JP2020075297A

JP2020075297A - Cover structure

Info

Publication number: JP2020075297A
Application number: JP2018208117A
Authority: JP
Inventors: 彰高比良; Akira Takahira
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2018-11-05
Filing date: 2018-11-05
Publication date: 2020-05-21
Anticipated expiration: 2038-11-05
Also published as: JP7199919B2

Abstract

To provide a cover structure capable of suppressing upsizing of a structure.SOLUTION: A cover structure 1 includes a moving device 3 capable of moving an object in an X-direction, and a slide cover 4 for covering the moving device 3. The slide cover 4 comprises a first covering part 41 for covering the moving device 3 from the outside in the X-direction, and a second covering part 42 that is integrally connected to the first covering part 41 and that covers the moving device 3 from the outside in a Y-direction orthogonal to the X-direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、カバー構造に関する。 The present invention relates to a cover structure.

従来、工作機械に切粉、油分などの異物が侵入することを防止するためのカバー構造がある。
例えば、特許文献１には、工作機械のコラムとサドルとに両端が取り付けられたアコーディオン式カーテンと、コラムとサドルとの間に傾斜して配置されたテレスコカバーと、を備えた構造が開示されている。
例えば、特許文献２には、コラムとサドルとの間のベッド上のサドル用案内を覆うテレスコカバーと、コラムとサドルとの間に設けられベッド上方を覆う傾斜テレスコカバーと、を備えた構造が開示されている。傾斜テレスコカバーは、テレスコカバーの外側両端面に僅少隙間を有して重なるように配置されている。 Conventionally, there is a cover structure for preventing foreign matter such as chips and oil from entering a machine tool.
For example, Patent Document 1 discloses a structure including an accordion type curtain whose both ends are attached to a column and a saddle of a machine tool, and a telescopic cover which is inclinedly arranged between the column and the saddle. ing.
For example, Patent Document 2 discloses a structure including a telescopic cover that covers a guide for a saddle on a bed between a column and a saddle, and an inclined telescopic cover that is provided between the column and the saddle and covers an upper portion of the bed. It is disclosed. The inclined telescopic cover is arranged so as to overlap with the outer end surfaces of the telescopic cover with a small gap.

特開平９−７０７３４号公報JP-A-9-70734 実開平５−２９６５７号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-29657

しかしながら、２種類のカバーを別個独立に設けると、各カバーの設置スペース（各カバーのストロークスペースを含む。）が必要となり、構造が大型化してしまう。 However, if the two types of covers are separately provided, an installation space for each cover (including a stroke space for each cover) is required, and the structure becomes large.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、構造の大型化を抑制することができるカバー構造を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a cover structure capable of suppressing an increase in size of the structure.

本発明の一態様に係るカバー構造は、対象物を第一方向に移動可能な移動装置と、前記移動装置を覆うスライドカバーと、を備え、前記スライドカバーは、前記第一方向の外方から前記移動装置を覆う第一覆い部と、前記第一覆い部と一体に結合され、前記第一方向と直交する第二方向の外方から前記移動装置を覆う第二覆い部と、を備えることを特徴とする。 A cover structure according to one aspect of the present invention includes a moving device that can move an object in a first direction, and a slide cover that covers the moving device, and the slide cover is from outside in the first direction. A first cover part that covers the moving device; and a second cover part that is integrally coupled to the first cover part and that covers the moving device from the outside in a second direction orthogonal to the first direction. Is characterized by.

この構成によれば、スライドカバーにおいて第一覆い部と第二覆い部とが互いに一体に結合されるため、第一覆い部と第二覆い部とが別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部の設置スペース（ストロークスペース）を可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。加えて、第一方向の外方および第二方向の外方のそれぞれから移動装置に異物が侵入することを抑制することができる。 According to this configuration, since the first cover portion and the second cover portion are integrally coupled to each other in the slide cover, compared with the case where the first cover portion and the second cover portion are provided separately and independently. The installation space (stroke space) of each cover can be kept as small as possible. Therefore, it is possible to suppress an increase in the size of the structure. In addition, foreign matter can be prevented from entering the moving device from the outside in the first direction and the outside in the second direction.

上記のカバー構造において、前記第一覆い部は、前記第二方向に沿う第一軸と、前記第一軸と平行な第二軸と、前記第一軸の周りに回動可能な第一カバーと、前記第二軸の周りに回動可能な第二カバーと、前記第一カバーと前記第二カバーとが互いに摺接するように前記第二カバーを案内するガイド部と、を備えてもよい。 In the above cover structure, the first cover part includes a first axis extending along the second direction, a second axis parallel to the first axis, and a first cover rotatable about the first axis. And a second cover rotatable around the second shaft, and a guide portion guiding the second cover so that the first cover and the second cover are in sliding contact with each other. ..

この構成によれば、スライド式（第一カバーと第二カバーとの摺接）と旋回式（第一軸周りの第一カバーの回動、第二軸周りの第二カバーの回動）とを組み合わせた構成で構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, there are a slide type (sliding contact between the first cover and the second cover) and a swivel type (rotation of the first cover around the first axis, rotation of the second cover around the second axis). It is possible to suppress an increase in the size of the structure by combining the above.

上記のカバー構造において、前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記第一方向の移動始端または移動終端で前記第二軸と重なってもよい。 In the above cover structure, the first axis overlaps with the second axis at a movement start end or a movement end in the first direction when viewed from a third direction orthogonal to each of the first direction and the second direction. May be.

この構成によれば、第三方向から見て第一軸が第一方向の移動始端および移動終端で第二軸よりも第一方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, as compared with the case where the first shaft is located outward of the second axis in the first direction at the movement start end and the movement end in the first direction when viewed from the third direction, the structure becomes larger. Can be suppressed.

上記のカバー構造において、前記第一軸は、前記第一方向の移動過程で前記第二軸よりも前記第一方向の内方に位置してもよい。 In the cover structure described above, the first shaft may be located more inward in the first direction than the second shaft in the movement process in the first direction.

この構成によれば、第一軸が第一方向の移動過程で第二軸よりも第一方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, it is possible to suppress the increase in size of the structure, as compared with the case where the first shaft is located outward of the second shaft in the first direction during the movement process in the first direction.

上記のカバー構造において、前記対象物を載置可能なステージを更に備え、前記移動装置は、前記ステージを前記第一方向に移動可能であり、前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記ステージと重なってもよい。 In the above cover structure, further comprising a stage on which the object can be placed, the moving device is capable of moving the stage in the first direction, and is orthogonal to each of the first direction and the second direction. The first axis may overlap the stage when viewed from the third direction.

この構成によれば、第三方向から見て第一軸がステージの外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, it is possible to suppress the increase in size of the structure as compared with the case where the first axis is located outside the stage when viewed from the third direction.

上記のカバー構造において、前記ガイド部は、前記第一カバーの内方において前記第一カバーと隙間をあけて配置され、前記第二カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記隙間に介在してもよい。 In the above cover structure, the guide portion is arranged inside the first cover with a gap from the first cover, and at least a part of the second cover is moved in the first direction during the movement process. It may be interposed in the gap.

この構成によれば、第一カバー、第二カバーおよびガイド部の３つの部材の厚み分のスペースでスライドカバー（第一覆い部）を設置できるため、省スペース化に寄与する。加えて、第二カバーが第一カバーの内面に摺接するため、第二カバーが第一カバーの外面に摺接する場合と比較して、第二カバーを目立ちにくくすることができる。 According to this configuration, the slide cover (first cover portion) can be installed in a space corresponding to the thickness of the three members of the first cover, the second cover, and the guide portion, which contributes to space saving. In addition, since the second cover is in sliding contact with the inner surface of the first cover, the second cover can be made inconspicuous as compared with the case where the second cover is in sliding contact with the outer surface of the first cover.

上記のカバー構造において、前記第二覆い部は、前記第一カバーと一体に結合された第一側カバーと、前記第二カバーと一体に結合された第二側カバーと、を備え、前記第二側カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記第一側カバーと重なってもよい。 In the above cover structure, the second cover part includes a first side cover integrally combined with the first cover and a second side cover integrally combined with the second cover, At least a part of the two-side cover may overlap with the first-side cover during the movement process in the first direction.

この構成によれば、第二側カバーが第一方向の移動過程で第一側カバーと離反する場合と比較して、第二方向の外方から移動装置に異物が侵入することをより一層効果的に抑制することができる。 According to this configuration, compared to the case where the second side cover separates from the first side cover during the movement process in the first direction, it is even more effective that foreign matter enters the moving device from the outside in the second direction. Can be suppressed.

上記のカバー構造において、前記移動装置は、前記第一方向に延びるレールを備え、前記スライドカバーは、前記第一方向における前記レールの両側に設けられていてもよい。 In the above cover structure, the moving device may include rails extending in the first direction, and the slide covers may be provided on both sides of the rails in the first direction.

この構成によれば、スライドカバーが第一方向におけるレールの片側のみに設けられた場合と比較して、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。 With this configuration, it is possible to more effectively suppress the increase in size of the structure as compared with the case where the slide cover is provided only on one side of the rail in the first direction.

上記のカバー構造において、前記移動装置は、前記対象物を前記第一方向に移動可能な第一移動機構と、前記第一移動機構によって前記第一方向に移動可能とされ、かつ、前記対象物を前記第二方向に移動可能な第二移動機構と、を備えてもよい。 In the above cover structure, the moving device is configured to be movable in the first direction by the first moving mechanism capable of moving the object in the first direction, and the object. And a second moving mechanism capable of moving in the second direction.

この構成によれば、移動装置が第一移動機構および第二移動機構を備えた構成において、構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, in the configuration in which the moving device includes the first moving mechanism and the second moving mechanism, it is possible to suppress the increase in size of the structure.

上記のカバー構造において、前記スライドカバーは、前記第一移動機構を覆う第一被覆体と、前記第二移動機構を覆う第二被覆体と、を備え、前記第一被覆体は、前記第一方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第一覆い部と、前記第一覆い部と一体に結合され、前記第二方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第二覆い部と、を備え、前記第二被覆体は、前記第二方向の外方から前記第二移動機構を覆う第三覆い部と、前記第三覆い部と一体に結合され、前記第一方向の外方から前記第二移動機構を覆う第四覆い部と、を備えてもよい。 In the above cover structure, the slide cover includes a first cover that covers the first moving mechanism and a second cover that covers the second moving mechanism, and the first cover is the first cover. The first cover part that covers the first moving mechanism from the outside in the direction, and the second cover part that is integrally combined with the first cover part and covers the first moving mechanism from the outside in the second direction. And a third cover part that covers the second moving mechanism from the outside in the second direction, and the second cover is integrally coupled to the third cover part. A fourth cover portion that covers the second moving mechanism from one side may be provided.

この構成によれば、スライドカバーにおいて第一覆い部と第二覆い部とが互いに一体に結合されるとともに、第三覆い部と第四覆い部とが互いに一体に結合されるため、各覆い部が別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部の設置スペースを可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。 According to this configuration, in the slide cover, the first cover portion and the second cover portion are integrally coupled to each other, and the third cover portion and the fourth cover portion are integrally coupled to each other, so that each cover portion is The installation space for each cover can be kept as small as possible, compared to the case where is separately and independently provided. Therefore, it is possible to suppress an increase in the size of the structure.

本発明によれば、構造の大型化を抑制することができるカバー構造を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a cover structure capable of suppressing an increase in size of the structure.

実施形態のカバー構造の斜視図であり、第一方向の移動始端を示す図である。It is a perspective view of a cover structure of an embodiment, and is a figure showing a movement starting end in the first direction. 実施形態のカバー構造の上面図である。It is a top view of the cover structure of an embodiment. 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を含む図であり、第一方向の移動始端を示す図である。It is a figure containing the III-III cross section of FIG. 2, and is a figure which shows the movement start end of a 1st direction. 第一方向の移動終端を示す、図３に相当する図である。It is a figure equivalent to FIG. 3 which shows the movement termination of a 1st direction. 実施形態の第一方向の移動始端における第一覆い部および第二覆い部の斜視図である。It is a perspective view of the first cover part and the second cover part at the movement start end in the first direction of the embodiment. 実施形態の第一覆い部の断面を示す、図３の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of FIG. 3 which shows the cross section of the 1st cover part of embodiment.

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、ＸＹ移動装置（移動装置）を覆うスライドカバーを備えたカバー構造を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, a cover structure including a slide cover that covers an XY moving device (moving device) will be described as an example. In the drawings used in the following description, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member recognizable.

（カバー構造１）
図１は、本実施形態のカバー構造１の斜視図である。
図１に示すように、カバー構造１は、ステージ２、ＸＹ移動装置３およびスライドカバー４を備える。以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。水平面内の所定方向をＸ方向（第一方向）、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向（第二方向）、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向（第三方向）とする。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、図中矢印方向をプラス（＋）方向とし、矢印とは反対の方向をマイナス（−）方向とする。図１は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端を示す図である。 (Cover structure 1)
FIG. 1 is a perspective view of a cover structure 1 of this embodiment.
As shown in FIG. 1, the cover structure 1 includes a stage 2, an XY moving device 3, and a slide cover 4. In the following description, an X, Y, Z orthogonal coordinate system will be used as needed. The predetermined direction in the horizontal plane is the X direction (first direction), the direction orthogonal to the X direction in the horizontal plane is the Y direction (second direction), and the direction orthogonal to each of the X direction and the Y direction (that is, the vertical direction) is Z. Direction (third direction). Of the X direction, Y direction, and Z direction, the arrow direction in the drawing is the plus (+) direction, and the direction opposite to the arrow is the minus (-) direction. FIG. 1 is a diagram showing a movement start end in the X direction of the cover structure 1 of the present embodiment.

（ステージ２）
ステージ２は、対象物を載置可能である。例えば、対象物は、時計などの部品が挙げられる。例えば、ステージ２に載置された対象物は、工作機械（不図示）によって加工される。ステージ２は、載置台１０および枠体１１を備える。 (Stage 2)
An object can be placed on the stage 2. For example, the object may be a part such as a watch. For example, the object placed on the stage 2 is processed by a machine tool (not shown). The stage 2 includes a mounting table 10 and a frame 11.

載置台１０は、対象物を載置可能な矩形形状の載置領域１０ａを有する（図２参照）。例えば、載置領域１０ａの一辺の長さは、数十ｍｍである。図中符号１２は、載置台１０を枠体１１に固定するための締結部材を示す。 The mounting table 10 has a rectangular mounting area 10a on which an object can be mounted (see FIG. 2). For example, the length of one side of the placement area 10a is several tens of mm. Reference numeral 12 in the drawing denotes a fastening member for fixing the mounting table 10 to the frame body 11.

枠体１１は、枠部１１ａおよび側壁部１１ｂを備える。枠部１１ａは、載置領域１０ａを囲む矩形枠状を有する。各締結部材１２は、枠部１１ａの四隅部に配置されている。側壁部１１ｂは、Ｘ方向における枠部１１ａの両端から−Ｚ方向に向けて延びている。各側壁部１１ｂは、Ｘ方向に厚みを有し、かつ、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。 The frame body 11 includes a frame portion 11a and a side wall portion 11b. The frame portion 11a has a rectangular frame shape surrounding the mounting area 10a. The fastening members 12 are arranged at the four corners of the frame 11a. The side wall portion 11b extends in the −Z direction from both ends of the frame portion 11a in the X direction. Each side wall portion 11b has a rectangular plate shape having a thickness in the X direction and a length in the Y direction.

（ＸＹ移動装置３）
ＸＹ移動装置３は、ステージ２をＸ方向およびＹ方向のそれぞれに移動可能である。ＸＹ移動装置３は、Ｘ移動機構２０（第一移動機構）およびＹ移動機構３０（第二移動機構）を備える。 (XY moving device 3)
The XY moving device 3 can move the stage 2 in each of the X direction and the Y direction. The XY moving device 3 includes an X moving mechanism 20 (first moving mechanism) and a Y moving mechanism 30 (second moving mechanism).

Ｘ移動機構２０は、対象物をＸ方向に移動可能である。Ｘ移動機構２０は、Ｙ移動機構３０の土台として機能する。図３に示すように、Ｘ移動機構２０は、Ｘベース２１、Ｘレール２２（レール）およびＸ駆動機構２３を備える。 The X moving mechanism 20 can move the object in the X direction. The X moving mechanism 20 functions as a base of the Y moving mechanism 30. As shown in FIG. 3, the X movement mechanism 20 includes an X base 21, an X rail 22 (rail), and an X drive mechanism 23.

Ｘベース２１は、＋Ｚ方向に開口する矩形箱状を有する。Ｘベース２１は、底壁２１ａおよび周壁２１ｂを備える。
底壁２１ａは、ステージ２の外形よりも大きい矩形形状を有する。周壁２１ｂは、底壁２１ａの外周に沿う矩形枠状を有する。周壁２１ｂは、底壁２１ａの外周から＋Ｚ方向に向けて延びている。
Ｘレール２２は、Ｘ方向に延びている。Ｘレール２２は、Ｘベース２１の＋Ｚ方向の端部（周壁２１ｂのＹ方向側壁の上端）に固定されている。
Ｘ駆動機構２３は、Ｘベース２１に搭載されている。Ｘ駆動機構２３は、Ｙ移動機構３０をＸレール２２に沿って移動可能とするＸ駆動源２３ａを備える。Ｘ駆動源２３ａは、連結部材（不図示）を介してＸベース２１の底壁２１ａに固定されている。例えば、Ｘ駆動源２３ａは、モータである。 The X base 21 has a rectangular box shape that opens in the + Z direction. The X base 21 includes a bottom wall 21a and a peripheral wall 21b.
The bottom wall 21 a has a rectangular shape larger than the outer shape of the stage 2. The peripheral wall 21b has a rectangular frame shape along the outer periphery of the bottom wall 21a. The peripheral wall 21b extends in the + Z direction from the outer periphery of the bottom wall 21a.
The X rail 22 extends in the X direction. The X rail 22 is fixed to the + Z direction end of the X base 21 (the upper end of the Y direction side wall of the peripheral wall 21b).
The X drive mechanism 23 is mounted on the X base 21. The X drive mechanism 23 includes an X drive source 23 a that enables the Y movement mechanism 30 to move along the X rail 22. The X drive source 23a is fixed to the bottom wall 21a of the X base 21 via a connecting member (not shown). For example, the X drive source 23a is a motor.

Ｙ移動機構３０は、Ｘ移動機構２０によってＸ方向に移動可能とされる。Ｙ移動機構３０は、対象物をＹ方向に移動可能である。Ｙ移動機構３０は、ステージ２の土台として機能する。Ｙ移動機構３０は、Ｙベース３１、Ｙレール３２およびＹ駆動機構３３を備える。 The Y moving mechanism 30 can be moved in the X direction by the X moving mechanism 20. The Y moving mechanism 30 can move the object in the Y direction. The Y moving mechanism 30 functions as a base of the stage 2. The Y moving mechanism 30 includes a Y base 31, a Y rail 32, and a Y driving mechanism 33.

Ｙベース３１は、＋Ｚ方向に開口する矩形箱状を有する。Ｙベース３１は、Ｘベース２１よりも小さい外形を有する。
Ｙレール３２は、Ｙ方向に延びている。Ｙレール３２は、Ｙベース３１の＋Ｚ方向の端部（Ｘ方向側壁の上端）に固定されている。
Ｙ駆動機構３３は、Ｙベース３１に搭載されている。Ｙ駆動機構３３は、ステージ２をＹレール３２に沿って移動可能とするＹ駆動源３３ａを備える。Ｙ駆動源３３ａは、連結部材（不図示）を介してＹベース３１に固定されている。例えば、Ｙ駆動源３３ａは、モータである。 The Y base 31 has a rectangular box shape that opens in the + Z direction. The Y base 31 has a smaller outer shape than the X base 21.
The Y rail 32 extends in the Y direction. The Y rail 32 is fixed to the + Z direction end of the Y base 31 (the upper end of the X direction side wall).
The Y drive mechanism 33 is mounted on the Y base 31. The Y drive mechanism 33 includes a Y drive source 33 a that allows the stage 2 to move along the Y rail 32. The Y drive source 33a is fixed to the Y base 31 via a connecting member (not shown). For example, the Y drive source 33a is a motor.

（スライドカバー４）
スライドカバー４は、ＸＹ移動装置３を覆う。スライドカバー４は、Ｘ移動機構２０を覆うＸ被覆体４０（第一被覆体）を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている。図中符号４０Ａは＋Ｘ方向側に位置する被覆体、図中符号４０Ｂは−Ｘ方向側に位置する被覆体をそれぞれ示す。以下、両側（一対）のＸ被覆体４０のうち、＋Ｘ方向側に位置する被覆体４０Ａを挙げて説明する。−Ｘ方向側に位置する被覆体４０Ｂは、＋Ｘ方向側の被覆体４０Ａと同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。 (Slide cover 4)
The slide cover 4 covers the XY moving device 3. The slide cover 4 includes an X cover 40 (first cover) that covers the X moving mechanism 20. The X covering body 40 is provided on both sides of the X rail 22 in the X direction. Reference numeral 40A in the drawing indicates a covering located on the + X direction side, and reference numeral 40B in the drawing indicates a covering located on the -X direction side. Hereinafter, of the X coatings 40 on both sides (a pair), the coating 40A located on the + X direction side will be described. Since the covering body 40B located on the −X direction side has the same configuration as the covering body 40A on the + X direction side, detailed description thereof will be omitted.

図１に示すように、Ｘ被覆体４０（＋Ｘ方向側の被覆体４０Ａ）は、第一覆い部４１および第二覆い部４２を備える。
第一覆い部４１は、Ｘ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う。図６に示すように、第一覆い部４１は、第一軸５１、第二軸５２、第一カバー５３、第二カバー５４およびガイド部５５を備える。 As shown in FIG. 1, the X covering body 40 (the covering body 40A on the + X direction side) includes a first covering portion 41 and a second covering portion 42.
The first cover part 41 covers the X moving mechanism 20 from the outside in the X direction. As shown in FIG. 6, the first cover part 41 includes a first shaft 51, a second shaft 52, a first cover 53, a second cover 54, and a guide part 55.

第一軸５１は、Ｙ方向に沿って延びている。第一軸５１は、Ｙベース３１の＋Ｘ方向側壁に支持されている。Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２と重なる。
第二軸５２は、第一軸５１と平行に延びている。第二軸５２は、Ｘベース２１の周壁２１ｂのＸ方向側壁の上端に支持されている。 The first shaft 51 extends along the Y direction. The first shaft 51 is supported on the side wall of the Y base 31 in the + X direction. The first axis 51 overlaps with the stage 2 when viewed from the Z direction.
The second shaft 52 extends parallel to the first shaft 51. The second shaft 52 is supported on the upper end of the side wall in the X direction of the peripheral wall 21b of the X base 21.

図３は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端を示す図である。
図４は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動終端を示す図である。
図４に示すように、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２と重なる。図３に示すように、第一軸５１は、Ｘ方向の移動始端およびＸ方向の移動過程（Ｘ方向の移動終端を除く。）のそれぞれにおいて、第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する。 FIG. 3 is a diagram showing a movement start end in the X direction of the cover structure 1 of the present embodiment.
FIG. 4 is a diagram showing a movement end of the cover structure 1 of the present embodiment in the X direction.
As shown in FIG. 4, the first shaft 51 overlaps with the second shaft 52 at the end of the movement in the X direction when viewed from the Z direction. As shown in FIG. 3, the first shaft 51 is positioned more inward in the X direction than the second shaft 52 in each of the movement start end in the X direction and the movement process in the X direction (excluding the movement end in the X direction). To position.

図５は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端における第一覆い部４１および第二覆い部４２の斜視図である。
第一カバー５３は、第一軸５１の周りに回動可能である。図５に示すように、第一カバー５３は、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。第一カバー５３の＋Ｚ方向端部は、第一軸５１の周りに回動可能に第一軸５１に連結されている。
第二カバー５４は、第二軸５２の周りに回動可能である。第二カバー５４は、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。第二カバー５４の−Ｚ方向端部は、第二軸５２の周りに回動可能に第二軸５２に連結されている。 FIG. 5: is a perspective view of the 1st cover part 41 and the 2nd cover part 42 in the movement start end of the X direction of the cover structure 1 of this embodiment.
The first cover 53 is rotatable around the first shaft 51. As shown in FIG. 5, the first cover 53 has a rectangular plate shape having a long side in the Y direction. The + Z direction end of the first cover 53 is rotatably connected to the first shaft 51 around the first shaft 51.
The second cover 54 is rotatable around the second shaft 52. The second cover 54 has a rectangular plate shape having a long side in the Y direction. The −Z direction end of the second cover 54 is rotatably connected to the second shaft 52 around the second shaft 52.

図６は、本実施形態のカバー構造１の第一覆い部４１の断面を示す、図３の要部拡大図である。ガイド部５５は、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内する。図６に示すように、ガイド部５５は、第一カバー５３の内方において第一カバー５３と隙間５６をあけて配置されている。第二カバー５４の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で隙間５６に介在する。ガイド部５５は、Ｙ方向に長手を有するＬ字断面の板状を有する。ガイド部５５の＋Ｚ方向端部は、第一カバー５３の内面に一体に結合されている。 FIG. 6 is an enlarged view of an essential part of FIG. 3, showing a cross section of the first cover part 41 of the cover structure 1 of the present embodiment. The guide portion 55 guides the second cover 54 so that the first cover 53 and the second cover 54 are in sliding contact with each other. As shown in FIG. 6, the guide portion 55 is arranged inside the first cover 53 with a gap 56 from the first cover 53. At least a part of the second cover 54 is interposed in the gap 56 during the movement process in the X direction. The guide portion 55 has a plate shape having an L-shaped cross section that is long in the Y direction. The + Z direction end of the guide portion 55 is integrally connected to the inner surface of the first cover 53.

図４に示すように、＋Ｘ方向の移動終端において、第一カバー５３は、第二カバー５４の全部を＋Ｘ方向から覆う。Ｘ方向の移動終端において、第一カバー５３の−Ｚ方向端は、Ｘベース２１の＋Ｚ方向の端部（周壁２１ｂの＋Ｘ方向側壁の上端）に近接する。 As shown in FIG. 4, at the end of the movement in the + X direction, the first cover 53 covers the entire second cover 54 from the + X direction. At the movement end in the X direction, the −Z direction end of the first cover 53 is close to the + Z direction end of the X base 21 (the upper end of the + X direction side wall of the peripheral wall 21b).

図１に示すように、第二覆い部４２は、第一覆い部４１と一体に結合されている。第二覆い部４２は、Ｙ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う。
第二覆い部４２は、第一側カバー６１および第二側カバー６２を備える。 As shown in FIG. 1, the second cover part 42 is integrally connected to the first cover part 41. The second cover part 42 covers the X movement mechanism 20 from the outside in the Y direction.
The second cover portion 42 includes a first side cover 61 and a second side cover 62.

第一側カバー６１は、第一カバー５３と一体に結合されている。第一側カバー６１は、第一カバー５３と共に、第一軸５１の周りに回動可能である。第一側カバー６１は、Ｙベース３１（図６参照）の−Ｙ方向を覆う側壁部３４よりもＹ方向内方に位置する。例えば、第一側カバー６１は、第一カバー５３と同一の部材で一体に形成されている。第一側カバー６１は、Ｙ方向における第一カバー５３の両側に設けられている。第一側カバー６１は、第一カバー５３との結合部から離れるほど先細りとなる形状を有する。 The first side cover 61 is integrally connected to the first cover 53. The first side cover 61 is rotatable around the first shaft 51 together with the first cover 53. The first side cover 61 is located inward in the Y direction with respect to the side wall portion 34 that covers the −Y direction of the Y base 31 (see FIG. 6). For example, the first side cover 61 is integrally formed with the same member as the first cover 53. The first side covers 61 are provided on both sides of the first cover 53 in the Y direction. The first side cover 61 has a shape that tapers away from the joint with the first cover 53.

図５に示すように、第二側カバー６２は、第二カバー５４と一体に結合されている。第二側カバー６２は、第二カバー５４と共に、第二軸５２の周りに回動可能である。第二側カバー６２は、第一側カバー６１よりもＹ方向内方に位置する。例えば、第二側カバー６２は、第二カバー５４と同一の部材で一体に形成されている。第二側カバー６２は、Ｙ方向における第二カバー５４の両側に設けられている。第二側カバー６２は、第二カバー５４との結合部から離れるほど先細りとなる形状を有する。 As shown in FIG. 5, the second side cover 62 is integrally connected to the second cover 54. The second side cover 62 is rotatable around the second shaft 52 together with the second cover 54. The second side cover 62 is located inward of the first side cover 61 in the Y direction. For example, the second side cover 62 is integrally formed with the same member as the second cover 54. The second side covers 62 are provided on both sides of the second cover 54 in the Y direction. The second side cover 62 has a shape that tapers away from the joint with the second cover 54.

Ｙ移動機構３０のＸ方向の移動過程において、第二側カバー６２の少なくとも一部は、Ｙ方向外方から見て第一側カバー６１と重なる形状を有し、Ｙ方向外方から常にＸ移動機構２０を覆う。また、Ｘ方向の移動始端において、移動始端側の第一側カバー６１は、側壁部３４によりＹ方向外方から覆われ、移動終端側の第一側カバー６１は、第二側カバー６２と協働してＹ方向外方からＸ移動機構２０を覆う（図１参照）。
このように、Ｙ移動機構３０のＸ方向の移動始端、移動終端およびＸ方向の移動過程のそれぞれにおいて、第一側カバー６１および第二側カバー６２は、Ｙ方向から見て隙間の無い連続した外形を形成する。 During the movement process of the Y movement mechanism 30 in the X direction, at least a part of the second side cover 62 has a shape overlapping with the first side cover 61 when viewed from the outside in the Y direction, and always moves in the X direction from the outside in the Y direction. Cover the mechanism 20. Further, at the movement start end in the X direction, the first side cover 61 on the movement start end side is covered from the outside in the Y direction by the side wall portion 34, and the first end cover 61 on the movement end side cooperates with the second side cover 62. It works to cover the X moving mechanism 20 from the outside in the Y direction (see FIG. 1).
As described above, in each of the movement start end, the movement end, and the movement process in the X direction of the Y movement mechanism 30, the first side cover 61 and the second side cover 62 are continuous with no gap when viewed from the Y direction. Form the outline.

図１に示すように、スライドカバー４は、Ｙ移動機構３０を覆うＹ被覆体７０（第二被覆体）を更に備える。Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向におけるＹレール３２（図３参照）の両側に設けられている。図中符号７０Ａは＋Ｙ方向側に位置する被覆体、図中符号７０Ｂは−Ｙ方向側に位置する被覆体をそれぞれ示す。以下、両側（一対）のＹ被覆体７０のうち、＋Ｙ方向側に位置する被覆体７０Ａを挙げて説明する。−Ｙ方向側に位置する被覆体７０Ｂは、＋Ｙ方向側の被覆体７０Ａと同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。 As shown in FIG. 1, the slide cover 4 further includes a Y cover 70 (second cover) that covers the Y moving mechanism 30. The Y covering body 70 is provided on both sides of the Y rail 32 (see FIG. 3) in the Y direction. Reference numeral 70A in the drawing indicates a covering located on the + Y direction side, and reference numeral 70B in the drawing indicates a covering located on the −Y direction side. Hereinafter, of the Y-covers 70 on both sides (a pair), the cover 70A located on the + Y direction side will be described as an example. Since the covering body 70B located on the −Y direction side has the same configuration as the covering body 70A on the + Y direction side, detailed description thereof will be omitted.

Ｙ被覆体７０（＋Ｙ方向側の被覆体７０Ａ）は、第三覆い部７１および第四覆い部７２を備える。
第三覆い部７１は、Ｙ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う。第三覆い部７１は、第一覆い部４１と同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。 The Y covering body 70 (the covering body 70A on the + Y direction side) includes a third cover portion 71 and a fourth cover portion 72.
The third cover portion 71 covers the Y moving mechanism 30 from the outside in the Y direction. The third cover portion 71 has the same configuration as the first cover portion 41, and thus detailed description thereof will be omitted.

第四覆い部７２は、第三覆い部７１と一体に結合されている。第四覆い部７２は、Ｘ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う。第四覆い部７２は、第二覆い部４２と同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。 The fourth cover portion 72 is integrally connected to the third cover portion 71. The fourth cover portion 72 covers the Y moving mechanism 30 from the outside in the X direction. The fourth cover portion 72 has the same configuration as the second cover portion 42, and thus detailed description thereof will be omitted.

以上説明したように、本実施形態に係るカバー構造１は、対象物をＸ方向に移動可能な移動装置３と、移動装置３を覆うスライドカバー４と、を備え、スライドカバー４は、Ｘ方向の外方から移動装置３を覆う第一覆い部４１と、第一覆い部４１と一体に結合され、Ｘ方向と直交するＹ方向の外方から移動装置３を覆う第二覆い部４２と、を備える。 As described above, the cover structure 1 according to the present embodiment includes the moving device 3 that can move the object in the X direction and the slide cover 4 that covers the moving device 3, and the slide cover 4 is in the X direction. A first cover part 41 that covers the moving device 3 from the outside, and a second cover part 42 that is integrally coupled to the first covering part 41 and that covers the moving device 3 from the outside in the Y direction orthogonal to the X direction. Equipped with.

本実施形態によれば、スライドカバー４において第一覆い部４１と第二覆い部４２とが互いに一体に結合されるため、第一覆い部４１と第二覆い部４２とが別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部４１，４２の設置スペース（ストロークスペース）を可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。加えて、Ｘ方向の外方およびＹ方向の外方のそれぞれから移動装置３に異物が侵入することを抑制することができる。 According to the present embodiment, since the first cover part 41 and the second cover part 42 are integrally coupled to each other in the slide cover 4, the first cover part 41 and the second cover part 42 are provided separately and independently. The installation space (stroke space) of each of the cover portions 41 and 42 can be kept as small as possible in comparison with the above case. Therefore, it is possible to suppress an increase in the size of the structure. In addition, foreign matter can be prevented from entering the moving device 3 from the outside in the X direction and the outside in the Y direction.

また、本実施形態では、第一覆い部４１は、Ｙ方向に沿う第一軸５１と、第一軸５１と平行な第二軸５２と、第一軸５１の周りに回動可能な第一カバー５３と、第二軸５２の周りに回動可能な第二カバー５４と、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内するガイド部５５と、を備える。 In addition, in the present embodiment, the first cover portion 41 includes a first shaft 51 extending in the Y direction, a second shaft 52 parallel to the first shaft 51, and a first shaft 51 rotatable about the first shaft 51. A cover 53, a second cover 54 that is rotatable around the second shaft 52, and a guide portion 55 that guides the second cover 54 so that the first cover 53 and the second cover 54 are in sliding contact with each other. Prepare

本実施形態によれば、スライド式（第一カバー５３と第二カバー５４との摺接）と旋回式（第一軸５１周りの第一カバー５３の回動、第二軸５２周りの第二カバー５４の回動）とを組み合わせた構成で構造の大型化を抑制することができる。 According to this embodiment, a sliding type (sliding contact between the first cover 53 and the second cover 54) and a swiveling type (rotation of the first cover 53 around the first shaft 51, second rotation around the second shaft 52). With the configuration in which the cover 54 is rotated), it is possible to prevent the structure from increasing in size.

また、本実施形態では、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２と重なる。 Further, in the present embodiment, the first shaft 51 overlaps with the second shaft 52 at the movement end in the X direction when viewed from the Z direction.

本実施形態によれば、Ｚ方向から見て第一軸５１がＸ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to the present embodiment, as compared with the case where the first shaft 51 is located at the end of the movement in the X direction and outside the second shaft 52 in the X direction when viewed from the Z direction, it is possible to prevent the structure from becoming large. be able to.

また、本実施形態では、第一軸５１は、Ｘ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する。 Further, in the present embodiment, the first shaft 51 is located inward of the second shaft 52 in the X direction during the movement process in the X direction.

本実施形態によれば、第一軸５１がＸ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to the present embodiment, it is possible to suppress the increase in size of the structure as compared with the case where the first shaft 51 is located outside the second shaft 52 in the X direction during the movement process in the X direction.

また、本実施形態では、対象物を載置可能なステージ２を更に備える。移動装置３は、ステージ２をＸ方向に移動可能である。Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２と重なる。 Further, in the present embodiment, the stage 2 on which an object can be placed is further provided. The moving device 3 can move the stage 2 in the X direction. The first axis 51 overlaps with the stage 2 when viewed from the Z direction.

本実施形態によれば、Ｚ方向から見て第一軸５１がステージ２の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。 According to this embodiment, as compared with the case where the first shaft 51 is located outside the stage 2 when viewed from the Z direction, it is possible to suppress the increase in size of the structure.

また、本実施形態では、ガイド部５５は、第一カバー５３の内方において第一カバー５３と隙間５６をあけて配置されている。第二カバー５４の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で隙間５６に介在する。 Further, in the present embodiment, the guide portion 55 is arranged inside the first cover 53 with a gap 56 from the first cover 53. At least a part of the second cover 54 is interposed in the gap 56 during the movement process in the X direction.

本実施形態によれば、第一カバー５３、第二カバー５４およびガイド部５５の３つの部材の厚み分のスペースでスライドカバー４（第一覆い部４１）を設置できるため、省スペース化に寄与する。加えて、第二カバー５４が第一カバー５３の内面に摺接するため、第二カバー５４が第一カバー５３の外面に摺接する場合と比較して、第二カバー５４を目立ちにくくすることができる。 According to this embodiment, the slide cover 4 (first cover part 41) can be installed in a space corresponding to the thickness of the three members of the first cover 53, the second cover 54, and the guide part 55, which contributes to space saving. To do. In addition, since the second cover 54 is in sliding contact with the inner surface of the first cover 53, it is possible to make the second cover 54 less noticeable than when the second cover 54 is in sliding contact with the outer surface of the first cover 53. ..

また、本実施形態では、第二覆い部４２は、第一カバー５３と一体に結合された第一側カバー６１と、第二カバー５４と一体に結合された第二側カバー６２と、を備える。第二側カバー６２の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で第一側カバー６１と重なる。 In addition, in the present embodiment, the second cover portion 42 includes a first side cover 61 that is integrally connected to the first cover 53, and a second side cover 62 that is integrally connected to the second cover 54. .. At least a part of the second side cover 62 overlaps the first side cover 61 during the movement process in the X direction.

本実施形態によれば、第二側カバー６２がＸ方向の移動過程で第一側カバー６１と離反する場合と比較して、Ｙ方向の外方から移動装置３に異物が侵入することをより一層効果的に抑制することができる。 According to the present embodiment, compared to the case where the second side cover 62 separates from the first side cover 61 during the movement process in the X direction, it is possible to prevent foreign matter from entering the moving device 3 from the outside in the Y direction. It can be suppressed more effectively.

また、本実施形態では、移動装置３は、Ｘ方向に延びるＸレール２２を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている。 In addition, in the present embodiment, the moving device 3 includes the X rail 22 extending in the X direction. The X covering body 40 is provided on both sides of the X rail 22 in the X direction.

本実施形態によれば、Ｘ被覆体４０がＸ方向におけるＸレール２２の片側のみに設けられた場合と比較して、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。
加えて、両側のＸ被覆体４０において、スライド式（第一カバー５３と第二カバー５４との摺接）と旋回式（第一軸５１周りの第一カバー５３の回動、第二軸５２周りの第二カバー５４の回動）とを組み合わせた構成とすることで、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。 According to this embodiment, as compared with the case where the X covering 40 is provided only on one side of the X rail 22 in the X direction, it is possible to more effectively suppress the increase in size of the structure.
In addition, in the X coverings 40 on both sides, a sliding type (sliding contact between the first cover 53 and the second cover 54) and a swiveling type (rotation of the first cover 53 around the first shaft 51, a second shaft 52). It is possible to more effectively suppress the increase in size of the structure by adopting a configuration in which the second cover 54 is rotated around).

また、本実施形態では、移動装置３は、対象物をＸ方向に移動可能なＸ移動機構２０と、Ｘ移動機構２０によってＸ方向に移動可能とされ、かつ、対象物をＹ方向に移動可能なＹ移動機構３０と、を備える。 In addition, in the present embodiment, the moving device 3 is capable of moving the object in the X direction, the X moving mechanism 20, the X moving mechanism 20, and the object moving in the Y direction. And a Y moving mechanism 30.

本実施形態によれば、移動装置３がＸ移動機構２０およびＹ移動機構３０を備えた構成において、構造の大型化を抑制することができる。 According to the present embodiment, in the configuration in which the moving device 3 includes the X moving mechanism 20 and the Y moving mechanism 30, it is possible to suppress the increase in size of the structure.

また、本実施形態では、スライドカバー４は、Ｘ移動機構２０を覆うＸ被覆体４０と、Ｙ移動機構３０を覆うＹ被覆体７０と、を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う第一覆い部４１と、第一覆い部４１と一体に結合され、Ｙ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う第二覆い部４２と、を備える。Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う第三覆い部７１と、第三覆い部７１と一体に結合され、Ｘ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う第四覆い部７２と、を備える。 Further, in the present embodiment, the slide cover 4 includes an X cover 40 that covers the X moving mechanism 20 and a Y cover 70 that covers the Y moving mechanism 30. The X cover 40 is integrally coupled with the first cover portion 41 that covers the X moving mechanism 20 from the outside in the X direction and the second cover portion 41 that covers the X moving mechanism 20 from the outside in the Y direction. And a cover portion 42. The Y covering body 70 is integrally coupled with the third cover portion 71 that covers the Y moving mechanism 30 from the outside in the Y direction and the fourth cover portion 70 that covers the Y moving mechanism 30 from the outside in the X direction. And a cover portion 72.

本実施形態によれば、スライドカバー４において第一覆い部４１と第二覆い部４２とが互いに一体に結合されるとともに、第三覆い部７１と第四覆い部７２とが互いに一体に結合されるため、各覆い部４１，４２，７１，７２が別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部４１，４２，７１，７２の設置スペースを可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。 According to this embodiment, in the slide cover 4, the first cover part 41 and the second cover part 42 are integrally connected to each other, and the third cover part 71 and the fourth cover part 72 are integrally connected to each other. Therefore, as compared with the case where the cover portions 41, 42, 71, 72 are provided separately and independently, the installation space of the cover portions 41, 42, 71, 72 can be suppressed as small as possible. Therefore, it is possible to suppress an increase in the size of the structure.

（変形例）
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。 (Modification)
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

上述した実施形態では、スライドカバー４が移動装置３を覆う例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、スライドカバー４は、対象物を覆っていてもよい。 In the above-described embodiment, the example in which the slide cover 4 covers the moving device 3 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the slide cover 4 may cover the target object.

上述した実施形態では、第一覆い部４１が、第一軸５１の周りに回動可能な第一カバー５３と、第二軸５２の周りに回動可能な第二カバー５４と、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内するガイド部５５と、を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一覆い部４１は、第一カバー５３および第二カバー５４のそれぞれに摺接する第三カバーを更に備えてもよい。例えば、第一覆い部４１は、３つ以上の複数のカバーを備えた摺接構造を採用してもよい。 In the above-described embodiment, the first cover portion 41 includes the first cover 53 rotatable about the first shaft 51, the second cover 54 rotatable about the second shaft 52, and the first cover. Although an example including the guide portion 55 that guides the second cover 54 so that the 53 and the second cover 54 are in sliding contact with each other has been described, the invention is not limited thereto. For example, the first cover portion 41 may further include a third cover that is in sliding contact with each of the first cover 53 and the second cover 54. For example, the first cover part 41 may employ a sliding contact structure including three or more covers.

上述した実施形態では、第一側カバー６１が第一カバー５３と同一の部材で一体に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一側カバー６１は、第一カバー５３と異なる部材で一体に結合されていてもよい。
また、第二側カバー６２が第二カバー５４と同一の部材で一体に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二側カバー６２は、第二カバー５４と異なる部材で一体に結合されていてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the first side cover 61 is integrally formed of the same member as the first cover 53 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the first side cover 61 may be integrally joined with a member different from the first cover 53.
Moreover, although the example in which the second side cover 62 is integrally formed of the same member as the second cover 54 has been described, the present invention is not limited to this. For example, the second side cover 62 may be integrally connected with a member different from the second cover 54.

上述した実施形態では、Ｚ方向から見て第一軸５１がＸ方向の移動終端で第二軸５２と重なる例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置してもよい。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置してもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the first shaft 51 overlaps with the second shaft 52 at the end of movement in the X direction when viewed from the Z direction has been described, but the present invention is not limited to this. For example, when viewed from the Z direction, the first shaft 51 may be located inward of the second shaft 52 in the X direction at the end of the movement in the X direction. For example, when viewed from the Z direction, the first shaft 51 may be located further outward in the X direction than the second shaft 52 at the movement end in the X direction.

上述した実施形態では、第一軸５１がＸ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一軸５１は、Ｘ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置してもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the first shaft 51 is located inward of the second shaft 52 in the X direction in the movement process in the X direction has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the first shaft 51 may be located outward of the second shaft 52 in the X direction during the movement process in the X direction.

上述した実施形態では、Ｚ方向から見て第一軸５１がステージ２と重なる例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２の外方に位置してもよい。 In the above-described embodiment, the example in which the first shaft 51 overlaps with the stage 2 when viewed from the Z direction has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the first axis 51 may be located outside the stage 2 when viewed from the Z direction.

上述した実施形態では、Ｘ被覆体４０がＸ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の片側のみに設けられていてもよい。
また、Ｙ被覆体７０がＹ方向におけるＹレール３２の両側に設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向におけるＹレール３２の片側のみに設けられていてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the X covering body 40 is provided on both sides of the X rail 22 in the X direction has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the X cover 40 may be provided only on one side of the X rail 22 in the X direction.
In addition, although the example in which the Y covering body 70 is provided on both sides of the Y rail 32 in the Y direction has been described, the present invention is not limited to this. For example, the Y cover 70 may be provided only on one side of the Y rail 32 in the Y direction.

上述した実施形態では、移動装置３がＸ移動機構２０およびＹ移動機構３０を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、移動装置３は、Ｘ移動機構２０またはＹ移動機構３０のいずれか一方のみを備えてもよい。例えば、移動装置３は、Ｚ移動機構を備えてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the moving device 3 includes the X moving mechanism 20 and the Y moving mechanism 30 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the moving device 3 may include only one of the X moving mechanism 20 and the Y moving mechanism 30. For example, the moving device 3 may include a Z moving mechanism.

上述した実施形態では、カバー構造１の一例として、ＸＹ移動装置３を覆うスライドカバー４を備えた構造を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、カバー構造１は、Ｘ移動装置のみを覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。例えば、カバー構造１は、Ｙ移動装置のみを覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。例えば、カバー構造１は、Ｚ移動装置を覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。 In the above-described embodiment, the structure including the slide cover 4 that covers the XY moving device 3 has been described as an example of the cover structure 1, but the cover structure 1 is not limited to this. For example, the cover structure 1 may be a structure including a slide cover that covers only the X movement device. For example, the cover structure 1 may be a structure including a slide cover that covers only the Y moving device. For example, the cover structure 1 may be a structure including a slide cover that covers the Z moving device.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。 In addition, it is possible to appropriately replace the constituent elements in the above-described embodiments with known constituent elements without departing from the spirit of the present invention.

１…カバー構造
２…ステージ
３…ＸＹ移動装置（移動装置）
４…スライドカバー
２０…Ｘ移動機構（第一移動機構）
２２…Ｘレール（レール）
３０…Ｙ移動機構（第二移動機構）
４０…Ｘ被覆体（第一被覆体）
４１…第一覆い部
４２…第二覆い部
５１…第一軸
５２…第二軸
５３…第一カバー
５４…第二カバー
５５…ガイド部
５６…隙間
６１…第一側カバー
６２…第二側カバー
７０…Ｙ被覆体（第二被覆体）
７１…第三覆い部
７２…第四覆い部 1 ... Cover structure 2 ... Stage 3 ... XY moving device (moving device)
4 ... Slide cover 20 ... X movement mechanism (first movement mechanism)
22 ... X rail (rail)
30 ... Y moving mechanism (second moving mechanism)
40 ... X coating (first coating)
41 ... 1st cover part 42 ... 2nd cover part 51 ... 1st shaft 52 ... 2nd shaft 53 ... 1st cover 54 ... 2nd cover 55 ... Guide part 56 ... Gap 61 ... 1st side cover 62 ... 2nd side Cover 70 ... Y coating (second coating)
71 ... Third cover part 72 ... Fourth cover part

Claims

対象物を第一方向に移動可能な移動装置と、
前記移動装置を覆うスライドカバーと、を備え、
前記スライドカバーは、
前記第一方向の外方から前記移動装置を覆う第一覆い部と、
前記第一覆い部と一体に結合され、前記第一方向と直交する第二方向の外方から前記移動装置を覆う第二覆い部と、を備えることを特徴とするカバー構造。 A moving device capable of moving the object in the first direction,
A slide cover for covering the moving device,
The slide cover is
A first cover portion that covers the moving device from the outside in the first direction,
A cover structure, comprising: a second cover part that is integrally connected to the first cover part and covers the moving device from the outside in a second direction orthogonal to the first direction.

前記第一覆い部は、
前記第二方向に沿う第一軸と、
前記第一軸と平行な第二軸と、
前記第一軸の周りに回動可能な第一カバーと、
前記第二軸の周りに回動可能な第二カバーと、
前記第一カバーと前記第二カバーとが互いに摺接するように前記第二カバーを案内するガイド部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のカバー構造。 The first cover is
A first axis along the second direction,
A second axis parallel to the first axis,
A first cover rotatable about the first axis,
A second cover rotatable about the second axis,
The cover structure according to claim 1, further comprising: a guide portion that guides the second cover so that the first cover and the second cover are in sliding contact with each other.

前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、
前記第一軸は、前記第一方向の移動始端または移動終端で前記第二軸と重なることを特徴とする請求項２に記載のカバー構造。 Seen from a third direction orthogonal to each of the first direction and the second direction,
The cover structure according to claim 2, wherein the first shaft overlaps with the second shaft at a movement start end or a movement end in the first direction.

前記第一軸は、前記第一方向の移動過程で前記第二軸よりも前記第一方向の内方に位置することを特徴とする請求項３に記載のカバー構造。 The cover structure according to claim 3, wherein the first shaft is located more inward in the first direction than the second shaft during the movement process in the first direction.

前記対象物を載置可能なステージを更に備え、
前記移動装置は、前記ステージを前記第一方向に移動可能であり、
前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記ステージと重なることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のカバー構造。 Further comprising a stage on which the object can be placed,
The moving device is capable of moving the stage in the first direction,
The cover according to any one of claims 2 to 4, wherein the first axis overlaps with the stage when viewed from a third direction orthogonal to each of the first direction and the second direction. Construction.

前記ガイド部は、前記第一カバーの内方において前記第一カバーと隙間をあけて配置され、
前記第二カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記隙間に介在することを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載のカバー構造。 The guide portion is arranged inside the first cover with a gap from the first cover,
The cover structure according to any one of claims 2 to 5, wherein at least a part of the second cover is interposed in the gap during the movement process in the first direction.

前記第二覆い部は、
前記第一カバーと一体に結合された第一側カバーと、
前記第二カバーと一体に結合された第二側カバーと、を備え、
前記第二側カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記第一側カバーと重なることを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載のカバー構造。 The second cover is
A first side cover integrally connected to the first cover,
A second side cover integrally connected to the second cover,
7. The cover structure according to claim 2, wherein at least a part of the second side cover overlaps with the first side cover during the movement process in the first direction.

前記移動装置は、前記第一方向に延びるレールを備え、
前記スライドカバーは、前記第一方向における前記レールの両側に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のカバー構造。 The moving device includes a rail extending in the first direction,
The cover structure according to any one of claims 1 to 7, wherein the slide covers are provided on both sides of the rail in the first direction.

前記移動装置は、
前記対象物を前記第一方向に移動可能な第一移動機構と、
前記第一移動機構によって前記第一方向に移動可能とされ、かつ、前記対象物を前記第二方向に移動可能な第二移動機構と、を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のカバー構造。 The moving device is
A first moving mechanism capable of moving the object in the first direction,
9. A second moving mechanism that is movable by the first moving mechanism in the first direction and that is capable of moving the object in the second direction, any one of claims 1 to 8. The cover structure as described in 1 above.

前記スライドカバーは、
前記第一移動機構を覆う第一被覆体と、
前記第二移動機構を覆う第二被覆体と、を備え、
前記第一被覆体は、
前記第一方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第一覆い部と、
前記第一覆い部と一体に結合され、前記第二方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第二覆い部と、を備え、
前記第二被覆体は、
前記第二方向の外方から前記第二移動機構を覆う第三覆い部と、
前記第三覆い部と一体に結合され、前記第一方向の外方から前記第二移動機構を覆う第四覆い部と、を備えることを特徴とする請求項９に記載のカバー構造。 The slide cover is
A first cover that covers the first moving mechanism,
A second cover that covers the second moving mechanism,
The first coating is
The first cover portion that covers the first moving mechanism from the outside in the first direction,
A second cover part that is integrally connected to the first cover part and covers the first moving mechanism from the outside in the second direction,
The second coating is
A third cover portion that covers the second moving mechanism from the outside in the second direction,
The cover structure according to claim 9, further comprising: a fourth cover part that is integrally coupled with the third cover part and covers the second moving mechanism from the outside in the first direction.