JP2020034391A - 超音波検査装置及び超音波検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】方位分解能を高めると共に、検出感度を高めることができる超音波検査装置及び超音波検査方法を提供する。【解決手段】超音波検査装置は、被検体1との間に空気が介在した状態で配置された送信用探触子11及び受信用探触子12と、高周波数f1,f2の波形信号を生成して送信用探触子11に出力する送信器13とを備える。送信用探触子11は、送信器13からの波形信号が印加されて高周波数f1,f2の超音波を発生する振動子18と、空気よりも大きい音響的非線形パラメータを有し、高周波数f1,f2の超音波が通過する際にそれらを非線形変換することで、高周波数f1と高周波数f2の差分である低周波数f3の超音波を生成して被検体1に送信する遅延材19とを備える。受信用探触子12は、被検体1を透過した低周波数f3の超音波を受信する。【選択図】図1
Description
本発明は、被検体の欠陥を検出する超音波検査装置及び超音波検査方法に関する。
被検体の欠陥を検出する非破壊検査方法の一つとして、超音波検査方法がある。例えば、送信用探触子から被検体に超音波を送信し、被検体を透過した超音波を受信用探触子で受信し、受信した超音波の振幅に基づいて欠陥の有無を判定する。このとき、好ましくは、探触子の位置(言い換えれば、被検体における超音波の透過位置)毎に超音波の振幅を色調で示す探傷画像を生成し、この探傷画像を表示する。
一般的な超音波検査方法では、探触子と被検体の間に接触媒質(詳細には、例えば水など)が介在した状態で超音波を伝播する。この方法は、製品の製造ラインのインライン検査(自動検査)に適用できない。また、被検体が接触媒質を嫌うもの(詳細には、例えば半導体部品など)であれば適用できない。そこで、探触子と被検体の間に空気が介在した状態で超音波を伝播する方法を採用することが考えられる(例えば特許文献1参照)。
特許文献1に記載の方法では、空気中を伝播する超音波の減衰を抑えるために(ひいては、欠陥の検出感度を高めるために)、超音波の周波数を例えば数百kHz程度と低くする。しかし、低周波数の超音波は高周波数の超音波と比べて拡散するため、方位分解能が低下する。すなわち、方位分解能と検出感度を両立させることができない。
本発明の目的は、方位分解能を高めると共に、検出感度を高めることができる超音波検査装置及び超音波検査方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、被検体との間に空気が介在した状態で、前記被検体に超音波を送信する送信用探触子と、前記被検体との間に空気が介在した状態で、前記被検体を透過した超音波を受信する受信用探触子と、を備えた超音波検査装置であって、第1の高周波数の波形信号及び前記第1の高周波数とは異なる第2の高周波数の波形信号、又はそれらを合成した波形信号を生成して前記送信用探触子に出力する送信器を備え、前記送信用探触子は、前記第1の高周波数の波形信号及び前記第2の高周波数の波形信号又はそれらを合成した波形信号が印加されて、前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波を発生する振動子と、空気よりも大きい音響的非線形パラメータを有し、前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波が通過する際にそれらを非線形変換することで、前記第1の高周波数と前記第2の高周波数の差分である低周波数の超音波を生成して前記被検体に送信する遅延材とを備え、前記受信用探触子は、前記被検体を透過した前記低周波数の超音波を受信する。
本発明によれば、方位分解能を高めると共に、検出感度を高めることができる。
本発明の一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本実施形態における超音波検査装置の構成を、被検体と共に表す概略図である。図2は、本実施形態における送信用探触子の遅延材による超音波の非線形変換を説明するための概略図である。
本実施形態の超音波検査装置は、送信用探触子11、受信用探触子12、送信器13(詳細には、例えばパルサ等)、増幅器14(詳細には、例えばプリアンプ等)、A/D変換器15、コンピュータ16、及び表示器17(詳細には、例えば液晶モニタ等)を備える。なお、本実施形態では、A/D変換器15は、コンピュータ16とは別体として構成されているが、コンピュータ16に組み込まれてもよい。
送信用探触子11は、被検体1の一方側(図1の上側)に配置されており、被検体1との間に空気が介在する状態で、被検体1に超音波(詳細は後述)を送信する。受信用探触子12は、被検体1の反対側(図1の下側)に配置されており、被検体1との間に空気が介在する状態で、被検体1を透過した超音波を受信する。なお、XY座標系における送信用探触子11の位置と受信用探触子12の位置は同じである。
コンピュータ16は、探傷条件(詳細には、後述する高周波数f1,f2や波形信号の持続時間など)を設定すると共に、送信器13に出力する。送信器13は、コンピュータ16から入力された探傷条件に基づいて第1の高周波数f1の波形信号及び第2の高周波数f2(但し、f2≠f1)の波形信号を生成し、送信用探触子11に出力する。なお、送信器13は、第1の高周波数f1の波形信号と第2の高周波数f2の波形信号を合成した波形信号を生成し、送信用探触子11に出力してもよい。また、送信器13は、波形信号を一定の周期で繰り返して出力してもよい。
送信用探触子11は、振動子18と、振動子18の送信側(言い換えれば、被検体1側であって、図1及び図2の下側)に配置された遅延材19とを有する。振動子18は、送信器13からの波形信号が印加されて、第1の高周波数f1の超音波及び第2の高周波数f2の超音波を発生する。
送信用探触子11の遅延材19は、空気よりも大きい音響的非線形パラメータを有するものであって、例えば固体を用いる。遅延材19は、高周波数f1,f2の超音波が通過する際にそれらを非線形変換することで、第1の高周波数f1と第2の高周波数f2の差分である低周波数f3(f3=f1−f2、但し、f3<f1且つf3<f2)の超音波を生成し、被検体1に送信する。
受信用探触子12の振動子20は、低周波数f3の超音波を受信可能な周波数帯域を有しており、被検体1を通過した低周波数f3の超音波を受信し、これを波形信号に変換して増幅器14に出力する。増幅器14は、受信用探触子12からの波形信号を増幅してA/D変換器15に出力する。A/D変換器15は、増幅器14からの波形信号をアナログ/デジタル変換してコンピュータ16に出力する。コンピュータ16は、A/D変換器15から入力された波形信号を処理するようになっている。
次に、本実施形態の超音波検査方法を説明する。図3は、本実施形態における超音波検査方法の手順を説明するためのフローチャートである。図4は、本実施形態における表示器の画面の具体例を表す図である。
まず、ステップS1にて、検査者が入力器(図示しないものの、詳細には、例えばキーボードやマウス等)を操作して、表示器17の画面の周波数設定欄31A,31Bに第1の周波数f1(例えばf1=4.2MHz)と第2の周波数f2(例えばf2=3.8MHz)をそれぞれ入力し、持続時間設定欄32に波形信号の持続時間(例えば2.0μs)を入力する。これにより、コンピュータ16は、探傷条件を設定すると共に、表示器17の画面の送信信号表示領域33A,33Bに第1の周波数f1の波形信号(第1の送信信号)と第2の周波数の波形信号(第2の送信信号)をそれぞれ表示させる。
その後、ステップS2にて、検査者が送信用探触子11及び受信用探触子12を配置する。その後、ステップS3にて、コンピュータ16は、上述のステップS1で設定された探傷条件を送信器13に出力する。送信器13は、コンピュータ16から入力された探傷条件に基づいて第1の高周波数f1の波形信号及び第2の高周波数f2の波形信号を生成し、送信用探触子11に出力する。送信用探触子11の振動子18は、送信器13からの波形信号が印加されて、第1の高周波数f1の超音波及び第2の高周波数f2の超音波を発生する。
その後、ステップS4にて、送信用探触子11の遅延材19は、高周波数f1,f2の超音波が通過する際にそれらを非線形変換することで、第1の高周波数f1と第2の高周波数f2の差分である低周波数f3の超音波を生成し、被検体1に送信する。
その後、ステップS5にて、受信用探触子12の振動子20は、被検体1を通過した低周波数f3の超音波を受信し、これを波形信号に変換して増幅器14に出力する。増幅器14は、受信用探触子12からの波形信号を増幅してA/D変換器15に出力する。A/D変換器15は、増幅器14からの波形信号をアナログ/デジタル変換してコンピュータ16に出力する。
その後、ステップS6にて、コンピュータ16は、A/D変換器15から入力された波形信号(受信信号)を内蔵メモリに記憶すると共に、表示器17の画面の受信信号表示領域34に表示させる。また、コンピュータ16は、XY座標系の探触子11,12の位置毎に受信信号の振幅を読み出し、探触子の位置(言い換えれば、被検体1における超音波の透過位置)毎に受信信号の振幅を色調で示す探傷画像を生成又は更新し、この探傷画像を表示器17の画面の探傷画像表示領域35に表示させる。
その後、全ての範囲の検査が完了していなければ、ステップS7の判定がNOとなって、ステップS2に移る。すなわち、XY座標系における探触子11,12の位置を変えて、上述した手順を繰り返す。全ての範囲の検査が完了すれば、ステップS7の判定がYESとなって、検査が終了する。
検査者は、表示器17で表示された受信信号又は探傷画像により、欠陥の有無を判定する。詳しく説明すると、被検体1に欠陥2(図1参照)が生じていれば、欠陥2によって超音波の伝搬が阻害されるため、受信信号の振幅が減少する。そのため、受信信号表示領域34で表示された受信信号の振幅が所定値より低いか否かにより、あるいは、探傷画像表示領域35で表示された探傷画像に振幅が所定値より低い部分36があるか否かにより、欠陥2が生じているか否かを判定することができる。
上述した本実施形態においては、送信用探触子11の振動子18が高周波数f1の超音波と高周波数f2の超音波を発生し、それらが遅延材19を通過する際に非線形変換することで、高周波数f1と高周波数f2の差分である低周波数f3の超音波を生成して、被検体1に送信する。別の言い方をすれば、図2で示すように、遅延材19は、高周波数f1,f2の超音波の送信方向に沿って、低周波数f3の仮想音源21を連続的に形成する。そのため、送信用探触子11から被検体1へ送信する超音波は、指向性が高周波数f1,f2で決まり、減衰性が低周波数f3で決まる。したがって、方位分解能を高めると共に、検出感度を高めることができる。
なお、上記一実施形態において、遅延材19は、固体を用いる場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲内で変形が可能である。すなわち、遅延材は、空気よりも大きい音響的非線形パラメータを有するものであればよい。例えば図5で示す第1の変形例のように、遅延材19Aは、空孔22が内在する固体を用いてもよい。また、例えば図6で示す第2の変形例のように、遅延材19Bは、容器に封じ込められた液体(詳細には、例えば水やエタノールなど)を用いてもよい。空気の音響的非線形パラメータは1であり、水の音響的非線形パラメータは4〜6であり、エタノールの音響的非線形パラメータは9.3である。
1 被検体
11 送信用探触子
12 受信用探触子
13 送信器
18 振動子
19,19A,19B 遅延材
22 空孔
11 送信用探触子
12 受信用探触子
13 送信器
18 振動子
19,19A,19B 遅延材
22 空孔
Claims (4)
- 被検体との間に空気が介在した状態で、前記被検体に超音波を送信する送信用探触子と、前記被検体との間に空気が介在した状態で、前記被検体を透過した超音波を受信する受信用探触子と、を備えた超音波検査装置であって、
第1の高周波数の波形信号及び前記第1の高周波数とは異なる第2の高周波数の波形信号、又はそれらを合成した波形信号を生成して前記送信用探触子に出力する送信器を備え、
前記送信用探触子は、
前記第1の高周波数の波形信号及び前記第2の高周波数の波形信号又はそれらを合成した波形信号が印加されて、前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波を発生する振動子と、
空気よりも大きい音響的非線形パラメータを有し、前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波が通過する際にそれらを非線形変換することで、前記第1の高周波数と前記第2の高周波数の差分である低周波数の超音波を生成して前記被検体に送信する遅延材とを備え、
前記受信用探触子は、前記被検体を透過した前記低周波数の超音波を受信することを特徴とする超音波検査装置。 - 請求項1に記載の超音波検査装置において、
前記遅延材は、固体又は空孔が内在する固体を用いることを特徴とする超音波検査装置。 - 請求項1に記載の超音波検査装置において、
前記遅延材は、液体を用いることを特徴とする超音波検査装置。 - 送信用探触子と被検体の間に空気が介在した状態で、前記送信用探触子から前記被検体に超音波を送信し、前記被検体と受信用探触子の間に空気が介在した状態で、前記被検体を透過した超音波を前記受信用探触子で受信する超音波検査方法であって、
第1の高周波数の波形信号及び前記第1の高周波数とは異なる第2の高周波数の波形信号、又はそれらを合成した波形信号を前記送信用探触子の振動子に印加することで、前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波を発生し、
前記第1の高周波数の超音波及び前記第2の高周波数の超音波が前記送信用探触子の遅延材を通過する際に非線形変換することで、前記第1の高周波数と前記第2の高周波数の差分である低周波数の超音波を生成して前記被検体に送信し、
前記被検体を透過した前記低周波数の超音波を前記受信用探触子で受信することを特徴とする超音波検査方法。
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JP2018160555A JP2020034391A (ja) | 2018-08-29 | 2018-08-29 | 超音波検査装置及び超音波検査方法 |
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Cited By (1)
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JP7482067B2 (ja) | 2021-03-10 | 2024-05-13 | 株式会社東芝 | 検査装置及び検査方法 |
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US5719823A (en) * | 1996-07-08 | 1998-02-17 | Lucent Technologies Inc. | Ground penetrating sonar |
US6186004B1 (en) * | 1999-05-27 | 2001-02-13 | The Regents Of The University Of California | Apparatus and method for remote, noninvasive characterization of structures and fluids inside containers |
US20110096622A1 (en) * | 2009-10-26 | 2011-04-28 | Sinha Dipen N | Acoustic imaging of objects in optically opaque fluids |
US10151731B2 (en) * | 2015-11-13 | 2018-12-11 | The Boeing Comapny | Ultrasonic system for nondestructive testing |
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