で構成された薄膜コイルの例を示す平面図。 細線部の線幅や細線部間の間隔が部分的に異なるように構成された薄膜コイルの例を示す平面図。 複数の拡幅部からなる２つのセットをそれぞれ異なる端部側へ片寄せして配置した薄膜コイルの例を示す平面図。

以下、本発明を、巻き線パターンからなる素子である薄膜コイルを備えたパターン基板の製造方法に適用した一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態におけるパターン基板を製造するために用いる製造装置としての液体を吐出する装置であるインクジェット式パターン作成装置を示す模式図である。
本実施形態のインクジェット式パターン作成装置１００は、図１に示すように、架台６０の上には、Ｙ軸駆動手段６１が設置してある。Ｙ軸駆動手段６１には、基板１０を搭載するステージ６３がＹ軸方向に駆動できるように設置されている。なお、ステージ６３には、真空、静電気などの吸着手段が設けられており、この吸着手段によって基板１０が固定されている。

また、Ｘ軸支持部材６４には、Ｘ軸駆動手段６５が取り付けられている。Ｘ軸駆動手段６５には、Ｚ軸駆動手段６７上に搭載されたヘッドベース６６が取り付けられており、ヘッドベース６６は、Ｘ軸駆動手段６５により、Ｚ軸駆動手段６７とともにＸ軸方向に移動できるようになっている。また、ヘッドベース６６は、Ｚ軸駆動手段６７によりＺ軸方向にも移動できるようになっている。

ヘッドベース６６には、液体である導電インクを吐出させる液体吐出ヘッド６８が搭載されている。この液体吐出ヘッド６８には、インク貯蔵用のタンクからインク供給用パイプ７０を通じて導電インクが供給される。導電インクは、溶媒内に導電性粒子が分散した液体であり、基板に付着した後に溶媒が蒸発等して除去されることにより、導電性粒子が基板上に付着して導電性パターンが形成される。

液体吐出ヘッド６８は、所定のノズルピッチＰｎでＹ軸方向に沿って複数のノズルが配列されたマルチノズルタイプの液体吐出ヘッドである。したがって、本実施形態におけるノズル列方向はＹ軸方向と一致する。なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド６８上にノズル列が一列に設けられた簡易な例で説明するため、ノズル列方向の最小解像ピッチは当該ノズル列のノズルピッチと一致する。しかしながら、図２に示すように、液体吐出ヘッド６８上にノズル列方向のノズル位置が互いにずれている複数のノズル列（図２の例では４列）が設けられている場合、当該液体吐出ヘッドにおけるノズル列方向の最小解像ピッチは、各ノズル列のノズルピッチＰｎの１／２、１／４、１／８、１／１６、１／３２等となる。図２の例では、ノズルピッチＰｎの１／４が液体吐出ヘッドにおけるノズル列方向の最小解像ピッチとなる。なお、ここでいう液体吐出ヘッドとは、図２に示すように、複数の液体吐出ヘッド（部品）がヘッドマウントやキャリッジに搭載されて一体化されたものを含む。

以下、本実施形態では、線状パターンである導電性の巻き線パターンからなる薄膜コイル（薄膜スパイラルインダクタ）を基板上に形成する例について説明するが、基板上に形成される線状のパターンであれば、例えば、直線状のパターンでも曲線状のパターンでもよいし、線状パターンのライン幅が変化するようなパターンであってもよい。また、線状パターンの用途も、例えば、本実施形態の薄膜コイルのように、素子の一部または全部を構成するものであってもよいし、素子ではない配線などであってもよい。また、線状パターンは、導電性パターンに限らず、絶縁性パターンなど他の電気的特性をもつパターンであってもよい。

図３は、本実施形態における基板上に複数の薄膜コイルを形成した例を示す平面図である。
図４は、本実施形態における１個の薄膜コイルを拡大して示した平面図である。
なお、図３では、薄膜コイルが配置されている回路部分だけを示しているが、基板上には他の素子や配線なども配置されている。

本実施形態の薄膜コイル１は、基板上に形成された第一絶縁層の上に第一導電層を渦巻状に形成して巻き線パターン（渦巻状導電パターン）を作成し、その上に第二絶縁層を形成してなる。第一導電層の両端部（巻き線パターンの両端に位置する後述の拡幅部３，６）の上には第二絶縁層を貫通する導通孔が形成され、第二絶縁層の上に形成される第二導電層が導通孔を介して引き出し電極を形成する。薄膜コイル１は、引き出し電極に電圧を印加することにより第一導電層に電流が流れ、巻き線パターンを流れる電流によって巻き線内部に磁束が発生し、インダクタとして機能する。

本実施形態においては、図３に示すように、５×２配列の合計１０個の薄膜コイル１−１〜１−１０（以下、各薄膜コイルを区別しない場合には、各薄膜コイルを識別する「−１」等の符号は適宜省略する。）が基板上に形成される。なお、薄膜コイル１の数や配列については、適宜設定することができる。本実施形態の薄膜コイル１は、図３に示すように、その外形がおよそ矩形状をなしているが、図５に示すような曲線状パターンによる円形状のものでもよい。

図３において、符号Ｈ１は、薄膜コイル１の横方向（図３中左右方向）のサイズを示し、符号Ｈ２は、横方向における薄膜コイル１間の離間幅を示す。したがって、横方向における薄膜コイル１間のピッチは、（Ｈ１＋Ｈ２）となる。ただし、本実施形態において、横方向の４個目の薄膜コイル１−４と５個目の薄膜コイル１−５との離間幅だけは、図３に示すように広く設定されている。

また、図３において、符号Ｖ１は、薄膜コイル１の縦方向（図３中上下方向）のサイズを示し、符号Ｖ２は、縦方向における薄膜コイル１間の離間幅を示す。したがって、縦方向における薄膜コイル１間のピッチは、（Ｖ１＋Ｖ２）となる。

このような薄膜コイル１を基板上に形成する方法としては、印刷法によるアディティブプロセス（Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ｐｒｏｃｅｓｓ）を用いる方法が注目されている。薄膜の塗布プロセスとフォトリソグラフィープロセスとを繰り返して基板上に薄膜コイル１を形成する一般的な方法は、形成した薄膜の部分的に除去することを繰り返すため、除去される薄膜材料は無駄になることや、エッチングのための材料も必要となるなど、コストがかかる。これに対し、上述したアディティブプロセスを用いた方法は、必要部分にだけ薄膜材料を供給するため、薄膜材料の無駄やエッチングのための材料が不要であり、低コスト化が可能である。このようなアディティブプロセスには、例えば、インクジェット法によるパターン形成技術を用いることができる。

一般に、インクジェット法により基板上に薄膜コイル１等の線状パターンを形成するにあたっては、限られたライン幅で厚みのある線状パターンを形成することが求められるケースが多い。具体的には、省スペースで低抵抗（低い電気抵抗値）の導電性の線状パターンを実現することが求められる場合や、省スペースで絶縁性能の高い絶縁性の線状パターンを実現することが求められる場合などである。

しかしながら、インクジェット法を用いて厚みのある線状パターンを形成しようとすると、通常は、同じ箇所に複数回にわたって液体を吐出して重ね合わせていくことになるが、この場合、吐出された液体が幅方向へ広がり、ライン幅が増大する。そのため、限られた狭いライン幅で厚みのある線状パターンを、その線状パターンに沿ってインクジェット法により液体を吐出させて形成することは困難である。

この点を改善する方法としては、予め下地として、線状パターンに対応するバンクパターンや撥液・親液パターンを基板上に作成しておく方法が知られている。この方法によれば、例えばバンクパターンの場合、バンクパターンのバンク（溝）内に供給された液体は溝内に留まるので、同じ箇所に複数回にわたって液体を吐出して重ね合わせる場合でも、液体による線状パターンのライン幅が溝幅よりも広がることがない。また、例えば撥液・親液パターンの場合も、親液パターン部に供給された液体は、その周囲の撥液パターン部によって親液パターン部内に留められるので、同じ箇所に複数回にわたって液体を吐出して重ね合わせる場合でも、液体による線状パターンのライン幅が親液パターン部の幅よりも広がることがない。

ただし、この方法では、液体吐出ヘッドから吐出される液体が基板に着弾したときの液体付着エリアの大きさ（ドット径）よりもライン幅が狭い線状パターンを形成することができない。また、この方法は、ドット径よりもライン幅が広い線状パターンを形成する場合でも、ライン間隔が液体吐出ヘッドから吐出される液体の着弾位置精度よりも広い場合でないと採用できず、間隔が狭い複数の線状パターンを形成することができない。なお、ここでいう「ドット径」とは、第一絶縁層上に着弾した導電性インクの付着面積と同じ面積をもつ真円の直径をいうものとする。

そこで、液体吐出ヘッドから吐出される液体を吐出するための液体吐出用領域を線状パターンに形成し、その液体吐出用領域に液体を吐出することによって、その液体を液体吐出用領域以外の線状パターン部分（図３では細線部２）へ流動させ、パターン全体に液体を行き渡らせる方法が提案されている。この方法によれば、例えば、液体吐出ヘッドから吐出される液体の着弾に必要な十分な広さの液体吐出用領域を形成しておくことで、液体吐出用領域以外の線状パターン部分については、ドット径よりもライン幅を狭く形成することが可能となるし、着弾位置精度よりも当該線状パターン部分の間隔を狭く形成することもできる。

ただし、基板上の液体吐出用領域の配置が液体吐出ヘッドのノズルピッチ（最小解像ピッチ）に関係なく設定されていると、より詳しくは、液体吐出ヘッドの１回の吐出動作で１個ずつの液体吐出用領域にしか液体を吐出できないような配置であると、現在主流である複数ノズルを備えた液体吐出ヘッドを用いる場合でも、パターン形成効率が上がらない。

そこで、本実施形態では、図３に示すように、基板上に配置される複数の液体吐出用領域である拡幅部３−１，４−１，５−１，６−１，・・・，３−４，４−４，５−４，６−４，・・・，３−１０，４−１０，５−１０，６−１０のうちの少なくとも２以上の拡幅部が、液体吐出ヘッド６８のノズル列方向の最小解像ピッチ（本実施形態ではノズルピッチＰｎ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なるように形成されている。特に、図３に示す例では、当該２以上の拡幅部の並び方向（列方向）とノズル列方向とが一致していることから、当該２以上の拡幅部は、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ又はその倍数Ｐｎ×Ｎ（Ｎは自然数）に相当する距離をもってノズル列方向（Ｙ軸方向）に配列するように形成されている。

このように配置された２以上の拡幅部に対しては、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体吐出ヘッド６８に設けられるノズル列の複数のノズルから液体（導電性インク）を吐出することができる。したがって、液体吐出ヘッドの１回の吐出動作で１個ずつの拡幅部にしか液体を吐出できない配置よりも、パターン形成時間を短縮することができる。

図３の例では、１つの薄膜コイル１は、４つの拡幅部３〜６とこれらの拡幅部３〜６から延びる細線部２とから構成された線状パターンが渦巻状に形成された巻き線パターンである。そして、その拡幅部３〜６は、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なっている。本実施形態の液体吐出ヘッド６８は、４つ以上のノズルがノズル列方向に並べて配列されているため、各薄膜コイル１における４つの拡幅部３〜６には、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体（導電性インク）を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

また、本実施形態において、図３に示すように、第一薄膜コイル１−１における４つの拡幅部３−１〜６−１に対しては、第十薄膜コイル１−１０における４つの拡幅部３−１０〜６−１０が、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なっている。したがって、本実施形態の液体吐出ヘッド６８が、これらの８つの拡幅部３−１〜６−１，３−１０〜６−１０に対して同時に対向し得る数のノズルをノズル列方向に備えたものであれば、第一薄膜コイル１−１と第十薄膜コイル１−１０の拡幅部３−１〜６−１，３−１０〜６−１０に対し、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体（導電性インク）を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

なお、本実施形態では、基板上に形成される拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡ、すなわち、各薄膜コイル１における互いに隣り合う拡幅部３〜６のピッチＰＡが、ノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）に設定されているが、ノズルピッチＰｎの倍数に設定されていても同様である。

また、本実施形態のように、複数の第一薄膜コイル１−１〜１−１０が基板上に縦方向及び横方向に列をなすように整列されていることで、ダイシング工程を簡略化できる点で、有益である。

また、基板上に形成される拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡは、ノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）よりも狭く設定してもよい。例えば、各薄膜コイル１における互いに隣り合う拡幅部３〜６のピッチＰＡを、ノズルピッチＰｎの１／Ｎ（Ｎは自然数）に設定してもよい。この場合、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なる２以上の拡幅部の組み合わせが、複数存在すると考えることができる。

例えば、基板上に形成される拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡがノズルピッチＰｎの１／２である場合、第一薄膜コイル１−１における拡幅部３−１と拡幅部５−１との間のピッチはノズルピッチＰｎに一致し、また、拡幅部３−１（拡幅部５−１でもよい。）に対する、第十薄膜コイル１−１０における拡幅部３−１０及び拡幅部５−１０のピッチは、ノズルピッチＰｎの倍数に一致する。したがって、これらの拡幅部３−１，５−１，３−１０，５−１０に対しては、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体（導電性インク）を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

また、この場合、第一薄膜コイル１−１における拡幅部４−１と拡幅部６−１との間のピッチはノズルピッチＰｎに一致し、拡幅部４−１（拡幅部６−１でもよい。）に対する、第十薄膜コイル１−１０における拡幅部４−１０及び拡幅部６−１０のピッチは、ノズルピッチＰｎの倍数に一致する。したがって、これらの拡幅部４−１，６−１，４−１０，６−１０に対しては、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体（導電性インク）を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

したがって、基板上に形成される拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡがノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）よりも狭く設定されている場合でも、結局のところ、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なる２以上の拡幅部が存在していれば、当該２以上の拡幅部については同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体（導電性インク）を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

また、本実施形態においては、図３に示すように、第一薄膜コイル１−１における３つの拡幅部４−１〜６−１に対しては、第六薄膜コイル１−６における３つの拡幅部３−６〜５−６が、液体吐出ヘッド６８の走査方向（主走査方向）に延びる同じ主走査線上に配置されている。第二薄膜コイル１−２と第七薄膜コイル１−７なども、図３にしめすように、同様の配置関係となっている。これらの拡幅部については、液体吐出ヘッド６８の１回の走査で、当該液体吐出ヘッドに設けられるノズル列の複数のノズルから液体を吐出することができる。

更に、本実施形態においては、上述した２以上の拡幅部（すなわち、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なる２以上の拡幅部）３〜６は、当該２以上の拡幅部の列上（当該２以上の拡幅部を通ってノズル列方向に延びる直線上）で、互いに分離している。すなわち、当該２以上の拡幅部３〜６は、当該２以上の拡幅部３〜６の列上で互いに離間しており、しかも、拡幅部以外の線状パターン部分である細線部２によっても、当該２以上の拡幅部３〜６の列上では互いに連結されていない。

液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なる２以上の拡幅部が、当該２以上の拡幅部の列上で、拡幅部以外の線状パターン部分（細線部２）により互いに連結されている構成では、ノズル列方向に平行な方向に延びる直線状のパターンでしか、パターン形成時間の短縮化を図れない。しかしながら、本実施形態のように、上述した２以上の拡幅部３〜６が当該２以上の拡幅部の列上で互いに分離していれば、このような直線状のパターンに制限されることなく、多種多様な線状パターンに対しても、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。その結果、本実施形態のような巻き線パターンのように屈折部あるいは屈曲部を有するような線状パターンにも適用して、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。

また、例えば、図６に示すように、複雑な形状をもった配線パターン（線状パターン）、あるいは、分岐を含むような配線パターン（線状パターン）であっても、その配線パターン８に対し、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なる２以上の拡幅部７ａ〜７ｈを形成することで、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。なお、図６の例のように、当該２以上の拡幅部７ａ〜７ｈの中に、当該２以上の拡幅部３〜６の列上において拡幅部以外の線状パターン部分である細線部２によって互いに連結された２つの拡幅部７ｂ，７ｃ（及び２つの拡幅部７ｂｅ，７ｆ）が含まれていてもよい。

また、本実施形態のような第一薄膜コイル１−１と第十薄膜コイル１−１０のように、互いに独立した複数の線状パターンにも適用して、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。

なお、図３の例は、２以上の拡幅部３〜６の並び方向（列方向）とノズル列方向（Ｙ軸方向）とが一致している例であるが、図５の例のように、２以上の拡幅部３〜６の並び方向（図５の左右方向）とノズル列方向（Ｙ軸方向）とが一致していなくてもよい。この場合でも、当該２以上の拡幅部３〜６が、図５に示すように、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いに異なっていればよい。このような構成であれば、当該２以上の拡幅部３〜６に対し、液体吐出ヘッド６８の１回の走査で、液体吐出ヘッド６８に設けられるノズル列の複数のノズルから液体を吐出することができる。したがって、個々の拡幅部に対し、液体吐出ヘッド６８を複数回走査して液体を吐出する場合よりも、パターン形成時間を短縮することができる。

また、図５の例に示すように、２以上の拡幅部３〜６の列が、ノズル列方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜した方向に延びている場合にも、多種多様な線状パターンに対して、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。

本実施形態における薄膜コイル１を基板１０上に形成する手順としては、まず、基板１０上に形成した第一絶縁層の上に、下地として、当該薄膜コイル１の線状パターン（液体吐出用領域３〜６）に対応する撥液・親液パターンを作成する。このパターンは、液体（導電性インク）を付着させる線状パターンに沿って当該液体に対して親液性を有する親液パターンを形成し、この親液パターンの周囲に当該液体に対して撥液性を有する撥液パターンを形成したものである。

このような撥液・親液パターンが作成された基板１０を、図１に示したインクジェット式パターン作成装置１００のステージ６３上にセットする。そして、インクジェット式パターン作成装置１００のＹ軸駆動手段６１によって、液体を吐出すべき拡幅部が液体吐出ヘッド６８のＹ軸方向位置に対応する位置に位置決めしたら、Ｘ軸駆動手段６５により液体吐出ヘッド６８をＸ軸方向へ移動させる。そして、液体吐出ヘッド６８は、基板１０上の拡幅部に対応する位置に移動したら、所定の駆動信号に従って、対向している２以上の拡幅部に対応する各ノズルから液体を吐出する。

本実施形態においては、拡幅部３〜６に吐出した液体を細線部２へと流動させて拡幅部３〜６及び細線部２の全域を所定量の液体で満たす必要がある。そのため、各拡幅部３〜６に対して複数回の吐出によって液体を吐出することが必要になる。

図３に示す例では、上述したとおり、２以上の拡幅部の並び方向（列方向）とノズル列方向（Ｙ軸方向）とが一致していて、当該２以上の拡幅部が、液体吐出ヘッド６８のノズルピッチＰｎ（最小解像ピッチ）又はその倍数Ｐｎ×Ｎ（Ｎは自然数）に相当する距離をもってノズル列方向（Ｙ軸方向）に配列されている。この場合、液体吐出ヘッド６８をＸ軸方向への移動を停止した状態で複数回の吐出を行うことで、１回の走査で、当該２以上の拡幅部に対して必要量の液体を供給することが可能である。

一方、図５に示す例では、上述したとおり、２以上の拡幅部の並び方向（列方向）とノズル列方向（Ｙ軸方向）とが一致していないため、当該２以上の拡幅部に対して同じタイミング（実質的に同時）で液体を吐出することができない。しかしながら、液体吐出ヘッド６８の走査スピードに対して当該２以上の拡幅部のＸ軸方向サイズが十分に広ければ、各拡幅部に対して液体吐出ヘッド６８を走査しながら複数回の液体吐出が可能である。この場合も、少ない走査回数で（望ましくは１回の走査で）、当該２以上の拡幅部に対して必要量の液体を供給することが可能である。

また、本実施形態の薄膜コイル１を構成する線状パターンは、拡幅部３〜６が液体吐出ヘッド６８のノズル列から吐出される液体のドット径よりも広く、かつ、拡幅部３〜６以外の部分である細線部２は、液体吐出ヘッド６８のノズル列から吐出される液体のドット径よりも狭い。このような細線部２をもつ薄膜コイル１は、当該線状パターンに沿ってインクジェット法により液体を吐出させて形成する方法では形成できないが、本実施形態によれば形成することができる。

また、図３の例に示すように、２以上の拡幅部３〜６からそれぞれ延びている細線部２の部分が、ノズル列方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜した方向に延びる直線パターンである。このような構成であれば、直線パターンを含む多種多様な線状パターンに対して、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。

特に、図４に示すように、２以上の拡幅部３〜６からそれぞれ延びている直線パターンである複数の細線部２（細線部２のうち図４中左右方向に延びる部分）は、ラインピッチＰＬで互いに平行に延びている。このような構成においては、ノズル列方向（Ｙ軸方向）に対する当該細線部２の傾斜角θ及び当該２以上の拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡとの関係が下記の式（１）を満たすように、ラインピッチＰＬを設定する。
θ ＝ Ａｒｃｓｉｎ（ＰＬ／Ｐｎ） ・・・（１）

この設定であれば、例えば、当該２以上の拡幅部３〜６の最小ピッチＰＡがノズルピッチＰｎであるとき、ラインピッチＰＬをノズルピッチＰｎよりも狭く設定することが可能となる。すなわち、このような狭いラインピッチＰＬで互いに平行に延びる直線パターンに形成される当該２以上の拡幅部に対し、同じタイミング（実質的に同時）で液体を吐出することができ、パターン形成時間の短縮化を図ることができる。

また、本実施形態においては、各薄膜コイル１における始端と終端に拡幅部３，６が形成されている。このように線状パターンの端部に拡幅部を設けることで、線状パターンの途中に形成される拡幅部の数を減らすことができる。線状パターンの途中に形成される拡幅部は、当該線状パターンによって構成される素子や配線等の特性に影響を与えやすいので、このような拡幅部の数を減らせることで、素子や配線等の特性への影響を抑えることができる。

また、本実施形態の薄膜コイル１は、図４に示すように、線状パターンである巻き線パターンの途中に形成される拡幅部４，５が、当該巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの拡幅部３，６の間に配置されている。このような配置とすることで、すべての拡幅部３〜６を薄膜コイル１の一端側（図４中左上側）へ片寄せして配置することができる。その結果、渦巻の周方向における多くの領域（図４において渦巻の右側と下側の領域）を細線部２だけで構成することができる。その結果、高いインダクタンス値をもつ薄膜コイル１を得ることができる。

また、本実施形態の薄膜コイル１の巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの拡幅部３，６のように、線状パターンの端部に位置する拡幅部については、図７に示すように、細線部２の幅方向一端側（図７中上側の細線部側面）が、矩形状の拡幅部３，６の一辺（図７中の上辺）から真っすぐに延びるように構成するのが好ましい。このような構成は、図７に示すように、線状パターンの端部に配置される複数の拡幅部３，６からそれぞれ延びる複数の細線部２を短いピッチで配置するうえで有利な形状である。

また、本実施形態の薄膜コイル１の巻き線パターンの途中に形成される２つの拡幅部４，５のように、線状パターンの途中に位置する拡幅部については、図８に示すような構成が好ましい。具体的には、一方の細線部２（図８中、拡幅部から右側へ延びる細線部２）の幅方向一端側（図８中上側の細線部側面）が、矩形状の拡幅部４，５の一辺（図８中の上辺）から真っすぐに延びるように構成し、他方の細線部２（図８中、拡幅部から左側へ延びる細線部２）の幅方向一端側（図８中下側の細線部側面）が、矩形状の拡幅部４，５の前記一辺の対辺（図８中の下辺）から真っすぐに延びるように構成する。このような構成は、図８に示すように、線状パターンの途中に配置される複数の拡幅部４，５からそれぞれ延びる複数の細線部２を短いピッチで配置するうえで有利な形状である。

なお、本実施形態において、矩形状の拡幅部３〜６の角部や細線部２コーナー部は、Ｒ形状としてもよい。
また、本実施形態においては、すべての拡幅部３〜６の形状寸法が同一であるが、形状や寸法が異なる拡幅部を含んでもよい。例えば、巻き線パターンにおける内側の拡幅部ほど寸法が小さくなるように構成してもよい。

また、本実施形態においては、基板上に形成されるすべての薄膜コイル１−１〜１−１０の全拡幅部３−１〜６−１０は、図３に示すように、Ｘ軸方向に延びる複数の主走査線をノズルピッチＰｎのピッチでＹ軸方向へ並べて配置し、かつ、Ｙ軸方向に延びる複数の副走査線を、Ｘ軸駆動手段６５が液体吐出ヘッド６８を移動可能な最小ピッチでＸ軸方向へ並べて配置したとき、主走査線及び副走査線のいずれかの線上に位置するように配置されている。これによれば、パターン形成時間のより効率的な短縮化を図ることができる。

また、図９に示すように、基板上に形成される薄膜コイル１’の拡幅部３’〜７’は、複数のチップにまたがって配置されていてもよい。この場合、薄膜コイル１’の形成後、チップ間に設けられるダイシングライン１１に沿って基板を切断して個々のチップに切り離される。なお、図９の例も、基板上に形成される全拡幅部３’〜７’が、Ｘ軸方向に延びる複数の主走査線をノズルピッチＰｎのピッチでＹ軸方向へ並べて配置し、かつ、Ｙ軸方向に延びる複数の副走査線を、Ｘ軸駆動手段６５が液体吐出ヘッド６８を移動可能な最小ピッチでＸ軸方向へ並べて配置したとき、主走査線及び副走査線のいずれかの線上に位置するように配置されている。よって、パターン形成時間のより効率的な短縮化を図ることができる。

また、本実施形態では、図４に示した構成の薄膜コイル１を例に挙げて説明しているが、他の構成をもつ薄膜コイル１であってもよい。例えば、拡幅部３〜６の形状は、図１０に示すように角部を面取りした形状であってもよいし、図１１に示すように角部をＲ形状としたものであってもよい。特に、図１０及び図１１に示すように、拡幅部３〜６と細線部２との接続部分を、拡幅部３〜６から細線部２へ向けて徐々に幅が狭くなるような形状（先細り形状、漏斗状）とすることで、拡幅部３〜６に吐出された液体が細線部２へ流れ込みやすくなり、薄膜コイル１全体への液体の流動性を高めることができる。このような流動性を高める形状としては、図１２や図１３に示すような形状も好適である。

また、例えば、図１４に示すように、細線部２が曲線状（円形、楕円形、自由曲線形状など）で構成された薄膜コイル１であってもよい。また、例えば、図１５に示すように、細線部２の線幅や細線部２間の間隔が部分的に異なるように構成された薄膜コイル１であってもよい。

また、本実施形態では、図４に示したように、すべての拡幅部３〜６を薄膜コイル１の一端側（図４中左上側）へ片寄せして配置した例であったが、このような配置に限られない。例えば、図１６に示すように、４つの拡幅部３Ａ，４Ａ，５Ａ，６ＡからなるセットＡと３つの拡幅部３Ｂ，４Ｂ，５ＢからなるセットＢとを、それぞれ異なる端部側（図１６中左上側と右下側）へ片寄せして配置したものであってもよい。

以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
［第１態様］
第１態様は、基板１０の線状パターン（例えば薄膜コイル１，１’、配線パターン８）上に液体吐出用領域（例えば拡幅部３〜６，７ａ〜７ｈ，３’〜７’）を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッド６８のノズル列から液体（例えば導電性インク）を吐出してパターン基板を製造するパターン基板の製造方法であって、少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向の最小解像ピッチ（例えばノズルピッチＰｎ）又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向（Ｙ軸方向）の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成することを特徴とするものである。
液体吐出ヘッドの最小解像ピッチ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向の位置が互いにずれている２以上の液体吐出用領域については、当該液体吐出ヘッドの１回の走査（ここでいう「走査」は、液体吐出ヘッドと基板とが主走査方向へ相対移動すればよく、例えば液体吐出ヘッドを固定して基板を移動させる場合を含む。）で、当該液体吐出ヘッドに設けられる複数のノズルから当該２以上の液体吐出用領域へ液体を吐出することができる。よって、本態様によれば、個々の液体吐出用領域に対し、液体吐出ヘッドを複数回走査して液体を吐出する場合よりも、パターン形成時間を短縮することができる。
しかも、本態様においては、このように配置される２以上の液体吐出用領域は、当該２以上の液体吐出用領域の列上で互いに分離している。これは、当該２以上の液体吐出用領域が、当該２以上の液体吐出用領域の列上で互いに離間しており、しかも、液体吐出用領域以外の線状パターン部分によっても、当該２以上の液体吐出用領域の列上では互いに連結されていないことを意味する。これにより、ノズル列方向に平行な方向に延びる直線状のパターン（当該２以上の液体吐出用領域が当該２以上の液体吐出用領域の列上で液体吐出用領域以外の線状パターン部分により互いに連結している場合）に限らず、多種多様な線状パターンの液体吐出用領域に対し、１回の走査で液体を吐出することが可能となる。よって、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度を高めることができる。
なお、当該２以上の液体吐出用領域は、当該２以上の液体吐出用領域の列上で互いに分離しているのであれば、当該２以上の液体吐出用領域の列上ではない別の箇所で、液体吐出用領域以外の線状パターン部分により連結されていてもよい。

［第２態様］
第２態様は、第１態様において、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、該少なくとも２以上の液体吐出用領域の列方向とノズル列方向とが互いに一致していることを特徴とするものである。
このような２以上の液体吐出用領域に対しては、同じタイミングで（１回の吐出動作で）、液体吐出ヘッドに設けられる複数のノズルから液体を吐出することができる。したがって、液体吐出ヘッドの１回の吐出動作で１個ずつの拡幅部にしか液体を吐出できない配置よりも、パターン形成時間を短縮することができる。

［第３態様］
第３態様は、第１又は第２態様において、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域のうちの１つ以上の液体吐出用領域から前記液体吐出ヘッドの走査方向に延びる主走査線上に、１つ又は２つ以上の液体吐出用領域が位置することを特徴とするものである。
これによれば、当該１つ以上の液体吐出用領域と当該１つ又は２つ以上の液体吐出用領域とに対し、１回の走査で液体を吐出することができ、パターン形成時間を短縮することができる。

［第４態様］
第４態様は、第１乃至第３態様のいずれかにおいて、前記液体吐出用領域は、前記液体吐出ヘッドのノズル列から吐出される液体のドット径よりも広く、前記線状パターンにおける前記液体吐出用領域以外の線状パターン部分（例えば細線部２）は、前記液体吐出ヘッドのノズル列から吐出される液体のドット径よりも幅が狭い部分を含むことを特徴とするものである。
これによれば、液体吐出ヘッドのノズル列から吐出される液体のドット径よりも幅が狭い部分を含む線状パターンを形成することができる。

［第５態様］
第５態様は、第１乃至第４態様のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域からそれぞれ延びる線状パターン部分は、ノズル列方向に対して傾斜した方向に延びる直線パターンであることを特徴とするものである。
本態様によれば、当該２以上の液体吐出用領域から直線パターンが延びるような線状パターンについて、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる線状パターンの自由度を高めることができる。

［第６態様］
第６態様は、第５態様において、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域からそれぞれ延びる複数の前記直線パターンは、ラインピッチＰＬで互いに平行に延び、前記ノズル列方向に対する前記直線パターンの傾斜角がθであり、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域の最小ピッチがＰＡであるとき、前記ラインピッチＰＬが下記の式（１）を満たすことを特徴とするものである。
θ ＝ Ａｒｃｓｉｎ（ＰＬ／ＰＡ） ・・・（１）
本態様においては、ラインピッチＰＬを当該２以上の液体吐出用領域の最小ピッチＰＡよりも狭く設定した線状パターンについても、適用可能である。

［第７態様］
第７態様は、第１乃至第６態様のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域の列は、前記ノズル列方向に対して傾斜した方向に延びていることを特徴とするものである。
本態様によれば、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度を高めることができる。

［第８態様］
第８態様は、第１乃至第７のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、単一の線状パターンに形成された複数の液体吐出用領域を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、単一の線状パターンに形成される複数の液体吐出用領域に対し、１回の走査で液体を吐出することができる。

［第９態様］
第９態様は、第８態様において、前記複数の液体吐出用領域は、前記単一の線状パターンを渦巻状に構成した単一の巻き線パターン（例えば薄膜コイル１）の始端と終端に形成される液体吐出用領域（例えば拡幅部３，６）を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、線状パターンの途中に形成される液体吐出用領域の数を減らすことができる。線状パターンの途中に形成される液体吐出用領域は、当該線状パターンによって構成される素子や配線等の特性に影響を与えやすいので、このような液体吐出用領域の数を減らせることで、素子や配線等の特性への影響を抑えることができる。

［第１０態様］
第１０態様は、第９態様において、前記複数の液体吐出用領域は、前記単一の巻き線パターンの途中に形成される液体吐出用領域（例えば拡幅部４，５）を含み、かつ、該液体吐出用領域が該単一の巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの液体吐出用領域の間に位置することを特徴とするものである。
本態様によれば、単一の巻き線パターンを構成するすべての液体吐出用領域を当該単一の巻き線パターンの一端側へ片寄せして配置することができる。その結果、渦巻の周方向における多くの領域を、液体吐出用領域以外の線状パターン部分だけで構成することが可能となり、高い電気的特性を備えた巻き線パターンを得ることができる。

［第１１態様］
第１１態様は、第１乃至第１０態様のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、複数の線状パターンにそれぞれ形成される液体吐出用領域を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、複数の線状パターンにまたがって形成される複数の液体吐出用領域に対し、１回の走査で液体を吐出することができる。

［第１２態様］
第１２態様は、線状パターン（例えば薄膜コイル１，１’、配線パターン８）に拡幅部３〜６，７ａ〜７ｈ，３’〜７’が形成されているパターン基板であって、少なくとも２以上の拡幅部が、該少なくとも２以上の拡幅部の最小ピッチＰＡ又はその倍数に相当する距離をあけて直線状に配列され、かつ、その列上で互いに分離していることを特徴とするものである。
液体吐出ヘッドのノズル列から線状パターンの拡幅部へ液体を吐出して、拡幅部以外の線状パターン部分を含む線状パターン全体に液体を行き渡らせて得られるパターン基板において、パターン形成時間の短縮が可能なパターン基板を提供することができる。

［第１３態様］
第１３態様は、第１２態様において、前記少なくとも２以上の拡幅部からそれぞれ延びる線状パターン部分（例えば細線部２）は、該少なくとも２以上の拡幅部の列方向に対して傾斜した方向に延びる直線パターンであることを特徴とするものである。
本態様によれば、当該２以上の拡幅部から直線パターンが延びるような線状パターンをもつパターン基板について、線状パターンの自由度の高いパターン基板を提供することができる。

［第１４態様］
第１４態様は、第１３態様において、前記少なくとも２以上の拡幅部からそれぞれ延びる複数の前記直線パターンは、ラインピッチＰＬで互いに平行に延び、前記列方向に対する前記直線パターンの傾斜角がθであり、前記少なくとも２以上の拡幅部の最小ピッチがＰＡであるとき、前記ラインピッチＰＬが下記の式（１）を満たすことを特徴とするものである。
θ ＝ Ａｒｃｓｉｎ（ＰＬ／ＰＡ） ・・・（１）
本態様においては、ラインピッチＰＬを当該２以上の拡幅部の最小ピッチＰＡよりも狭く設定した線状パターンをもつパターン基板を提供することができる。

［第１５態様］
第１５態様は、第１２乃至第１４態様のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の拡幅部は、単一の線状パターンに形成された複数の拡幅部を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、単一の線状パターンに複数の拡幅部が形成されたパターン基板について、パターン形成時間の短縮が可能なパターン基板を提供することができる。

［第１６態様］
第１６態様は、第１５態様において、前記複数の拡幅部は、前記単一の線状パターンを渦巻状に構成した単一の巻き線パターン（例えば薄膜コイル１）の始端と終端に形成される拡幅部３，６を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、単一の巻き線パターンに複数の拡幅部が形成されたパターン基板について、当該巻き線パターンによって構成される素子や配線等の特性劣化が抑制されたパターン基板を提供することができる。

［第１７態様］
第１７態様は、第１６態様において、前記複数の拡幅部は、前記単一の巻き線パターンの途中に形成される拡幅部４，５を含み、かつ、該拡幅部が該単一の巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの拡幅部４，６の間に位置することを特徴とするものである。
本態様によれば、単一の巻き線パターンを構成するすべての拡幅部が当該単一の巻き線パターンの一端側へ片寄せして配置されるため、高い電気的特性を備えた巻き線パターンをもつパターン基板を提供することができる。

［第１８態様］
第１８態様は、第１２乃至第１７態様のいずれかにおいて、前記少なくとも２以上の拡幅部は、複数の線状パターンにそれぞれ形成される拡幅部を含むことを特徴とするものである。
本態様によれば、複数の線状パターンに複数の拡幅部が形成されたパターン基板について、パターン形成時間の短縮が可能なパターン基板を提供することができる。

［第１９態様］
第１９態様は、基板の線状パターンに液体吐出用領域を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板製造装置であって、少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向における最小解像ピッチ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成することを特徴とする。
本態様によれば、個々の液体吐出用領域に対し、液体吐出ヘッドを複数回走査して液体を吐出する場合よりも、パターン形成時間を短縮することができる。
しかも、本態様においては、ノズル列方向に平行な方向に延びる直線状のパターン（当該２以上の液体吐出用領域が当該２以上の液体吐出用領域の列上で液体吐出用領域以外の線状パターン部分により互いに連結している場合）に限らず、多種多様な線状パターンの液体吐出用領域に対し、１回の走査で液体を吐出することが可能となる。よって、液体吐出ヘッドの１回の走査で液体を吐出できる液体吐出用領域をもつ線状パターンの自由度を高めることができる。

１，１' ：薄膜コイル
２ ：細線部
３〜６，７ａ〜７ｈ，３’〜７’：拡幅部
８ ：配線パターン
１０ ：基板
１１ ：ダイシングライン
６０ ：架台
６１ ：Ｙ軸駆動手段
６３ ：ステージ
６４ ：Ｘ軸支持部材
６５ ：Ｘ軸駆動手段
６６ ：ヘッドベース
６７ ：Ｚ軸駆動手段
６８ ：液体吐出ヘッド
７０ ：インク供給用パイプ
１００ ：インクジェット式パターン作成装置
ＰＡ ：最小ピッチ
ＰＬ ：ラインピッチ
Ｐｎ ：ノズルピッチ
θ ：傾斜角

特許第５４１２７６５号公報

Claims (19)

1. 基板の線状パターンに液体吐出用領域を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板の製造方法であって、
   少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向における最小解像ピッチ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成することを特徴とするパターン基板の製造方法。
2. 請求項１に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、該少なくとも２以上の液体吐出用領域の列方向とノズル列方向とが互いに一致していることを特徴とするパターン基板の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域のうちの１つ以上の液体吐出用領域から前記液体吐出ヘッドの走査方向に延びる主走査線上に、１つ又は２つ以上の液体吐出用領域が位置することを特徴とするパターン基板の製造方法。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記液体吐出用領域は、前記液体吐出ヘッドのノズル列から吐出される液体のドット径よりも広く、
   前記線状パターンにおける前記液体吐出用領域以外の線状パターン部分は、前記液体吐出ヘッドのノズル列から吐出される液体のドット径よりも幅が狭い部分を含むことを特徴とするパターン基板の製造方法。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域からそれぞれ延びる線状パターン部分は、ノズル列方向に対して傾斜した方向に延びる直線パターンであることを特徴とするパターン基板の製造方法。
6. 請求項５に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域からそれぞれ延びる複数の前記直線パターンは、ラインピッチＰＬで互いに平行に延び、
   前記ノズル列方向に対する前記直線パターンの傾斜角がθであり、前記少なくとも２以上の液体吐出用領域の最小ピッチがＰＡであるとき、前記ラインピッチＰＬが下記の式（１）を満たすことを特徴とするパターン基板の製造方法。
   θ ＝ Ａｒｃｓｉｎ（ＰＬ／ＰＡ） ・・・（１）
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域の列は、前記ノズル列方向に対して傾斜した方向に延びていることを特徴とするパターン基板の製造方法。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、単一の線状パターンに形成された複数の液体吐出用領域を含むことを特徴とするパターン基板の製造方法。
9. 請求項８に記載のパターン基板の製造方法において、
   前記複数の液体吐出用領域は、前記単一の線状パターンを渦巻状に構成した単一の巻き線パターンの始端と終端に形成される液体吐出用領域を含むことを特徴とするパターン基板の製造方法。
10. 請求項９に記載のパターン基板の製造方法において、
    前記複数の液体吐出用領域は、前記単一の巻き線パターンの途中に形成される液体吐出用領域を含み、かつ、該液体吐出用領域が該単一の巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの液体吐出用領域の間に位置することを特徴とするパターン基板の製造方法。
11. 請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のパターン基板の製造方法において、
    前記少なくとも２以上の液体吐出用領域は、複数の線状パターンにそれぞれ形成される液体吐出用領域を含むことを特徴とするパターン基板の製造方法。
12. 線状パターンに拡幅部が形成されているパターン基板であって、
    少なくとも２以上の拡幅部が、該少なくとも２以上の拡幅部の最小ピッチ又はその倍数に相当する距離をあけて直線状に配列され、かつ、その列上で互いに分離していることを特徴とするパターン基板。
13. 請求項１２に記載のパターン基板において、
    前記少なくとも２以上の拡幅部からそれぞれ延びる線状パターン部分は、該少なくとも２以上の拡幅部の列方向に対して傾斜した方向に延びる直線パターンであることを特徴とするパターン基板。
14. 請求項１３に記載のパターン基板において、
    前記少なくとも２以上の拡幅部からそれぞれ延びる複数の前記直線パターンは、ラインピッチＰＬで互いに平行に延び、
    前記列方向に対する前記直線パターンの傾斜角がθであり、前記少なくとも２以上の拡幅部の最小ピッチがＰＡであるとき、前記ラインピッチＰＬが下記の式（１）を満たすことを特徴とするパターン基板。
    θ ＝ Ａｒｃｓｉｎ（ＰＬ／ＰＡ） ・・・（１）
15. 請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載のパターン基板において、
    前記少なくとも２以上の拡幅部は、単一の線状パターンに形成された複数の拡幅部を含むことを特徴とするパターン基板。
16. 請求項１５に記載のパターン基板において、
    前記複数の拡幅部は、前記単一の線状パターンを渦巻状に構成した単一の巻き線パターンの始端と終端に形成される拡幅部を含むことを特徴とするパターン基板。
17. 請求項１６に記載のパターン基板において、
    前記複数の拡幅部は、前記単一の巻き線パターンの途中に形成される拡幅部を含み、かつ、該拡幅部が該単一の巻き線パターンの始端及び終端に形成される２つの拡幅部の間に位置することを特徴とするパターン基板。
18. 請求項１２乃至１７のいずれか１項に記載のパターン基板において、
    前記少なくとも２以上の拡幅部は、複数の線状パターンにそれぞれ形成される拡幅部を含むことを特徴とするパターン基板。
19. 基板の線状パターンに液体吐出用領域を形成し、該液体吐出用領域へ液体吐出ヘッドのノズル列から液体を吐出してパターン基板を製造するパターン基板製造装置であって、
    少なくとも２以上の液体吐出用領域を、前記液体吐出ヘッドのノズル列方向における最小解像ピッチ又はその倍数に相当する距離だけノズル列方向の位置が互いにずれて配列されるように、かつ、その列上で互いに分離されるように、形成することを特徴とするパターン基板製造装置。

Images