JP2020139504A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの軸受装置によって回転可能に支承された少なくとも1つのロータを有する少なくとも1つのポンプ段と、軸受装置に隣接して配置されかつ軸受装置の作動パラメータを決定可能な第1のセンサ装置と、軸受装置に隣接して配置されかつ真空ポンプの作動パラメータ、特に真空ポンプのハウジングの作動パラメータを決定可能な第2のセンサ装置を備える真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータを互いに比較し、比較に基づいて軸受装置の作動状態を確定するために形成及び設備された制御装置が設けられていること、を特徴とする真空ポンプに関する。本発明は、更に、真空ポンプを作動させるための方法に関する。
【選択図】図6
Description
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モータ
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モータ室
139 冷却媒体接続部
141 下側面
143 ネジ
145 軸受カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ロータ
151 回転軸
153 ロータ軸
155 ロータディスク
157 ステータディスク
159 スペーサリング
161 ロータハブ
163 ホルベックロータスリーブ
165 ホルベックロータスリーブ
167 ホルベックステータスリーブ
169 ホルベックステータスリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 転がり軸受
183 永久磁石軸受
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ロータ側の軸受半部
193 ステータ側の軸受半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 軸受間隙
201 担持部分
203 担持部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 皿バネ
215 緊急用または安全用軸受
217 モータステータ
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
225 冷却媒体接続部
T1,T1’ 軸受の近くの測定領域
T2 軸受から遠くの測定領域
Claims (15)
- 少なくとも1つの軸受装置によって回転可能に支承された少なくとも1つのロータを有する少なくとも1つのポンプ段と、軸受装置に隣接して配置されかつ軸受装置の作動パラメータを決定可能な第1のセンサ装置と、軸受装置から離間して配置されかつ真空ポンプの作動パラメータ、特に真空ポンプのハウジングの作動パラメータを決定可能な第2のセンサ装置を備える真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータを互いに比較し、比較に基づいて軸受装置の作動状態を確定するために形成及び設備された制御装置が設けられていること、を特徴とする真空ポンプ。
- 第1及び第2のセンサ装置が、同じ測定量を決定するために形成されていること、を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 第1及び/又は第2のセンサ装置が、温度センサ及び/又は振動センサ及び/又は音響センサを含むこと、を特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- 軸受装置が、少なくとも1つの転がり軸受、特に少なくとも1つの玉軸受を含むこと、を特徴とする請求項1〜3の少なくとも1つに記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプの、軸受装置を収容する部品の作動パラメータが直接的又は間接的に決定可能であるように、第1のセンサ装置が配置されていること、を特徴とする請求項1〜4の少なくとも1項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプが、アクティブ冷却装置を有し、このアクティブ冷却装置が、特に少なくとも真空ポンプの部品を冷却するために設けられ、この部品の作動パラメータが第2のセンサ装置によって決定可能であること、を特徴とする請求項1〜5の少なくとも1項に記載の真空ポンプ。
- 軸受装置が、真空ポンプの第1の部品によって収容され、この第1の部品が、真空ポンプの第2の部品、特に真空ポンプのハウジング部品とは別個に形成され、この第2の部品に第2のセンサ装置が付設され、特に第1及び第2の部品が、熱伝導的に互いに結合されていること、を特徴とする請求項1〜6の少なくとも1項に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも1つの軸受装置によって回転可能に支承された少なくとも1つのロータを有する少なくとも1つのポンプ段と、軸受装置の作動パラメータを直接的又は間接的に決定する第1のセンサ装置と、軸受装置から離間した部分内で真空ポンプの作動パラメータ、特に真空ポンプのハウジングの作動パラメータを決定する第2のセンサ装置を備える真空ポンプを作動させるための、特に請求項1〜7の少なくとも1項に記載の真空ポンプを作動させるための方法であって、軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータが互いに比較され、比較に基づいて軸受装置の作動状態が確定されること、を特徴とする方法。
- 軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータが、同じ物理的測定量であること、を特徴とする請求項8に記載の方法。
- 軸受装置の作動パラメータ及び/又は真空ポンプの作動パラメータが、温度、機械的振動用の尺度、特に振動振幅及び/又は振動周波数、及び/又は、音響パラメータであること、を特徴とする請求項8又は9に記載の方法。
- 軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータの比較が、比較パラメータの形成を含むこと、及び、比較パラメータの閾値を下回った及び/又は上回った時に、故障が確定されること、を特徴とする請求項8〜10の少なくとも1項に記載の方法。
- 軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータの比較が、作動パラメータの差の形成を含むこと、及び、差の閾値を上回った時に、故障が確定されること、を特徴とする請求項11に記載の方法。
- 故障の確定時に、警告信号が出力される及び/又は自動的に真空ポンプの作動に介入されること、特徴とする請求項11又は12に記載の方法。
- 真空ポンプの作動パラメータが、静的又は準静的な値又は値範囲に達した時に初めて、真空ポンプの作動状態が決定されること、を特徴とする請求項8〜13の少なくとも1項に記載の方法。
- 真空ポンプの作動状態を決定する時に、別の要因、特に外部及び/又は内部パラメータ、好ましくは真空ポンプの稼働時間及び/又は古さ、真空ポンプの外部機械的負荷、真空ポンプの外部温度負荷及び/又は真空ポンプの作動モードが考慮されること、を特徴とする請求項8〜14の少なくとも1項に記載の方法。
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