JP2020006467A - 保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワイヤで放電加工中に露出しているワーク表面からの加工電流のリークを防止することが可能な仕組みを提供する。【解決手段】ワイヤ放電加工に用いられ、ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持装置が、導電性素材の通電部と、ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持部と、絶縁性素材の絶縁部と、を備え、ワークを複数のワーク片に切り終わる箇所で通電部とワークとを導通させることで、ワークを複数のワーク片に切る間にワークに加工電流を流し、ワークの第１の表面で保持部を用いてワークを保持し、加工電流の、第１の表面の裏面側である第２の表面からのリークを防止可能な絶縁部を用いて第２の表面を覆う。【選択図】 図２

Description

本発明は保持装置の技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを板状のウエハにスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工の技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。

特許文献１には、インゴットの両方の端面にインゴット用電極を導電性接着剤により固定し、ワイヤによってインゴットを途中までスライスする技術が開示されている。

しかしながら、ワイヤ放電加工では加工液をワークに噴射または浸漬して加工を進めるために、放電加工中には、露出しているワーク表面から加工液への加工電流のリークが問題となり、放電加工中の極間電圧等に影響し、スライス加工が安定しないことがある。

特開２０１６−９７４９７号公報

本発明は、ワイヤで放電加工中に露出しているワーク表面からの加工電流のリークを防止することが可能な仕組みを提供することを目的とする。

本発明は、ワイヤ放電加工に用いられ、ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持装置あって、導電性素材の通電部と、前記ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持部と、絶縁性素材の絶縁部と、を備え、前記ワークを複数のワーク片に切り終わる箇所で前記通電部と前記ワークとを導通させることで、前記ワークを複数のワーク片に切る間に前記ワークに加工電流を流し、前記ワークの第１の表面で前記保持部を用いて前記ワークを保持し、前記加工電流の、前記第１の表面の裏面側である第２の表面からのリークを防止可能な前記絶縁部を用いて前記第２の表面を覆うことを特徴とする。

本発明により、ワイヤで放電加工中に露出しているワーク表面からの加工電流のリークを防止することが可能な仕組みを提供することが可能となる。

本発明におけるワイヤ放電加工システムの構成を示す図。 本発明における放電加工開始から放電加工終了までの保持装置と加工槽との相対的な配置関係の変遷を示した図。 本発明における保持装置の保持部の表面を示した図。 本発明における保持装置の保持部の断面を示した図 本発明における保持装置の保持部の裏面を示した図。 本発明における保持装置の絶縁部の表面を示した図。 本発明における保持装置の絶縁部の断面を示した図 本発明における保持装置の絶縁部の裏面を示した図。 本発明における保持装置の通電部の表面を示した図。 本発明における保持装置の通電部の断面を示した図 本発明における保持装置の通電部の裏面を示した図。 本発明における保持装置の土台部の表面を示した図。 本発明における保持装置の土台部の断面を示した図 本発明における保持装置の土台部の裏面を示した図。 本発明における保持装置で保持するワークの表面を示した図。 本発明における保持装置で保持するワークの断面を示した図 本発明における保持装置で保持するワークの裏面を示した図。 本発明におけるワークを保持した状態での保持装置の表面を示した図。 本発明におけるワークを保持した状態での保持装置の断面を示した図 本発明におけるワークを保持した状態での保持装置の裏面を示した図。 本発明における保持装置の保持部に連結させるバキューム配管を示した図。 本発明におけるワークを保持した状態での、放電加工前の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図。 本発明におけるワークを保持した状態での、放電加工中の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図。 本発明におけるワークを保持した状態での、放電加工完了時の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図。

図１を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤ放電加工装置１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

図１は本発明におけるワイヤ放電加工システム（半導体基板または太陽電池基板の製造システム）の構成を示す。ワイヤ放電加工システムは、ワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置１２から構成されている。ワイヤ放電加工システムは、ワイヤ群からのワークへの放電によって、並設されたワイヤ群の間隔でワークを複数のワーク片にスライスすることができる。

ワイヤ放電加工装置１には、サーボモータにより駆動されるワーク送り部３がワイヤ群の上部に設けられ、上下方向にワーク１０６を移動できる。本発明ではワーク送り部３によってワーク１０６（図２に示す）が下（重力）方向に送られ、ワーク１０６とワイヤ群の間で放電加工がおこなわれる。なお、本明細書において、上下とは重力方向における上方向と下方向にそれぞれ対応し、左右とはワイヤ放電加工装置を正面から見た場合の左及び右にそれぞれ対応する。

電源装置２は、サーボ制御部１１を備えている。

ワーク１０６とワイヤ群の間（極間）で効率よく放電を発生させるために、ワーク送り部３のサーボモータを制御するサーボ制御部１１が、ワーク１０６とワイヤ群の間の距離が予め設定された目標電圧（第１の目標電圧）になるように制御しながら放電加工中のワーク１０６の位置決めを行い、ワーク１０６の放電加工を進行させる。

電源装置２は、加工電源制御部も備えている。

加工電源制御部は、放電加工中に加工電源を放電パルスとしてワイヤ１０３へ供給するものである。。

また、放電加工中にワーク１０６とワイヤ群の間（極間）で突発的に発生する短絡状態に適応する制御を行う。

また、サーボ制御部１１への信号にはワーク１０６とワイヤ群の間（極間）の電圧を用いる。

加工液供給装置１２は、放電加工部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０６とワイヤ群の間（極間）へ供給すると共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。

メインローラ８，９には、ワークを所望する厚さで加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数で溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要回数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。ワイヤ速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回することで、並設されているワイヤ群を同一方向に走行させることができる（走行手段）。

並設されているワイヤ群を形成するワイヤ１０３は１本で繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。

ワイヤ放電加工装置１と電源装置２は電源ケーブル５１３を介して接続されており、ワイヤ放電加工装置１は、加工電源制御部から供給される電力により作動する。

ワイヤ放電加工装置１は、ワーク送り部３と、加工槽６と、メインローラ８と、ワイヤ１０３と、メインローラ９と、給電子ユニット１０と、給電子１０４と、を備えている。

ワーク１０６は、複数のワーク片にスライスするためにワイヤ放電加工装置１のワーク送り部３に取り付けられる。

メインローラ８，９にはワイヤ１０３が複数回巻きつけられており、メインローラに刻まれた溝に従い、所定ピッチの間隔でワイヤ群が整列している。メインローラは中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆う構造である。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の上の位置
には、給電子ユニット１０に取り付けられた給電子１０４が配置され、給電子１０４は、上向きに露出するその表面をワイヤ群にそれぞれ接触させることで走行するワイヤ群に加工電源を給電する。

給電子１個当たり、その表面をワイヤ群に一括接触して、走行するワイヤ群に加工電源を一括給電してもよく、
給電子１個当たり、その表面をワイヤ群の各ワイヤに個別接触して、走行するワイヤ群の各ワイヤに加工電源を個別給電してもよい。

また給電子１０４の数は１個に限定されず、複数個の給電子１０４にてワイヤ群に加工電源を給電してもよい。

また加工電源５０１の加工電圧（Ｖｍｎ）の数も１個に限定されず、複数個の加工電源５０１にてワイヤ群に加工電源を給電してもよい。

給電子１０４の数や加工電源５０１の加工電圧（Ｖｍｎ）の数は、ワイヤ群の必要数によって適宜増やすことは言うまでもない。

ワーク送り部３は保持装置によりワーク送り部３と連結されているワーク１０６を、上下方向に移動する機構である。ワーク送り部３が、ワーク１０６を下方向に移動することで、ワーク１０６をワイヤ方向に近づけることができる。

加工槽６は、ワーク１０６とワイヤ群の間で発生する放電に必要な加工液を溜めるための容器である。加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ群とワーク１０６との間で放電が発生し、並設されたワイヤ群の間隔でワークを複数のワーク片にスライスすることができる。

メインローラ８、９には、走行中のワイヤ１０３を所定間隔に保持できるようにＶ溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が巻かれている。そして、メインローラ８、９の両方が共に右又は左回転することで、並設されたワイヤ群を走行させている。また、メインローラ８、９の上側及び下側に、並設されたワイヤ群を形成している。

また、本発明のワイヤ１０３は鉄を材料とする伝導体であり、加工電源から加工電圧が供給された給電ユニット１０の給電子１０４とワイヤ１０３とが接触することにより、加工電圧が給電子１０４を介してワイヤ１０３に印加される。

メインローラ８、９に形成されている所定間隔（Ｖ溝のピッチ）は例えば０．３ｍｍ程度である。

図２を説明する。

図２は放電加工開始から放電加工終了までの保持装置と加工槽６との相対的な配置関係の変遷を示した図である。

図のスライス開始時は、放電開始前の保持装置と加工槽６との相対的な配置関係を示し図１０−１の状態に相当する。

スライス開始時は、保持装置はワーク１０６を保持しているが、加工液には浸されていない。

その後、ワーク送り部３によりワーク１０６を保持したまま保持装置がワイヤに近づけていく。その後、ワイヤ１０３とワーク１０６との極間距離が狭い距離になると、ワーク１０６に向かってワイヤ１０３から放電が発生し、放電によってワーク１０６にも加工電流が流れ始める。このワーク１０６に流れる加工電流は、通電部から加工電源部に流れていくが、ワーク１０６が加工液には浸されていると、加工液の方に流れるリーク電流が発生し、放電加工が不安定になることがある。よって本発明では、加工液の方に流れるリーク電流を抑制または防止するように、ワーク１０６の表面を絶縁性のプラスチック等のプレートで被覆することで、この放電加工の不安定を解決している。

図のスライス終了時は、加工終了時の保持装置と加工槽６との相対的な配置関係を示し図１０−３の状態に相当する。

スライス終了時は、保持装置はスライスされた複数のワーク片１０７（図２に示す）を保持して加工液に浸される状態になる。

通電部８１４は、加工開始前においては図１０−１に示すようにワーク１０６と導通しているが、まだ、放電が発生していないので、ワーク１０６には加工電流を流れていない。

通電部８１４は、加工開始後においては図１０−２に示すようにワーク１０６と導通しているので、ワーク１０６にも放電によって加工電流を流すことができる。

通電部８１４は、加工終了後においては図１０−３に示すようにスライスが完了した全てのワーク片１０７と導通できているので、スライスが完了した全てのワーク片１０７にも放電によって加工電流を流すことができる。このようにワーク片１０７に全てスライスされた後には、通電部８１４まで放電加工が進むことになる。

図３を説明する。

図３−１は保持装置の保持部８１１の表面を示した図である。

保持部８１１に設けられた機能をそれぞれ説明する。

尚、保持部８１１の形状は、実施例に示した板の形状には限定されず、ワーク１０６の第１の表面を覆い、ワーク１０６の第１の表面の面積よりも広ければ如何なる形状であってもよい。

またバキューム溝２０００による吸引によってワーク１０６を保持することができる。

図３−１は保持部８１１でワーク１０６に吸着する吸着面側から見た図である。

この吸着面側で、ワーク１０６の放電加工しない面である保持面（第１の表面）をバキューム溝２０００による吸引することよって、放電加工の間ずっとワーク１０６を保持することができる。この位置で吸引保持するにより、図１０−１から図１０−３示すように放電加工する間は、保持部８１１はワイヤ１０３と一切物理的に干渉せずに、放電加工が終了するまでワーク１０６が鉛直方向に落下しないように保持することができる。

保持部８１１が放電加工時にワイヤ１０３に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３が保持部８１１を放電加工することはない。

ネジ穴は、保持部８１１をビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５（図６−１に示す。）に取り付ける穴である。ネジ穴は２か所で、保持部８１１を土台８１５に取り付けることができる。

本発明の第１の実施例では、保持部８１１導電性の材料（導電性素材）であるアルミやＳＵＳ等の材料を用いることが望ましい。導電性の材料を用いた場合には、保持部８１１にも加工電流は流れることになる。

更に、本発明の第２の実施例では、保持部８１１が保持機能だけを目的とする場合、第１の実施例と同じく、形状や構造は吸引する仕組みを保ちながら、ガラス、半導体、プラスチック、ゴム等、非導電性の材料を用いてもよい。しかし非導電性の材料を用いた場合には、保持部８１１には加工電流は流れなくなる。

図３−２は保持装置の保持部８１１の断面を示した図である。バキューム溝２０００による吸引によってワーク１０６を保持することができる。

図３−３は保持装置の保持部８１１の裏面を示した図である。

この裏面は、保持装置が加工液には浸されていると、加工液中に露出する面である。先ほどの説明と同じく、この裏面からも加工液の方に流れるリーク電流が発生し、放電加工が不安定になることがある。よって本発明では、加工液の方に流れるリーク電流を抑制または防止するように、保持部８１１の裏面を絶縁性のコート剤等で被覆処理することで、この放電加工の不安定を解決している。また保持部８１１の裏面にも、更に、絶縁部８１２と同じような絶縁性素材のアクリル板や、プラスチック等のプレートを接着剤などで張り付けることでも、この放電加工の不安定を解決することができる。

ネジ穴は、保持部８１１をビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５（図６−１に示す。）に取り付ける穴である。ネジ穴は２か所で、保持部８１１を土台８１５に取り付けることができる。

図４を説明する。

図４−１は保持装置の絶縁部８１２の表面を示した図である。

絶縁部８１２に設けられた機能をそれぞれ説明する。

尚、絶縁部８１２の形状は、実施例に示した板の形状には限定されず、ワーク１０６の第２の表面の全面を覆うことが望ましいが、ワーク１０６の第２の表面の全面積の９割よりも広ければよい。（９割以上が絶縁部８１２で被覆されていることが望ましい。）如何なる形状であってもよい。

図４−１は絶縁部８１２でワーク１０６の第２の表面に接する接触面側から見た図である。

この接触面とワーク１０６の放電加工しない面である絶縁面（第２の表面）の界面を非導電性の接着剤で接着することよって、放電加工の間ずっとワーク１０６の絶縁面（第２の表面）を絶縁することができる。この位置で絶縁部８１２を接着するにより、図１０−１から図１０−３示すように放電加工する間は、絶縁部８１２はワイヤ１０３と一切干渉せずに、放電加工が終了するまで絶縁することができる。

絶縁部８１２が放電加工時にワイヤ１０３に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３が保持部８１１を放電加工することはない。

図４−２は保持装置の絶縁部８１２の断面を示した図である。

図４−３は保持装置の絶縁部８１２の裏面を示した図である。

この裏面は、保持装置が加工液には浸されていると、加工液中に露出する面である。

図５を説明する。

図５−１は保持装置の通電部８１４の表面を示した図である。

通電部８１４に設けられた機能をそれぞれ説明する。

尚、通電部８１４の形状は、実施例に示した直方体の形状であることが望ましい。ワーク１０６のオリフラ面と面接触することでワーク１０６のオリフラ面と通電部８１４とで広範囲に通電することが可能となる。

通電部８１４の役割は、放電加工する間、継続的にワーク１０６通電することであり、ワーク１０６との接触面積を広くするために、直方体の形状をしている
図１０−１のように通電部８１４の上面は、導電性接着剤を用いて土台８１５と通電できるように接着され、土台部８１５は更にワーク送りユニット３とも通電する。

図１０−１のように通電部８１４の下面は、導電性接着剤を用いてオリフラ面と通電できるように接着される。

図５−２は保持装置の通電部８１４の断面を示した図である。

図５−３は保持装置の通電部８１４の裏面を示した図である。

通電部８１４は導電性の材料であるアルミ等の材料から構成されることができるが、通電部８１４は、主に通電機能を目的とするので、導電性の他の材料から構成されてもよい。

ワーク１０６を複数のワーク片に切り終わる箇所であるオリフラ面と導電性接着剤で接着することよって、図１０−１から図１０−３示すように放電加工する間は、通電部８１４はワイヤ１０３と一切物理的に干渉せずに通電することができ、ワーク１０６を複数のワーク片１０７に切る間にずっとワーク１０６に加工電流を流すことができる。

通電部８１４は、放電加工時にワイヤ１０３に干渉してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３がワークを複数のワーク片に完全に切り終わる直前までは通電部８１４を放電加工することはない。

図６を説明する。

図６−１は保持装置の土台部８１５の表面を示した図である。

土台部８１５に設けられた機能をそれぞれ説明する。

土台部８１５の主な役割は、放電加工する間、通電部８１４、保持部８１１、ワーク１０６、絶縁部８１２を含む保持装置全体をワーク送り部３に取り付けるための土台であり、実施例のような形状をしている
また土台部８１５には、ワーク送り部３に取り付けるためのネジ穴が２か所に設けられている。

土台部８１５は導電性の材料であるアルミやＳＵＳ等の材料から構成されることができるが、土台８１５は、通電部８１４と同じく、通電機能も必要とするので、導電性の他の材料から構成されてもよい。

図６−２は保持装置の土台部８１５の断面を示した図である。

図６−３は保持装置の土台部８１５の裏面を示した図である。

また土台部８１５には、土台部８１５に保持部８１１を取り付けるためのネジ穴が２か所に設けられている。

ネジ穴は、保持部８１１をビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５に取り付ける穴である。ネジ穴は２か所で、保持部８１１を土台８１５に取り付けることができる。

図７を説明する。

図７−１は保持装置で保持するワークの表面である。

例ではワーク１０６の形状は円柱型である。円柱型のワーク１０６の場合、保持部８１１はワーク１０６が放電加工されない平面でワーク１０６を保持し、通電部８１４はワーク１０６のオリフラ面でワーク１０６と通電する。ワーク１０６の円柱周面が放電加工される。

なお、保持装置８００が保持するワーク１０６の形状は直方体型（角状）であってもよい。

図７−２は保持装置で保持するワークの側面（円柱周面）を示した図である。

図７−３は保持装置で保持するワークの裏面を示した図である。

図８を説明する。

図８−１はワークを保持した状態での保持装置の表面を示した図である。保持装置に円柱型のワーク１０６を取り付けた状態を示したものである。通電部８１４と土台部８１５とは導電性接着剤で接着されている。通電部８１４とワーク１０６とは導電性接着剤で接着されている。土台部８１５はワーク送り部に２本のネジで取り付けられる。

ワーク１０６の表面（第２の表面）には、絶縁部８１２を非導電性接着剤や両面テープ等で貼り付けている。

図８−２はワークを保持した状態での保持装置の側面を示した図である。この時、ワークの側面（円柱周面）が見えている。保持装置に円柱型のワーク１０６を取り付けた状態を示したものである。

ワーク１０６の裏面（第１の表面）では、保持部８１１がワーク１０６をバキュームで吸引している。保持部８１１はネジで土台部８１５に取り付けられる。

このように、放電加工をしている間、保持部８１１が導電性の素材の場合には、保持部８１１にも加工電流が流れる。

図８−３はワークを保持した状態での保持装置の裏面を示した図である。保持装置に円柱型のワーク１０６を取り付けた状態を示したものである。

ワーク１０６の表面（第１の表面）には、保持部８１１がワーク１０６をバキュームで吸引している。保持部８１１はネジで土台部８１５に取り付けられる。

図９を説明する。

図９はワークを保持した状態での保持装置の裏面を示した図である。

バキューム配管２００３でバキュームを保持部８１１に供給する。

なお、バキューム接続部（図示しない）で保持装置とバキューム配管２００３とを連結させている。

供給されたバキュームは保持部８１１の内部のバキューム溝２０００に繋がっており、ワーク１０６の表面（第１の表面）で、保持部８１１によってワーク１０６をバキュームで吸引することができる
図１０を説明する。

図１０−１はワークを保持した状態での、放電加工前の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図であり、この時はワークの側面（円柱周面）が見えている。

また、ワイヤ１０３とワーク１０６とは十分離れているので、ワイヤ１０３からワーク１０６への放電は発生していない状態である。また加工槽６の中には加工液が満たされているが、保持装置は加工液には浸漬していない状態である。その後、保持装置がワーク送り部３の下降動作によって、ワーク１０６をワイヤ１０３方向に近づけて行き、ワイヤ１０３からワーク１０６への放電が始まる。図２のスライス開始時の状態に相当する。

図１０−２はワークを保持した状態での、放電加工中の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図であり、この時はワークの側面（円柱周面）が見えている。

また、ワイヤ１０３とワーク１０６では最適な極間距離で放電は発生している状態である。ワイヤ１０３はワーク１０６の一部をスライスし始めている。この時ワーク１０６に放電した後のワーク１０６に流れる加工電流は、通電部８１４を介してワーク１０６の中を流れるが、更に、そのワイヤ１０３の近くにある保持部８１１を介してもワーク１０６の中を流れることになる。
ワーク１０６がＳｉＣのように組成の不安定な材料の場合、ワーク１０６の中を加工電流が流れにくい。
よって、通電部８１４を介してワーク１０６の中に加工電流を流すだけでなく、放電箇所の近傍に存在し材料成分が均一である保持部８１１を介してワーク１０６の中を流して放電加工を進行させる方が、放電加工がより安定するという効果がある。
このように、ワーク１０６を複数のワーク片１０７に全て切り終わる直前までは、通電部８１４及び保持部８１１の両方に加工電流が流れている。

更に、保持部８１１の加工液に露出している方の面（露出部分）は絶縁性の素材で表面コーティングされているので、ワイヤ１０３の近くにある保持部８１１を介して通電部８１４に流れても、面（露出部分）からの加工電流のリークの問題は解消することができる。

図１０−３はワークを保持した状態での、放電加工完了時の保持装置とワイヤとの相対的な配置関係の変遷を示した図であり、この時はワークの側面（円柱周面）が見えている。

この図の場合には、複数のワーク片１０７に全て切り終わった場合、３枚（左側、真ん中、右側）のワーク片になっている。

このように通電部８１４は切り終わりの箇所に設けられているので、複数のワーク片１０７に全て切り終わった場合でも、真ん中のワーク片１０７にも通電部８１４が適切に通電することができる。更に、真ん中のワーク片１０７は薄く軽いので、導電性の接着剤だけで保持することができる。

更に、左側のワーク片１０７は、薄く軽いので、導電性の接着剤だけで保持することができる。

更に、右側のワーク片１０７は、薄く軽いので、保持部８１１で保持することができる。

通電部８１４は切り終わりの箇所に設けられ、その通電部８１４の一部まで放電加工させることで、複数のワーク片１０７にうまく切り終えることができる。
このように、ワーク１０６を複数のワーク片１０７に全て切り終わると、通電部８１４だけに加工電流が流れることになる。

また保持部８１１がワーク１０６をバキューム吸着している制御をＯＮとし、バキューム吸着していない制御をＯＦＦとした場合、ＯＮからＯＦＦに切り替えることで、保持部８１１が吸引しているウエハ片１０７を保持部８１１から簡単に離脱させることができる。

１ ワイヤ放電加工装置
２ 電源装置
３ ワーク送り部
５ 土台
６ 加工槽
８ メインローラ
９ メインローラ
１２ 加工液供給装置
１０３ ワイヤ
１０４ 給電子
１０６ ワーク
１０７ 複数のワーク片
８１１ 保持部
８１２ 絶縁部
８１４ 通電部
８１５ 土台部
２０００ バキューム溝
２００３ バキューム配管

Claims (6)

1. ワイヤ放電加工に用いられ、ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持装置あって、
   導電性素材の通電部と、
   前記ワークを複数のワーク片に切る間に保持する保持部と、
   絶縁性素材の絶縁部と、
   を備え、
   前記ワークを複数のワーク片に切り終わる箇所で前記通電部と前記ワークとを導通させることで、前記ワークを複数のワーク片に切る間に前記ワークに加工電流を流し、
   前記ワークの第１の表面で前記保持部を用いて前記ワークを保持し、
   前記加工電流の、前記第１の表面の裏面側である第２の表面からのリークを防止可能な前記絶縁部を用いて前記第２の表面を覆うことを特徴とする保持装置。
2. 前記保持部は導電性素材であり、
   前記第１の表面で前記保持部と前記ワークとを導通させることで、前記ワークを複数のワーク片に切る間に前記保持部にも前記加工電流が流れ、
   前記第１の表面でない前記保持部の露出部分が絶縁性となる被覆処理されていることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 前記ワークを複数のワーク片に全て切り終わる直前までは、前記通電部及び前記保持部の両方に前記加工電流が流れ、前記ワークを複数のワーク片に全て切り終わると、前記通電部だけに前記加工電流が流れることを特徴とする請求項２に記載の保持装置。
4. 前記ワークを複数のワーク片に切り終わる箇所で前記通電部と前記ワークの界面を導電性接着剤で接着することで、前記ワークを複数のワーク片に切る間に前記ワークに加工電流を流すことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の保持装置。
5. 前記第２の表面では、前記絶縁部を接着することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の保持装置。
6. 前記保持装置は、前記ワークを複数のワーク片に切る間に加工液に浸されることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の保持装置。

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