JP2020034821A - Electro-optic device and electronic apparatus - Google Patents

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Abstract

To provide an electro-optic device and an electronic apparatus, in which a color luminous flux incident oblique to an incidence-side lens can be prevented from largely spreading outward when the luminous flux exits from a sub pixel.SOLUTION: In an electro-optic device 100, color luminous fluxes having different main wavelengths (red luminous flux (R), green luminous flux (G) and blue luminous flux (B)) are incident at different incident angles to a first lens 24 disposed on a first substrate 29 in each pixel P. Thus, the red luminous flux (R), the green luminous flux (G) and the blue luminous flux (B) are incident to predetermined sub-pixels S. A second lens 14 is disposed in each sub-pixel S on a second substrate 19. In sub-pixels SR, SB corresponding to the red luminous flux (R) and the blue luminous flux (B) incident oblique to the first lens 24, the center of the second lens 14 is deviated from the center of the sub-pixel S toward the center of the pixel P in a plan view.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は、電気光学装置、および電子機器に関するものである。   The present invention relates to an electro-optical device and an electronic device.

一対のガラス基板の間に液晶層が設けられた液晶表示パネルに対し、主波長が異なる色光束毎に液晶表示パネルに対する入射角が異なる照明光を照射してカラー画像を表示する画像プロジェクターが提案されている。かかる画像プロジェクターにおいて、入射側のガラス基板には、複数のサブ画素からなる画素毎に第１マイクロレンズアレイのレンズが設けられており、複数の色光束は各々、第１マイクロレンズアレイのレンズによって各サブ画素に入射する（特許文献１参照）。   An image projector that displays a color image by illuminating a liquid crystal display panel having a liquid crystal layer between a pair of glass substrates with illumination light having different incident angles to the liquid crystal display panel for each color light flux having a different dominant wavelength is proposed. Have been. In such an image projector, a lens of a first micro lens array is provided for each pixel including a plurality of sub-pixels on a glass substrate on an incident side, and a plurality of color light fluxes are respectively emitted by the lenses of the first micro lens array. Light is incident on each sub-pixel (see Patent Document 1).

特許文献１には、液晶表示パネルに対して垂直に入射した色光束がサブ画素から出射される際、画像の周辺で光量不足となることを防止するために、出射側のガラス基板に対して、サブ画素毎に第２マイクロレンズアレイのレンズを設けた態様が記載されており、第２マイクロレンズアレイは、レンズの中心がサブ画素の中心と一致するように設けられている。   Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-163873 discloses that when a color light beam that is perpendicularly incident on a liquid crystal display panel is emitted from a sub-pixel, the amount of light emitted from a sub-pixel is prevented from being insufficient around the image. Describes a mode in which a lens of the second micro lens array is provided for each sub-pixel, and the second micro lens array is provided such that the center of the lens coincides with the center of the sub-pixel.

特開２０００−１４７５００号公報JP 2000-147500 A

しかしながら、特許文献１に記載の態様のように、サブ画素毎に第２マイクロレンズアレイのレンズを設けた場合でも、レンズの中心がサブ画素の中心と一致しているため、入射側のレンズに斜めに入射した色光束がサブ画素から出射された際、外側に大きく広がることを防止することができないという課題がある。   However, even when a lens of the second microlens array is provided for each sub-pixel as in the mode described in Patent Document 1, the center of the lens coincides with the center of the sub-pixel, so When the obliquely incident color light beam is emitted from the sub-pixel, there is a problem that it is impossible to prevent the color light beam from spreading largely outward.

上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置は、第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学層と、を有し、前記第１基板には、第１サブ画素および第２サブ画素を含む複数のサブ画素からなる画素毎に正のパワーを有する第１レンズが設けられ、前記第２基板には、前記サブ画素毎に正のパワーを有する第２レンズが設けられ、前記第１サブ画素に設けられた前記第２レンズの中心は、平面視で前記第１サブ画素の中心から前記画素の中心に向けてずれていることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, an electro-optical device according to the present invention is provided with a first substrate, a second substrate facing the first substrate, and between the first substrate and the second substrate. An electro-optic layer, wherein the first substrate is provided with a first lens having a positive power for each pixel including a plurality of sub-pixels including a first sub-pixel and a second sub-pixel; The second substrate is provided with a second lens having a positive power for each of the sub-pixels, and the center of the second lens provided in the first sub-pixel is positioned from the center of the first sub-pixel in plan view. It is characterized by being shifted toward the center of the pixel.

また、本発明に係る電気光学装置を備えた電子機器は、主波長が異なる色光束毎に前記第１レンズに対する入射角が異なる照明光を前記第１基板に対して前記第２基板とは反対側から照射する照明装置と、前記第２基板から前記第１基板とは反対側に向けて出射された変調光を投射する投射光学系と、を有することを特徴とする。   Further, in the electronic apparatus including the electro-optical device according to the present invention, illumination light having a different incident angle with respect to the first lens for each color light flux having a different main wavelength is opposite to the first substrate with respect to the second substrate. And a projection optical system for projecting modulated light emitted from the second substrate toward the side opposite to the first substrate.

本発明を適用した電子機器の一態様を示す概略図。1 is a schematic view illustrating one embodiment of an electronic device to which the present invention is applied. 本発明に係る電気光学装置の一態様の平面的構成を模式的に示す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram schematically illustrating a planar configuration of one embodiment of an electro-optical device according to the invention. 図２のＨ−Ｈ′断面を模式的に示す説明図。Explanatory drawing which shows typically the HH 'cross section of FIG. 図２に示す電気光学装置の電気的な構成を示す等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram illustrating an electrical configuration of the electro-optical device illustrated in FIG. 2. 図２に示す電気光学装置の第１レンズ、および第２レンズの断面構成を模式的に示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram schematically illustrating a cross-sectional configuration of a first lens and a second lens of the electro-optical device illustrated in FIG. 2. 図５に示す第１レンズと画素との平面的な位置関係を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a planar positional relationship between the first lens and the pixel illustrated in FIG. 5. 図５に示す第２レンズとサブ画素との平面的な位置関係を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a planar positional relationship between a second lens and a sub-pixel illustrated in FIG. 5. 図５に示す電気光学装置における入射光および出射光の説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram of incident light and outgoing light in the electro-optical device shown in FIG. 本発明の参考例に係る電気光学装置における入射光および出射光の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of incident light and outgoing light in the electro-optical device according to the reference example of the invention. 本発明の実施形態２に係る電気光学装置の一態様の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of one mode of an electro-optical device according to a second embodiment of the invention. 図１０に示す第２レンズ等の断面構成を模式的に示す説明図。FIG. 11 is an explanatory diagram schematically illustrating a cross-sectional configuration of the second lens and the like illustrated in FIG. 10. 本発明の実施形態２の変形例に係る電気光学装置の一態様の説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram of one mode of an electro-optical device according to a modification of the second embodiment of the present invention. 本発明の実施形態３に係る電気光学装置の一態様の説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram of one mode of an electro-optical device according to a third embodiment of the invention. 本発明の実施形態４に係る電気光学装置の一態様の説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram of one mode of an electro-optical device according to a fourth embodiment of the invention.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明において、素子基板に形成される層を説明する際、上層側あるいは表面側とは基板が位置する側とは反対側（対向基板が位置する側）を意味し、下層側とは基板が位置する側を意味する。また、本発明において、「平面視」とは、電気光学層８０の厚さ方向を意味する。すなわち、本発明において、「平面視」とは、第１基板２９および第２基板１９に対する法線方向を意味する。また、以下の説明では、本発明における「第１サブ画素」が赤色光束（Ｒ）に対応するサブ画素ＳＲであり、本発明における「第２サブ画素」が緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素ＳＧであり、本発明における「第３サブ画素」が青色光束（Ｂ）に対応するサブ画素ＳＢである場合を中心に説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings referred to in the following description, the scale of each layer and each member is different for each layer and each member in order to make the size recognizable in the drawings. Further, in the following description, when describing a layer formed on an element substrate, the upper layer side or the front side means the side opposite to the side where the substrate is located (the side where the opposing substrate is located), and the lower layer side Means the side where the substrate is located. Further, in the present invention, “in a plan view” means the thickness direction of the electro-optic layer 80. That is, in the present invention, “in a plan view” means a direction normal to the first substrate 29 and the second substrate 19. In the following description, the “first sub-pixel” in the present invention is the sub-pixel SR corresponding to the red light flux (R), and the “second sub-pixel” in the present invention is the sub-pixel corresponding to the green light flux (G). The following description will focus on the pixel SG and the case where the “third sub-pixel” in the present invention is the sub-pixel SB corresponding to the blue luminous flux (B).

［実施形態１］
（電子機器の構成）
図１は、本発明を適用した電子機器の一態様を示す概略図である。なお、図１には、電気光学装置１００に対して設けられる偏光素子の図示を省略してある。図１に示すように、本実施形態の電子機器の一態様としての投射型表示装置１０００は、装置光軸Ｌ0に沿って照明装置１５００、電気光学装置１００、および投射光学系１６００が順に配置されており、投射光学系１６００は、投射レンズ１０１４を備えている。照明装置１５００は、光源ユニット１００１、偏光変換ユニット１００５、および色分離光学系１０１０を備えている。 [Embodiment 1]
(Configuration of electronic equipment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating one embodiment of an electronic device to which the present invention is applied. In FIG. 1, illustration of a polarizing element provided for the electro-optical device 100 is omitted. As shown in FIG. 1, a projection display apparatus 1000 as one mode of the electronic apparatus according to the present embodiment includes an illumination device 1500, an electro-optical device 100, and a projection optical system 1600 arranged in this order along a device optical axis L0. The projection optical system 1600 includes a projection lens 1014. The illumination device 1500 includes a light source unit 1001, a polarization conversion unit 1005, and a color separation optical system 1010.

照明装置１５００では、光源ユニット１００１から出射された光源光を偏光変換ユニット１００５により所定の径の偏光光束に変換して色分離光学系１０１０に入射させる。色分離光学系１０１０は、入射した偏光光束を主波長が異なる色光束毎に分離するとともに、主波長が異なる色光束毎に電気光学装置１００に対する入射角が異なる照明光を電気光学装置１００に照射する。より具体的には、色分離光学系１０１０は、入射した偏光光束を主波長が異なる赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）に分離するとともに、赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）の電気光学装置１００に対する入射角が異なる照明光を生成し、電気光学装置１００に照射する。   In the illumination device 1500, the light source light emitted from the light source unit 1001 is converted into a polarized light beam having a predetermined diameter by the polarization conversion unit 1005 and is incident on the color separation optical system 1010. The color separation optical system 1010 separates the incident polarized light beam for each color light beam having a different main wavelength, and irradiates the electro-optical device 100 with illumination light having a different incident angle to the electro-optical device 100 for each color light beam having a different main wavelength. I do. More specifically, the color separation optical system 1010 separates the incident polarized light beam into a red light beam (R), a green light beam (G), and a blue light beam (B) having different main wavelengths, and also emits a red light beam (R). , The green light flux (G) and the blue light flux (B) have different incident angles with respect to the electro-optical device 100, and irradiate the electro-optical device 100.

電気光学装置１００は光変調装置であって、異なる角度で入射した赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）を各々、画像情報に基づいて光学的に変調し、表示光として出射させる。電気光学装置１００から出射された変調光は、投射光学系１６００によって、例えばスクリーン１１００などに拡大して投射される。   The electro-optical device 100 is a light modulation device that optically modulates a red light beam (R), a green light beam (G), and a blue light beam (B), which are incident at different angles, based on image information, and displays the light beam. It is emitted as light. The modulated light emitted from the electro-optical device 100 is enlarged and projected on, for example, a screen 1100 by the projection optical system 1600.

光源ユニット１００１は、白色光を出射する光源１００２、第１コリメーターレンズ１００３、および第２コリメーターレンズ１００４を備えており、光源１００２から出射された光を第１コリメーターレンズ１００３、および第２コリメーターレンズ１００４からなるコリメーター光学系によって所定の径の光束とする。光源１００２は、点光源として扱われる発光ダイオード（ＬＥＤ）やレーザーが挙げられる。光源１００２は、赤色、緑色、および青色の発光が得られるＬＥＤやレーザーを組み合わせて白色の発光を得る構成や、青色、黄色の発光が得られるＬＥＤやレーザーを組み合わせて白色の発光を得る構成としてもよい。   The light source unit 1001 includes a light source 1002 that emits white light, a first collimator lens 1003, and a second collimator lens 1004, and outputs light emitted from the light source 1002 to the first collimator lens 1003 and the second collimator lens 1002. A light beam having a predetermined diameter is formed by a collimator optical system including a collimator lens 1004. As the light source 1002, a light emitting diode (LED) or a laser treated as a point light source can be given. The light source 1002 is configured to obtain white light emission by combining an LED or a laser that emits red, green, and blue light, or configured to obtain white light by combining an LED or a laser that obtains blue or yellow light. Is also good.

偏光変換ユニット１００５は、光源ユニット１００１から出射された光束を偏光方向が揃った直線偏光に変換して出射する光学ユニットであり、第１レンズアレイ１００６、第２レンズアレイ１００７、偏光変換素子１００８、および重畳レンズ１００９を備えている。第１レンズアレイ１００６、および第２レンズアレイ１００７は各々、装置光軸Ｌ0と直交する面に沿ってマトリックス状に配置された複数の小レンズを有する。偏光変換ユニット１００５に入射した光束は、第１レンズアレイ１００６、および第２レンズアレイ１００７を透過して小レンズを単位とした部分光束に分割される。部分光束は、偏光変換素子１００８により直線偏光に変換され、重畳レンズ１００９によって重畳されて出射される。重畳レンズ１００９は、重畳された直線偏光の光束（偏光光束）が後述する電気光学装置１００の表示領域に入射するように光学設計されている。   The polarization conversion unit 1005 is an optical unit that converts a light beam emitted from the light source unit 1001 into linearly polarized light having a uniform polarization direction and emits the light. The first lens array 1006, the second lens array 1007, the polarization conversion element 1008, And a superimposing lens 1009. Each of the first lens array 1006 and the second lens array 1007 has a plurality of small lenses arranged in a matrix along a plane orthogonal to the apparatus optical axis L0. The light beam incident on the polarization conversion unit 1005 passes through the first lens array 1006 and the second lens array 1007 and is divided into partial light beams in units of small lenses. The partial light beam is converted into linearly polarized light by the polarization conversion element 1008, and is superimposed and emitted by the superimposing lens 1009. The superimposing lens 1009 is optically designed so that the superposed linearly polarized light beam (polarized light beam) is incident on a display area of the electro-optical device 100 described later.

色分離光学系１０１０は、例えばダイクロイックミラーを用いて構成される。本実施形態において、色分離光学系１０１０は、装置光軸Ｌ0に対して異なる角度で配置されたダイクロイックミラー１０１１、ダイクロイックミラー１０１２、および反射ミラー１０１３を備えており、ダイクロイックミラー１０１１、ダイクロイックミラー１０１２、および反射ミラー１０１３は、装置光軸Ｌ0に沿って、偏光変換ユニット１００５側から順に傾斜角度が大きくなるように配置されている。ダイクロイックミラー１０１１は、装置光軸Ｌ0に対して最も小さな傾斜角度で配置され、装置光軸Ｌ0に沿って入射した偏光光束のうち波長が長い赤色光束（Ｒ）を反射し、赤色光束（Ｒ）よりも波長が短い緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）を透過する。ダイクロイックミラー１０１２は、中間の傾斜角度で配置され、緑色光束（Ｇ）を反射して、緑色光束（Ｇ）よりも波長が短い青色光束（Ｂ）を透過する。反射ミラー１０１３は、装置光軸Ｌ0に対して最も大きな傾斜角度で配置され、ダイクロイックミラー１０１２を透過した青色光束（Ｂ）を反射する。   The color separation optical system 1010 is configured using, for example, a dichroic mirror. In this embodiment, the color separation optical system 1010 includes a dichroic mirror 1011, a dichroic mirror 1012, and a reflection mirror 1013 arranged at different angles with respect to the device optical axis L 0. The reflection mirror 1013 is arranged so that the inclination angle increases in order from the polarization conversion unit 1005 side along the apparatus optical axis L0. The dichroic mirror 1011 is arranged at the smallest inclination angle with respect to the device optical axis L0, reflects the red light beam (R) having a longer wavelength among the polarized light beams incident along the device optical axis L0, and reflects the red light beam (R). The green light flux (G) and the blue light flux (B) having shorter wavelengths are transmitted. The dichroic mirror 1012 is arranged at an intermediate inclination angle, reflects the green light flux (G), and transmits the blue light flux (B) having a shorter wavelength than the green light flux (G). The reflection mirror 1013 is disposed at the largest inclination angle with respect to the apparatus optical axis L0, and reflects the blue light beam (B) transmitted through the dichroic mirror 1012.

ダイクロイックミラー１０１２により反射した緑色光束（Ｇ）は、電気光学装置１００の光の入射面に対して法線方向から電気光学装置１００に入射する。ダイクロイックミラー１０１１により反射した赤色光束（Ｒ）、および反射ミラー１０１３により反射した青色光束（Ｂ）は、電気光学装置１００の入射面の法線方向に対して所定の角度をなして電気光学装置１００に入射する。言い換えれば、光の入射面に対して法線方向から緑色光束（Ｇ）が入射し、法線方向に対して所定の角度をなして赤色光束（Ｒ）、および青色光束（Ｂ）が電気光学装置１００に入射するように、色分離光学系１０１０、および電気光学装置１００が配置されている。   The green luminous flux (G) reflected by the dichroic mirror 1012 enters the electro-optical device 100 from the normal direction to the light incident surface of the electro-optical device 100. The red light beam (R) reflected by the dichroic mirror 1011 and the blue light beam (B) reflected by the reflection mirror 1013 form a predetermined angle with respect to the normal direction of the incident surface of the electro-optical device 100. Incident on. In other words, the green luminous flux (G) is incident on the light incident surface from the normal direction, and the red luminous flux (R) and the blue luminous flux (B) are electro-optically formed at a predetermined angle with respect to the normal direction. The color separation optical system 1010 and the electro-optical device 100 are arranged so as to be incident on the device 100.

詳しくは、後述するが、電気光学装置１００は、カラーフィルターを用いずに、互いに異なる角度で入射した赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）を各々、変調する。従って、本実施形態の投射型表示装置１０００によれば、１つの電気光学装置１００によって、カラーフィルターを用いずにカラー画像を表示することができるので、明るい画像を投射可能である。   As will be described in detail later, the electro-optical device 100 modulates the red light beam (R), the green light beam (G), and the blue light beam (B) that are incident at different angles without using a color filter. Therefore, according to the projection display device 1000 of the present embodiment, a color image can be displayed by one electro-optical device 100 without using a color filter, so that a bright image can be projected.

投射型表示装置１０００は、上記の構成の間に光束を導くための光学系を含んでいてもよい。例えば、偏光変換ユニット１００５と色分離光学系１０１０との間に、リレーレンズやミラー（反射板）などが設けられていてもよい。   The projection display apparatus 1000 may include an optical system for guiding a light beam during the above configuration. For example, a relay lens or a mirror (reflection plate) may be provided between the polarization conversion unit 1005 and the color separation optical system 1010.

（電気光学装置１００の構成）
図２は、本発明に係る電気光学装置１００の一態様の平面的構成を模式的に示す説明図である。図３は、図２のＨ−Ｈ′断面を模式的に示す説明図である。図２および図３に示すように、電気光学装置１００では、第１基板２９を備えた対向基板２０と、第２基板１９を備えた素子基板１０とが所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされており、第１基板２９と第２基板１９とが対向している。シール材１０７は第１基板２９の外縁に沿うように枠状に設けられており、第１基板２９と第２基板１９との間でシール材１０７によって囲まれた領域に液晶層等の電気光学層８０が配置されている。従って、電気光学装置１００は液晶装置として構成されている。 (Configuration of the electro-optical device 100)
FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing a planar configuration of one embodiment of the electro-optical device 100 according to the present invention. FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing a section taken along line HH ′ of FIG. 2. As shown in FIGS. 2 and 3, in the electro-optical device 100, the opposing substrate 20 having the first substrate 29 and the element substrate 10 having the second substrate 19 are separated by a sealing material 107 through a predetermined gap. The first substrate 29 and the second substrate 19 face each other. The sealing material 107 is provided in a frame shape along the outer edge of the first substrate 29, and an electro-optical material such as a liquid crystal layer is provided in a region surrounded by the sealing material 107 between the first substrate 29 and the second substrate 19. A layer 80 is disposed. Therefore, the electro-optical device 100 is configured as a liquid crystal device.

シール材１０７は、光硬化性を備えた接着剤、あるいは光硬化性および熱硬化性を備えた接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。第１基板２９および第２基板１９はいずれも四角形であり、電気光学装置１００の略中央には、表示領域１０ａが四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形に設けられている。電気光学層８０を構成する液晶材料は、例えば、シール材１０７の途切れ部分からなる注入口から充填され、その後、注入口は封止材１０５によって封止される。シール材１０７の内側に液晶材料を滴下して、減圧下で第１基板２９と第２基板１９とをＯＤＦ（Ｏｎｅ Ｄｒｏｐ Ｆｉｌｌ）法を採用してもよい。表示領域１０ａでは、後述する複数の画素Ｐがマトリックス状に配列されている。   The sealing material 107 is a photo-curable adhesive or a photo-curable and thermo-curable adhesive, such as glass fiber or glass beads for setting the distance between the two substrates to a predetermined value. Gap material is blended. The first substrate 29 and the second substrate 19 are both rectangular, and the display area 10 a is provided as a rectangular area substantially at the center of the electro-optical device 100. In correspondence with such a shape, the seal member 107 is also provided in a substantially rectangular shape. The liquid crystal material forming the electro-optical layer 80 is filled, for example, from an injection port formed by a break in the sealing material 107, and thereafter the injection port is sealed with a sealing material 105. A liquid crystal material may be dropped inside the sealant 107, and the first substrate 29 and the second substrate 19 may be formed under reduced pressure by an ODF (One Drop Fill) method. In the display area 10a, a plurality of pixels P described later are arranged in a matrix.

素子基板１０は、基板本体として、石英基板やガラス基板等の透光性の第２基板１９を有している。第２基板１９の対向基板２０側の一方面１９ｓ側において、表示領域１０ａの外側には、素子基板１０の一辺に沿ってデータ線駆動回路１０１および複数の端子１０２が形成され、この一辺に隣接する他の辺に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、素子基板１０には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。   The element substrate 10 has a light-transmitting second substrate 19 such as a quartz substrate or a glass substrate as a substrate body. A data line driving circuit 101 and a plurality of terminals 102 are formed along one side of the element substrate 10 outside the display region 10a on the one surface 19s side of the second substrate 19 on the side of the opposing substrate 20. A scanning line driving circuit 104 is formed along the other side. A flexible wiring board (not shown) is connected to the terminal 102, and various potentials and various signals are input to the element substrate 10 via the flexible wiring board.

第２基板１９の一方面１９ｓにおいて、表示領域１０ａには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）膜等からなる透光性の複数の画素電極９ａ、および複数の画素電極９ａの各々に電気的に接続するスイッチング素子（図２には図示せず）がマトリクス状に形成されている。画素電極９ａに対して対向基板２０側には配向膜１６が形成されており、画素電極９ａは、配向膜１６によって覆われている。   On one surface 19s of the second substrate 19, the display region 10a is electrically connected to each of the plurality of translucent pixel electrodes 9a made of an ITO (Indium Tin Oxide) film or the like, and each of the plurality of pixel electrodes 9a. Switching elements (not shown in FIG. 2) are formed in a matrix. An alignment film 16 is formed on the counter substrate 20 side with respect to the pixel electrode 9a, and the pixel electrode 9a is covered with the alignment film 16.

対向基板２０は、基板本体として、石英基板やガラス基板等の透光性の第１基板２９を有している。第１基板２９において素子基板１０と対向する一方面２９ｓ側には、ＩＴＯ膜等からなる透光性の共通電極２１が形成されており、共通電極２１に対して素子基板１０側には配向膜２６が形成されている。共通電極２１は、第１基板２９の略全面に形成されており、配向膜２６によって覆われている。第１基板２９の一方面２９ｓ側には、共通電極２１に対して素子基板１０とは反対側に、樹脂、金属または金属化合物からなる遮光性の遮光層２７が形成されている。遮光層２７は、例えば、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁状の見切り２７ａとして形成されている。遮光層２７は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた領域と平面視で重なる領域に遮光層としても形成されることもある。本実施形態において、見切り２７ａと平面視で重なるダミー画素領域１０ｃには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。   The opposite substrate 20 has a light-transmitting first substrate 29 such as a quartz substrate or a glass substrate as a substrate body. A light-transmitting common electrode 21 made of an ITO film or the like is formed on one surface 29 s of the first substrate 29 facing the element substrate 10, and an alignment film is formed on the element substrate 10 side with respect to the common electrode 21. 26 are formed. The common electrode 21 is formed on substantially the entire surface of the first substrate 29, and is covered with the alignment film 26. On one side 29s of the first substrate 29, a light-shielding light-shielding layer 27 made of resin, metal, or a metal compound is formed on a side opposite to the element substrate 10 with respect to the common electrode 21. The light shielding layer 27 is formed, for example, as a frame-shaped partition 27a extending along the outer peripheral edge of the display area 10a. The light-shielding layer 27 may be formed as a light-shielding layer in a region overlapping in plan view with a region sandwiched between the adjacent pixel electrodes 9a. In the present embodiment, a dummy pixel electrode 9b formed simultaneously with the pixel electrode 9a is formed in the dummy pixel region 10c overlapping the parting line 27a in plan view.

配向膜１６、２６は、ＳｉＯｘ（ｘ＜２）、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３等の斜方蒸着膜からなる無機配向膜であり、電気光学層８０に用いた負の誘電率異方性を備えた液晶分子を傾斜配向させている。このため、液晶分子は、第１基板２９および第２基板１９に対して所定の角度を成している。このようにして、電気光学装置１００は、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モードの液晶装置として構成されている。 The alignment films 16 and 26 are inorganic alignment films made of obliquely deposited films such as SiO x (x <2), SiO 2 , TiO 2 , MgO, and Al 2 O 3 . Liquid crystal molecules having dielectric anisotropy are tilt-aligned. Therefore, the liquid crystal molecules form a predetermined angle with respect to the first substrate 29 and the second substrate 19. Thus, the electro-optical device 100 is configured as a VA (Vertical Alignment) mode liquid crystal device.

素子基板１０には、シール材１０７より外側において対向基板２０の角部分と重なる領域に、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極１０９が形成されている。基板間導通用電極１０９には、導電粒子を含んだ基板間導通材１０９ａが配置されており、共通電極２１は、基板間導通材１０９ａおよび基板間導通用電極１０９を介して、第２基板１９側に電気的に接続されている。このため、共通電極２１は、第２基板１９の側から共通電位が印加されている。   In the element substrate 10, an inter-substrate conduction electrode 109 for establishing electrical conduction between the element substrate 10 and the counter substrate 20 is formed in a region outside the sealant 107 and overlapping a corner portion of the counter substrate 20. ing. An inter-substrate conductive material 109a containing conductive particles is arranged on the inter-substrate conductive electrode 109, and the common electrode 21 is connected to the second substrate 19 via the inter-substrate conductive material 109a and the inter-substrate conductive electrode 109. Side is electrically connected. Therefore, the common potential is applied to the common electrode 21 from the second substrate 19 side.

本実施形態の電気光学装置１００において、画素電極９ａおよび共通電極２１がＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成されており、電気光学装置１００は、透過型液晶装置として構成されている。かかる電気光学装置１００では、第１基板２９から入射した光が第２基板１９を透過して出射される間に電気光学層８０によって変調される。   In the electro-optical device 100 of the present embodiment, the pixel electrode 9a and the common electrode 21 are formed of a light-transmitting conductive film such as an ITO film, and the electro-optical device 100 is configured as a transmissive liquid crystal device. In the electro-optical device 100, the light incident from the first substrate 29 is modulated by the electro-optical layer 80 while being transmitted through the second substrate 19 and emitted.

（電気的構成）
図４は、図２に示す電気光学装置１００の電気的な構成を示す等価回路図である。図４に示すように、電気光学装置１００の第２基板１９において、表示領域１０ａには、複数の走査線３ａと、複数の走査線３ａに対して絶縁された状態で交差する複数のデータ線６ａとを有している。本実施形態において、電気光学装置１００は、データ線６ａに沿って平行に配置された容量線３ｂを有している。走査線３ａが延在する方向がＸ方向（第１方向）であり、データ線６ａが延在する方向がＹ方向（第２方向）である。 (Electrical configuration)
FIG. 4 is an equivalent circuit diagram showing an electrical configuration of the electro-optical device 100 shown in FIG. As shown in FIG. 4, in the second substrate 19 of the electro-optical device 100, the display area 10a includes a plurality of scanning lines 3a and a plurality of data lines intersecting the plurality of scanning lines 3a in an insulated state. 6a. In the present embodiment, the electro-optical device 100 has a capacitance line 3b arranged in parallel along the data line 6a. The direction in which the scanning lines 3a extend is the X direction (first direction), and the direction in which the data lines 6a extend is the Y direction (second direction).

走査線３ａとデータ線６ａとの交差に対応して、各色に対応するサブ画素Ｓが設けられており、複数のサブ画素Ｓ毎にＴＦＴ等からなるスイッチング素子３０、および液晶容量５０が設けられている。液晶容量５０は、サブ画素Ｓ毎の画素電極９ａと共通電極２１との間に電気光学層８０を有している。本実施形態では、図１を参照して説明した色光束に対応して、サブ画素Ｓとして、赤色光束（Ｒ）に対応するサブ画素ＳＲ（第１サブ画素）、緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素ＳＧ（第２サブ画素）、および青色光束（Ｂ）に対応するサブ画素ＳＢ（第３サブ画素）が設けられており、画素Ｐは、１つのサブ画素ＳＧと、サブ画素ＳＧに隣り合う１つのサブ画素ＳＲと、サブ画素ＳＧに隣り合う１つのサブ画素ＳＢとによって構成されている。   Sub-pixels S corresponding to respective colors are provided corresponding to intersections of the scanning lines 3a and the data lines 6a. A switching element 30 including a TFT or the like and a liquid crystal capacitor 50 are provided for each of the plurality of sub-pixels S. ing. The liquid crystal capacitor 50 has an electro-optic layer 80 between the pixel electrode 9a for each sub-pixel S and the common electrode 21. In the present embodiment, corresponding to the color light flux described with reference to FIG. 1, the sub-pixel S corresponds to the sub-pixel SR (first sub-pixel) corresponding to the red light flux (R) and the green light flux (G). Subpixel SG (second subpixel), and a subpixel SB (third subpixel) corresponding to the blue light flux (B), and the pixel P includes one subpixel SG and one subpixel SG. It is constituted by one adjacent sub-pixel SR and one sub-pixel SB adjacent to the sub-pixel SG.

本実施形態では、カラー配列としてストライプ配列が採用されており、複数の画素Ｐのいずれにおいても、サブ画素ＳがＸ方向に直線的に配列されている。本実施形態においては、サブ画素ＳＲ、サブ画素ＳＧ、およびサブ画素ＳＢがＸ方向に直線的に順に配列されている。従って、Ｙ方向では、同一の色光に対応するサブ画素Ｓが配列されている。   In the present embodiment, a stripe arrangement is employed as the color arrangement, and the sub-pixels S are arranged linearly in the X direction in any of the plurality of pixels P. In the present embodiment, the sub-pixels SR, the sub-pixels SG, and the sub-pixels SB are linearly arranged in order in the X direction. Therefore, in the Y direction, sub-pixels S corresponding to the same color light are arranged.

走査線３ａは、スイッチング素子３０のゲートに電気的に接続され、データ線６ａはスイッチング素子３０のソースに電気的に接続されている。画素電極９ａはスイッチング素子３０のドレインに電気的に接続されている。データ線６ａはデータ線駆動回路１０１（図２参照）に接続されており、データ線駆動回路１０１から供給される画像信号Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、…、Ｄｎをサブ画素Ｓに供給する。走査線３ａは走査線駆動回路１０４（図２参照）に接続されており、走査線駆動回路１０４から供給される走査信号ＳＣ１、ＳＣ２、…、ＳＣｍを各サブ画素Ｓに供給する。   The scanning line 3a is electrically connected to the gate of the switching element 30, and the data line 6a is electrically connected to the source of the switching element 30. The pixel electrode 9a is electrically connected to the drain of the switching element 30. The data line 6a is connected to the data line driving circuit 101 (see FIG. 2), and supplies the image signals D1, D2, D3,..., Dn supplied from the data line driving circuit 101 to the sub-pixel S. The scanning line 3a is connected to the scanning line driving circuit 104 (see FIG. 2), and supplies the scanning signals SC1, SC2,..., SCm supplied from the scanning line driving circuit 104 to each sub-pixel S.

データ線駆動回路１０１からデータ線６ａに供給される画像信号Ｄ１〜Ｄｎは、この順に線順次で供給してもよく、互いに隣り合う複数のデータ線６ａ同士に対してグループごとに供給してもよい。走査線駆動回路１０４は、走査線３ａに対して、走査信号ＳＣ１〜ＳＣｍを所定のタイミングでパルス的に線順次で供給する。   The image signals D1 to Dn supplied from the data line driving circuit 101 to the data lines 6a may be supplied line-sequentially in this order, or may be supplied in groups to a plurality of data lines 6a adjacent to each other. Good. The scanning line drive circuit 104 supplies the scanning signals SC1 to SCm to the scanning line 3a in a pulsed line-sequential manner at a predetermined timing.

電気光学装置１００は、スイッチング素子３０が走査信号ＳＣ１〜ＳＣｍの入力により一定期間だけオン状態とされることで、データ線６ａから供給される画像信号Ｄ１〜Ｄｎが所定のタイミングで液晶容量５０に書き込まれる。そして、液晶容量５０に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｄ１〜Ｄｎは、一定期間保持される。画像信号Ｄ１〜Ｄｎの周波数は例えば６０Ｈｚである。   In the electro-optical device 100, the image signals D1 to Dn supplied from the data lines 6a are supplied to the liquid crystal capacitor 50 at a predetermined timing by turning on the switching element 30 for a certain period by inputting the scanning signals SC1 to SCm. Written. The image signals D1 to Dn of a predetermined level written in the liquid crystal capacitor 50 are held for a certain period. The frequency of the image signals D1 to Dn is, for example, 60 Hz.

本実施形態では、保持された画像信号Ｄ１〜Ｄｎがリークするのを防止するため、複数のサブ画素Ｓの各々に液晶容量５０と並列に蓄積容量５５が接続されている。蓄積容量５５は、例えば、スイッチング素子３０のドレインと容量線３ｂとの間に設けられている。
本実施形態における画素回路を駆動制御する周辺回路は、データ線駆動回路１０１、および走査線駆動回路１０４を含んでいる。また、周辺回路は、上記画像信号をサンプリングしてデータ線６ａに供給するサンプリング回路、およびデータ線６ａに所定電圧レベルのプリチャージ信号を上記画像信号に先行して供給するプリチャージ回路を含むものとしてもよい。 In the present embodiment, a storage capacitor 55 is connected to each of the plurality of sub-pixels S in parallel with the liquid crystal capacitor 50 in order to prevent the held image signals D1 to Dn from leaking. The storage capacitor 55 is provided, for example, between the drain of the switching element 30 and the capacitor line 3b.
Peripheral circuits for driving and controlling the pixel circuits in the present embodiment include a data line driving circuit 101 and a scanning line driving circuit 104. Further, the peripheral circuit includes a sampling circuit that samples the image signal and supplies the data line 6a with a data signal, and a precharge circuit that supplies a precharge signal of a predetermined voltage level to the data line 6a prior to the image signal. It may be.

（第１レンズ２４の構成）
図５は、図２に示す電気光学装置１００の第１レンズ２４、および第２レンズ１４の断面構成を模式的に示す説明図である。図６は、図５に示す第１レンズ２４と画素Ｐとの平面的な位置関係を示す説明図である。なお、図６には、第１レンズ２４の中心Ｃ２４が分かりやすいように、第１レンズ２４のレンズ面において高さ位置が等しい部分を点線で表してある。 (Configuration of First Lens 24)
FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing a cross-sectional configuration of the first lens 24 and the second lens 14 of the electro-optical device 100 shown in FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a planar positional relationship between the first lens 24 and the pixel P shown in FIG. In FIG. 6, the portions at the same height on the lens surface of the first lens 24 are indicated by dotted lines so that the center C24 of the first lens 24 can be easily understood.

図５に示すように、素子基板１０は、第２基板１９の一方面１９ｓ側に、下層側遮光層８ａや配線（データ線６ａや走査線３ａ）等からなる遮光層１７、およびスイッチング素子３０の半導体層１ａが形成されており、半導体層１ａは、下層側遮光層８ａおよび遮光層１７と平面視で重なっている。このため、素子基板１０では、画素電極９ａと平面視で重なる領域のうち、下層側遮光層８ａおよび遮光層１７と平面視で重なる領域は、光を透過しない遮光領域１５ｂになっている。これに対して、画素電極９ａと平面視で重なる領域のうち、遮光層１７等と平面視で重ならない領域は光を透過する開口領域１５ａ（透光領域）になっている。開口領域１５ａを透過した光のみが画像の表示に寄与し、遮光領域１５ｂに向かう光は、画像の表示に寄与しない。従って、複数のサブ画素Ｓは各々、開口領域１５ａによって構成されており、平面視において、複数のサブ画素Ｓは各々、遮光層１７によって周りが囲まれている。   As shown in FIG. 5, the element substrate 10 includes, on one surface 19 s side of the second substrate 19, a light-shielding layer 17 formed of a lower light-shielding layer 8 a, wiring (data lines 6 a and scanning lines 3 a), and a switching element 30. Is formed, and the semiconductor layer 1a is overlapped with the lower light-shielding layer 8a and the light-shielding layer 17 in plan view. For this reason, in the element substrate 10, among the regions overlapping the pixel electrode 9 a in plan view, the regions overlapping the lower-side light-shielding layer 8 a and the light-shielding layer 17 in plan view are light-shielding regions 15 b that do not transmit light. On the other hand, of the regions that overlap with the pixel electrode 9a in plan view, the regions that do not overlap with the light shielding layer 17 and the like in plan view are aperture regions 15a (light transmitting regions) that transmit light. Only the light transmitted through the opening area 15a contributes to the display of the image, and the light traveling toward the light-shielding area 15b does not contribute to the display of the image. Therefore, each of the plurality of sub-pixels S is constituted by the opening region 15a, and each of the plurality of sub-pixels S is surrounded by the light shielding layer 17 in plan view.

本実施形態において、第１基板２９には、複数の画素Ｐ毎に正のパワーを有する第１レンズ２４が形成されている。図６に示すように、第１レンズ２４の頂部を中心Ｃ２４としたとき、中心Ｃ２４は、平面視で画素Ｐの中心ＣＰと一致している。第１レンズ２４は、例えば、隣り合う第１レンズ２４同士が部分的に接するように配列されている。本実施形態において、第１レンズ２４は、全周にわたって、隣りの第１レンズ２４と接している。   In the present embodiment, the first lens 24 having a positive power for each of the plurality of pixels P is formed on the first substrate 29. As shown in FIG. 6, when the top of the first lens 24 is the center C24, the center C24 coincides with the center CP of the pixel P in plan view. The first lenses 24 are arranged, for example, such that adjacent first lenses 24 are partially in contact with each other. In the present embodiment, the first lens 24 is in contact with the adjacent first lens 24 over the entire circumference.

第１レンズ２４を構成するにあたって、第１基板２９の一方面２９ｓには、凹曲面からなるレンズ面２９１が形成されている。かかる凹曲面（レンズ面２９１）は、第１レンズ２４の中心Ｃ２４に相当する位置を中心に第１基板２９の一方面２９ｓに対して等方性エッチングを行うことによって形成される。また、第１基板２９の一方面２９ｓには、透光性のレンズ層２４０および透光性の保護層２８が順に積層され、保護層２８に対して第１基板２９とは反対側に共通電極２１が形成されている。第１基板２９とレンズ層２４０とは屈折率が相違しており、レンズ面２９１およびレンズ層２４０は、第１レンズ２４を構成している。本実施形態において、レンズ層２４０の屈折率は、第１基板２９の屈折率より大である。例えば、第１基板２９は石英基板（シリコン酸化物、ＳｉＯ２）からなり、屈折率が１．４８であるのに対して、レンズ層２４０は、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなり、屈折率が１．５８〜１．６８である。それ故、第１レンズ２４は正のパワー（正の屈折力）を有している。かかる第１レンズ２４において、レンズ面２９１を構成する曲面の頂部が第１レンズ２４の中心Ｃ２４に相当する。 In forming the first lens 24, a lens surface 291 formed of a concave curved surface is formed on one surface 29s of the first substrate 29. The concave curved surface (lens surface 291) is formed by performing isotropic etching on one surface 29s of the first substrate 29 around a position corresponding to the center C24 of the first lens 24. On one surface 29 s of the first substrate 29, a light-transmitting lens layer 240 and a light-transmitting protective layer 28 are sequentially stacked, and a common electrode is provided on the opposite side of the protective layer 28 from the first substrate 29. 21 are formed. The first substrate 29 and the lens layer 240 have different refractive indexes, and the lens surface 291 and the lens layer 240 constitute the first lens 24. In the present embodiment, the refractive index of the lens layer 240 is larger than the refractive index of the first substrate 29. For example, the first substrate 29 is made of a quartz substrate (silicon oxide, SiO 2 ) and has a refractive index of 1.48, while the lens layer 240 is made of a silicon oxynitride film (SiON) and has a refractive index of Is 1.58 to 1.68. Therefore, the first lens 24 has positive power (positive refractive power). In the first lens 24, the top of the curved surface forming the lens surface 291 corresponds to the center C24 of the first lens 24.

（第２レンズ１４の構成）
図７は、図５に示す第２レンズ１４とサブ画素Ｓとの平面的な位置関係を示す説明図である。なお、図７には、第２レンズ１４の中心Ｃ１４が分かりやすいように、第２レンズ１４のレンズ面において高さ位置が等しい部分を点線で表してある。図５に示すように、本実施形態において、第２基板１９には、複数のサブ画素Ｓ毎に正のパワーを有する第２レンズ１４が設けられている。従って、第２レンズ１４は、画素電極９ａの各々に対して平面視で１対１の関係をもって重なっている。本実施形態において、第２レンズ１４は、下層側遮光層８ａおよび遮光層１７に対して第１基板２９とは反対側に設けられている。 (Configuration of the second lens 14)
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a planar positional relationship between the second lens 14 and the sub-pixel S shown in FIG. In FIG. 7, a portion at the same height position on the lens surface of the second lens 14 is indicated by a dotted line so that the center C14 of the second lens 14 is easily understood. As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the second substrate 19 is provided with a second lens 14 having a positive power for each of the plurality of sub-pixels S. Therefore, the second lens 14 overlaps each of the pixel electrodes 9a in a one-to-one relationship in plan view. In the present embodiment, the second lens 14 is provided on the opposite side of the first substrate 29 with respect to the lower light-shielding layer 8a and the light-shielding layer 17.

図７に示すように、画素Ｐでは、サブ画素ＳＲ、サブ画素ＳＧ、およびサブ画素ＳＢがＸ方向に順に配列されており、サブ画素ＳＧは、画素ＰのＸ方向の中心に位置する。かかる配列に対応して、サブ画素ＳＧに設けられた第２レンズ１４の頂部である中心Ｃ１４Ｇは、平面視でサブ画素ＳＧの中心ＣＳＧと一致している。これに対して、サブ画素ＳＲに設けられた第２レンズ１４の頂部である中心Ｃ１４Ｒは、平面視でサブ画素ＳＲの中心ＣＳＲから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。本実施形態では、サブ画素ＳＲに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｒは、平面視でサブ画素ＳＲの中心ＣＳＲからＸ方向においてサブ画素ＳＧが位置する側にずれている。また、サブ画素ＳＢに設けられた第２レンズ１４の頂部である中心Ｃ１４Ｂは、平面視でサブ画素ＳＢの中心ＣＳＢから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。本実施形態では、サブ画素ＳＢに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｂは、平面視でサブ画素ＳＢの中心ＣＳＢからＸ方向においてサブ画素ＳＧが位置する側にずれている。   As shown in FIG. 7, in the pixel P, the sub-pixel SR, the sub-pixel SG, and the sub-pixel SB are sequentially arranged in the X direction, and the sub-pixel SG is located at the center of the pixel P in the X direction. Corresponding to this arrangement, the center C14G, which is the top of the second lens 14 provided in the sub-pixel SG, matches the center CSG of the sub-pixel SG in plan view. On the other hand, the center C14R, which is the top of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR, is shifted from the center CSR of the sub-pixel SR toward the center CP of the pixel P in plan view. In the present embodiment, the center C14R of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR is shifted from the center CSR of the sub-pixel SR in the X direction to the side where the sub-pixel SG is located in the X direction in plan view. The center C14B, which is the top of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB, is shifted from the center CSB of the sub-pixel SB toward the center CP of the pixel P in a plan view. In the present embodiment, the center C14B of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB is shifted from the center CSB of the sub-pixel SB in the X direction to the side where the sub-pixel SG is located in the X direction in plan view.

本実施形態において、サブ画素Ｓは、Ｙ方向に長辺が延在する長方形の平面形状を有している。このため、いずれのサブ画素Ｓに設けられた第２レンズ１４も、レンズ面が非球面になっている。また、隣り合うサブ画素Ｓに設けられた第２レンズ１４同士は接している。   In the present embodiment, the sub-pixel S has a rectangular planar shape whose long side extends in the Y direction. For this reason, the second lens 14 provided in each of the sub-pixels S has an aspheric lens surface. The second lenses 14 provided in the adjacent sub-pixels S are in contact with each other.

第２レンズ１４を構成するにあたって、第２基板１９の一方面１９ｓには、凹曲面からなるレンズ面１９１が形成されている。かかる凹曲面（レンズ面１９１）は、第２レンズ１４の中心Ｃ１４に相当する位置を中心に第２基板１９の一方面１９ｓに対して等方性エッチングを行うことによって形成される。また、第２基板１９の一方面１９ｓには、透光性のレンズ層１４０が積層されている。第２基板１９は、例えば石英基板（シリコン酸化物、ＳｉＯ２）からなり、レンズ層１４０は、例えば、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなる。それ故、第２レンズ１４は正のパワー（正の屈折力）を有している。かかる第２レンズ１４において、レンズ面１９１を構成する曲面の頂部が第２レンズ１４の中心Ｃ１４に相当する。 In forming the second lens 14, a lens surface 191 having a concave curved surface is formed on one surface 19 s of the second substrate 19. The concave curved surface (lens surface 191) is formed by performing isotropic etching on one surface 19s of the second substrate 19 around a position corresponding to the center C14 of the second lens 14. On one surface 19s of the second substrate 19, a light-transmitting lens layer 140 is laminated. The second substrate 19 is made of, for example, a quartz substrate (silicon oxide, SiO 2 ), and the lens layer 140 is made of, for example, a silicon oxynitride film (SiON). Therefore, the second lens 14 has positive power (positive refractive power). In the second lens 14, the top of the curved surface forming the lens surface 191 corresponds to the center C <b> 14 of the second lens 14.

（本実施形態の作用および主な効果）
図８は、図５に示す電気光学装置１００における入射光および出射光の説明図である。図９は、本発明の参考例に係る電気光学装置における入射光および出射光の説明図である。図８および図９では、対向基板２０および素子基板１０の構成模式的に示してあり、共通電極２１および画素電極９ａ等の図示を省略してある。また、図８および図９では、緑色光束（Ｇ）を実線で示し、赤色光束（Ｂ）を一点鎖線で示し、青色光束（Ｂ）を二点鎖線で示してある。 (Operation and main effects of the present embodiment)
FIG. 8 is an explanatory diagram of incident light and output light in the electro-optical device 100 shown in FIG. FIG. 9 is an explanatory diagram of incident light and output light in the electro-optical device according to the reference example of the invention. 8 and 9, the configuration of the counter substrate 20 and the element substrate 10 is schematically shown, and the illustration of the common electrode 21, the pixel electrode 9a, and the like is omitted. 8 and 9, the green light flux (G) is indicated by a solid line, the red light flux (B) is indicated by a one-dot chain line, and the blue light flux (B) is indicated by a two-dot chain line.

本実施形態の投射型表示装置１０００に用いた電気光学装置１００では、主波長が異なる色光束（赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ））が異なる入射角で第１基板２９に入射すると、各色光束は、画素Ｐ毎に設けた第１レンズ２４に異なる入射角で入射し、色光束毎に第１レンズ２４から異なる方向に出射される。その結果、いずれの画素Ｐでも、赤色光束（Ｒ）は、電気光学層８０を通ってサブ画素ＳＲの開口領域１５ａに入射し、緑色光束（Ｇ）は、電気光学層８０を通ってサブ画素ＳＧの開口領域１５ａに入射し、青色光束（Ｂ）は、電気光学層８０を通ってサブ画素ＳＢの開口領域１５ａに入射する。その際、色光束は、遮光層１７および下層側遮光層８ａの付近で集光した後、発散光として第２基板１９から出射される。従って、赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、および青色光束（Ｂ）を各々、サブ画素ＳＲ、ＳＧ、ＳＢで変調し、第２基板１９から出射することができる。かかる変調は複数の画素Ｐのいずれにおいても行われる。それ故、カラーフィルターや複数の電気光学装置を設けなくても、図１に示す投射光学系１６００から出射された画像光によって明るいカラー画像を表示することができる。   In the electro-optical device 100 used in the projection display device 1000 of the present embodiment, color light beams (red light beam (R), green light beam (G), and blue light beam (B)) having different main wavelengths are incident at different incident angles. When incident on one substrate 29, each color light beam enters the first lens 24 provided for each pixel P at a different incident angle, and is emitted from the first lens 24 in a different direction for each color light beam. As a result, in any pixel P, the red luminous flux (R) enters the opening region 15a of the sub-pixel SR through the electro-optic layer 80, and the green luminous flux (G) passes through the electro-optic layer 80 and enters the sub-pixel The blue luminous flux (B) enters the opening region 15a of the SG and passes through the electro-optic layer 80 to enter the opening region 15a of the sub-pixel SB. At this time, the color luminous flux is converged in the vicinity of the light shielding layer 17 and the lower light shielding layer 8a, and then emitted from the second substrate 19 as divergent light. Therefore, the red light flux (R), the green light flux (G), and the blue light flux (B) can be modulated by the sub-pixels SR, SG, and SB, respectively, and emitted from the second substrate 19. Such modulation is performed in any of the plurality of pixels P. Therefore, a bright color image can be displayed by the image light emitted from the projection optical system 1600 shown in FIG. 1 without providing a color filter and a plurality of electro-optical devices.

また、本実施形態では、サブ画素Ｓ毎に第２レンズ１４を第２基板１９に設けたため、サブ画素ＳＲ、ＳＧ、ＳＢから出射される光束の出射角度範囲を狭めることができる。従って、例えば、第１基板２９および第１レンズ２４に対して垂直に入射した色光束（Ｇ）がサブ画素ＳＧから出射された際、表示された画像の周辺で緑色光が光量不足となることを防止することができる。   Further, in the present embodiment, since the second lens 14 is provided on the second substrate 19 for each sub-pixel S, the emission angle range of the light beam emitted from the sub-pixels SR, SG, SB can be narrowed. Therefore, for example, when the color light beam (G) perpendicularly incident on the first substrate 29 and the first lens 24 is emitted from the sub-pixel SG, the amount of green light becomes insufficient around the displayed image. Can be prevented.

また、本実施形態では、画素ＰのＸ方向の一方端に位置するサブ画素ＳＲに設けた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｒは、平面視でサブ画素ＳＲの中心ＣＳＲから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。また、画素ＰのＸ方向の他方端に位置するサブ画素ＳＢに設けた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｂは、平面視でサブ画素ＳＢの中心ＣＳＢから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。従って、第１基板２９および第１レンズ２４に対して斜め方向から入射した赤色光束（Ｂ）、および青色光束（Ｂ）がサブ画素ＳＲ、ＳＢから出射された際、赤色光束（Ｂ）、および青色光束（Ｂ）が装置光軸Ｌ０（図１参照）から大きく離間する方向に進行することを防止することができる。それ故、図１に示す投射光学系１６００に用いるレンズの有効口径を小さくすることができる等、投射光学系１６００負荷を軽減することができるので、投射光学系１６００の構成を簡素化できる等の利点がある。   In the present embodiment, the center C14R of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR located at one end in the X direction of the pixel P is directed from the center CSR of the sub-pixel SR to the center CP of the pixel P in plan view. It is out of alignment. Further, the center C14B of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB located at the other end of the pixel P in the X direction is shifted from the center CSB of the sub-pixel SB toward the center CP of the pixel P in a plan view. Therefore, when the red light flux (B) and the blue light flux (B) that are obliquely incident on the first substrate 29 and the first lens 24 are emitted from the sub-pixels SR and SB, the red light flux (B) and It is possible to prevent the blue light beam (B) from traveling in a direction far away from the device optical axis L0 (see FIG. 1). Therefore, the load on the projection optical system 1600 can be reduced, for example, the effective aperture of the lens used for the projection optical system 1600 shown in FIG. 1 can be reduced, and the configuration of the projection optical system 1600 can be simplified. There are advantages.

これに対して、図９に示す参考例のように、サブ画素ＳＲに設けた第２レンズ１４の中心を、平面視でサブ画素ＳＲの中心と一致させ、サブ画素ＳＢに設けた第２レンズ１４の中心を、平面視でサブ画素ＳＢの中心と一致させた場合、第１基板２９および第１レンズ２４に対して斜め方向から入射した赤色光束（Ｂ）、および青色光束（Ｂ）がサブ画素ＳＲ、ＳＢから出射された際、赤色光束（Ｂ）、および青色光束（Ｂ）が装置光軸Ｌ０（図１参照）から大きく離間する方向に進行する。従って、図１に示す投射光学系１６００に用いるレンズの有効口径を大きくする必要がある等、投射光学系１６００負荷が大きい。   On the other hand, as in the reference example shown in FIG. 9, the center of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR is made to coincide with the center of the sub-pixel SR in plan view, and the second lens 14 provided in the sub-pixel SB is provided. When the center of 14 is aligned with the center of the sub-pixel SB in plan view, the red light beam (B) and the blue light beam (B) that have entered the first substrate 29 and the first lens 24 from an oblique direction are sub-pixels. When emitted from the pixels SR and SB, the red light beam (B) and the blue light beam (B) travel in a direction largely separated from the device optical axis L0 (see FIG. 1). Therefore, the load on the projection optical system 1600 is large, for example, it is necessary to increase the effective aperture of the lens used in the projection optical system 1600 shown in FIG.

［実施形態２］
図１０は、本発明の実施形態２に係る電気光学装置１００の一態様の説明図であり、第２レンズ１４とサブ画素Ｓとの平面的な位置関係を示してある。図１１は、図１０に示す第２レンズ１４等の断面構成を模式的に示す説明図である。なお、本実施形態、および後述する実施形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、対応する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。 [Embodiment 2]
FIG. 10 is an explanatory diagram of one aspect of the electro-optical device 100 according to Embodiment 2 of the present invention, and shows a planar positional relationship between the second lens 14 and the sub-pixel S. FIG. 11 is an explanatory diagram schematically showing a cross-sectional configuration of the second lens 14 and the like shown in FIG. Note that the basic configuration of this embodiment and the later-described embodiment is the same as that of the first embodiment, and the corresponding components are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.

図１０および図１１に示すように、本実施形態でも、実施形態１と同様、第１基板２９には、複数の画素Ｐ毎に正のパワーを有する第１レンズ２４が形成されている。また、第２基板１９には、複数のサブ画素Ｓ毎に正のパワーを有する第２レンズ１４が形成されている。ここで、サブ画素Ｓは、画素Ｐの中心ＣＰの周りに配列されている。本実施形態では、画素Ｐの中心ＣＰの周りに４つのサブ画素Ｓが配列されている。このため、画素Ｐでは、Ｘ方向およびＹ方向の各々において、サブ画素Ｓが２つずつ配列されている。４つのサブ画素Ｓは、赤色光束（Ｒ）に対応するサブ画素ＳＲ（第１サブ画素）、緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素ＳＧ（第２サブ画素）、青色光束（Ｂ）に対応するサブ画素ＳＢ（第３サブ画素）、および緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素ＳＧ０（第４サブ画素）である。すなわち、画素Ｐには、緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素Ｓが２つ配置されている。本実施形態において、緑色光束（Ｇ）に対応する２つのサブ画素Ｓは画素Ｐの対角位置に配置されている。従って、図１に示す色分離光学系１０１０は、装置光軸Ｌ０周りに赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、青色光束（Ｂ）、および緑色光束（Ｇ）に分離するように構成される。それ故、赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、青色光束（Ｂ）、および緑色光束（Ｇ）はいずれも、第１基板２９および第１レンズ２４に対して斜め方向から入射する。   As shown in FIGS. 10 and 11, in the present embodiment, as in the first embodiment, a first lens 24 having a positive power is formed for each of a plurality of pixels P on a first substrate 29. Further, on the second substrate 19, a second lens 14 having a positive power is formed for each of the plurality of sub-pixels S. Here, the sub-pixels S are arranged around the center CP of the pixel P. In the present embodiment, four sub-pixels S are arranged around the center CP of the pixel P. For this reason, in the pixel P, two sub-pixels S are arranged in each of the X direction and the Y direction. The four sub-pixels S correspond to a sub-pixel SR (first sub-pixel) corresponding to a red luminous flux (R), a sub-pixel SG (second sub-pixel) corresponding to a green luminous flux (G), and a blue luminous flux (B). Sub-pixel SB (third sub-pixel), and sub-pixel SG0 (fourth sub-pixel) corresponding to green luminous flux (G). That is, two sub-pixels S corresponding to the green luminous flux (G) are arranged in the pixel P. In the present embodiment, two sub-pixels S corresponding to the green luminous flux (G) are arranged at diagonal positions of the pixel P. Therefore, the color separation optical system 1010 shown in FIG. 1 is configured to separate the light beam into a red light beam (R), a green light beam (G), a blue light beam (B), and a green light beam (G) around the device optical axis L0. You. Therefore, the red light flux (R), the green light flux (G), the blue light flux (B), and the green light flux (G) all enter the first substrate 29 and the first lens 24 from an oblique direction.

このように構成した電気光学装置１００では、サブ画素ＳＲに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｒは、平面視でサブ画素ＳＲの中心ＣＳＲから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。サブ画素ＳＧに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｇは、平面視でサブ画素ＳＧの中心ＣＳＧから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。サブ画素ＳＢに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｂは、平面視でサブ画素ＳＢの中心ＣＳＢから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。サブ画素ＳＧ０に設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｇ０は、平面視でサブ画素ＳＧ０の中心ＣＳＧ０から画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。   In the electro-optical device 100 configured as above, the center C14R of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR is shifted from the center CSR of the sub-pixel SR toward the center CP of the pixel P in a plan view. The center C14G of the second lens 14 provided in the sub-pixel SG is shifted from the center CSG of the sub-pixel SG toward the center CP of the pixel P in plan view. The center C14B of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB is shifted from the center CSB of the sub-pixel SB toward the center CP of the pixel P in plan view. The center C14G0 of the second lens 14 provided in the sub-pixel SG0 is shifted from the center CSG0 of the sub-pixel SG0 toward the center CP of the pixel P in plan view.

従って、赤色光束（Ｒ）、緑色光束（Ｇ）、青色光束（Ｂ）、および緑色光束（Ｇ）はいずれも、第１基板２９および第１レンズ２４に対して斜め方向から入射する場合でも、赤色光束（Ｂ）、緑色光束（Ｒ）、および青色光束（Ｂ）が各サブ画素Ｓから出射された際、赤色光束（Ｂ）、緑色光束（Ｒ）、および青色光束（Ｂ）が装置光軸Ｌ０から大きく離間する方向に進行することを防止することができる。それ故、図１に示す投射光学系１６００に用いるレンズの有効口径を小さくすることができる等、実施形態１と同様な効果を奏する。   Therefore, even when all of the red light beam (R), the green light beam (G), the blue light beam (B), and the green light beam (G) enter the first substrate 29 and the first lens 24 from an oblique direction, When the red light flux (B), the green light flux (R), and the blue light flux (B) are emitted from each sub-pixel S, the red light flux (B), the green light flux (R), and the blue light flux (B) are changed to the device light. It can be prevented from proceeding in a direction far away from the axis L0. Therefore, an effect similar to that of the first embodiment can be obtained, for example, the effective aperture of the lens used in the projection optical system 1600 shown in FIG. 1 can be reduced.

［実施形態２の変形例］
図１２は、本発明の実施形態２の変形例に係る電気光学装置１００の一態様の説明図であり、第２レンズ１４とサブ画素Ｓとの平面的な位置関係を示してある。図１２に示すように、本実施形態では、実施形態２と同様、画素Ｐの中心ＣＰの周りに４つのサブ画素Ｓが配列されている。本実施形態において、赤色光束（Ｒ）に対応するサブ画素ＳＲ（第１サブ画素）と、青色光束（Ｂ）に対応するサブ画素ＳＢ（第３サブ画素）とがＹ方向で隣り合っており、サブ画素ＳＲおよび青色光束（Ｂ）に対してＸ方向で隣り合う位置に緑色光束（Ｇ）に対応するサブ画素ＳＧ（第２サブ画素）、およびサブ画素ＳＧ０（第４サブ画素）が配置されている。従って、図１に示す色分離光学系１０１０は、赤色光束（Ｒ）と青色光束（Ｂ）とをＹ方向に分離するとともに、緑色光束（Ｇ）を赤色光束（Ｒ）および青色光束（Ｂ）に対してＸ方向に分離し、さらに、緑色光束（Ｇ）をＹ方向に２つの分離するように構成される。 [Modification of Second Embodiment]
FIG. 12 is an explanatory diagram of one aspect of an electro-optical device 100 according to a modification of the second embodiment of the present invention, and shows a planar positional relationship between the second lens 14 and the sub-pixel S. As shown in FIG. 12, in the present embodiment, as in the second embodiment, four sub-pixels S are arranged around the center CP of the pixel P. In the present embodiment, the sub-pixel SR (first sub-pixel) corresponding to the red light flux (R) and the sub-pixel SB (third sub-pixel) corresponding to the blue light flux (B) are adjacent to each other in the Y direction. , A sub-pixel SG (second sub-pixel) and a sub-pixel SG0 (fourth sub-pixel) corresponding to the green light flux (G) are arranged at positions adjacent to the sub-pixel SR and the blue light flux (B) in the X direction. Have been. Therefore, the color separation optical system 1010 shown in FIG. 1 separates the red light beam (R) and the blue light beam (B) in the Y direction, and converts the green light beam (G) into the red light beam (R) and the blue light beam (B). Are separated in the X direction, and the green light flux (G) is further separated into two in the Y direction.

本実施形態でも、実施形態２と同様、サブ画素ＳＲに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｒは、平面視でサブ画素ＳＲの中心ＣＳＲからＸ方向においてサブ画素ＳＧが位置する側にずれている。サブ画素ＳＧに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｇは、平面視でサブ画素ＳＧの中心ＣＳＧから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。サブ画素ＳＢに設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｂは、平面視でサブ画素ＳＢの中心ＣＳＢから画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。サブ画素ＳＧ０に設けられた第２レンズ１４の中心Ｃ１４Ｇ０は、平面視でサブ画素ＳＧ０の中心ＣＳＧ０から画素Ｐの中心ＣＰに向けてずれている。従って、本実施形態でも、実施形態２と同様な効果を奏する。   Also in the present embodiment, as in the second embodiment, the center C14R of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR is shifted from the center CSR of the sub-pixel SR in a plan view to the side where the sub-pixel SG is located in the X direction. I have. The center C14G of the second lens 14 provided in the sub-pixel SG is shifted from the center CSG of the sub-pixel SG toward the center CP of the pixel P in plan view. The center C14B of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB is shifted from the center CSB of the sub-pixel SB toward the center CP of the pixel P in plan view. The center C14G0 of the second lens 14 provided in the sub-pixel SG0 is shifted from the center CSG0 of the sub-pixel SG0 toward the center CP of the pixel P in plan view. Therefore, the present embodiment also has the same effects as the second embodiment.

［実施形態３］
図１３は、本発明の実施形態３に係る電気光学装置１００の一態様の説明図であり、電気光学装置１００の断面構造を模式的に示してある。図１３に示すように、本実施形態でも、実施形態１と同様、第１基板２９には、複数の画素Ｐ毎に正のパワーを有する第１レンズ２４が形成されている。また、第２基板１９には、複数のサブ画素Ｓ毎に正のパワーを有する第２レンズ１４が形成されている。本実施形態において、第１基板２９には、画素Ｐ毎に正のパワーを有する第３レンズ２５が第１レンズ２４と平面視で重なるように設けられている。かかる態様によれば、各サブ画素Ｓに入射する光束を絞ることができるので、第２基板１９から出射される光束を絞ることができる。従って、投射光学系１６００負荷を軽減することができるので、投射光学系１６００の構成を簡素化することができる。 [Embodiment 3]
FIG. 13 is an explanatory diagram of one aspect of the electro-optical device 100 according to Embodiment 3 of the present invention, and schematically illustrates a cross-sectional structure of the electro-optical device 100. As shown in FIG. 13, in the present embodiment, as in the first embodiment, a first lens 24 having a positive power for each of a plurality of pixels P is formed on a first substrate 29. Further, on the second substrate 19, a second lens 14 having a positive power is formed for each of the plurality of sub-pixels S. In the present embodiment, a third lens 25 having a positive power for each pixel P is provided on the first substrate 29 so as to overlap the first lens 24 in a plan view. According to such an embodiment, the light beam incident on each sub-pixel S can be reduced, so that the light beam emitted from the second substrate 19 can be reduced. Therefore, the load on the projection optical system 1600 can be reduced, and the configuration of the projection optical system 1600 can be simplified.

なお、本実施形態では、実施形態１に対して第３レンズ２５を追加したが、実施形態２に対して第３レンズ２５を追加してもよい。   In the present embodiment, the third lens 25 is added to the first embodiment, but the third lens 25 may be added to the second embodiment.

［実施形態４］
図１４は、本発明の実施形態４に係る電気光学装置１００の一態様の説明図であり、第２レンズ１４とサブ画素Ｓとの平面的な位置関係を示してある。実施形態１、２では、第２レンズ１４の画素Ｐの中心ＣＰへのずれ量が複数のサブ画素Ｓで等しかったが、本実施形態では、第２レンズ１４の画素Ｐの中心ＣＰへのずれ量が複数のサブ画素Ｓで異なっている。例えば、サブ画素ＳＲに設けられた第２レンズ１４の画素Ｐの中心ＣＰへのずれ量は、サブ画素ＳＢに設けられた第２レンズ１４の画素Ｐの中心ＣＰへのずれ量より小さい。従って、波長分散の影響で、赤色光束（Ｒ）の第１レンズ２４による偏向度合が、青色光束（Ｂ）の第１レンズ２４による偏向度合より小さい場合でも、第２レンズ１４によって、赤色光束（Ｒ）および青色光束（Ｂ）を適正な方向に出射することができる。 [Embodiment 4]
FIG. 14 is an explanatory diagram of one aspect of the electro-optical device 100 according to Embodiment 4 of the present invention, and shows a planar positional relationship between the second lens 14 and the sub-pixel S. In the first and second embodiments, the shift amount of the pixel P of the second lens 14 to the center CP is equal for the plurality of sub-pixels S. In the present embodiment, the shift amount of the pixel P of the second lens 14 to the center CP is equal. The amount differs among the plurality of sub-pixels S. For example, the shift amount of the second lens 14 provided in the sub-pixel SR to the center CP of the pixel P is smaller than the shift amount of the second lens 14 provided in the sub-pixel SB to the center CP. Therefore, even when the degree of deflection of the red light flux (R) by the first lens 24 is smaller than the degree of deflection of the blue light flux (B) by the first lens 24 due to the influence of the wavelength dispersion, the red light flux ( R) and the blue luminous flux (B) can be emitted in appropriate directions.

なお、本実施形態では、実施形態１に対してオフセット量をサブ画素Ｓによって相違させる構成を追加したが、実施形態２に対して本実施形態の構成を採用してもよい   Note that, in the present embodiment, a configuration in which the offset amount differs depending on the sub-pixel S is added to the first embodiment, but the configuration of the present embodiment may be adopted in the second embodiment.

（他の電子機器）
上記実施形態では、「第１サブ画素」がサブ画素ＳＲであり、「第２サブ画素」がサブ画素ＳＧであり、「第３サブ画素」がサブ画素ＳＢであったが、「第１サブ画素」、「第２サブ画素」、および「第３サブ画素」が対応する色光束を上記の組み合せに限らず、例えば、「第２サブ画素」が青色光束（Ｂ）に対応するサブ画素ＳＢ等であってもよい。 (Other electronic devices)
In the above-described embodiment, the “first sub-pixel” is the sub-pixel SR, the “second sub-pixel” is the sub-pixel SG, and the “third sub-pixel” is the sub-pixel SB. The color luminous flux corresponding to the “pixel”, the “second sub-pixel”, and the “third sub-pixel” is not limited to the above combination. For example, the sub-pixel SB corresponding to the “second sub-pixel” corresponding to the blue luminous flux (B) And so on.

本発明を適用した電気光学装置１００を備えた電子機器は、スクリーン１１００などに拡大して投射される投射型表示装置１０００に限定されない。例えば、投射型のＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）やＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等の電子機器に用いてもよい。   The electronic apparatus including the electro-optical device 100 to which the present invention is applied is not limited to the projection display device 1000 that projects an enlarged image on the screen 1100 or the like. For example, it may be used for an electronic device such as a projection type HUD (head-up display) or HMD (head-mounted display).

３ａ…走査線、６ａ…データ線、９ａ…画素電極、１０…素子基板、１０ａ…表示領域、１４…第２レンズ、１５ａ…開口領域、１５ｂ…遮光領域、１７、２７…遮光層、１９…第２基板、２０…対向基板、２１…共通電極、２４…第１レンズ、２５…第３レンズ、２９…第１基板、３０…スイッチング素子、５０…液晶容量、８０…電気光学層、１００…電気光学装置、１４０、２４０…レンズ層、１９１、２９１…レンズ面、１０００…投射型表示装置、１００１…光源ユニット、１００２…光源、１００３…第１コリメーターレンズ、１００４…第２コリメーターレンズ、１００５…偏光変換ユニット、１００６…第１レンズアレイ、１００７…第２レンズアレイ、１００８…偏光変換素子、１００９…重畳レンズ、１０１０…色分離光学系、１０１１、１０１２…ダイクロイックミラー、１０１３…反射ミラー、１０１４…投射レンズ、１１００…スクリーン、１５００…照明装置、１６００…投射光学系。Ｃ１４、Ｃ１４Ｒ、Ｃ１４Ｂ、Ｃ１４Ｇ、Ｃ１４Ｇ０…第２レンズの中心、Ｃ２４…第１レンズの中心、ＣＰ…画素の中心、ＣＳＢ、ＣＳＧ、ＣＳＧ０、ＣＳＲ…サブ画素の中心、Ｌ０…装置光軸、Ｐ…画素、Ｓ、ＳＢ、ＳＧ、ＳＧ０、ＳＲ…サブ画素。 3a: scanning line, 6a: data line, 9a: pixel electrode, 10: element substrate, 10a: display area, 14: second lens, 15a: opening area, 15b: light shielding area, 17, 27: light shielding layer, 19 ... 2nd substrate, 20 counter substrate, 21 common electrode, 24 first lens, 25 third lens, 29 first substrate, 30 switching element, 50 liquid crystal capacitor, 80 electro-optical layer, 100 Electro-optical device, 140, 240: lens layer, 191, 291: lens surface, 1000: projection display device, 1001: light source unit, 1002: light source, 1003: first collimator lens, 1004: second collimator lens, 1005: polarization conversion unit, 1006: first lens array, 1007: second lens array, 1008: polarization conversion element, 1009: superimposed lens, 1010: color separation Manabu system, 1011, 1012 ... dichroic mirror, 1013 ... reflecting mirror, 1014 ... projection lens 1100 ... screen, 1500 ... lighting device 1600 ... projection optical system. C14, C14R, C14B, C14G, C14G0: Center of second lens, C24: Center of first lens, CP: Center of pixel, CSB, CSG, CSG0, CSR: Center of subpixel, L0: Optical axis of device, P ... pixels, S, SB, SG, SG0, SR ... sub-pixels.

Claims (9)

第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学層と、を有し、
前記第１基板には、第１サブ画素および第２サブ画素を含む複数のサブ画素からなる画素毎に正のパワーを有する第１レンズが設けられ、
前記第２基板には、前記サブ画素毎に正のパワーを有する第２レンズが設けられ、
前記第１サブ画素に設けられた前記第２レンズの中心は、平面視で前記第１サブ画素の中心から前記画素の中心に向けてずれていることを特徴とする電気光学装置。 A first substrate, a second substrate facing the first substrate, and an electro-optic layer provided between the first substrate and the second substrate;
A first lens having a positive power for each pixel including a plurality of sub-pixels including a first sub-pixel and a second sub-pixel is provided on the first substrate;
A second lens having a positive power for each of the sub-pixels is provided on the second substrate;
The electro-optical device according to claim 1, wherein a center of the second lens provided in the first sub-pixel is shifted from a center of the first sub-pixel toward a center of the pixel in a plan view. 請求項１に記載の電気光学装置において、
前記第２基板には、平面視で前記複数のサブ画素を各々囲む遮光層が設けられ、
前記第２レンズは、前記遮光層に対して前記第２基板とは反対側に設けられていることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 1,
The second substrate is provided with a light-shielding layer that surrounds each of the plurality of sub-pixels in plan view,
The electro-optical device according to claim 1, wherein the second lens is provided on a side opposite to the second substrate with respect to the light shielding layer. 請求項１または２に記載の電気光学装置において、
前記複数のサブ画素には、第３サブ画素が含まれており、
前記第３サブ画素に設けられた前記第２レンズの中心は、平面視で前記第３サブ画素の中心から前記画素の中心に向けてずれていることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 1, wherein
The plurality of sub-pixels include a third sub-pixel,
An electro-optical device, wherein a center of the second lens provided in the third sub-pixel is shifted from a center of the third sub-pixel toward a center of the pixel in a plan view. 請求項３に記載の電気光学装置において、
前記第１サブ画素と前記第３サブ画素とでは、前記第２レンズの中心の前記画素の中心に向けてのずれ量が異なることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 3,
The electro-optical device according to claim 1, wherein the first sub-pixel and the third sub-pixel have different amounts of shift of the center of the second lens toward the center of the pixel. 請求項３または４に記載の電気光学装置において、
前記第１サブ画素、前記第２サブ画素、および前記第３サブ画素は、直線的に順に配置されており、
前記第２サブ画素に設けられた前記第２レンズの中心は、平面視で前記第２サブ画素の中心と一致していることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 3, wherein
The first sub-pixel, the second sub-pixel, and the third sub-pixel are linearly arranged in order,
The electro-optical device according to claim 1, wherein a center of the second lens provided in the second sub-pixel coincides with a center of the second sub-pixel in a plan view. 請求項３または４に記載の電気光学装置において、
前記第１サブ画素、前記第２サブ画素、および前記第３サブ画素は、前記画素の中心周りに順に配置されており、
前記第２サブ画素に設けられた前記第２レンズの中心は、平面視で前記第２サブ画素の中心から前記画素の中心に向けてずれていることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 3, wherein
The first sub-pixel, the second sub-pixel, and the third sub-pixel are sequentially arranged around a center of the pixel,
The electro-optical device according to claim 1, wherein a center of the second lens provided in the second sub-pixel is shifted from a center of the second sub-pixel toward a center of the pixel in a plan view. 請求項６に記載の電気光学装置において、
前記複数のサブ画素は、前記画素の中心周りに４つ配置されていることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 6,
4. The electro-optical device according to claim 1, wherein the plurality of sub-pixels are arranged four around the center of the pixel. 請求項１から７までの何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記第１基板には、前記画素毎に正のパワーを有する第３レンズが前記第１レンズと平面視で重なるように設けられていることを特徴とする電気光学装置。 The electro-optical device according to any one of claims 1 to 7,
The electro-optical device according to claim 1, wherein a third lens having a positive power for each pixel is provided on the first substrate so as to overlap the first lens in a plan view. 請求項１から８までの何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
主波長が異なる色光束毎に前記第１レンズに対する入射角が異なる照明光を前記第１基板に対して前記第２基板とは反対側から照射する照明装置と、
前記第２基板から前記第１基板とは反対側に向けて出射された変調光を投射する投射光学系と、
を有することを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to any one of claims 1 to 8,
An illumination device that irradiates illumination light having a different incident angle to the first lens for each color light beam having a different main wavelength from the side opposite to the second substrate with respect to the first substrate;
A projection optical system that projects modulated light emitted from the second substrate toward the opposite side to the first substrate;
An electronic device comprising:
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