JP2020038880A - 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
横方向に移動する移動体と、
前記移動体に縦軸回りに回動するように設けられた支持体と、
前記支持体の横方向に互いに離れた位置に各々縦方向に設けられた第1の回動軸及び第2の回動軸と、
前記第1の回動軸に基端側が接続され、先端側が前記支持体の外側を旋回すると共に前記基板を支持する第1の基板支持領域をなす第1のアームと、
前記第2の回動軸に基端側が接続され、先端側が前記支持体の外側を旋回すると共に前記第1のアームに支持される前記基板とは別の基板を支持する第2の基板支持領域をなす第2のアームと、
前記第1のアームと前記第2のアームとが干渉しないように、前記支持体に対する当該第2のアームの向きに応じて前記第2の回動軸を昇降させる昇降機構と、
を備えることを特徴とする。
ロードロックモジュール3A、3Bの内部には、図2に示すように、ウエハWが載置される載置棚300が設けられる。例えば載置棚300は、ローダーモジュール2側から見て、2枚のウエハWが横方向に並び、かつ上下に間隔を開けて配置されるように構成される。
また、第1の回動軸651と、第2の回動軸661は、互いに独立して駆動するように構成される。例えば第1の回動軸651については、基台61に当該回転軸651専用の図示しないモータが設けられる。そして、第1の移動体62、第2の移動体63、回動体64の内部に設けられた第1の回動軸651専用のベルト及びプーリに、モータの動力が伝達されて、第1の回動軸651が回動するように構成される。
これにより、例えば処理モジュール4との間でウエハWの受け渡しを行なうときには、基板搬送機構5は、第1及び第2のアーム65、66の長さ方向が直線Lに対して夫々直交する受け渡し姿勢に設定される。そして、図1に示すように、処理モジュール4に第1のアーム65と第2のアーム66とが共に進入して、4枚のウエハWを一括して搬送するように構成される。
図9に示すように、未処理ウエハW0を収容したキャリアCが搬入出ポート1上に載置されると、搬送アーム5は、キャリアCから未処理ウエハW0を順番に取出す。そして、ロードロックモジュール3Aのゲートバルブ32を開いて、ウエハ載置棚300A、300Bに夫々未処理ウエハW0を順次受け渡す。続いて、ゲートバルブ32を閉じ、ロードロックモジュール3A内の雰囲気を常圧雰囲気から真空雰囲気に切り替える。
同様に、2枚の処理済みウエハWA、WBを保持した第2のアーム66をロードロックモジュール3B内に進入する。そして、第2のアーム66に保持されている2枚のウエハWを一括してロードロックモジュール3Bの例えば上から2番目の載置棚300A、300Bに受け渡す。この後、ロードロックモジュール3Bのゲートバルブ34を閉じて、当モジュール内の雰囲気を常圧雰囲気に切り替える。続いて、ゲートバルブ32を開いて、処理済みのウエハWを搬送アーム5により、例えば元のキャリアCに戻す。
このように、本開示の基板搬送機構6を用いることにより、処理モジュール4に対するウエハWの搬送を4枚一括のみならず、2枚一括で行うことができるので、搬送の自由度が高い。
63 第2移動体
64 回動体
65 第1のアーム
66 第2のアーム
651 第1の回動軸
661 第2の回動軸
Claims (9)
- 横方向に移動する移動体と、
前記移動体に縦軸回りに回動するように設けられた支持体と、
前記支持体の横方向に互いに離れた位置に各々縦方向に設けられた第1の回動軸及び第2の回動軸と、
前記第1の回動軸に基端側が接続され、先端側が前記支持体の外側を旋回すると共に前記基板を支持する第1の基板支持領域をなす第1のアームと、
前記第2の回動軸に基端側が接続され、先端側が前記支持体の外側を旋回すると共に前記第1のアームに支持される前記基板とは別の基板を支持する第2の基板支持領域をなす第2のアームと、
前記第1のアームと前記第2のアームとが干渉しないように、前記支持体に対する当該第2のアームの向きに応じて前記第2の回動軸を昇降させる昇降機構と、
を備える基板搬送機構。 - 前記第1のアームの向きと、前記第2のアームの向きとが同じであるときに、前記第1の基板支持領域の高さと前記第2の基板支持領域の高さとが揃う請求項1記載の基板搬送機構。
- 前記第1の基板支持領域及び前記第2の基板支持領域は、複数の基板を前記第1のアーム、前記第2のアームの長さ方向に沿って各々支持する領域である請求項1または2記載の基板搬送機構。
- 前記移動体及び支持体は、多関節アームを構成する請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板搬送機構。
- 前記第1の回動軸と第2の回動軸とを結ぶ直線に対して、前記第1のアームの長方向及び第2のアームの長さ方向が各々傾き、且つ前記第1のアームと前記第2のアームとが交差した状態で、前記前記移動体による移動が行われる請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板搬送機構。
- 真空雰囲気の搬送室と、
前記搬送室に接続され、真空雰囲気で前記基板に処理を行う処理モジュールと、
前記搬送室に接続されるロードロックモジュールと、
前記ロードロックモジュールと前記処理モジュールとの間で前記基板を搬送するために前記搬送室に設けられる請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板搬送機構と、
前記基板を格納した搬送容器が載置され、当該搬送容器と前記ロードロックモジュールとの間で前記基板を搬送するローダーモジュールと、
を備える基板処理装置。 - 前記ロードロックモジュールには前記第1のアーム、第2のアームが順番に進入し、
前記処理モジュールには前記第1のアーム及び第2のアームが共に進入して基板の搬送が行われるように制御信号を出力する制御部が設けられる請求項6記載の基板処理装置。 - 前記処理モジュールに収納された第1の基板を受け取るために第1のアームが当該処理モジュールに進入するステップと、
次いで前記基板を支持した第1のアームが当該処理モジュールから退出するステップと、
その後、第2の基板を支持した第2のアームが前記処理モジュールに基板を搬送するために当該処理モジュールに進入するステップと、
が行われるように制御信号を出力する制御部が設けられる請求項6記載の基板処理装置。 - 移動体を横方向に移動させる工程と、
前記移動体に設けられた支持体を縦軸回りに回動させる工程と、
前記支持体の横方向に互いに離れた位置に各々縦方向に設けられた第1の回動軸及び第2の回動軸を回動させる工程と、
前記第1の回動軸に基端側が接続される第1のアームについて、前記基板を支持する第1の基板支持領域をなす先端側を、前記支持体の外側を旋回させる工程と、
前記第2の回動軸に基端側が接続される第2のアームについて、前記第1のアームに支持される前記基板とは別の基板を支持する第2の基板支持領域をなす先端側を、前記支持体の外側を旋回させる工程と、
前記第1のアームと前記第2のアームとが干渉しないように、前記支持体に対する当該第2のアームの向きに応じて前記第2の回動軸を昇降させる工程と、
を備える基板搬送方法。
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