JP2020019167A - Liquid discharge head, liquid discharge unit and liquid discharge device - Google Patents

Liquid discharge head, liquid discharge unit and liquid discharge device Download PDF

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貴之 中井
Takayuki Nakai
貴之 中井
孝一 中野
Koichi Nakano
孝一 中野
幸雄 乙▲め▼
Yukio Otome
幸雄 乙▲め▼
俊道 小▲高▼
Toshimichi ODAKA
俊道 小▲高▼
崇裕 吉田
Takahiro Yoshida
崇裕 吉田
友章 村上
Tomoaki Murakami
友章 村上
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Abstract

To attenuate or suppress remaining vibration caused by discharging liquid.SOLUTION: A nozzle plate 1 having a nozzle 4 for discharging liquid formed therein, a flow-path plate 2 having a pressure chamber 6 communicated with the nozzle 4 formed therein and a vibration plate member 3 having a vibration region 30 forming a wall surface of the pressure chamber 6 are laminated to be joined to one another. The vibration plate member 3 has a two-layer structure with a first layer 3a and a second layer 3b, in which is arranged a displaceable damper region 33 that becomes independent from the vibration region 30 by arranging a concave shape part 33a in the second layer 3b and forms part of a wall surface of the pressure chamber 6.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and a device for discharging liquid.

液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいては、液体の吐出に伴って生じる残留振動によって吐出特性が変動する。   In a liquid ejection head that ejects a liquid, ejection characteristics fluctuate due to residual vibrations that occur with ejection of the liquid.

従来、ノズル開口側とインク供給口側とにコンプライアンスを確保するための薄肉部が形成され、また中央部にアイランド部が形成された振動板を備え、アイランド部を介して圧電振動子により圧力発生室を圧縮してノズル開口からインク滴を吐出させる記録ヘッドであって、振動板全体のコンプライアンスをノズル開口側とインク供給口側とで実質的に同一となるように按分するため、ノズル開口側の薄肉部、又はインク供給口側の薄肉部に質量体を付加した記録ヘッドが知られている(特許文献1)。   Conventionally, a thin portion is formed on the nozzle opening side and the ink supply port side to ensure compliance, and a diaphragm with an island portion in the center is provided, and pressure is generated by a piezoelectric vibrator through the island portion A recording head that compresses a chamber and discharges ink droplets from a nozzle opening. In order to apportion the compliance of the entire diaphragm so that the nozzle opening side and the ink supply port side are substantially the same, the nozzle opening side There is known a recording head in which a mass body is added to a thin portion of the recording medium or a thin portion on the ink supply port side (Patent Document 1).

特開平8−25632号公報JP-A-8-25632

特許文献1に開示の構成にあっては、ノズル開口側とインク供給口側とでコンプライアンが異なることによる残留振動の発生を抑制することがはできるが、液体吐出に伴う残留振動を抑制することはできないという課題がある。   In the configuration disclosed in Patent Document 1, although it is possible to suppress the occurrence of residual vibration due to a difference in compliance between the nozzle opening side and the ink supply port side, residual vibration caused by liquid ejection is suppressed. There is a problem that cannot be done.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、液体吐出特性の変動を低減することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to reduce fluctuations in liquid ejection characteristics.

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルと、
前記ノズルに通じる圧力室と、
前記圧力室の変位可能な壁面を形成する振動領域と、を備え、
前記振動領域と独立し、前記圧力室の壁面を形成する変位可能なダンパ領域を有している
構成とした。
In order to solve the above-described problems, the liquid ejection head according to the present invention includes:
A nozzle for discharging liquid,
A pressure chamber communicating with the nozzle;
A vibration region forming a displaceable wall surface of the pressure chamber,
It is configured to have a displaceable damper region that forms a wall surface of the pressure chamber independently of the vibration region.

本発明によれば、液体吐出特性の変動を低減することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the fluctuation | variation of a liquid discharge characteristic can be reduced.

本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to a nozzle arrangement direction of the liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention. 同じく図1のA−A線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view along a nozzle arrangement direction along line AA in FIG. 1. 同じく各部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of each member similarly. 図1のB−B線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view along a nozzle arrangement direction along line BB in FIG. 1. ダンパ領域の他の平面形状の異なる例の説明に供する振動板部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of a diaphragm member used for explaining another example from which another plane shape of a damper field differs. 本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドの振動板部材の平面説明図である。FIG. 6 is an explanatory plan view of a diaphragm member of a liquid ejection head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to a nozzle arrangement direction of a liquid ejection head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第4実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to a nozzle arrangement direction of a liquid ejection head according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第5実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to a nozzle arrangement direction of a liquid ejection head according to a fifth embodiment of the present invention. 同じく振動板部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of a diaphragm member similarly. 同じく図9のC−C線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。FIG. 10 is an explanatory sectional view along a nozzle arrangement direction along the line CC of FIG. 9. 本発明の第6実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。It is an external appearance perspective explanatory view of the liquid discharge head concerning a 6th embodiment of the present invention. 同じく図12と同様なノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 13 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction similarly to FIG. 12. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。FIG. 1 is a schematic explanatory view of an example of an apparatus for discharging a liquid according to the present invention. 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。FIG. 4 is an explanatory plan view of an example of a head unit of the device. 液体循環装置の一例のブロック説明図である。It is a block explanatory view of an example of a liquid circulation device. 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。FIG. 9 is an explanatory plan view of a main part of another example of the liquid ejection apparatus according to the present invention. 同装置の要部側面説明図である。It is a principal part side explanatory view of the same apparatus. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。FIG. 11 is an explanatory plan view of a main part of another example of the liquid ejection unit according to the present invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。FIG. 13 is a front explanatory view of still another example of the liquid ejection unit according to the present invention.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第1実施形態について図1ないし図4を参照して説明する。図1は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図2は同じく図1のA−A線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図、図3は同じく各部材の平面説明図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is a cross-sectional explanatory view along a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid discharge head according to the embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view along the nozzle arrangement direction along the line AA in FIG. 1, and FIG. It is a plane explanatory view of each member similarly.

この液体吐出ヘッド100は、ノズル板1と、流路板2と、壁面部材としての振動板部材3とを積層接合している。そして、振動板部材3の振動領域(振動板)30を変位させる圧電アクチュエータ11と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材20とを備えている。   In the liquid discharge head 100, a nozzle plate 1, a flow path plate 2, and a diaphragm member 3 as a wall member are laminated and joined. The piezoelectric actuator 11 includes a piezoelectric actuator 11 for displacing a vibration region (diaphragm) 30 of the diaphragm 3 and a common flow path member 20 also serving as a frame member of the head.

ノズル板1は、液体を吐出する複数のノズル4を配列したノズル列を有している。   The nozzle plate 1 has a nozzle row in which a plurality of nozzles 4 for discharging liquid are arranged.

流路板2は、複数のノズル4に通じる複数の圧力室である圧力室6、各圧力室6にそれぞれ通じる流体抵抗部7、1又は複数の流体抵抗部7に通じる1又は複数の液導入部8を形成している。   The flow path plate 2 includes a plurality of pressure chambers 6 that are a plurality of pressure chambers that communicate with the plurality of nozzles 4, a fluid resistance unit 7 that communicates with each pressure chamber 6, and one or a plurality of liquid introductions that communicate with one or more fluid resistance units 7. The part 8 is formed.

本実施形態では、流路板2は、板状部材2A及び2Bを積層して構成している。板状部材2Aには、各圧力室6、流体抵抗部7、及び液導入部8を形成する貫通溝6A、7A、8Aを形成し、板状部材2Bには、各圧力室6を形成する貫通溝6B及び液導入部8を形成する貫通溝8Bをそれぞれ形成している。   In the present embodiment, the flow path plate 2 is configured by laminating plate members 2A and 2B. The plate-shaped member 2A is formed with through-grooves 6A, 7A, 8A forming the respective pressure chambers 6, the fluid resistance part 7, and the liquid introduction part 8, and the plate-shaped member 2B is formed with the respective pressure chambers 6. A through groove 6B and a through groove 8B for forming the liquid introducing portion 8 are formed.

振動板部材3は、流路板2の圧力室6の壁面を形成する変位可能な複数の振動板(振動領域)30を有する。ここでは、振動板部材3は2層構造(限定されない)とし、流路板2側から薄肉部を形成する第1層3aと、厚肉部を形成する第2層3bで構成され、第1層3aで圧力室6に対応する部分に変形可能な振動領域30を形成している。   The diaphragm member 3 has a plurality of displaceable diaphragms (vibration regions) 30 that form the wall surfaces of the pressure chambers 6 of the flow path plate 2. Here, the diaphragm member 3 has a two-layer structure (not limited), and includes a first layer 3a forming a thin portion and a second layer 3b forming a thick portion from the flow path plate 2 side. A deformable vibration region 30 is formed in a portion corresponding to the pressure chamber 6 in the layer 3a.

そして、振動板部材3の圧力室6とは反対側に、振動板部材3の振動領域30を変形させる駆動手段(アクチュエータ手段、圧力発生手段)としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ11を配置している。   A piezoelectric actuator 11 including an electromechanical transducer as driving means (actuator means, pressure generating means) for deforming the vibration region 30 of the diaphragm member 3 is arranged on the side of the diaphragm member 3 opposite to the pressure chamber 6. are doing.

この圧電アクチュエータ11は、ベース部材13上に接合した圧電部材12にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子12A、12Bを所定の間隔で櫛歯状に形成している。   In this piezoelectric actuator 11, a groove is formed in the piezoelectric member 12 bonded on the base member 13 by half-cut dicing, and a required number of columnar piezoelectric elements 12A and 12B are comb-shaped at predetermined intervals in the nozzle arrangement direction. Is formed.

そして、圧電素子12Aを振動板部材3の振動領域30に形成した島状の厚肉部である凸部30aに接合している。また、支柱部となる圧電素子12Bを振動板部材3の厚肉部である凸部30bに接合している。圧電素子12Aには凸部30aと接合する部分に凸部12cを形成している。   Then, the piezoelectric element 12A is joined to the convex portion 30a which is an island-shaped thick portion formed in the vibration region 30 of the diaphragm member 3. In addition, the piezoelectric element 12 </ b> B serving as a support portion is joined to the convex portion 30 b which is a thick portion of the diaphragm member 3. On the piezoelectric element 12A, a projection 12c is formed at a portion joined to the projection 30a.

この圧電素子12は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極(端面電極)に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材が接続されている。   The piezoelectric element 12 is obtained by alternately laminating a piezoelectric layer and an internal electrode. Each of the internal electrodes is drawn out to an end face and connected to an external electrode (end face electrode), and a flexible wiring member is connected to the external electrode. I have.

共通流路部材20は共通流路10を形成している。共通流路10は、振動板部材3に設けたフィルタ部9を介して液導入部8に通じている。   The common flow path member 20 forms the common flow path 10. The common flow channel 10 communicates with the liquid introduction unit 8 via a filter unit 9 provided on the diaphragm member 3.

この液体吐出ヘッド100においては、例えば圧電素子12Aに与える電圧を基準電位(中間電位)から下げることによって圧電素子12Aが収縮し、振動板部材3の振動領域30が引かれて圧力室6の容積が膨張することで、圧力室6内に液体が流入する。   In the liquid ejection head 100, for example, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is reduced from the reference potential (intermediate potential), whereby the piezoelectric element 12A contracts, the vibration area 30 of the diaphragm member 3 is pulled, and the volume of the pressure chamber 6 is reduced. Expands, the liquid flows into the pressure chamber 6.

その後、圧電素子12Aに印加する電圧を上げて圧電素子12Aを積層方向に伸長させ、振動板部材3の振動領域30をノズル4に向かう方向に変形させて圧力室6の容積を収縮させることにより、圧力室6内の液体が加圧され、ノズル4から液体が吐出される。   Thereafter, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is increased to extend the piezoelectric element 12A in the laminating direction, and to deform the vibration region 30 of the vibration plate member 3 in the direction toward the nozzle 4 to contract the volume of the pressure chamber 6. The liquid in the pressure chamber 6 is pressurized, and the liquid is discharged from the nozzle 4.

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。   The method of driving the head is not limited to the above-described example (pull-push), but pull-pull or push-push can be performed according to the drive waveform.

次に、本実施形態におけるダンパ構成について図4も参照して説明する。図4は図1のB−B線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。   Next, a damper configuration in the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view along the nozzle arrangement direction along the line BB in FIG.

本実施形態においては、振動板(振動領域)30と独立し、圧力室6の壁面を形成する変位可能なダンパ領域33を有している。   In the present embodiment, a displaceable damper region 33 forming the wall surface of the pressure chamber 6 is provided independently of the diaphragm (vibration region) 30.

ここでは、圧力室6の壁面を形成している振動板部材3の第2層3bに平面形状で円形状の凹形状部33aを形成することで、残存する第1層aによってダンパ領域33を形成している。また、ダンパ領域33は、ノズル配列方向と直交する方向においてノズル4に近い側に配置している。   Here, the damper region 33 is formed by the remaining first layer a by forming a plane-shaped circular concave portion 33a on the second layer 3b of the diaphragm member 3 forming the wall surface of the pressure chamber 6. Has formed. Further, the damper region 33 is disposed on a side closer to the nozzle 4 in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.

このように、圧力室6の壁面にダンパ領域33を配置しているので、圧電素子12Aを駆動してノズル4から液体を吐出させたときに残留振動が生じると、ダンパ領域33が変位するので、残留振動が減衰ないし抑制される。   As described above, since the damper region 33 is disposed on the wall surface of the pressure chamber 6, when the piezoelectric element 12A is driven to discharge the liquid from the nozzle 4, when the residual vibration occurs, the damper region 33 is displaced. The residual vibration is attenuated or suppressed.

これにより、安定した液体吐出特性を得ることができ、液体吐出特性のばらつきを低減できる。   Thus, stable liquid ejection characteristics can be obtained, and variations in the liquid ejection characteristics can be reduced.

また、ダンパ領域33は、圧力室6の長手方向端部付近、ここでは、流体抵抗部7から遠く、ノズル4に近い側の端部付近に配置している。   Further, the damper region 33 is disposed near the longitudinal end of the pressure chamber 6, in this case, near the end closer to the nozzle 4, far from the fluid resistance portion 7.

次に、ダンパ領域の他の平面形状の異なる例について図5を参照して説明する。図5は振動板部材の平面説明図である。   Next, another example of another planar shape of the damper region will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an explanatory plan view of the diaphragm member.

図5(a)に示す第1例は、ダンパ領域33の平面形状を略矩形状にした例である。図58b)に示す第2例は、ダンパ領域33の平面形状を長円形状にした例である。   The first example shown in FIG. 5A is an example in which the planar shape of the damper region 33 is substantially rectangular. The second example shown in FIG. 58B) is an example in which the planar shape of the damper region 33 is an ellipse.

ダンパ領域33の平面形状がこれらの形状であっても、圧力室6内の残留振動を減衰ないし抑制することができる。   Even if the planar shape of the damper region 33 is such a shape, the residual vibration in the pressure chamber 6 can be attenuated or suppressed.

次に、本発明の第2実施形態について図6を参照して説明する。図6は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの振動板部材の平面説明図である。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory plan view of a diaphragm member of the liquid ejection head according to the same embodiment.

本実施形態では、ダンパ領域33の内側に第2層3bで構成した凸部33bを設けている。   In the present embodiment, a protrusion 33b made of the second layer 3b is provided inside the damper region 33.

この凸部33bを設けることで、ダンパ領域33の剛性を調整することができる。   By providing the projections 33b, the rigidity of the damper region 33 can be adjusted.

次に、本発明の第3実施形態について図7を参照して説明する。図7は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。   Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view along a direction perpendicular to the nozzle arrangement direction of the liquid ejection head according to the same embodiment.

本実施形態では、振動板部材3は、第1層3a、第2層3b、第3層3cの三層構造としている。そして、圧電素子12Aと接合する凸部30aは、第2層3b及び第3層3cの2層で構成している。   In the present embodiment, the diaphragm member 3 has a three-layer structure of a first layer 3a, a second layer 3b, and a third layer 3c. And the convex part 30a which joins with the piezoelectric element 12A is comprised by two layers of the 2nd layer 3b and the 3rd layer 3c.

次に、本発明の第4実施形態について図8を参照して説明する。図8は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view along a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid ejection head according to the same embodiment.

本実施形態では、振動板部材3は、前記第1実施形態と同様に第1層3a、第2層3bの二層構造とし、圧電素子12Aの凸部30aとの接合面を平坦面としている。   In the present embodiment, the diaphragm member 3 has a two-layer structure of a first layer 3a and a second layer 3b, similarly to the first embodiment, and has a flat joining surface with the projection 30a of the piezoelectric element 12A. .

本実施形態でも、ダンパ領域33を前記各実施形態と同様に構成することで同様な作用効果を得ることができる。   Also in the present embodiment, similar effects can be obtained by configuring the damper region 33 in the same manner as in each of the above embodiments.

次に、本発明の第5実施形態について図9ないし図11を参照して説明する。図9は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図10は同じく振動板部材の平面説明図、図11は同じく図9のC−C線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。   Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 is a cross-sectional explanatory view along a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid discharge head according to the same embodiment, FIG. 10 is a plan explanatory view of the diaphragm member, and FIG. 11 is also a CC line of FIG. FIG. 4 is an explanatory sectional view along a nozzle arrangement direction.

本実施形態では、ダンパ領域33を形成する凹形状部33aは、一部が圧力室6の外側まで臨む(対向する)大きさ形成している。   In the present embodiment, the concave portion 33 a forming the damper region 33 is formed to have a size such that a part thereof reaches (opposes) the outside of the pressure chamber 6.

これにより、振動板部材3と流路板2とを接合するときの位置ずれや部品誤差が生じても、所要範囲のダンパ領域33を確保することができる。   Thereby, even if a displacement or a component error occurs when the diaphragm member 3 and the flow path plate 2 are joined, a required range of the damper region 33 can be secured.

次に、本発明の第6実施形態について図12及び図13を参照して参照して説明する。図12は同実施形態に係る液体出ヘッドの外観斜視説明図、図13は同じく図1と同様なノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。   Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 12 is a perspective view illustrating the appearance of the liquid delivery head according to the embodiment, and FIG. 13 is a sectional view illustrating the same direction as that of FIG.

この液体吐出ヘッド100は、循環型液体吐出ヘッドであり、ノズル板1と、流路板2と、壁面部材としての振動板部材3とを積層接合している。そして、振動板部材3の振動領域(振動板)30を変位させる圧電アクチュエータ11と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材20とを備えている。   The liquid discharge head 100 is a circulation type liquid discharge head, and has a nozzle plate 1, a flow path plate 2, and a diaphragm member 3 as a wall member that are laminated and joined. The piezoelectric actuator 11 includes a piezoelectric actuator 11 for displacing a vibration region (diaphragm) 30 of the diaphragm 3 and a common flow path member 20 also serving as a frame member of the head.

ノズル板1は、液体を吐出する複数のノズル4を有している。   The nozzle plate 1 has a plurality of nozzles 4 for discharging liquid.

流路板2は、複数のノズル4に各々ノズル連通路5を介して通じる複数の圧力室6と、複数の圧力室6に各々通じる複数の供給側の流体抵抗部7と、1又は複数の供給側の流体抵抗部7に通じる1又は複数の液導入部8などを形成している。液導入部8は、振動板部材3の供給側の開口部19を介して供給側の共通流路10に通じている。   The flow path plate 2 includes a plurality of pressure chambers 6 communicating with the plurality of nozzles 4 via the nozzle communication passages 5, a plurality of supply-side fluid resistance portions 7 communicating with the plurality of pressure chambers 6, respectively, and one or more One or a plurality of liquid introduction parts 8 communicating with the fluid resistance part 7 on the supply side are formed. The liquid introduction unit 8 communicates with the supply-side common flow channel 10 through the supply-side opening 19 of the diaphragm member 3.

なお、本実施形態では、流路板2は、複数枚の板状部材2A〜2Eを積層して構成しているが、これに限るものではない。   In the present embodiment, the flow path plate 2 is configured by laminating a plurality of plate members 2A to 2E, but is not limited to this.

振動板部材3は、流路板2の圧力室6の壁面を形成する変形可能な振動領域30を有する。ここでは、振動板部材3は3層構造(限定されない)とし、流路板2側から薄肉部を形成する第1層3aと、厚肉部を形成する第2層3b、第3層3cで形成され、第1層3bで圧力室6に対応する部分に変形可能な振動領域30を形成している。   The vibration plate member 3 has a deformable vibration region 30 that forms a wall surface of the pressure chamber 6 of the flow path plate 2. Here, the diaphragm member 3 has a three-layer structure (not limited), and includes a first layer 3a forming a thin portion, a second layer 3b forming a thick portion, and a third layer 3c from the flow path plate 2 side. The first layer 3b forms a deformable vibration region 30 at a portion corresponding to the pressure chamber 6 in the first layer 3b.

そして、振動板部材3の圧力室6とは反対側に、振動板部材3の振動領域30を変形させる圧電アクチュエータ11を配置している。圧電アクチュエータ11の圧電素子12Aを振動板部材3の振動領域(振動板)30の凸部30aに接合している。   The piezoelectric actuator 11 that deforms the vibration region 30 of the diaphragm member 3 is disposed on the side of the diaphragm member 3 opposite to the pressure chamber 6. The piezoelectric element 12A of the piezoelectric actuator 11 is joined to the projection 30a of the vibration area (diaphragm) 30 of the diaphragm member 3.

また、流路板2は、複数の圧力室6にノズル連通路5を介して各々通じる流路板2の面方向に沿う複数の個別回収流路56と、1又は複数の個別回収流路56に通じる1又は複数の液導出部58を形成している。液導出部58は、振動板部材3の回収側の開口部59を介して回収側の共通流路50に通じている。   The flow path plate 2 includes a plurality of individual recovery flow paths 56 extending along the surface direction of the flow path plate 2 that communicate with the plurality of pressure chambers 6 via the nozzle communication path 5, respectively, and one or more individual recovery flow paths 56. One or a plurality of liquid lead-out portions 58 communicating with the liquid supply port are formed. The liquid lead-out portion 58 communicates with the recovery-side common flow channel 50 via the recovery-side opening 59 of the diaphragm member 3.

共通流路部材20は、供給側の共通流路10と回収側の共通流路50を形成する。供給側の共通流路10は供給ポート71に通じ、回収側の共通流路50は回収ポート72に通じている。   The common flow path member 20 forms a supply-side common flow path 10 and a recovery-side common flow path 50. The common flow path 10 on the supply side communicates with the supply port 71, and the common flow path 50 on the collection side communicates with the collection port 72.

この液体吐出ヘッド100においては、例えば圧電素子12Aに与える電圧を基準電位(中間電位)から下げることによって圧電素子12Aが収縮し、振動板部材3の振動領域30が引かれて圧力室6の容積が膨張することで、圧力室6内に液体が流入する。   In the liquid ejection head 100, for example, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is reduced from the reference potential (intermediate potential), whereby the piezoelectric element 12A contracts, the vibration area 30 of the diaphragm member 3 is pulled, and the volume of the pressure chamber 6 is reduced. Expands, the liquid flows into the pressure chamber 6.

その後、圧電素子12Aに印加する電圧を上げて圧電素子12Aを積層方向に伸長させ、振動板部材3の振動領域30をノズル4に向かう方向に変形させて圧力室6の容積を収縮させることにより、圧力室6内の液体が加圧され、ノズル4から液体が吐出される。   Thereafter, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is increased to extend the piezoelectric element 12A in the laminating direction, and to deform the vibration region 30 of the vibration plate member 3 in the direction toward the nozzle 4 to contract the volume of the pressure chamber 6. The liquid in the pressure chamber 6 is pressurized, and the liquid is discharged from the nozzle 4.

また、ノズル4から吐出されない液体はノズル4を通過して個別回収流路56から回収側の共通流路50に回収され、回収側の共通流路50から外部の循環経路を通じて供給側の共通流路10に再度供給される。   The liquid that is not ejected from the nozzle 4 passes through the nozzle 4 and is collected from the individual collection channel 56 to the common channel 50 on the collection side. It is supplied to the road 10 again.

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。   The method of driving the head is not limited to the above-described example (pull-push), but pull-pull or push-push can be performed according to the drive waveform.

そして、本実施形態においても、振動板部材3には、振動領域30と独立し、圧力室6の壁面を形成する変位可能なダンパ領域33を設けている。   Also in the present embodiment, the diaphragm member 3 is provided with a displaceable damper region 33 which forms the wall surface of the pressure chamber 6 independently of the vibration region 30.

これにより、圧力室6の残留振動を減衰ないし抑制して、安定した液体吐出特性を得ることができ、吐出特性のばらつきを低減できる。   Accordingly, the residual vibration of the pressure chamber 6 can be attenuated or suppressed, stable liquid ejection characteristics can be obtained, and variations in ejection characteristics can be reduced.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図14及び図15を参照して説明する。図14は同装置の概略説明図、図15は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。   Next, an example of an apparatus for discharging a liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 14 is a schematic explanatory view of the apparatus, and FIG. 15 is a plan explanatory view of an example of a head unit of the apparatus.

この液体を吐出する装置である印刷装置500は、連続体510を搬入する搬入手段501と、搬入手段501から搬入された連続体510を印刷手段505に案内搬送する案内搬送手段503と、連続体510に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段505と、連続体510を乾燥する乾燥手段507と、連続体510を搬出する搬出手段509などを備えている。   The printing apparatus 500 which discharges the liquid includes a loading unit 501 for loading the continuum 510, a guiding and conveying unit 503 for guiding and transporting the continuum 510 loaded from the loading unit 501 to the printing unit 505, The printing apparatus includes a printing unit 505 that performs printing to form an image by discharging a liquid to the 510, a drying unit 507 that dries the continuous body 510, and an unloading unit 509 that unloads the continuous body 510.

連続体510は搬入手段501の元巻きローラ511から送り出され、搬入手段501、案内搬送手段503、乾燥手段507、搬出手段509の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段509の巻取りローラ591にて巻き取られる。   The continuous body 510 is sent out from the original winding roller 511 of the carrying-in means 501, guided and carried by the carrying-in means 501, the guide carrying means 503, the drying means 507, and the carrying-out means 509, and the take-up roller 591 of the carrying-out means 509. Winded up at

この連続体510は、印刷手段505において、搬送ガイド部材559上をヘッドユニット550及びヘッドユニット555に対向して搬送され、ヘッドユニット550から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット555から吐出される処理液で後処理が行われる。   The continuous body 510 is conveyed by the printing unit 505 on the conveyance guide member 559 so as to face the head unit 550 and the head unit 555, an image is formed by the liquid discharged from the head unit 550, and the image is formed from the head unit 555. Post-processing is performed with the processing solution to be performed.

ここで、ヘッドユニット550には、例えば、搬送方向上流側から、4色分のフルライン型ヘッドアレイ551A、551B、551C、551D(以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ551」という。)が配置されている。   Here, the head unit 550 includes, for example, full-line head arrays 551A, 551B, 551C, and 551D for four colors from the upstream side in the transport direction (hereinafter, referred to as “head array 551” when no distinction is made between colors). Is arranged.

各ヘッドアレイ551は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体510に対してブラックK,シアンC、マゼンタM、イエローYの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。   Each of the head arrays 551 is a liquid ejection unit, and ejects black K, cyan C, magenta M, and yellow Y liquids to the continuous body 510 to be conveyed, respectively. Note that the type and number of colors are not limited to these.

ヘッドアレイ551は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド(これを、単に「ヘッド」ともいう。)100をベース部材552上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。   The head array 551 is, for example, one in which the liquid ejection heads (hereinafter, simply referred to as “heads”) 100 according to the present invention are arranged in a staggered manner on the base member 552, but are not limited thereto.

次に、液体循環装置の一例について図16を参照して説明する。図16は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは1つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。   Next, an example of the liquid circulation device will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a block diagram of the circulation device. Although only one head is shown here, when a plurality of heads are arranged, a supply-side liquid path and a collection-side liquid path are respectively provided on the supply side and the collection side of the plurality of heads via a manifold or the like. Will be connected.

液体循環装置600は、供給タンク601、回収タンク602、メインタンク603、第1送液ポンプ604、第2送液ポンプ605、コンプレッサ611、レギュレータ612、真空ポンプ621、レギュレータ622、供給側圧力センサ631、回収側圧力センサ632などで構成されている。   The liquid circulation device 600 includes a supply tank 601, a recovery tank 602, a main tank 603, a first liquid supply pump 604, a second liquid supply pump 605, a compressor 611, a regulator 612, a vacuum pump 621, a regulator 622, and a supply side pressure sensor 631. , A recovery-side pressure sensor 632 and the like.

ここで、コンプレッサ611及び真空ポンプ621は、供給タンク601内の圧力と回収タンク602内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。   Here, the compressor 611 and the vacuum pump 621 constitute a unit that generates a pressure difference between the pressure in the supply tank 601 and the pressure in the recovery tank 602.

供給側圧力センサ631は、供給タンク601とヘッド100との間であって、ヘッド100の供給ポート71に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ632は、ヘッド1と回収タンク602との間であって、ヘッド100の回収ポート72に繋がった回収側液体経路に接続されている。   The supply side pressure sensor 631 is connected between the supply tank 601 and the head 100 and to a supply side liquid path connected to the supply port 71 of the head 100. The collection-side pressure sensor 632 is connected between the head 1 and the collection tank 602 and to a collection-side liquid path connected to the collection port 72 of the head 100.

回収タンク602の一方は、第1送液ポンプ604を介して供給タンク601と接続されており、回収タンク602の他方は第2送液ポンプ605を介してメインタンク603と接続されている。   One of the recovery tanks 602 is connected to a supply tank 601 via a first liquid feed pump 604, and the other of the recovery tank 602 is connected to a main tank 603 via a second liquid feed pump 605.

これにより、供給タンク601から供給ポート71を通ってヘッド100内に液体が流入し、回収ポート72から回収タンク602へ回収され、第1送液ポンプ604によって回収タンク602から供給タンク601へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。   Thereby, the liquid flows into the head 100 from the supply tank 601 through the supply port 71, is collected from the collection port 72 to the collection tank 602, and the liquid is collected from the collection tank 602 to the supply tank 601 by the first liquid supply pump 604. By being sent, a circulation path for circulating the liquid is formed.

ここで、供給タンク601にはコンプレッサ611がつなげられており、供給側圧力センサ631で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク602には真空ポンプ621がつなげられており、回収側圧力センサ632で所定の負圧が検知されるよう制御される。   Here, a compressor 611 is connected to the supply tank 601, and is controlled such that a predetermined positive pressure is detected by the supply-side pressure sensor 631. On the other hand, a vacuum pump 621 is connected to the collection tank 602, and is controlled so that a predetermined negative pressure is detected by the collection-side pressure sensor 632.

これにより、ヘッド100内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。   Thus, the negative pressure of the meniscus can be kept constant while circulating the liquid through the inside of the head 100.

また、ヘッド100のノズル4から液体を吐出すると、供給タンク601及び回収タンク602内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第2送液ポンプ605を用いて、メインタンク603から回収タンク602に液体を補充する。   Further, when the liquid is ejected from the nozzle 4 of the head 100, the liquid amount in the supply tank 601 and the recovery tank 602 decreases. Therefore, the liquid is replenished from the main tank 603 to the collection tank 602 by using the second liquid sending pump 605 as appropriate.

なお、メインタンク603から回収タンク602への液体補充のタイミングは、回収タンク602内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク602内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。   The timing of liquid replenishment from the main tank 603 to the recovery tank 602 is set in the recovery tank 602, such as performing liquid replenishment when the liquid level in the recovery tank 602 falls below a predetermined height. It can be controlled by a detection result of a liquid level sensor or the like.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図17及び図18を参照して説明する。図17は同装置の要部平面説明図、図18は同装置の要部側面説明図である。   Next, another example of a printing apparatus as a liquid ejection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 17 is an explanatory plan view of an essential part of the device, and FIG. 18 is an explanatory side view of an essential part of the device.

この印刷装置500は、シリアル型装置であり、主走査移動機構493によって、キャリッジ403は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構493は、ガイド部材401、主走査モータ405、タイミングベルト408等を含む。ガイド部材401は、左右の側板491A、491Bに架け渡されてキャリッジ403を移動可能に保持している。そして、主走査モータ405によって、駆動プーリ406と従動プーリ407間に架け渡したタイミングベルト408を介して、キャリッジ403は主走査方向に往復移動される。   The printing apparatus 500 is a serial type apparatus, and the carriage 403 reciprocates in the main scanning direction by the main scanning moving mechanism 493. The main scanning movement mechanism 493 includes a guide member 401, a main scanning motor 405, a timing belt 408, and the like. The guide member 401 is bridged between the left and right side plates 491A and 491B, and movably holds the carriage 403. The carriage 403 is reciprocated in the main scanning direction by the main scanning motor 405 via a timing belt 408 spanned between the driving pulley 406 and the driven pulley 407.

このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッド100及びヘッドタンク441を一体にした液体吐出ユニット440を搭載している。液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド100は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド100は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。   On the carriage 403, a liquid discharge unit 440 in which the liquid discharge head 100 and the head tank 441 according to the present invention are integrated is mounted. The liquid ejection head 100 of the liquid ejection unit 440 ejects, for example, liquids of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). The liquid ejection head 100 has a nozzle row including a plurality of nozzles arranged in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and is mounted with the ejection direction facing downward.

液体吐出ヘッド100は、前述した液体循環装置600と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。   The liquid ejection head 100 is connected to the above-described liquid circulation device 600, and circulates and supplies a liquid of a required color.

この印刷装置500は、用紙410を搬送するための搬送機構495を備えている。搬送機構495は、搬送手段である搬送ベルト412、搬送ベルト412を駆動するための副走査モータ416を含む。   The printing apparatus 500 includes a transport mechanism 495 for transporting the sheet 410. The transport mechanism 495 includes a transport belt 412 as transport means, and a sub-scanning motor 416 for driving the transport belt 412.

搬送ベルト412は用紙410を吸着して液体吐出ヘッド100に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413と、テンションローラ414との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。   The transport belt 412 attracts the paper 410 and transports it at a position facing the liquid ejection head 100. The transport belt 412 is an endless belt, and is stretched between a transport roller 413 and a tension roller 414. Suction can be performed by electrostatic suction or air suction.

そして、搬送ベルト412は、副走査モータ416によってタイミングベルト417及びタイミングプーリ418を介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。   The transport belt 412 is rotated in the sub-scanning direction by rotating the transport roller 413 via the timing belt 417 and the timing pulley 418 by the sub-scanning motor 416.

さらに、キャリッジ403の主走査方向の一方側には搬送ベルト412の側方に液体吐出ヘッド100の維持回復を行う維持回復機構420が配置されている。   Further, on one side of the carriage 403 in the main scanning direction, a maintenance / recovery mechanism 420 for maintaining and recovering the liquid ejection head 100 is disposed on the side of the transport belt 412.

維持回復機構420は、例えば液体吐出ヘッド100のノズル面(ノズルが形成された面)をキャッピングするキャップ部材421、ノズル面を払拭するワイパ部材422などで構成されている。   The maintenance and recovery mechanism 420 includes, for example, a cap member 421 for capping the nozzle surface (the surface on which the nozzle is formed) of the liquid ejection head 100, a wiper member 422 for wiping the nozzle surface, and the like.

主走査移動機構493、維持回復機構420、搬送機構495は、側板491A,491B、背板491Cを含む筐体に取り付けられている。   The main scanning movement mechanism 493, the maintenance / recovery mechanism 420, and the transport mechanism 495 are attached to a housing including side plates 491A and 491B and a back plate 491C.

このように構成したこの印刷装置500においては、用紙410が搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙410が副走査方向に搬送される。   In the printing apparatus 500 configured as described above, the paper 410 is fed onto the transport belt 412 and is attracted, and the paper 410 is transported in the sub-scanning direction by the orbital movement of the transport belt 412.

そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド100を駆動することにより、停止している用紙410に液体を吐出して画像を形成
する。
Therefore, by driving the liquid ejection head 100 according to the image signal while moving the carriage 403 in the main scanning direction, the liquid is ejected to the stopped paper 410 to form an image.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図19を参照して説明する。図19は同ユニットの要部平面説明図である。   Next, another example of the liquid ejection unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 19 is an explanatory plan view of a main part of the unit.

この液体吐出ユニット440、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド100で構成されている。   The liquid discharge unit 440 includes, among members constituting the liquid discharging apparatus, a housing portion including side plates 491A and 491B and a back plate 491C, a main scanning movement mechanism 493, a carriage 403, and a liquid. It is composed of a discharge head 100.

なお、この液体吐出ユニット440の例えば側板491Bに、前述した維持回復機構420を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。   Note that a liquid discharge unit in which the above-described maintenance and recovery mechanism 420 is further attached to, for example, the side plate 491B of the liquid discharge unit 440 may be configured.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図20を参照して説明する。図20は同ユニットの正面説明図である。   Next, still another example of the liquid ejection unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 20 is an explanatory front view of the unit.

この液体吐出ユニット440は、流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド100と、流路部品444に接続されたチューブ456で構成されている。   The liquid discharge unit 440 includes the liquid discharge head 100 to which the flow path component 444 is attached, and a tube 456 connected to the flow path component 444.

なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンク441を含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド100と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。   The flow channel component 444 is disposed inside the cover 442. A head tank 441 may be included instead of the flow path component 444. In addition, a connector 443 for making an electrical connection with the liquid ejection head 100 is provided above the flow path component 444.

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。   In the present application, the liquid to be discharged is not particularly limited as long as it has a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, and the viscosity becomes 30 mPa · s or less at normal temperature and normal pressure, or by heating and cooling. Preferably, it is More specifically, solvents such as water and organic solvents, coloring agents such as dyes and pigments, polymerizable compounds, resins, functional imparting materials such as surfactants, and biocompatible materials such as DNA, amino acids, proteins, and calcium. , Edible materials such as natural pigments, and the like, solutions, suspensions, emulsions, and the like. These include, for example, ink-jet inks, surface treatment liquids, components of electronic elements and light-emitting elements, and formation of resist patterns for electronic circuits. Liquid, three-dimensional modeling material liquid, and the like.

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。   As the energy generation source for discharging liquid, piezoelectric actuators (laminated piezoelectric elements and thin-film piezoelectric elements), thermal actuators using electrothermal transducers such as heating resistors, and electrostatic actuators composed of a diaphragm and a counter electrode are used. Are included.

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。   The “liquid ejection unit” is a liquid ejection head in which functional components and mechanisms are integrated, and includes an assembly of components related to liquid ejection. For example, the “liquid ejection unit” includes a unit in which at least one of a configuration of a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance and recovery mechanism, a main scanning movement mechanism, and a liquid circulation device is combined with a liquid ejection head.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。   Here, the term “integration” means, for example, a case where the liquid ejection head and the functional component or mechanism are fixed to each other by fastening, bonding, engagement, or the like, or a case where one is movably held with respect to the other. Including. Further, the liquid ejection head, the functional component, and the mechanism may be configured to be detachable from each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。   For example, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a head tank are integrated. In some cases, the liquid ejection head and the head tank are integrated with each other by a tube or the like. Here, a unit including a filter can be added between the head tank and the liquid discharge head of these liquid discharge units.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。   There is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a carriage are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge head in which a liquid ejection head is movably held by a guide member constituting a part of a scanning movement mechanism, and the liquid ejection head and the scanning movement mechanism are integrated. In some cases, a liquid discharge head, a carriage, and a main scanning moving mechanism are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge head in which a cap member which is a part of a maintenance / recovery mechanism is fixed to a carriage to which a liquid discharge head is attached, and the liquid discharge head, the carriage, and the maintenance / recovery mechanism are integrated. .

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。   Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge head in which a tube is connected to a liquid discharge head to which a head tank or a flow path component is attached, and a liquid discharge head and a supply mechanism are integrated. The liquid in the liquid storage source is supplied to the liquid ejection head via this tube.

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。   The main scanning movement mechanism includes a guide member alone. The supply mechanism also includes a tube unit and a loading unit alone.

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。   The “device that discharges liquid” includes a device that includes a liquid discharge head or a liquid discharge unit and drives the liquid discharge head to discharge liquid. The device that discharges liquid includes not only a device that can discharge liquid to an object to which liquid can be attached, but also a device that discharges liquid into the air or into the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。   The “device for discharging liquid” may include a unit for feeding, transporting, and discharging paper to which liquid can be attached, as well as a pre-processing device and a post-processing device.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。   For example, as a "device for ejecting liquid", an image forming apparatus that ejects ink to form an image on paper, and a powder is formed in layers to form a three-dimensional object (three-dimensional object) There is a three-dimensional modeling device (three-dimensional modeling device) that discharges a modeling liquid to the formed powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。   Further, the “device for discharging liquid” is not limited to a device in which a significant image such as a character or a graphic is visualized by the discharged liquid. For example, those that form a pattern or the like that has no meaning in itself, and those that form a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。   The above-mentioned "thing to which a liquid can be attached" means a thing to which a liquid can be attached at least temporarily, such as a thing which adheres and adheres, a thing which adheres and penetrates, and the like. Specific examples include recording media such as paper, recording paper, recording paper, film, and cloth; electronic components such as electronic substrates and piezoelectric elements; powder layers (powder layers); organ models; and media such as inspection cells. Yes, unless otherwise specified, includes everything to which a liquid adheres.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。   The material of the above-mentioned "thing to which the liquid can be attached" may be paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. as long as the liquid can be attached even temporarily.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。   In addition, the “device that discharges liquid” includes a device in which a liquid discharge head and a device to which liquid can be attached relatively move, but is not limited thereto. Specific examples include a serial device that moves the liquid ejection head, a line device that does not move the liquid ejection head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。   In addition, as the "apparatus for discharging liquid", in addition, a processing liquid coating apparatus for discharging a processing liquid to the paper to apply the processing liquid to the surface of the paper for the purpose of modifying the surface of the paper, 2. Description of the Related Art There is an injection granulating apparatus that granulates fine particles of a raw material by spraying a composition liquid in which a raw material is dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。   It should be noted that image forming, recording, printing, printing, printing, modeling, and the like in the terms of the present application are all synonyms.

1 ノズル板
4 ノズル
2 流路板
3 振動板部材
6 圧力室
10 共通流路
11 圧電アクチュエータ
20 共通流路部材
33 ダンパ領域
33a 凹形状部
50 共通流路
100 液体吐出ヘッド
403 キャリッジ
440 液体吐出ユニット
500 印刷装置(液体を吐出する装置)
550 ヘッドユニット
600 液体循環装置
Reference Signs List 1 nozzle plate 4 nozzle 2 flow path plate 3 diaphragm member 6 pressure chamber 10 common flow path 11 piezoelectric actuator 20 common flow path member 33 damper region 33a concave portion 50 common flow path 100 liquid discharge head 403 carriage 440 liquid discharge unit 500 Printing device (device for discharging liquid)
550 Head unit 600 Liquid circulation device

Claims (9)

液体を吐出するノズルと、
前記ノズルに通じる圧力室と、
前記圧力室の変位可能な壁面を形成する振動領域と、を備え、
前記振動領域と独立し、前記圧力室の壁面を形成する変位可能なダンパ領域を有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
A nozzle for discharging liquid,
A pressure chamber communicating with the nozzle;
A vibration region forming a displaceable wall surface of the pressure chamber,
A liquid discharge head having a displaceable damper region that forms a wall surface of the pressure chamber independently of the vibration region.
前記ダンパ領域は、前記圧力室の長手方向端部付近側に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
2. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the damper region is disposed near a longitudinal end of the pressure chamber.
前記振動領域を形成している振動板部材で前記ダンパ領域が形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the damper region is formed by a diaphragm member that forms the vibration region.
前記振動板部材の前記ダンパ領域は、凹部形状である
ことを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid ejection head according to claim 3, wherein the damper region of the diaphragm member has a concave shape.
前記凹部形状の一部は前記圧力室外まで臨んでいる
ことを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid discharge head according to claim 4, wherein a part of the concave shape faces outside the pressure chamber.
前記ダンパ領域内に、前記ダンパ領域よりも剛性の高い領域を有している
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. The liquid discharge head according to claim 1, wherein a region having higher rigidity than the damper region is provided in the damper region.
請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。   A liquid discharge unit comprising the liquid discharge head according to claim 1. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ユニット。
A head tank for storing liquid to be supplied to the liquid discharge head, a carriage on which the liquid discharge head is mounted, a supply mechanism for supplying liquid to the liquid discharge head, a maintenance and recovery mechanism for maintaining and recovering the liquid discharge head, and the liquid The liquid ejection unit according to claim 7, wherein at least one of a main scanning movement mechanism for moving the ejection head in the main scanning direction and the liquid ejection head are integrated.
請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項7若しくは8に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。   An apparatus for discharging a liquid, comprising: the liquid discharge head according to claim 1; or a liquid discharge unit according to claim 7.
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