JP2020064066A - 多視点による対象検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
画像捕捉装置が、複数のビューからの部分を一度に「見る」のを可能にするために、反射装置を検査装置に導入することによって、多数の表面が、各単一表面について反射装置、カメラ及び/又は対象を再位置付けする必要なく、1つの画像枠において一度に検査され得る。本装置でなければ任意の所定の固体対象の隠れてしまう表面を利用することによって、検査プロセスを支援するため、カメラのビューの範囲に置かれた1つより多くの数の反射装置がある。複数の側面から各単一部分を検査する労力は低減される。したがって、検査周期時間の期間は低減され得、多表面のレベルへの検査は、全体として品質を高めることを可能にする。
制御装置は、(図面において示されていない)傷識別のために使用され得る。これは、欠陥の無い対象のビューの捕捉された画像を、検査中の対象のものと比較するために使用され得る。対象の側面ビュー及び/又は底面ビューの反射は、画像捕捉装置の光学軸に関する反射装置の傾斜角度αと、屈折装置の第1の表面と第2の表面の間の偏向角度βのために、画像捕捉装置10によって取得された画像の歪みを導き得る。制御装置は、画像捕捉装置10に、傷の無い対象の異なるビュー画像をテンプレートとして取得して、それらをテンプレートとしてメモリ中で記憶するように命令し得る。制御装置は、後者が傷付いているか否かを判断するために、テンプレートを、検査されることになる対象のビューの画像とさらに比較し得る。テンプレート画像と、検査されることになる対象に関する画像の両方は、同じレベルの歪みによって影響されるので、歪みの負の影響が補償され得、したがって識別結果は正確である。表面分析は、テンプレートベース又は機械学習ベースのアルゴリズムいずれかを使用して行われ得る。任意の種類の較正は、任意のケースにおいて品物部品からの差異が調査されるので必要とされない。テンプレート又は学習手順のベースとして担う品物部分からの画像は、後に実際の検査プロセスにおいて正確な同じセットアップを使用して得られる。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] 多視点による対象検査装置であって、
画像捕捉装置と、
検査部位と、
前記画像捕捉装置に対して、前記検査部位に位置付けられた前記対象の少なくとも2つの異なる側面ビューを同時に反射するために配置された少なくとも2つの反射装置とを含み、
前記画像捕捉装置は、前記反射の少なくとも2つの異なる側面ビューを含むビューの範囲を有する、多視点による対象検査装置。
[2] 前記少なくとも2つの反射装置は、前記対象から光を直接案内するように配置され、 前記2つの反射装置のそれぞれは、前記画像捕捉装置がそこから直接反射された前記対象の側面ビューを受容するように、前記画像捕捉装置の光学軸に関して予め決定された角度で傾斜されている、[1]に記載の多視点による対象検査装置。
[3] 前記少なくとも2つの反射装置は、前記画像捕捉装置がそこから直接反射された前記対象の上面ビューを受容するように、前記検査部位に位置付けられた前記対象の前記画像捕捉装置の上面ビューに対して同時に反射するために配置されている、[2]に記載の多視点による対象検査装置。
[4] 前記反射の前記ビューから捕捉された画像について、同程度の焦点を確実にするために、前記光の光学経路の長さは実質的に同じである、[2]又は[3]に記載の多視点による対象検査装置。
[5] 前記少なくとも2つの反射装置は、前記検査部位の周囲に配置され、
前記画像捕捉装置のビューの範囲は、前記検査部位において位置付けられた前記対象の上面ビューをさらに含む、[1]乃至[4]のいずれかに1項に記載の多視点による対象検査装置。
[6] 前記検査部位に位置付けられた前記対象を支えるための第1の表面と、前記検査部位における前記対象の底面ビューを、前記少なくとも2つの反射装置のうちの第1のものに対して屈折するように配置された、前記第1の表面から離れていく角度を有する第2の表面とを有する屈折装置をさらに含み、
第1の反射装置は、前記対象の前記屈折された底面ビューを受容し、受容されたものを前記画像捕捉装置に反射する、[1]乃至[5]のいずれか1項に記載の多視点による対象検査装置。
[7] 前記屈折装置の前記第1の表面と前記第2の表面の間の角度は、前記第1の反射装置のビューの範囲が前記反射の前記対象の前記側面ビューと底面ビューを含むように配置される、[6]に記載の多視点による対象検査装置。
[8] 欠陥のない対象の前記ビューの捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較するために適応されたプロセッサをさらに含む、[1]乃至[7]のいずれか1項に記載の多視点による対象検査装置。
[9] 対象を検査する方法であって、
前記対象の少なくとも2つの異なる側面ビューを同時に反射することと、
前記反射の前記少なくとも2つの異なる側面ビューの画像を捕捉することと、
欠陥の無い対象の前記側面ビューの前記捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較することとを含む、方法。
[10] 前記対象の上面ビューを反射することと、
前記反射の前記上面ビューの画像を捕捉することとをさらに含む、[9]に記載の方法。
[11] 光は前記対象から直接案内され、
前記反射のビューから捕捉された画像について、同程度の焦点を確実にするために、前記光の光学経路の長さは、実質的に同じである、[9]又は[10]に記載の方法。
[12] 前記対象の底面ビューを屈折させることと、
前記対象の前記屈折された底面ビューを反射させることと、
前記対象の前記屈折された底面ビューの画像を捕捉することと、
欠陥の無い前記対象の前記底面ビューの前記捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較することとをさらに含む、[9]乃至[11]のいずれか1項に記載の方法。
Claims (12)
- 多視点による対象検査装置であって、
画像捕捉装置と、
検査部位と、
前記画像捕捉装置に対して、前記検査部位に位置付けられた前記対象の少なくとも2つの異なる側面ビューを同時に反射するために配置された少なくとも2つの反射装置とを含み、
前記画像捕捉装置は、前記反射の少なくとも2つの異なる側面ビューを含むビューの範囲を有する、多視点による対象検査装置。 - 前記少なくとも2つの反射装置は、前記対象から光を直接案内するように配置され、 前記2つの反射装置のそれぞれは、前記画像捕捉装置がそこから直接反射された前記対象の側面ビューを受容するように、前記画像捕捉装置の光学軸に関して予め決定された角度で傾斜されている、請求項1に記載の多視点による対象検査装置。
- 前記少なくとも2つの反射装置は、前記画像捕捉装置がそこから直接反射された前記対象の上面ビューを受容するように、前記検査部位に位置付けられた前記対象の前記画像捕捉装置の上面ビューに対して同時に反射するために配置されている、請求項2に記載の多視点による対象検査装置。
- 前記反射の前記ビューから捕捉された画像について、同程度の焦点を確実にするために、前記光の光学経路の長さは実質的に同じである、請求項2又は3に記載の多視点による対象検査装置。
- 前記少なくとも2つの反射装置は、前記検査部位の周囲に配置され、
前記画像捕捉装置のビューの範囲は、前記検査部位において位置付けられた前記対象の上面ビューをさらに含む、請求項1乃至4のいずれかに1項に記載の多視点による対象検査装置。 - 前記検査部位に位置付けられた前記対象を支えるための第1の表面と、前記検査部位における前記対象の底面ビューを、前記少なくとも2つの反射装置のうちの第1のものに対して屈折するように配置された、前記第1の表面から離れていく角度を有する第2の表面とを有する屈折装置をさらに含み、
第1の反射装置は、前記対象の前記屈折された底面ビューを受容し、受容されたものを前記画像捕捉装置に反射する、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の多視点による対象検査装置。 - 前記屈折装置の前記第1の表面と前記第2の表面の間の角度は、前記第1の反射装置のビューの範囲が前記反射の前記対象の前記側面ビューと底面ビューを含むように配置される、請求項6に記載の多視点による対象検査装置。
- 欠陥のない対象の前記ビューの捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較するために適応されたプロセッサをさらに含む、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の多視点による対象検査装置。
- 対象を検査する方法であって、
前記対象の少なくとも2つの異なる側面ビューを同時に反射することと、
前記反射の前記少なくとも2つの異なる側面ビューの画像を捕捉することと、
欠陥の無い対象の前記側面ビューの前記捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較することとを含む、方法。 - 前記対象の上面ビューを反射することと、
前記反射の前記上面ビューの画像を捕捉することとをさらに含む、請求項9に記載の方法。 - 光は前記対象から直接案内され、
前記反射のビューから捕捉された画像について、同程度の焦点を確実にするために、前記光の光学経路の長さは、実質的に同じである、請求項9又は10に記載の方法。 - 前記対象の底面ビューを屈折させることと、
前記対象の前記屈折された底面ビューを反射させることと、
前記対象の前記屈折された底面ビューの画像を捕捉することと、
欠陥の無い前記対象の前記底面ビューの前記捕捉された画像を、検査中の前記対象のものと比較することとをさらに含む、請求項9乃至11のいずれか1項に記載の方法。
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KR102563511B1 (ko) * | 2022-07-15 | 2023-08-07 | 시냅스이미징(주) | 카메라를 이용한 다면검사장치 및 검사방법 |
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