JP2020140105A - 光結合モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】高信頼の光結合モジュールを提供する。【解決手段】本発明の光結合モジュール1は、第1主面10aと、第1主面10aとは反対の第2主面10bと、第1主面10aから第2主面10bに向かう厚さ方向の途中まで設けられたビア20と、を有する支持体10と、支持体10の第2主面10bに固定された補強板32と、補強板32と、ビア20の底面20aとの間に設けられた光素子13と、を備えている。支持体10は、第1主面10aを含む基板11と、第2主面10bを含む絶縁体12とを有する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、光結合モジュールに関する。
情報化社会の発展と電子デバイスの高性能化により、情報通信機器における信号伝送速度の向上は、重要性を増してきている。光伝送は、このような信号伝送速度の向上を実現するためのキーテクノロジーである。
本発明の実施形態は、高信頼の光結合モジュールの提供を目的とする。
本発明の実施形態によれば、光結合モジュールは、第1主面と、前記第1主面とは反対の第2主面と、前記第1主面から前記第2主面に向かう厚さ方向の途中まで設けられたビアと、を有する支持体と、前記支持体の前記第2主面に固定された補強板と、前記補強板と、前記ビアの底面との間に設けられた光素子と、を備えている。
以下、適宜図面を参照しながら実施形態の説明を行っていく。説明の便宜のため、各図面の縮尺は必ずしも正確ではなく、相対的な位置関係などで示す場合がある。また、同一または同様の要素には、同じ符号を付している。
図1(a)は実施形態に係る光結合モジュール1の模式断面図であり、図1(b)は図1(a)の光結合モジュール1の下面図である。
光結合モジュール1は、支持体10と、光素子13と、補強板32と、光ファイバ21とを有する。
支持体10は、第1主面10aと、第1主面10aとは反対の第2主面10bとを有する。支持体10は、第1主面10aを含む基板11と、第2主面10bを含む絶縁体12とを有する。基板11における第1主面10aとは反対の面11bに、絶縁体12が設けられている。
基板11は、例えば、シリコンウェーハから切り出されたシリコンチップである。または、基板11は、ガラス基板であってもよい。基板11の厚さは、例えば400μmである。絶縁体12は、基板11よりも薄い。絶縁体12は、例えば、厚さ5μmのポリイミドである。
基板11の面11bの形状は、例えば、短辺が0.5mm、長辺が1.5mmの矩形状である。
支持体10にはビア20が設けられている。ビア20は、第1主面10aから第2主面10bに向かう支持体10の厚さ方向の途中まで設けられたブラインドビア(非貫通穴)である。図1(a)に示す例では、ビア20は、第1主面10aから、基板11の厚さ方向の途中まで設けられ、絶縁体12には到達していない。
ビア20の底面20aの形状は、例えば、一辺の長さ(または幅)Wvが125.5μmの正方形であるが、ビア20の底面20aの形状は真円や楕円、その他の形状であっても良い。
ビア20は、例えばドライエッチングプロセス(例えば異方性エッチング、あるいは、ボッシュプロセス)で基板11に形成された深さが例えば390μmの非貫通穴である。
ビア20内に光ファイバ21が挿入され、光ファイバ21は光学接着剤22でビア20内に固定されている。光学接着剤22は、例えば、使用波長(本例では1.3μm)でほぼ透明なフィラーレスのエポキシ系樹脂であり、光ファイバ21を挿入した後、UV照射または加熱により硬化することができる。
なお、ビア20には、光ファイバ21の挿入を容易にするため、間口が広くなるようなテーパ形状を設けても良い。
基板11は、ビア20の底面20aと、絶縁体12が設けられた面11bとの間に薄化部11cを有する。薄化部11cの厚さは、基板11におけるビア20の周囲の部分11dの厚さよりも薄い。
薄化部11cにおけるビア20の底面20aとは反対の面に、光素子13が設けられている。光素子13は、ビア20に位置合わせして設けられ、基板11の厚さ方向において、ビア20の底面20aの中心と、光素子13の中心とが略一致している。基板11の厚さ方向において、光素子13と、光ファイバ21の先端との間に、基板11の薄化部11cが設けられている。
光素子13には電極14が設けられ、光素子13および電極14は、例えば絶縁体12に埋め込まれている。
光素子13は、例えばInP等の化合物半導体を用いて基板11の面11bに形成された面発光型のレーザダイオードであり、例えば、厚さ3μm、直径30μm、発振波長1.3μmである。電極14は、例えば厚さ1μmのAu電極であり、光素子13のアノード及びカソードに接続されている。
光結合モジュール1では、電極14を介して電流を供給することで光素子13が発振し、ビア20に向けて出射されたレーザ光が光ファイバ21に光結合する。なお、光素子13は、例えばフォトダイオードやグレーティングカプラであっても良い。
支持体10の第2主面10bに、補強板32が固定されている。補強板32は、ビア20の底面20aに対向している。補強板32と、ビア20の底面20aとの間に、光素子13が位置する。
補強板32は、例えば、シリコンウェハから切り出された矩形状のシリコンチップである。例えば、補強板32の厚さは200μm、短辺の長さWcは0.25mm、長辺の長さは1.0mmである。
補強板32は、接着剤31によって、支持体10の第2主面10bに固定されている。接着剤31は、例えばUV照射または加熱により硬化するエポキシ系の樹脂である。
なお、接着剤31を用いず、図10(a)に示すように、補強板32を支持体10の第2主面10bに直接接合しても良い。例えば、表面酸化膜同士の接合プロセスを用いることで、補強板32と支持体10とを直接接合することが可能である。
補強板32の厚みは、ビア20の底面20aと、光素子13との間の距離(薄化部11cの厚み)よりも大きい。また、補強板32の厚みは、光素子13と補強板32との間の距離よりも大きい。
図2は、1つの支持体10に複数のビア20および複数の光素子13がアレイ配置された光結合モジュール1の模式断面図であり、図3は、図2の光結合モジュール1の下面図である。
本例では、例えば、4つのビア20が250μmピッチで配置されている。ビア20の位置に対応して、4つの光素子13が例えば250μmピッチで配置されている。それぞれのビア20内に光ファイバ21が固定されている。4つの光ファイバ21は例えば250μmピッチで並べられたテープファイバである。
光ファイバ21は、例えば、クラッド径が125.0μm、コア径が5.0μmのシングルモードファイバである。このような直径が125.0μmの光ファイバ21を、一辺が125.5μmの正方形の底面20aをもつビア20内に挿入することにより、光ファイバ21をプラスマイナス0.25μmの精度で位置決めすることができる。
ビア20は光素子13に位置合わせされているため、光ファイバ21と光素子13との間で高い光結合効率を実現することができる。なお、シングルモードファイバの位置合わせには、光結合効率をモニタしながら位置合わせを行うアクティブアライメントが必要になる場合がある。この場合、ビア20の底面20aを例えば一辺が130μmの正方形とすれば、プラスマイナス2.5μmの範囲でアクティブアライメントを行うことが可能となる。
ビアサイズ(深さに直交する方向のサイズ)の拡大でアクティブアライメントに対応でき、ビア底(薄化部11c)の薄化で光結合効率を向上できる。ただし、ビアサイズ拡大とビア底薄化により、ビア底の強度不足や温度変化に伴う変形による光結合効率の変動が問題になり得る。
本実施形態において、補強板32は、光ファイバ21の挿入、光学接着剤22の硬化、温度変化に伴う光結合モジュール1の膨張及び収縮によって、薄化部11c(本例では厚さ10μm)にクラック等が発生しないよう補強し、光結合モジュール1に高い信頼性を与える。このような補強板32は、次のような特徴を備えることが望ましい。
補強板32は、支持体10の厚さ方向において、ビア20の底面20aのすべての領域に重なっている。図2及び図3に示す例では、1つの補強板32が、支持体10の厚さ方向において、すべてのビア20の底面20aのすべての領域に重なるように設けられている。このような構造により、補強板32が基板11におけるビア20の周囲の厚い部分11dに固定されるため、アンカー効果によりビア底(薄化部11c)をしっかり固定することができる。
補強板32は、基板(例えばSi)11と同等か、それ以上の熱伝導率を有することが望ましい。これにより、光素子13から発生する熱を補強板32に逃がすことが可能となり、効果的な放熱が可能となる。補強板32としては、Si以外に、例えば、Cu、Al、Au等の金属材料を用いても良い。
放熱性を高くするために、光素子13と補強板32との間の距離は、補強板32の厚みよりも小さいことが望ましい。
薄化部11cの変形量を抑えるために、補強板32を支持体10の第2主面10bに固定する接着剤31は可能な限り薄いことが望ましい。例えばシングルモードの光ファイバ21と、光素子13との光結合効率は、光軸ずれ(傾き)に大きく依存し、例えば0.1度以上の光軸ずれがあると光結合効率は大きく減少する。
このため、ビア20の底面20aの幅をWvとして、接着剤31に0.1度以上の傾きが発生する厚さ(Wv×tan(0.1)に相当)よりも、接着剤31の厚さが薄いことが望ましい。例えば、Wv=125.5μmのとき、接着剤31の厚さは約0.2μmよりも薄いことが望ましい。
温度変化に伴う薄化部11cの変形を抑制するために、補強板32を固定する接着剤31の熱膨張係数と、光ファイバ21を固定する光学接着剤22の熱膨張係数とは略等しいことが望ましい。
図2及び図3に示す例のように、1つの支持体10において複数のビア20がアレイ状に並ぶ場合、温度変化に伴う薄化部11cの変形を抑制するために、補強板32の形状は複数のビア20が並ぶ方向の中心に関して対称であることが望ましい。
例えば、補強板32として光素子13を駆動するIC(Integrated Circuit)チップを使用することも可能であるが、この場合、ICから発生する熱が、光素子13の動作特性に影響する懸念がある。このため、補強板32は、回路素子等の発熱体を含まないことが望ましい。
図4(a)〜図7は、実施形態に係る光結合モジュールの製造方法を示す模式断面図である。図4(a)〜図7に示す工程は、ウェーハ状態で進められる。なお、図4(a)〜図7では、ビア20、光素子13、および光ファイバ21がそれぞれ1つの場合について示したが、これらは複数あっても良い。
図4(a)に示すように、基板11の面11bに光素子13を形成する。例えば、CoW(Chip on Wafer)技術を用いて、エピタキシャル成長層を有する化合物半導体チップを、基板(例えばSiウェーハ)11の面11b上に接合した後、化合物半導体チップの基板部分を除去することにより、エピタキシャル成長層を基板11の面11b上に転写する。その後、エピタキシャル成長層を加工し、絶縁体12の形成、電極14の成膜およびパターニングを行うことにより、光素子13を形成する。
なお、エピタキシャル成長層の転写には、例えばウェハ接合(WoW: Wafer on Wafer)技術を用いても良い。また、光素子13がグレーティングカプラの場合は、光素子13を基板(例えばSiウェーハ)11上に直接形成することが可能である。光素子13を形成した後、あるいは、形成する前に、ウェハバックグラインドにより基板11の厚みを所定厚み(例えば400μm)まで薄くしても良い。
次に、図4(b)に示すように、支持体10の第2主面10bに接着剤31を塗布した後、補強板32を第2主面10bに搭載し、UV照射または加熱により接着剤31を硬化することで、補強板32を支持体10の第2主面10bに固定する。ディスペンサを用いて液体状の接着剤31を第2主面10bに塗布しても良いし、シート状の接着剤31を第2主面10bに貼り付けても良い。
次に、図5に示すように、仮接着剤40を用いて支持ウェーハ41を、支持体10の第2主面10bに貼り合わせる。仮接着剤40として、加熱により剥離が容易になる熱発泡性シートを用いても良いし、溶剤により除去可能な仮接着剤を用いても良い。なお、仮接着剤40の厚みは、補強板32の厚みよりも厚いことが望ましい。支持ウェーハ41には。例えばシリコンウェーハを用いることができる。
次に、図6に示すように、基板11にビア20を形成する。ビア20はドライエッチングで形成することができる。先述したように、光ファイバ21の挿入を容易にするためのテーパを等方性エッチングで形成した後、光ファイバ21の位置決めを行うための垂直穴を異方性エッチングで形成しても良い。なお、ウェットエッチングでビア20を形成しても良い。
ビア20を形成した後、例えば加熱により、仮接着剤40と支持ウェーハ41を除去する。これにより、図7に示すように、光ファイバが挿入前の光結合モジュール1’が得られる。
次に、図1(a)に示すように、光学接着剤22をビア20内に充填した後、そのビア20内に光ファイバ21を挿入し、例えば加熱により光学接着剤22を硬化して、ビア20内に光ファイバ21を固定する。
なお、基板11として、シリコンウェーハの代わりにSOI(Silicon on Insulator)ウェーハを用いてもよい。その場合、図10(b)に示すように、基板11の第1主面10aから、基板11を貫通して、絶縁膜(例えばシリコン酸化膜)16まで到達するようなビア20を形成しても良い。ビア20の底面20aと、光素子13との間に、絶縁膜16の一部16aが位置する。
あるいは、シリコンウェーハを例えばガラスウェーハに貼り合わせた複合ウェーハを用い、シリコンウェーハの第1主面から、シリコンウェーハを貫通して、ガラスウェーハまで到達するようなビアを形成しても良い。
図8は、実施形態に係る光結合モジュール1を用いた光I/Oモジュールの模式断面図である。
実装ボード52上に、はんだバンプ50を介して、光結合モジュール1および半導体素子51が実装されている。実装ボード52は、例えばプリント基板である。半導体素子51は、例えばSoC(System on Chip)である。半導体素子51と光結合モジュール1とは、実装ボード52に形成された配線を通じて電気的に接続されている。
半導体素子51の電気入出力信号が光結合モジュール1で光信号に変換され、光ファイバ21で伝送される。これにより、電気信号に比べて高速かつ長距離の信号伝送が可能となる。光結合モジュール1は上述した通り高信頼の光結合モジュールであるため、図8に示した光I/Oモジュールも高信頼の光I/Oモジュールである。
なお、光結合モジュール1と半導体素子51とは、図9に示すように、例えばFOWLP(Fan-Out Wafer Level Packaging)技術を用いて一体化しても良い。
図9に示す光I/Oモジュールにおいて、光結合モジュール1と半導体素子51は、配線層70に搭載され、モールド樹脂80で一体にパッケージングされている。光結合モジュール1と半導体素子51は、配線層70に形成された配線71を通じて電気的に接続されている。光結合モジュール1および半導体素子51を搭載したモジュールは、はんだバンプ50を介して、実装ボード52に実装されている。図9に示す例においても、半導体素子51の電気入出力信号が光結合モジュール1で光信号に変換され、光ファイバ21で伝送される。これにより、電気信号に比べて高速かつ長距離の信号伝送が可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1,1’…光結合モジュール、10…支持体、10a…第1主面、10b…第2主面、11…基板、12…絶縁体、13…光素子、14…電極、20…ビア、21…光ファイバ、31…接着剤、32…補強板
Claims (8)
- 第1主面と、前記第1主面とは反対の第2主面と、前記第1主面から前記第2主面に向かう厚さ方向の途中まで設けられたビアと、を有する支持体と、
前記支持体の前記第2主面に固定された補強板と、
前記補強板と、前記ビアの底面との間に設けられた光素子と、
を備えた光結合モジュール。 - 前記補強板は前記厚さ方向において前記ビアの底面のすべての領域に重なっている請求項1記載の光結合モジュール。
- 前記支持体は、前記第1主面および前記ビアが設けられた基板を有し、
前記補強板の熱伝導率は、前記基板の熱伝導率以上である請求項1または2に記載の光結合モジュール。 - 前記補強板は、接着剤によって前記支持体の前記第2主面に固定され、
前記接着剤の厚みが、前記ビアの前記底面の幅をWvとして、Wv×tan(0.1)よりも薄い請求項1〜3のいずれか1つに記載の光結合モジュール。 - 前記補強板は、前記支持体の前記第2主面に直接接合されている請求項1〜3のいずれか1つに記載の光結合モジュール。
- 前記ビア内に固定された光ファイバをさらに備えた請求項1〜5のいずれか1つに記載の光結合モジュール。
- 前記補強板の厚みは、前記ビアの底面と前記光素子との間の距離よりも大きい請求項1〜6のいずれか1つに記載の光結合モジュール。
- 前記補強板の厚みは、前記光素子と前記補強板との間の距離よりも大きい請求項1〜7のいずれか1つに記載の光結合モジュール。
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