JP2020070914A - Linear motion guide unit - Google Patents

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Abstract

To provide a linear motion guide unit that forms a sleeve forming a return path by using a high-temperature resistance resin material, and can be used under a high-temperature environment.SOLUTION: This linear motion guide unit is configured such that a space 22 for a grease reservoir 27 is formed in a sleeve 5 into which a fitting insertion hole 10 formed in a casing 3 is inserted. The sleeve 5 is made of a thermoplastic resin whose heat deformation temperature exceeds 80°C. The sleeve 5 is formed by combining divided circular members 25 obtained by dividing a cylindrical member into two along a longitudinal direction, and on an inner peripheral surface 16 of the divided circular member 25, a plurality of grooves 20 are formed so as to be cut perpendicularly to a divided surface 26 that serves as the space 22.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

この発明は，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，測定・試験装置等の摺動部に適用され，軌道レールに対して長手方向に沿って相対移動するスライダを備えた直動案内ユニットに関する。   BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motion guide unit including a slider that is applied to sliding parts of semiconductor manufacturing equipment, various assembling equipment, measuring / testing equipment, and the like, and that relatively moves along a longitudinal direction with respect to a track rail.

従来，直動案内ユニットは，半導体製造装置，各種の組立装置等の往復運動機構の各種装置の摺動部へ適用されている。これらの各種の装置については，省エネであり，装置そのものの構造をシンプルな構造に作製し，低コストであると共に，設備維持コストを削減することが要望されおり，それと共に，それらの装置に使用される直動案内ユニットについても潤滑のメンテナンスフリーを達成し，低コストで軽量で小形化を実現することが望まれている。   Conventionally, a linear motion guide unit has been applied to a sliding portion of various devices of a reciprocating mechanism such as a semiconductor manufacturing device and various assembling devices. For these various types of equipment, it is demanded that they be energy-saving, make the structure of the equipment itself into a simple structure, reduce the cost, and reduce the equipment maintenance cost. It is also desired that the linear motion guide unit that is used be maintenance-free for lubrication, and be low-cost, lightweight and compact.

また，直動転がり案内ユニットとして，ケーシングに形成されたリターン孔に嵌挿したスリーブによってリターン路を形成し，スリーブを弾性変形可能に構成して転動体の摺動抵抗を吸収し，転動体のスムーズな転走を確保するものが知られている。該直動転がり案内ユニットは，ケーシングのリターン孔にはその全長にわたって延び且つ円筒ころのリターン路を形成するスリーブが嵌挿され，リターン孔の壁面とスリーブの小径部の外面との間にはスリーブが弾性変形できる隙間が設けられている。スリーブにはその長手方向にスリットが形成され，スリーブの両端部がケーシングのリターン孔に保持されている。スリーブは，合成樹脂製の半割スリーブで構成されている（例えば，特許文献１参照）。   Further, as a linear motion rolling guide unit, a return path is formed by a sleeve fitted in a return hole formed in the casing, and the sleeve is elastically deformable to absorb the sliding resistance of the rolling element and It is known to ensure smooth rolling. In the linear motion rolling guide unit, a sleeve that extends over the entire length of the casing and forms a return path for a cylindrical roller is fitted in the return hole of the casing, and a sleeve is provided between the wall surface of the return hole and the outer surface of the small diameter portion of the sleeve. There is a gap that allows elastic deformation. A slit is formed in the sleeve in the longitudinal direction, and both ends of the sleeve are held in the return holes of the casing. The sleeve is composed of a synthetic resin half-sleeve (for example, refer to Patent Document 1).

また，潤滑剤含有ポリマを使用して転動体の潤滑を行う潤滑リニアガイド装置が知られている。該潤滑リニアガイド装置は，スライダ本体の各転動体戻り路に転動体循環チューブを挿通し，この転動体循環チューブを軸方向に長孔を形成して籠状円筒体に形成されたポリエチレン製の補強材とその長孔内に一体成形されたパラフィン系鉱油，低分子量ポリエチレン及び高分子ポリエチレンの組成を有する潤滑剤含有ポリマとからなる潤滑剤含有ポリマ部材として構成することにより，補強材と潤滑剤含有ポリマとを両者間で剥離を生じることなく強固に接合し，潤滑剤含有ポリマ部材の強度を向上させる（例えば，特許文献２参照）。   Further, there is known a lubrication linear guide device that lubricates rolling elements by using a polymer containing a lubricant. In this lubrication linear guide device, a rolling element circulation tube is inserted into each rolling element return path of a slider body, and the rolling element circulation tube is formed into a basket-shaped cylindrical body by forming a long hole in the axial direction. A reinforcing material and a lubricant are obtained by forming a reinforcing material and a lubricant-containing polymer member integrally formed in the elongated hole, and comprising a lubricant-containing polymer having a composition of low molecular weight polyethylene and high molecular weight polyethylene. The containing polymer and the containing polymer are firmly bonded to each other without peeling, and the strength of the lubricant containing polymer member is improved (see, for example, Patent Document 2).

また，スライダに形成されるリターン通路孔が多孔質構造からなる焼結樹脂部材によって形成したものが知られている。軌道レールに対して転動体を介して摺動自在なスライダには，転動体を無限循環させるため，嵌挿孔に多孔質構造のスリーブ状の焼結樹脂部材が嵌挿され，焼結樹脂部材の内部にボールが通るリターン通路孔が形成されている。多孔質構造の内部には潤滑剤やグリースを長期にわたって供給し続け，ボールを介して軌道路を潤滑し，耐久性を向上し，スライダの摺動抵抗を軽減する。また，スリーブ状の焼結樹脂部材には，潤滑剤溜まりとなる凹部やスリットが形成されている（例えば，特許文献３参照）。   It is also known that the return passage hole formed in the slider is formed of a sintered resin member having a porous structure. In order to make the rolling element circulate infinitely, the slider that is slidable on the track rail through the rolling element is fitted with a sleeve-shaped sintered resin member having a porous structure in the fitting hole. A return passage hole through which the ball passes is formed inside the. Lubricants and grease are continuously supplied to the inside of the porous structure for a long period of time to lubricate the raceway via balls, improve durability and reduce sliding resistance of the slider. Further, the sleeve-shaped sintered resin member is provided with recesses and slits which serve as a lubricant reservoir (for example, refer to Patent Document 3).

特開平９−７２３３５号公報JP-A-9-72335 特開平１０−７８０３２号公報JP, 10-78032, A 特開２００１−８２４６９号公報JP 2001-82469 A

ところで，従来の直動案内ユニットは，ケーシングに形成した嵌挿孔にリターン路を形成するスリーブを嵌挿し，該スリーブに嵌挿孔とスリーブの外面との間にはスリット等による隙間を設けて潤滑剤溜まりを形成し，転動体に対して潤滑を行っている。しかしながら，従来の直動案内ユニットは，高温の環境下で使用するということについては考慮されていないものであった。例えば，上記特許文献１には，スリーブを作製する合成樹脂の種類を配慮した記載がなく，また，上記特許文献２，３では，リターン路を形成するスリーブがポリエチレン製の潤滑剤含有ポリマで作製されており，そのため潤滑リニアガイドを８０℃超えの高温の環境下で使用した場合に，スリーブを構成している潤滑剤含有ポリマが高温軟化して使用に耐えることができなくなるという問題があった。そこで，直動案内ユニットにおいて，リターン路を形成するスリーブが熱変形しないため，スリーブをポリエチレン樹脂より熱変形温度が高い合成樹脂で形成することが望まれていた。   By the way, in a conventional linear motion guide unit, a sleeve forming a return path is fitted into a fitting hole formed in a casing, and a gap such as a slit is provided in the sleeve between the fitting hole and the outer surface of the sleeve. A lubricant pool is formed to lubricate the rolling elements. However, the conventional linear motion guide unit has not been considered for use in a high temperature environment. For example, in the above-mentioned Patent Document 1, there is no description in consideration of the kind of synthetic resin for manufacturing the sleeve, and in the above-mentioned Patent Documents 2 and 3, the sleeve forming the return path is made of a lubricant-containing polymer made of polyethylene. Therefore, when the lubrication linear guide is used in a high temperature environment of over 80 ° C., the lubricant-containing polymer forming the sleeve softens at high temperature and cannot be used. .. Therefore, in the linear motion guide unit, since the sleeve forming the return path is not thermally deformed, it has been desired to form the sleeve with a synthetic resin having a heat deformation temperature higher than that of the polyethylene resin.

この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，直動案内ユニットを高温環境下で使用してもリターン路を形成するスリーブが軟化即ち熱変形しない耐高温樹脂材料，例えば，常時の温度が１００℃，最高温度が１２０℃の環境下で使用できる樹脂材料，例えば，ポリアミド合成樹脂，ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ），ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で等で作製して高温環境で使用可能にすると共に，これらの樹脂が多孔質成形体でないためそれ自体では潤滑性能を維持できないので，転動体に対して潤滑剤性能を向上させるため，スリーブ自体を潤滑剤を供給保持させる潤滑剤溜まり即ちグリース溜まりとなる溝，スリット等の隙間を持つ構造に形成し，スリーブを転走する転動体に潤滑剤を供給して潤滑寿命を向上させ，長寿命化も実現させることを特徴とする直動案内ユニットを提供することである。   An object of the present invention is to solve the above problems, and a high-temperature resistant resin material, for example, a high temperature resistant resin material in which a sleeve forming a return path is not softened or thermally deformed even when a linear motion guide unit is used in a high temperature environment. A resin material that can be used in an environment with a temperature of 100 ° C and a maximum temperature of 120 ° C, for example, polyamide synthetic resin, polytetrafluoroethylene (PTFE), polyether ether ketone (PEEK), etc. In addition, since these resins are not porous moldings, they cannot maintain the lubrication performance by themselves. Therefore, in order to improve the lubrication performance for the rolling elements, the lubricant reservoir that supplies and holds the sleeve itself is retained. That is, it is formed in a structure with gaps such as grooves and slits that become grease reservoirs, and lubricant is supplied to the rolling elements rolling on the sleeve to ensure the lubricating life. Improved is to provide a linear motion guide unit for causing also realized longer life.

この発明は，長手方向両側面に沿って形成された第１軌道溝を備えた長尺状の軌道レール及び前記軌道レールの前記長手方向に摺動自在なスライダを有し，
前記スライダは，前記軌道レールの前記第１軌道溝に対向して延びる第２軌道溝と前記第２軌道溝に沿って延びる嵌挿孔が形成されたケーシング，前記嵌挿孔に挿通されてリターン路を形成するスリーブ，前記ケーシングの両端面にそれぞれ取り付けられ且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝との間に形成される軌道路と前記リターン路とに連通する方向転換路が形成された一対のエンドキャップ，前記軌道路と前記リターン路と一対の前記方向転換路とで構成される循環路を転走する複数の転動体を有することから成る直動案内ユニットにおいて，
前記スリーブは，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成され，前記スリーブには，グリース溜まりの空間が形成されていることを特徴とする直動案内ユニットに関する。 The present invention has an elongated track rail provided with first track grooves formed along both side surfaces in the longitudinal direction and a slider slidable in the longitudinal direction of the track rail,
The slider is inserted into the casing and formed with a second raceway groove extending to face the first raceway groove of the raceway rail and a fitting insertion hole extending along the second raceway groove; A sleeve forming a passage, and a turning passage that is respectively attached to both end surfaces of the casing and communicates with the return passage and the return passage formed between the first race groove and the second race groove. A linear motion guide unit comprising a plurality of rolling elements rolling in a circulation path formed of a pair of end caps, the raceway, the return path and a pair of the direction changing paths,
The linear motion guide unit is characterized in that the sleeve is formed of a thermoplastic resin having a heat deformation temperature of more than 80 ° C., and a space for a grease reservoir is formed in the sleeve.

また，前記スリーブの前記熱変形温度は，８０℃〜３００℃の範囲内である。   The heat distortion temperature of the sleeve is in the range of 80 ° C to 300 ° C.

また，前記熱可塑性樹脂は，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ＡＢＳ樹脂，ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂，ポリフェニルサルファイド樹脂，又はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂である。特に，前記熱可塑性樹脂の前記ポリアミド樹脂は，具体的には，ポリアミド６６樹脂である。   The thermoplastic resin is a polyimide resin, a polyamide-imide resin, an ABS resin, a polyethylene terephthalate (PET) resin, a polyamide resin, a polyacetal resin, a polytetrafluoroethylene (PTFE) resin, a polyphenyl sulfide resin, or a polyether ether ketone. (PEEK) resin. In particular, the polyamide resin of the thermoplastic resin is specifically a polyamide 66 resin.

また，前記スリーブは，円筒状の部材を長手方向に沿って少なくとも２つに分割した分割円部材を組み合わせて形成されており，前記グリース溜まりの前記空間を形成するため，前記分割円部材の分割面に垂直に切り込まれた複数の溝，又は複数のスリットが形成されている。   Further, the sleeve is formed by combining divided circular members obtained by dividing a cylindrical member into at least two along the longitudinal direction, and divides the divided circular members to form the space for the grease reservoir. A plurality of grooves or a plurality of slits cut perpendicularly to the surface are formed.

また，前記エンドキャップは，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成されている。特に，前記エンドキャップの熱変形温度は，詳細には，８０℃〜３００℃の範囲内である。   Further, the end cap is formed of a thermoplastic resin having a heat distortion temperature exceeding 80 ° C. In particular, the heat distortion temperature of the end cap is specifically in the range of 80 ° C to 300 ° C.

この発明による直動案内ユニットは，上記のように，ケーシングに形成された嵌挿孔にスリーブを嵌挿し，該スリーブによってリターン路が形成されており，該スリーブを，ポリエチレンの熱変形温度である８０℃を超える熱変形温度の熱可塑性樹脂で形成し，かつ，潤滑剤溜まり即ちグリース溜まりの空間を形成したことを特徴としている。ケーシング，軌道レール等はマルテンサイト系ステンレス鋼材を使用している。この直動案内ユニットでは，スリーブを上記熱可塑性樹脂で作製したので，本直動案内ユニットを高速，高加速度のもとで使用しても，また，高温雰囲気の環境で使用しても，スリーブが熱変形をすることがなく，スリーブを通じて転動体に十分な潤滑剤即ちグリースを供給することができ，潤滑性能を向上させることができる。また，少なくとも２つに分割した分割円部材（半円部材）を組み合わせたスリーブには，複数の溝又はスリットが分割面に垂直に切り込まれているので，スリーブの分割円部材を成形加工する場合に，成形型の上型及び下型の形状がシンプルに形成できるので，スリーブの成形後に，上型と下型を分割面に対して垂直方向に移動させれば，加工品のスリーブから上型と下型を容易に取り外すことができ，製造コストを低減できる。
ここで，材料の熱変形温度とは，ＡＳＴＭ Ｄ６４８（曲げ応力４．６ｋｇｆ／ｃｍ2 ）で規定される温度である。また，スリーブを作製する熱可塑性樹脂としては，例えば，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ＡＢＳ樹脂，ＰＥＴ樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ＰＴＦＥ樹脂，ポリフェニルサルファイド樹脂，或いはポリエーテルエーテルケトン樹脂を使用することができる。上記熱可塑性樹脂の熱変形温度を例示すると，ポリアミドイミド樹脂（２８２℃），ＡＢＳ樹脂（８２〜１２２℃），ポリアミド６６樹脂（２０８〜２３９℃），ポリアミド６樹脂（１４４〜２０８℃），ポリアセタール樹脂（１５８〜１７０℃），或いはＰＴＦＥ（１２１℃）を挙げることができる。なお，スリーブの熱変形温度の上限は，成形時の溶融のし易さ等に応じて適宜選択でき，例えば，上限温度が３００℃以下の熱可塑性樹脂を用いることができる。 As described above, in the linear motion guide unit according to the present invention, the sleeve is fitted into the fitting hole formed in the casing, and the return path is formed by the sleeve, and the sleeve has the heat deformation temperature of polyethylene. It is characterized by being formed of a thermoplastic resin having a heat distortion temperature of more than 80 ° C. and forming a space for a lubricant reservoir, that is, a grease reservoir. The casing, track rail, etc. are made of martensitic stainless steel. In this linear motion guide unit, since the sleeve is made of the above thermoplastic resin, the linear motion guide unit can be used regardless of whether the linear motion guide unit is used at high speed and high acceleration or in a high temperature environment. It is possible to supply sufficient lubricant, that is, grease, to the rolling elements through the sleeve without causing thermal deformation, and it is possible to improve the lubricating performance. In addition, since a plurality of grooves or slits are cut perpendicularly to the dividing surface in the sleeve in which at least two divided circular members (semicircular members) are combined, the divided circular member of the sleeve is formed. In this case, since the shapes of the upper mold and the lower mold of the mold can be simply formed, if the upper mold and the lower mold are moved in the direction perpendicular to the split surface after the sleeve is molded, the upper mold and the lower mold are moved upward. The mold and lower mold can be easily removed, and the manufacturing cost can be reduced.
Here, the heat deformation temperature of the material is a temperature defined by ASTM D648 (bending stress 4.6 kgf / cm 2 ). Further, as the thermoplastic resin for forming the sleeve, for example, polyimide resin, polyamideimide resin, ABS resin, PET resin, polyamide resin, polyacetal resin, PTFE resin, polyphenyl sulfide resin, or polyether ether ketone resin is used. be able to. Examples of the heat distortion temperature of the thermoplastic resin include polyamide-imide resin (282 ° C), ABS resin (82-122 ° C), polyamide 66 resin (208-239 ° C), polyamide 6 resin (144-208 ° C), polyacetal. Resin (158-170 degreeC) or PTFE (121 degreeC) can be mentioned. The upper limit of the heat distortion temperature of the sleeve can be appropriately selected according to the ease of melting during molding, and for example, a thermoplastic resin having an upper limit temperature of 300 ° C. or lower can be used.

この発明による直動案内ユニットの一実施例を示す斜視図である。It is a perspective view showing an example of a linear motion guide unit by this invention. 図１の直動案内ユニットにおけるスライダを示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing a slider in the linear motion guide unit of FIG. 1. 図１の直動案内ユニットにおけるスリーブを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the sleeve in the linear motion guide unit of FIG. 図３のスリーブを示し，（ａ）はスリーブの側面図であり，（ｂ）は（ａ）の線分Ａ−Ａにおける断面図である。The sleeve of FIG. 3 is shown, (a) is a side view of a sleeve, (b) is sectional drawing in the line segment AA of (a). 図１の直動案内ユニットにおけるケーシングに形成した嵌挿孔にスリーブを嵌挿した状態のケーシングを部分的に示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view partially showing a casing in which a sleeve is fitted in a fitting insertion hole formed in the casing of the linear motion guide unit of FIG. 1. 図３に示すスリーブにグリースを充填した断面状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross-sectional state which filled the sleeve shown in FIG. 3 with grease. この発明による直動案内ユニットに用いられるスリーブの別の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows another example of the sleeve used for the linear motion guide unit by this invention. 図７のスリーブを示し，（ａ）はスリーブの側面図であり，（ｂ）は（ａ）の線分Ｂ−Ｂの位置における断面図である。7 shows the sleeve of FIG. 7, (a) is a side view of the sleeve, and (b) is a cross-sectional view at a position of a line segment BB of (a). 図７に示すスリーブにグリースを充填した断面状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the cross-sectional state which filled the sleeve shown in FIG. 7 with grease. 直動案内ユニットに用いられる各種のスリーブにおけるグリース中のオイル残存量の経時変化を，ＦＴＩＲによって測定した結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of having measured the time-dependent change of the amount of oil remaining in grease in various sleeves used for a linear motion guide unit by FTIR.

以下，図面を参照して，この発明による直動案内ユニットの実施例を説明する。この直動案内ユニットは，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，ＮＣ加工機，測定・試験装置等の各種の装置の摺動部に適用でき，軌道レール１に対して長手方向に沿って相対移動するスライダ２を備えている。   An embodiment of a linear motion guide unit according to the present invention will be described below with reference to the drawings. This linear motion guide unit can be applied to sliding parts of various devices such as semiconductor manufacturing equipment, various assembling equipment, NC processing machines, measuring / testing equipment, etc. It has a slider 2 that moves.

まず，図１〜図６を参照して，この発明による直動案内ユニットの第１実施例について説明する。この直動案内ユニットは，長手方向両側面２９に沿って軌道溝１１（第１軌道溝）が形成された軌道レール１，及び軌道レール１の軌道溝１１に対向して軌道溝１２（第２軌道溝）を備え且つ軌道レール１に対して複数の転動体であるボール９を介して相対摺動するスライダ２を有している。スライダ２は，軌道レール１に跨架するように上部と該上部の側部から垂下した袖部から構成されている。スライダ２は，概して，軌道溝１２と該軌道溝１２に沿って延びるリターン路１５が形成されたケーシング３，ケーシング３の両端面１９にそれぞれ配設されたスペーサ７を備え且つ軌道溝１１と軌道溝１２とで構成される軌道路１３とリターン路１５とを連通する円弧状の方向転換路１４が形成されたエンドキャップ４，及びエンドキャップ４の端面に配設されたエンドシール６から構成されている。ケーシング３には，軌道溝１２に沿って延びる嵌挿孔１０が形成されており，嵌挿孔１０にはリターン路１５を形成するスリーブ５が嵌挿即ち挿入されている。この直動案内ユニットでは，軌道路１３は，負荷軌道路であって，例えば，軌道レール１の軌道溝１１とケーシング３の軌道溝１２とに対して転動体であるボール９が四点接触するゴシックアーチ溝形式に形成されている。この直動案内ユニットでは，軌道路１３，リターン路１５及び一対の方向転換路１４によって，ボール９が無限循環する循環路が形成される。ケーシング３には，ワーク，機器等の相手部材を取り付けるための取付け用ねじ孔が複数個形成されている。軌道レール１は，長手方向両側面２９に沿って延びる軌道溝１１に逃げ溝２８が形成されており，逃げ溝２８には，スライダ２に転動体のボール９を保持する保持バンド８が挿通している。軌道レール１には，ベッド，機器等のベースに取り付けるための取付け用孔が形成されている。また，エンドキャップ４の取付け用孔及びエンドシール６の取付け用孔に挿通した固定ボルト１８を，ケーシング３の取付け用ねじ孔３０に螺入することにによって，ケーシング３にスペーサ７，エンドキャップ４及びエンドシール４３が固定される。方向転換路１４は，エンドキャップ４に形成された外周側方向転換路とスペーサ７に形成された内周側方向転換路とが整合して形成されている。   First, a first embodiment of a linear motion guide unit according to the present invention will be described with reference to FIGS. This linear motion guiding unit is opposed to the track rail 1 having track grooves 11 (first track grooves) formed on both side surfaces 29 in the longitudinal direction and the track groove 11 of the track rail 1 (track groove 12 (second track groove)). The slider 2 is provided with a raceway groove) and slides relative to the raceway rail 1 via balls 9 which are a plurality of rolling elements. The slider 2 is composed of an upper portion so as to straddle the track rail 1 and a sleeve portion hanging from a side portion of the upper portion. The slider 2 generally comprises a casing 3 in which a raceway groove 12 and a return path 15 extending along the raceway groove 12 are formed, and spacers 7 respectively arranged on both end surfaces 19 of the casing 3 and the raceway groove 11 and the raceway. The end cap 4 is formed with an arc-shaped direction changing path 14 that connects the orbital path 13 formed with the groove 12 and the return path 15, and the end seal 6 disposed on the end surface of the end cap 4. ing. A fitting insertion hole 10 extending along the raceway groove 12 is formed in the casing 3, and a sleeve 5 forming a return path 15 is fitted and inserted in the fitting insertion hole 10. In this linear motion guide unit, the raceway 13 is a load raceway and, for example, the balls 9 as rolling elements make four-point contact with the raceway groove 11 of the raceway rail 1 and the raceway groove 12 of the casing 3. It is shaped like a Gothic arch groove. In this linear motion guide unit, the track path 13, the return path 15 and the pair of direction changing paths 14 form a circulation path in which the ball 9 circulates infinitely. The casing 3 is formed with a plurality of mounting screw holes for mounting mating members such as works and devices. In the track rail 1, a clearance groove 28 is formed in a track groove 11 extending along both side surfaces 29 in the longitudinal direction, and a holding band 8 for holding a ball 9 of a rolling element is inserted into the slider 2 through the clearance groove 28. ing. The track rail 1 is formed with a mounting hole for mounting on a base such as a bed or a device. Further, by fixing the fixing bolts 18 inserted through the mounting holes of the end cap 4 and the mounting holes of the end seal 6 into the mounting screw holes 30 of the casing 3, the spacer 7 and the end cap 4 are attached to the casing 3. And the end seal 43 is fixed. The direction changing path 14 is formed by aligning an outer peripheral side direction changing path formed on the end cap 4 and an inner peripheral side direction changing path formed on the spacer 7.

この直動案内ユニットは，特に，ケーシング３の嵌挿孔１０に挿通されるリターン路１５を形成するスリーブ５が，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴としている。また，スリーブ５には，その内周面１６に潤滑溜まり即ちグリース溜まり２７の空間２２である溝２０が形成されている。スリーブ５の熱変形温度は，特に，８０℃を超え３００℃以下即ち８０℃〜３００℃の温度範囲内の材質が選定されている。具体的には，スリーブ５を形成する熱可塑性樹脂は，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ＡＢＳ樹脂，ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂，ポリフェニルサルファイド樹脂，ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂等の合成樹脂である。特に，前記熱可塑性樹脂として，ポリアミド樹脂は，ポリアミド６６樹脂が好ましいものである。   This linear motion guide unit is particularly characterized in that the sleeve 5 that forms the return path 15 that is inserted into the fitting insertion hole 10 of the casing 3 is formed of a thermoplastic resin whose thermal deformation temperature exceeds 80 ° C. There is. A groove 20 which is a space 22 for a lubrication reservoir, that is, a grease reservoir 27 is formed on the inner peripheral surface 16 of the sleeve 5. As for the heat deformation temperature of the sleeve 5, a material having a temperature in the range of more than 80 ° C. and less than 300 ° C., that is, 80 ° C. to 300 ° C. is selected. Specifically, the thermoplastic resin forming the sleeve 5 is a polyimide resin, a polyamide-imide resin, an ABS resin, a polyethylene terephthalate (PET) resin, a polyamide resin, a polyacetal resin, a polytetrafluoroethylene (PTFE) resin, a polyphenyl sulfide. Resin, synthetic resin such as polyether ether ketone (PEEK) resin. In particular, as the thermoplastic resin, the polyamide resin is preferably a polyamide 66 resin.

また，この直動案内ユニットは，例えば，常時の温度で１００℃，最高温度で１２０℃の高温環境下で使用されるものであるため，スライダ２を構成するエンドキャップ４を構成するエンドキャップ本体とスペーサ７とは，スリーブ５と同様に，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成されている。エンドキャップ４を構成する熱可塑性樹脂は，耐熱，耐摩耗性が高いポリアミド６６で作製されてことが好ましく，例えば，「トレカ」（登録商標，東レ株式会社製の炭素繊維配合ポリアミド６６）で形成されている。また，エンドシール６は，耐熱性が高いフッ素ゴムで形成されている。エンドキャップ４とスペーサ７の材料は，「トレカ」に限定されず，スリーブ５と同程度の熱変形温度の樹脂を用いることができる。   Further, since this linear motion guide unit is used in a high temperature environment of, for example, 100 ° C. at a constant temperature and 120 ° C. at a maximum temperature, an end cap body forming the end cap 4 forming the slider 2 is used. Like the sleeve 5, the spacer 7 and the spacer 7 are made of a thermoplastic resin having a heat distortion temperature of higher than 80 ° C. The thermoplastic resin forming the end cap 4 is preferably made of polyamide 66 having high heat resistance and abrasion resistance, and is formed of, for example, “Torayca” (registered trademark, carbon fiber-blended polyamide 66 manufactured by Toray Industries, Inc.). Has been done. Further, the end seal 6 is made of fluororubber having high heat resistance. The material of the end caps 4 and the spacers 7 is not limited to “treca”, and a resin having a heat distortion temperature similar to that of the sleeve 5 can be used.

図３〜図６に示すように，第１実施例のスリーブ５は，円筒状の部材を長手方向に沿った分割面２６で２つに分割した一対の分割スリーブである分割円部材２５（図では半円部材）を組み合わせて形成されている。分割円部材２５の内周面１６には，グリース溜まり２７を形成する空間２２を形成するため，分割面２６に垂直に切り込まれた複数の溝２０が形成されている。スリーブ５は，融点が２６５℃のポリアミド６６即ちナイロン６６（登録商標，東レ株式会社製，アミラン）を押出成形により形成することが好ましい。スリーブ５の内周面１６には，長手方向に延在し且つ分割面２６に垂直に延びる溝２０が複数形成されている。スリーブ５の分割面２６に垂直に延びる複数の溝２０を形成しているため，金型（図示せず）からスリーブ５の分割円部材２５を外す際に，径方向に容易に外すことができる。これらの溝２０は，グリース溜まり２７になり，リターン路１５を転走するボールである転動体９に潤滑剤を供給することができるように形成されている。   As shown in FIGS. 3 to 6, the sleeve 5 of the first embodiment is a divided circular member 25 (a pair of divided sleeves) obtained by dividing a cylindrical member into two at a dividing surface 26 along the longitudinal direction (see FIG. Is formed by combining semi-circular members). On the inner peripheral surface 16 of the divided circular member 25, a plurality of grooves 20 cut perpendicularly to the divided surface 26 are formed in order to form a space 22 forming a grease reservoir 27. It is preferable that the sleeve 5 is formed by extrusion molding polyamide 66 having a melting point of 265 ° C., that is, nylon 66 (registered trademark, Amylan manufactured by Toray Industries, Inc.). On the inner peripheral surface 16 of the sleeve 5, a plurality of grooves 20 extending in the longitudinal direction and perpendicular to the dividing surface 26 are formed. Since the plurality of grooves 20 extending perpendicularly to the dividing surface 26 of the sleeve 5 are formed, it is possible to easily remove the dividing circular member 25 of the sleeve 5 from the mold (not shown) in the radial direction. .. These grooves 20 serve as grease reservoirs 27 and are formed so that the lubricant can be supplied to the rolling elements 9 which are balls rolling in the return path 15.

次に，図７〜図９を参照して，この発明による直動案内ユニットの第２実施例について説明する。第２実施例は，第１実施例と比較して，スリーブ５Ａが異なる以外は同様の構成を有しているので，同様の点は同一符号を付して説明と図示を省略する。第２実施例は，スリーブ５Ａを二分割したものであるが，三分割や四分割することもできる。第１実施例のスリーブ５は，その内周面１６の一方の端部２３から中間部２４を通って他方に端部２３まで延びる溝２０を形成しているのに対して，第２実施例のスリーブ５Ａは，長手方向に延在するスリット２１を複数形成している点で異なっており，その点に特徴を有している。スリーブ５Ａは，グリース溜まり２７の空間２２となる分割面２６に垂直に切り込まれた複数のスリット２１を有している。複数のスリット２１は，スリーブ５Ａの中間部２４に形成されている。スリーブ５Ａに形成されたスリット２１は，グリース溜まり２７となり，リターン路１５を転走する転動体９に潤滑剤を供給できるように構成されている。この直動案内ユニットでは，グリースの充填状態は，例えば，図９に示すように，転動体９とグリース１７の間に隙間３１が形成されるように充填することができる。   Next, a second embodiment of the linear motion guide unit according to the present invention will be described with reference to FIGS. The second embodiment has the same structure as that of the first embodiment except that the sleeve 5A is different. Therefore, the same points are denoted by the same reference numerals and the description and illustration thereof are omitted. Although the sleeve 5A is divided into two in the second embodiment, it may be divided into three or four. The sleeve 5 of the first embodiment has a groove 20 extending from one end 23 of the inner peripheral surface 16 thereof through the intermediate portion 24 to the other end 23, while the sleeve 20 of the second embodiment has a second embodiment. 5A is different in that a plurality of slits 21 extending in the longitudinal direction are formed, and is characterized in that point. The sleeve 5 </ b> A has a plurality of slits 21 cut perpendicularly to a dividing surface 26 that becomes the space 22 of the grease reservoir 27. The plurality of slits 21 are formed in the intermediate portion 24 of the sleeve 5A. The slit 21 formed in the sleeve 5A serves as a grease reservoir 27 and is configured to be able to supply the lubricant to the rolling elements 9 rolling on the return path 15. In this linear motion guide unit, the grease can be filled so that a gap 31 is formed between the rolling element 9 and the grease 17, as shown in FIG. 9, for example.

この直動案内ユニットについて，１２０℃の環境下で耐久試験を行った結果について説明する。
第１実施例のスリーブ５を用いた試料１−１，試料１−２，及び第２実施例のスリーブ５Ａを用いた試料２を用いた場合の高温環境下耐久試験を行った。比較例１，及び比較例２は，スリーブを用いない直接ケーシングにリターン路を形成したタイプの直動案内ユニットを試料とした。
なお，エンドキャップ４及びスペーサ７は，上述のトレカ製を用い，潤滑剤（グリース）の種類を変えて試験を行った。また，本試験に使用したグリースの使用上限温度はいずれも２００℃である。また，試験に用いたステンレス鋼製の直動案内ユニットは，日本トムソン株式会社製 ＬＷＬＦ １８Ｃ１Ｒ・・・ＢＨであり，レール幅１８ｍｍ，基本動定格荷重（Ｃ）２２８０Ｎ，基本静定格荷重（Ｃｏ）３８１０Ｎのものである。
＜試験条件＞
☆雰囲気温度：１２０℃
☆直動案内ユニットへの負荷：１１４Ｎ（下方向き荷重）
☆直動案内ユニットにおけるスライダ２のストローク：３００ｍｍ
☆スライダ２の最高速度：６０ｍ／ｍｉｎ
☆スライダ２の平均速度：３４．７ｍ／ｍｉｎ
ここで．スライダ２の軌道レール１上の走行距離は，試験中の直動案内ユニットの振動値が設定値を超えた場合，又は摩耗粉の異常発生等の潤滑不良を確認した時点で試験を停止し，その時点の走行距離を測定した。直動案内ユニットについての高温環境下耐久試験の結果は，表１に示すとおりである。 The results of a durability test performed on this linear motion guide unit in an environment of 120 ° C. will be described.
A durability test under a high temperature environment was performed using Sample 1-1, Sample 1-2, using the sleeve 5 of the first embodiment and Sample 2 using the sleeve 5A of the second embodiment. In Comparative Example 1 and Comparative Example 2, a linear motion guide unit of a type in which a return path is formed in a direct casing without a sleeve is used as a sample.
The end caps 4 and the spacers 7 were made of the above-mentioned Torayca, and the tests were conducted by changing the type of lubricant (grease). The upper limit temperature of the grease used in this test is 200 ° C. The stainless steel linear motion guide unit used in the test is LWLF 18C1R ... BH manufactured by Nippon Thomson Co., Ltd., rail width 18 mm, basic dynamic load rating (C) 2280N, basic static load rating (Co). 3810N.
<Test conditions>
☆ Atmospheric temperature: 120 ℃
☆ Load on linear motion guide unit: 114N (downward load)
☆ Stroke of slider 2 in linear motion guide unit: 300mm
☆ Maximum speed of slider 2: 60m / min
☆ Slider 2 average speed: 34.7m / min
here. For the travel distance of the slider 2 on the track rail 1, the test is stopped when the vibration value of the linear motion guide unit during the test exceeds the set value or when the lubrication failure such as the abnormality of abrasion powder is confirmed. The running distance at that time was measured. Table 1 shows the results of the high temperature environment durability test of the linear motion guide unit.

Figure 2020070914
Figure 2020070914

表１に示すように，第１実施例及び第２実施例のスリーブ５，５Ａを用いた試料１−１，試料１−２，及び試料２は，スリーブを用いない比較例１，及び比較例２よりも走行距離が１０〜２０倍程度に向上したことが分かる。これにより，第１実施例と第２実施例のスリーブ５を用いることにより，直動案内ユニットが潤滑不良で停止するまでの走行距離，いわゆる潤滑寿命が向上したと言える。なお，上記試験後に，スリーブ５，５Ａ，エンドキャップ４，スペーサ７に摩耗等の異常は認められなかった。
ここで，第１実施例のスリーブ５がが潤滑寿命を向上した原理を説明する。
図６に示すように，グリース１７を封入し，表１の試料１−１と同一条件で走行開始前（０ｈｒ），開始後２４ｈｒ，１０４ｈｒ経過後の溝位置のグリース１７を下記の測定条件でＦＴＩＲ（ＡＴＲ法，フーリエ変換赤外分光光度計）で測定した。その測定結果を，図１０に示す。図１０は，縦軸を吸光度（Ａ），横軸を波数（ｃｍ-1）としたグラフである。なお，図１０は，測定結果を見やすくするため，各時間のグリースに含まれている増ちょう剤（波数：３２９６ｃｍ−１）のピーク強度（吸光度）の値を揃えたときの基油（波数：２９２２ｃｍ-1）のピーク強度（吸光度）を比較したグラフである。
図１０から明らかなように，直動案内ユニットの走行時間経過に伴い溝２０位置の基油の吸光度が低下している。これにより，潤滑に寄与するグリース１７中の基油が，溝２０から転動体９へ徐々に供給されていると推察される。また，第２実施例のスリーブ５Ａについても，スリット２１のグリース１７中の基油が転動体９へ徐々に供給されて，第１実施例と同様に潤滑寿命が向上したと推察される。したがって，溝２０の深さの分だけ，グリース１７の封入量を増加でき，かつ，増加したグリース１７中の基油が転動体９へ徐々に供給された結果，表１のように，潤滑寿命を向上できたと推察される。なお，スリーブ５の材質は，上記のポリアミド６６に限定されるものではなく，一般的なポリエチレンの熱変形温度を超える熱変形温度の熱可塑性樹脂，例えば，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ＡＢＳ樹脂，ＰＥＴ樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ＰＴＦＥ樹脂，ポリフェニルサルファイド樹脂，ポリエーテルエーテルケトン樹脂等を用いることができる。 As shown in Table 1, the sample 1-1, the sample 1-2, and the sample 2 using the sleeves 5 and 5A of the first and second examples are the comparative example 1 and the comparative example not using the sleeve. It can be seen that the mileage is improved by 10 to 20 times as compared with 2. Therefore, it can be said that by using the sleeves 5 of the first and second embodiments, the travel distance until the linear motion guide unit stops due to poor lubrication, that is, the so-called lubricating life is improved. After the above test, no abnormality such as wear was observed in the sleeves 5 and 5A, the end caps 4 and the spacers 7.
Here, the principle that the sleeve 5 of the first embodiment improves the lubricating life will be described.
As shown in FIG. 6, grease 17 was filled, and the grease 17 at the groove position before the start of travel (0 hr), 24 hr after the start, and after 104 hr under the same conditions as the sample 1-1 in Table 1 was measured under the following measurement conditions. It was measured by FTIR (ATR method, Fourier transform infrared spectrophotometer). The measurement result is shown in FIG. FIG. 10 is a graph in which the vertical axis represents the absorbance (A) and the horizontal axis represents the wave number (cm −1 ). In addition, in FIG. 10, in order to make the measurement results easier to see, the base oil (wave number: wave number: wave number: 3296 cm −1) of the thickening agent (wave number: 3296 cm −1) contained in the grease at each time is aligned. It is a graph which compared the peak intensity (absorbance) of 2922 cm < -1 >.
As is apparent from FIG. 10, the absorbance of the base oil at the position of the groove 20 decreases as the running time of the linear motion guide unit elapses. Therefore, it is assumed that the base oil in the grease 17 that contributes to lubrication is gradually supplied from the groove 20 to the rolling elements 9. Also in the sleeve 5A of the second embodiment, it is assumed that the base oil in the grease 17 of the slit 21 is gradually supplied to the rolling elements 9 and the lubricating life is improved as in the first embodiment. Therefore, the amount of the grease 17 enclosed can be increased by the depth of the groove 20, and the increased base oil in the grease 17 is gradually supplied to the rolling elements 9, resulting in a lubricating life as shown in Table 1. It is speculated that the The material of the sleeve 5 is not limited to the above-mentioned polyamide 66, but a thermoplastic resin having a heat distortion temperature higher than that of general polyethylene, such as polyimide resin, polyamideimide resin, ABS resin, PET resin, polyamide resin, polyacetal resin, PTFE resin, polyphenyl sulfide resin, polyether ether ketone resin, etc. can be used.

この直動案内ユニットについて，ＰＴＦＥ製のスリーブ５を使用する場合，ＰＴＦＥになじみやすいフッ素系のグリース１７を使用することになる。これに対し，ポリアミド６６は使用できるグリースの選択肢が多いため，ポリアミド６６（＝ナイロン６６：登録商標）でスリーブ５を形成することが好ましい。また，スリーブ５の形状は２分割に限定されるものではなく，一体に成形した円筒部材に溝，スリットを設ける構成を採用することができることは勿論である。なお，寸法が小さい直動案内ユニットを用いる場合には，溝やスリットを形成しやすい第１実施例及び第２実施例の２分割スリーブ２５を用いることが好ましい。なお，スリーブ５，５Ａに形成されるグリース溜まり２７となる空間２２は．溝２０やスリット２１に限定されるものではなく，複数の凹み，孔などに形成することができることは勿論である。また，スリーブ５，５Ａの成形方法は，押出成形に限定されるものではなく，射出成形等を適宜選択することができる。また，第１実施例と第２実施例は，スリーブ５，５Ａ，エンドキャップ４，スペーサ７をそれぞれ別々に形成したが，例えば，スリーブと同一の樹脂を用いて，スリーブの一端にスペーサを一体に形成することもできる。なお，スリーブ５，５Ａ，エンドキャップ４，スペーサ７には，耐摩耗性を有する熱可塑性樹脂を用いることはいうまでもない。また，この発明による直動案内ユニットの用途としては，ワイヤボンディング装置等の高温の熱源を有する装置にも用いることができる。   When the sleeve 5 made of PTFE is used for this linear motion guide unit, the fluorine-based grease 17 which is easily adapted to PTFE is used. On the other hand, since polyamide 66 has many choices of grease that can be used, it is preferable to form the sleeve 5 from polyamide 66 (= nylon 66: registered trademark). Further, the shape of the sleeve 5 is not limited to two divisions, and it goes without saying that a configuration in which a groove and a slit are provided in an integrally molded cylindrical member can be adopted. When using a linear motion guide unit having a small size, it is preferable to use the two-divided sleeve 25 of the first and second embodiments in which grooves and slits are easily formed. The space 22 that forms the grease reservoir 27 formed in the sleeves 5 and 5A is. Of course, the groove 20 and the slit 21 are not limited to the groove 20 and the slit 21. The method of molding the sleeves 5 and 5A is not limited to extrusion molding, and injection molding or the like can be selected as appropriate. In the first and second embodiments, the sleeves 5 and 5A, the end caps 4 and the spacers 7 are separately formed. For example, the same resin as that of the sleeve is used, and the spacer is integrated at one end of the sleeve. It can also be formed. Needless to say, wear resistant thermoplastic resin is used for the sleeves 5 and 5A, the end caps 4 and the spacers 7. Further, the linear guide unit according to the present invention can be used for a device having a high temperature heat source such as a wire bonding device.

この発明による直動案内ユニットは，例えば，各種の組立装置，各種の産業ロボット，精密機械，医療機器等の各種の装置における摺動部に組み込んで利用して好ましいものである。   The linear motion guide unit according to the present invention is preferably used by incorporating it into a sliding portion of various devices such as various assembling devices, various industrial robots, precision machines, medical equipment, and the like.

１ 軌道レール
２ スライダ
３ ケーシング
４ エンドキャップ
５，５Ａ スリーブ
９ 転動体（ボール）
１０ 嵌挿孔
１１ 軌道溝（第１軌道溝）
１２ 軌道溝（第２軌道溝）
１３ 軌道路
１４ 方向転換路
１５ リターン路
１６ 内周面
１７ グリース
１９ 端面
２０ 溝
２１ スリット
２２ 空間
２３ 端部
２４ 中間部
２５ 分割円部材
２６ 分割面
２７ グリース溜まり
２９ 側面 1 Track rail 2 Slider 3 Casing 4 End cap 5,5A Sleeve 9 Rolling element (ball)
10 Fitting hole 11 Track groove (first track groove)
12 Track groove (2nd track groove)
13 orbital path 14 direction change path 15 return path 16 inner peripheral surface 17 grease 19 end surface 20 groove 21 slit 22 space 23 end part 24 intermediate part 25 split circular member 26 split surface 27 grease pool 29 side surface

Claims (7)

長手方向両側面に沿って形成された第１軌道溝を備えた長尺状の軌道レール及び前記軌道レールの前記長手方向に摺動自在なスライダを有し，
前記スライダは，前記軌道レールの前記第１軌道溝に対向して延びる第２軌道溝と前記第２軌道溝に沿って延びる嵌挿孔が形成されたケーシング，前記嵌挿孔に挿通されてリターン路を形成するスリーブ，前記ケーシングの両端面にそれぞれ取り付けられ且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝との間に形成される軌道路と前記リターン路とに連通する方向転換路が形成された一対のエンドキャップ，前記軌道路と前記リターン路と一対の前記方向転換路とで構成される循環路を転走する複数の転動体を有することから成る直動案内ユニットにおいて，
前記スリーブは，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成され，前記スリーブには，グリース溜まりの空間が形成されていることを特徴とする直動案内ユニット。 An elongated track rail having a first track groove formed along both side surfaces in the longitudinal direction and a slider slidable in the longitudinal direction of the track rail;
The slider is inserted into the casing and formed with a second raceway groove extending to face the first raceway groove of the raceway rail and a fitting insertion hole extending along the second raceway groove; A sleeve forming a passage, and a turning passage that is respectively attached to both end surfaces of the casing and communicates with the return passage and the return passage formed between the first race groove and the second race groove. A linear motion guide unit comprising a plurality of rolling elements rolling in a circulation path formed of a pair of end caps, the raceway, the return path and a pair of the direction changing paths,
The linear motion guide unit, wherein the sleeve is formed of a thermoplastic resin having a heat deformation temperature of more than 80 ° C., and a space for a grease reservoir is formed in the sleeve. 前記スリーブの前記熱変形温度は，８０℃〜３００℃の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット。   The linear motion guide unit according to claim 1, wherein the heat deformation temperature of the sleeve is within a range of 80 ° C to 300 ° C. 前記熱可塑性樹脂は，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ＡＢＳ樹脂，ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂，ポリフェニルサルファイド樹脂，又はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載の直動案内ユニット。   The thermoplastic resin is a polyimide resin, a polyamide-imide resin, an ABS resin, a polyethylene terephthalate (PET) resin, a polyamide resin, a polyacetal resin, a polytetrafluoroethylene (PTFE) resin, a polyphenyl sulfide resin, or a polyether ether ketone (PEEK). ) The linear motion guide unit according to claim 1 or 2, which is made of resin. 前記熱可塑性樹脂の前記ポリアミド樹脂は，ポリアミド６６樹脂であることを特徴とする請求項３に記載の直動案内ユニット。   The linear motion guide unit according to claim 3, wherein the polyamide resin of the thermoplastic resin is a polyamide 66 resin. 前記スリーブは，円筒状の部材を長手方向に沿って少なくとも２つに分割した半円部材を組み合わせて形成されており，前記グリース溜まりの前記空間を形成するため，前記半円部材の分割面に垂直に切り込まれた複数の溝，又は複数のスリットが形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。   The sleeve is formed by combining semi-circular members obtained by dividing a cylindrical member into at least two parts along the longitudinal direction. The linear motion guide unit according to any one of claims 1 to 4, wherein a plurality of vertically cut grooves or a plurality of slits are formed. 前記エンドキャップは，熱変形温度が８０℃を超える熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。   The linear motion guide unit according to any one of claims 1 to 5, wherein the end cap is formed of a thermoplastic resin having a heat deformation temperature of higher than 80 ° C. 前記エンドキャップの熱変形温度は，８０℃〜３００℃の範囲内であることを特徴とする請求項６に記載の直動案内ユニット。   The linear motion guide unit according to claim 6, wherein a heat deformation temperature of the end cap is within a range of 80 ° C to 300 ° C.
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