JP2020121888A - シリコン粉塵の空気輸送方法、捕集方法、および処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(析出)させる方法である。
する、ことを特徴とする。
多結晶シリコン棒を破砕して発生した粉塵についての、粉塵爆発の危険性について、予備的な実験を行った。
あり、粉塵粒径は、4.2μm〜704μmの範囲で分布していた。
爆発は生じなかった。
を行うに際し、JIS Z 88017:2002「可燃性粉塵の爆発圧力及び、圧力上昇速度の測定方法」の付属書2に規定された公定法に則った。具体的には、容量が30リットル(0.03m3)の球型試験装置内において、コンプレッサーエアーにより粉塵雲を発生させ、火薬に着火させ、爆発させた時の圧力波形を観測し圧力の最大値とそれに至るまでの時間から圧力上昇速度を算出した。なお、この評価方法は、爆発を発生させ、集塵機等の装置の爆発時の防護を目的とした放散口面積の設計に利用されるものである。
1m3の容量をもつ測定機を用いて測定して得られる値に換算した値であり、本実験で用いた球型試験装置(容量0.03m3)の場合のKstは、(0.03m3)1/3×最大
爆発圧力上昇速度で与えられる。
IS Z 8817:2002)。具体的には、Kst値が0であればSt0(燃焼、爆発性のない粉塵)、Kst値が1〜200であればSt1(爆発の激しさが弱い粉塵)、
Kst値が201〜300であればSt2(爆発の激しい粉塵)、そして、Kst値が301以上であればSt3(爆発の激しさが特に大きい粉塵)となる。
さは弱いことが判明した。そこで、本発明では、多結晶シリコンを破砕した際に発生するシリコン粉塵を空気輸送するに際し、破砕場所とスクラバーの間に設けられたダクト内のシリコン粉塵の濃度を2,000g/m3以下とする。
先ず、シーメンス法により製造した多結晶シリコン棒を破砕してCZシリコン単結晶製造用のナゲットを得た際の重量損失を確認した。投入重量が112.0kgの時の重量損失は0.43kg、投入重量が109.5kgの時の重量損失は0.38kg、投入重量が111.5kgの時の重量損失は0.54kgであった。この重量損失は、破砕時に局所排気装置により吸引・輸送された粉塵の重量に当たる。なお、この粉塵の粒径分布を測定したところ、100μm以下の粒径のものが67.4%であった。
を使用した。
粉塵爆発を抑止することができることを意味している。
m3以下とし、更に、ダクト内を流れる空気の線速度を4cm/秒以上とすることが好ま
しい。
図1は、本発明で用いる湿式のスクラバーの構造を概念的に説明するための図である。
この水噴射により沈殿槽30に沈降するが、粒径の小さなシリコン粉塵の捕捉が十分ではない場合もある。このような非捕捉のシリコン粉塵を捕集して定量したところ、0.01g/cm3であった。なお、この値は、粒径1μm以上のシリコン粉塵を対象とし、JIS Z 8808の等速吸引・濾紙捕集法により定量して得られたものである。
l以下であった。対象粒径は、1μm以上である。
続いて、局所排気部の吸込口(フード)での空気の適切な流速度について検討した。表3に、5つの条件で行った検討結果を纏めた。
15 空気抵抗部
20 ポンプ
30 沈殿槽
100 スクラバー
Claims (5)
- 多結晶シリコンを破砕した際に発生するシリコン粉塵を空気輸送する方法であって、
破砕場所とスクラバーの間に設けられたダクト内の前記シリコン粉塵の濃度を2,000g/m3以下とする、シリコン粉塵の空気輸送方法。 - 前記ダクト内を流れる空気の線速度を4cm/秒以上とする、請求項1に記載のシリコ
ン粉塵の空気輸送方法。 - 前記ダクトの一方端側に設けられた局所排気部の吸込口での空気の流速度を8m/秒以
上とする、請求項1または2に記載のシリコン粉塵の空気輸送方法。 - 多結晶シリコンを破砕した際に発生するシリコン粉塵を捕集する方法であって、
破砕場所からダクト内を空気輸送された前記シリコン粉塵を湿式のスクラバーに導き、該スクラバー内で前記シリコン粉塵に水噴霧して水中に沈降させる第1の工程の後に、輸送空気を強制的に湾曲させる空気抵抗部に導いて輸送空気中のシリコン粉塵を該空気抵抗部で捕捉する第2の工程を備えている、シリコン粉塵の捕集方法。 - 請求項4に記載の捕集方法に続き、前記スクラバー内で水中に沈降した前記シリコン粉塵を、湿潤状態のまま排出して処理する工程を備えている、シリコン粉塵の処理方法。
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