JP2020124804A - 円盤状ガラス基板の製造方法、薄板ガラス基板の製造方法、導光板の製造方法及び円盤状ガラス基板 - Google Patents
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Abstract
Description
1つ又は複数の薄板ガラス基板を切り出すための円盤状ガラス基板の製造方法であって、
円形の2つの主表面を有するガラス素板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することとを含む。
円形の2つの主表面を有するガラス板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することと、
前記研磨することによって得られる円盤状ガラス基板から、複数の薄板ガラス基板を切り出すこととを含む。
円形の2つの主表面を有するガラス板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することと、
前記研磨することによって得られる円盤状ガラス基板から、複数の薄板ガラス基板を切り出すこととを含む。
1つ又は複数の薄板ガラス基板を切り出すための円盤状ガラス基板であって、
円形の2つの主表面と、
外周端面と、
前記2つの主表面の各々と前記外周端面との間を傾斜して接続する面取り面とを備え、
前記2つの主表面の間の距離が100〜350μmであり、
前記2つの主表面の平行度が1.0μm未満である。
本発明の一実施の形態に係る円盤状ガラス基板100は、斜視図である図1、拡大断面図である図2に示すように、円盤状をなすガラス製の板厚が薄い板である。円盤状ガラス基板100の屈折率は、好ましくは、1.60以上である。
ここから、中間体である円盤状ガラス基板100の製造方法について説明する。
円盤状ガラス素板107aに対して面取りが行われる(ステップS2)。面取り工程(ステップS2)では、円盤状ガラス素板107aの2つの主表面101c,101dの各々の外縁部104c,104dが面取りされる。
t1×0.15<t2<t1×0.4・・・・・式(1)
面取りされた円盤状ガラス素板107bの2つの主表面101e,101fに対して研削が行われる(ステップS3)。研削工程(ステップS3)は、主に、円盤状ガラス素板107bの板厚の調整、円盤状ガラス素板107bが有する2つの主表面101e,101fの平坦度及び平行度の調整を目的として行われる。
研削工程(ステップS3)が行われた後の円盤状ガラス素板(図示せず)、すなわち研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面に対して研磨が行われる(ステップS4)。研磨工程(ステップS4)は、研削時のキズや歪みの除去、鏡面化などを目的として行われる。
t3×0.5<t2・・・・・式(2)
研磨処理(ステップS4)の後に、円盤状ガラス基板100は、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)などを用いて洗浄される。これにより、図1に示す円盤状ガラス基板100が完成する。なお、円盤状ガラス基板100の板厚など円盤状ガラス基板100の形状及びサイズは、通常、洗浄処理(ステップS5)の前後でほぼ変わらない。
ここから、薄板ガラス基板114の製造方法について説明する。
ここから、導光板115の製造方法について説明する。
101a〜101f 主表面
102a〜102c 外周端面
103a〜103d 面取り面
CS1,CS2 断面
104a〜104f 外縁部
105a〜105b 上端部
106a〜106b 下端部
107a〜107b 円盤状ガラス素板
108 両面研削装置
109 下定盤
110 上定盤
111 インターナルギア
112 太陽ギア
113 キャリア
114 薄板ガラス基板
115 導光板
Claims (19)
- 1つ又は複数の薄板ガラス基板を切り出すための円盤状ガラス基板の製造方法であって、
円形の2つの主表面を有するガラス素板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することとを含む
ことを特徴とする円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、前記研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面を研磨することによって、板厚が100〜350μmの円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項1に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、前記研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面を研磨することによって、直径が70〜210mmの円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、前記研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面を研磨することによって、二乗平均平方根粗さRqが0.4nm以下の円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、前記研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面を研磨することによって、平行度が1.0μm未満の円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、前記研削された円盤状ガラス素板の2つの主表面を研磨することによって、平行度が0.05〜0.95μmの範囲内の円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項5に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記面取りされた円盤状ガラス素板の外周端面及び面取り面以外の板厚をt1ミリメートル、
前記面取りされた円盤状ガラス素板の外周端面の板厚をt2ミリメートル、
前記研磨することによって作製される円盤状ガラス基板の外周端面及び面取り面以外の板厚をt3ミリメートル、としたとき、
t1×0.15<t2<t1×0.4と、t3×0.5<t2とを満たす
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記面取りすることでは、機械的処理又は化学的処理を用いて前記外縁部を面取りすることによって面取り面を形成し、
前記研削すること及び前記研磨することでは、前記面取り面の少なくとも一部が残存する範囲の取り代で、前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面が研削されて研磨される
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することでは、取り代をDとしたときに、20μm≦D<150μmを満たすように段階的に、前記研削された円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を研磨し、これによって、板厚が100〜350μm、かつ、直径が70〜210mm、かつ、2つの主表面の平行度が1.0μm未満である円盤状ガラス基板を作製する
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨することは、
前記研削された円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を前記両面研磨装置で研磨する第1研磨を施すことと、
前記第1研磨が施された円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を前記両面研磨装置で研磨する第2研磨を施すこととを含み、
前記第1研磨と前記第2研磨とでは、前記両面研磨装置に適用される研磨パッドと研磨スラリとの組み合わせが互いに異なる
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 円形の2つの主表面を有するガラス板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することと、
前記研磨することによって得られる円盤状ガラス基板から、複数の薄板ガラス基板を切り出すこととを含む
ことを特徴とする薄板ガラス基板の製造方法。 - 前記複数の薄板ガラス基板を切り出すことでは、矩形の薄板ガラス基板が切り出される
ことを特徴とする請求項11に記載の薄板ガラス基板の製造方法。 - 前記複数の薄板ガラス基板を切り出すことでは、板厚が100〜350μmであり、かつ、2つの主表面の平行度が1.0μm未満である薄板ガラス基板が切り出される
ことを特徴とする請求項11又は12に記載の薄板ガラス基板の製造方法。 - 円形の2つの主表面を有するガラス板である円盤状ガラス素板を準備することと、
前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面の各々の外縁部を面取りすることと、
面取りされた前記円盤状ガラス素板の前記2つの主表面を両面研削装置で研削することと、
研削された前記2つの主表面を両面研磨装置で研磨することと、
前記研磨することによって得られる円盤状ガラス基板から、複数の薄板ガラス基板を切り出すこととを含む
ことを特徴とする導光板の製造方法。 - 前記切り出された薄板ガラス基板を積層することをさらに含む
ことを特徴とする請求項14に記載の導光板の製造方法。 - 1つ又は複数の薄板ガラス基板を切り出すための円盤状ガラス基板であって、
円形の2つの主表面と、
外周端面と、
前記2つの主表面の各々と前記外周端面との間を傾斜して接続する面取り面とを備え、
前記2つの主表面の間の距離が100〜350μmであり、
前記2つの主表面の平行度が1.0μm未満である
ことを特徴とする円盤状ガラス基板。 - 屈折率が1.60以上であり、かつ、平行度が0.5μm以下である
ことを特徴とする請求項16に記載の円盤状ガラス基板。 - 前記複数の薄板ガラス基板の各々は、導光板である
ことを特徴とする請求項16又は17に記載の円盤状ガラス基板。 - 前記複数の薄板ガラス基板の各々は、積層して用いられる導光板である
ことを特徴とする請求項16から18のいずれか1項に記載の円盤状ガラス基板。
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